JP2017037287A - Photosensitive resin composition, dry film, and printed wiring board - Google Patents

Photosensitive resin composition, dry film, and printed wiring board Download PDF

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a photosensitive resin composition which has a high dielectric constant and is also excellent in resolution, and to provide a dry film and a printed wiring board using the photosensitive resin composition.SOLUTION: A photosensitive resin composition contains a carboxyl group-containing resin, a photopolymerization initiator, and at least two perovskite type compounds. One of the perovskite type compounds is barium titanate. The dry film has a resin layer obtained by applying the photosensitive resin composition onto a film and drying it. A cured product is obtained by curing the photosensitive resin composition or the resin layer of the dry film. The printed wiring board has a cured film obtained by curing the photosensitive resin composition or the dry film.SELECTED DRAWING: None

Description

本発明は、感光性樹脂組成物(以下、単に「樹脂組成物」とも称する)、ドライフィルムおよびプリント配線板に関し、特に、高誘電率であって解像性にも優れた感光性樹脂組成物、それを用いたドライフィルムおよびプリント配線板に関する。   The present invention relates to a photosensitive resin composition (hereinafter, also simply referred to as “resin composition”), a dry film and a printed wiring board, and in particular, a photosensitive resin composition having a high dielectric constant and excellent resolution. The present invention relates to a dry film and a printed wiring board using the same.

従来、指紋検出装置は、入退室の管理等の用途に利用されていたが、近年では、携帯端末などにおける本人認証ツールや、コンピュータネットワーク上のセキュリティシステムとして、注目されるようになってきている。特に最近では、スマートフォン等の高度な指紋認証精度が求められる機器には、静電容量方式の指紋認証センサーが採用されている。その動作原理は、指紋の凹凸によってセンサー内に発生した電荷の差を電極で読み取り、指紋を認識するというものである。静電容量式指紋検出装置として用いることができる半導体装置については、例えば、特許文献1に開示されている。   Conventionally, fingerprint detection devices have been used for applications such as entrance / exit management, but in recent years, they have attracted attention as personal authentication tools for portable terminals and security systems on computer networks. . In particular, recently, a capacitive fingerprint authentication sensor has been adopted for devices such as smartphones that require high fingerprint authentication accuracy. The principle of operation is to recognize the fingerprint by reading the difference in charge generated in the sensor due to the unevenness of the fingerprint with an electrode. For example, Patent Document 1 discloses a semiconductor device that can be used as a capacitive fingerprint detection device.

このような指紋認証センサーに用いられるFC−BGAパッケージは、トップサイド(表面側)がセンサー面となり、ボトムサイド(裏面側)にICチップ等の部品が実装されるとともに、はんだボールが配置された構造を有する。指紋認証センサーのセンサー面には高い読み取り精度が必要とされるため、センサー面用のソルダーレジストには、高い平坦性や高誘電率が求められる。特に、このタイプの指紋認証システムが将来的に現行のスワイプ方式からタッチ方式に変更されるであろうことを考慮すれば、指紋認証の精度の向上がますます求められる。また、このような指紋認証センサーには、HAST耐性等の、パッケージ特有の信頼性が求められる。   The FC-BGA package used for such a fingerprint authentication sensor has a sensor surface on the top side (front side), a component such as an IC chip is mounted on the bottom side (back side), and solder balls are arranged. It has a structure. Since the sensor surface of the fingerprint authentication sensor requires high reading accuracy, the solder resist for the sensor surface requires high flatness and high dielectric constant. In particular, considering that this type of fingerprint authentication system will be changed from the current swipe method to the touch method in the future, the accuracy of fingerprint authentication is increasingly required. Such a fingerprint authentication sensor is required to have package-specific reliability such as HAST resistance.

特開2002−71307号公報JP 2002-71307 A

そこで本発明の目的は、HAST耐性等の信頼性を維持しつつ、静電容量方式の指紋認証センサーにも適用可能な高い誘電率と、高い解像性とを兼ね備えた感光性樹脂組成物、それを用いたドライフィルムおよびプリント配線板を提供することにある。   Therefore, an object of the present invention is to provide a photosensitive resin composition having both high dielectric constant and high resolution applicable to a capacitive fingerprint authentication sensor while maintaining reliability such as HAST resistance, It is to provide a dry film and a printed wiring board using the same.

本発明者らは、上記目的を達成するために鋭意研究した結果、少なくとも2種のペロブスカイト型化合物を用いるとともに、そのうちの1種としてチタン酸バリウムを必須成分として含有する樹脂組成物とすることで、高誘電率と高解像性とを高度に両立できることを見出して、本発明を完成するに至った。   As a result of intensive studies to achieve the above object, the present inventors have used at least two perovskite-type compounds and one of them as a resin composition containing barium titanate as an essential component. The inventors have found that a high dielectric constant and a high resolution can be achieved at a high level, and have completed the present invention.

すなわち、本発明の感光性樹脂組成物は、カルボキシル基含有樹脂と、光重合開始剤と、少なくとも2種のペロブスカイト型化合物とを含有する感光性樹脂組成物であって、
前記ペロブスカイト型化合物のうちの1種が、チタン酸バリウムであることを特徴とするものである。
That is, the photosensitive resin composition of the present invention is a photosensitive resin composition containing a carboxyl group-containing resin, a photopolymerization initiator, and at least two perovskite compounds,
One of the perovskite type compounds is barium titanate.

本発明の感光性樹脂組成物においては、前記カルボキシル基含有樹脂の屈折率と、前記チタン酸バリウム以外のペロブスカイト型化合物の屈折率との差の絶対値が、0.4〜1.0であることが好ましい。   In the photosensitive resin composition of the present invention, the absolute value of the difference between the refractive index of the carboxyl group-containing resin and the refractive index of the perovskite compound other than the barium titanate is 0.4 to 1.0. It is preferable.

本発明のドライフィルムは、上記感光性樹脂組成物が、フィルム上に塗布、乾燥されてなる樹脂層を有することを特徴とするものである。   The dry film of the present invention is characterized in that the photosensitive resin composition has a resin layer that is applied and dried on the film.

本発明の硬化物は、上記感光性樹脂組成物または上記ドライフィルムの樹脂層が硬化されてなることを特徴とするものである。   The cured product of the present invention is characterized in that the photosensitive resin composition or the resin layer of the dry film is cured.

本発明のプリント配線板は、上記感光性樹脂組成物または上記ドライフィルムが硬化されてなる硬化皮膜を有することを特徴とするものである。   The printed wiring board of the present invention is characterized by having a cured film formed by curing the photosensitive resin composition or the dry film.

本発明によれば、HAST耐性等の信頼性を維持しつつ、高誘電率であって解像性にも優れた感光性樹脂組成物、それを用いたドライフィルムおよびプリント配線板を提供することができる。また、本発明の感光性樹脂組成物、それを用いたドライフィルムおよびプリント配線板は、静電容量方式の指紋認証センサーにも好適に適用可能である。   According to the present invention, there are provided a photosensitive resin composition having a high dielectric constant and excellent resolution while maintaining reliability such as HAST resistance, and a dry film and a printed wiring board using the same. Can do. Moreover, the photosensitive resin composition of the present invention, the dry film using the same, and the printed wiring board can also be suitably applied to a capacitive fingerprint authentication sensor.

以下、本発明の実施の形態について、詳細に説明する。
なお、本明細書において、(メタ)アクリレートとは、アクリレート、メタクリレートおよびそれらの混合物を総称する用語であり、他の類似の表現についても同様である。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail.
In addition, in this specification, (meth) acrylate is a term which generically refers to acrylate, methacrylate and a mixture thereof, and the same applies to other similar expressions.

本発明の感光性樹脂組成物は、カルボキシル基含有樹脂と、光重合開始剤と、少なくとも2種のペロブスカイト型化合物とを含有する。また、本発明の感光性樹脂組成物においては、少なくとも2種のペロブスカイト型化合物のうちの1種が、チタン酸バリウムである点に特徴がある。   The photosensitive resin composition of the present invention contains a carboxyl group-containing resin, a photopolymerization initiator, and at least two perovskite compounds. Further, the photosensitive resin composition of the present invention is characterized in that one of at least two perovskite compounds is barium titanate.

本発明の感光性樹脂組成物においては、少なくとも2種のペロブスカイト型化合物を含有するとともに、そのうちの1種としてチタン酸バリウムを含有させたことで、所望の高誘電率と高解像性とを、両立させることが可能となった。チタン酸バリウムは高誘電率材料であるため、ペロブスカイト型化合物がチタン酸バリウムを含まないと、所望の高誘電率が得られない。一方、チタン酸バリウムはi線(365nm)の波長の光を殆んど透過しないため、1種のみで用いると、十分な解像性が得られない。ここで、ペロブスカイト型化合物とは、一般に化学式ABO(A,Bはいずれも金属原子を表す)で示される複合酸化物に見られるペロブスカイト型結晶構造を有する化合物のことをいう。 The photosensitive resin composition of the present invention contains at least two kinds of perovskite type compounds, and one of them contains barium titanate, so that a desired high dielectric constant and high resolution can be obtained. It became possible to achieve both. Since barium titanate is a high dielectric constant material, a desired high dielectric constant cannot be obtained unless the perovskite compound contains barium titanate. On the other hand, since barium titanate hardly transmits light having a wavelength of i-line (365 nm), when only one kind is used, sufficient resolution cannot be obtained. Here, the perovskite-type compound means a compound having a perovskite-type crystal structure generally found in complex oxides represented by the chemical formula ABO 3 (both A and B represent metal atoms).

[ペロブスカイト型化合物]
本発明において、チタン酸バリウムとともに用いることのできるペロブスカイト型化合物としては、例えば、チタン酸カルシウム、チタン酸ストロンチウム、ジルコン酸バリウム、ジルコン酸カルシウム、ジルコン酸ストロンチウム、および、これらを主成分とする複合酸化物を挙げることができる。これらのなかでもチタン酸カルシウム、チタン酸ストロンチウム、ジルコン酸カルシウム、ジルコン酸ストロンチウム、またはこれらを主成分とする複合酸化物を用いることが好ましい。
[Perovskite type compounds]
In the present invention, examples of perovskite type compounds that can be used with barium titanate include calcium titanate, strontium titanate, barium zirconate, calcium zirconate, strontium zirconate, and composite oxides containing these as main components. You can list things. Among these, it is preferable to use calcium titanate, strontium titanate, calcium zirconate, strontium zirconate, or a composite oxide containing these as a main component.

チタン酸バリウム以外のペロブスカイト型化合物は、1種を用いても、2種以上を併用してもよい。また、このようなペロブスカイト型化合物は、樹脂などの有機化合物に対する十分な濡れ性を得るために、例えば、アミノシランやメルカプトシラン、ビニルシランなどのカップリング剤等で表面処理されているものを用いてもよい。   Perovskite type compounds other than barium titanate may be used singly or in combination of two or more. Moreover, in order to obtain sufficient wettability to an organic compound such as a resin, such a perovskite type compound may be used which has been surface-treated with a coupling agent such as aminosilane, mercaptosilane, or vinylsilane. Good.

本発明に用いるチタン酸バリウム以外のペロブスカイト型化合物の市販品としては、具体的には例えば、堺化学工業社製のST−03、CT−03、SZ−03、CZ−03などが挙げられる。   Specific examples of commercially available perovskite compounds other than barium titanate used in the present invention include ST-03, CT-03, SZ-03, and CZ-03 manufactured by Sakai Chemical Industry Co., Ltd.

また、チタン酸バリウム以外のペロブスカイト型化合物としては、屈折率が、カルボキシル基含有樹脂の屈折率との差の絶対値で、0.4〜1.0となるものを用いることが好ましい。カルボキシル基含有樹脂の屈折率とチタン酸バリウム以外のペロブスカイト型化合物の屈折率との差が上記範囲であると、解像性がより良好となる。すなわち、樹脂の屈折率は一般的に1.5〜1.6であるが、ペロブスカイト型化合物の屈折率が樹脂の屈折率に近いと、得られる樹脂組成物において解像性が良好となるため、好ましい。   Moreover, as a perovskite type compound other than barium titanate, it is preferable to use a compound having a refractive index of 0.4 to 1.0 as an absolute value of a difference from the refractive index of the carboxyl group-containing resin. If the difference between the refractive index of the carboxyl group-containing resin and the refractive index of the perovskite type compound other than barium titanate is within the above range, the resolution will be better. That is, the refractive index of the resin is generally 1.5 to 1.6, but if the refractive index of the perovskite type compound is close to the refractive index of the resin, the resulting resin composition has good resolution. ,preferable.

特には、ペロブスカイト型化合物として、チタン酸バリウムとジルコン酸カルシウムとの組合せを用いることで、屈折率の点からも、高誘電率および高解像性が良好に得られ、好ましい。   In particular, it is preferable to use a combination of barium titanate and calcium zirconate as the perovskite type compound because a high dielectric constant and high resolution can be obtained well from the viewpoint of refractive index.

