JP2017005222A - Pickup device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、電子部品をシートからピックアップする手法に関する。 The present invention relates to a technique for picking up an electronic component from a sheet.
電子部品を使用する製品の製造工程においては、一般的に電子部品はシートに貼り付けられた状態で供給され、電子部品をピックアップする装置によりシートから剥がして使用される。一般的な装置は、電子部品を吸着ノズルにより吸着しつつ、シートの裏側から突上げピンで電子部品を突上げてシートから剥がし、吸着ノズルにより吸着した状態で電子部品を作業位置に搬送する。 In the manufacturing process of products that use electronic components, the electronic components are generally supplied in a state of being affixed to a sheet, and are used by being peeled off from the sheet by a device that picks up the electronic component. A general apparatus picks up an electronic component from the back side of the sheet with a push-up pin, peels the electronic component from the sheet, and conveys the electronic component to a work position while being sucked by the suction nozzle.
特許文献１には、ウェハシートから電子部品をピックアップする突上げ装置の一例が記載されている。 Patent Document 1 describes an example of a push-up device that picks up an electronic component from a wafer sheet.
上記のような装置により、シートに貼り付けられた電子部品を突上げピンで下から上へ突上げ、シートを破って素子をピックアップすると、シートを破ったピン先に残る粘着剤やシートの一部などが電子部品の裏面に付着し、残ってしまうという問題がある。 By using the above-mentioned device, the electronic component attached to the sheet is pushed up from the bottom with the push-up pin, and when the element is picked up by breaking the sheet, one of the adhesive and the sheet remaining at the tip of the pin where the sheet is broken. There is a problem that a part or the like adheres to the back surface of the electronic component and remains.
本発明の解決しようとする課題としては、上記のものが一例として挙げられる。本発明は、電子部品の裏面に粘着剤などが残らないように、シートから電子部品をピックアップすることを目的とする。 Examples of the problem to be solved by the present invention include the above. An object of the present invention is to pick up an electronic component from a sheet so that an adhesive or the like does not remain on the back surface of the electronic component.
請求項１に記載の発明は、ピックアップ装置であって、素子が貼り付けられたシートが載置され、開口を有する第１ステージと、前記開口の内部に設けられ、前記素子よりも小さい載置面を有し、前記シートの下側から前記素子を支持する第２ステージと、前記シートに対して圧力を与える圧力付与手段と、前記シートに対して圧力が与えられた状態で、前記素子を吸着してピックアップする吸着ノズルと、を備えることを特徴とする。 The invention according to claim 1 is a pickup device, wherein a sheet on which an element is affixed is placed, a first stage having an opening, and a placement smaller than the element is provided inside the opening. A second stage that has a surface and supports the element from the lower side of the sheet, a pressure applying unit that applies pressure to the sheet, and the element in a state where pressure is applied to the sheet. A suction nozzle that picks up and picks up.
本発明の好適な実施形態では、ピックアップ装置は、素子が貼り付けられたシートが載置され、開口を有する第１ステージと、前記開口の内部に設けられ、前記素子よりも小さい載置面を有し、前記シートの下側から前記素子を支持する第２ステージと、前記シートに対して圧力を与える圧力付与手段と、前記シートに対して圧力が与えられた状態で、前記素子を吸着してピックアップする吸着ノズルと、を備える。 In a preferred embodiment of the present invention, the pickup device includes a first stage on which a sheet on which an element is affixed is mounted, an opening, and a mounting surface that is provided inside the opening and is smaller than the element. A second stage for supporting the element from the lower side of the sheet; pressure applying means for applying pressure to the sheet; and adsorbing the element in a state in which pressure is applied to the sheet. And a suction nozzle for picking up.
上記のピックアップ装置においては、開口上に素子が位置するようにシートが第１ステージ上に配置され、素子はシートの下側から第２ステージにより支持される。第２ステージの載置面は素子よりも小さいので、素子はその一部が第２ステージにより支持され、それ以外の領域では支持されていない状態となる。そして、シートに対して圧力を加え、吸着ノズルにより素子をピックアップする。 In the above pickup apparatus, the sheet is disposed on the first stage so that the element is positioned on the opening, and the element is supported by the second stage from the lower side of the sheet. Since the mounting surface of the second stage is smaller than the element, a part of the element is supported by the second stage and is not supported in other areas. Then, pressure is applied to the sheet, and the element is picked up by the suction nozzle.
