JP2017007048A - Holding device and wire electric discharge machine - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、保持装置、ワイヤ放電加工装置の技術に関する。 The present invention relates to a technique of a holding device and a wire electric discharge machining apparatus.
従来よりシリコンインゴットを板状のウエハにスライスするための装置としてワイヤソーが知られているが、近年ワイヤ放電加工の技術を用いてワークを薄板にスライスする技術がある。
特許文献1には、スライスベースの一面とインゴットとの接着面に、粘着性の両面テープと接着剤の領域を設ける技術が開示されている。
Conventionally, a wire saw is known as an apparatus for slicing a silicon ingot into a plate-like wafer. Recently, there is a technique for slicing a workpiece into a thin plate using a wire electric discharge machining technique.
Patent Document 1 discloses a technique in which an adhesive double-sided tape and an adhesive region are provided on an adhesive surface between one surface of a slice base and an ingot.
ワイヤソーでインゴットをワイヤ列に押し下げてスライスする場合には、インゴットがスライス中に落下しないように、インゴットとスライスベースの界面を接着すれば、加工ができるが、放電加工の場合には、さらにインゴットとスライスベースが通電しないと放電回路上に加工電流が流れずに放電不良が発生するので、インゴットとスライスベースとの界面には通電する材料が要求される。 When slicing the ingot by pushing it down into the wire row with a wire saw, it can be processed by bonding the interface between the ingot and the slice base so that the ingot does not fall into the slice. If the slice base is not energized, a machining current does not flow on the discharge circuit and a discharge failure occurs. Therefore, a material to be energized is required at the interface between the ingot and the slice base.
ワークを上部からワイヤ列方向に送り出し、放電加工によってワーク片にスライスする場合に、導電性の両面テープを用いてワークをスライスベースに張り付けた場合、通電性は確保できるが、両面テープの粘着力ではワークの重さに耐えられずに落下してしまい、重量が数kgといった大きなワークには適応できない。 When the work is fed from the top in the wire row direction and sliced into work pieces by electrical discharge machining, if the work is attached to the slice base using conductive double-sided tape, the electrical conductivity can be secured, but the adhesive strength of the double-sided tape Then, it falls without being able to withstand the weight of the workpiece, and cannot be applied to a large workpiece with a weight of several kg.
また接着剤でワークをスライスベースに接着した場合には、接着剤の種類や特性によって、例えばワイヤソーで用いられるエポキシ系接着剤は非導電性であるためスライスベースとの通電性が確保できなかったり、一方で導電性の接着剤はスライス後にインゴットをスライスベースから剥離しずらい特性があるといった問題がある。 In addition, when the workpiece is bonded to the slice base with an adhesive, depending on the type and characteristics of the adhesive, for example, the epoxy adhesive used in a wire saw is non-conductive, so the electrical conductivity with the slice base cannot be secured. On the other hand, the conductive adhesive has a problem that it is difficult to peel the ingot from the slice base after slicing.
本願発明は、ワークを上部からワイヤ列方向に送り出し、放電加工でスライスする場合に、スライスが完了後もワーク片を落下させず、かつスライスが完了するまでワークとの通電性も確保できる仕組みを提供することを目的とする。 The invention of the present application has a mechanism that, when a workpiece is fed from the top in the wire row direction and sliced by electric discharge machining, the workpiece piece is not dropped even after the slicing is completed, and the conductivity with the workpiece can be secured until the slicing is completed. The purpose is to provide.
本発明は、並設されたワイヤでワークをスライスする放電加工において用いられ、前記ワークを重力方向に送り出す場合に前記ワークを保持する保持装置であって、前記ワークと通電する導電性部材を備え、前記導電性部材と前記ワークの上部平面とが接する第1の界面内には前記ワークと前記導電性部材とが通電する通電領域と前記ワークを接着剤で固定する接着領域とがそれぞれ設けられており、前記通電領域が、前記第1の界面内の、前記ワークが複数のワーク片になるようにスライスを終了するまで前記並設されたワイヤが放電可能な領域に設けられており、前記接着領域が、前記第1の界面内の、前記ワークが複数のワーク片になるようにスライスを終了した場合でも、前記複数のワイヤ片を接着可能な領域に設けられていることを特徴とする。 The present invention is a holding device that is used in electric discharge machining for slicing a workpiece with wires arranged in parallel, and holds the workpiece when the workpiece is fed in the direction of gravity, and includes a conductive member that energizes the workpiece. In the first interface where the conductive member and the upper flat surface of the workpiece are in contact, an energized region where the workpiece and the conductive member are energized and an adhesive region where the workpiece is fixed with an adhesive are provided. The energized region is provided in a region in the first interface where the arranged wires can be discharged until slicing is completed so that the workpiece becomes a plurality of workpiece pieces, The bonding area is provided in an area in the first interface where the plurality of wire pieces can be bonded even when the slicing is finished so that the work becomes a plurality of work pieces. And features.