このようなペロブスカイト型化合物は、その平均粒子径が0.01〜1.0μmであることが好ましく、0.05〜0.5μmであることがより好ましい。平均粒子径がこの範囲内であるペロブスカイト型化合物を用いることで、解像性をより高めることができる。平均粒子径は、例えば、SEM(走査型電子顕微鏡)写真を用いて測定することができる。   Such a perovskite compound preferably has an average particle size of 0.01 to 1.0 μm, and more preferably 0.05 to 0.5 μm. By using a perovskite type compound having an average particle diameter within this range, the resolution can be further improved. An average particle diameter can be measured using a SEM (scanning electron microscope) photograph, for example.

このようなペロブスカイト型化合物は、その比表面積が0.1〜50m/gであることが好ましく、2〜30m/gであることがより好ましい。 Such a perovskite compound preferably has a specific surface area of 0.1 to 50 m 2 / g, and more preferably 2 to 30 m 2 / g.

このようなペロブスカイト型化合物の形状としては、円柱状、リング状、球状、立方体形状、ハニカム状等が挙げられるが、無機フィラーの高充填の観点から、球状が好ましい。   Examples of the shape of such a perovskite type compound include a columnar shape, a ring shape, a spherical shape, a cubic shape, and a honeycomb shape. From the viewpoint of high filling with an inorganic filler, a spherical shape is preferable.

本発明において、ペロブスカイト型化合物の配合量は、全組成物中に、固形分基準で5〜80質量%であることが好ましく、20〜80質量%がより好ましく、30〜70質量%であることがさらに好ましい。ペロブスカイト型化合物の配合量がこのような範囲内であれば、目的の高誘電率および高解像性を容易に得ることができる。   In the present invention, the blending amount of the perovskite type compound is preferably 5 to 80% by mass, more preferably 20 to 80% by mass, and more preferably 30 to 70% by mass in the total composition. Is more preferable. If the blending amount of the perovskite compound is within such a range, the desired high dielectric constant and high resolution can be easily obtained.

また、本発明において、チタン酸バリウムとチタン酸バリウム以外のペロブスカイト型化合物との配合比率は、チタン酸バリウム:チタン酸バリウム以外のペロブスカイト型化合物=1:99〜99:1であることが好ましく、10:90〜90:10であることがより好ましく、25:75〜75:25であることがさらに好ましい。配合比率がこのような範囲内であれば、目的の高誘電率および高解像性を容易に得ることができる。   In the present invention, the mixing ratio of barium titanate and the perovskite type compound other than barium titanate is preferably barium titanate: perovskite type compound other than barium titanate = 1: 99 to 99: 1. It is more preferable that it is 10: 90-90: 10, and it is further more preferable that it is 25: 75-75: 25. If the blending ratio is within such a range, the desired high dielectric constant and high resolution can be easily obtained.

[ペロブスカイト型化合物以外のフィラー]
本発明の硬化性樹脂組成物には、その塗膜の物理的強度等を上げるため、ペロブスカイト型化合物以外のフィラーを配合することができる。このようなフィラーとしては、公知慣用の無機または有機フィラーが使用できるが、特に、硫酸バリウム、球状シリカ、タルク、クレイ、カオリン、ハイドロタルサイト、ノイブルグ珪度粒子などが好ましく使用される。さらに、難燃性を得るために金属酸化物、水酸化アルミニウムなどの金属水酸化物を体質顔料フィラーとしても使用することができる。この中でも、炭酸基とのイオン交換によってイオン性不純物を固定化でき、HAST耐性がより優れることより、ハイドロタルサイトを使用することがより好ましい。このような、ペロブスカイト型化合物以外のフィラーの配合量は、組成物全体量の20質量%以下が好ましく、より好ましくは0.1〜10質量%である。フィラーの配合量がこのような範囲内であれば、塗布、成形性により優れ、良好な硬化物が得られる。
[Fillers other than perovskite type compounds]
In the curable resin composition of the present invention, a filler other than the perovskite type compound can be blended in order to increase the physical strength of the coating film. As such a filler, known and commonly used inorganic or organic fillers can be used. In particular, barium sulfate, spherical silica, talc, clay, kaolin, hydrotalcite, Neuburg siliceous particles and the like are preferably used. Furthermore, in order to obtain flame retardancy, metal hydroxides such as metal oxides and aluminum hydroxide can be used as extender pigment fillers. Among these, it is more preferable to use hydrotalcite because ionic impurities can be immobilized by ion exchange with a carbonate group and HAST resistance is more excellent. The amount of filler other than the perovskite type compound is preferably 20% by mass or less, more preferably 0.1 to 10% by mass, based on the total amount of the composition. When the blending amount of the filler is within such a range, it is excellent in coating and moldability, and a good cured product can be obtained.

[カルボキシル基含有樹脂]
本発明の硬化性樹脂組成物を構成するカルボキシル基含有樹脂としては、エチレン性不飽和基を有するカルボキシル基含有樹脂等を用いることができる。このようなカルボキシル基含有樹脂はアルカリ可溶性を有し、本発明の樹脂組成物を、パターニング可能なアルカリ現像型の光硬化性樹脂組成物とすることができるため、センサー面に部品を実装する場合を考慮すると、生産性の観点からも好ましい。
[Carboxyl group-containing resin]
As the carboxyl group-containing resin constituting the curable resin composition of the present invention, a carboxyl group-containing resin having an ethylenically unsaturated group can be used. When such a carboxyl group-containing resin has alkali solubility and the resin composition of the present invention can be used as a patternable alkali-developable photocurable resin composition, when mounting components on the sensor surface Is also preferable from the viewpoint of productivity.

また、本発明において、カルボキシル基含有樹脂としては、特に、水酸基などの高誘電率に寄与する極性基を有するものを用いることが好ましい。例えば、エポキシ樹脂を出発原料として用いたカルボキシル基含有樹脂は、水酸基を有するため樹脂組成物の高誘電率に寄与できるが、樹脂組成物をパッケージ用ソルダーレジストに用いる場合の必要性能である、HAST耐性やPCT耐性に劣ると考えられる。一方、カルボキシル基含有樹脂として共重合樹脂を用いると、HAST耐性やPCT耐性が良好となる。さらに、パッケージ用ソルダーレジストでは、HAST耐性やPCT耐性にも影響を及ぼすことより、不純物としての塩素の含有量が少ない、すなわち、ハロゲンフリーを要求される場合があるため、樹脂組成物をパッケージ用ソルダーレジストに用いる場合には、ハロゲンフリーの樹脂を用いることが好ましい。   In the present invention, it is particularly preferable to use a carboxyl group-containing resin having a polar group that contributes to a high dielectric constant such as a hydroxyl group. For example, a carboxyl group-containing resin using an epoxy resin as a starting material can contribute to the high dielectric constant of the resin composition because it has a hydroxyl group, but is a required performance when the resin composition is used for a solder resist for a package. It is thought that it is inferior to tolerance and PCT tolerance. On the other hand, when a copolymer resin is used as the carboxyl group-containing resin, HAST resistance and PCT resistance are improved. In addition, since the solder resist for a package affects the HAST resistance and PCT resistance, the content of chlorine as an impurity is small, that is, halogen-free may be required. When used for a solder resist, it is preferable to use a halogen-free resin.

エチレン性不飽和結合を有するカルボキシル基含有樹脂の具体例としては、以下に列挙するような化合物(オリゴマーおよびポリマーのいずれでもよい)が挙げられる。
(1)(メタ)アクリル酸等の不飽和カルボン酸と、スチレン、α−メチルスチレン、低級アルキル(メタ)アクリレート、イソブチレン等の不飽和基含有化合物、および、感光性モノマーとの共重合により得られる、エチレン性不飽和基を有するカルボキシル基含有樹脂。なお、低級アルキルとは、炭素原子数1〜5のアルキル基を指す。
(2)脂肪族ジイソシアネート、分岐脂肪族ジイソシアネート、脂環式ジイソシアネート、芳香族ジイソシアネート等のジイソシアネートと、ジメチロールプロピオン酸、ジメチロールブタン酸等のカルボキシル基含有ジアルコール化合物およびポリカーボネート系ポリオール、ポリエーテル系ポリオール、ポリエステル系ポリオール、ポリオレフィン系ポリオール、アクリル系ポリオール、ビスフェノールA系アルキレンオキシド付加体ジオール、フェノール性ヒドロキシル基およびアルコール性ヒドロキシル基を有する化合物等のジオール化合物の重付加反応によるカルボキシル基含有ウレタン樹脂の合成中に、ヒドロキシアルキル(メタ)アクリレート等の分子中に1つの水酸基と1つ以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物を加え、末端(メタ)アクリル化した、エチレン性不飽和基を有するカルボキシル基含有ポリウレタン樹脂。
(3)脂肪族ジイソシアネート、分岐脂肪族ジイソシアネート、脂環式ジイソシアネート、芳香族ジイソシアネート等のジイソシアネート化合物と、ポリカーボネート系ポリオール、ポリエーテル系ポリオール、ポリエステル系ポリオール、ポリオレフィン系ポリオール、アクリル系ポリオール、ビスフェノールA系アルキレンオキシド付加体ジオール、フェノール性ヒドロキシル基およびアルコール性ヒドロキシル基を有する化合物等のジオール化合物の重付加反応によるウレタン樹脂の末端に酸無水物を反応させてなる末端カルボキシル基含有ウレタン樹脂の合成中に、ヒドロキシアルキル(メタ)アクリレート等の分子中に1つの水酸基と1つ以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物を加え、末端(メタ)アクリル化した、エチレン性不飽和基を有するカルボキシル基含有ポリウレタン樹脂。
(4)ジイソシアネートと、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ビキシレノール型エポキシ樹脂、ビフェノール型エポキシ樹脂等の2官能エポキシ樹脂の(メタ)アクリレートもしくはその部分酸無水物変性物、カルボキシル基含有ジアルコール化合物およびジオール化合物の重付加反応による、エチレン性不飽和基を有するカルボキシル基含有ポリウレタン樹脂。
(5)上記(4)の樹脂の合成中に、ヒドロキシアルキル(メタ)アクリレート等の分子中に1つの水酸基と1つ以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物を加え、末端(メタ)アクリル化した、エチレン性不飽和基を有するカルボキシル基含有ポリウレタン樹脂。
(6)上記(2)または(4)の樹脂の合成中に、イソホロンジイソシアネートとペンタエリスリトールトリアクリレートの等モル反応物など、分子中に1つのイソシアネート基と1つ以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物を加え、末端(メタ)アクリル化した、エチレン性不飽和基を有するカルボキシル基含有ポリウレタン樹脂。
(7)多官能エポキシ樹脂に(メタ)アクリル酸を反応させ、側鎖に存在する水酸基に無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸等の2塩基酸無水物を付加させた、エチレン性不飽和基を有するカルボキシル基含有樹脂。ここで、多官能エポキシ樹脂は固形であることが好ましい。
(8)2官能エポキシ樹脂の水酸基をさらにエピクロロヒドリンでエポキシ化した多官能エポキシ樹脂に(メタ)アクリル酸を反応させ、生じた水酸基に2塩基酸無水物を付加させた、エチレン性不飽和基を有するカルボキシル基含有樹脂。ここで、2官能エポキシ樹脂は固形であることが好ましい。
(9)2官能オキセタン樹脂にジカルボン酸を反応させ、生じた1級の水酸基に2塩基酸無水物を付加させた、エチレン性不飽和基を有するカルボキシル基含有樹脂。
(10)1分子中に複数のフェノール性水酸基を有する化合物とエチレンオキシド、プロピレンオキシドなどのアルキレンオキシドとを反応させて得られる反応生成物に不飽和基含有モノカルボン酸を反応させ、得られる反応生成物に多塩基酸無水物を反応させて得られる、エチレン性不飽和基を有するカルボキシル基含有樹脂。
(11)1分子中に複数のフェノール性水酸基を有する化合物とエチレンカーボネート、プロピレンカーボネートなどの環状カーボネート化合物とを反応させて得られる反応生成物に不飽和基含有モノカルボン酸を反応させ、得られる反応生成物に多塩基酸無水物を反応させて得られる、エチレン性不飽和基を有するカルボキシル基含有樹脂。
(12)1分子中に複数のエポキシ基を有するエポキシ化合物に、p−ヒドロキシフェネチルアルコール等の1分子中に少なくとも1個のアルコール性水酸基と1個のフェノール性水酸基を有する化合物と、(メタ)アクリル酸等の不飽和基含有モノカルボン酸とを反応させ、得られた反応生成物のアルコール性水酸基に対して、無水マレイン酸、テトラヒドロ無水フタル酸、無水トリメリット酸、無水ピロメリット酸、アジピン酸等の多塩基酸無水物を反応させて得られる、エチレン性不飽和基を有するカルボキシル基含有樹脂。
(13)上記(1)〜(12)のいずれかの樹脂にさらにグリシジル(メタ)アクリレート、α−メチルグリシジル(メタ)アクリレート等の分子中に1つのエポキシ基と1つ以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物を付加してなる、エチレン性不飽和基を有するカルボキシル基含有樹脂。
Specific examples of the carboxyl group-containing resin having an ethylenically unsaturated bond include compounds as listed below (any of oligomers and polymers).
(1) Obtained by copolymerization of an unsaturated carboxylic acid such as (meth) acrylic acid, an unsaturated group-containing compound such as styrene, α-methylstyrene, lower alkyl (meth) acrylate, and isobutylene, and a photosensitive monomer. A carboxyl group-containing resin having an ethylenically unsaturated group. The lower alkyl refers to an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms.
(2) Diisocyanates such as aliphatic diisocyanates, branched aliphatic diisocyanates, alicyclic diisocyanates, and aromatic diisocyanates; carboxyl group-containing dialcohol compounds such as dimethylolpropionic acid and dimethylolbutanoic acid, polycarbonate polyols, and polyethers Of a carboxyl group-containing urethane resin by a polyaddition reaction of a diol compound such as a polyol, a polyester-based polyol, a polyolefin-based polyol, an acrylic polyol, a bisphenol A-based alkylene oxide adduct diol, a compound having a phenolic hydroxyl group and an alcoholic hydroxyl group During the synthesis, a compound having one hydroxyl group and one or more (meth) acryloyl groups in a molecule such as hydroxyalkyl (meth) acrylate For example, terminal (meth) were acrylated, carboxyl group-containing polyurethane resin having an ethylenically unsaturated group.
(3) Diisocyanate compounds such as aliphatic diisocyanates, branched aliphatic diisocyanates, alicyclic diisocyanates, aromatic diisocyanates, polycarbonate polyols, polyether polyols, polyester polyols, polyolefin polyols, acrylic polyols, bisphenol A systems During the synthesis of terminal carboxyl group-containing urethane resin by reacting acid anhydride with the terminal of urethane resin by polyaddition reaction of diol compounds such as alkylene oxide adduct diol, compounds having phenolic hydroxyl group and alcoholic hydroxyl group A compound having one hydroxyl group and one or more (meth) acryloyl groups in a molecule such as hydroxyalkyl (meth) acrylate, and terminal (meth) acrylated, Carboxyl group-containing polyurethane resin having a down unsaturated group.
(4) Diisocyanate and bifunctional epoxy resin such as bisphenol A type epoxy resin, hydrogenated bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, bixylenol type epoxy resin, biphenol type epoxy resin ( A carboxyl group-containing polyurethane resin having an ethylenically unsaturated group by a polyaddition reaction of a meth) acrylate or a partially acid anhydride-modified product thereof, a carboxyl group-containing dialcohol compound and a diol compound.
(5) During the synthesis of the resin of (4) above, a compound having one hydroxyl group and one or more (meth) acryloyl groups in a molecule such as hydroxyalkyl (meth) acrylate is added, and terminal (meth) acrylation is performed. A carboxyl group-containing polyurethane resin having an ethylenically unsaturated group.
(6) During the synthesis of the resin of the above (2) or (4), one isocyanate group and one or more (meth) acryloyl groups are introduced into the molecule, such as an equimolar reaction product of isophorone diisocyanate and pentaerythritol triacrylate. The carboxyl group-containing polyurethane resin which has the ethylenically unsaturated group which added the compound which has and was terminally (meth) acrylated.
(7) Ethylene in which (meth) acrylic acid is reacted with a polyfunctional epoxy resin, and a dibasic acid anhydride such as phthalic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride is added to the hydroxyl group present in the side chain A carboxyl group-containing resin having an unsaturated group. Here, the polyfunctional epoxy resin is preferably solid.
(8) A polyfunctional epoxy resin obtained by further epoxidizing the hydroxyl group of a bifunctional epoxy resin with epichlorohydrin is reacted with (meth) acrylic acid, and a dibasic acid anhydride is added to the resulting hydroxyl group. A carboxyl group-containing resin having a saturated group. Here, the bifunctional epoxy resin is preferably solid.
(9) A carboxyl group-containing resin having an ethylenically unsaturated group obtained by reacting a dicarboxylic acid with a bifunctional oxetane resin and adding a dibasic acid anhydride to the resulting primary hydroxyl group.
(10) Reaction product obtained by reacting a reaction product obtained by reacting a compound having a plurality of phenolic hydroxyl groups in one molecule with an alkylene oxide such as ethylene oxide or propylene oxide, with an unsaturated group-containing monocarboxylic acid. A carboxyl group-containing resin having an ethylenically unsaturated group, obtained by reacting a product with a polybasic acid anhydride.
(11) Obtained by reacting an unsaturated group-containing monocarboxylic acid with a reaction product obtained by reacting a compound having a plurality of phenolic hydroxyl groups in one molecule with a cyclic carbonate compound such as ethylene carbonate or propylene carbonate. A carboxyl group-containing resin having an ethylenically unsaturated group, obtained by reacting a reaction product with a polybasic acid anhydride.
(12) An epoxy compound having a plurality of epoxy groups in one molecule, a compound having at least one alcoholic hydroxyl group and one phenolic hydroxyl group in one molecule such as p-hydroxyphenethyl alcohol, and (meth) Reacting with an unsaturated group-containing monocarboxylic acid such as acrylic acid, and then reacting with the alcoholic hydroxyl group of the resulting reaction product, maleic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, trimellitic anhydride, pyromellitic anhydride, adipine A carboxyl group-containing resin having an ethylenically unsaturated group, obtained by reacting a polybasic acid anhydride such as an acid.
(13) One epoxy group and one or more (meth) acryloyl in a molecule such as glycidyl (meth) acrylate, α-methylglycidyl (meth) acrylate and the like in any one of the resins (1) to (12) above A carboxyl group-containing resin having an ethylenically unsaturated group, which is obtained by adding a compound having a group.

