JP2017032669A - 位置決め装置およびそれを備えた顕微鏡装置 - Google Patents

Abstract

【課題】位置座標管理の精度に有利な位置決め装置を提供すること。
【解決手段】試料を載置するステージをＺ方向に移動させる第一の焦準部を含む顕微鏡装置に対して固定される位置決め装置であって、前記顕微鏡装置に対して固定される、第一の操作部が操作されることに応じて前記ステージをＺ方向に移動させる、前記第一の焦準部よりもＺ方向への可動範囲が小さい第二の焦準部（１６，１７，２３）と、前記第二の焦準部に対して固定され、第二の操作部が操作されることに応じて前記ステージをＸＹ方向に移動させる移動部（１４，４１，４２，４３）と、を有し、前記顕微鏡装置の光軸と、前記第一の焦準部と前記第二の焦準部とが固定される位置とを含む平面に対して、前記第一の操作部と前記第二の操作部とが互いに対向する位置に配置されることを特徴とする。
【選択図】図１

Description

本発明は、観察対象である試料と対物レンズとの距離を光軸方向に変化させる位置決め装置に関する。

従来の顕微鏡装置は、観察対象である試料を視野に入れるために、試料を載置しているステージを水平方向（Ｘ方向、Ｙ方向）に移動させるステージハンドルを備えている。また、試料を対物レンズに対してピント合わせをするために、ステージを上下方向（Ｚ方向）に移動させる焦準ハンドルを備えている。

特許文献１では、自然な姿勢でステージハンドルおよび焦準ハンドルを操作できるようにするために、ステージハンドルと焦準ハンドルとを鏡体に対して左右対称で、且つ、同一高さとなる位置に配置する顕微鏡が開示されている。

特許文献２では、ステージを上下方向に駆動する焦準機構への負荷を軽くするために、ステージとベース部材の間にコイルバネを着脱可能に設けた顕微鏡が開示されている。

特許文献３では、焦準台とステージの間に着脱可能な透過照明装置を備えた顕微鏡が開示されている。

その他の従来技術の顕微鏡装置として、非特許文献１および２が挙げられる。

特開平１０−２６７３０号公報 特開平１０−２８２４３１号公報 特開２００６−１８９５７８号公報

Ｎｉｋｏｎ 研究用顕微鏡 ＥＣＬＩＰＳＥ Ｎｉ（顕微鏡カタログ） 日本工業規格ＪＩＳ Ｂ ７１３２−１：２００９

しかしながら、上記特許文献に記載の従来技術では、ステージを水平方向に移動させるステージハンドルの荷重についてなんら考慮されておらず、該荷重によりステージ（テーブル）が傾いてしまう問題があった。

近年、例えば病理医に使用される顕微鏡では、組織片（試料）の特定部を鮮明に観察することができ、日々性能も向上している。このような顕微鏡において、病理診断における重要機能として所見画像の記録をおこなうニーズがある。このとき当然、ミクロ部位も鮮明に観察できるため、拡大倍率に相当する位置座標精度を確実に捉えることができ位置座標管理を確実に行うことは将来の医用には欠かせない要求である。他にも撮影ポイントを複数とする使い方も示されていて位置座標管理をし易くする事は重要な課題である。

したがって、このような顕微鏡において、上記特許文献に記載される従来技術のようにテーブルが傾いてしまった場合、位置座標管理の精度が落ちてしまい、特に上下方向における位置座標管理の精度が劣化してしまうという問題があった。

そこで、本発明は、上記課題を鑑み、位置座標管理の精度に有利な位置決め装置を提供することを例示的目的とする。

本発明の位置決め装置は、試料を載置するステージをＺ方向に移動させる第一の焦準部を含む顕微鏡装置に対して固定される位置決め装置であって、前記顕微鏡装置に対して固定される、第一の操作部が操作されることに応じて前記ステージをＺ方向に移動させる、前記第一の焦準部よりもＺ方向への可動範囲が小さい第二の焦準部と、前記第二の焦準部に対して固定され、第二の操作部が操作されることに応じて前記ステージをＸＹ方向に移動させる移動部と、を有し、前記顕微鏡装置の光軸と、前記第一の焦準部と前記第二の焦準部とが固定される位置とを含む平面に対して、前記第一の操作部と前記第二の操作部とが互いに対向する位置に配置されることを特徴とする。

本発明によれば、位置座標管理の精度に有利な位置決め装置を提供することができる。

本発明の実施形態にかかる顕微鏡装置の構成図である。 本発明の実施形態にかかる位置決め装置の上面図である。 本発明の実施形態にかかるＸＹステージの構成図である。 本発明の実施形態にかかる摺動部に加わるモーメントを説明するための概念図である。 本発明の実施形態にかかるステージの駆動に伴って焦点位置が変化する状態を説明するための概念図である。 本発明の第四の実施形態の位置決め装置の概念図である。 本発明の第五の実施形態の顕微鏡装置の焦準ハンドルの概略断面図である。 本発明の第六の実施形態の顕微鏡装置の一部の斜視図である。 本発明の第六の実施形態の補強部材の斜視図である。 本発明の第七の実施形態の顕微鏡装置の一部の斜視図である。 本発明の第八の実施形態の顕微鏡装置の一部の斜視図である。 本発明の第九の実施形態の顕微鏡装置の一部の外観図である。 従来の顕微鏡装置の構成図である。 位置座標管理の精度について説明するための概念図である。

以下、本発明の実施形態にかかる位置決め装置および顕微鏡装置について、図面を参照して詳細に説明する。

まず、従来の一般的な顕微鏡装置の構成について図１３を用いて詳細に説明する。図１３（ａ）は、従来の顕微鏡装置１０００の正面図であり、図１３（ｂ）は、従来の顕微鏡装置１０００の側面図である。

顕微鏡装置１０００は、光学系（観察光学系）と、照明系と、焦準系と、を顕微鏡フレーム１３に配置している。

光学系は、対物レンズ３と鏡筒２と接眼レンズ１で構成され、対物レンズ３は、レボルバー７で任意に拡大倍率を変更できる様になっている。このように、光学系は、対物レンズを備え、観察対象である試料を観察するために設けられる。したがって、このような光学系を介して、試料の観察像を得ることができる。

照明系は、照明光源１０（光源）と、該光源からの光を試料へ導くための照明光学系と、を備え、光源からの光で試料を照らす事が出来るように構成されている。照明光学系は、後述のコンデンサレンズ４を備えている。