本発明は、ワークを重力方向に送り出し、並設されたワイヤでワークを放電加工することで、複数のワーク片にスライスするワイヤ放電加工装置であって、前記ワークと通電する導電性部を備え、前記導電性部と前記ワークの上部平面とが接する第1の界面内には前記ワークと前記導電性部材とが通電する通電領域と前記ワークを接着剤で固定する接着領域とがそれぞれ設けられており、前記通電領域が、前記第1の界面内の、前記ワークが複数のワーク片になるようにスライスを終了するまで前記並設されたワイヤが放電可能な領域に設けられており、前記接着領域が、前記第1の界面内の、前記ワークが複数のワーク片になるようにスライスを終了した場合でも、前記複数のワイヤ片を接着可能な領域に設けられていることを特徴とする。 The present invention is a wire electrical discharge machining apparatus that slices a plurality of workpiece pieces by feeding the workpiece in the direction of gravity and performing electrical discharge machining of the workpiece with wires arranged in parallel, and includes a conductive portion that energizes the workpiece. In the first interface where the conductive portion and the upper flat surface of the work are in contact, an energization area where the work and the conductive member are energized and an adhesion area where the work is fixed with an adhesive are provided. The energized region is provided in a region in the first interface where the arranged wires can be discharged until slicing is completed so that the workpiece becomes a plurality of workpiece pieces, The bonding region is provided in a region in the first interface where the plurality of wire pieces can be bonded even when slicing is completed so that the workpiece becomes a plurality of workpiece pieces.
本願発明により、ワークを上部からワイヤ列方向に送り出し、放電加工でスライスする場合に、スライスが完了後もワーク片を落下させず、かつスライスが完了するまでワークとの通電性も確保できる仕組みを提供することが可能となる。 In the present invention, when the work is sent from the upper part in the wire row direction and sliced by electric discharge machining, the work piece is not dropped even after the slicing is completed, and the continuity with the work can be secured until the slicing is completed. It becomes possible to provide.
図1を説明する。 Referring to FIG.
図1は本発明におけるワイヤ放電加工システムの構成を示す図である。ワイヤ放電加工システムは、ワイヤ放電加工装置1、電源装置2、加工液供給装置12により構成されている。図1に示す各機構の構成は一例であり目的や用途に応じて様々な構成例があることは言うまでもない。
FIG. 1 is a diagram showing a configuration of a wire electric discharge machining system according to the present invention. The wire electric discharge machining system includes a wire electric discharge machining device 1, a
ワイヤ放電加工システムは放電加工により、並設されたワイヤ103の間隔で被加工物であるワーク105を薄板状にスライスすることができる。本発明では並設されたワイヤ103でワーク105を加工するワイヤ放電加工装置に関するものであり、ワイヤ放電加工装置1では、サーボモータにより駆動されるワーク送りユニット3がワイヤ103の上部に設けられ上下方向にワーク105(またはインゴットとも言う)を移動できる。本実施例ではワーク105が下方向に送られて放電加工がおこなわれるが、変形例としてワーク送りユニット3をワイヤ103の下部に設けることでワーク105を上方向へ移動して放電加工をしてもよい。 The wire electric discharge machining system can slice the workpiece 105, which is a workpiece, into a thin plate at intervals between the wires 103 arranged in parallel by electric discharge machining. The present invention relates to a wire electric discharge machining apparatus for machining a workpiece 105 with wires 103 arranged side by side. In the wire electric discharge machining apparatus 1, a workpiece feed unit 3 driven by a servo motor is provided on an upper portion of the wire 103. The workpiece 105 (also referred to as an ingot) can be moved in the direction. In the present embodiment, the workpiece 105 is sent downward and electric discharge machining is performed, but as a modification, the workpiece 105 is moved upward to perform electric discharge machining by providing the workpiece feeding unit 3 below the wire 103. Also good.