上記エチレン性不飽和基を有するカルボキシル基含有樹脂の中でも、エポキシ樹脂を出発原料として用いていないカルボキシル基含有樹脂を好適に用いることができる。従って、上述したカルボキシル基含有樹脂の具体例のうち、(2),(3),(10),(11)のいずれか1種以上のエチレン性不飽和基を有するカルボキシル基含有樹脂を好適に用いることができる。中でも、(10)のエチレン性不飽和基を有するカルボキシル基含有樹脂を用いることが特に好ましい。   Among the carboxyl group-containing resins having an ethylenically unsaturated group, a carboxyl group-containing resin that does not use an epoxy resin as a starting material can be suitably used. Therefore, among the specific examples of the carboxyl group-containing resin described above, a carboxyl group-containing resin having at least one ethylenically unsaturated group of (2), (3), (10), and (11) is preferably used. Can be used. Among these, it is particularly preferable to use the carboxyl group-containing resin (10) having an ethylenically unsaturated group.

このように、エポキシ樹脂を出発原料として用いないことにより、塩素イオン不純物量を例えば100ppm以下と非常に少なく抑えることができる。本発明において好適に用いられるエチレン性不飽和基を有するカルボキシル基含有樹脂の塩素イオン不純物含有量は好ましくは0〜100ppm、より好ましくは0〜50ppm、さらに好ましくは0〜30ppmである。塩素イオン不純物含有量を少量に抑えられる結果、HAST耐性のような信頼性試験において、高い信頼性が得られる。   Thus, by not using an epoxy resin as a starting material, the amount of chlorine ion impurities can be suppressed to a very low value, for example, 100 ppm or less. The chlorine ion impurity content of the carboxyl group-containing resin having an ethylenically unsaturated group that is suitably used in the present invention is preferably 0 to 100 ppm, more preferably 0 to 50 ppm, and still more preferably 0 to 30 ppm. As a result of the chloride ion impurity content being suppressed to a small amount, high reliability is obtained in reliability tests such as HAST resistance.

上記したようなエチレン性不飽和基を有するカルボキシル基含有樹脂は、バックボーン・ポリマーの側鎖に多数のカルボキシル基を有するため、アルカリ水溶液による現像が可能である。   Since the carboxyl group-containing resin having an ethylenically unsaturated group as described above has a large number of carboxyl groups in the side chain of the backbone polymer, development with an alkaline aqueous solution is possible.

また、上記カルボキシル基含有樹脂の酸価は、20〜200mgKOH/gの範囲が好ましく、より好ましくは40〜150mgKOH/gの範囲である。上記カルボキシル基含有樹脂の酸価が20mgKOH/g以上の場合には、塗膜の密着性が良好になり、アルカリ現像性が良好になる。一方、酸価が200mgKOH/g以下の場合には、表面硬化性に優れ、現像液による露光部の現像ダメージを低減することができる。   Moreover, the acid value of the said carboxyl group-containing resin has the preferable range of 20-200 mgKOH / g, More preferably, it is the range of 40-150 mgKOH / g. When the acid value of the carboxyl group-containing resin is 20 mgKOH / g or more, the adhesion of the coating film is good and the alkali developability is good. On the other hand, when the acid value is 200 mgKOH / g or less, it has excellent surface curability and can reduce development damage of the exposed portion by the developer.

上記カルボキシル基含有樹脂の重量平均分子量は、樹脂骨格により異なるが、一般的に2,000〜150,000であることが好ましい。重量平均分子量が2,000以上の場合では、指触乾燥性に優れた乾燥塗膜が得られる。一方、重量平均分子量が150,000以下の場合では、アルカリ現像性が良好になり、貯蔵安定性も良好となる。より好ましくは、5,000〜100,000である。   The weight average molecular weight of the carboxyl group-containing resin is preferably 2,000 to 150,000, although it varies depending on the resin skeleton. When the weight average molecular weight is 2,000 or more, a dry coating film excellent in dryness to touch can be obtained. On the other hand, when the weight average molecular weight is 150,000 or less, the alkali developability is good and the storage stability is also good. More preferably, it is 5,000-100,000.

このようなカルボキシル基含有樹脂の配合量は、全組成物中に、固形分基準で10〜70質量%が好ましく、10〜50質量%がより好ましく、15〜40質量%がさらに好ましい。カルボキシル基含有樹脂の配合量がこのような範囲内であれば、塗膜強度が低下せず、増粘や、作業性の低下が起こらない。   The amount of such a carboxyl group-containing resin is preferably 10 to 70% by mass, more preferably 10 to 50% by mass, and still more preferably 15 to 40% by mass based on the solid content in the entire composition. If the blending amount of the carboxyl group-containing resin is within such a range, the coating film strength does not decrease, and neither thickening nor workability deterioration occurs.

[光重合開始剤]
本発明の硬化性樹脂組成物に用いられる光重合開始剤としては、光重合開始剤や光ラジカル発生剤として公知の光重合開始剤であれば、いずれのものを用いることもできる。
[Photopolymerization initiator]
As the photopolymerization initiator used in the curable resin composition of the present invention, any photopolymerization initiator known as a photopolymerization initiator or a photoradical generator can be used.

