JP2017014061A

JP2017014061A - Production method for glass sheet for display

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Publication number: JP2017014061A
Application number: JP2015132204A
Authority: JP
Inventors: 八津美中尾; Hatsumi Nakao
Original assignee: Avanstrate Inc; Avanstrate Asia Pte Ltd
Current assignee: Avanstrate Inc; Avanstrate Asia Pte Ltd
Priority date: 2015-06-30
Filing date: 2015-06-30
Publication date: 2017-01-19

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a production method for a glass substrate for display capable of suppressing damage of a part grasped by a clamp of a glass sheet in a heat treatment process.SOLUTION: A production method for a glass sheet for display includes a heat treatment process for performing a heat treatment of a glass sheet by grasping by a clamp, one end of the molded glass sheet. In the heat treatment process, both main surfaces of the glass sheet are sandwiched by the clamp to thereby grasp the glass sheet by the clamp, and holding force by the clamp during the heat treatment and after the heat treatment is larger than rupture strength of the glass sheet.SELECTED DRAWING: Figure 2

Description

本発明は、ディスプレイ用ガラス板の製造方法に関する。 The present invention relates to a method for producing a glass plate for display.

近年、ディスプレイの分野では、画質の向上のために画素の高精細化が進展している。この高精細化の進展に伴って、ディスプレイに用いられるガラス基板にも寸法精度が高いことが望まれている。例えば、ディスプレイの製造工程中に、ガラス基板が高温で熱処理されても寸法が変化しにくいように、熱収縮率の小さいガラス基板が好ましい。 In recent years, in the field of displays, higher definition of pixels has been advanced in order to improve image quality. With the progress of this high definition, it is desired that the glass substrate used for the display has high dimensional accuracy. For example, a glass substrate having a low thermal shrinkage rate is preferable so that the dimensions of the glass substrate are not easily changed even when the glass substrate is heat-treated at a high temperature during the display manufacturing process.

一般に、ガラス基板の熱収縮率は、ガラスの歪点が高いほど小さくなる。また、ガラス基板の熱収縮率は、ガラス基板が切り出されるガラス板の製造工程中の徐冷速度を小さくするほど小さくなることが知られている。しかし、徐冷速度を小さくするとガラス板の徐冷工程を行う徐冷炉を長くする必要があるが、製造ライン上の徐冷装置を長くすることは困難である。 In general, the thermal shrinkage rate of a glass substrate decreases as the strain point of the glass increases. Moreover, it is known that the thermal shrinkage rate of a glass substrate will become so small that the slow cooling rate in the manufacturing process of the glass plate from which a glass substrate is cut out becomes small. However, if the slow cooling rate is reduced, it is necessary to lengthen the slow cooling furnace for performing the slow cooling step of the glass plate, but it is difficult to lengthen the slow cooling device on the production line.

そこで、製造ラインで作製された複数のガラス板に対し、オフラインにおいて時間をかけて熱処理を施すことで、熱収縮率をより低くすることが行われる。オフラインでの熱処理に関する技術として、例えば、主表面が進行方向を向くよう複数のガラス板を立てて、互いに間隔をあけて熱処理炉内を搬送させながら熱処理を行うことが知られている（特許文献１）。特許文献１に記載の方法では、ガラス板の上端部がクランプで把持され、ガラス板は吊り下げられた状態で搬送される。 Therefore, the heat shrinkage rate is further lowered by performing heat treatment on a plurality of glass plates produced on the production line over time. As a technique related to off-line heat treatment, for example, it is known that a plurality of glass plates are erected so that the main surface faces the traveling direction, and heat treatment is performed while being transported in a heat treatment furnace with a space between each other (patent document) 1). In the method described in Patent Document 1, the upper end of the glass plate is held by a clamp, and the glass plate is conveyed in a suspended state.

国際公開第２０１４／０２２６３２号パンフレットInternational Publication No. 2014/022632 Pamphlet

ガラス板をクランプで把持して搬送させながら、ガラス板の熱処理を行うと、特にクランプで把持した部分において、割れが生じる場合があることがわかった。特に、液晶ディスプレイに用いられるガラス板は、近年の液晶ディスプレイの大型化に伴って比較的サイズが大きいため、ガラス板の端部で割れが生じ、損傷した場合の歩留まり率の低下は、よりサイズの小さいガラス板と比べて悪化しやすい。 It has been found that when the glass plate is heat-treated while being gripped and transported by the clamp, cracking may occur particularly in the portion gripped by the clamp. In particular, glass plates used in liquid crystal displays are relatively large in size with the recent increase in size of liquid crystal displays. It is easy to get worse compared to small glass plates.

そこで、本発明は、熱処理工程において、ガラス板のクランプで把持された部分が損傷するのを抑制できるディスプレイ用ガラス板の製造方法を提供することを目的とする。 Then, an object of this invention is to provide the manufacturing method of the glass plate for a display which can suppress that the part hold | gripped with the clamp of the glass plate is damaged in a heat treatment process.

本発明者は、上記課題に鑑みて検討を重ねたところ、クランプによって板厚方向にガラス板の両側から挟持されたガラス板の部分の強度（面強度）は、クランプによって把持される力が強いほど低下し、また、熱処理が行われることによって低下するものであり、ガラス板の面強度と、クランプの把持力および熱処理との間にこのような相関関係があることを突き止めた。そして、本発明者は、熱処理が行われる間および前記熱処理が行われた後におけるクランプによる把持力がガラス板の破壊強度より大きければ、具体的には、ガラス板の面強度がガラス板の破壊強度より大きければ、熱処理工程においてクランプで把持されたガラス板の部分に割れが生じるのを抑制できることを見出し、本発明を完成させた。本発明は、下記（１）〜（４）を提供する。 As a result of repeated studies in view of the above problems, the present inventor has a strong strength (surface strength) of the portion of the glass plate sandwiched from both sides of the glass plate in the thickness direction by the clamp. It was found that there is such a correlation between the surface strength of the glass plate, the gripping force of the clamp, and the heat treatment. Then, the present inventor, if the gripping force by the clamp during the heat treatment and after the heat treatment is performed is greater than the breaking strength of the glass plate, specifically, the surface strength of the glass plate is the destruction of the glass plate If the strength is greater than the strength, it has been found that cracking can be suppressed in the portion of the glass plate held by the clamp in the heat treatment step, and the present invention has been completed. The present invention provides the following (1) to (4).

（１）成形されたガラス板の一端をクランプで把持して前記ガラス板の熱処理を行う熱処理工程を備え、
前記熱処理工程において、前記ガラス板の両主表面がクランプで挟まれることで前記ガラス板は前記クランプに把持され、
前記熱処理が行われる間および前記熱処理が行われた後における前記クランプによる把持力が、前記ガラス板の破壊強度より大きいことを特徴とするディスプレイ用ガラス板の製造方法。 (1) A heat treatment step of heat-treating the glass plate by holding one end of the formed glass plate with a clamp,
In the heat treatment step, the glass plate is gripped by the clamp by sandwiching both main surfaces of the glass plate with clamps,
A method for producing a glass plate for a display, wherein a gripping force by the clamp is greater than a breaking strength of the glass plate during and after the heat treatment.

（２）前記把持力によって把持された部分のガラス板の面強度が、前記ガラス板の端面強度より大きいことを特徴とする前記（１）に記載のディスプレイ用ガラス板の製造方法。 (2) The method for producing a glass plate for display according to (1), wherein the surface strength of the glass plate at the portion gripped by the gripping force is greater than the end surface strength of the glass plate.

（３）前記ガラス板の両主表面を挟む前記クランプの部分はステンレス鋼繊維で構成されている、前記（１）または前記（２）に記載のディスプレイ用ガラス板の製造方法。 (3) The method for manufacturing a glass plate for display according to (1) or (2), wherein the clamp portions sandwiching both main surfaces of the glass plate are made of stainless steel fibers.

（４）前記クランプは、前記ガラス板の製品領域以外の領域を把持する、前記（１）から前記（３）のいずれか１つに記載のディスプレイ用ガラス板の製造方法。 (4) The said clamp clamps areas other than the product area | region of the said glass plate, The manufacturing method of the glass plate for a display as described in any one of said (1) to the said (3).