焦準系は、顕微鏡フレーム１３の摺動部１１で任意に上下移動できるステージキャリア９を備えている。ステージキャリア９は、焦準ハンドル１２ａ，１２ｂ（第三の操作部）を回転させることにより顕微鏡フレーム１３内に設けられた不図示の焦準機構を介して上下方向（Ｚ方向）に移動することができる。また、ステージキャリア９には、試料を載置するためのステージ８と、コンデンサレンズ４を具備したコンデンサホルダー６が装着されている。コンデンサホルダー６は、コンデンサホルダーハンドル５ａ，５ｂを回転させることにより上下方向に移動することができる。焦準系は、焦準ハンドル１２ａ，１２ｂを回転させる量に対応して上下方向に移動し、試料に焦点距離を合わせることができる。なお、焦準ハンドル１２ａ，１２ｂは、不図示の微動ハンドルと粗動ハンドルをそれぞれ一体化したものを備えている。

ステージ８は、上下方向（Ｚ方向）に配置されたステージハンドル（操作摘み）１４ａ，１４ｂを備え、ステージハンドル１４ａ，１４ｂのうち一方を回転することによりステージ８を水平方向のＸ方向に駆動することができる。また、ステージハンドル１４ａ，１４ｂのうち他方を回転することによりステージ８を水平方向のＹ方向（Ｘ方向と直交する方向）に駆動することができる。したがって、ステージハンドル１４ａ，１４ｂを操作することにより、ステージ８を水平方向（ステージ面内）に駆動することができる。換言すれば、ステージハンドル１４ａ，１４ｂ（第二の操作部）は、ステージ８に設けられ、ステージ８を水平方向のＸ方向（第１方向）およびＹ方向（第１方向と直交する第２方向）に駆動するために操作される操作部材である。

図１３（ａ）に示すように、コンデンサホルダーハンドル５ａ，５ｂ、焦準ハンドル１２ａ，１２ｂは、一般的には左右対に配置されている。一方、ステージハンドル１４ａ，１４ｂは、一般的には摺動部１１（または光学系の光軸）に対し左右（すなわち、Ｘ方向）のいずれか一方にのみ（図では左側にのみ）具備されている。

これは、ステージハンドル１４ａ，１４ｂが、ステージの操作上、利き手や使い方でステージ左右のどちらか一方に配置されている方が、使用者にとって勝手が良いからである。

ここで、顕微鏡の摺動部１１はローラガイドやあり溝などで支持されており、部材が分離している構造をしている。分離している構造は荷重に弱い。さらに、スライドする為には隙間を設ける構造になるため、多少なりのガタが発生する。特に、ステージ左右のどちらか一方にのみ配置されるステージハンドルなどにより荷重点が摺動部１１から離れると重量以外にモーメントが加わり強度的に弱くなり変形などが生じてしまう。加えて、ステージ８やステージキャリア９などの弾性変形、また顕微鏡の光学系の取り付け部の剛性・隙間などにより、組織片３０（試料）を載せたスライド３４は光軸Ｏと相対的に傾くことが必定になる（図１４（ｂ）参照）。結果、上述した位置座標管理の精度を落とすことになっていた。

このような位置座標管理の精度は、従来では十分な精度と考えられていたが、画像が鮮明になるにつれて今後は大きな課題となってくる。よって、少しでも改善をする必要がある。図１４中のＺ座標位置１、Ｚ座標位置２、Ｚ座標位置３が本発明に関わる重要部分としての位置管理面である。図１４（ａ）がデータ記録時の状況である。この状態でエビデンスとして重要な所見画像の記録として一番初めに行われたデータをこのスライドが持つことになる。

しかしながら、第三者が診断結果を詳細に確認しようと試みた場合、再度別の任意な顕微鏡に組織片３０を載せたスライド３４を載置して同じ場所を観察することになる。この別の顕微鏡において観察している状態を図１４（ｂ）に示す。

図１４（ｂ）に示すように、組織片３０の組織構成要素３３ａについては、ＸＹ座標平面（テーブル平面）で載置し再現できている。しかしながら、その他の組織構成要素３３ｂおよび３３ｃについては、図１４（ａ）と比較してＺ座標上の別の座標位置にいることになり、位置座標管理の精度が著しく落ちていることがわかる。

本発明の第一の実施の形態の位置決め装置について図１、図2を用いて説明する。図１では、図１３と同じ構成要素については同じ番号を付し説明を省略する。図１（ａ）は、本実施形態の顕微鏡装置１００の正面図であり、図１（ｂ）は、本実施形態の顕微鏡装置１００の側面図である。本実施形態の顕微鏡装置１００は、後述する焦準装置５０を備えている。

まず、本発明に係わる顕微鏡装置１００の基本構成について説明する。顕微鏡フレーム（顕微鏡筐体）１３には、光学系が設置されている。光学系は、観察面の側から、対物レンズ３、１本以上の対物レンズ３の中から任意に必要な対物レンズ３を選択する為のレボルバー７（本図は回転型、直動型もある）、鏡筒２と組み合わされた接眼レンズ１、により構成されている。接眼レンズ１を覗くと観察面にある観察対象物を拡大してみることが出来る。観察面と対物レンズ端からの距離は顕微鏡ごとの光学系の仕様で若干ことなるため観察試料が置かれるステージ８はＺ方向（上下方向）に移動させる仕組みになっている。

本発明では、ステージ８のＺ方向の移動に２つの手段が具備されている。２つの手段のうちのひとつは、一般市販される顕微鏡に備わっている摺動部１１を上下移動させる第一の焦準部である。この第一の焦準部は、焦準ハンドル１２ａ，１２ｂ（第三の操作部）により操作される。２つの手段のうちのもうひとつは、本発明の特徴である第一の焦準部より可動範囲が小さい第二の焦準部である。この第二の焦準部は、後述するようにリニアアクチュエータ用焦準ハンドル２３（第一の操作部）により操作される。通常観察作業中は第二の焦準部のみで観察が可能になっている。第二焦準部のステージキャリア９のうえにステージ８が取り付けられている。ステージ８は移動部によりＸＹ方向に移動出来るようにしている為、第二の操作部であるステージハンドル１４が側面側に取り付く。

第二の焦準部の詳細を説明する。第二の焦準部は第一の焦準部の摺動部１１に据え付け固定する形になっていて、ねじやあり溝、楔などで着脱できる構造である。

ステージキャリアアーム１６は、摺動部１１と光軸とを含む平面（換言すれば、第一の焦準部及び第二の焦準部が固定される位置と光軸とを含む平面）に対してステージハンドル１４と反するＸ軸方向の側に延び、ステージキャリアアーム１６にはガイド１７が固定されステージキャリア９に取り付けられたガイドレール１８と組み合わさりＺ方向に移動可能に滑る構造になっている。また、駆動源としてステージキャリアアーム１６にリニアアクチュエータ２２が備わり、ステージキャリア９が焦準ハンドル１２の指令を受けて上下する仕組みになっている。第一の焦準部と第二の焦準部は指令信号線を別途設けることで図中記載のリニアアクチュエータ用焦準ハンドル２３と切り替えボタンなどで共用してもよい。