光重合開始剤としては、例えば、ビス−(2,6−ジクロロベンゾイル)フェニルフォスフィンオキサイド、ビス−(2,6−ジクロロベンゾイル)−2,5−ジメチルフェニルフォスフィンオキサイド、ビス−(2,6−ジクロロベンゾイル)−4−プロピルフェニルフォスフィンオキサイド、ビス−(2,6−ジクロロベンゾイル)−1−ナフチルフォスフィンオキサイド、ビス−(2,6−ジメトキシベンゾイル)フェニルフォスフィンオキサイド、ビス−(2,6−ジメトキシベンゾイル)−2,4,4−トリメチルペンチルフォスフィンオキサイド、ビス−(2,6−ジメトキシベンゾイル)−2,5−ジメチルフェニルフォスフィンオキサイド、ビス−(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェニルフォスフィンオキサイド(BASFジャパン社製IRGACURE819)等のビスアシルフォスフィンオキサイド類;2,6−ジメトキシベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド、2,6−ジクロロベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド、2,4,6−トリメチルベンゾイルフェニルフォスフィン酸メチルエステル、2−メチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド、ピバロイルフェニルフォスフィン酸イソプロピルエステル、2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド(BASFジャパン社製IRGACURE TPO)等のモノアシルフォスフィンオキサイド類;1−ヒドロキシ−シクロヘキシルフェニルケトン、1−[4−(2−ヒドロキシエトキシ)−フェニル]−2−ヒドロキシ−2−メチル−1−プロパン−1−オン、2−ヒドロキシ−1−{4−[4−(2−ヒドロキシ−2−メチル−プロピオニル)−ベンジル]フェニル}−2−メチル−プロパン−1−オン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オン等のヒドロキシアセトフェノン類;ベンゾイン、ベンジル、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインn−プロピルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインn−ブチルエーテル等のベンゾイン類;ベンゾインアルキルエーテル類;ベンゾフェノン、p−メチルベンゾフェノン、ミヒラーズケトン、メチルベンゾフェノン、4,4’−ジクロロベンゾフェノン、4,4’−ビスジエチルアミノベンゾフェノン等のベンゾフェノン類;アセトフェノン、2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノン、2,2−ジエトキシ−2−フェニルアセトフェノン、1,1−ジクロロアセトフェノン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノ−1−プロパノン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタノン−1、2−(ジメチルアミノ)−2−[(4−メチルフェニル)メチル)−1−[4−(4−モルホリニル)フェニル]−1−ブタノン、N,N−ジメチルアミノアセトフェノン等のアセトフェノン類;チオキサントン、2−エチルチオキサントン、2−イソプロピルチオキサントン、2,4−ジメチルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2−クロロチオキサントン、2,4−ジイソプロピルチオキサントン等のチオキサントン類;アントラキノン、クロロアントラキノン、2−メチルアントラキノン、2−エチルアントラキノン、2−tert−ブチルアントラキノン、1−クロロアントラキノン、2−アミルアントラキノン、2−アミノアントラキノン等のアントラキノン類;アセトフェノンジメチルケタール、ベンジルジメチルケタール等のケタール類;エチル−4−ジメチルアミノベンゾエート、2−(ジメチルアミノ)エチルベンゾエート、p−ジメチル安息香酸エチルエステル等の安息香酸エステル類;1,2−オクタンジオン,1−[4−(フェニルチオ)−,2−(O−ベンゾイルオキシム)]、エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(O−アセチルオキシム)等のオキシムエステル類;ビス(η5−2,4−シクロペンタジエン−1−イル)−ビス(2,6−ジフルオロ−3−(1H−ピロール−1−イル)フェニル)チタニウム、ビス(シクロペンタジエニル)−ビス[2,6−ジフルオロ−3−(2−(1−ピル−1−イル)エチル)フェニル]チタニウム等のチタノセン類;フェニルジスルフィド2−ニトロフルオレン、ブチロイン、アニソインエチルエーテル、アゾビスイソブチロニトリル、テトラメチルチウラムジスルフィド等を挙げることができる。中でも、モノアシルフォスフィンオキサイド類、オキシムエステル類が好ましく、2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド、エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(O−アセチルオキシム)がより好ましい。光重合開始剤は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。   Examples of the photopolymerization initiator include bis- (2,6-dichlorobenzoyl) phenylphosphine oxide, bis- (2,6-dichlorobenzoyl) -2,5-dimethylphenylphosphine oxide, bis- (2, 6-dichlorobenzoyl) -4-propylphenylphosphine oxide, bis- (2,6-dichlorobenzoyl) -1-naphthylphosphine oxide, bis- (2,6-dimethoxybenzoyl) phenylphosphine oxide, bis- ( 2,6-dimethoxybenzoyl) -2,4,4-trimethylpentylphosphine oxide, bis- (2,6-dimethoxybenzoyl) -2,5-dimethylphenylphosphine oxide, bis- (2,4,6- Trimethylbenzoyl) -phenylphosphine oxide Bisacylphosphine oxides such as IRGACURE 819) manufactured by BASF Japan; 2,6-dimethoxybenzoyldiphenylphosphine oxide, 2,6-dichlorobenzoyldiphenylphosphine oxide, methyl 2,4,6-trimethylbenzoylphenylphosphinate Monoacylphosphine oxides such as ester, 2-methylbenzoyldiphenylphosphine oxide, pivaloylphenylphosphinic acid isopropyl ester, 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide (IRGACURE TPO manufactured by BASF Japan); 1-hydroxy-cyclohexyl phenyl ketone, 1- [4- (2-hydroxyethoxy) -phenyl] -2-hydroxy-2-methyl-1-propyl Lopan-1-one, 2-hydroxy-1- {4- [4- (2-hydroxy-2-methyl-propionyl) -benzyl] phenyl} -2-methyl-propan-1-one, 2-hydroxy-2 -Hydroxyacetophenones such as methyl-1-phenylpropan-1-one; benzoins such as benzoin, benzyl, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin n-propyl ether, benzoin isopropyl ether, benzoin n-butyl ether; benzoin alkyl Ethers; benzophenones such as benzophenone, p-methylbenzophenone, Michler's ketone, methylbenzophenone, 4,4'-dichlorobenzophenone, 4,4'-bisdiethylaminobenzophenone; acetophenone, 2,2-dimethoxy 2-phenylacetophenone, 2,2-diethoxy-2-phenylacetophenone, 1,1-dichloroacetophenone, 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholino- 1-propanone, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone-1, 2- (dimethylamino) -2-[(4-methylphenyl) methyl) -1- [4 Acetophenones such as-(4-morpholinyl) phenyl] -1-butanone and N, N-dimethylaminoacetophenone; thioxanthone, 2-ethylthioxanthone, 2-isopropylthioxanthone, 2,4-dimethylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone 2-chlorothioxanthone, 2,4 Thioxanthones such as diisopropylthioxanthone; anthraquinones such as anthraquinone, chloroanthraquinone, 2-methylanthraquinone, 2-ethylanthraquinone, 2-tert-butylanthraquinone, 1-chloroanthraquinone, 2-amylanthraquinone, 2-aminoanthraquinone; acetophenone dimethyl Ketals such as ketal and benzyldimethyl ketal; benzoates such as ethyl-4-dimethylaminobenzoate, 2- (dimethylamino) ethylbenzoate and p-dimethylbenzoic acid ethyl ester; 1,2-octanedione, 1- [4- (phenylthio)-, 2- (O-benzoyloxime)], ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl]-, Oxime esters such as 1- (O-acetyloxime); bis (η5-2,4-cyclopentadien-1-yl) -bis (2,6-difluoro-3- (1H-pyrrol-1-yl) phenyl ) Titanocenes such as titanium, bis (cyclopentadienyl) -bis [2,6-difluoro-3- (2- (1-pyr-1-yl) ethyl) phenyl] titanium; phenyl disulfide 2-nitrofluorene, Examples include butyroin, anisoin ethyl ether, azobisisobutyronitrile, tetramethylthiuram disulfide, and the like. Of these, monoacylphosphine oxides and oxime esters are preferable, and 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide, ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazole- 3-yl]-, 1- (O-acetyloxime) is more preferred. A photoinitiator may be used individually by 1 type and may be used in combination of 2 or more type.

光重合開始剤の配合量は、カルボキシル基含有樹脂100質量部に対し、0.1〜20質量部とすることが好ましく、0.5〜15質量部とすることがより好ましい。光重合開始剤の配合量が0.1質量部以上の場合、表面硬化性が良好となり、光重合開始剤の配合量が20質量部以下の場合、ハレーションが生じにくく良好な解像性が得られる。   It is preferable to set it as 0.1-20 mass parts with respect to 100 mass parts of carboxyl group-containing resin, and, as for the compounding quantity of a photoinitiator, it is more preferable to set it as 0.5-15 mass parts. When the blending amount of the photopolymerization initiator is 0.1 parts by mass or more, the surface curability is good, and when the blending amount of the photopolymerization initiator is 20 parts by mass or less, halation hardly occurs and good resolution is obtained. It is done.

[熱硬化性成分]
本発明の樹脂組成物には、熱硬化性成分を含有させることができる。熱硬化性成分は、カルボキシル基含有樹脂と反応するものであればよく、エポキシ化合物、アミノ基を有する化合物、オキセタン化合物、イソシアネート化合物等が挙げられる。中でも、エポキシ化合物が好ましい。
[Thermosetting component]
The resin composition of the present invention can contain a thermosetting component. The thermosetting component only needs to react with the carboxyl group-containing resin, and examples thereof include an epoxy compound, a compound having an amino group, an oxetane compound, and an isocyanate compound. Among these, an epoxy compound is preferable.

エポキシ化合物としては、エポキシ化植物油、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ハイドロキノン型エポキシ樹脂、ビスフェノール型エポキシ樹脂、チオエーテル型エポキシ樹脂、ブロム化エポキシ樹脂、ノボラック型エポキシ樹脂、ビフェノールノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂、グリシジルアミン型エポキシ樹脂、ヒダントイン型エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、トリヒドロキシフェニルメタン型エポキシ樹脂、ビキシレノール型もしくはビフェノール型エポキシ樹脂またはそれらの混合物、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ビスフェノールAノボラック型エポキシ樹脂、テトラフェニロールエタン型エポキシ樹脂;複素環式エポキシ樹脂、ジグリシジルフタレート樹脂、テトラグリシジルキシレノイルエタン樹脂、ナフタレン基含有エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン骨格を有するエポキシ樹脂、グリシジルメタアクリレート共重合系エポキシ樹脂、シクロヘキシルマレイミドとグリシジルメタアクリレートの共重合エポキシ樹脂、エポキシ変性のポリブタジエンゴム誘導体、CTBN変性エポキシ樹脂等が挙げられるが、これらに限られるものではない。反応性の観点より、2官能以上のエポキシ化合物が好ましい。   Epoxy compounds include epoxidized vegetable oil, bisphenol A type epoxy resin, hydroquinone type epoxy resin, bisphenol type epoxy resin, thioether type epoxy resin, brominated epoxy resin, novolac type epoxy resin, biphenol novolac type epoxy resin, bisphenol F type epoxy. Resin, hydrogenated bisphenol A type epoxy resin, glycidylamine type epoxy resin, hydantoin type epoxy resin, alicyclic epoxy resin, trihydroxyphenylmethane type epoxy resin, bixylenol type or biphenol type epoxy resin or a mixture thereof, bisphenol S Type epoxy resin, bisphenol A novolac type epoxy resin, tetraphenylolethane type epoxy resin; heterocyclic epoxy resin, diglycidyl phthalate Resin, tetraglycidylxylenoylethane resin, naphthalene group-containing epoxy resin, epoxy resin having dicyclopentadiene skeleton, glycidyl methacrylate copolymer epoxy resin, cyclohexylmaleimide and glycidyl methacrylate copolymer epoxy resin, epoxy modified Examples thereof include, but are not limited to, polybutadiene rubber derivatives and CTBN-modified epoxy resins. From the viewpoint of reactivity, a bifunctional or higher functional epoxy compound is preferred.

アミノ基を有する化合物としては、メラミン誘導体、ベンゾグアナミン誘導体等のアミノ樹脂等が挙げられる。例えば、メチロールメラミン化合物、メチロールベンゾグアナミン化合物、メチロールグリコールウリル化合物およびメチロール尿素化合物等がある。さらに、アルコキシメチル化メラミン化合物、アルコキシメチル化ベンゾグアナミン化合物、アルコキシメチル化グリコールウリル化合物およびアルコキシメチル化尿素化合物は、それぞれのメチロールメラミン化合物、メチロールベンゾグアナミン化合物、メチロールグリコールウリル化合物およびメチロール尿素化合物のメチロール基をアルコキシメチル基に変換することにより得られる。このアルコキシメチル基の種類については特に限定されるものではなく、例えば、メトキシメチル基、エトキシメチル基、プロポキシメチル基、ブトキシメチル基等とすることができる。特に、人体や環境に優しい、ホルマリン濃度が0.2%以下のメラミン誘導体が好ましい。   Examples of the compound having an amino group include amino resins such as melamine derivatives and benzoguanamine derivatives. For example, there are methylol melamine compounds, methylol benzoguanamine compounds, methylol glycoluril compounds, methylol urea compounds, and the like. Furthermore, the alkoxymethylated melamine compound, alkoxymethylated benzoguanamine compound, alkoxymethylated glycoluril compound and alkoxymethylated urea compound have the methylol group of the respective methylolmelamine compound, methylolbenzoguanamine compound, methylolglycoluril compound and methylolurea compound. Obtained by conversion to an alkoxymethyl group. The type of the alkoxymethyl group is not particularly limited, and can be, for example, a methoxymethyl group, an ethoxymethyl group, a propoxymethyl group, a butoxymethyl group, or the like. In particular, melamine derivatives having a formalin concentration of 0.2% or less that are friendly to the human body and the environment are preferable.

オキセタン化合物としては、ビス[(3−メチル−3−オキセタニルメトキシ)メチル]エーテル、ビス[(3−エチル−3−オキセタニルメトキシ)メチル]エーテル、1,4−ビス[(3−メチル−3−オキセタニルメトキシ)メチル]ベンゼン、1,4−ビス[(3−エチル−3−オキセタニルメトキシ)メチル]ベンゼン、(3−メチル−3−オキセタニル)メチルアクリレート、(3−エチル−3−オキセタニル)メチルアクリレート、(3−メチル−3−オキセタニル)メチルメタクリレート、(3−エチル−3−オキセタニル)メチルメタクリレートやそれらのオリゴマーまたは共重合体等の多官能オキセタン類の他、オキセタンアルコールとノボラック樹脂、ポリ(p−ヒドロキシスチレン)、カルド型ビスフェノール類、カリックスアレーン類、カリックスレゾルシンアレーン類、またはシルセスキオキサン等の水酸基を有する樹脂とのエーテル化物等が挙げられる。その他、オキセタン環を有する不飽和モノマーとアルキル(メタ)アクリレートとの共重合体等も挙げられる。   Examples of the oxetane compound include bis [(3-methyl-3-oxetanylmethoxy) methyl] ether, bis [(3-ethyl-3-oxetanylmethoxy) methyl] ether, 1,4-bis [(3-methyl-3- Oxetanylmethoxy) methyl] benzene, 1,4-bis [(3-ethyl-3-oxetanylmethoxy) methyl] benzene, (3-methyl-3-oxetanyl) methyl acrylate, (3-ethyl-3-oxetanyl) methyl acrylate In addition to polyfunctional oxetanes such as (3-methyl-3-oxetanyl) methyl methacrylate, (3-ethyl-3-oxetanyl) methyl methacrylate and oligomers or copolymers thereof, oxetane alcohol and novolak resin, poly (p -Hydroxystyrene), cardo-type bisphenols, Calixarene compounds, calix resorcin arenes or etherified products such as the resin having a hydroxyl group such as silsesquioxane and the like. In addition, a copolymer of an unsaturated monomer having an oxetane ring and an alkyl (meth) acrylate is also included.

