JP2017030192A - 液体吐出ヘッド - Google Patents

Abstract

【課題】電気配線部材の電気接続部の幅を抑える。
【解決手段】液体吐出ヘッドは、ヘッドチップ１０８と、ヘッドチップに接続され、素子を駆動するための信号をヘッドチップに送る第１の電気配線部材１０３及び第２の電気配線部材１１０と、を有している。第１の電気配線部材１０３は、ヘッドチップの第１の辺１１５の一部に沿って設けられた電気接続部１１６でヘッドチップ１０８に接続され、第２の電気配線部材１１０は、ヘッドチップの第２の辺１１７でヘッドチップ１０８に接続されている。第２の電気配線部材１１０は、第１の辺１１５に沿った第１の部分１１９と、第１の部分１１９と接続され第２の辺１１７に沿った第２の部分１１８と、第１の部分１１９と接続され、第１の電気配線部材１０３の両側縁部１２１，１２２の間を、第１の電気配線部材１０３と重なって延びる第３の部分１２０と、を有している。
【選択図】図２

Description

本発明は液体吐出ヘッドに関し、特にヘッドチップの素子に駆動信号を送る電気配線部材の構成に関する。

従来、液体を吐出して記録媒体に画像の記録を行う液体吐出装置が知られている。液体吐出ヘッドは、液体を導入し吐出するヘッドチップを備えている。ヘッドチップの一例は、ヘッドチップの圧力室の容積を変化させる圧電素子を備えている。圧電素子は例えばチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）から形成される。圧力室には、液体を圧力室に供給するための液体供給路と、圧力室から液体を吐出するための吐出口とが設けられている。圧力室の容積収縮時に圧力室の液体が吐出口から液滴として吐出され、圧力室の容積膨張時に液体供給路から圧力室に液体が導入される。圧電素子を駆動するための駆動信号は、ヘッドチップに接続された電気配線部材によって供給される。電気配線部材はフレキシブルプリント基板などで構成される。

近年、高画質で高速に印刷を行うことが求められている。それを実現するには多数の吐出口を高密度に配置し、それぞれの吐出口に対応する多数の圧電素子を設け、それぞれの圧電素子の駆動信号を供給するための多数の配線をヘッドチップから引き出す必要がある。しかしながら、ヘッドチップから引き出される配線の本数が増加するとヘッドチップと電気配線部材の電気接続部の面積が増大し、結果として液体吐出ヘッドが大きくなる場合がある。
特許文献１には電気配線部材を複数の部分に分けることが開示されている。具体的には、圧電素子の個別電極に接続された電気配線部材と、圧電素子の共通電極に接続された電気配線部材とが設けられ、これらの電気配線部材はヘッドチップから同一の方向に引き出されている。特許文献２には共通電極配線を別の電気配線部材で接続することが開示されている。

特開２０１１−１６７９５５号公報 特開２００８−２０７４８３号公報

特許文献１に開示された技術においては電気配線部材が２つに分割されているが、２つの電気配線部材の総幅は減少しない。このため、ヘッドチップから引き出される配線の本数が増加すると電気配線部材の面積が増大し、液体吐出ヘッド全体が大きくなる傾向にある。特許文献２に開示された技術は、電気配線部材自体を変更するものではないため、液体吐出ヘッドの大きさの増加を抑えることができない。電気配線部材においては配線の幅と配線間のスペースの製造限界を考慮する必要があり、配線ピッチに限界がある。このため、高解像度を実現するために素子を高密度で配置する場合、電気配線部材の幅は増加する傾向にあり、液体吐出ヘッドが大きくなりやすい。
本発明は、電気配線部材の電気接続部の幅を抑えることが可能な液体吐出ヘッドを提供することを目的とする。

本発明の液体吐出ヘッドは、液体に吐出のためのエネルギーを与える素子を備えたヘッドチップと、ヘッドチップに接続され、素子を駆動するための信号をヘッドチップに送る第１の電気配線部材及び第２の電気配線部材と、を有している。第１の電気配線部材は、ヘッドチップの第１の辺の一部に沿って設けられた電気接続部でヘッドチップに接続され、第２の電気配線部材は、ヘッドチップの第２の辺でヘッドチップに接続されている。第２の電気配線部材は、第１の辺に沿った第１の部分と、第１の部分と接続され第２の辺に沿った第２の部分と、第１の部分と接続され、第１の電気配線部材の両側縁部の間を、第１の電気配線部材と重なって延びる第３の部分と、を有している