上記のピックアップ装置の一態様では、前記圧力付与手段は、前記シートに対して圧力を与えることにより、当該シートを前記開口側へ引き剥がし、前記吸着ノズルは、前記素子が前記シートから部分的に剥がされた状態で、前記素子を吸着してピックアップする。この態様では、シートに対して与えられた圧力によりシートが素子から部分的に引き剥がされる。素子から剥がされたシートは、第１ステージと第２ステージの開口方向に伸び、再度、素子に貼り付くことが無い。この状態で、吸着ノズルが素子を吸引してピックアップする。シートに強い圧力を加え、第２ステージにより支持された領域以外の領域でシートを素子から剥がしてから吸着するので、素子が剥がしやすくなり、さらにシートから剥がされた素子に粘着剤などが残ることを防止することができる。なお、仮にシートの一部が剥がれないような条件下でも、シートを強い力で吸着するので、素子が剥がしやすくなる。 In one aspect of the pickup apparatus, the pressure applying unit applies pressure to the sheet to peel the sheet toward the opening, and the suction nozzle is configured such that the element is partially separated from the sheet. In the peeled state, the element is adsorbed and picked up. In this embodiment, the sheet is partially peeled from the element by the pressure applied to the sheet. The sheet peeled from the element extends in the opening direction of the first stage and the second stage, and does not adhere to the element again. In this state, the suction nozzle sucks and picks up the element. Since the sheet is peeled off from the element in a region other than the region supported by the second stage by applying strong pressure to the sheet, the element is easily peeled off, and an adhesive or the like remains on the element removed from the sheet. Can be prevented. Even if the sheet is not partly peeled off, the element is easily peeled off because the sheet is adsorbed with a strong force.
上記のピックアップ装置の他の一態様では、前記開口は、前記素子よりも大きい。これにより、素子の外周側からシートを剥がしていくことができる。 In another aspect of the pickup device, the opening is larger than the element. Thereby, a sheet | seat can be peeled from the outer peripheral side of an element.
上記のピックアップ装置の他の一態様では、前記第１ステージの開口内には貫通孔が設けられており、前記圧力付与手段は、前記貫通孔を通じて前記開口の内部の空気を吸引する排気装置である。この態様では、シートの開口内に位置する部分に吸引力を与えることにより、シートを素子から剥がしていく。 In another aspect of the pickup device, a through hole is provided in the opening of the first stage, and the pressure applying unit is an exhaust device that sucks air in the opening through the through hole. is there. In this aspect, the sheet is peeled from the element by applying a suction force to a portion located in the opening of the sheet.
好適な例では、前記貫通孔は前記開口の外周付近に設けられており、前記圧力付与手段は、前記素子の端部側から前記シートを引き剥がす。 In a preferred example, the through hole is provided in the vicinity of the outer periphery of the opening, and the pressure applying means peels the sheet from the end side of the element.
上記のピックアップ装置の他の一態様では、前記圧力付与手段は、前記シートの上方から当該シートに対して空気圧を与える装置である。この態様では、シートの上方からエアブローなどにより空気圧を与えて、シートを素子から剥がしていく。 In another aspect of the above-described pickup device, the pressure applying unit applies air pressure to the sheet from above the sheet. In this aspect, air pressure is applied from above the sheet by air blow or the like to peel the sheet from the element.
上記のピックアップ装置の他の一態様では、前記圧力付与手段は、前記シートの上方から、当該シートを部分的に前記開口側へ押し出す押圧力を与える機構である。この態様では、シートに当接する物体により押圧力を与えてシートを素子から剥がしていく。 In another aspect of the pickup apparatus, the pressure applying unit is a mechanism that applies a pressing force that partially pushes the sheet to the opening side from above the sheet. In this aspect, the sheet is peeled off from the element by applying a pressing force by the object that contacts the sheet.
上記のピックアップ装置の他の一態様では、前記開口の外周縁は鈍角の断面形状を有する。この態様では、開口の外周縁に当接するシートの部分が変形することを防止できる。 In another mode of the above pickup device, the outer peripheral edge of the opening has an obtuse cross-sectional shape. In this aspect, it is possible to prevent the portion of the sheet that contacts the outer peripheral edge of the opening from being deformed.
好適な例では、ピックアップ装置には複数の第２ステージが設けられている。第２ステージを複数個設けることにより、個々の第２ステージの面積が小さくても、素子を安定的に支持することができる。 In a preferred example, the pickup device is provided with a plurality of second stages. By providing a plurality of second stages, the element can be stably supported even if the area of each second stage is small.