イソシアネート化合物としては、分子中に複数のイソシアネート基を有するポリイソシアネート化合物を用いることができる。ポリイソシアネート化合物としては、例えば、芳香族ポリイソシアネート、脂肪族ポリイソシアネートまたは脂環式ポリイソシアネートが用いられる。芳香族ポリイソシアネートの具体例としては、4,4’−ジフェニルメタンジイソシアネート、2,4−トリレンジイソシアネート、2,6−トリレンジイソシアネート、ナフタレン−1,5−ジイソシアネート、o−キシリレンジイソシアネート、m−キシリレンジイソシアネートおよび2,4−トリレンダイマーが挙げられる。脂肪族ポリイソシアネートの具体例としては、テトラメチレンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、メチレンジイソシアネート、トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート、4,4−メチレンビス(シクロヘキシルイソシアネート)およびイソホロンジイソシアネートが挙げられる。脂環式ポリイソシアネートの具体例としてはビシクロヘプタントリイソシアネートが挙げられる。また、先に挙げられたイソシアネート化合物のアダクト体、ビューレット体およびイソシアヌレート体が挙げられる。イソシアネート化合物は、イソシアネート基がブロック剤により保護されて一時的に不活性化されたブロックイソシアネート化合物であってもよい。   As the isocyanate compound, a polyisocyanate compound having a plurality of isocyanate groups in the molecule can be used. As the polyisocyanate compound, for example, aromatic polyisocyanate, aliphatic polyisocyanate or alicyclic polyisocyanate is used. Specific examples of the aromatic polyisocyanate include 4,4′-diphenylmethane diisocyanate, 2,4-tolylene diisocyanate, 2,6-tolylene diisocyanate, naphthalene-1,5-diisocyanate, o-xylylene diisocyanate, m- Examples include xylylene diisocyanate and 2,4-tolylene dimer. Specific examples of the aliphatic polyisocyanate include tetramethylene diisocyanate, hexamethylene diisocyanate, methylene diisocyanate, trimethylhexamethylene diisocyanate, 4,4-methylenebis (cyclohexyl isocyanate), and isophorone diisocyanate. Specific examples of the alicyclic polyisocyanate include bicycloheptane triisocyanate. Moreover, the adduct body, burette body, and isocyanurate body of the isocyanate compound mentioned above are mentioned. The isocyanate compound may be a blocked isocyanate compound in which an isocyanate group is protected by a blocking agent and temporarily deactivated.

熱硬化性成分は、上記以外の化合物であってもよく、マレイミド化合物、ベンゾオキサジン樹脂、カルボジイミド樹脂、シクロカーボネート化合物、エピスルフィド樹脂等の公知慣用の熱硬化性成分を用いることができる。熱硬化性成分は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。   The thermosetting component may be a compound other than those described above, and known and commonly used thermosetting components such as a maleimide compound, a benzoxazine resin, a carbodiimide resin, a cyclocarbonate compound, and an episulfide resin can be used. A thermosetting component may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more type.

熱硬化性成分は、固形分換算で、カルボキシル基含有樹脂のカルボキシル基1当量に対し、カルボキシル基と反応する熱硬化性成分の熱硬化性反応基が0.1〜5当量となるような配合量が好ましい。特に、熱硬化性成分がエポキシ樹脂である場合、カルボキシル基含有樹脂のカルボキシル基1当量に対し、エポキシ基が0.3〜3当量であるような配合量が好ましい。この範囲であると、硬化性が向上し、はんだ耐熱性といった一般の諸特性が良好となる。また、十分な強靭性が得られ、保存安定性も低下しない。   The thermosetting component is blended so that the thermosetting reactive group of the thermosetting component that reacts with the carboxyl group is 0.1 to 5 equivalents with respect to 1 equivalent of the carboxyl group of the carboxyl group-containing resin in terms of solid content. An amount is preferred. In particular, when the thermosetting component is an epoxy resin, a blending amount such that the epoxy group is 0.3 to 3 equivalents relative to 1 equivalent of the carboxyl group of the carboxyl group-containing resin is preferable. Within this range, curability is improved and general characteristics such as solder heat resistance are improved. Moreover, sufficient toughness is obtained and storage stability is not lowered.

[感光性モノマー]
本発明の樹脂組成物は、さらに、公知慣用の感光性モノマーを含んでもよい。感光性モノマーは、分子中に1個以上のエチレン性不飽和基を有する化合物である。感光性モノマーは、活性エネルギー線照射によるカルボキシル基含有樹脂の光硬化を助けるものである。
[Photosensitive monomer]
The resin composition of the present invention may further contain a known and commonly used photosensitive monomer. The photosensitive monomer is a compound having one or more ethylenically unsaturated groups in the molecule. The photosensitive monomer assists photocuring of the carboxyl group-containing resin by irradiation with active energy rays.

感光性モノマーとして用いられる化合物としては、例えば、公知慣用のポリエステル(メタ)アクリレート、ポリエーテル(メタ)アクリレート、ウレタン(メタ)アクリレート、カーボネート(メタ)アクリレート、エポキシ(メタ)アクリレート等が挙げられる。具体的には、2−ヒドロキシエチルアクリレート、2−ヒドロキシプロピルアクリレート等のヒドロキシアルキルアクリレート類;エチレングリコール、メトキシテトラエチレングリコール、ポリエチレングリコール、プロピレングリコール等のグリコールのジアクリレート類;N,N−ジメチルアクリルアミド、N−メチロールアクリルアミド、N,N−ジメチルアミノプロピルアクリルアミド等のアクリルアミド類;N,N−ジメチルアミノエチルアクリレート、N,N−ジメチルアミノプロピルアクリレート等のアミノアルキルアクリレート類;ヘキサンジオール、トリメチロールプロパン、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトール、トリス−ヒドロキシエチルイソシアヌレート等の多価アルコールまたはこれらのエチレンオキサイド付加物、プロピレンオキサイド付加物、もしくはε−カプロラクトン付加物等の多価アクリレート類;フェノキシアクリレート、ビスフェノールAジアクリレート、およびこれらのフェノール類のエチレンオキサイド付加物もしくはプロピレンオキサイド付加物等の多価アクリレート類;グリセリンジグリシジルエーテル、グリセリントリグリシジルエーテル、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテル、トリグリシジルイソシアヌレート等のグリシジルエーテルの多価アクリレート類;その他、ポリエーテルポリオール、ポリカーボネートジオール、水酸基末端ポリブタジエン、ポリエステルポリオール等のポリオールを直接アクリレート化、若しくは、ジイソシアネートを介してウレタンアクリレート化したアクリレート類およびメラミンアクリレート、並びに、上記アクリレートに対応する各メタクリレート類等が挙げられる。   Examples of the compound used as the photosensitive monomer include known and commonly used polyester (meth) acrylate, polyether (meth) acrylate, urethane (meth) acrylate, carbonate (meth) acrylate, epoxy (meth) acrylate, and the like. Specifically, hydroxyalkyl acrylates such as 2-hydroxyethyl acrylate and 2-hydroxypropyl acrylate; diacrylates of glycols such as ethylene glycol, methoxytetraethylene glycol, polyethylene glycol, and propylene glycol; N, N-dimethylacrylamide Acrylamides such as N-methylol acrylamide and N, N-dimethylaminopropyl acrylamide; aminoalkyl acrylates such as N, N-dimethylaminoethyl acrylate and N, N-dimethylaminopropyl acrylate; hexanediol, trimethylolpropane, Polyhydric alcohols such as pentaerythritol, dipentaerythritol, tris-hydroxyethyl isocyanurate or the like Multivalent acrylates such as side adducts, propylene oxide adducts, or ε-caprolactone adducts; phenoxy acrylate, bisphenol A diacrylate, and polyvalent acrylates such as ethylene oxide adducts or propylene oxide adducts of these phenols Polyglycerides of glycidyl ethers such as glycerin diglycidyl ether, glycerin triglycidyl ether, trimethylolpropane triglycidyl ether, triglycidyl isocyanurate; other polyether polyols, polycarbonate diols, hydroxyl terminated polybutadienes, polyester polyols, etc. Acrylates obtained by direct acrylated polyol or urethane acrylated via diisocyanate And melamine acrylate, and methacrylates corresponding to the acrylate.

さらに、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂などの多官能エポキシ樹脂に、アクリル酸を反応させたエポキシアクリレート樹脂や、さらにそのエポキシアクリレート樹脂の水酸基に、ペンタエリスリトールトリアクリレートなどのヒドロキシアクリレートとイソホロンジイソシアネートなどのジイソシアネートのハーフウレタン化合物を反応させたエポキシウレタンアクリレート化合物などを感光性モノマーとして用いてもよい。このようなエポキシアクリレート系樹脂は、指触乾燥性を低下させることなく、光硬化性を向上させることができる。   Further, an epoxy acrylate resin obtained by reacting acrylic acid with a polyfunctional epoxy resin such as a cresol novolac type epoxy resin, or a hydroxy acrylate such as pentaerythritol triacrylate and a diisocyanate such as isophorone diisocyanate on the hydroxyl group of the epoxy acrylate resin. An epoxy urethane acrylate compound obtained by reacting a half urethane compound may be used as a photosensitive monomer. Such an epoxy acrylate resin can improve photocurability without deteriorating the touch drying property.

感光性モノマーの配合量は、固形分換算で、カルボキシル基含有樹脂100質量部に対し、好適には0.1〜20質量部、より好適には1〜10質量部である。この範囲であると、光硬化性が向上し、活性エネルギー線照射後のアルカリ現像により、パターン形成が容易となり、また、塗膜強度が向上するからである。   The compounding quantity of the photosensitive monomer is 0.1-20 mass parts suitably with respect to 100 mass parts of carboxyl group-containing resin in solid content conversion, More preferably, it is 1-10 mass parts. This is because, within this range, photocurability is improved, and pattern formation is facilitated and coating film strength is improved by alkali development after irradiation with active energy rays.

[有機溶剤]
本発明の樹脂組成物には、組成物の調製や、基板やキャリアフィルムに塗布する際の粘度調整等の目的で、有機溶剤を含有させることができる。有機溶剤としては、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類;トルエン、キシレン、テトラメチルベンゼン等の芳香族炭化水素類;セロソルブ、メチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、カルビトール、メチルカルビトール、ブチルカルビトール、プロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル等のグリコールエーテル類;酢酸エチル、酢酸ブチル、乳酸ブチル、セロソルブアセテート、ブチルセロソルブアセテート、カルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、炭酸プロピレン等のエステル類;オクタン、デカン等の脂肪族炭化水素類;石油エーテル、石油ナフサ、ソルベントナフサ等の石油系溶剤など、公知慣用の有機溶剤が使用できる。これらの有機溶剤は、単独で、または二種類以上組み合わせて用いることができる。
[Organic solvent]
The resin composition of the present invention may contain an organic solvent for the purpose of preparing the composition and adjusting the viscosity when applied to a substrate or a carrier film. Examples of organic solvents include ketones such as methyl ethyl ketone and cyclohexanone; aromatic hydrocarbons such as toluene, xylene, and tetramethylbenzene; cellosolve, methyl cellosolve, butyl cellosolve, carbitol, methyl carbitol, butyl carbitol, propylene glycol monomethyl ether , Glycol ethers such as dipropylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol diethyl ether, diethylene glycol monomethyl ether acetate, tripropylene glycol monomethyl ether; ethyl acetate, butyl acetate, butyl lactate, cellosolve acetate, butyl cellosolve acetate, carbitol acetate, butylcarby Tall acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, dip Propylene glycol monomethyl ether acetate, esters such as propylene carbonate; octane, aliphatic hydrocarbons decane; petroleum ether, petroleum naphtha, and petroleum solvents such as solvent naphtha, organic solvents conventionally known can be used. These organic solvents can be used alone or in combination of two or more.

[その他の任意成分]
さらに、本発明の樹脂組成物には、電子材料の分野において公知慣用の他の添加剤を配合してもよい。他の添加剤としては、熱硬化触媒、熱重合禁止剤、紫外線吸収剤、シランカップリング剤、可塑剤、難燃剤、帯電防止剤、老化防止剤、抗菌・防黴剤、消泡剤、レベリング剤、増粘剤、密着性付与剤、チキソ性付与剤、着色剤、光開始助剤、増感剤、熱可塑性樹脂、有機フィラー、離型剤、表面処理剤、分散剤、分散助剤、表面改質剤、安定剤、蛍光体等が挙げられる。
[Other optional ingredients]
Further, the resin composition of the present invention may be blended with other known and commonly used additives in the field of electronic materials. Other additives include thermosetting catalysts, thermal polymerization inhibitors, UV absorbers, silane coupling agents, plasticizers, flame retardants, antistatic agents, anti-aging agents, antibacterial / antifungal agents, antifoaming agents, and leveling Agent, thickener, adhesion imparting agent, thixotropic agent, colorant, photoinitiator aid, sensitizer, thermoplastic resin, organic filler, mold release agent, surface treatment agent, dispersant, dispersion aid, Examples include surface modifiers, stabilizers, and phosphors.