電源装置2は、並設されているワイヤ103とワーク105との極間にパルス電圧を印加することでワーク105を放電加工する。電源装置2はサーボモータを制御する放電サーボ制御回路が検出した放電の状態に応じて、効率よくワーク送りユニット3を移動させるために、放電ギャップ(極間)を一定の距離に保つように制御して、ワーク105の相対的な位置決めを行い、放電加工を少しずつ進行させる。
The
電源装置2は、放電加工のためのパルス電圧をワイヤ103へ供給するとともに、放電ギャップで発生する短絡などの状態に適応する制御を行い、放電サーボ制御回路への放電ギャップ信号を発信する。
The
ワイヤ放電加工装置1は電源装置2と電源配線11を介して接続されており、ワイヤ放電加工装置1は電源装置2から供給される電力(加工電圧と加工電流の積)を用いて、ワーク105を放電加工する。
The wire electric discharge machining apparatus 1 is connected to the
加工液供給装置12は、放電が発生する部分の冷却や、極間に残留する加工屑の除去に必要な加工液をポンプによりワーク105とワイヤ103との極間へ送液すると共に、加工液中に溜まった加工屑の除去や、イオン交換による電導度(1μS〜250μS)の管理や、液温(20℃付近)の管理を行う。おもに水が使用されるが、放電加工油を用いることもできる。
The machining
メインローラ8,9には、所望する厚みでワークをスライス加工出来るようにあらかじめ決められたピッチや、所望する枚数でワークをスライス加工出来るようにあらかじめ決められたピッチ数のV溝が形成されており、ワイヤの供給ボビン(図示しない)からの張力制御されたワイヤが2つのメインローラに必要数巻きつけられ、巻き取りボビン(図示しない)へ送られる。この時のワイヤの走行速度は例えば100m/minから900m/min程度が用いられる。
The
この2つのメインローラ8,9が同じ方向でかつ同じ速度で連動して回転することにより、ワイヤの繰出し部(図示しない)から送られた1本のワイヤ103がメインローラ(2つ)の外周を周回し、ワイヤ103を複数本に並設させて同一方向に走行させることができる。ワイヤ103は1本の繋がったワイヤであり、繰出し部から繰り出され、メインローラの外周面のV溝に嵌め込まれながら、メインローラの外側に多数回(最大で2000回程度)螺旋状に巻回された後に巻き取りボビンに巻き取られる。
The two
メインローラ8,9は中心軸に金属を使用し、外側を樹脂で覆う構造である。メインローラ8.9の間の下部には、電源装置2からのパルス電圧をワイヤに給電するために給電子104が設けられており、給電子104は並設されている複数本のワイヤ103(例えば10本)に一括接触している。給電子104は機械的摩耗に強く導電性があることが要求されるので超硬合金が使用されている。
メインローラ8,9の上部に、ワーク送りユニット3にワーク105を取付けてから、下方向にワーク105を移動し放電加工を行う。
The
After the work 105 is attached to the work feeding unit 3 on the
メインローラ8,9の内側の、中央部には加工槽6が設けられており、加工液の中にワイヤ103およびワーク105が浸漬することで、放電部分の冷却や加工屑の除去を行う。
A processing tank 6 is provided in the center portion inside the
電源装置2の中にある加工電源(図示しない)は放電加工に必要な加工電流を供給するために設定される加工電圧Vを供給するものであり、Vは任意の電圧に設定することができる。
A machining power source (not shown) in the
放電電圧は放電加工時にワイヤ103とワーク105との間に印加される電圧であり、放電電圧が印加される部分が放電部分である。放電部分でワイヤ103からワーク105に放電する。放電電流は放電加工時にワイヤ103とワーク105との間に流れる電流である。 The discharge voltage is a voltage applied between the wire 103 and the workpiece 105 during electric discharge machining, and a portion to which the discharge voltage is applied is a discharge portion. Electric discharge is performed from the wire 103 to the work 105 at the discharge portion. The discharge current is a current that flows between the wire 103 and the workpiece 105 during electric discharge machining.
