JP2017009560A

JP2017009560A - 漏水検知器具

Info

Publication number: JP2017009560A
Application number: JP2015128557A
Authority: JP
Inventors: 祐司紀; Yuji Nori
Original assignee: Disco Abrasive Systems Ltd
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2015-06-26
Filing date: 2015-06-26
Publication date: 2017-01-12

Abstract

【課題】水漏れを迅速かつ確実に発見できる漏水検知器具を提供する。【解決手段】漏水検知器具（１）であって、電池（９）の直流電圧を増幅する電圧増幅手段（１１）と、水の存在下で一対の端子間の電気抵抗が低下するケーブル状のセンサ（１５）と、電圧増幅手段とセンサの端子との間に接続され、センサの電気抵抗が低下すると音を出すブザー（１３）と、電池、電圧増幅手段、センサ及びブザーを持ち運び可能に収容するケース（３）と、を備える。【選択図】図１

Description

本発明は、水漏れを検知する漏水検知器具に関する。

半導体デバイスの製造工程では、研削装置（例えば、特許文献１参照）や切削装置（例えば、特許文献２参照）等の加工装置を用いて、シリコン等の半導体材料でなるウェーハを加工する。これらの加工装置では、工具の潤滑、冷却等を目的として、大量の水が使用される。

よって、加工装置を設置する設置領域の近傍には、給排水用の配管等が敷設されている。ところで、この設置領域に加工装置を設置した直後には、配管付近から水漏れする可能性が高い。そこで、加工装置を設置した後には、試運転によって配管付近での水漏れを確認している。

特開２０１０−２４７２８２号公報特開２０１１−１４６７０号公報

上述した水漏れの確認は、通常、作業者の目視によって実施される。しかしながら、この方法では、水漏れの発見に時間が掛かって、設置領域が水浸しになってしまうこともあった。

本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、水漏れを迅速かつ確実に発見できる漏水検知器具を提供することである。

本発明によれば、電池の直流電圧を増幅する電圧増幅手段と、水の存在下で一対の端子間の電気抵抗が低下するケーブル状のセンサと、該電圧増幅手段と該センサの該端子との間に接続され、該センサの電気抵抗が低下すると音を出すブザーと、該電池、該電圧増幅手段、該センサ及び該ブザーを持ち運び可能に収容するケースと、を備えることを特徴とする漏水検知器具が提供される。

本発明に係る漏水検知器具は、水の存在下で一対の端子間の電気抵抗が低下するケーブル状のセンサと、センサの電気抵抗が低下すると音を出すブザーと、を備えるので、センサを水漏れの調査領域に配置することで、ブザーの音によって水漏れを迅速かつ確実に発見できる。

また、本発明に係る漏水検知器具は、電圧増幅手段、センサ、ブザーという簡単な構成で実現されると共に、電池及び各構成要素は持ち運び可能な態様でケースに収容されるので、設置及び持ち運びが容易である。さらに、本発明に係る漏水検知器具は、電池の直流電圧を増幅する電圧増幅手段を備えるので、外部の電源が存在しない場所でも電池を用いて水漏れを検知できる。

漏水検知器具の構成例を模式的に示す分解斜視図である。漏水検知器具の構成例を模式的に示すブロック図である。漏水検知器具の使用例を模式的に示す斜視図である。

添付図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。図１は、本実施形態に係る漏水検知器具の構成例を模式的に示す分解斜視図であり、図２は、漏水検知器具の構成例を模式的に示すブロック図である。図１及び図２に示すように、本実施形態に係る漏水検知器具１は、各構成要素を収容するケース３を備えている。

ケース３は、例えば、手のひらに乗せて持ち運ぶことができる大きさ（代表的には、縦、横、高さの三辺の合計が４０ｃｍ以下）の直方体状に形成されており、内部に空間を持つ箱状の本体５と、本体５の上部を閉じる蓋７とを備えている。本体５の内部には、直流電圧を発生する電池９が収容されている。電池９は、例えば、乾電池（一次電池）や蓄電池（二次電池）等であり、本体５の底壁５ａに固定される。

電池９の起電力等は任意だが、本実施形態では、９Ｖの直流電圧を発生可能なものを使用する。この電池９の正極には、直流電圧を増幅するスイッチングレギュレータ（電圧増幅手段）１１の入力端子が接続される。また、電池９の負極には、スイッチングレギュレータ１１の接地端子が接続される。

スイッチングレギュレータ１１は、電池９で発生する直流電圧を昇圧して高電圧を出力できるように構成されており、本体５の底壁５ａに固定される。スイッチングレギュレータ１１の昇圧倍率等は任意だが、本実施形態では、９Ｖの直流電圧を２４Ｖに昇圧して出力可能なものを使用する。