本発明の樹脂組成物は、ドライフィルム化して用いても液状として用いてもよい。液状として用いる場合は、1液性でも2液性以上でもよい。   The resin composition of the present invention may be used as a dry film or as a liquid. When used as a liquid, it may be one-component or two-component or more.

本発明のドライフィルムは、キャリアフィルム上に、本発明の樹脂組成物を塗布、乾燥させることにより得られる樹脂層を有する。指紋認証センサーのセンサー面については平坦性が求められるが、本発明の樹脂組成物をドライフィルムとすると、平坦性が良好となるので、好ましい。   The dry film of the present invention has a resin layer obtained by applying and drying the resin composition of the present invention on a carrier film. Although flatness is required for the sensor surface of the fingerprint authentication sensor, it is preferable to use the resin composition of the present invention as a dry film because the flatness is improved.

ドライフィルムを形成する際には、まず、本発明の樹脂組成物を上記有機溶剤で希釈して適切な粘度に調整した上で、コンマコーター、ブレードコーター、リップコーター、ロッドコーター、スクイズコーター、リバースコーター、トランスファロールコーター、グラビアコーター、スプレーコーター等により、キャリアフィルム上に均一な厚さに塗布する。その後、塗布された組成物を、通常、40〜130℃の温度で1〜30分間乾燥することで、樹脂層を形成することができる。塗布膜厚については特に制限はないが、一般に、乾燥後の膜厚で、5〜150μm、好ましくは15〜60μmの範囲で適宜選択される。   When forming a dry film, first, the resin composition of the present invention is diluted with the above organic solvent to adjust to an appropriate viscosity, and then a comma coater, blade coater, lip coater, rod coater, squeeze coater, reverse Apply a uniform thickness on the carrier film using a coater, transfer roll coater, gravure coater, spray coater or the like. Then, the resin layer can be formed by drying the applied composition at a temperature of 40 to 130 ° C. for 1 to 30 minutes. Although there is no restriction | limiting in particular about a coating film thickness, Generally, it is a film thickness after drying, and is suitably selected in the range of 5-150 micrometers, Preferably it is 15-60 micrometers.

キャリアフィルムとしては、プラスチックフィルムが用いられ、例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)等のポリエステルフィルム、ポリイミドフィルム、ポリアミドイミドフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリスチレンフィルム等を用いることができる。キャリアフィルムの厚さについては特に制限はないが、一般に、10〜150μmの範囲で適宜選択される。より好ましくは15〜130μmの範囲である。   As the carrier film, a plastic film is used. For example, a polyester film such as polyethylene terephthalate (PET), a polyimide film, a polyamideimide film, a polypropylene film, a polystyrene film, or the like can be used. Although there is no restriction | limiting in particular about the thickness of a carrier film, Generally, it selects suitably in the range of 10-150 micrometers. More preferably, it is the range of 15-130 micrometers.

キャリアフィルム上に本発明の樹脂組成物からなる樹脂層を形成した後、膜の表面に塵が付着することを防ぐ等の目的で、さらに、膜の表面に、剥離可能なカバーフィルムを積層することが好ましい。剥離可能なカバーフィルムとしては、例えば、ポリエチレンフィルムやポリテトラフルオロエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、表面処理した紙等を用いることができる。カバーフィルムとしては、カバーフィルムを剥離するときに、樹脂層とキャリアフィルムとの接着力よりも小さいものであればよい。   After the resin layer made of the resin composition of the present invention is formed on the carrier film, a peelable cover film is further laminated on the film surface for the purpose of preventing dust from adhering to the film surface. It is preferable. As the peelable cover film, for example, a polyethylene film, a polytetrafluoroethylene film, a polypropylene film, a surface-treated paper, or the like can be used. As a cover film, what is necessary is just a thing smaller than the adhesive force of a resin layer and a carrier film when peeling a cover film.

なお、本発明においては、上記カバーフィルム上に本発明の樹脂組成物を塗布、乾燥させることにより樹脂層を形成して、その表面にキャリアフィルムを積層するものであってもよい。すなわち、本発明においてドライフィルムを製造する際に本発明の樹脂組成物を塗布するフィルムとしては、キャリアフィルムおよびカバーフィルムのいずれを用いてもよい。   In the present invention, a resin layer may be formed by applying and drying the resin composition of the present invention on the cover film and laminating a carrier film on the surface. That is, any of a carrier film and a cover film may be used as a film to which the resin composition of the present invention is applied when producing a dry film in the present invention.

本発明の樹脂組成物は、例えば、以下の方法でプリント配線板の製造に用いられる。
また、本発明の樹脂組成物を液状で用いる場合、樹脂組成物を、例えば、上記有機溶剤を用いて塗布方法に適した粘度に調整して、基材上に、ディップコート法、フローコート法、ロールコート法、バーコーター法、スクリーン印刷法、カーテンコート法等の方法により塗布した後、60〜100℃の温度で組成物中に含まれる有機溶剤を揮発乾燥(仮乾燥)させることで、タックフリーの樹脂層を形成することができる。また、上記組成物をキャリアフィルムまたはカバーフィルム上に塗布し、乾燥させてフィルムとして巻き取ったドライフィルムの場合、ラミネーター等により本発明の組成物の層が基材と接触するように基材上に貼り合わせた後、キャリアフィルムを剥がすことにより、樹脂層を形成することができる。
The resin composition of this invention is used for manufacture of a printed wiring board by the following method, for example.
When the resin composition of the present invention is used in a liquid state, the resin composition is adjusted to a viscosity suitable for the coating method using, for example, the above organic solvent, and a dip coating method or a flow coating method is applied on the substrate. After coating by a method such as a roll coating method, a bar coater method, a screen printing method, or a curtain coating method, the organic solvent contained in the composition is evaporated and dried (temporarily dried) at a temperature of 60 to 100 ° C. A tack-free resin layer can be formed. In the case of a dry film obtained by applying the above composition on a carrier film or a cover film and drying and winding it as a film, the layer of the composition of the present invention is brought into contact with the substrate by a laminator or the like. After bonding together, the resin film can be formed by peeling off the carrier film.

上記基材としては、あらかじめ銅等により回路形成されたプリント配線板やフレキシブルプリント配線板の他、紙フェノール、紙エポキシ、ガラス布エポキシ、ガラスポリイミド、ガラス布/不繊布エポキシ、ガラス布/紙エポキシ、合成繊維エポキシ、フッ素樹脂・ポリエチレン・ポリフェニレンエーテル,ポリフェニレンオキシド・シアネート等を用いた高周波回路用銅張積層板等の材質を用いたもので、全てのグレード(FR−4等)の銅張積層板、その他、金属基板、ポリイミドフィルム、PETフィルム、ポリエチレンナフタレート(PEN)フィルム、ガラス基板、セラミック基板、ウエハ板等を挙げることができる。   Examples of the base material include printed wiring boards and flexible printed wiring boards that have been previously formed with copper or the like, paper phenol, paper epoxy, glass cloth epoxy, glass polyimide, glass cloth / non-woven cloth epoxy, glass cloth / paper epoxy. It is made of materials such as copper-clad laminates for high-frequency circuits using synthetic fiber epoxy, fluororesin, polyethylene, polyphenylene ether, polyphenylene oxide, cyanate, etc., and copper-clad laminates of all grades (FR-4 etc.) Examples thereof include a plate, a metal substrate, a polyimide film, a PET film, a polyethylene naphthalate (PEN) film, a glass substrate, a ceramic substrate, and a wafer plate.

本発明の樹脂組成物を塗布した後に行う揮発乾燥は、熱風循環式乾燥炉、IR炉、ホットプレート、コンベクションオーブン等(蒸気による空気加熱方式の熱源を備えたものを用いて乾燥機内の熱風を向流接触せしめる方法およびノズルより支持体に吹き付ける方式)を用いて行うことができる。   Volatile drying performed after applying the resin composition of the present invention is performed by using a hot air circulation drying furnace, an IR furnace, a hot plate, a convection oven or the like (using a heat source of an air heating method using steam, A counter-current contact method and a method of spraying the support from a nozzle).

本発明の樹脂組成物が熱硬化性成分を含有する場合は、例えば、100〜220℃の温度に加熱して熱硬化させることにより、耐熱性、耐薬品性、耐吸湿性、密着性、電気特性等の諸特性に優れた硬化皮膜(硬化物)を形成することができる。   When the resin composition of the present invention contains a thermosetting component, for example, the resin composition of the present invention is heated to 100 to 220 ° C. to be thermally cured, whereby heat resistance, chemical resistance, moisture absorption resistance, adhesion, A cured film (cured product) excellent in various properties such as properties can be formed.

本発明の樹脂組成物が光硬化性である場合には、本発明の樹脂組成物を塗布し、溶剤を揮発乾燥した後に得られた樹脂層に対し、露光(光照射)を行うことにより、露光部(光照射された部分)が硬化する。具体的には、接触式または非接触方式により、パターンを形成したフォトマスクを通して選択的に活性エネルギー線により露光、もしくは、レーザーダイレクト露光機により直接パターン露光する。未露光部を希アルカリ水溶液(例えば、0.3〜3質量%炭酸ソーダ水溶液)により現像することにより、レジストパターンを形成できる。   When the resin composition of the present invention is photocurable, the resin layer obtained after applying the resin composition of the present invention and evaporating and drying the solvent is exposed (light irradiation), The exposed portion (the portion irradiated with light) is cured. Specifically, exposure is selectively performed with an active energy ray through a photomask on which a pattern is formed by a contact method or a non-contact method, or pattern exposure is directly performed by a laser direct exposure machine. A resist pattern can be formed by developing the unexposed portion with a dilute alkaline aqueous solution (for example, a 0.3 to 3 mass% sodium carbonate aqueous solution).

上記活性エネルギー線照射に用いられる露光機としては、高圧水銀灯ランプ、超高圧水銀灯ランプ、メタルハライドランプ、水銀ショートアークランプ等を搭載し、350〜450nmの範囲で紫外線を照射する装置であればよく、さらに、直接描画装置(例えば、コンピューターからのCADデータにより直接レーザーで画像を描くレーザーダイレクトイメージング装置)も用いることができる。直描機のランプ光源またはレーザー光源としては、最大波長が350〜410nmの範囲にあるものでよい。画像形成のための露光量は膜厚等によって異なるが、一般には10〜1000mJ/cm、好ましくは20〜800mJ/cmの範囲内とすることができる。 As an exposure machine used for the active energy ray irradiation, a high-pressure mercury lamp lamp, an ultra-high pressure mercury lamp lamp, a metal halide lamp, a mercury short arc lamp, and the like may be used as long as the apparatus irradiates ultraviolet rays in a range of 350 to 450 nm. Furthermore, a direct drawing apparatus (for example, a laser direct imaging apparatus that directly draws an image with a laser using CAD data from a computer) can also be used. The lamp light source or laser light source of the direct drawing machine may have a maximum wavelength in the range of 350 to 410 nm. The amount of exposure for image formation varies depending on the film thickness and the like, but is generally 10 to 1000 mJ / cm 2 , preferably 20 to 800 mJ / cm 2 .

上記現像方法としては、ディッピング法、シャワー法、スプレー法、ブラシ法等によることができ、現像液としては、水酸化カリウム、水酸化ナトリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、リン酸ナトリウム、ケイ酸ナトリウム、アンモニア、アミン類等のアルカリ水溶液が使用できる。   The developing method can be a dipping method, a shower method, a spray method, a brush method, etc., and as a developing solution, potassium hydroxide, sodium hydroxide, sodium carbonate, potassium carbonate, sodium phosphate, sodium silicate, Alkaline aqueous solutions such as ammonia and amines can be used.

本発明の樹脂組成物は、高誘電率かつ高解像性を有することから、プリント配線板のソルダーレジストや、パッケージ用ソルダーレジスト等として好適に適用でき、特には、指紋認証センサー用のソルダーレジストとして、有用である。   Since the resin composition of the present invention has a high dielectric constant and high resolution, it can be suitably applied as a solder resist for printed wiring boards, a solder resist for packages, and the like, and in particular, a solder resist for fingerprint authentication sensors. As useful.

以下に実施例および比較例を示して本発明について具体的に説明するが、本発明が下記実施例に限定されるものではないことはもとよりである。なお、以下において「部」および「%」とあるのは、特に断りのない限り全て質量基準である。   EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to examples and comparative examples, but the present invention is not limited to the following examples. In the following description, “parts” and “%” are all based on mass unless otherwise specified.