給電子104は走行する複数本のワイヤ103に一括で給電する。周回するワイヤの中で1ヶ所に配置されている給電子104からパルス電圧を印加し放電加工が行われる。1個の給電子104に対応して1個の電源回路が構成されている。
給電子104から放電部分までの間を流れる電流は、メインローラ8、9を経由する左右2つの経路から流れ、各経路にはワイヤの素材による抵抗が存在する。
The
The current flowing from the
ワーク送りユニット3は、保持機構800に固定されているワーク105を上下方向に移動する機構を備えた装置であり、ワーク105を固定した状態でワーク送りユニット3が下方向(重力方向)に段階的に移動することにより、ワーク105を並設されたワイヤ103に段階的に近づけることができる。 The workpiece feeding unit 3 is a device having a mechanism for moving the workpiece 105 fixed to the holding mechanism 800 in the vertical direction, and the workpiece feeding unit 3 is moved downward (in the direction of gravity) while the workpiece 105 is fixed. The workpiece 105 can be brought closer to the wires 103 arranged side by side by moving in a stepwise manner.
尚、並設されたワイヤが走行する方向は、図1に示した実施例の場合、並設されたワイヤが右側に走行する第1の方向(上部のワイヤ)と、並設されたワイヤが左側に走行する第2の方向(下部部のワイヤ)とがある。 In the case of the embodiment shown in FIG. 1, the direction in which the juxtaposed wires run is the same as the first direction (upper wire) in which the juxtaposed wires run to the right side, There is a second direction (lower wire) that runs to the left.
加工槽6は、加工液を溜めるための容器である。加工液とは例えば抵抗値が高い脱イオン水である。ワイヤ103とワーク105との間に加工液が存在することにより、ワイヤ103とワーク105との間で良好な放電が発生し、ワーク105を削ることが可能となる。 The processing tank 6 is a container for storing a processing liquid. The working fluid is, for example, deionized water having a high resistance value. By the presence of the machining fluid between the wire 103 and the workpiece 105, good electric discharge is generated between the wire 103 and the workpiece 105, and the workpiece 105 can be cut.
メインローラ8、9には、ワイヤ103を取り付けるためのV溝が複数列形成されており、このV溝にワイヤ103が取り付けられている。そしてメインローラ8、9が右又は左回転することによりワイヤ103が走行する。
このようにワイヤ103がメインローラ8、9に取り付けられることで、メインローラ8、9の上側及び下側にはワイヤ列を形成している。
The
By attaching the wire 103 to the
ワイヤ103は電気伝導体であり、電源装置2からパルス電圧が供給された給電子104とワイヤ103とが接触することにより、供給されたパルス電圧が給電子104を介してワイヤ103に給電される。放電が起きることでワーク105を削り、薄板状の加工物(例えばウエハ等)を作成することができる。ワイヤ103の材質の主成分は鉄であり、ワイヤの直径は約0.12mm(断面積0.06×0.06×πmm2)程度である。
The wire 103 is an electric conductor, and the supplied pulse voltage is supplied to the wire 103 via the
給電子104は給電ユニット10に固定されている。給電ユニット10は給電子104とワイヤ103との接触圧力を調整するために上下方向に給電ユニット10全体の位置を移動することができる。
The
本発明ではワーク105が下(重力)方向に送られ、ワーク105とワイヤ103の間で放電加工がおこなわれる。なお、本明細書において、上下とは重力方向における上方向と下方向にそれぞれ対応し、左右とはワイヤ放電加工装置を正面から見た場合の左及び右にそれぞれ対応する。 In the present invention, the workpiece 105 is sent in the downward (gravity) direction, and electric discharge machining is performed between the workpiece 105 and the wire 103. In the present specification, upper and lower correspond to the upper and lower directions in the direction of gravity, and left and right correspond to the left and right when the wire electric discharge machine is viewed from the front.
ブロック5はワイヤ放電加工装置1の筐体の一部である。ブロック5は、ワーク送りユニット3と接合されている。ワーク送りユニット3がワーク105を重力方向に下降するように駆動することで、ワイヤによる放電加工を利用してワーク105を板状のワーク片106にスライス加工する。
図2を説明する。
図3乃至図5はワーク105のワイヤ列によるスライス加工が完了し、ワーク105が複数のワーク片に放電加工された後の状態を示している。
図3を説明する。
The
FIG. 2 will be described.
