JP2017040583A - 計測装置、リソグラフィ装置、および物品の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】被検体の位置を計測する計測装置は、光を再帰反射する複数の反射体が配列された反射面を有する、前記被検体に設けられた反射部と、第1光を前記反射面に入射させ、前記第1光の前記反射面での反射光である第2光を受光し、前記第2光をミラー部材で反射させることによって生成された第3光を前記反射面に入射させ、前記第3光の前記反射面での反射光である第4光を受光する光学系と、前記光学系で受光された前記第4光と参照光とを検出する検出部と、前記検出部による検出結果に基づいて前記被検体の位置を決定する処理部と、を含み、前記光学系は、前記第1光の光路と前記第2光の光路とのずれが、前記第3光の光路と前記第4光の光路とのずれによって補正されるように構成されている。
【選択図】図1
Description
ΔS=2×ΔL×θ ・・・(1)
ΔS<2a ・・・(2)
本発明に係る第1実施形態の計測装置100について、図1を参照しながら説明する。第1実施形態の計測装置100は、例えば、光源11と、光学系13と、参照面14(平面ミラー)と、被検体に設けられた反射部15と、検出部16と、処理部17とを有する。検出部16としては、例えばフォトデテクタ(ポイントセンサ)が用いられうるが、二次元状に配列された複数の光電変換素子を有するイメージセンサが用いられてもよい。また、処理部17は、例えばCPUやメモリなどを有するコンピュータから成り、検出部16による検出結果に基づいて被検体の位置を決定する処理を行う。
第1実施形態では、反射部15の反射面15aに配列された各反射体としてコーナーキューブ15bを用いた例について説明したが、それに限られるものではない。例えば、図2に示すように、平面ミラー15cと、平面ミラー15cに光を集束させるレンズ15dとを含むように各反射体を構成してもよい。図2は、平面ミラー15cとレンズ15dとを含む複数の反射体によって構成された反射部15を示す図である。このように構成された各反射体によっても、光を再帰反射させることができる。
基板にパターンを形成するリソグラフィ装置において、上述の実施形態に係る計測装置を適用する例について説明する。リソグラフィ装置は、例えば、基板を露光して原版のパターンを基板に転写する露光装置や、基板上のインプリント材を原版を用いて成形するインプリント装置、荷電粒子線を基板に照射して基板にパターンを形成する描画装置を含みうる。このようなリソグラフィ装置では、上述の実施形態に係る計測装置が、基板または原版を保持して移動可能なステージ(被検体)の位置を計測するために用いられうる。以下では、露光装置において上述の実施形態に係る計測装置を用いる例について説明する。
本発明の実施形態における物品の製造方法は、例えば、半導体デバイス等のマイクロデバイスや微細構造を有する素子等の物品を製造するのに好適である。本実施形態の物品の製造方法は、上記のリソグラフィ装置(露光装置)を用いて基板にパターンを形成する工程(基板を露光する工程)と、かかる工程でパターンが形成された基板を加工(例えば現像)する工程とを含む。更に、かかる製造方法は、他の周知の工程(酸化、成膜、蒸着、ドーピング、平坦化、エッチング、レジスト剥離、ダイシング、ボンディング、パッケージング等)を含む。本実施形態の物品の製造方法は、従来の方法に比べて、物品の性能・品質・生産性・生産コストの少なくとも1つにおいて有利である。
Claims (8)
- 被検体の位置を計測する計測装置であって、
光を再帰反射する複数の反射体が配列された反射面を有する、前記被検体に設けられた反射部と、
第1光を前記反射面に入射させ、前記第1光の前記反射面での反射光である第2光を受光し、前記第2光をミラー部材で反射させることによって生成された第3光を前記反射面に入射させ、前記第3光の前記反射面での反射光である第4光を受光する光学系と、
前記光学系で受光された前記第4光と参照光とを検出する検出部と、
前記検出部による検出結果に基づいて前記被検体の位置を決定する処理部と、
を含み、
前記光学系は、前記第1光の光路と前記第2光の光路とのずれが、前記第3光の光路と前記第4光の光路とのずれによって補正されるように構成されている、ことを特徴とする計測装置。 - 前記光学系の前記ミラー部材はコーナーキューブを含む、ことを特徴とする請求項1に記載の計測装置。
- 前記複数の反射体の各々はコーナーキューブを含む、ことを特徴とする請求項1又は2に記載の計測装置。
- 前記複数の反射体の各々は、平面ミラーと、当該平面ミラーに光を集束させるレンズとを含む、ことを特徴とする請求項1乃至3のうちいずれか1項に記載の計測装置。
- 前記検出部は、前記光学系で受光された前記第4光と前記参照光との強度差を検出する、ことを特徴とする請求項1乃至4のうちいずれか1項に記載の計測装置。
- 前記複数の反射体の各々は、前記第1光の光路と前記第2光の光路とのずれが100μm以下になるように構成されている、ことを特徴とする請求項1乃至5のうちいずれか1項に記載の計測装置。
- 基板にパターンを形成するリソグラフィ装置であって、
基板を保持して移動可能なステージと、
被検体としての前記ステージの位置を計測する、請求項1乃至6のうちいずれか1項に記載の計測装置と、
を含むことを特徴とするリソグラフィ装置。 - 請求項7に記載のリソグラフィ装置を用いて基板にパターンを形成する工程と、
前記工程でパターンを形成された前記基板を加工する工程と、
を含むことを特徴とする物品の製造方法。
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