上述のガラス基板の製造方法によれば、熱処理工程においてクランプで把持された部分のガラス板が損傷することを抑制できる。 According to the above-described method for manufacturing a glass substrate, it is possible to suppress damage to the glass plate in the portion held by the clamp in the heat treatment step.

本実施形態のガラス板の製造方法の工程を示す図である。It is a figure which shows the process of the manufacturing method of the glass plate of this embodiment. 本実施形態の搬送工程で用いられる熱処理炉の内部構造を説明する図である。It is a figure explaining the internal structure of the heat treatment furnace used at the conveyance process of this embodiment. 本実施形態の搬送工程を説明する図である。It is a figure explaining the conveyance process of this embodiment. 本実施形態の搬送工程でクランプに把持されたガラス板を側方から見て示す図である。It is a figure which shows the glass plate hold | gripped by the clamp at the conveyance process of this embodiment seeing from a side. 本実施形態の搬送工程で用いられる、クランプが取り付けられたバーを搬送方向から見て示す図である。It is a figure which shows the bar with which the clamp used for the conveyance process of this embodiment was attached seeing from a conveyance direction. （ａ）、（ｂ）は、クランプの一例を示す図である。(A), (b) is a figure which shows an example of a clamp. （ａ）、（ｂ）は、クランプの他の一例を示す図である。(A), (b) is a figure which shows another example of a clamp.

以下、本実施形態のディスプレイ用ガラス板の製造方法について説明する。
本実施形態のディスプレイ用ガラス板の製造方法は、成形されたガラス板の端部をクランプで把持してガラス板の熱処理を行う熱処理工程において、ガラス板の両主表面がクランプで挟まれることでガラス板はクランプに把持され、熱処理が行われる間および熱処理が行われた後におけるクランプによる把持力が、ガラス板の破壊強度より大きいことを特徴とする。この方法では、ガラス板がクランプで把持された状態で熱処理工程が行われる場合に、クランプで把持されたガラス板の部分が損傷するのを抑制できる。したがって、この方法は、端部における損傷によって歩留まり率が悪化しやすい比較的サイズの大きいディスプレイ用ガラス板を製造するのに適している。 Hereinafter, the manufacturing method of the glass plate for a display of this embodiment is demonstrated.
The manufacturing method of the glass plate for a display of this embodiment is because both main surfaces of a glass plate are pinched | interposed by a clamp in the heat treatment process which hold | grips the edge part of the shape | molded glass plate with a clamp, and heat-processes a glass plate. The glass plate is held by the clamp, and the holding force by the clamp is larger than the breaking strength of the glass plate during and after the heat treatment. In this method, when the heat treatment process is performed in a state where the glass plate is held by the clamp, it is possible to suppress damage to the portion of the glass plate held by the clamp. Therefore, this method is suitable for manufacturing a glass plate for a display having a relatively large size in which the yield rate is likely to deteriorate due to damage at the edge.

（ガラス板の製造方法の概略説明）
図１は、本実施形態のガラス板の製造方法の工程の一例を示す図である。
ガラス板の製造方法は、成形工程（Ｓ１）と、徐冷工程（Ｓ２）と、採板工程（Ｓ３）と、熱処理工程（Ｓ４）と、切断工程（Ｓ５）と、端面加工工程（Ｓ６）と、洗浄工程（Ｓ７）と、検査工程（Ｓ８）と、梱包工程（Ｓ９）と、を備える。 (Outline explanation of the method of manufacturing the glass plate)
Drawing 1 is a figure showing an example of a process of a manufacturing method of a glass plate of this embodiment.
The glass plate manufacturing method includes a forming step (S1), a slow cooling step (S2), a plate-drawing step (S3), a heat treatment step (S4), a cutting step (S5), and an end face processing step (S6). And a cleaning process (S7), an inspection process (S8), and a packing process (S9).

成形工程（Ｓ１）では、熔融ガラスをシートガラスに成形する。成形方法には、フュージョン法（オーバーフローダウンドロー法）、フロート法等の公知の方法が用いられる。このうち、フュージョン法は、製造ラインに含まれる徐冷装置を長くすることが困難であることから、オフラインアニールを行う本実施形態の方法に適している。
徐冷工程（Ｓ２）では、成形されて搬送されるシートガラスの内部歪および反りが生じないよう、徐冷装置において冷却する。
採板工程（Ｓ３）では、徐冷されたシートガラスを所定の長さごとに採板して複数のガラス板を得る。ガラス板は、矩形形状に採板されることが好ましく、サイズは、特に制限されないが、例えば、縦長さおよび横長さがそれぞれ０．５ｍ〜３ｍである。ガラス板の板厚は、例えば、０．１〜１．１ｍｍである。
熱処理工程（Ｓ４）では、後述する熱処理炉内で、ガラス板に対し熱処理を行う。なお、熱処理炉内では、熱処理工程（Ｓ４）が行われる間、ガラス板を搬送する搬送工程が合わせて行われてもよい。
切断工程（Ｓ５）では、熱処理を行ったガラス板を所定のサイズに切断して複数のガラス基板を得る。ガラス基板は、矩形形状に切断されることが好ましく、サイズは、特に制限されないが、例えば、縦長さおよび横長さがそれぞれ５００ｍｍ〜３５００ｍｍである。
端面加工工程（Ｓ６）では、ガラス基板に対し、端面の研削、研磨およびコーナーカットを含む端面加工を行う。
洗浄工程（Ｓ７）では、ガラス基板を洗浄する。
検査工程（Ｓ８）では、洗浄されたガラス基板に対し、表面に傷、塵、汚れがないか、あるいは、気泡、異物等の内部欠陥がないか、光学的検査を行う。
梱包工程（Ｓ９）では、検査の結果、所望の品質に適合するガラス基板を梱包する。梱包されたガラス基板は納入先業者に出荷される。 In the forming step (S1), the molten glass is formed into a sheet glass. As the molding method, a known method such as a fusion method (overflow down draw method) or a float method is used. Of these, the fusion method is suitable for the method of this embodiment in which offline annealing is performed because it is difficult to lengthen the slow cooling device included in the production line.
In the slow cooling step (S2), cooling is performed in a slow cooling device so as not to cause internal distortion and warpage of the sheet glass that is formed and conveyed.
In the plate collecting step (S3), the slowly cooled sheet glass is sampled for each predetermined length to obtain a plurality of glass plates. The glass plate is preferably sampled in a rectangular shape, and the size is not particularly limited. For example, the vertical length and the horizontal length are 0.5 m to 3 m, respectively. The plate | board thickness of a glass plate is 0.1-1.1 mm, for example.
In the heat treatment step (S4), the glass plate is heat treated in a heat treatment furnace described later. In the heat treatment furnace, while the heat treatment step (S4) is performed, a conveyance step for conveying the glass plate may be performed together.
In the cutting step (S5), the heat-treated glass plate is cut into a predetermined size to obtain a plurality of glass substrates. The glass substrate is preferably cut into a rectangular shape, and the size is not particularly limited. For example, the vertical length and the horizontal length are 500 mm to 3500 mm, respectively.
In the end face processing step (S6), end face processing including end face grinding, polishing and corner cutting is performed on the glass substrate.
In the cleaning step (S7), the glass substrate is cleaned.
In the inspection step (S8), the cleaned glass substrate is optically inspected for scratches, dust and dirt on the surface, or internal defects such as bubbles and foreign matters.
In the packing step (S9), the glass substrate that conforms to the desired quality is packed as a result of the inspection. The packed glass substrate is shipped to a supplier.