<カルボキシル基含有樹脂溶液の合成例>
(合成例1)
温度計、窒素導入装置兼アルキレンオキシド導入装置および撹拌装置を備えたオートクレーブに、ノボラック型クレゾール樹脂(昭和電工社製、商品名「ショーノールCRG951」、OH当量:119.4)119.4部、水酸化カリウム1.19部およびトルエン119.4部を仕込み、撹拌しつつ系内を窒素置換し、加熱昇温した。次に、プロピレンオキシド63.8部を徐々に滴下し、125〜132℃、0〜4.8kg/cmで16時間反応させた。その後、室温まで冷却し、この反応溶液に89%リン酸1.56部を添加混合して水酸化カリウムを中和し、不揮発分62.1%、水酸基価182.2g/eq.であるノボラック型クレゾール樹脂のプロピレンオキシド反応溶液を得た。これは、フェノール性水酸基1当量当りアルキレンオキシドが平均1.08モル付加しているものであった。
<Synthesis example of carboxyl group-containing resin solution>
(Synthesis Example 1)
In an autoclave equipped with a thermometer, a nitrogen introduction device / alkylene oxide introduction device, and a stirring device, 119.4 parts of a novolac type cresol resin (manufactured by Showa Denko KK, trade name “Shonol CRG951”, OH equivalent: 119.4), 1.19 parts of potassium hydroxide and 119.4 parts of toluene were charged, the inside of the system was replaced with nitrogen while stirring, and the temperature was raised by heating. Next, 63.8 parts of propylene oxide was gradually added dropwise and reacted at 125 to 132 ° C. and 0 to 4.8 kg / cm 2 for 16 hours. Thereafter, the reaction solution was cooled to room temperature, and 1.56 parts of 89% phosphoric acid was added to and mixed with the reaction solution to neutralize potassium hydroxide. The nonvolatile content was 62.1%, the hydroxyl value was 182.2 g / eq. A novolak-type cresol resin propylene oxide reaction solution was obtained. This was an average of 1.08 moles of alkylene oxide added per equivalent of phenolic hydroxyl group.

次いで、得られたノボラック型クレゾール樹脂のアルキレンオキシド反応溶液293.0部、アクリル酸43.2部、メタンスルホン酸11.53部、メチルハイドロキノン0.18部およびトルエン252.9部を、撹拌機、温度計および空気吹き込み管を備えた反応器に仕込み、空気を10ml/分の速度で吹き込み、撹拌しながら、110℃で12時間反応させた。反応により生成した水は、トルエンとの共沸混合物として、12.6部の水が留出した。その後、室温まで冷却し、得られた反応溶液を15%水酸化ナトリウム水溶液35.35部で中和し、次いで水洗した。その後、エバポレーターにてトルエンをジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート118.1部で置換しつつ留去し、ノボラック型アクリレート樹脂溶液を得た。   Next, 293.0 parts of an alkylene oxide reaction solution of the obtained novolak-type cresol resin, 43.2 parts of acrylic acid, 11.53 parts of methanesulfonic acid, 0.18 part of methylhydroquinone and 252.9 parts of toluene were mixed with a stirrer. A reactor equipped with a thermometer and an air blowing tube was charged, air was blown at a rate of 10 ml / min, and the reaction was carried out at 110 ° C. for 12 hours while stirring. 12.6 parts of water was distilled from the water produced by the reaction as an azeotrope with toluene. Thereafter, the reaction solution was cooled to room temperature, neutralized with 35.35 parts of a 15% aqueous sodium hydroxide solution, and then washed with water. Thereafter, toluene was distilled off while substituting 118.1 parts of diethylene glycol monoethyl ether acetate with an evaporator to obtain a novolak acrylate resin solution.

次いで、得られたノボラック型アクリレート樹脂溶液332.5部およびトリフェニルホスフィン1.22部を、撹拌器、温度計および空気吹き込み管を備えた反応器に仕込み、空気を10ml/分の速度で吹き込み、撹拌しながら、テトラヒドロフタル酸無水物60.8部を徐々に加え、95〜101℃で6時間反応させた。固形分酸価88mgKOH/g、カルボン酸当量(固形分)638、不揮発分71%、Mw約10,000のカルボキシル基含有感光性樹脂の樹脂溶液を得た。この樹脂溶液をカルボキシル基含有樹脂溶液Aと称する。   Next, 332.5 parts of the obtained novolak acrylate resin solution and 1.22 parts of triphenylphosphine were charged into a reactor equipped with a stirrer, a thermometer and an air blowing tube, and air was blown at a rate of 10 ml / min. While stirring, 60.8 parts of tetrahydrophthalic anhydride was gradually added and reacted at 95 to 101 ° C. for 6 hours. A resin solution of a carboxyl group-containing photosensitive resin having a solid content acid value of 88 mgKOH / g, a carboxylic acid equivalent (solid content) of 638, a non-volatile content of 71%, and an Mw of about 10,000 was obtained. This resin solution is referred to as carboxyl group-containing resin solution A.

(合成例2)
温度計、攪拌機、滴下ロートおよび還流冷却器を備えたフラスコに、メチルメタクリレート、エチルメタクリレート、およびメタクリル酸をモル比で1:1:2となるように仕込み、溶媒としてジプロピレングリコールモノメチルエーテル、触媒としてアゾビスイソブチロニトリル(AIBN)を入れ、窒素雰囲気下、80℃で4時間攪拌し、樹脂溶液を得た。この樹脂溶液を冷却し、重合禁止剤としてメチルハイドロキノン、触媒としてテトラブチルホスホニウムブロミドを用い、グリシジルメタクリレートを、95〜105℃で16時間の条件で、上記樹脂のカルボキシル基に対し20モル%付加反応させ、冷却後、取り出した。このようにして得られたエチレン性不飽和結合およびカルボキシル基を併せ持つカルボキシル基含有感光性樹脂は、固形分酸価120mgKOH/g、カルボン酸当量(固形分)468、不揮発分71%、Mw約20,000であった。この樹脂溶液をカルボキシル基含有樹脂溶液Bと称する。
(Synthesis Example 2)
A flask equipped with a thermometer, a stirrer, a dropping funnel and a reflux condenser is charged with methyl methacrylate, ethyl methacrylate, and methacrylic acid in a molar ratio of 1: 1: 2, and dipropylene glycol monomethyl ether as a solvent, catalyst As a solution, azobisisobutyronitrile (AIBN) was added and stirred at 80 ° C. for 4 hours under a nitrogen atmosphere to obtain a resin solution. This resin solution is cooled, methylhydroquinone as a polymerization inhibitor, tetrabutylphosphonium bromide as a catalyst, and glycidyl methacrylate is added at 20% by mole to the carboxyl group of the resin at 95 to 105 ° C. for 16 hours. And cooled and then taken out. The thus obtained carboxyl group-containing photosensitive resin having both an ethylenically unsaturated bond and a carboxyl group has a solid content acid value of 120 mgKOH / g, a carboxylic acid equivalent (solid content) of 468, a non-volatile content of 71%, and an Mw of about 20 000. This resin solution is referred to as a carboxyl group-containing resin solution B.

<屈折率の測定>
上記カルボキシル基含有樹脂溶液A,Bの屈折率を、JIS K 7105に準拠して測定した。得られたカルボキシル基含有樹脂溶液の測定結果を元に、A,Bの各屈折率として、固形分100%に換算した値を算出した。
<Measurement of refractive index>
The refractive indexes of the carboxyl group-containing resin solutions A and B were measured according to JIS K 7105. Based on the measurement result of the obtained carboxyl group-containing resin solution, a value converted to a solid content of 100% was calculated as each refractive index of A and B.

(実施例1〜8および比較例1〜3)
下記表1に示す配合に従って、各成分を3本ロールミルで混練し、実施例1〜8および比較例1〜3の樹脂組成物を得た。
(Examples 1-8 and Comparative Examples 1-3)
According to the formulation shown in Table 1 below, each component was kneaded with a three-roll mill to obtain resin compositions of Examples 1 to 8 and Comparative Examples 1 to 3.

実施例1〜8および比較例1〜3で得られた組成物を用いて、以下の操作にてドライフィルムおよびプリント配線板を作製した。   Using the compositions obtained in Examples 1 to 8 and Comparative Examples 1 to 3, dry films and printed wiring boards were produced by the following operations.

<ドライフィルムの作製>
実施例1〜8および比較例1〜3で得られた組成物を、それぞれメチルエチルケトンで適宜希釈した後、アプリケーターを用いて、乾燥後の膜厚が20μmになるようにPETフィルム(東レ社製、FB−50:厚み16μm)上に塗布し、80℃で30分乾燥させて、ドライフィルムを得た。
<Production of dry film>
After appropriately diluting the compositions obtained in Examples 1 to 8 and Comparative Examples 1 to 3, respectively, with methyl ethyl ketone, using an applicator, a PET film (manufactured by Toray Industries, Inc.) so that the film thickness after drying becomes 20 μm. FB-50: thickness 16 μm) and dried at 80 ° C. for 30 minutes to obtain a dry film.

<評価基板の作製>
回路形成された基板の表面をバフ研磨した後、上記ドライフィルムを真空ラミネーター(名機製作所社製MVLP(登録商標)−500)を用いて加圧度:0.8MPa、70℃、1分、真空度:133.3Paの条件で加熱ラミネートして、未露光の感光性樹脂組成物の樹脂層(ドライフィルム)を有する評価基板を得た。
<Production of evaluation substrate>
After buffing the surface of the substrate on which the circuit was formed, the dry film was pressed using a vacuum laminator (MVLP (registered trademark) -500 manufactured by Meiki Seisakusho Co., Ltd.) at a pressure of 0.8 MPa, 70 ° C. for 1 minute, The laminate was heated and laminated under the condition of vacuum degree: 133.3 Pa to obtain an evaluation substrate having a resin layer (dry film) of the unexposed photosensitive resin composition.

この基板に対し、高圧水銀灯(ショートアークランプ)搭載の露光装置を用いて、最適露光量でパターン露光し、PETフィルムを剥離した。その後、30℃の1質量%炭酸ナトリウム水溶液を用いて、スプレー圧0.2MPaの条件で60秒間現像を行い、レジストパターンを得た。   Using this exposure apparatus equipped with a high-pressure mercury lamp (short arc lamp), this substrate was subjected to pattern exposure with an optimum exposure amount, and the PET film was peeled off. Thereafter, development was performed for 60 seconds using a 1 mass% sodium carbonate aqueous solution at 30 ° C. under a spray pressure of 0.2 MPa to obtain a resist pattern.

この基板を、UVコンベア炉にて積算露光量1000mJ/cmの条件で紫外線照射した後、150℃で60分加熱して硬化した。感光性樹脂組成物のレジストパターンは、評価基板の回路を形成する銅上に、200μmの開口を有する形態で形成した。 This substrate was irradiated with ultraviolet rays under a condition of an integrated exposure amount of 1000 mJ / cm 2 in a UV conveyor furnace, and then cured by heating at 150 ° C. for 60 minutes. The resist pattern of the photosensitive resin composition was formed in a form having an opening of 200 μm on copper forming the circuit of the evaluation substrate.

ここで、最適露光量とは以下の露光量を意味する。
すなわち、上記で得られた評価基板について、高圧水銀灯(ショートアークランプ)搭載の露光装置を用いてステップタブレット(Kodak No.2)を介して露光し、現像(30℃,0.2MPa,1質量%炭酸ナトリウム水溶液)を60秒で行った際に残存するステップタブレットのパターンが7段のときの露光量を意味する。
Here, the optimum exposure amount means the following exposure amount.
That is, the evaluation substrate obtained above was exposed through a step tablet (Kodak No. 2) using an exposure apparatus equipped with a high-pressure mercury lamp (short arc lamp), and developed (30 ° C., 0.2 MPa, 1 mass). % Sodium carbonate aqueous solution) in 60 seconds means the exposure amount when the pattern of the step tablet remaining is 7 steps.

得られた評価基板について、以下のように特性を評価した。   About the obtained evaluation board | substrate, the characteristic was evaluated as follows.

<解像性>
開口径200μmの開口部をSEM(走査型電子顕微鏡)により観察し、以下の基準にて評価した。
○:開口底部の銅表面が確認される良好な形状である場合。
×:開口底部の銅表面が確認されない開口形状不良の場合。
<Resolution>
An opening having an opening diameter of 200 μm was observed with an SEM (scanning electron microscope) and evaluated according to the following criteria.
○: When the copper surface at the bottom of the opening is a good shape.
X: In the case of an opening shape defect in which the copper surface at the bottom of the opening is not confirmed.

<鉛筆硬度>
評価基板の硬化塗膜について、JIS K 5600の試験方法に従って試験を行い、塗膜に傷のつかない最も高い硬度を測定した。
<Pencil hardness>
The cured coating film of the evaluation substrate was tested according to the test method of JIS K 5600, and the highest hardness at which the coating film was not damaged was measured.

<誘電率の評価>
上記ドライフィルムを、厚さ9μmの電解銅箔(古河電工社製)上に、真空ラミネーター(名機製作所社製MVLP(登録商標)−500)を用いて加圧度:0.8MPa、70℃、1分、真空度:133.3Paの条件で加熱ラミネートした。この銅箔上にラミネートされたドライフィルムに対し、高圧水銀灯(ショートアークランプ)搭載の露光装置を用いて、最適露光量でベタ露光し、PETフィルムを剥離した。
<Evaluation of dielectric constant>
The above-mentioned dry film is applied on a 9 μm-thick electrolytic copper foil (Furukawa Electric Co., Ltd.) using a vacuum laminator (MVLP (registered trademark) -500 manufactured by Meiki Seisakusho Co., Ltd.). Heat lamination was performed for 1 minute under the condition of a degree of vacuum of 133.3 Pa. The dry film laminated on the copper foil was solid-exposed with an optimum exposure amount using an exposure apparatus equipped with a high-pressure mercury lamp (short arc lamp), and the PET film was peeled off.