スイッチングレギュレータ１１の出力端子には、所定の電圧が加わることによって音を出すブザー１３の第１端子が接続されている。ブザー１３の種類は任意だが、例えば、消費電力の低減に有利な圧電ブザーを用いると良い。このブザー１３も、本体５の底壁５ａに固定される。

ブザー１３の第２端子及びスイッチングレギュレータ１１の接地端子の間には、ケーブル状のセンサ１５が接続されている。このセンサ１５は、例えば、互いに接触しないように間隔を保って配置された第１導線及び第２導線を備える。第１導線の一端は、ブザー１３の第２端子に接続される第１端子となり、第２導線の一端は、スイッチングレギュレータ１１の接地端子に接続される第２端子となる。

センサ１５を構成する２本の導線間に水が介在すると、第１端子及び第２端子の間の電気抵抗は低下する。すなわち、センサ１５は、水の存在下で一対の端子間の電気抵抗が低下するように構成されている。例えば、水漏れによってセンサ１５の一対の端子間の電気抵抗が低下すると、ブザー１３の両端子間に所定の電圧が加わり、ブザー１３は音を出す。これにより、水漏れを迅速かつ確実に発見できる。

ケース３の本体５の側壁５ｂには、例えば、本体５を内外に貫通する開口５ｃが設けられている。漏水検知器具１を使用する際には、この開口５ｃを通じてセンサ１５をケース３の外部に引き出す。一方、漏水検知器１を持ち運ぶ場合等には、センサ１５をケース３の内部に収容する。

次に、上記実施形態に係る漏水検知器具１の使用例について説明する。図３は、本実施形態に係る漏水検知器具１の使用例を模式的に示す斜視図である。なお、ここでは、研削装置の配管からの水漏れを検知する場合の使用例について説明する。図３に示すように、研削装置２は、各構成要素が搭載される直方体状の基台４を備えている。基台４の後部には、柱状の支持構造６が立てられている。

基台４の上面前側には、Ｘ軸方向（前後方向）に長い開口４ａが形成されている。この開口４ａ内には、Ｘ軸移動テーブル８、Ｘ軸移動テーブル８をＸ軸方向に移動させるＸ軸移動機構（不図示）及びＸ軸移動機構を覆う防塵防滴カバー１０が設けられている。

Ｘ軸移動機構は、Ｘ軸方向に平行な一対のＸ軸ガイドレール（不図示）を備えており、Ｘ軸ガイドレールには、Ｘ軸移動テーブル８がスライド可能に取り付けられている。Ｘ軸移動テーブル８の下面側には、ナット部（不図示）が設けられており、このナット部には、Ｘ軸ガイドレールと平行なＸ軸ボールネジ（不図示）が螺合されている。

Ｘ軸ボールネジの一端部には、Ｘ軸パルスモータ（不図示）が連結されている。Ｘ軸パルスモータでＸ軸ボールネジを回転させることにより、Ｘ軸移動テーブル８はＸ軸ガイドレールに沿ってＸ軸方向に移動する。Ｘ軸移動テーブル８の上方には、ウェーハ等の被加工物（不図示）を吸引、保持するチャックテーブル１２が設けられている。

チャックテーブル１２は、モータ等の回転駆動源（不図示）に連結されており、Ｚ軸方向（鉛直方向）に概ね平行な回転軸の周りに回転する。また、チャックテーブル１２は、上述のＸ軸移動機構により、被加工物が搬入搬出される前方の搬入搬出領域と、被加工物が研削される後方の研削領域との間を移動する。

チャックテーブル１２の上面中央は、被加工物を吸引、保持する保持面１４となっている。この保持面１４は、チャックテーブル１２の内部に形成された流路（不図示）等を通じて吸引源（不図示）に接続されている。被加工物は、保持面１４に作用する吸引源の負圧でチャックテーブル１２に吸引、保持される。

支持構造６の前面には、Ｚ軸移動機構１６が設けられている。Ｚ軸移動機構１６は、Ｚ軸方向に平行な一対のＺ軸ガイドレール１８を備えており、このＺ軸ガイドレール１８には、Ｚ軸移動プレート２０がスライド可能に取り付けられている。Ｚ軸移動プレート２０の後面側（裏面側）には、ナット部（不図示）が設けられており、このナット部には、Ｚ軸ガイドレール１８に平行なＺ軸ボールネジ２２が螺合されている。

Ｚ軸ボールネジ２２の一端部には、Ｚ軸パルスモータ２４が連結されている。Ｚ軸パルスモータ２４でＺ軸ボールネジ２２を回転させることにより、Ｚ軸移動プレート２０はＺ軸ガイドレール１８に沿ってＺ軸方向に移動する。

