JP2017033019A - レーザ装置におけるチャープパルス増幅方法 - Google Patents
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Abstract
Description
少なくともその表面が金属反射膜で被覆された断面鋸波状溝を有する反射型ブレーズド回折格子であって、使用されるレーザパルスの波長において、入射するレーザパルスの入射角と1次回折光とが溝斜面に対し鏡面反射の関係になり、且つ所定の回折効率が得られるように定められたブレーズ角を有することを特徴としている。
パルス圧縮器は、格子面が対向するように平行配置された同一形状の第1、第2なる2枚の回折格子と、該第1及び第2の回折格子を経たレーザパルスを反射させ、第2及び第1の回折格子へと順に入射させる反射鏡と、を含み、第2の回折格子から第1の回折格子に入射して来るレーザパルスが、該第1の回折格子の溝斜面に対し略垂直に入射するように、それら2枚の回折格子を配置したことを特徴としている。
即ち、この第1の態様のレーザ装置はパルス圧縮器の光学系がダブルパス構成である。
パルス圧縮器は、格子面が対向するように平行配置された同一形状の第1、第2なる2枚の回折格子を経たレーザパルスを取り出すものであり、第1の回折格子から第2の回折格子に入射して来るレーザパルスが、該第2の回折格子の溝斜面に対し略垂直に入射するように、それら2枚の回折格子を配置したことを特徴としている。
即ち、この第2の態様のレーザ装置はパルス圧縮器の光学系がシングルパス構成である。
具体的には、ここでは、所定形状の格子が形成されたマスター回折格子上にAu膜(膜厚:250nm、バインダ層としてCrを使用)を形成した上に樹脂材を塗布し、レプリカ基板(Zerodur(登録商標)、独SCHOTT社製)と貼り合わせる。そして、樹脂材が硬化したあとに、Auの剥離性を利用してマスター回折格子を離型させることで、図2に示したようなレプリカ回折格子を得る。
10…レーザ発振器
11、18…ハーフミラー
12…パルス拡張器
122、125…回折格子
123…アフォーカルレンズ
126…ミラー
13、14、15、17、19…ミラー
16…レーザ増幅器
20、20B…パルス圧縮器
201、202、201B、202B…回折格子
203…ミラー
2…レプリカ基板
3…樹脂層
4…Au層
使用されるレーザパルスの波長において、入射するレーザパルスの入射角と1次回折光とが溝斜面に対し鏡面反射の関係になり、且つ所定の回折効率が得られるように定められたブレーズ角を有し、少なくともその表面が金属反射膜で被覆された断面鋸波状溝を有する同一形状の第1、第2なる2枚の回折格子を、それらの格子面が対向するように平行に、且つ前記第2の回折格子から前記第1の回折格子に入射して来るレーザパルスが該第1の回折格子の溝斜面に対し略垂直に入射するように配置するとともに、
前記第1及び第2の回折格子を経たレーザパルスを反射させ、該第2の回折格子及び該第1の回折格子へと順に入射させる反射鏡を配置したことを特徴としている。
即ち、この第1の態様によるレーザ装置はパルス圧縮器の光学系がダブルパス構成である。
使用されるレーザパルスの波長において、入射するレーザパルスの入射角と1次回折光とが溝斜面に対し鏡面反射の関係になり、且つ所定の回折効率が得られるように定められたブレーズ角を有し、少なくともその表面が金属反射膜で被覆された断面鋸波状溝を有する同一形状の第1、第2なる2枚の回折格子を、それらの格子面が対向するように平行に、且つ前記第2の回折格子から前記第1の回折格子に入射して来るレーザパルスが該第1の回折格子の溝斜面に対し略垂直に入射するように配置したことを特徴としている。
即ち、この第2の態様によるレーザ装置はパルス圧縮器の光学系がシングルパス構成である。
具体的には、ここでは、所定形状の格子が形成されたマスター回折格子上にAu膜(膜厚:250nm、バインダ層としてCrを使用)を形成した上に樹脂材を塗布し、レプリカ基板(Zerodur(登録商標)、独SCHOTT社製)と貼り合わせる。そして、樹脂材が硬化したあとに、Auの剥離性を利用してマスター回折格子を離型させることで、図2に示したようなレプリカ回折格子を得る。
Claims (5)
- チャープパルス増幅法を用いたレーザ装置にあって、格子面が対向するように平行配置された同一形状の2枚の回折格子を含むパルス圧縮器に用いられる回折格子において、
少なくともその表面が金属反射膜で被覆された断面鋸波状溝を有する反射型ブレーズド回折格子であって、使用されるレーザパルスの波長において、入射するレーザパルスの入射角と1次回折光とが溝斜面に対し鏡面反射の関係になり、且つ所定の回折効率が得られるように定められたブレーズ角を有することを特徴とするレーザパルス圧縮用回折格子。 - 請求項1に記載のレーザパルス圧縮用回折格子であって、
所定の断面鋸波状溝が形成されたマスター回折格子の格子溝の表面に金属反射膜を形成し、該金属反射膜とレプリカ基板とを樹脂材を介して密着させたあとに、該レプリカ基板をマスター回折格子から剥離させ、前記金属反射膜をレプリカ基板に反転接着させることで格子面が形成されてなるレプリカ回折格子であることを特徴とするレーザパルス圧縮用回折格子。 - 請求項2に記載のレーザパルス圧縮用回折格子であって、
前記金属反射膜は金薄膜であることを特徴とするレーザパルス圧縮用回折格子。 - 請求項1〜3のいずれかに記載のレーザパルス圧縮用回折格子をパルス圧縮器における回折格子として使用した、チャープパルス増幅法を用いたレーザ装置であって、
パルス圧縮器は、格子面が対向するように平行配置された同一形状の第1、第2なる2枚の回折格子と、該第1及び第2の回折格子を経たレーザパルスを反射させ、第2及び第1の回折格子へと順に入射させる反射鏡と、を含み、第2の回折格子から第1の回折格子に入射して来るレーザパルスが、該第1の回折格子の溝斜面に対し略垂直に入射するように、それら2枚の回折格子を配置したことを特徴とするレーザ装置。 - 請求項1〜3のいずれかに記載のレーザパルス圧縮用回折格子をパルス圧縮器における回折格子として使用した、チャープパルス増幅法を用いたレーザ装置であって、
パルス圧縮器は、格子面が対向するように平行配置された同一形状の第1、第2なる2枚の回折格子を経たレーザパルスを取り出すものであり、第1の回折格子から第2の回折格子に入射して来るレーザパルスが、該第2の回折格子の溝斜面に対し略垂直に入射するように、それら2枚の回折格子を配置したことを特徴とするレーザ装置。
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JP2017033019A true JP2017033019A (ja) | 2017-02-09 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN114447738A (zh) * | 2022-01-18 | 2022-05-06 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 超强啁啾激光脉冲双光栅压缩装置 |
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2016
- 2016-10-28 JP JP2016211216A patent/JP2017033019A/ja active Pending
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