本発明の第二の実施の形態は、第一の実施の形態の第一の焦準部の摺動部１１と第二の焦準部のステージキャリアアーム１６がおなじ部材で一体にできていて分離できない形態である。摺動部１１とステージキャリアアーム１６が一部品となるだけであるため不図示とした。

本発明の第三の実施の形態は、第一の実施例及び第二の実施例の構成と同じであり、且つステージ８の重心位置に対して第二の焦準部の重心位置が摺動部１１と光軸とを含む平面に対して反する側に存在している。

本発明の第四の実施の形態の焦準装置について図１、図２、図６、図１４を用いて説明する。図１が本発明の第四の実施形態を最もよくあらわしている。

一般的に市販され使われている顕微鏡装置は図１３で示すように対物レンズ３の位置の直下に観察試料を置かなければならない。従来ではステージ８がステージキャリア９を介して筺体内に内蔵された焦準装置（本発明では第一の焦準部に相当する）とつながっているのが一般的な顕微鏡装置である。

従来の顕微鏡装置に対して、図１に示す実施の形態の顕微鏡装置１００は第一の実施の形態で説明したように従来の第一の焦準装置とは異なる本発明の第二の焦準装置を備えている。あえて別に焦準装置を設けたのは、従来の焦準装置の精度が本発明に係わるＺ座標上の位置管理座標の要求精度から著しく劣るためである。精度とは、一例をあげるとＺ座標方向の直進性及び煽り精度及び位置停止精度などである。

しかしながら、顕微鏡の筺体と光学系は一体で出来ており位置関係を変えることはできない。その結果、図６で示すように制約を受ける空間（図中）がうまれる。実際には、この空間が非常に狭く新たに構造を設けるのは非常に困難である。例えばこの空間を使うとすると観察領域を狭くすることになり病理検査などでは実用に不十分になる。一方で顕微鏡筺体の側面側は限りなく空間を取ることが出来ることがわかり実用に支障がない。

そこで、本発明では、第二の焦準装置の構造物であるガイドレール１８とガイドテーブル１９からなるガイド１７及び第一の操作部であるリニアアクチュエータ用焦準ハンドル２３を側面に配置する。図６で図示するＡの位置やＣの位置は制約を受ける空間にかかっているがＢの位置は制約を受ける空間にかからないことがわかる。よって、本発明は、ガイド１７及びリニアアクチュエータ用焦準ハンドル２３を、顕微鏡筐体の側面側のうち制約を受ける空間にかからない空間、すなわち例えば図６に示すＢの位置に配置することが重要である。

組織片（試料）は、図１４で示すスライド３４に載って観察されるため実際に稼働する範囲はスライドと組織片と対物ごとの焦点位置のばらつきとワークディスタンスの総和以上あれば十分である。よって、本発明の第二の焦準装置の可動範囲はストロークで２ｍｍから５ｍｍあれば十分である。よって、一般的な顕微鏡のストロークは十数ｍｍ以上あるため後から着脱が可能である。

したがって、本発明の第四の発明によれば、観察領域を大きく取ることが出来、且つ精度の良い第二の焦準装置を使うことで位置座標管理の精度に有利な位置決め装置および顕微鏡装置を提供することができる。

つぎに、本発明の第五の実施の形態の顕微鏡装置１００について図１を用いて説明する。図１では、図１３と同じ構成要素については同じ番号を付し説明を省略する。図１（ａ）は、本実施形態の顕微鏡装置１００の正面図であり、図１（ｂ）は、本実施形態の顕微鏡装置１００の側面図である。本実施形態の顕微鏡装置１００は、後述する焦準装置５０を備えている。

従来は、図１４を用いて説明したように、組織片３０を載せたスライド３４が光軸Ｏと相対的に傾くことが必定になっており、位置座標管理の精度が劣化してしまうという課題があった。

本発明は、この課題を解決する為に、顕微鏡フレーム１３との固定位置（摺動部１１）を通るＹ軸線に対し、ステージハンドル１４ａ，１４ｂを有する側とは反対側（相対した側）にリニアアクチュエータ用焦準ハンドル２３を備える。

これにより、摺動部１１を支点とした左右バランスを整えローラガイドやあり溝で支持されている顕微鏡の摺動部１１（図２に記載）への余計な力となるモーメントの発生を極力抑えることができる。このとき、焦準ハンドルは、従来は顕微鏡フレーム１３にのみ取り付いていたが、本発明では顕微鏡フレーム１３から分離して摺動部１１より手前に新たにリニアアクチュエータ用焦準ハンドル２３を設置することにした。リニアアクチュエータ用焦準ハンドル２３の操作量に応じて、リニアアクチュエータ２２によりステージキャリア９（ステージ８）を上下動作させる。

以下、本実施形態の顕微鏡装置１００の詳細な構造を説明する。

顕微鏡フレーム１３（ベース部材、固定部）は、上述した観察光学系、照明系、焦準系を保持している。また、顕微鏡フレーム１３の側面には、ステージ８（ステージキャリア９、ステージキャリアアーム１６）をＺ方向に駆動するための第一の焦準部である焦準ハンドル１２ａ，１２ｂ（第三の操作部）が設けられている。

摺動部１１（接続部）は、顕微鏡フレーム１３に対し観察光学系の光軸方向（Ｚ方向）に沿って移動可能（摺動可能）に顕微鏡フレーム１３によって支持されている。また、摺動部１１は、焦準ハンドル１２ａ，１２ｂの操作量に応じて顕微鏡フレーム１３に対しＺ方向に摺動する。

図２に示すように、摺動部１１は、試料を観察するための観察光学系の光軸ＯからＹ方向に延びる基準線上にその中心が設けられ、ステージキャリアアーム１６を顕微鏡フレーム１３に接続する接続部材としての役割を持つ。また、ステージキャリアアーム１６を保持する保持部材としての役割を持つ。

ステージキャリアアーム１６（固定部）は、摺動部１１に任意に着脱可能に固着される。ステージキャリアアーム１６は、ステージ８（ステージキャリア９）を支持する役割を持つ。なお、ステージキャリアアーム１６は、図２に示すように、基準線と光軸Ｏを含む面（基準面）に対し＋Ｘ側（第２側）の領域に設けられＹ方向に延びる延長部１６ａを有する。また、ステージキャリアアーム１６は、第一の焦準部と接続しＺ方向と平行な接続面を有する接続部１６ｂを有する。延長部１６ａは、接続部１６ｂの端部（本実施例では＋Ｘ側の端部）からＹ方向に延びている。ステージキャリアアーム１６は、延長部１６ａにおいてリニアアクチュエータ用焦準ハンドル２３と、後述の焦準機構を支持している。接続部１６ｂの第一の焦準部と接続する接続面と、延長部１６ａの後述の焦準機構が固定される案内面とは、互いに直交している。より具体的には、ステージキャリアアーム１６の延長部１６ａのうち、上述した顕微鏡筐体の側面側の制約を受けない空間において、リニアアクチュエータ用焦準ハンドル２３と焦準機構とが設けられている。ステージ８およびステージハンドル１４ａ，１４ｂは、第二の焦準部である焦準機構を介して延長部１６ａによって支持される。