本発明によれば、第２の電気配線部材は、第１の電気配線部材の幅方向の両側縁部の間を、第１の電気配線部材と重なって延びている。このため、ヘッドチップの電気接続部の幅を、第１の電気配線部材の電気接続部の幅に抑えることができる。
従って、本発明によれば、電気配線部材の電気接続部の幅を抑えることが可能な液体吐出ヘッドを提供することができる。

液体吐出ヘッドの概略斜視図である。 液体吐出ヘッドのＺ方向から見た概略図である。 液体吐出ヘッドのＸ方向から見た概略図である。 第１及び第２の電気配線部材のＺ方向から見た展開図である。 ヘッドチップの液体吐出部をＹ方向から見た詳細な断面図である。 ヘッドチップの液体吐出部をＸ方向から見た詳細な断面図である 主な部材層を示す、ヘッドチップの分解図である。 比較例におけるヘッドチップの電気配線を説明する図である。 比較例における液体吐出ヘッドのＺ方向から見た概略図である。 実施形態と比較例のヘッドチップの電気配線を説明する図である。 第２の実施形態の液体吐出ヘッドのＸ方向から見た概略図である。

本発明の実施形態を、インクを吐出するインクジェットヘッドを例に説明する。本発明によれば、高解像度の長尺ヘッドの作製が容易となり、ワンパス方式のライン型インクジェットヘッドにおいて一度に大量の印刷が可能となる。本発明は液体を吐出する液体吐出ヘッドに広く適用することができるが、特に産業用プリンタに好適に適用することができる。

（第１の実施形態）
図１は、本発明の一実施形態に係る液体吐出ヘッド１の全体構成を示す斜視図である。図２（ａ）は、図１の下方から（−Ｚ方向に）みた液体吐出ヘッドの平面図であり、液体吐出ヘッドの吐出口形成面を示している。図２（ｂ）は、第１の電気配線部材１０３と重なっている第２の電気配線部材１１０の図示を省略し、第１の電気配線部材１０３の全体を示す、図２（ａ）と同様の図である。図３は、液体吐出ヘッドをＸ方向からみた側面図である。図４は、図１の下方から（−Ｚ方向に）みた第１の電気配線部材１０３と第２の電気配線部材１１０の展開図である。

液体吐出ヘッド１は、マニホールド１０１と、チッププレート１０２と、ヘッドチップ１０８と、第１の電気配線部材１０３と、第２の電気配線部材１１０と、駆動回路１０９と、を有している。第１の電気配線部材１０３と第２の電気配線部材１１０はそれぞれ、ヘッドチップ１０８の長手軸ＬのＹ方向両側に設けられている。ヘッドチップ１０８の吐出口が形成された面は吐出口形成面１１１を形成している。マニホールド１０１は主にステンレス鋼でできており、インクの流路の一部を形成する。チッププレート１０２はヘッドチップ１０８を固定するとともに、マニホールド１０１とヘッドチップ１０８をつなぐインク流路を形成している。

本実施形態の液体吐出ヘッド１は２つのヘッドチップ、すなわち第１のヘッドチップ１０８ａと第２のヘッドチップ１０８ｂを搭載している。第１のヘッドチップ１０８ａと第２のヘッドチップ１０８ｂは、それぞれの長手軸Ｌが互いに平行となる向きで長手方向Ｘに互いにずらされて、千鳥状に配置されている。第１のヘッドチップ１０８ａと第２のヘッドチップ１０８ｂは、長手方向Ｘと直交するＹ方向にみたときに、長手方向Ｘの端部領域が長手方向Ｘに互いに重なっている。以下の説明では、ヘッドチップ１０８ａ，１０８ｂのいずれかを単にヘッドチップ１０８という場合がある。