（ガラス板）
本実施形態で製造されるガラス板は、ディスプレイに用いられるディスプレイ用ガラス板であり、例えば、フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）用ガラス板、曲面ディスプレイ用ガラス板である。また、本実施形態で製造されるガラス板は、例えば、ＩＧＺＯ（インジウム、ガリウム、亜鉛、酸素）等の酸化物半導体を使用した酸化物半導体ディスプレイ用ガラス板、ＬＴＰＳ（低温ポリシリコン）半導体を使用したＬＴＰＳディスプレイ用ガラス板である。また、本実施形態で製造されるガラス板は、例えば、液晶ディスプレイ用ガラス板、有機ＥＬディスプレイ用ガラス板である。 (Glass plate)
The glass plate manufactured by this embodiment is a glass plate for a display used for a display, for example, a glass plate for flat panel displays (FPD) and a glass plate for curved displays. Moreover, the glass plate manufactured by this embodiment uses the glass plate for oxide semiconductor displays which used oxide semiconductors, such as IGZO (indium, gallium, zinc, oxygen), and LTPS (low-temperature polysilicon) semiconductor, for example. LTPS display glass plate. Moreover, the glass plate manufactured by this embodiment is a glass plate for liquid crystal displays, a glass plate for organic EL displays, for example.

本実施形態で製造されるガラス板は、熱収縮率は１０ｐｐｍ以下であることが、ディスプレイに用いられる点から好ましく、熱収縮率は６ｐｐｍ以下であることがより好ましく、３ｐｐｍ以下であることがより好ましく、２ｐｐｍ以下であることがより好ましい。ガラス板の熱収縮率を２ｐｐｍ以下にすることにより、ガラス板の面内の熱収縮のばらつきを２ｐｐｍ以下にすることができる。
ガラス板の歪点は、高精細なディスプレイ用ガラス板とするために、６００℃〜７６０℃であることが好ましい。例えば、歪点は、６６１℃である。
本実施形態の熱処理により熱収縮率を低減する前のガラス基板の熱収縮率は、５００℃、１０分で熱処理した場合において、８０ｐｐｍ以下であり、より好ましくは４０ｐｐｍ〜６０ｐｐｍである。 The glass plate produced in the present embodiment preferably has a heat shrinkage rate of 10 ppm or less from the viewpoint of being used for a display, the heat shrinkage rate is more preferably 6 ppm or less, and more preferably 3 ppm or less. Preferably, it is 2 ppm or less. By setting the thermal contraction rate of the glass plate to 2 ppm or less, the variation of the thermal contraction in the surface of the glass plate can be set to 2 ppm or less.
The strain point of the glass plate is preferably 600 ° C. to 760 ° C. in order to obtain a high-definition glass plate for display. For example, the strain point is 661 ° C.
The thermal shrinkage rate of the glass substrate before reducing the thermal shrinkage rate by the heat treatment of this embodiment is 80 ppm or less, more preferably 40 ppm to 60 ppm, when heat treatment is performed at 500 ° C. for 10 minutes.

このようなガラス板として、以下のガラス組成のガラス板が例示される。つまり、本実施形態の方法では、以下のガラス組成のガラス板が製造されるように、熔融ガラスの原料が調合される。
ＳｉＯ₂５５〜８０モル％、
Ａｌ₂Ｏ₃８〜２０モル％、
Ｂ₂Ｏ₃ ０〜１２モル％、
ＲＯ０〜１７モル％（ＲＯはＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯ及びＢａＯの合量)。 As such a glass plate, the glass plate of the following glass compositions is illustrated. That is, in the method of this embodiment, the raw material of molten glass is prepared so that the glass plate of the following glass compositions is manufactured.
SiO ₂ 55~80 mol%,
Al ₂ O ₃ 8-20 mol%,
B ₂ O ₃ 0 to 12 mol%,
RO 0 to 17 mol% (RO is the total amount of MgO, CaO, SrO and BaO).

ＳｉＯ₂は６０〜７５モル％、さらには、６３〜７２モル％であることが、熱収縮率を小さくするという観点から好ましい。
ＲＯのうち、ＭｇＯが０〜１０モル％、ＣａＯが０〜１５モル％、ＳｒＯが０〜１０％、ＢａＯが０〜１０％であることが好ましい。 SiO ₂ is preferably 60 to 75 mol%, and more preferably 63 to 72 mol%, from the viewpoint of reducing the heat shrinkage rate.
Among RO, it is preferable that MgO is 0-10 mol%, CaO is 0-15 mol%, SrO is 0-10%, and BaO is 0-10%.

また、ＳｉＯ₂、Ａｌ₂Ｏ₃、Ｂ₂Ｏ₃、及びＲＯを少なくとも含み、モル比（（２×ＳｉＯ₂）＋Ａｌ₂Ｏ₃）／（（２×Ｂ₂Ｏ₃）＋ＲＯ）は４．５以上であるガラスであってもよい。また、ＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯ、及びＢａＯの少なくともいずれか含み、モル比（ＢａＯ＋ＳｒＯ）／ＲＯは０．１以上であることが好ましい。 Further, at least SiO ₂ , Al ₂ O ₃ , B ₂ O ₃ , and RO are included, and the molar ratio ((2 × SiO ₂ ) + Al ₂ O ₃ ) / ((2 × B ₂ O ₃ ) + RO) is 4. The glass which is 5 or more may be sufficient. In addition, it is preferable that at least one of MgO, CaO, SrO, and BaO is included, and the molar ratio (BaO + SrO) / RO is 0.1 or more.

また、モル％表示のＢ₂Ｏ₃の含有率の２倍とモル％表示のＲＯの含有率の合計は、３０モル％以下、好ましくは１０〜３０モル％であることが好ましい。
また、上記ガラス組成のガラス基板におけるアルカリ金属酸化物の含有率は、０モル％以上０．４モル％以下であってもよい。
また、ガラス中で価数変動する金属の酸化物（酸化スズ、酸化鉄）を合計で０．０５〜１．５モル％含み、Ａｓ_２Ｏ_３、Ｓｂ_２Ｏ_３及びＰｂＯを実質的に含まないということは必須ではなく任意である。 The total content of 2-fold and mol% of RO for the content of mol% of B ₂ O ₃ is 30 mol% or less, it is preferred that preferably 10 to 30 mol%.
Moreover, 0 mol% or more and 0.4 mol% or less may be sufficient as the content rate of the alkali metal oxide in the glass substrate of the said glass composition.
Further, it contains 0.05 to 1.5 mol% of metal oxides (tin oxide and iron oxide) whose valence fluctuates in the glass, and substantially contains As ₂ O ₃ , Sb ₂ O ₃ and PbO. It is not essential but optional.

（熱処理炉の構成、および、熱処理工程）
本実施形態の熱処理工程（Ｓ４）は、図２に示す熱処理炉を用いて行われる。図２は、熱処理炉１の内部構造を説明する図である。熱処理炉１は、熱処理工程（Ｓ４）と合わせて搬送工程を行うことができる。
熱処理炉１は、ガラス板Ｇが搬入されるよう開口された入口３と、炉１内を通過したガラス板Ｇが搬出されるよう開口された出口５と、入口３と出口５とを炉１内で接続するように延びる搬送路７と、を有している。ガラス板Ｇの搬送方向は、図２において左方から右方に向かう方向であり、矢印Ａで示す方向である。なお、図２では、便宜のため、入口３と出口５の間の熱処理炉１の部分を省略している。 (Configuration of heat treatment furnace and heat treatment process)
The heat treatment step (S4) of this embodiment is performed using the heat treatment furnace shown in FIG. FIG. 2 is a diagram for explaining the internal structure of the heat treatment furnace 1. The heat treatment furnace 1 can perform a transfer process in combination with the heat treatment process (S4).
The heat treatment furnace 1 includes an inlet 3 that is opened so that the glass plate G is carried in, an outlet 5 that is opened so that the glass plate G that has passed through the furnace 1 is carried out, and the inlet 3 and the outlet 5 that are in the furnace 1. And a conveyance path 7 extending so as to be connected inside. The conveyance direction of the glass plate G is a direction from left to right in FIG. In FIG. 2, the portion of the heat treatment furnace 1 between the inlet 3 and the outlet 5 is omitted for convenience.