リニアアクチュエータ用焦準ハンドル２３（第一の操作部）は、ステージキャリアアーム１６（延長部１６ａ）に設けられ、ステージ８（ステージキャリア９）をＺ方向（第１方向および第２方向と直交する第３方向）に駆動するために操作される部材である。ここで、図２に示すように、ステージハンドル１４ａ，１４ｂ（第二の操作部）は、基準線と光軸Ｏを含む面（換言すれば、顕微鏡装置の光軸と、第一の焦準部および第二の焦準部が固定される位置と、を含む面）に対し、−Ｘ側（第１側）の領域に設けられている。そして、焦準ハンドル２３（第一の操作部）は、基準線と光軸Ｏを含む面（基準面）に対し、＋Ｘ側（第１側とは反対の第２側）の領域に設けられている。焦準ハンドル２３が基準面に対しステージハンドル１４ａ，１４ｂと反対側に設けられている理由は、摺動部１１にかかる左右のモーメントを釣り合うようにするためである。この左右のモーメントについては、後ほど詳細に説明する。

ステージキャリアアーム１６（延長部１６ａ）には、一般的にリニアガイドなどで知られる直動機構のガイドテーブル１９ａ，１９ｂが固着される。また、ステージキャリア９には、ガイドレール１８が固着される。ガイドレール１８は、ガイドテーブル１９ａ，１９ｂに対しＺ方向に移動可能な可動部として構成される。これらガイドテーブル１９ａ，１９ｂおよびガイドレール１８により、ガイド１７が構成される。ガイド１７は、第二の焦準部の焦準機構として構成される。また、ステージキャリア９には、コンデンサホルダー６が具備されている。コンデンサレンズ４の中心軸と、テーブル平面と直交する方向と、顕微鏡ごと微妙に異なる光軸と、の同軸ズレ・光軸方向の位置をコンデンサホルダー６で合わせられるようになっている。二個のガイドテーブル１９ａ，１９ｂを介してステージキャリアアーム１６と連結しているのは、剛性を高め精度を上げる効果があるためである。また、より高い剛性と精度を得るために、本実施形態のガイドテーブル１９ａ，１９ｂは、ローラガイドまたはボールガイドで構成され、ローラまたはボールが回転する量は一回転以内になる移動量±２ｍｍにしている。但し、精度がラフな場合は移動量が±２ｍｍを超えても良い。

図２は、本実施形態の顕微鏡装置の一部である焦準装置５０を上面から見た図である。図２では、ステージハンドル１４ａ，１４ｂと、ガイド１７と、ステージキャリアアーム１６と、リニアアクチュエータ用焦準ハンドル２３と、摺動部１１と、の配置関係を示す。ステージハンドル１４ａ，１４ｂが光軸Ｏと摺動部１１の中心を繋ぐ基準線に対して左側（−Ｘ側）に配置されている場合を示している。このとき、ガイド１７、ステージキャリアアーム１６（延長部１６ａ）、焦準ハンドル２３を右側（＋Ｘ側）に配置することでモーメントの発生を抑えることとした。また、その逆の配置でも同様の効果を得ることができる。この構成により、光軸と観察対象である試料（組織切片３０）との直交関係が一定に保たれる。保たれなければ図１４（ａ）、（ｂ）で示すように三次元的にはスライド面に対して異なる位置情報を持つことになり位置座標管理の精度を下げることになる。

これら座標の位置管理を行うステージ８は、駆動源となるモータ機能と位置を検知するエンコーダ機能とネジやボールネジなどの直動減速機構を具備したリニアアクチュエータ２２によって上下自在に制御可能である。

動作指令は不図示の制御コントローラから発せられ焦準ハンドル２３が回転した量だけ発生されるパルス信号のパルス数によって上下に制御され動く。したがって、このリニアアクチュエータ２２、ガイド１７は、焦準ハンドル２３の操作量（回転量）に応じてステージ８をＺ方向に駆動するための焦準機構として構成される。焦準機構は、ステージキャリアアーム１６およびステージキャリア９に設けられる。このような焦準機構を備えた焦準装置５０により、焦準ハンドル２３を回転操作することで、ステージ８と対物レンズ３との距離を光軸方向（Ｚ方向）に変化させることができる。

図２〜５で光軸Ｏを通るＹ軸（基準線）を中心にモーメントのバランスを取る考えを説明する。

図２に示すように、焦準ハンドル２３は基準線（Ｙ軸）と光軸Ｏを含む面（基準面）に対してステージハンドル１４ａ，１４ｂと相対する側に配置した。これにより、焦準ハンドル２３は、モーメントの発生を抑えるウエイトの役割を果す。ここで、図３を用いてステージ８の構成を説明すると、ステージ８は、ベース４１と、Ｘテーブル４２と、Ｙテーブル４３を有する。ベース４１には、Ｘテーブル４２がガイド４１ａを介して繋がり、Ｘテーブル４２には、Ｙテーブル４３がガイド４１ａとは別のガイド４２ｂを介して繋がっている。この構成により、ステージ８はＸＹ方向に可動自在である。摺動部１１（基準線）を中心に左右のモーメントを一致させていることでステージ８の移動で発生するモーメントの影響量を限りなく小さくすることが出来る。ここで、一致とは、完全に一致している場合と、許容誤差の範囲内で完全に一致している場合からずれている場合とを含む意味である。

このことについて、図４を用いて説明をする。

図４は、摺動部１１に対して、ステージ８、ステージハンドル１４ａ，１４ｂ、焦準ハンドル２３、ステージキャリアアーム１６が支持されている概念を示している。摺動部１１は顕微鏡フレーム１３に対し任意に固定される為、ステージ８の組織片３０が載置される面は、ステージ８がＸ方向（図中の左右方向）に動作する量に応じて支点である基準線（摺動部１１の中心）を中心にして傾斜変形することになる。また、図４において、摺動部１１（基準線回り）に掛かるモーメントは左側がステージハンドル１４ａ，１４ｂの重量とステージ８の重量を加算した重量Ｆ１とＬ１の積で発生する（反時計回りの第１モーメント）。Ｌ１は、Ｘ軸方向における、支点（基準線）からステージ８およびステージハンドル１４ａ，１４ｂの重心までの距離である。右側はステージキャリアアーム１６、焦準ハンドル２３からなるウエイトの重量Ｆ２とＬ２の積で発生する（時計回りの第２モーメント）。Ｌ２は、Ｘ軸方向における、支点（基準線）からステージキャリアアーム１６および焦準ハンドル２３の重心までの距離である。本実施形態では、第１モーメントの値と第２モーメントの値の差が小さくなるように（望ましくはゼロになるように）ウエイト重量（第２モーメント）を調整している。そのため、これらの積の値が略同等となり（モーメントが釣り合い）、ステージ８の組織片３０が載置される面がＹ軸回り（基準線回り）に傾斜することを低減している。一方、これらの積の値が略同等でない場合はモーメントが発生して全体が傾斜してしまう。