第１の電気配線部材１０３と第２の電気配線部材１１０はヘッドチップ１０８に接続されている。第１の電気配線部材１０３と第２の電気配線部材１１０はフレキシブルプリント基板（ＦＰＣ）で形成され、内部にそれぞれ第１の電気配線１１２と第２の電気配線１１３を備えている。第１の電気配線１１２と第２の電気配線１１３は絶縁体で覆われており、電気的に互いに絶縁されている。従って、第１の電気配線部材１０３と第２の電気配線部材１１０も、電気的に互いに絶縁されている。駆動回路１０９はＩＣチップからなり、液体吐出装置の駆動制御部（図示せず）から送られた制御信号に基づきヘッド駆動信号、すなわち圧電素子２１１を駆動する信号を生成する。第１の電気配線１１２と第２の電気配線１１３は、駆動回路１０９で生成されたヘッド駆動信号をヘッドチップ１０８へ送る。第１の電気配線部材１０３と第２の電気配線部材１１０は吐出口形成面１１１を延び、液体吐出ヘッド１の吐出口形成面１１１と側面１１４の境界で折り曲げられ、液体吐出ヘッド１の側面１１４に沿ってさらに延び、駆動回路１０９と接続されている。

インク供給部（図示せず）から送られたインクは、インレット側のジョイント部１０４から液体吐出ヘッド１に供給される。インクはマニホールド１０１に形成されたインレット流路１０５を通り、チッププレート１０２を経由してヘッドチップ１０８に導かれる。ヘッドチップ１０８を通過したインクは、チッププレート１０２を経由して、マニホールド１０１に形成されたアウトレット流路１０７を通り、アウトレット側のジョイント部１０６から液体吐出ヘッド１の外部へ排出される。これによって、液体吐出ヘッド１を循環するインクが回収される。

図５はヘッドチップ１０８のインク吐出部の１つをＹ方向からみた断面図である。図６は、配線基板２２０と第１の電気配線部材１０３の電気接続部と、配線基板２２０と第２の電気配線部材１１０の電気接続部をＸ方向からみた、図２のＡ−ａ線、Ｂ−ｂ線に沿った断面図である。図７は、ヘッドチップ１０８を構成する主な部材層を個別に示す、ヘッドチップ１０８の分解斜視図である。インク吐出部は圧電素子２１１と圧力室２０２と吐出口２０１とから形成されており、二次元状に配置されている。

ヘッドチップ１０８は、配線基板２２０（図７（ａ）参照）と、流路形成基板２０８（図７（ｆ）参照）と、オリフィスプレート２０７（図７（ｇ）参照）と、を有している。配線基板２２０と流路形成基板２０８は感光性樹脂２１９（図７（ｂ）参照）により接合されている。感光性樹脂２１９としては、例えばＤＦ４７０（日立化成株式会社）などの感光性ドライフィルムを使用することができる。配線基板２２０と感光性樹脂２１９と流路形成基板２０８には、インレット流路１０５及び供給路２０３に連通した供給連通孔２０４と、アウトレット流路１０７及び回収路２０５に連通した回収連通孔２０６と、が形成されている。

配線基板２２０は、流路形成基板２０８へインクを供給し流路形成基板２０８からインクを回収する機能と、インク吐出部を配列支持する機能と、圧電素子２１１にヘッド駆動信号を印加する機能と、を有している。配線基板２２０はＳｉからなり、供給連通孔２０４と回収連通孔２０６形成する貫通孔が設けられている。配線基板２２０の流路形成基板２０８との対向面には配線２１７，２２４が形成されている。図７（ａ）に示すように、配線基板２２０は、第１の電気配線部材１０３が接続される接続領域２２２がＹ方向両端に設けられているため、図７（ｂ）〜（ｇ）に示す他の部材層と比べてＹ方向の寸法が大きい。配線基板２２０のＸ方向両端には第２の電気配線部材１１０の接続用の凹部２２５が設けられている。