Ｚ軸移動プレート２０の前面（表面）には、固定具２６が設けられている。この固定具２６には、被加工物を研削する研削ユニット２８が支持されている。研削ユニット２８は、固定具２６に固定されたスピンドルハウジング３０を備えている。スピンドルハウジング３０には、Ｚ軸方向に平行な回転軸の周りに回転するスピンドル３２が収容されている。

スピンドルハウジング３０から露出するスピンドル３２の下端部（先端部）には、円盤状のホイールマウント３４が固定されており、ホイールマウント３４の下面には、ホイールマウント３４と概ね同径の研削ホイール３６が装着されている。研削ホイール３６は、ステンレス等の金属材料で形成された円環状のホイール基台を含む。ホイール基台の下面には、全周にわたって複数の研削砥石が固定されている。

スピンドル３２の上端側には、モータ等の回転駆動源（不図示）が連結されており、研削ホイール３６は、回転駆動源から伝達される回転力で回転する。また、上述したＺ軸移動機構１６で研削ユニット２８を下降させれば、研削ホイール３６をチャックテーブル１２に近づけることができる。

そのため、例えば、回転させた研削ホイール３６を任意の研削送り速度で下降させて、チャックテーブル１２に吸引、保持された被加工物の上面に研削砥石を接触させることで、被加工物を研削できる。被加工物の研削時には、研削領域に設置されたノズル（不図示）等から、研削砥石や被加工物に対して純水等の研削水が供給される。

研削に使用された後の研削水等は、基台４に設けられた配管３８を通じて外部に排出される。例えば、この配管３８付近での水漏れを確認したい場合には、センサ１５をケース３の外部に引き出して配管３８の近傍に配置する。配管３８付近で水漏れが発生し、センサ１５に水４０が付着すると、ブザー１３から音が出るので、この音によって水漏れを発見できる。

以上のように、本実施形態に係る漏水検知器具１は、水の存在下で一対の端子間の電気抵抗が低下するケーブル状のセンサ１５と、センサ１５の電気抵抗が低下すると音を出すブザー１３と、を備えるので、センサ１５を水漏れの調査領域に配置することで、ブザー１３の音によって水漏れを迅速かつ確実に発見できる。

また、本実施形態に係る漏水検知器具１は、スイッチングレギュレータ（電圧増幅手段）１１、ブザー１３、センサ１５という簡単な構成で実現されると共に、電池９及び各構成要素は持ち運び可能な態様でケース３に収容されるので、設置及び持ち運びが容易である。さらに、本実施形態に係る漏水検知器具１は、電池９の直流電圧を増幅するスイッチングレギュレータ（電圧増幅手段）１１を備えるので、外部の電源が存在しない場所でも電池９を用いて水漏れを検知できる。

なお、本発明は、上記実施形態の記載に限定されず、種々変更して実施可能である。例えば、上記実施形態では、スイッチングレギュレータ１１の出力端子側にブザー１３を接続しているが、スイッチングレギュレータ１１の接地端子側にブザー１３を接続しても良い。すなわち、ブザー１３は、スイッチングレギュレータ１１とセンサ１５との間に接続されていれば良い。

なお、スイッチングレギュレータ１１の接地端子にブザー１３の第１端子（又は第２端子）を接続する場合には、例えば、ブザー１３の第２端子（又は第１端子）にセンサ１５の第１端子を接続し、スイッチングレギュレータ１１の出力端子にセンサ１５の第２端子を接続することになる。

また、上記実施形態では、ケース３の本体５に開口５ｃを設けてセンサ１５を引き出せるようにしているが、本体５には開口５ｃを設けなくても良い。この場合、例えば、本体５と蓋７との隙間等からセンサ１５を引き出すことができる。

その他、上記実施形態に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。

１漏水検知器具
３ケース
５本体
５ａ底壁
５ｂ側壁
５ｃ開口
７蓋
９電池
１１スイッチングレギュレータ（電圧増幅手段）
１３ブザー
１５センサ
２研削装置
４基台
４ａ開口
６支持構造
８Ｘ軸移動テーブル
１０防塵防滴カバー
１２チャックテーブル
１４保持面
１６Ｚ軸移動機構
１８Ｚ軸ガイドレール
２０Ｚ軸移動プレート
２２Ｚ軸ボールネジ
２４Ｚ軸パルスモータ
２６固定具
２８研削ユニット
３０スピンドルハウジング
３２スピンドル
３４ホイールマウント
３６研削ホイール
３８配管
４０水

Claims

電池の直流電圧を増幅する電圧増幅手段と、
水の存在下で一対の端子間の電気抵抗が低下するケーブル状のセンサと、
該電圧増幅手段と該センサの該端子との間に接続され、該センサの電気抵抗が低下すると音を出すブザーと、
該電池、該電圧増幅手段、該センサ及び該ブザーを持ち運び可能に収容するケースと、
を備えることを特徴とする漏水検知器具。