このとき、図５（ａ）で示すように、光軸の中心に対して左右略同一の可動範囲（ストローク）とし、ストローク中心に位置する時のステージ８の重心に基準線（支点）が一致する様にウエイト重量（第２モーメント）を調整する。図５（ａ）において、ステージハンドル１４ａ，１４ｂは、基準線を支点としたときの支点回りにおいて、反時計回り（第１回転方向）の第１モーメントＦ１を与えている。また、焦準ハンドル２３は、該支点回りにおいて、時計回り（第１回転方向とは反対の第２回転方向）の第２モーメントＦ２を与えている。このとき、第２モーメントＦ２は、第１モーメントＦ１と釣り合うように設定されている。図５（ａ）および図５（ｂ）では、このウエイト重量（第２モーメントＦ２）を調整することで焦点位置の変化量を任意に操作できることを示している。図５（ｂ）の焦準ハンドル２３によるウエイトの重量は、図５（ａ）の焦準ハンドル２３によるウエイトの重量よりも軽く設定されている。例えば、図５（ａ）では、ストローク中心に摺動部１１（支点）があるため焦点位置の変化量は少なくなる。対して、図５（ｂ）では、ストロークの端に位置する時のステージ８の重心に摺動部１１（支点）が一致するようにウエイト重量（第２モーメントＦ２）を調整した場合の焦点位置の変化量の大きさを表している。図５（ｂ）では、摺動部１１（支点）がステージストロークの端にいるために焦点位置の変化量が大きくなる。なお、図５（ｂ）においても、第２モーメントは、第１モーメントと釣り合うように設定されている。図５（ａ）に示される第２モーメントＦ２は、図５（ｂ）に示される第２モーメントＦ２よりも大きい値である。このように、ストローク中心に位置する時のステージ８の重心から摺動部１１（支点）が離れている場合よりも近い場合の方が、焦点位置の変化量を少なくすることができる。したがって、基準線（支点）は、Ｘ方向において、ステージ８がＸ方向に移動可能な可動範囲（ストローク）の端部に位置するときの該ステージの重心よりも、ストロークの中心に位置するときの該ステージの重心に近い位置に配置される。望ましくは、基準線（支点）は、Ｘ方向において、ストロークの中心に位置するときのステージ８の重心と一致する位置に配置される。

このように、基準線と光軸Ｏを含む基準面に対し、ステージハンドル１４ａ，１４ｂとは反対側にリニアアクチュエータ用焦準ハンドル２３を備えることで、基準線を中心にバランスを取る事ができる。そのため、摺動部への負荷が減り左右の傾斜変動が小さくなり位置座標管理の精度を上げることができる。なお、図１に示すように、リニアアクチュエータ用焦準ハンドル２３は、モーメントバランスを調整するための錘４７を外部に有していてもよい。すなわち、基準面に対し＋Ｘ側（第２側）に設けられ、基準線を支点としたときの支点回りのモーメントを調整する（第１モーメントと第２モーメントとが釣り合うように調整する）ための錘（調整部材）をさらに備えてもよい。また、錘４７を設ける代わりに、ガイドレール１８、ガイドテーブル１９ａ，１９ｂなどを図２とは異なる位置に配置することも可能である。例えば、図２では、ガイドレール１８、ガイドテーブル１９ａ，１９ｂを基準面に対し＋側（第２側）に設けるようにしたが、錘４７によって調整が可能であれば、これを−側（第１側）に設けてもよい。

本発明の第五の発明では、ステージ８を上下方向に移動させるための焦準ハンドル２３を、基準面に対し、ステージハンドル１４ａ，１４ｂとは反対側に設けている。

これにより、摺動部１１を支点とした左右バランスを整え、該摺動部１１への余計な力となるモーメントの発生を極力抑えることができる。

さらに、ストローク中心に位置する時のステージ８の重心に摺動部１１（支点）が一致する様にウエイト重量を調整している。

これにより、焦点位置の変化量を少なくすることができる。

したがって、本発明の第五の発明によれば、位置座標管理の精度に有利な位置決め装置および顕微鏡装置を提供することができる。

本発明の第六の実施の形態の焦準装置および顕微鏡装置について図７を用いて説明する。

図７は、第六の実施形態における顕微鏡装置の焦準ハンドル２３の概略断面図である。

本実施形態にかかる焦準ハンドル２３は、その内部にウエイト３６を有している点で、第一から第五の実施形態と異なる。すなわち、基準面に対し＋Ｘ側（第２側）に設けられ、第１モーメントと第２モーメントとが釣り合うようにモーメントを調整するための錘（調整部材）をさらに備えている。

ステージキャリアアーム１６は、開口部を有し、該開口部の内部には軸受４６が配置・固定されている。

軸受４６の外輪は、ステージキャリアアーム１６に固定される。軸受４６は、外輪の内側に、転動ボールおよび内輪を有する。

軸受４６の内輪は、焦準ハンドル２３の心棒３８（回転軸）が挿入・固定される。そのため、焦準ハンドル２３は、ステージキャリアアーム１６に対し、該心棒３８の中心軸周りに回転可能に構成されている。

焦準ハンドル２３の心棒３８には、ウエイト３６が固定される。また、ウエイト３６には、エンコーダホィール４０が固定される。すなわち、本実施形態における焦準ハンドル２３は、該焦準ハンドル２３の回転量を検出するためのエンコーダホィール４０（検出部材）が備えられ、ウエイト３６によって該エンコーダホィール４０を焦準ハンドル２３の心棒３８に固定している。本実施形態では、エンコーダホィール４０は、ウエイト３６を介して心棒３８に固定されているが、本発明はこれに限定されない。例えば、エンコーダホィール４０は、ウエイト３６とは別の部材を介して心棒３８に固定されるようにしてもよい。この場合、ウエイト３６は、該別の部材とは異なる位置で心棒３８に固定される。

また、ステージキャリアアーム１６は、エンコーダホィール４０と対向する領域にパルス検出器４４を固定している。焦準ハンドル２３が回転操作されると、該回転とともにエンコーダホィール４０も回転する。パルス検出器４４は、このエンコーダホィール４０の回転量を計測し、計測した回転量に応じた信号を不図示の制御コントローラに出力する。制御コントローラは、受け取った信号に応じて、リニアアクチュエータ２２を駆動・制御し、ガイド１７を介して、ステージキャリアアーム１６に対し、ステージキャリア９（ステージ８）を上下方向に移動させる。すなわち、制御コントローラは、焦準ハンドル２３の回転量（操作量）に応じて、ステージキャリア９（ステージ８）の駆動を制御する。