3 to 5 show a state after the slicing processing of the workpiece 105 by the wire row is completed and the workpiece 105 is subjected to electric discharge machining into a plurality of workpiece pieces.
FIG. 3 will be described.
図3はスライスベース300とオリフラ部の間の界面(第1の界面)を示している。このようにスライスベース300とオリフラ部とが接する界面内にはワークとスライスベース300とが通電する通電領域と、ワークを接着剤で固定する接着領域とがそれぞれ設けられている。
FIG. 3 shows an interface (first interface) between the
スライスベース300は導電性の素材(例えばアルミニウム)で保持するワークの体積に合うように直方体に加工されたものでありスライスビームともいう。このスライスベース300は図示しない放電用の直流電源回路(図示しない)とも接続されており放電加工中には加工電流が流れる。
この通電領域には通電部材としてアルミ製のシートや薄板の棒等が配置されればよい。
The
In this energization region, an aluminum sheet or a thin bar may be disposed as an energization member.
その他変形例として、第1の界面内に通電領域を設けるために、スライスベース300の平面を凸型の形状に予め加工し、導電性部材がスライスベース300の平面の一部に予め設けられていてもよく、通電領域を準備する手間が省略できる。
As another modification, in order to provide a current-carrying region in the first interface, the plane of the
さらに接着領域には非導電性で、80℃程度のお湯に浸すことで、スライスベース300から簡単に剥離できる接着剤がスライスベース300表面に塗布されればよい。
図4を説明する。
Furthermore, an adhesive that is non-conductive and can be easily peeled off from the
FIG. 4 will be described.
図4に示したように接着剤は第1の界面内において、ワークが複数のワーク片になるようにスライスを終了した場合でも、複数のワイヤ片を接着可能な領域に塗布されていればよく、つまり、複数のワーク片になるようにスライスを終了した場合でも、スライスベース300が複数のワイヤ片を保持可能な領域に接着剤が存在していればよい。
As shown in FIG. 4, the adhesive may be applied to the region where the plurality of wire pieces can be bonded even when the slicing is finished so that the work becomes a plurality of work pieces within the first interface. That is, even when slicing is completed so as to form a plurality of work pieces, it is only necessary that the adhesive exists in an area where the
このようにすることで、切り終わりの完了直前から切り終わり完了後までの間はワーク片に近づきスライスベースだけでワーク片を保持している状態になるので、硬化性の接着剤により各ワーク片を加工液の水流の影響を受けても振動しない様にできるので、各ワーク片の位置が固定された状態で切り終わり時点のワイヤ列による放電加工を完了することができ、切り終わり部分の各ワイヤ片の加工精度(幅の均一性等)が向上する。
図5を説明する。
By doing so, since the workpiece piece is held only by the slice base between immediately before the completion of cutting and after the completion of cutting, the workpiece piece is held by the curable adhesive. Can be prevented from vibrating even under the influence of the water flow of the machining fluid, so that the electrical discharge machining by the wire row at the end of cutting can be completed in a state where the position of each work piece is fixed. The processing accuracy (width uniformity, etc.) of the wire piece is improved.
FIG. 5 will be described.
図5に示したように通電領域は第1の界面内において、ワークが複数のワーク片になるようにスライスが完了するまで、ワイヤ列が放電可能な領域に設けられていればよい。そのためには通電領域は、ワイヤ列と全て交わるような領域に存在する必要があり、その1例としては、図5のように通電領域を設けることで、ワイヤ列と全て交わることができ、通電領域とワイヤ列との相対位置が、ワイヤ列が並んでいる方向に多少ずれたとしても、スライス完了まで確実にワイヤ列が通電領域に放電することができる。 As shown in FIG. 5, the energization region may be provided in the region where the wire array can be discharged in the first interface until slicing is completed so that the workpiece becomes a plurality of workpiece pieces. For this purpose, the energization region needs to exist in an area that intersects all the wire rows. For example, by providing the energization region as shown in FIG. Even if the relative position between the region and the wire row slightly deviates in the direction in which the wire rows are arranged, the wire row can be reliably discharged to the energized region until the completion of slicing.