ガラス板Ｇは、熱処理炉１の上流側を、主表面が上下方向を向いた状態で搬送され、入口３において、図示されない吸着機構によって、主表面が吸着され支持されながら、主表面が搬送方向を向くよう立てられる。
ガラス板Ｇは、出口５において、図示されない他の吸着機構によって、主表面が吸着され支持されながら、主表面が上下方向を向くよう寝かせられる（倒される）。寝かせられたガラス板Ｇは、熱処理炉１の下流側において、主表面が上下方向を向いた状態で搬送される。 The glass plate G is transported upstream of the heat treatment furnace 1 with the main surface facing up and down, and the main surface is adsorbed and supported by the suction mechanism (not shown) at the inlet 3 while the main surface is transported in the transport direction. Standing to face.
The glass plate G is laid down (turned down) at the outlet 5 so that the main surface faces in the vertical direction while the main surface is adsorbed and supported by another suction mechanism (not shown). The laid glass plate G is transported on the downstream side of the heat treatment furnace 1 with the main surface facing up and down.

搬送路７は、搬送方向に３つに分けてなる３つの区間を有しており、ガラス板Ｇが３つの区間を搬送されることで、ガラス板Ｇに対し、昇温、キープ、降温の各熱処理が順に行われる。図２には、昇温区間７ａ、降温区間７ｃの各一部が示され、後で参照する図３には、キープ区間７ｂの一部が示される。３つの区間７ａ〜７ｃは、温度、ガラス板Ｇが搬送される時間等の熱処理条件は異なるが、装置構成は同様である。搬送路７には、ガラス板Ｇの温度を測定する測定手段が、搬送方向の所定間隔ごとに設けられている。測定手段は、具体的に、ガラス板Ｇの風上側の端部（上端部）および風下側の端部（下端部）の温度をそれぞれ測定する。測定手段には、例えば熱電対温度計が用いられる。 The transport path 7 has three sections divided into three in the transport direction, and the glass plate G is transported through the three sections, so that the glass plate G is heated, kept, and cooled. Each heat treatment is performed in order. FIG. 2 shows a part of each of the temperature raising section 7a and the temperature lowering section 7c, and FIG. 3 to be referred to later shows a part of the keep section 7b. The three sections 7a to 7c are different in heat treatment conditions such as temperature and time during which the glass sheet G is conveyed, but the apparatus configuration is the same. Measuring means for measuring the temperature of the glass plate G is provided in the conveying path 7 at predetermined intervals in the conveying direction. Specifically, the measuring means measures the temperatures of the windward end (upper end) and the leeward end (lower end) of the glass sheet G, respectively. For example, a thermocouple thermometer is used as the measuring means.

熱処理炉１は、搬送路７上で複数のガラス板Ｇを搬送する搬送ユニットと、搬送されるガラス板Ｇに対し熱処理を行う熱処理ユニットと、を備える。 The heat treatment furnace 1 includes a transport unit that transports a plurality of glass plates G on the transport path 7 and a heat treatment unit that performs heat treatment on the transported glass plates G.

（ａ）搬送ユニット
搬送ユニットは、搬送工程を行うためのものであり、搬送されるガラス板Ｇの搬送方向の両端に掛け渡された２本のチェーンベルト（搬送ベルト）２１（図３参照）と、チェーンベルト２１とともに搬送方向に移動する複数のバー２３と、バー２３に取り付けられた複数のクランプ２５と、を有している。 (A) Conveyance unit The conveyance unit is for carrying out a conveyance process, and two chain belts (conveyance belts) 21 (see FIG. 3) stretched over both ends in the conveyance direction of the glass plate G to be conveyed. And a plurality of bars 23 that move in the transport direction together with the chain belt 21, and a plurality of clamps 25 attached to the bars 23.

チェーンベルト２１は、例えば、搬送方向の両端のそれぞれにおいて複数のローラに架け渡され、図２に示されるように駆動される。なお、図２には、便宜のため、搬送方向の上流側の複数のローラのうちの一部のローラのみを示す。チェーンベルト２１は、図３に示すように、搬送されるガラス板Ｇの幅方向の両端のそれぞれと対応するよう１本ずつ設けられ、熱処理工程（Ｓ４）の間、図示されない駆動機構によって駆動される。図３は、本実施形態の熱処理工程を説明する図である。なお、図３では、チェーンベルト２１のうちの搬送方向に移動する部分を示し、搬送方向と反対方向に移動する部分を省略している。また、図３では、説明の便宜のため、バー２３およびクランプ２５の図示を省略している。 For example, the chain belt 21 is spanned by a plurality of rollers at both ends in the transport direction, and is driven as shown in FIG. For convenience, FIG. 2 shows only some of the plurality of rollers on the upstream side in the transport direction. As shown in FIG. 3, one chain belt 21 is provided so as to correspond to both ends in the width direction of the glass plate G to be conveyed, and is driven by a drive mechanism (not shown) during the heat treatment step (S4). The FIG. 3 is a diagram for explaining the heat treatment process of the present embodiment. In FIG. 3, a portion of the chain belt 21 that moves in the conveyance direction is shown, and a portion that moves in the direction opposite to the conveyance direction is omitted. In FIG. 3, the bars 23 and the clamps 25 are not shown for convenience of explanation.

バー２３は、例えば金属を材質とする板状部材である。バー２３は、搬送工程（Ｓ４）において、長手方向の両端が、搬送方向に移動するチェーンベルト２１の部分に載置され、チェーンベルト２１に追従するように搬送方向に移動する。バー２３には、クランプ２５が取り付けられており、熱処理炉１の入口３において、把持機構４によってガラス板Ｇがクランプ２５に把持されることでガラス板Ｇはバー２３に吊り下げられる。把持機構４は、例えば、搬送方向に沿って可動なシリンダと、シリンダを駆動させるソレノイドと、を有している。ガラス板Ｇがクランプ２５に把持される際、クランプ２５の互いに離反した被操作端４１ａ（図６参照）のうち搬送方向の上流側にある端４１ａは、シリンダと同じ高さ位置に配置され、さらに、シリンダがソレノイドによって駆動されることで、他方の被操作端４１ａに接近するよう搬送方向に押し付けられる。これにより、クランプ２５が開いて、先端４１ｂ同士の間にスペースにガラス板Ｇの上端部を配置することができ、さらにシリンダが搬送方向と反対方向に退避することで先端４１ｂ同士が接近して、ガラス板Ｇはクランプ２５に把持される。 The bar 23 is a plate-like member made of, for example, metal. In the transport step (S4), both ends of the bar 23 are placed on the portion of the chain belt 21 that moves in the transport direction, and the bar 23 moves in the transport direction so as to follow the chain belt 21. A clamp 25 is attached to the bar 23, and the glass plate G is suspended from the bar 23 when the glass plate G is held by the clamp 25 by the holding mechanism 4 at the inlet 3 of the heat treatment furnace 1. The gripping mechanism 4 includes, for example, a cylinder that is movable along the transport direction and a solenoid that drives the cylinder. When the glass plate G is gripped by the clamp 25, the end 41a on the upstream side in the transport direction among the operated ends 41a (see FIG. 6) separated from each other is disposed at the same height position as the cylinder. Furthermore, when the cylinder is driven by the solenoid, the cylinder is pressed in the transport direction so as to approach the other operated end 41a. As a result, the clamp 25 is opened, and the upper end portion of the glass plate G can be arranged in a space between the tips 41b, and the tips 41b approach each other when the cylinder is retracted in the direction opposite to the conveying direction. The glass plate G is held by the clamp 25.