その露光されたドライフィルム上に、再度ドライフィルムを熱ラミネートした後、最適露光量でベタ露光した。ラミネートと露光とを20回繰り返すことによって、銅箔上に厚さ400μmのドライフィルム層を形成した。このようにしてドライフィルム層を形成した銅箔に対し、UVコンベア炉にて積算露光量1000mJ/cmの条件で紫外線照射した後、150℃で60分加熱し、ドライフィルム層を硬化した。 The dry film was heat laminated again on the exposed dry film, and then solid exposure was performed with an optimum exposure amount. Lamination and exposure were repeated 20 times to form a dry film layer having a thickness of 400 μm on the copper foil. The copper foil thus formed with the dry film layer was irradiated with ultraviolet rays in a UV conveyor furnace under the condition of an integrated exposure amount of 1000 mJ / cm 2 and then heated at 150 ° C. for 60 minutes to cure the dry film layer.

次いで、このドライフィルム層付銅箔に対し、塩化第二銅340g/l、遊離塩酸濃度51.3g/lの組成のエッチング液を用いて銅箔をエッチング除去し、十分に水洗、乾燥して、厚さ400μmの硬化物からなる試験片を作製した。   Next, the copper foil is removed from the copper foil with a dry film layer using an etching solution having a composition of cupric chloride of 340 g / l and free hydrochloric acid concentration of 51.3 g / l, sufficiently washed with water and dried. A test piece made of a cured product having a thickness of 400 μm was prepared.

このようにして作製した試験片について、RFインピーダンス/マテリアルアナライザー(アジレントテクノロジー社製Agilent E4991A)を用いて、1GHzにおける誘電率を測定し(容量法)、以下の基準にて評価した。
○:誘電率が5以上である場合。
×:誘電率が5未満である場合。
About the test piece produced in this way, the dielectric constant at 1 GHz was measured (capacitance method) using an RF impedance / material analyzer (Agilent E4991A manufactured by Agilent Technologies) and evaluated according to the following criteria.
○: When the dielectric constant is 5 or more.
X: When dielectric constant is less than 5.

<HAST耐性>
くし型電極(ライン/スペース=20μm/20μm)が形成されたプリント配線板を化学研磨した後、上記ドライフィルムを真空ラミネーター(名機製作所社製MVLP(登録商標)−500)を用いて加圧度0.8MPa、70℃、1分、真空度133.3Paの条件で加熱ラミネートして、未露光のソルダーレジスト層(ドライフィルム)を有するプリント配線板を得た。この基板に、高圧水銀灯(ショートアークランプ)搭載の露光装置を用いて、2mm□の開口を有するネガマスクを介して、適正露光量で露光し、PETフィルムを剥離した。その後、30℃の1質量%炭酸ナトリウム水溶液を用いてスプレー圧0.2MPaの条件で60秒間現像を行い、レジストパターンを得た。この基板を、UVコンベア炉にて積算露光量1000mJ/cmの条件で紫外線照射した後、150℃で60分加熱して硬化した。基板作製後、130℃、湿度85%の雰囲気下の高温高湿槽に入れ、電圧5.5Vを印加し、槽内HAST試験を行った。所定時間経過時の槽内絶縁抵抗値を測定し、HAST耐性を評価した。判定基準は以下のとおりである。
◎:400時間以上で、槽内絶縁抵抗値が10Ω未満あるいはショート発生の場合。
○:200時間以上、400時間未満で、槽内絶縁抵抗値が10Ω未満あるいはショート発生の場合。
×:200時間未満で、槽内絶縁抵抗値が10Ω未満あるいはショート発生の場合。
<HAST resistance>
After chemically polishing a printed wiring board on which comb-shaped electrodes (line / space = 20 μm / 20 μm) are formed, the dry film is pressurized using a vacuum laminator (MVLP (registered trademark) -500 manufactured by Meiki Seisakusho) The laminate was heated and laminated under the conditions of a degree of 0.8 MPa, 70 ° C., 1 minute, and a degree of vacuum of 133.3 Pa to obtain a printed wiring board having an unexposed solder resist layer (dry film). This substrate was exposed with an appropriate exposure amount through a negative mask having an opening of 2 mm □ using an exposure apparatus equipped with a high-pressure mercury lamp (short arc lamp), and the PET film was peeled off. Thereafter, development was performed for 60 seconds using a 1% by mass aqueous sodium carbonate solution at 30 ° C. under a spray pressure of 0.2 MPa to obtain a resist pattern. This substrate was irradiated with ultraviolet rays under a condition of an integrated exposure amount of 1000 mJ / cm 2 in a UV conveyor furnace, and then cured by heating at 150 ° C. for 60 minutes. After the substrate was prepared, it was placed in a high-temperature and high-humidity tank under an atmosphere of 130 ° C. and humidity 85%, a voltage of 5.5 V was applied, and an in-chamber HAST test was performed. The insulation resistance value in the tank when a predetermined time elapsed was measured, and HAST resistance was evaluated. The judgment criteria are as follows.
A: When the insulation resistance value in the tank is less than 10 6 Ω or a short circuit occurs after 400 hours or more.
○: When the insulation resistance value in the tank is less than 10 6 Ω or a short circuit occurs for 200 hours or more and less than 400 hours.
X: When the insulation resistance value in the tank is less than 10 6 Ω or a short circuit occurs in less than 200 hours.

これらの評価結果を、下記の表1に併せて示す。   These evaluation results are also shown in Table 1 below.

Figure 2017037287
*1)カルボキシル基含有樹脂溶液A(合成例1):PO変性フェノール樹脂/アクリル酸/テトラヒドロフタル酸 固形分酸価:88mgKOH/g(カルボン酸当量:637.5)屈折率:1.56、配合量は不揮発分(固形分)の値
*2)カルボキシル基含有樹脂溶液B(合成例2):メタクリル酸メチル−アクリル酸共重合樹脂/グリシジルメタクリレート 固形分酸価:120mgKOH/g(カルボン酸当量:467.5)屈折率:1.51、配合量は不揮発分(固形分)の値
*3)光重合開始剤:2,4,6−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−フォスフィンオキサイド
*4)アクリレートモノマー:トリシクロデカンジメタノールジアクリレート
*5)エポキシ樹脂:ビスフェノールA型エポキシ樹脂 エポキシ当量:190
*6)硬化触媒:ジシアンジアミド
*7)チタン酸バリウム:堺化学工業株式会社製 BT−03 屈折率:2.40 平均粒径:0.3μm
*8)チタン酸カルシウム:堺化学工業株式会社製 CT−03 屈折率:2.35 平均粒径:0.3μm
*9)チタン酸ストロンチウム:堺化学工業株式会社製 ST−03 屈折率:2.49
平均粒径:0.3μm
*10)ジルコン酸カルシウム:堺化学工業株式会社製 CZ−03 屈折率:2.14
平均粒径:0.3μm
*11)ジルコン酸ストロンチウム:堺化学工業株式会社製 SZ−03 屈折率:2.08 平均粒径:0.3μm
*12)ハイドロタルサイト:協和化学工業株式会社製 DHT−4A
*13)二酸化チタン:石原産業株式会社製 CR−58 屈折率:2.71(ルチル型) 平均粒径:0.28μm
*14)硫酸バリウム:堺化学工業株式会社製 B−30 屈折率:1.64 平均粒径:0.3μm
*15)溶剤:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
*16)当量比(エポキシ/カルボン酸)は、以下の計算式により算出した。
当量比(エポキシ/カルボン酸)=(エポキシ樹脂の配合量/エポキシ樹脂のエポキシ当量)/(カルボキシル基含有樹脂(固形分)の配合量/カルボキシル基含有樹脂のカルボン酸当量(固形分))
*17)屈折率差の絶対値とは、カルボキシル基含有樹脂の屈折率と、チタン酸バリウム以外のペロブスカイト化合物の屈折率との差の絶対値を示す。
Figure 2017037287
* 1) Carboxyl group-containing resin solution A (Synthesis Example 1): PO-modified phenol resin / acrylic acid / tetrahydrophthalic acid Solid content acid value: 88 mgKOH / g (carboxylic acid equivalent: 637.5) Refractive index: 1.56, Compounding amount is value of non-volatile content (solid content) * 2) Carboxyl group-containing resin solution B (Synthesis example 2): Methyl methacrylate-acrylic acid copolymer resin / glycidyl methacrylate Solid content acid value: 120 mgKOH / g (carboxylic acid equivalent) : 467.5) Refractive index: 1.51, blending amount is a non-volatile content (solid content) * 3) Photopolymerization initiator: 2,4,6-trimethylbenzoyl-diphenyl-phosphine oxide * 4) Acrylate monomer : Tricyclodecane dimethanol diacrylate * 5) Epoxy resin: Bisphenol A type epoxy resin Epoxy equivalent: 190
* 6) Curing catalyst: Dicyandiamide * 7) Barium titanate: Sakai Chemical Industry Co., Ltd. BT-03 Refractive index: 2.40 Average particle size: 0.3 μm
* 8) Calcium titanate: Sakai Chemical Industry Co., Ltd. CT-03 Refractive index: 2.35 Average particle size: 0.3 μm
* 9) Strontium titanate: manufactured by Sakai Chemical Industry Co., Ltd. ST-03 Refractive index: 2.49
Average particle size: 0.3 μm
* 10) Calcium zirconate: Sakai Chemical Industry Co., Ltd. CZ-03 Refractive index: 2.14
Average particle size: 0.3 μm
* 11) Strontium zirconate: SZ-03 manufactured by Sakai Chemical Industry Co., Ltd. Refractive index: 2.08 Average particle size: 0.3 μm
* 12) Hydrotalcite: DHT-4A manufactured by Kyowa Chemical Industry Co., Ltd.
* 13) Titanium dioxide: CR-58 manufactured by Ishihara Sangyo Co., Ltd. Refractive index: 2.71 (rutile type) Average particle size: 0.28 μm
* 14) Barium sulfate: manufactured by Sakai Chemical Industry Co., Ltd. B-30 Refractive index: 1.64 Average particle size: 0.3 μm
* 15) Solvent: Propylene glycol monomethyl ether acetate * 16) The equivalent ratio (epoxy / carboxylic acid) was calculated by the following formula.
Equivalent ratio (epoxy / carboxylic acid) = (epoxy resin compounding amount / epoxy resin epoxy equivalent) / (carboxyl group-containing resin (solid content) compounding amount / carboxyl group-containing resin carboxylic acid equivalent (solid content))
* 17) The absolute value of the refractive index difference indicates the absolute value of the difference between the refractive index of the carboxyl group-containing resin and the refractive index of the perovskite compound other than barium titanate.

上記表1に示す結果から明らかなように、本実施例によれば、高誘電率かつ高解像性を有する樹脂組成物が得られることが確かめられた。   As is clear from the results shown in Table 1, it was confirmed that according to this example, a resin composition having a high dielectric constant and high resolution can be obtained.

Claims (5)

カルボキシル基含有樹脂と、光重合開始剤と、少なくとも2種のペロブスカイト型化合物とを含有する感光性樹脂組成物であって、
前記ペロブスカイト型化合物のうちの1種が、チタン酸バリウムであることを特徴とする感光性樹脂組成物。
A photosensitive resin composition containing a carboxyl group-containing resin, a photopolymerization initiator, and at least two perovskite compounds,
One type of the perovskite type compound is barium titanate, A photosensitive resin composition characterized by things.
前記カルボキシル基含有樹脂の屈折率と、前記チタン酸バリウム以外のペロブスカイト型化合物の屈折率との差の絶対値が、0.4〜1.0である請求項1記載の感光性樹脂組成物。   The photosensitive resin composition according to claim 1, wherein an absolute value of a difference between a refractive index of the carboxyl group-containing resin and a refractive index of a perovskite compound other than the barium titanate is 0.4 to 1.0. 請求項1または2記載の感光性樹脂組成物が、フィルム上に塗布、乾燥されてなる樹脂層を有することを特徴とするドライフィルム。   3. A dry film comprising the resin layer obtained by applying and drying the photosensitive resin composition according to claim 1 or 2 on a film. 請求項1または2記載の感光性樹脂組成物、または、請求項3記載のドライフィルムの樹脂層が、硬化されてなることを特徴とする硬化物。   A cured product obtained by curing the photosensitive resin composition according to claim 1 or 2 or the resin layer of the dry film according to claim 3. 請求項1または請求項2に記載の感光性樹脂組成物、または、請求項3記載のドライフィルムが、硬化されてなる硬化皮膜を有することを特徴とするプリント配線板。   A printed wiring board comprising a cured film obtained by curing the photosensitive resin composition according to claim 1 or 2 or the dry film according to claim 3.
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