通電領域が、ワイヤ列と全て交わるような領域に存在するためには、例えば図5に示したように、第1の界面内の通電領域及び接着領域が、ワイヤ列が走行する方向と交差する方向(並んでいる方向)にそれぞれが直線状に並ぶように第1の界面内に設けられていることが好ましい。
通電領域は導電性の材料であるアルミ等の材料から構成されるが。通電領域は通電を目的とするので導電性の他の金属材料から構成されてもよい。
In order for the current-carrying region to be present in a region that intersects all the wire rows, for example, as shown in FIG. 5, the current-carrying region and the bonding region in the first interface intersect the direction in which the wire row travels. It is preferable that the first interface is provided so as to be arranged in a straight line in the direction (the direction in which they are arranged).
The current-carrying area is made of a conductive material such as aluminum. Since the energized region is intended for energization, it may be composed of another conductive metal material.
図3に示したように通電領域は、ワーク105のスライスが完了したあとでもワイヤが放電できる箇所に配置されなければならない。この理由はワーク105のスライスが完了すると、図4に示すようにワーク105は複数のワーク片106となって、それぞれが互いに分離して互いの導通が分断しまうため、この時でも唯一通電(放電)可能な箇所はワーク片106の上側だけであるからである。
このように通電領域の役割は、放電加工が終了するまで、全てのワーク片に対して継続的に通電することである。
図6を説明する。
As shown in FIG. 3, the energized region must be disposed at a location where the wire can be discharged even after the workpiece 105 has been sliced. The reason for this is that when the slicing of the workpiece 105 is completed, the workpiece 105 becomes a plurality of workpiece pieces 106, as shown in FIG. This is because the only possible location is the upper side of the work piece 106.
Thus, the role of the energization region is to energize all work pieces continuously until the electric discharge machining is completed.
FIG. 6 will be described.
図6は本発明におけるスライスベース(導電性部材)300が、ワーク105のオリフラ部(ワーク105の上部平面)を接着剤で保持し、さらにワーク105の側部平面に取り付けたサイド板(保持部材)812でも保持することで、スライス加工前のワーク105が重力方向に落下しないように保持している保持装置の状態を示したものである。 FIG. 6 shows a side plate (holding member) in which a slice base (conductive member) 300 according to the present invention holds an orientation flat portion (an upper plane of the workpiece 105) of the workpiece 105 with an adhesive and is attached to a side plane of the workpiece 105. ) Shows the state of the holding device that holds the workpiece 105 so that the workpiece 105 before slicing does not fall in the direction of gravity.
図6に示すように加工開始時において、ワーク送りユニット3の下降動作に基づいてワイヤ103に向かってワーク105が移動を開始する。その後、ワイヤ103によってワーク105が放電加工され、図4に示す切り終わりのワイヤ位置において放電加工が終了する。 As shown in FIG. 6, at the start of machining, the workpiece 105 starts moving toward the wire 103 based on the lowering operation of the workpiece feeding unit 3. Thereafter, the workpiece 105 is subjected to electric discharge machining by the wire 103, and electric discharge machining is completed at the wire position at the end of cutting shown in FIG.
図6に示すようにスライスベース300はワイヤ列とは干渉しない位置で下降していくので、ワイヤ列によって放電加工されない箇所でワークを保持していることになる。
図7を説明する。
As shown in FIG. 6, since the
FIG. 7 will be described.
図7はサイド板812がワーク105の側部平面に接触する界面(第2の界面)を示している。このようにサイド板812が側部平面に接する界面内にはワーク105とサイド板812とが通電する通電領域と、ワークを接着剤で固定する接着領域とがそれぞれ設けられている。
サイド板812は導電性の材料であるアルミやSUS等の材料で構成することができる。
サイド板812に設けられた機能をそれぞれ説明する。
尚、サイド板812の形状は、図7に示した形状には限定されず、ワーク105をサイドから保持する面を備えた形状であればよい。
FIG. 7 shows an interface (second interface) at which the side plate 812 contacts the side plane of the workpiece 105. In this way, in the interface where the side plate 812 is in contact with the side plane, an energization region in which the workpiece 105 and the side plate 812 are energized and an adhesion region in which the workpiece is fixed with an adhesive are provided.