流路形成基板２０８はＳｉからなり、複数の圧力室２０２と、各圧力室２０２にインクを供給する供給路２０３と、各圧力室２０２からインクを回収する回収路２０５と、が設けられている。圧力室２０２、供給路２０３、回収路２０５は深堀エッチング（Ｄｅｅｐ−ＲＩＥ）で形成される。流路形成基板２０８の上には、圧力室２０２の一部を形成する振動板２０９と、振動板２０９に結合された複数の圧電素子２１１（図７（ｄ））と、が形成されている。圧電素子２１１はインクに吐出のためのエネルギーを与える。圧電素子２１１はゾル−ゲル法により２μｍ程度の厚さに形成された後、圧力室２０２に対応する形状にパターニングされている。圧電素子２１１を変形させることで圧力室２０２に圧力が発生する。圧電素子２１１の振動板２０９側には共通電極２１０（図７（ｅ））が、反対側には個別電極２１２が形成されている。共通電極２１０及び個別電極２１２は厚さが２０〜２００ｎｍのＰｔで形成されている。共通電極２１０と個別電極２１２の表面には絶縁保護のために保護膜２１３が形成されている。本実施形態の流路形成基板２０８の外形寸法は、Ｘ方向が約２３、５ｍｍ、Ｙ方向が約６．２ｍｍである。

オリフィスプレート２０７（図７（ｇ））には各圧力室２０２に対応した吐出口２０１が設けられている。オリフィスプレート２０７の吐出口形成面１１１（圧力室２０１と反対側の面）には撥水性加工がされている。吐出口２０１は概ねＹ方向に配列された吐出口列２２６を形成している。吐出口２０１は、同一吐出口列２２６の隣接する吐出口２０１に対して、記録解像度の逆数に相当する距離（すなわち１ドット分）だけＸ方向にずれて配置されている。画像を形成する際は、記録媒体をヘッドチップ１０８に対してＹ方向に相対移動させながらインクを吐出する。本実施形態の液体吐出ヘッド１は１２００ｄｐｉの記録解像度を有しているため、吐出口２０１は同一吐出口列２２６の隣接する吐出口２０１に対して、Ｘ方向に２１．１７μｍずれている。吐出口２０１は吐出口列２２６あたり４０個設けられ、吐出口列２２６は２６列設けられている。従って、ヘッドチップ１０８は１０４０個の吐出口２０１を備え、約０．８６インチの幅の画像を形成できる。圧力室２０２は吐出口列２２６あたり４２個設けられ、両端各一つの圧力室２０２はダミーである。

インクの供給路２０３と回収路２０５は、圧力室２０２で発生した圧力が吐出口２０１へ向かうように、吐出口２０１よりも大きな慣性を有している。インクは、マニホールド１０１のインレット流路１０５、供給連通孔２０４、供給路２０３、圧力室２０２、回収路２０５、回収連通孔２０６、マニホールド１０１のアウトレット流路１０７を順次通って回収される循環流れを形成する。駆動回路１０９で生成されたヘッド駆動信号が配線基板２２０を通って圧電素子２１１に印加されることで振動板２０９が変形させられ、圧力室１０２が収縮及び膨張を繰り返す。これによって圧力室１０２に圧力が発生し、発生した圧力により吐出口２０１からインクが吐出させられる。

各圧力室２０２に対応した個別電極２１２は、引き出し配線２１４と電気的に接続されている。引き出し配線２１４はバンプパッド２１５を介して、Ａｕ等で形成されたバンプ２１６と接続されている。バンプ２１６は配線基板２２０の個別配線２１７と電気的に接続されている。個別配線２１７の表面には絶縁保護のために保護膜２１８が形成されている。図２（ｂ）に示すように、個別配線２１７はヘッドチップ１０８のＹ方向端部に位置する接続領域２２２で第１の電気配線部材１０３と接続されている。個別配線２１７と第１の電気配線部材１０３の接続には異方性導電フィルム（ＡＣＦ；Ａｎｉｓｏｔｏｒｏｐｉｃ Ｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅ Ｆｉｌｍ）を用いることができる。

共通電極２１０は各圧力室２０２に対応した圧電素子２１１の下を延びている。ヘッドチップ１０８のＸ方向両端部には共通電極２１０を引き出すためのバンプパッド２２１が形成されている。共通電極２１０は、バンプパッド２２１を介してバンプ２２３に接続されている。バンプ２２３に接続された共通配線２２４は、ヘッドチップ１０８のＸ方向端部で第２の電気配線部材１１０と接続されている。共通配線２２４と第２の電気配線部材１１０の接続にもＡＣＦを用いることができる。図７（ｃ）に示すように、バンプパッド２１５とバンプパッド２２１はヘッドチップ１０８の同一平面に設けられ、約１μｍの厚さのＡｌＳｉＣｕで形成されている。