このように、本実施形態では、ウエイト３６がステージキャリアアーム１６に付加されており、このウエイト３６の重量を調整することで、摺動部１１にかかる余分な力の発生を抑えている。ウエイト３６は焦準ハンドル２３の心棒３８上を移動自在に固定でき、ビスなどの固定手段によって任意の位置に固定できる。すなわち、ウエイト３６は、焦準ハンドル２３の心棒３８が延びる方向（Ｘ方向）に移動可能に構成され、該Ｘ方向に移動することで、モーメント（第２モーメント）を調整することができる。これにより、ウエイト３６の重量を変更せずに、ウエイト３６を心棒３８の軸方向に移動させるだけで、摺動部１１にかかる右回りのモーメントを細かく調整することが可能である。また、図７のようにウエイト３６にエンコーダホィール４０を配置するとハブと兼用することもできるため、コストを削減することができる。すなわち、図７に示すように、ウエイト３６とエンコーダホィール４０の保持部材を兼用して構成部品を増やさずに安価に対応することができる。

このように、本発明の第六の発明では、確実にモーメントバランスを取る為にリニアアクチュエータ用焦準ハンドル２３に更にウエイト３６を心棒３８に付加し任意にモーメント荷重の調整ができる様にした。これにより、安易にステージ８の組織片３０が載置される面の精度（位置座標管理の精度）を向上する効果が得られる。

本発明の第六の発明によれば、第五の発明と同様に焦点位置の変化量を少なくすることができ、かつ、モーメントバランスを容易に調整することができる。

したがって、本発明の第六の発明によれば、位置座標管理の精度に有利な位置決め装置および顕微鏡装置を提供することができる。

本発明の第七の実施の形態の焦準装置および顕微鏡装置について図８および９を用いて説明する。

図８は、第七の実施形態における顕微鏡装置の摺動部１１およびステージキャリアアーム１６の斜視図である。

本実施形態にかかるステージキャリアアーム１６は、その側面に補強部材３７ａ，３７ｂを有している点で、第一から第六の実施形態と異なる。すなわち、本実施形態においては、さらにステージキャリアアーム１６の強度を補強するための補強部材３７ａ，３７ｂをステージキャリアアーム１６に備えている。

図９（ａ）は、補強部材３７ａの斜視図であり、図９（ｂ）は、補強部材３７ｂの斜視図である。補強部材３７ａは、ステージキャリアアーム１６の焦準ハンドル２３が設けられる側に固定され、該固定される面から折り曲げられる折り曲げ部３７ａ_１を有する。また、補強部材３７ｂは、ステージキャリアアーム１６のガイドテーブル１９ａが設けられる側に固定され、該固定される面から折り曲げられる折り曲げ部３７ｂ_１を有する。折り曲げ部３７ａ_１は、補強部材３７ａが取り付けられるステージキャリアアーム１６の側面に対し傾斜（例えば、略９０°傾斜）している。折り曲げ部３７ｂ_１は、補強部材３７ｂが取り付けられるステージキャリアアーム１６の側面に対し傾斜（例えば、略４５°傾斜）している。

このように、本実施形態では、曲げの付いた板状の補強部材３７ａ，３７ｂを基準面に対してステージハンドル１４ａ，１４ｂとは相対する側に配置した。略モーメント荷重方向に曲げの面を持ち上げることにより大きく強度を上げられる。このように、補強部材３７ａ，３７ｂは、ステージキャリアアーム１６の強度を補強するための折り曲げ部を有している。ステージキャリアアーム１６の材質を鉄等の剛性の高い材料にすることなく必要な部分のみを強度補強する。結果、自重が軽くなる。モーメントに対する変形量を減らす事ができ、モーメントを相殺する荷重にもなるため有効である。すなわち、本実施形態において、補強部材３７ａ，３７ｂは、基準面の＋Ｘ側（第２側）に設けられ、第１モーメントと第２モーメントとが釣り合うようにモーメントを調整する調整部材としての機能を有する。

よって、補強部材３７ａ，３７ｂは、ステージキャリアアーム１６の剛性を高め尚且つモーメントの発生を抑えるウエイトの役割を果たしている。

補強部材３７ａ，３７ｂは、板状の鋼板などで出来ており形状に曲げを入れることで大幅に強度を上げている。配置は内側（すなわち、ガイドテーブル１９ａが設けられる側）にのみ設けてもよいし、外側（焦準ハンドル２３が設けられる側）にのみ設けてもよいし、またその両方に設けてもよい。

本発明の第七の発明では、アルミや鋼板などの圧延材料で板状の部材に曲げを伴いステージキャリアアーム１６の強度を補強する補強部材を構成し、且つ補強部材をモーメントのバランスを合わせるのに適した空間・質量の部品で構成している。

したがって、ウエイトとしての機能を有する補強部材がステージキャリアアーム１６に付加されることで、摺動部１１にかかる余分な力の発生を抑えることができる。さらに、補強部材がステージキャリアアーム１６の剛性を改善する構成を有しているので、ステージキャリアアーム１６の強度を補強することができる。ステージキャリアアーム１６の強度を補強することでさらに、ステージ８の組織片３０が載置される面の傾き（焦点位置の変化量）を抑えることができ、安易に位置座標管理の精度を向上する効果が得られる。

本発明の第七の発明によれば、第五および第六の発明と同様に焦点位置の変化量を少なくすることができ、かつ、ステージキャリアアーム１６の剛性を改善することができる。

したがって、本発明の第七の発明によれば、位置座標管理の精度に有利な焦準装置および顕微鏡装置を提供することができる。

本発明の第八の実施形態の焦準装置および顕微鏡装置について図１０を用いて説明する。

図１０は、第八の実施形態における顕微鏡装置のステージキャリアアーム１６の斜視図である。

本実施形態にかかるステージキャリアアーム１６は、その内部に、ウエイトとしての機能を備え、かつ、ステージキャリアアーム１６の強度を補強する補強部材３９ａ，３９ｂを有している点で、第一から第七の実施形態と異なる。すなわち、補強部材３９ａ，３９ｂは、基準面の＋Ｘ側（第２側）に設けられ、第１モーメントと第２モーメントとが釣り合うようにモーメントを調整する調整部材としての機能を有するとともに、ステージキャリアアーム１６の強度を補強する機能を有する。

棒状の補強部材３９ａ，３９ｂがステージキャリアアーム１６の内部に埋め込まれることで、摺動部１１にかかる余分な力の発生を抑えることができる。さらに、ステージキャリアアーム１６の剛性を改善する構成を有しているので、ステージキャリアアーム１６の強度を補強することができる。ここで、ステージキャリアアーム１６は、補強部材３９ａ，３９ｂを内部に格納するための格納部を有し、補強部材３９ａ，３９ｂは、該格納部に格納されることで、ステージキャリアアーム１６の強度を補強する。ステージキャリアアーム１６の強度を補強することでさらに、ステージ８の組織片３０が載置される面の傾き（焦点位置の変化量）を抑えることができ、安易に位置座標管理の精度を向上する効果が得られる。