図４および図５に、バー２３およびクランプ２５をより詳細に示す。図４は、クランプ２５に把持されたガラス板Ｇを側方から見て示す図である。図５は、クランプ２５が取り付けられたバー２３を搬送方向から見て示す図である。なお、図５において、クランプ２５を、搬送方向の上流側に位置するクランプ要素４１（後述）を省略して示す。ガラス板Ｇを吊り下げたバー２３は、搬送路７においてガラス板Ｇを所定の間隔（ピッチ）で搬送するために、搬送路７の上流側の端に配置されたロード機構８によって、１本ずつ、互いに間隔をあけてチェーンベルト２１に載置される。これによって、ガラス板Ｇは、バー２３を介してチェーンベルト２１に吊り下げられた状態で搬送（縦吊り搬送）される。ガラス板Ｇの間隔は、狭いほど、生産性は高くなるが、隣り合うガラス板Ｇ同士が接触する可能性が高くなる。このため、ガラス板Ｇの間隔は、生産性およびガラス板同士の接触防止の観点から、２０〜２００ｍｍであることが好ましく、より好ましくは５０〜１５０ｍｍである。なお、図２および図４では、説明の便宜のため、複数のガラス板Ｇの間隔を詰めて示す。 4 and 5 show the bar 23 and clamp 25 in more detail. FIG. 4 is a view showing the glass plate G held by the clamp 25 as viewed from the side. FIG. 5 is a diagram showing the bar 23 to which the clamp 25 is attached as viewed from the transport direction. In FIG. 5, the clamp 25 is shown by omitting a clamp element 41 (described later) located on the upstream side in the transport direction. In order to convey the glass plate G at a predetermined interval (pitch) in the conveyance path 7, one bar 23 suspending the glass sheet G is provided by the load mechanism 8 disposed at the upstream end of the conveyance path 7. One by one, they are placed on the chain belt 21 at intervals. As a result, the glass plate G is conveyed (vertically suspended) while being hung from the chain belt 21 via the bar 23. The narrower the interval between the glass plates G, the higher the productivity, but the higher the possibility that adjacent glass plates G will contact each other. For this reason, it is preferable that the space | interval of the glass plate G is 20-200 mm from a viewpoint of productivity and the contact prevention of glass plates, More preferably, it is 50-150 mm. In FIG. 2 and FIG. 4, for the convenience of explanation, the intervals between the plurality of glass plates G are shown close together.

ガラス板Ｇを吊り下げたバー２３は、搬送路７の下流側の端に配置されたアンロード機構９によって、チェーンベルト２１から取り外され、熱処理炉１の出口５において、抜き取り機構６によってガラス板Ｇはクランプ２５から抜き取られる。抜き取り機構６は、把持機構４と装置構成が同様であり、シリンダが、互いに離反した被操作端４１ａのうち搬送方向の上流側にある端４１ａを他方の被操作端４１ａに接近するよう搬送方向に押し付けることでクランプ２５が開いて、ガラス板Ｇがクランプ２５の先端４１ｂ同士の間のスペースから引き出されることで、ガラス板Ｇは抜き取られる。 The bar 23 from which the glass plate G is suspended is removed from the chain belt 21 by the unload mechanism 9 disposed at the downstream end of the conveyance path 7, and the glass plate is removed by the extraction mechanism 6 at the outlet 5 of the heat treatment furnace 1. G is extracted from the clamp 25. The extraction mechanism 6 has the same apparatus configuration as the gripping mechanism 4 and the cylinder moves in the conveying direction so that the end 41a on the upstream side in the conveying direction among the operated ends 41a separated from each other approaches the other operated end 41a. The clamp 25 is opened by pressing the glass plate G, and the glass plate G is pulled out by being pulled out of the space between the tips 41b of the clamp 25.

クランプ２５は、ガラス板Ｇの上端部を把持する部材である。クランプ２５は、特に制限されないが、例えば、バネ力によってガラス板Ｇの両主表面を挟むバネクランプを採用することができる。バネクランプの例として、図６に示されるように、互いに対して回動するよう連結された１対のクランプ要素４１と、クランプ２５を把持姿勢（図６（ａ）に示す姿勢）とするようクランプ要素４１を付勢するバネ４３と、を備えるものが挙げられる。クランプ要素４１はそれぞれ、長手方向に延びる形状を有しており、外部からの操作力を受ける被操作端４１ａと、ガラス板Ｇの主表面と接触する先端４１ｂと、を有している。クランプ２５は、バネ４３のバネ力によって把持姿勢とされた状態において、クランプ要素４１の先端４１ｂ同士は接近し、かつ、被操作端４１ａ同士は離反している。把持姿勢のクランプ２５は、バネ力に抗して被操作端４１ａ同士が接近するよう被操作端４１ａに外部からの操作力（例えば、前述のシリンダによる押付力）が作用することで、先端４１ｂ同士は離反し、クランプ２５は解除姿勢となり（図６（ｂ）に示す姿勢）、ガラス板Ｇの抜き取りまたは把持を行うことができる。クランプ２５は、ガラス板Ｇの製品領域以外の領域を把持することができ、製品領域以外の領域を把持することにより、ガラス板Ｇの製品領域への傷の発生を防ぐことができる。 The clamp 25 is a member that holds the upper end of the glass plate G. The clamp 25 is not particularly limited. For example, a spring clamp that sandwiches both main surfaces of the glass plate G by a spring force can be employed. As an example of a spring clamp, as shown in FIG. 6, a pair of clamp elements 41 coupled to rotate with respect to each other and the clamp 25 are set to a gripping posture (posture shown in FIG. 6A). And a spring 43 that urges the clamp element 41. Each of the clamp elements 41 has a shape extending in the longitudinal direction, and has an operated end 41 a that receives an operating force from the outside, and a tip 41 b that contacts the main surface of the glass plate G. In the state where the clamp 25 is held in the holding posture by the spring force of the spring 43, the tips 41b of the clamp elements 41 are close to each other and the operated ends 41a are separated from each other. The clamp 25 in the gripping posture is configured such that an operating force from the outside (for example, a pressing force by the above-described cylinder) acts on the operated end 41a so that the operated ends 41a approach each other against a spring force. The clamps 25 are separated from each other, and the clamp 25 is in the release posture (the posture shown in FIG. 6B), and the glass plate G can be extracted or grasped. The clamp 25 can grip an area other than the product area of the glass plate G, and by holding an area other than the product area, it is possible to prevent generation of scratches on the product area of the glass plate G.

クランプ２５の先端４１ｂは、搬送工程においてガラス板Ｇがクランプ２５から落下するのを防止する観点から、ガラス板Ｇの主表面との間の摩擦を大きくする材料で構成されていることが好ましい。そのような材料として金属、又は、合金を繊維化した部材、より具体的には、ステンレス鋼又はこれに類似する合金鋼を繊維化した部材が挙げられる。クランプ２５の先端４１ｂは、例えば、ＳＵＳ３１６Ｌ（ステンレス鋼材）、ＳＵＳ３０４（ステンレス鋼材）を、繊維化し、綾織りした構成からなるクロス形状、又は、綾織り構成後に帯状にしたテープ形状のステンレス鋼繊維である。ステンレス鋼繊維は、耐熱性があり、かつ、ガラス表面を傷つけにくい材質である点でも好ましい。クランプ２５の先端４１ｂとして、具体的にはナスロン（登録商標）が用いられる。また、クランプ２５の先端４１ｂは、クロム合金、及び、ニッケル合金から選ばれた一種、又は、それらの組合せからなる合金鋼を繊維化した部材であってもよい。このため、クランプ２５の先端４１ｂは、ステンレス鋼、クロム合金、及び、ニッケル合金から選ばれた一種、又は、それらの組合せからなる合金鋼を繊維化した部材からなる。また、クランプ２５の先端４１ｂは、耐熱性を有する繊維フェルト部材、例えば、耐熱性を有するカーボンフェルト、シリカフェルト、アルミナフェルト、チラノフェルト、及び、金属フェルトから選ばれた一種、又は、それらの組合せからなる部材であってもよい。ここで、繊維フェルト部材とは、短繊維により編みこまれた部材であり、繊維径が２０μｍ以下であり、空隙率が５０％以上からなる部材である。繊維フェルト部材は、合金鋼と比べて部材から発塵しやすいが、ガラス板Ｇを上述のステップＳ７で洗浄することにより、ガラス板Ｇから発塵物を除去できるため、繊維フェルト部材を用いることもできる。 The tip 41b of the clamp 25 is preferably made of a material that increases friction with the main surface of the glass plate G from the viewpoint of preventing the glass plate G from falling from the clamp 25 in the transporting process. Examples of such a material include a member obtained by fiberizing a metal or an alloy, more specifically, a member obtained by fiberizing stainless steel or a similar alloy steel. The tip 41b of the clamp 25 is made of, for example, a cross-shaped structure in which SUS316L (stainless steel material) or SUS304 (stainless steel material) is fiberized and twilled, or a tape-shaped stainless steel fiber formed into a band after twill weaving. is there. Stainless steel fibers are also preferred in that they are heat resistant and are less likely to damage the glass surface. Specifically, Naslon (registered trademark) is used as the tip 41b of the clamp 25. Further, the tip 41b of the clamp 25 may be a member formed by fiberizing alloy steel made of one kind selected from a chromium alloy and a nickel alloy, or a combination thereof. For this reason, the tip 41b of the clamp 25 is made of a member obtained by fiberizing alloy steel made of one kind selected from stainless steel, chromium alloy, and nickel alloy, or a combination thereof. Further, the tip 41b of the clamp 25 is a fiber felt member having heat resistance, for example, one kind selected from carbon felt, silica felt, alumina felt, Tyranno felt, and metal felt having heat resistance, or a combination thereof. The member which consists of may be sufficient. Here, the fiber felt member is a member knitted with short fibers, a member having a fiber diameter of 20 μm or less and a porosity of 50% or more. The fiber felt member is likely to generate dust from the member as compared with the alloy steel, but since the dust generation material can be removed from the glass plate G by washing the glass plate G in the above-described step S7, the fiber felt member should be used. You can also.