上記のピックアップ装置の他の一態様では、前記第２ステージには突上げピンが通過する穴が設けられており、前記穴を通じて、前記素子を押し上げるように前記突上げピンを上下移動させる突上げ機構を備える。この態様では、突上げ機構により、素子からのシートの剥離を促進することができる。 In another aspect of the above pickup device, the second stage is provided with a hole through which a push-up pin passes, and the push-up pin moves up and down to push up the element through the hole. Provide mechanism. In this aspect, peeling of the sheet from the element can be promoted by the push-up mechanism.
以下、図面を参照して本発明の好適な実施例について説明する。 Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
［第１実施例］
図１は、第１実施例に係るピックアップ装置の概略構成を示す断面図である。ピックアップ装置１は、ダイシングシート（以下、単に「シート」と呼ぶ。）２０上に多数配列された電子部品又は電子素子（以下、単に「素子」と呼ぶ。）２５を１つずつピックアップし、所定の場所へ移動する。なお、図１において、シート２０の外周部にはウエハリング２１が設けられている。
[First embodiment]
FIG. 1 is a cross-sectional view illustrating a schematic configuration of the pickup device according to the first embodiment. The pickup apparatus 1 picks up one by one electronic components or electronic elements (hereinafter simply referred to as “elements”) 25 arranged on a dicing sheet (hereinafter simply referred to as “sheets”) 20, Move to the location. In FIG. 1, a wafer ring 21 is provided on the outer periphery of the sheet 20.
ピックアップ装置１は、筐体（本体）２と、排気装置４と、吸着ノズル５と、吸着テーブル１０とを備える。筐体２は、円筒形状であり、シート２０を載置するための土台となる。筐体２の上部には円板状の吸着テーブル１０が設けられており、シート２０は吸着テーブル１０の上に配置される。 The pickup device 1 includes a housing (main body) 2, an exhaust device 4, a suction nozzle 5, and a suction table 10. The housing 2 has a cylindrical shape and serves as a base on which the sheet 20 is placed. A disk-shaped suction table 10 is provided on the upper portion of the housing 2, and the sheet 20 is disposed on the suction table 10.
筐体２の内部には、筐体２の内壁と吸着テーブル１０によりチャンバー（空間）３が形成されている。また、筐体２の側壁には、排気装置４が取り付けられている。排気装置４は、チャンバー３内の空気を外部へ排出することにより、チャンバー３の内部を減圧する。詳細は後述するが、吸着テーブル１０には、チャンバー３に通じた複数の貫通孔が設けられており、排気装置４を駆動してチャンバー３内部の空気を外部へ排気することにより吸引力を発生させてシート２０を吸着テーブル１０へ吸着する。 Inside the housing 2, a chamber (space) 3 is formed by the inner wall of the housing 2 and the suction table 10. An exhaust device 4 is attached to the side wall of the housing 2. The exhaust device 4 decompresses the inside of the chamber 3 by discharging the air in the chamber 3 to the outside. As will be described in detail later, the suction table 10 is provided with a plurality of through holes communicating with the chamber 3, and the suction device 10 generates suction force by driving the exhaust device 4 to exhaust the air inside the chamber 3 to the outside. The sheet 20 is sucked onto the suction table 10.
吸着ノズル５は、上下に移動し、シート２０上の素子２５をピックアップする。具体的には、対象となる素子２５が直下に位置する状態で吸着ノズル５が下降し、素子２５を吸着する。その後、吸着ノズル５は上昇し、水平移動して素子２５を所定の場所まで搬送した後、吸引を停止することにより素子２５を開放し、所定の場所に配置する。 The suction nozzle 5 moves up and down to pick up the element 25 on the sheet 20. Specifically, the suction nozzle 5 is lowered while the target element 25 is located immediately below, and the element 25 is sucked. Thereafter, the suction nozzle 5 moves up and moves horizontally to convey the element 25 to a predetermined location, and then stops the suction to release the element 25 and arrange it at the predetermined location.
シート２０は、図示しない水平移動機構により水平方向に移動する。これにより、シート２０に貼り付けられた素子２５が１つずつ順に吸着テーブル１０の中央のピックアップ位置へ移動する。即ち、吸着ノズル５が１つの素子２５をピックアップすると、シート２０が水平移動して次の素子２５がピックアップ位置へ移動し、吸着ノズル５は次の素子２５をピックアップする。これを繰り返すことにより、シート２０上の複数の素子２５が順に所定の場所へ移動される。 The sheet 20 moves in the horizontal direction by a horizontal movement mechanism (not shown). As a result, the elements 25 attached to the sheet 20 are sequentially moved to the pickup position at the center of the suction table 10 one by one. That is, when the suction nozzle 5 picks up one element 25, the sheet 20 moves horizontally, the next element 25 moves to the pickup position, and the suction nozzle 5 picks up the next element 25. By repeating this, the plurality of elements 25 on the sheet 20 are sequentially moved to a predetermined location.