ヘッドチップ１０８と接続された第１の電気配線部材１０３には駆動回路１０９が実装されている。駆動回路１０９は液体吐出装置の駆動制御部とも接続されている。駆動回路１０９はＣＯＦ（Ｃｈｉｐ Ｏｎ Ｆｉｌｍ）で実装されており、駆動回路１０９と駆動制御部の間の配線の本数を大幅に減らすことができる。図３に示すように、駆動回路１０９は第１の電気配線部材１０３と第２の電気配線部材１１０の間に位置している。駆動回路１０９は第１の面１０９ａで第２の電気配線部材１１０と、第１の面１０９ａの裏面である第２の面１０９ｂで第１の電気配線部材１０３と接続されている。

図８，９は比較例の電気配線部材を示している。図８（ａ）は、配線基板２２０の、個別配線２１７、共通配線２２４、バンプ２１６，２２３が形成されている面の平面図であり、図８（ｂ）は図８（ａ）のＡ部の拡大図である。図９は、比較例の吐出口形成面を示す図２（ａ）と同様の図である。比較例では１つのヘッドチップ１０８あたり１つの電気配線部材８０３が設けられ、個別配線２１７と共通配線２２４はともにヘッドチップ１０８のＹ方向両端から引き出されている。

ヘッドチップ１０８のＹ方向中央部に個別電極２１２と接続されたバンプ２１６が配置され、そのＹ方向両側に共通電極２１０と接続されたバンプ２２３が配置されている。バンプ２１６，２２３にそれぞれ接続された個別配線２１７と共通配線２２４は、Ｙ方向両方向に配線基板２２０の端部まで引き出され、それぞれの接続領域２２２で電気配線部材８０３と接続されている。吐出口２０１の配置密度が１２００ｄｐｉであるため、個別電極２１２と接続された個別配線２１７はそれぞれの接続領域２２２で、６００ｄｐｉ程度の配置密度で電気配線部材８０３と接続される。本例では２０本の個別配線２１７あたり、４本の共通配線２２４を設けているため、接続領域２２２における個別配線２１７と共通配線２２４は、幅が約１７．６μｍ、配線間のスペースが１７．６μｍとなる。図８（ｂ）は、以上の構成で配線をなるべく曲げず最短距離で引き回したときの配線のレイアウトを示している。

図９を参照すると、２つのヘッドチップ１０８ａ，１０８ｂはＸ方向に互いにずらして配置されている。２つのヘッドチップ１０８ａ，１０８ｂは、形成される画像にＸ方向が隙間を生じないように（すなわち、Ｘ方向に連続した画像が形成されるように）配置される必要がある。このため、第１のヘッドチップ１０８ａの右下の吐出口２０１からＸ方向に２１．１７μｍ離れた位置に第２のヘッドチップ１０８ｂの左上の吐出口が配置される。この際、Ａ部に示す様に、第１のヘッドチップ１０８ａに接続された電気配線部材８０３が、第２のヘッドチップ１０８ｂのオリフィスプレート２０７と重なる可能性がある。

この問題を解決するためには電気配線部材８０３の幅を狭くする必要がある。電気配線部材８０３の幅を狭くするためには、接続領域２２２の個別配線２１７のピッチを狭くすることが考えられる。しかし、接続領域２２２の個別配線２１７のピッチをヘッドチップ１０８全体で均一に縮めようとすると、ヘッドチップ１０８の幅全体で多くの配線をＹ方向に対して斜めにする必要が生じる。これは、個別配線２１７と接続するバンプ２１６の位置を変えることができないためである。斜めに配線を接続する場合、配線１本あたりの配線面積及び配線間スペースが増加し、ヘッドチップ１０８が大きくなってしまう。

