JP2017027062A - 顕微装置及び顕微観察方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】顕微観察用光学装置4は、サンプルSからの赤外光をカメラ3に入射させる光学装置であって、低倍率の顕微光学系5に対応する開口13d,13eを有し、サンプルSからの光をカメラ3に通過させる真空容器12内に配置された絞り部材であるコールドストップ13と、高倍率の顕微光学系5に対応する開口14を有し、サンプルSからの光をコールドストップ13に向けて通過させる真空容器12外に配置された絞り部材であるウォームストップ10と、ウォームストップ10をサンプルSからの光の光軸上に出し入れ可能に支持する支持部材11とを備え、ウォームストップ10は、カメラ3側に反射面15を有し、開口14は開口13d,13eより小さい。
【選択図】図2
Description
[第1実施形態]
Nc>Nm+Nd−2Ne …(1)
で与えられる。従って、上記式(1)を基に、反射面15bの曲率半径Rは、下記式(2);
R<2NmL/(Nm+Nd−Nc) …(2)
を満たすように設定される。なお、NA換算とは、角度をsin関数で換算したものである。
[第2実施形態]
[第3実施形態]
[第4実施形態]
Claims (10)
- 物体からの光を観察する顕微装置であって、
第1の倍率を有する第1の光学系、及び前記第1の倍率よりも高い倍率である第2の倍率を有する第2の光学系を有し、前記第1の光学系及び前記第2の光学系のいずれか一方が前記物体に対向して配置されるように構成された顕微光学系と、
前記物体からの光を撮像する撮像素子と、
前記第2の光学系に対応する開口を有し、前記物体からの光を前記撮像素子に向けて通過させる絞り部材と、
前記絞り部材を前記物体からの光の光軸上に出し入れ可能に支持する支持部材と、を備え、
前記絞り部材は、前記第1の光学系が用いられる場合には、前記支持部材により前記光軸上から外すように支持され、前記第2の光学系が用いられる場合には、前記支持部材により前記光軸上に配置されるように支持される、
ことを特徴とする顕微装置。 - 前記第1の光学系及び前記第2の光学系を含む複数の光学系に応じた、前記絞り部材を含む複数の絞り部材を備える、
ことを特徴とする請求項1に記載の顕微装置。 - 前記支持部材を駆動する駆動手段と、
前記駆動手段を制御する制御回路と、を更に備える、
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の顕微装置。 - 前記支持部材は、前記開口を、前記第2の光学系の瞳位置に対応する位置で出し入れ可能に構成されている、
ことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の顕微装置。 - 前記撮像素子は前記物体から発せられる赤外光を検出可能なカメラである、
ことを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の顕微装置。 - 前記物体は半導体である、
ことを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の顕微装置。 - 第1の倍率を有する第1の光学系、及び前記第1の倍率よりも高い倍率である第2の倍率を有する第2の光学系を有し、前記第1の光学系及び前記第2の光学系のいずれか一方が物体に対向して配置されるように構成された顕微光学系と、真空容器内に配置される撮像素子を用いて、前記物体の画像を取得する顕微観察方法であって、
前記第1の光学系から前記第2の光学系に切り替えて、前記第2の光学系を前記物体に対向して配置し、
前記第2の光学系に対応する開口を、前記物体からの光の光軸上に配置し、
前記撮像素子を用いて、前記第2の光学系と、前記開口と、を通過した前記物体からの光を撮像する、
ことを特徴とする顕微観察方法。 - 前記開口は、前記第2の光学系の瞳位置に対応する位置に配置される、
ことを特徴とする請求項7に記載の顕微観察方法。 - 前記撮像素子は前記物体から発せられる赤外光を検出可能なカメラである、
ことを特徴とする請求項7又は8に記載の顕微観察方法。 - 前記物体は半導体である、
ことを特徴とする請求項7〜9のいずれか1項に記載の顕微観察方法。
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