また、バネクランプの他の例として、図６に示したクランプ２５のほか、図７に示すクランプ２５を挙げることができる。図７に示すクランプ２５は、断面視コの字形状のベース部材５１と、ベース部材５１に対して動くようにベース部材５１に取り付けられた可動部材５３と、クランプ２５を把持姿勢（図７（ａ）に示す姿勢）とするようベース部材５１および可動部材５３にバネ力を付与するバネ５５と、を有している。ベース部材５１は、コの字形状の両端に位置する端５１ａ、５１ｂを有し、このうち端５１ａと、可動部材５３と、がガラス板Ｇの主表面と接触する。バネ５５は、ベース部材５１の他方の端５１ｂと可動部材５３との間に配置され、可動部材５３をベース部材５１の端５１ａに接近するよう付勢して、クランプ２５を把持姿勢にする。把持姿勢にあるクランプ２５は、外部からの操作力によって可動部材５３が操作されて、可動部材５３がベース部材５１の端５１ａから離反することで解除姿勢となり（図７（ｂ）に示す姿勢）、ガラス板Ｇの抜き取りおよび挿入を行うことができる。ベース部材５１の端５１ａ、および、可動部材５３のガラス板Ｇと接触する部分は、図６に示すクランプ２５の先端４１ｂと同様に、ガラス板Ｇの主表面との間の摩擦を大きくする材料で構成されることが好ましい。
なお、バネクランプは、図６および図７に示すものに限定されない。また、クランプには、バネクランプのほか、ガラス板Ｇの両主表面に当接してガラス板Ｇを挟むように把持するものであれば特に制限されず、ガラス板Ｇを把持する力（把持力）の大きさを調節できるものが好ましく用いられる。 As another example of the spring clamp, in addition to the clamp 25 shown in FIG. 6, the clamp 25 shown in FIG. 7 can be cited. The clamp 25 shown in FIG. 7 has a U-shaped base member 51 in cross section, a movable member 53 attached to the base member 51 so as to move relative to the base member 51, and a gripping posture of the clamp 25 (FIG. 7 ( a spring 55 for applying a spring force to the base member 51 and the movable member 53 so as to have a posture shown in FIG. The base member 51 has ends 51 a and 51 b located at both ends of the U-shape, and the end 51 a and the movable member 53 are in contact with the main surface of the glass plate G. The spring 55 is disposed between the other end 51b of the base member 51 and the movable member 53, and urges the movable member 53 so as to approach the end 51a of the base member 51 to bring the clamp 25 into a gripping posture. The clamp 25 in the gripping posture is in a releasing posture when the movable member 53 is operated by an external operating force and the movable member 53 is separated from the end 51a of the base member 51 (posture shown in FIG. 7B). The glass plate G can be extracted and inserted. The material that increases the friction between the end 51a of the base member 51 and the portion of the movable member 53 that contacts the glass plate G with the main surface of the glass plate G, like the tip 41b of the clamp 25 shown in FIG. It is preferable that it is comprised.
The spring clamp is not limited to that shown in FIGS. In addition to the spring clamp, the clamp is not particularly limited as long as it clamps the glass plate G so as to be in contact with both main surfaces of the glass plate G and grips the glass plate G (gripping force). It is preferable to use one that can adjust the size of

１つのバー２３に取り付けられるクランプ２５の数は、１つであってもよいが、搬送中のガラス板Ｇの姿勢をより安定させるために、２つ以上であることが好ましい。２つ以上のクランプ２５がバー２３に取り付けられている場合、クランプ２５は、バー２３に対し幅方向にスライドできるよう構成されていることが好ましい。金属材料で構成されたバー２３は、ガラス板Ｇよりも熱膨張率が高く幅方向に延びやすい。このため、クランプ２５がバー２３に対して幅方向に移動することで、バー２３が熱膨張してもガラス板Ｇの上端部に撓みや変形が生じるのを防止することができる。 Although the number of the clamps 25 attached to one bar 23 may be one, in order to make the attitude | position of the glass plate G in conveyance more stable, it is preferable that it is two or more. When two or more clamps 25 are attached to the bar 23, the clamp 25 is preferably configured to be slidable in the width direction with respect to the bar 23. The bar 23 made of a metal material has a higher coefficient of thermal expansion than the glass plate G and easily extends in the width direction. For this reason, when the clamp 25 moves in the width direction with respect to the bar 23, it is possible to prevent the upper end portion of the glass plate G from being bent or deformed even if the bar 23 is thermally expanded.

（ｂ）熱処理ユニット
熱処理ユニットは、熱処理工程（Ｓ４）を行うためのものであり、搬送されるガラス板Ｇの上方および下方のそれぞれに搬送方向に並ぶよう配置された複数のファン付きヒータ３１を有している。ファン付きヒータ３１は、搬送されるガラス板Ｇに、予め設計された温度プロファイルが形成されるよう、図示しない制御装置によって制御される。 (B) Heat treatment unit The heat treatment unit is for performing the heat treatment step (S4), and includes a plurality of fan-equipped heaters 31 arranged in the conveyance direction above and below the glass plate G to be conveyed. Have. The fan-equipped heater 31 is controlled by a control device (not shown) so that a pre-designed temperature profile is formed on the conveyed glass plate G.

ファン付きヒータ３１は、ヒータで加熱された気体をファンで送風するよう、ヒータとファンが互いに隣接して配置された一体の装置であり、熱処理炉１内では、ヒータに対してファンを下方にして配置される。ファン付きヒータ３１のヒータには、例えば、バーナーヒータ、電気ヒータが用いられる。ファンは、熱処理工程（Ｓ４）の間、ヒータで加熱された空気を、図３に示されるように下方に向けて送風するよう駆動される。図３において、熱風が流れる向きを太い矢印で示す。熱処理炉１内の雰囲気中に粉塵が浮遊している場合であっても、このようなダウンフローの熱風によって粉塵は炉１の底部に運ばれるため、粉塵が雰囲気中を浮遊し続けてガラス板Ｇの表面に付着するのを抑えることができる。また、ダウンフローの熱風は、熱処理炉１内を循環する空気流を形成できる点で好ましい。熱風は、ガラス板Ｇ間を下方に流れた後、熱処理炉１の底部に沿って熱処理炉１の図示されない側壁まで流れて、側壁に沿って上昇し、さらに熱処理炉１の天井に沿って流れることで、搬送路７の周りを循環する。 The fan-equipped heater 31 is an integrated device in which the heater and the fan are arranged adjacent to each other so that the gas heated by the heater is blown by the fan. Arranged. As the heater of the heater 31 with a fan, for example, a burner heater or an electric heater is used. During the heat treatment step (S4), the fan is driven to blow the air heated by the heater downward as shown in FIG. In FIG. 3, the direction in which the hot air flows is indicated by a thick arrow. Even when dust is floating in the atmosphere in the heat treatment furnace 1, the dust is carried to the bottom of the furnace 1 by the hot air of such a downflow, so that the dust continues to float in the atmosphere and the glass plate Adhesion to the surface of G can be suppressed. Further, the downflow hot air is preferable in that an air flow circulating in the heat treatment furnace 1 can be formed. The hot air flows downward between the glass plates G, then flows along the bottom of the heat treatment furnace 1 to a side wall (not shown) of the heat treatment furnace 1, rises along the side wall, and further flows along the ceiling of the heat treatment furnace 1. Thus, it circulates around the conveyance path 7.