図１０は、本実施形態と比較例の電気配線部材を対比して示している。図１０（ａ）は図８（比較例）のＡ部の詳細図である。図１０（ｂ）は本実施形態における図１０（ａ）と同様の図である。図１０（ｃ）は図１０（ｂ）に流路形成基板２０８を重ねて示す図であり、第１の電気配線部材１０３と第２の電気配線部材１１０を示している。前述のように本実施形態では２つの電気配線部材、すなわち第１の電気配線部材１０３と第２の電気配線部材１１０が設けられている。個別配線２１７と共通配線２２４はそれぞれの接続領域で、第１の電気配線部材１０３と第２の電気配線部材１１０に接続されている。第１の電気配線部材１０３は、ヘッドチップ１０８の長辺である第１の辺１１５に沿った電気接続部１１６でヘッドチップ１０８に接続されている。電気接続部１１６は第１の辺１１５よりも短い。

図１０（ｃ）及び図２を参照すると、第２の電気配線部材１１０は、第１の部分１１９と、第２の部分１１８と、第３の部分１２０と、を有している。すなわち、第２の電気配線部材１１０は、ヘッドチップ１０８の第２の辺１１７、すなわちヘッドチップ１０８のＸ方向両端でヘッドチップ１０８に接続されている。第２の電気配線部材１１０のＸ方向両端部に接続された２つの第２の部分１１８はそれぞれ、第２の辺１１７に沿ってＹ方向に延び、ヘッドチップ１０８の角部で９０°方向を変え、２つの第１の部分１１９に接続されている。２つの第１の部分１１９は、第１の辺１１５に沿ってＸ方向に、互いに近づく方向に延び、ヘッドチップ１０８のＸ方向中央部付近で合流している。２つの第２の電気配線部材１１０は、合流点で、第２の電気配線部材１１０に対して９０°方向を変えて延びる第３の部分１２０に接続されている。第３の部分１２０は、ヘッドチップ１０８の第１の辺１１５と直交する方向に延びている。第２の電気配線部材１１０の第３の部分１２０は、第１の電気配線部材１０３の幅方向（Ｘ方向）の両側縁部１２１，１２２の間を、第１の電気配線部材１０３と重なって、Ｙ方向に延びている。第２の電気配線部材１１０の第３の部分１２０は第１の電気配線部材１０３よりＸ方向の幅が小さく、第１の電気配線部材１０３のＸ方向の幅の一部のみと重なっている。他の実施形態では、第２の電気配線部材１１０の第３の部分１２０は第１の電気配線部材１０３と同じ幅であってもよく、第１の電気配線部材１０３の全幅と重なっていてもよい。

第１の電気配線部材１０３に共通電極２１０（共通配線２２４）に接続された第２の電気配線１１３を設ける必要がないため、第１の電気配線部材１０３のＸ方向の幅を狭くすることができる。本実施形態では、図１０（ａ）の四角で囲ったＡ部、すなわち共通電極２１０と接続されるバンプ２２３と、これに接続される共通配線２２４が削除され、右端部に集中配置されている。このため、第１の電気配線部材１０３の電気接続部１１６の幅を狭くすることができる。第１の電気配線部材１０３とＡＣＦ接続される個別配線２１７は、２１．１７μｍピッチで直線状に配置することも可能であるが、ここでは、第１の電気配線部材１０３の電気接続部１１６の幅を縮小するため、これより小さいピッチで配置されている。このため、ピッチ変換のために配線の一部が一旦Ｘ方向に向きを変え、所定のピッチに変換された後にＹ方向に直線状に配置されている。本実施形態では、図１０（ｂ）のＡ部に個別配線が設けられていない。しかし、それにも拘わらず、図１０に示す範囲だけで、比較例の１２０本（個別配線１００本＋共通配線２０本）から１００本（個別配線１００本）へと、２０本分の配線スペースが削減されている。