本発明の第八の発明では、モーメントのバランスを合わせる手段として軽金属のフレーム材より、鉄・銅・タングステン合金などの密度の高い材料を使用している。このように、補強部材３９ａ，３９ｂは、ステージキャリアアーム１６の材料よりも密度の高い材料で構成される。補強部材３９ａ，３９ｂをステージキャリアアーム１６内に組込ことでステージキャリアアーム１６の形状を変えることなく剛性とウエイトを適度に微調整し、時計回り（右回り）と反時計回り（左回り）のモーメントを合わせる事ができる。すなわち、ステージ８の組織片３０が載置される面の傾き（焦点位置の変化量）を抑えることができ、スマートに位置座標管理の精度を向上する効果が得られる。

本発明の第八の発明によれば、第五から第七の発明と同様に焦点位置の変化量を少なくすることができ、かつ、ステージキャリアアーム１６の剛性を改善することができる。

したがって、本発明の第八の発明によれば、位置座標管理の精度に有利な位置決め装置および顕微鏡装置を提供することができる。

本発明の第九の実施形態の焦準装置および顕微鏡装置について図１１を用いて説明する。

図１１は、第九の実施形態における顕微鏡装置のステージキャリア９から摺動部１１までの構造の斜視図である。

本実施形態にかかるステージキャリアアーム１６は、ウエイトとしての機能を備え、かつ、ステージキャリア９を駆動するためのステージキャリア駆動モータ１５を有している点で、第一から第八の実施形態と異なる。すなわち、駆動モータ１５は、基準面の＋Ｘ側（第２側）に設けられ、第１モーメントと第２モーメントとが釣り合うようにモーメントを調整する調整部材としての機能を有するとともに、ステージ８をＺ方向に駆動するための駆動手段としての機能を有する。

図１１では、ステージキャリア駆動モータ１５は、ステージキャリアアーム１６の外側の側面に配置した。また、このステージキャリア駆動モータ１５と他の手段とを組み合わせることも可能である。例えば、第六の実施形態のウエイト３６、第七の実施形態の補強部材３７ａ，３７ｂ、第八の実施形態の補強部材３９ａ，３９ｂなどのウエイトとしての機能を備えた部材と組み合わせて使用してもよい。ただし、ウエイトの機能は質量があれば良いが、価格を安価に抑えると外装面が粗くなり美観を損なうためステージキャリアアーム１６を図１２に示すようにカバー４５で覆いウエイトとしての機能を備えた部材に触れないようにレイアウトすることが望ましい。すなわち、図１２に示すように、本実施形態における焦準装置は、カバー４５（カバー部材）を有し、ウエイトとしての機能を有する調整部材は、該カバー４５によって覆われるように構成されている。

本発明の第九の発明では、マグネットやＰＺＴ等の高密度な材料を使ったモータなどの駆動ユニットをウエイトとしてステージキャリアアーム１６に組込ことでモーメントバランスをあわせることができる。したがって、ウエイトとしてのモータをステージキャリアアーム１６に配置するだけで、摺動部１１（支点）を中心とした時計回り（右回り）と反時計回り（左回り）のモーメントを合わせる事ができる。すなわち、ステージ８の組織片３０が載置される面の傾き（焦点位置の変化量）を抑えることができ、安易に位置座標管理の精度を向上する効果が得られる。また、本実施形態では、バランスウエイト部材をカバー等で隠れる箇所に配置することでユザーが触れられない状態にしている。これにより、ウエイト（モーメント）を調整した後に影響が出ないようにしている。また見栄えもよくなる。

一般公知のモータ構成部品は比重の高い材料が必須で使われている。例えば、マグネットやＰＺＴ等の材料である。ゆえに、第九の発明では、駆動モータ１５を駆動ユニットおよびウエイトとしてステージキャリアアーム１６に組込むことでバランスを合わせる手段になる。さらに、磁力・振動力のパワーを上げ駆動ユニットの推力（駆動力）を上げると同時にテーブルの剛性を上げ弾性変形量を減らし高精度にする効果がある。

本発明の第九の発明によれば、第五から第八の発明と同様に焦点位置の変化量を少なくすることができ、かつ、モーメントバランスを容易に調整することができる。

したがって、本発明の第九の発明によれば、位置座標管理の精度に有利な位置決め装置および顕微鏡装置を提供することができる。

また、各実施形態に記載の手段を組み合わせても良く以上の効果から、病理医の手間を省く事が出来、診断を早くすることができる。

なお、上記各実施形態では、左右のモーメントバランスを調整するため、右回りのモーメントを大きくするよう、ウエイト部材や補強部材などの調整部材を追加する構成を説明した。しかし、本発明はこれに限定されない。例えば、ステージキャリアアーム１６を補強した結果、右回りのモーメントが大きくなりすぎてしまった場合は、例えば、ステージハンドル１４ａ，１４ｂに調整部材を設けてモーメントバランスを調整してもよい。

以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明はこれらの実施形態に限定されず、その要旨の範囲内で種々の変形及び変更が可能である。

本発明の位置決め装置は、顕微鏡装置に好適に使用することができる。

１ 接眼レンズ
２ 鏡筒
３ 対物レンズ
４ コンデンサレンズ
５ コンデンサホルダーハンドル
６ コンデンサホルダー
７ レボルバー
８ ステージ
９ ステージキャリア
１０ 照明光源
１１ 摺動部
１２ 焦準ハンドル
１３ 顕微鏡フレーム
１４ ステージハンドル
１５ ステージキャリア駆動モータ
１６ ステージキャリアアーム（アーム部）
１７ ガイド
１８ ガイドレール
１９ ガイドテーブル
２２ リニアアクチュエータ
２３ リニアアクチュエータ用焦準ハンドル
３０ 組織切片
３３ 組織構成要素（赤血球・細胞壁・ＤＮＡ etc.）
３４ スライド
３６ ウエイト
３７ 補強部材
３８ 心棒
３９ ビス
４０ エンコーダホィール
４１ ベース部材
４２ Ｘテーブル
４３ Ｙテーブル
４４ パルス検出器
４５ カバー
４６ 軸受
４７ 錘

Claims (22)