The side plate 812 can be made of a conductive material such as aluminum or SUS.
Functions provided in the side plate 812 will be described.
Note that the shape of the side plate 812 is not limited to the shape shown in FIG. 7, and may be any shape provided with a surface for holding the workpiece 105 from the side.
図7の例では、ワーク105とサイド板812が接触するサイド板812の表面に、深溝(凹部)が加工されており、深溝の中を接着剤で充填し、ワーク105とサイド板812を接着剤で接着させて、ワークの側面をサイド板812で強固に固定することができる。この接着剤が充填されている領域は、ワークが落下しない様に保持する接着領域として機能する。第2の界面内に接着領域を設けるために、サイド板812の表面を凹型(溝)の形状に予め加工し、接着領域がサイド板812の平面の一部に予め設けられていてもよく、接着領域を準備する手間も省略できる。 In the example of FIG. 7, a deep groove (concave portion) is processed on the surface of the side plate 812 where the workpiece 105 and the side plate 812 contact each other, the inside of the deep groove is filled with an adhesive, and the workpiece 105 and the side plate 812 are bonded. The side surface of the workpiece can be firmly fixed by the side plate 812 by bonding with an agent. The region filled with the adhesive functions as an adhesive region that holds the workpiece so as not to fall. In order to provide an adhesive region in the second interface, the surface of the side plate 812 may be processed in advance into a concave (groove) shape, and the adhesive region may be provided in advance on a part of the plane of the side plate 812, The trouble of preparing the bonding area can be omitted.
接着剤の種類は、砥粒タイプのワイヤソーで現在主流である非導電性接着剤を使用ことがこの好ましい。理由は、非導電性接着剤は常温で接着することができ、80℃以上のお湯に非導電性接着剤を浸すだけで簡単にワークから剥離することができる。しかしながら非導電性であるため、非導電性接着剤で接着された領域ではワーク105は通電することは出来ない。従って、非導電性接着剤で充填されていない、サイド板812上の領域が、ワーク105が通電できる通電領域として機能する。非導電性接着剤としてエポキシ樹脂等が利用される。 As the kind of adhesive, it is preferable to use a non-conductive adhesive that is currently mainstream in an abrasive-type wire saw. The reason is that the non-conductive adhesive can be bonded at room temperature, and can be easily peeled off from the workpiece simply by immersing the non-conductive adhesive in hot water of 80 ° C. or higher. However, since it is non-conductive, the work 105 cannot be energized in the region bonded with the non-conductive adhesive. Therefore, a region on the side plate 812 that is not filled with the non-conductive adhesive functions as a current-carrying region where the work 105 can be energized. An epoxy resin or the like is used as the non-conductive adhesive.
なお、もし導電性接着剤を用いた場合は、上記のような方法ではワーク片からサイド板812を簡単に剥離することができないため、サイド板812と接着したワーク片部分が利用できなくなる。 If a conductive adhesive is used, the side plate 812 cannot be easily peeled from the work piece by the above method, and the work piece portion bonded to the side plate 812 cannot be used.
サイド板812は、図7に示すように接着領域に塗られた非導電性接着剤でワーク105をサイドから保持することで、図4や図6に示すように放電加工中にはワイヤ103とは一切接触せずに、放電加工が終了するまでワーク105が鉛直方向に落下しないようにサイドから保持することができる。
このようにサイド板812は、放電加工時にワイヤ103に接触してしまうルート上にはないので、ワイヤ103がサイド板812を放電加工することはない。
図8は、サイド板812の断面図であり、非導電性接着剤で充填する深溝が形成されている。
As shown in FIG. 7, the side plate 812 holds the workpiece 105 from the side with a non-conductive adhesive applied to the bonding region, and as shown in FIG. 4 and FIG. Can be held from the side so that the workpiece 105 does not fall vertically until the electric discharge machining is completed.
As described above, the side plate 812 is not on the route that comes into contact with the wire 103 during electric discharge machining, so the wire 103 does not electric discharge machine the side plate 812.
FIG. 8 is a cross-sectional view of the side plate 812, in which deep grooves filled with a non-conductive adhesive are formed.