このように、本実施形態によれば、第１の電気配線部材１０３と、隣接するヘッドチップ１０８のオリフィスプレート２０７との干渉を避けることが容易である。すなわち、ヘッドチップ１０８の寸法に影響を与えることなく、第１のヘッドチップ１０８ａに接続された第１の電気配線部材１０３と第２のヘッドチップ１０８ｂを、長手方向Ｘに間隔をおいて対向させることができる。同様に、第２のヘッドチップ１０８ｂに接続された第１の電気配線部材１０３と第１のヘッドチップ１０８ａを、長手方向Ｘに間隔をおいて対向させることができる。チップヘッド間の距離を最小にして２個のヘッドチップ１０８を実装することができるため、液体吐出ヘッド１の寸法の増加を抑えることができ、場合によっては液体吐出ヘッド１を縮小することができる。さらに、ヘッドチップ１０８と第２の電気配線部材１１０との電気接続部が配線基板２２０の凹部２２５に設けられているため、第２の電気配線部材１１０のＸ方向の必要寸法を抑制することができる。

（第２の実施形態）
図１１（ａ）は、本発明の第２の実施形態を示す図３と同様の図である。第１の電気配線部材１０３は、ヘッドチップ１０８と、圧電素子２１１の駆動回路１０９と、の間を延び、駆動回路１０９に接続されている。第１の電気配線部材１０３は、駆動回路１０９の第１の面１０９ａで駆動回路１０９に接続されるとともに、第１の面１０９ａと対向する部分の一部に開口１２３を有している。第２の電気配線部材１１０は第１の電気配線部材１０３と並行して駆動回路１０９の近傍まで延び、開口１２３を通って駆動回路１０９の第１の面１０９ａで駆動回路１０９に接続されている。このようにして、圧電素子２１１の駆動回路１０９は第１の電気配線部材１０３と第２の電気配線部材１１０とに接続される。開口１２３は駆動回路１０９の中央部付近に設けられている。

本実施形態では、第１の電気配線部材１０３と第２の電気配線部材１１０の端子を駆動回路１０９の片面だけに設けることができるため、液体吐出ヘッド１のコストの増加を抑えることができる。また、ヘッドチップ１０８の共通電極２１０につながる共通配線２２４と、第２の電気配線１１３と、個別電極２１２につながる個別配線２１７と、第１の電気配線１１２と、駆動回路１０９とによって、液体吐出ヘッド１内で閉じた回路が形成される。このため、液体吐出ヘッド１内で閉じた回路を形成していない場合に生じやすい、静電気などによる破損が生じにくくなる。さらに、液体吐出ヘッド１を液体吐出装置の本体に接続するコネクターの数を少なくすることができる。

図１１（ｂ）は第２の実施形態の変形例であり、駆動回路１０９の周囲のみを示している。第１の電気配線部材１０３は、ヘッドチップ１０８と、圧電素子２１１の駆動回路１０９と、の間を延び、駆動回路１０９に接続されている。第１の電気配線部材１０３は、ヘッドチップ１０８との電気接続部（接続領域２２２）からみて、駆動回路１０９よりもさらに遠方まで延びている。第２の電気配線部材１１０も第１の電気配線部材１０３と並行して、駆動回路１０９の遠方まで延びているが、駆動回路１０９に直接接続されていない。第２の電気配線部材１１０は、第１の電気配線部材１０３のヘッドチップ１０８との電気接続部からみて、駆動回路１０９よりも遠方の第１の位置１２４で第１の電気配線部材１０３と接続されている。具体的には、第１の電気配線部材１０３と第２の電気配線部材１１０は、第１の位置１２４にスルーホール１２５，１２６を有している。スルーホール１２５は第１の電気配線部材１０３の配線１２７と接続されている。スルーホール１２６は第２の電気配線部材１１０の第２の電気配線１１３と接続されている。第２の電気配線部材１１０の第２の電気配線１１３と第１の電気配線部材１０３の配線１２７は、これらのスルーホール同士またはスルーホールの間に介在する導電部材（図示せず）を介して接続されている。このようにして、圧電素子１１２の駆動回路１０９は第１の電気配線部材１０３と第２の電気配線部材１１０とに接続される。

第１の電気配線部材１０３のヘッドチップ１０８と駆動回路１０９の間の区間は個別電極２１２につながる多数の第１の電気配線１１２が密に設けられている。この区間を避けるため、第２の電気配線部材１１０の共通電極２１０につながる第２の電気配線１１３は、ヘッドチップ１０８との電気接続部からみて、駆動回路１０９の遠方で第１の電気配線部材１０３につなぎこまれている。このため、本実施形態では、ヘッドチップ１０８と駆動回路１０９の間の第１の電気配線部材１０３の構成に影響を与えることなく、コンパクトな液体吐出ヘッド１を実現することができる。本実施形態でも、液体吐出ヘッド１内で閉じた回路を形成することができる。