ファン付きヒータ３１は、発熱する領域の横方向（図２の紙面奥行き方向）長さが、搬送されるガラス板Ｇの幅方向長さより長いことが好ましい。また、搬送方向に隣り合うファン付きヒータ３１の間隔は、搬送方向にわたって熱風の温度にムラが生じないよう調整される。 In the heater 31 with a fan, it is preferable that the horizontal direction (depth direction in FIG. 2) of the heat generating region is longer than the length in the width direction of the glass plate G to be conveyed. Further, the interval between the fan-equipped heaters 31 adjacent to each other in the transport direction is adjusted so that the temperature of the hot air does not vary across the transport direction.

ここで、クランプ２５の把持力とガラス板の強度との関係について説明する。
熱処理が行われる間および熱処理が行われた後におけるクランプ２５による把持力が、ガラス板の破壊強度より大きい。また、熱処理が行われる間および熱処理が行われた後におけるクランプ２５に把持された部分のガラス板の面強度は、ガラス板の端面強度より大きい。このような関係が満たされるよう、クランプ２５でガラス板Ｇが把持されていることによって、熱処理工程において、ガラス板Ｇのクランプ２５で把持された部分において割れが発生することを抑えられる。ここで、ガラス板の破壊強度は、ガラス板の端面強度に相当する。ガラス板において、端面の強度が最も弱いため、ガラスの破壊強度は、実質的にガラスの端面強度になる。面強度および端面強度は、いずれも、板厚方向の荷重に対するガラス板の強度を評価する指標である。ガラスの面強度は、せん断応力をかけて測定される面強度（Ｎ／ｍｍ^２）である。また、端面強度は、曲げ、引っ張り応力をかけて測定される端面強度（Ｎ／ｍｍ^２）である。ここでは、破壊強度は、ガラス板に固有な特性とし、一定の大きさであるのに対し、面強度は、クランプ２５の把持力および熱処理によって変化する。具体的に、面強度は、クランプ２５の把持力が大きくなると低下し、また、熱処理が行われることで低下する。本発明者は、ガラス板Ｇの面強度と、クランプ２５の把持力および熱処理との間にこのような相関関係があることを突き止め、さらに、クランプ２５に把持された部分のガラス板の面強度がガラス板Ｇの破壊強度より大きければ、熱処理工程において、クランプ２５で把持されたガラス板Ｇの部分において、割れが生じるのを抑えられることを見出した。 Here, the relationship between the gripping force of the clamp 25 and the strength of the glass plate will be described.
The gripping force by the clamp 25 during the heat treatment and after the heat treatment is greater than the breaking strength of the glass plate. Further, the surface strength of the glass plate at the portion held by the clamp 25 during and after the heat treatment is greater than the end surface strength of the glass plate. By holding the glass plate G with the clamp 25 so as to satisfy such a relationship, it is possible to suppress the occurrence of cracks in the portion of the glass plate G held with the clamp 25 in the heat treatment step. Here, the breaking strength of the glass plate corresponds to the end face strength of the glass plate. In the glass plate, since the strength of the end face is the weakest, the breaking strength of the glass is substantially the end face strength of the glass. Both the surface strength and the end surface strength are indexes for evaluating the strength of the glass plate against the load in the plate thickness direction. The surface strength of glass is a surface strength (N / mm ² ) measured by applying a shear stress. The end face strength is end face strength (N / mm ² ) measured by applying bending and tensile stresses. Here, the breaking strength is a characteristic unique to the glass plate and has a constant size, whereas the surface strength changes depending on the gripping force of the clamp 25 and heat treatment. Specifically, the surface strength decreases as the gripping force of the clamp 25 increases, and decreases as a result of heat treatment. The present inventor has found that there is such a correlation between the surface strength of the glass plate G, the gripping force of the clamp 25, and the heat treatment, and further the surface strength of the glass plate at the portion gripped by the clamp 25. It has been found that if the strength is larger than the breaking strength of the glass plate G, it is possible to suppress the occurrence of cracks in the portion of the glass plate G held by the clamp 25 in the heat treatment step.

本実施形態において、クランプ２５の把持力は、このようなガラス板Ｇの面強度と破壊強度との関係を満たすよう調整される。具体的には、実際に作製された種々のガラス板を用いて測定することによって得た、板厚方向の荷重の大きさと面強度との関係、熱処理工程に伴う面強度の変化、および端面強度の変化に関する情報に基づいて、クランプ２５で把持しかつ熱処理を行うことによって低下すると予想される面強度を目標面強度として、その目標面強度を超える面強度が熱処理工程において維持されるよう、クランプ２５の把持力、クランプ２５とガラス板Ｇの主表面との接触面積等が決定される。クランプ２５とガラス板Ｇとの主表面との接触面積は、バー２３に複数のクランプ２５が取り付けられる場合は、各クランプ２５とガラス板Ｇとの接触面積の合計である。上記のように決定された把持力、接触面積を満たすクランプ２５を採用することで、上記のガラス板Ｇの面強度と破壊強度との関係が満たされる。また、決定された把持力、接触面積を満たす範囲で、バー２３に取り付けられるクランプ２５の数は調整される。なお、目標面強度は、破壊強度と等しい。 In the present embodiment, the gripping force of the clamp 25 is adjusted so as to satisfy the relationship between the surface strength and the breaking strength of the glass plate G. Specifically, the relationship between the load in the plate thickness direction and the surface strength, the change in the surface strength accompanying the heat treatment process, and the end surface strength obtained by measuring using various actually produced glass plates Based on the information on the change in the width of the clamp, it is assumed that the surface strength that is expected to decrease by gripping with the clamp 25 and performing the heat treatment is the target surface strength, and the surface strength exceeding the target surface strength is maintained in the heat treatment process. A gripping force of 25, a contact area between the clamp 25 and the main surface of the glass plate G, and the like are determined. The contact area between the clamp 25 and the main surface of the glass plate G is the sum of the contact areas between the clamps 25 and the glass plate G when a plurality of clamps 25 are attached to the bar 23. By adopting the clamp 25 that satisfies the gripping force and the contact area determined as described above, the relationship between the surface strength and the breaking strength of the glass plate G is satisfied. Further, the number of clamps 25 attached to the bar 23 is adjusted within a range that satisfies the determined gripping force and contact area. The target surface strength is equal to the fracture strength.

一方で、ガラス板Ｇの傷の発生が少なく面強度が高い状態では（例えば、クランプ２５の把持力が小さすぎる場合や、熱処理工程において十分に昇温されていない場合）、ガラス板Ｇは自重によりクランプ２５から外れ、落下するおそれがある。このようなガラス板Ｇのクランプ２５に対するずり落ちは、ガラス板Ｇの重量が大きい場合や、ガラス板Ｇとクランプ２５の摩擦抵抗が小さい場合も発生しうる。このため、ガラス板Ｇのずり落ちを防止する観点から、ガラス板の重量およびガラス板Ｇとクランプ２５の摩擦抵抗を考慮して、上記したクランプ２５の把持力、接触面積を決定することが好ましい。
また、熱処理炉１のキープ区間を搬送される前に、予めガラス板Ｇの主表面と接触するクランプ２５の部分を加熱しておくことが好ましい。このような事前加熱をすることで、クランプ２５のガラス板Ｇとの接触部分の摩擦係数が上昇し、ガラス板Ｇのクランプ２５からのずり落ちが生じ難くなる。事前加熱は、例えば、クランプ２５を、ガラス板Ｇを吊り下げたバー２３ごと、熱処理炉１の昇温区間を搬送させることで行うことができる。 On the other hand, in the state where the scratches on the glass plate G are few and the surface strength is high (for example, when the gripping force of the clamp 25 is too small, or when the temperature is not sufficiently raised in the heat treatment process), the glass plate G has its own weight. May come off the clamp 25 and fall. Such slippage of the glass plate G with respect to the clamp 25 may occur when the weight of the glass plate G is large or when the frictional resistance between the glass plate G and the clamp 25 is small. For this reason, it is preferable to determine the gripping force and the contact area of the clamp 25 described above in consideration of the weight of the glass plate and the frictional resistance between the glass plate G and the clamp 25 from the viewpoint of preventing the glass plate G from sliding down. .
Moreover, it is preferable to heat the portion of the clamp 25 that comes into contact with the main surface of the glass plate G before being conveyed through the keep section of the heat treatment furnace 1. By performing such preheating, the coefficient of friction of the contact portion between the clamp 25 and the glass plate G increases, and the glass plate G hardly falls from the clamp 25. The preheating can be performed, for example, by transporting the clamp 25 together with the bar 23 from which the glass plate G is suspended to the temperature raising section of the heat treatment furnace 1.