1 ワイヤ放電加工装置
2 電源装置
3 ワーク送りユニット
103 ワイヤ
104 給電子
105 ワーク
300 スライスベース
812 サイド板
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Wire
Claims (7)
前記ワークと通電する導電性部材を備え、
前記導電性部材と前記ワークの上部平面とが接する第1の界面内には前記ワークと前記導電性部材とが通電する通電領域と前記ワークを接着剤で固定する接着領域とがそれぞれ設けられており、
前記通電領域が、前記第1の界面内の、前記ワークが複数のワーク片になるようにスライスを終了するまで前記並設されたワイヤが放電可能な領域に設けられており、
前記接着領域が、前記第1の界面内の、前記ワークが複数のワーク片になるようにスライスを終了した場合でも、前記複数のワイヤ片を接着可能な領域に設けられていることを特徴とする保持装置。 A holding device that is used in electric discharge machining to slice a workpiece with wires arranged in parallel, and holds the workpiece when the workpiece is fed in the direction of gravity,
Comprising a conductive member energized with the workpiece;
In the first interface where the conductive member and the upper flat surface of the work are in contact, an energization area where the work and the conductive member are energized and an adhesion area where the work is fixed with an adhesive are provided. And
The energized region is provided in a region in the first interface where the arranged wires can be discharged until slicing is completed so that the workpiece becomes a plurality of workpiece pieces,
The bonding region is provided in a region in the first interface where the plurality of wire pieces can be bonded even when slicing is completed so that the workpiece becomes a plurality of workpiece pieces. Holding device.
前記保持部材と前記ワークの側部平面とが接する第2の界面内には前記ワークと前記保持部材とが通電する通電領域と前記ワークを接着剤で固定する接着領域とがそれぞれ設けられていること特徴とする請求項1に記載の保持装置。 In a place where the electric discharge machining is not performed by the wires arranged side by side, the holding member holding the workpiece is further provided
In the second interface where the holding member and the side plane of the workpiece are in contact with each other, an energization region for energizing the workpiece and the holding member and an adhesion region for fixing the workpiece with an adhesive are provided. The holding device according to claim 1.
前記ワークと通電する導電部を備え、
前記導電部と前記ワークの上部平面とが接する第1の界面内には前記ワークと前記導電性部材とが通電する通電領域と前記ワークを接着剤で固定する接着領域とがそれぞれ設けられており、
前記通電領域が、前記第1の界面内の、前記ワークが複数のワーク片になるようにスライスを終了するまで前記並設されたワイヤが放電可能な領域に設けられており、
前記接着領域が、前記第1の界面内の、前記ワークが複数のワーク片になるようにスライスを終了した場合でも、前記複数のワイヤ片を接着可能な領域に設けられていることを特徴とするワイヤ放電加工装置。 A wire electrical discharge machining device that slices a plurality of workpiece pieces by feeding the workpiece in the direction of gravity and performing electrical discharge machining of the workpiece with wires arranged in parallel,
Comprising a conductive portion for energizing the workpiece;
In the first interface where the conductive portion and the upper flat surface of the work are in contact, an energization area where the work and the conductive member are energized and an adhesion area where the work is fixed with an adhesive are provided. ,
The energized region is provided in a region in the first interface where the arranged wires can be discharged until slicing is completed so that the workpiece becomes a plurality of workpiece pieces,
The bonding region is provided in a region in the first interface where the plurality of wire pieces can be bonded even when slicing is completed so that the workpiece becomes a plurality of workpiece pieces. Wire electrical discharge machining equipment.
前記保持部と前記ワークの側部平面とが接する第2の界面内には前記ワークと前記保持部材とが通電する通電領域と前記ワークを接着剤で固定する接着領域とがそれぞれ設けられていること特徴とする請求項6に記載のワイヤ放電加工装置。 In a place where electric discharge machining is not performed by the wires arranged side by side, the holding unit holding the workpiece is further provided,
In the second interface where the holding portion and the side plane of the workpiece are in contact with each other, an energization region for energizing the workpiece and the holding member and an adhesion region for fixing the workpiece with an adhesive are provided. The wire electric discharge machining apparatus according to claim 6.
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- 2015-06-23 JP JP2015125984A patent/JP2017007048A/en active Pending
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