以上述べた各実施形態では、電気配線部材としてＦＰＣを用いているが、電気配線部材の構成はこれに限定されない。電気配線部材として、例えば多層ＦＰＣを用いることもできる。ヘッドチップ１０８の数も２つに限定されず、３つ以上のヘッドチップ１０８を千鳥状に配列して長尺ヘッドを構成することができる。

１ 液体吐出ヘッド。
１０３ 第１の電気配線部材
１０８ ヘッドチップ
１１０ 第２の電気配線部材
２１１ 圧電素子

Claims (9)

1. 液体に吐出のためのエネルギーを与える素子を備えたヘッドチップと、前記ヘッドチップに接続され、前記素子を駆動するための信号を前記ヘッドチップに送る第１の電気配線部材及び第２の電気配線部材と、を有し、
   前記第１の電気配線部材は、前記ヘッドチップの第１の辺の一部に沿って設けられた電気接続部で前記ヘッドチップに接続され、前記第２の電気配線部材は、前記ヘッドチップの第２の辺で前記ヘッドチップに接続され、
   前記第２の電気配線部材は、前記第１の辺に沿った第１の部分と、前記第１の部分と接続され前記第２の辺に沿った第２の部分と、前記第１の部分と接続され、前記第１の電気配線部材の両側縁部の間を、前記第１の電気配線部材と重なって延びる第３の部分と、を有している、液体吐出ヘッド。
2. 前記第２の電気配線部材の前記第３の部分は、前記第１の電気配線部材の前記両側縁部の間を、前記第１の電気配線部材の一部のみと重なって延びている、請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
3. 前記ヘッドチップは複数の前記素子と、前記複数の素子の各々に接続された個別配線と、複数の前記素子に接続された共通配線と、を有し、前記第１の電気配線部材は前記個別配線に接続され、前記第２の電気配線部材は前記共通配線に接続されている、請求項１または２に記載の液体吐出ヘッド。
4. 第１のヘッドチップと第２のヘッドチップとを含む複数の前記ヘッドチップを有し、前記第１のヘッドチップと前記第２のヘッドチップは、それぞれの長手軸が互いに平行となる向きで長手方向に互いにずらされて配置され、前記第１のヘッドチップに接続された前記第１の配線部材と前記第２のヘッドチップが、前記長手方向に間隔をおいて対向し、前記第２のヘッドチップに接続された前記第１の配線部材と前記第１のヘッドチップが、前記長手方向に間隔をおいて対向している、請求項１から３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
5. 前記第１のヘッドチップと前記第２のヘッドチップは、前記長手方向と直交する方向において、前記長手方向の端部領域で互いに重なっている、請求項４に記載の液体吐出ヘッド。
6. 前記ヘッドチップの両側に、前記第１の電気配線部材と前記第２の電気配線部材がそれぞれ設けられている、請求項１から５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
7. 前記第１の電気配線部材と前記第２の電気配線部材との間に位置し、前記第１の電気配線部材と前記第２の電気配線部材とに接続された、前記素子の駆動回路を有する、請求項１から６のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
8. 前記第１の電気配線部材と前記第２の電気配線部材とに接続された前記素子の駆動回路を有し、
   前記第１の電気配線部材は、前記駆動回路の第１の面で前記駆動回路に接続されるとともに、前記第１の面と対向する部分の一部に開口を有し、
   前記第２の電気配線部材は前記開口を通って、前記駆動回路の前記第１の面で前記駆動回路に接続されている、請求項１から６のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
9. 前記第１の電気配線部材と前記第２の電気配線部材とに接続された前記素子の駆動回路を有し、
   前記第２の電気配線部材は、前記ヘッドチップとの電気接続部からみて前記駆動回路よりも遠方の第１の位置で前記第１の電気配線部材と接続され、前記第１の電気配線部材は、前記第１の位置と前記駆動回路との間に、前記第２の電気配線部材及び前記駆動回路と接続された配線を有している、請求項１から６のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。