本実施形態のディスプレイ用ガラス板の製造方法では、ガラス板の面強度が破壊強度より大きければ、熱処理工程においてクランプで把持されたガラス板の部分に割れが生じるのを抑制できる。
なお、本実施形態のガラス板の製造方法において、搬送工程は行われてなくてもよい。また、熱処理工程は、１枚のガラス板のみに対して行ってもよい。 In the manufacturing method of the glass plate for display of this embodiment, if the surface strength of a glass plate is larger than fracture strength, it can suppress that a crack arises in the part of the glass plate hold | gripped with the clamp in the heat processing process.
In addition, in the manufacturing method of the glass plate of this embodiment, a conveyance process does not need to be performed. Moreover, you may perform a heat processing process only with respect to one glass plate.

（実験例）
オーバフローダウンドロー法を用いて作製した、ＳｉＯ₂ ６７．０モル％、Ａｌ₂Ｏ₃ １０．６モル％、Ｂ₂Ｏ₃ １１．０モル％、ＲＯ１１．４モル％（ＲＯはＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯ及びＢａＯの合量)のガラス組成を有する厚さ０．５ｍｍのシートガラスを、２２７０ｍｍ×２０００ｍｍのサイズの複数の矩形形状のガラス板に採板した。採板したガラス板を、上記説明した熱処理炉１内で、図６に示す形態のクランプ２５で把持した状態で、ガラス板に対し熱処理工程を行った（実施例）。クランプ２５の把持力、ガラス板Ｇの主表面との接触面積の合計、クランプ数を調整することにより、ガラス板Ｇの面強度が、端面強度（破壊強度）を上回るようにした。ガラス板Ｇと接触するクランプの部分にはステンレス鋼繊維を材質とするものを用いた。
クランプ２５の把持力：０．３〜０．８Ｎ／ｍｍ^２
クランプ２５のガラス板Ｇの主表面との接触面積の合計：９０００ｍｍ^２
クランプ数：６個
また、熱処理は下記の条件で行った。
昇温区間：常温から、５００℃〜５２０℃の範囲まで３０分かけて昇温
キープ区間：５００℃〜５２０℃の範囲で１２０分保持
降温区間：５００℃〜５２０℃の範囲から４００℃まで９０分かけて降温 (Experimental example)
SiO ₂ 67.0 mol%, Al ₂ O ₃ 10.6 mol%, B ₂ O ₃ 11.0 mol%, RO 11.4 mol% (RO is MgO, CaO) prepared using the overflow downdraw method. Sheet glass having a thickness of 0.5 mm having a glass composition of (total amount of SrO and BaO) was sampled on a plurality of rectangular glass plates having a size of 2270 mm × 2000 mm. A heat treatment step was performed on the glass plate in a state where the sampled glass plate was held by the clamp 25 having the configuration shown in FIG. 6 in the heat treatment furnace 1 described above (Example). By adjusting the gripping force of the clamp 25, the total contact area with the main surface of the glass plate G, and the number of clamps, the surface strength of the glass plate G was made to exceed the end surface strength (breaking strength). A clamp made of stainless steel fiber was used for the clamp portion in contact with the glass plate G.
Gripping force of the clamp 25: 0.3 to 0.8 N / mm ²
Total contact area of the clamp 25 with the main surface of the glass plate G: 9000 mm ²
Number of clamps: 6 Heat treatment was performed under the following conditions.
Temperature rise period: From room temperature to 500 ° C. to 520 ° C. over 30 minutes Keep period: 500 ° C. to 520 ° C. hold for 120 minutes Temperature drop: 500 ° C. to 520 ° C. range to 400 ° C. 90 Temperature drop over minutes

また、実施例のガラス板を採板した同じシートガラスから採板したガラス板を用いて、常温においてガラス板が割れない範囲でクランプ２５の把持力を調整し、ガラス板Ｇの主表面との接触面積の合計およびクランプ数を調整せずに、下記のように把持した点を除いて実施例と同様に熱処理工程を行った（比較例）。
クランプ２５の把持力：５０〜１００Ｎ／ｍｍ^２
クランプ２５のガラス板Ｇの主表面との接触面積の合計：９０００ｍｍ^２
クランプ数：６個 Moreover, using the glass plate which sampled from the same sheet glass which sampled the glass plate of an Example, the holding | grip force of the clamp 25 is adjusted in the range which a glass plate does not break at normal temperature, and the main surface of the glass plate G Without adjusting the total contact area and the number of clamps, a heat treatment step was performed in the same manner as in the example except for the points gripped as follows (comparative example).
Gripping force of the clamp 25: 50 to 100 N / mm ²
Total contact area of the clamp 25 with the main surface of the glass plate G: 9000 mm ²
Number of clamps: 6

熱処理終了後、実施例および比較例のガラス板のクランプで把持した部分を、割れが発生しているか観察した。熱処理終了後にガラス板をロボットアームにより搬送した時に割れが発生するか否かを観察した。その結果、実施例では、割れは確認されなかったのに対し、比較例では、割れが確認された。このため、ガラス板の面強度の変化は、クランプの把持力に依存し、クランプの把持力を一定以下にすることにより、ガラス板の割れを抑制できることが確認された。 After the heat treatment was completed, it was observed whether cracks occurred in the portions gripped by the clamps of the glass plates of Examples and Comparative Examples. It was observed whether or not cracking occurred when the glass plate was transferred by the robot arm after the heat treatment. As a result, cracks were not confirmed in the examples, whereas cracks were confirmed in the comparative examples. For this reason, it was confirmed that the change in the surface strength of the glass plate depends on the gripping force of the clamp, and that the cracking of the glass plate can be suppressed by making the gripping force of the clamp below a certain level.

以上、本発明のディスプレイ用ガラス板の製造方法について詳細に説明したが、本発明は上記実施形態に限定されず、本発明の主旨を逸脱しない範囲において、種々の改良や変更をしてもよいのはもちろんである。 As mentioned above, although the manufacturing method of the glass plate for a display of this invention was demonstrated in detail, this invention is not limited to the said embodiment, You may make various improvement and change in the range which does not deviate from the main point of this invention. Of course.

１熱処理炉
３入口
５出口
７搬送路
２１チェーンベルト（搬送ベルト）
２３バー
２５クランプ
２７ベルト
３１ファン付きヒータ
Ｇガラス板 1 Heat treatment furnace 3 Inlet 5 Outlet 7 Conveying path 21 Chain belt (conveying belt)
23 Bar 25 Clamp 27 Belt 31 Heater G with fan Glass plate

Claims

A heat treatment step of heat-treating the glass plate by holding one end of the molded glass plate with a clamp;
In the heat treatment step, the glass plate is gripped by the clamp by sandwiching both main surfaces of the glass plate with clamps,
A method for producing a glass plate for a display, wherein a gripping force by the clamp is greater than a breaking strength of the glass plate during and after the heat treatment.

The method for producing a glass plate for a display according to claim 1, wherein the surface strength of the glass plate at the portion gripped by the gripping force is greater than the end surface strength of the glass plate.

The manufacturing method of the glass plate for a display of Claim 1 or 2 with which the part of the said clamp which pinches | interposes both the main surfaces of the said glass plate is comprised with the stainless steel fiber.

The said clamp clamps the area | regions other than the product area | region of the said glass plate, The manufacturing method of the glass plate for displays of any one of Claim 1 to 3.