1. 試料を載置するステージをＺ方向に移動させる第一の焦準部を含む顕微鏡装置に対して固定される位置決め装置であって、
   前記顕微鏡装置に対して固定される、第一の操作部が操作されることに応じて前記ステージをＺ方向に移動させる、前記第一の焦準部よりもＺ方向への可動範囲が小さい第二の焦準部と、
   前記第二の焦準部に対して固定され、第二の操作部が操作されることに応じて前記ステージをＸＹ方向に移動させる移動部と、を有し、
   前記顕微鏡装置の光軸と、前記第一の焦準部と前記第二の焦準部とが固定される位置とを含む平面に対して、前記第一の操作部と前記第二の操作部とが互いに対向する位置に配置されることを特徴とする位置決め装置。
2. 試料を載置するステージをＺ方向に移動させる第一の焦準部を含む顕微鏡装置に対して固定される位置決め装置であって、
   前記顕微鏡装置に対して固定される、第一の操作部が操作されることに応じて前記ステージをＺ方向に移動させる、前記第一の焦準部よりもＺ方向への可動範囲が小さい第二の焦準部と、
   前記第二の焦準部に対して固定される、第二の操作部が操作されることに応じて前記ステージをＸＹ方向に移動させる移動部と、を有し、
   前記顕微鏡装置の光軸と、前記第一の焦準部と前記第二の焦準部とが固定される位置とを含む平面を挟んで、前記第二の焦準部の重心位置と前記移動部の重心位置とが配置されるように、前記第二の焦準部と前記移動部とが構成されることを特徴とする位置決め装置。
3. 前記第二の焦準部は、
   前記Ｚ方向に移動可能な可動部と、
   前記第一の焦準部と接続し前記Ｚ方向と平行な接続面を含む接続部と、前記可動部の駆動を案内するガイドが固定され前記Ｚ方向と平行な案内面と前記案内面と背中あわせに配置された前記第一の操作部とを備えた固定部と、を有し、
   前記接続面と前記案内面が互いに直交することを特徴とする請求項１または２記載の位置決め装置。
4. 前記第一の操作部および前記第二の操作部は、前記光軸を含み前記案内面と平行な面を挟んで配置されることを特徴とする請求項３記載の位置決め装置。
5. 前記顕微鏡装置の光軸と前記第一の焦準部および前記第二の焦準部が固定される位置とを通る基準線上にある支点は、前記Ｘ方向において、前記ステージが前記Ｘ方向に移動可能な可動範囲の端部に位置するときの該ステージの重心よりも、前記ステージが前記Ｘ方向に移動可能な可動範囲の中心に位置するときの該ステージの重心に近い位置に配置される、
   ことを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１項に記載の位置決め装置。
6. 前記第二の操作部は、前記顕微鏡装置の光軸と前記第一の焦準部および前記第二の焦準部が固定される位置とを通る基準線を支点としたときの支点回りにおいて、第１回転方向の第１モーメントを与え、
   前記第一の操作部は、前記支点回りにおいて、前記第１回転方向とは反対の第２回転方向の第２モーメントを与える、
   ことを特徴とする請求項１ないし５のいずれか１項に記載の位置決め装置。
7. 前記固定部は、前記接続部の端部から前記Ｙ方向に延びる延長部を有し、
   前記延長部は、前記第一の操作部と、前記ガイドと、を支持し、
   前記ステージは、前記ガイドを介して前記延長部によって支持される、
   ことを特徴とする請求項３に記載の位置決め装置。
8. 前記第一の焦準部には、前記ステージを前記Ｚ方向に駆動するための第三の操作部が設けられ、
   前記第二の焦準部の前記第一の焦準部と接続する接続部は、前記第三の操作部の操作量に応じて前記顕微鏡装置に対し前記Ｚ方向に摺動することを特徴とする請求項１ないし７のいずれか１項に記載の位置決め装置。
9. 前記顕微鏡装置の光軸と前記第一の焦準部および前記第二の焦準部が固定される位置とを通る基準線に対して前記第一の操作部が配置される側に設けられ、前記基準線を支点としたときの支点回りのモーメントを調整する調整部材を有する、
   ことを特徴とする請求項１ないし８のいずれか１項に記載の位置決め装置。
10. 前記調整部材は、前記第一の操作部に設けられた錘であることを特徴とする請求項９に記載の位置決め装置。
11. 前記第一の操作部は、該第一の操作部の回転量を検出するための検出部材を有し、
    前記錘は、前記第一の操作部の前記Ｘ方向に延びる回転軸に設けられ、前記検出部材を前記回転軸に固定する、
    ことを特徴とする請求項１０に記載の位置決め装置。
12. 前記錘は、前記回転軸が延びる方向に移動可能に構成され、前記回転軸が延びる方向に移動することで、前記モーメントを調整する、
    ことを特徴とする請求項１１に記載の位置決め装置。
13. 前記調整部材は、前記第二の焦準部に設けられ、前記第二の焦準部の強度を補強するための補強部材である、
    ことを特徴とする請求項９ないし１２のいずれか１項に記載の位置決め装置。
14. 前記補強部材は、前記第二の焦準部の強度を補強するために、折り曲げ部を有することを特徴とする請求項１３に記載の位置決め装置。
15. 前記補強部材は、前記第二の焦準部の材料よりも密度の高い材料で構成されることを特徴とする請求項１３に記載の位置決め装置。
16. 前記第二の焦準部は、前記補強部材を内部に格納するための格納部を有し、
    前記補強部材は、前記格納部に格納されることで、前記第二の焦準部の強度を補強することを特徴とする請求項１５に記載の位置決め装置。
17. 前記調整部材は、前記第二の焦準部に設けられ、前記ステージを前記Ｚ方向に駆動するための駆動手段である、
    ことを特徴とする請求項９ないし１６のいずれか１項に記載の位置決め装置。
18. 前記駆動手段は、マグネットまたはＰＺＴの材料で構成されることを特徴とする請求項１７に記載の位置決め装置。
19. 前記駆動手段は、モータであることを特徴とする請求項１７または請求項１８に記載の位置決め装置。
20. カバー部材を有し、
    前記調整部材は、前記カバー部材によって覆われていることを特徴とする請求項９ないし１９のいずれか１項に記載の位置決め装置。
21. 対物レンズを備え観察対象である試料を観察するための観察光学系と、
    前記観察光学系を保持するベース部材と、
    前記ベース部材に対し前記観察光学系の光軸方向に沿って移動可能に支持される請求項１ないし２０のいずれか１項に記載の位置決め装置と、
    を有することを特徴とする顕微鏡装置。
22. 顕微鏡装置であって、
    試料を載置するステージと、
    前記ステージをＺ方向に移動させる第一の焦準部と、
    前記第一の焦準部に固定され、第一の操作部が操作されることに応じて前記ステージをＺ方向に移動させる、前記第一の焦準部よりもＺ方向への可動範囲が小さい第二の焦準部と、
    前記第二の焦準部に対して固定され、第二の操作部が操作されることに応じて前記ステージをＸＹ方向に移動させる移動部と、を有し、
    前記顕微鏡装置の光軸と、前記第一の焦準部と前記第二の焦準部とが固定される位置とを含む平面に対して、前記第一の操作部と前記第二の操作部とが互いに対向する位置に配置されることを特徴とする顕微鏡装置。