図２（Ａ）は、吸着テーブル１０の周辺を図１における上方から見た状態を模式的に示す。なお、図２（Ａ）では図示の便宜上、シート２０を省略している。図２（Ａ）に示すように、吸着テーブル１０上には複数の素子２５が配置されている。 FIG. 2A schematically shows the periphery of the suction table 10 as viewed from above in FIG. In FIG. 2A, the sheet 20 is omitted for convenience of illustration. As shown in FIG. 2A, a plurality of elements 25 are arranged on the suction table 10.
図２（Ｂ）は、図２（Ａ）においてシート２０が載置されていない状態、即ち、素子２５が存在しない状態の吸着テーブル１０の平面図である。破線４０に示すように、吸着テーブル１０の中央のピックアップ位置には、吸着ノズル５により素子２５をピックアップするための部分（構造）１１が設けられている。この部分１１を、以下「ピックアップ部」と呼ぶ。吸着ノズル５は、ピックアップ部１１において上方から下降し、シート２０上の素子２５を吸着する。吸着テーブル１０において、ピックアップ部１１よりも外側の部分を「周辺部１５」と呼ぶ。 FIG. 2B is a plan view of the suction table 10 in the state where the sheet 20 is not placed in FIG. 2A, that is, in the state where the element 25 is not present. As indicated by a broken line 40, a portion (structure) 11 for picking up the element 25 by the suction nozzle 5 is provided at the central pickup position of the suction table 10. This portion 11 is hereinafter referred to as a “pickup portion”. The suction nozzle 5 descends from above in the pickup unit 11 and sucks the element 25 on the sheet 20. In the suction table 10, a portion outside the pickup unit 11 is referred to as “peripheral portion 15”.
次に、吸着テーブル１０のピックアップ部１１の構造を説明する。図３（Ａ）は、ピックアップ部１１の斜視図である。なお、図３（Ａ）は、図２（Ｂ）における破線４０の内部を拡大したものである。 Next, the structure of the pickup unit 11 of the suction table 10 will be described. FIG. 3A is a perspective view of the pickup unit 11. Note that FIG. 3A is an enlarged view of the inside of the broken line 40 in FIG.
図示のように、ピックアップ部１１には矩形の開口（凹部）１２が形成されている。開口１２の底面は、開口１２より外側の部分である周辺部１５よりも下方に窪んだ状態となっている。一方、吸着テーブル１０において、開口１２より外側の領域である周辺部１５は、均一な高さの平面となっている。 As shown in the drawing, a rectangular opening (concave portion) 12 is formed in the pickup portion 11. The bottom surface of the opening 12 is recessed below the peripheral portion 15 which is a portion outside the opening 12. On the other hand, in the suction table 10, the peripheral portion 15 that is an area outside the opening 12 is a flat surface having a uniform height.
開口１２の中央付近には、島状の支持部１３が設けられている。支持部１３は、シート２０及びその上に貼り付けられた素子２５を下方から支持する役割を有する。支持部１３の上面の高さは、周辺部１５の高さと一致している。また、開口１２の底面には、複数の貫通孔１４が形成されている。 In the vicinity of the center of the opening 12, an island-shaped support portion 13 is provided. The support part 13 has a role which supports the sheet | seat 20 and the element 25 affixed on it from the downward direction. The height of the upper surface of the support portion 13 coincides with the height of the peripheral portion 15. A plurality of through holes 14 are formed on the bottom surface of the opening 12.
図３（Ｂ）は、ピックアップ部１１における素子２５の位置を破線で示している。図示のように、支持部１３の上面は、素子２５の面積よりも小さい。また、開口１２は、素子２５の面積よりも大きい。これにより、素子２５は、支持部１３上により支持された状態で、開口１２の内側に収まる。なお、支持部１３は素子２５よりも小さいため、素子２５の中央付近は支持部１３により支持されているが、素子２５の外周付近は支持部１３により支持されていない状態となる。 FIG. 3B shows the position of the element 25 in the pickup unit 11 with a broken line. As illustrated, the upper surface of the support portion 13 is smaller than the area of the element 25. The opening 12 is larger than the area of the element 25. Thereby, the element 25 is accommodated inside the opening 12 while being supported on the support portion 13. Since the support portion 13 is smaller than the element 25, the vicinity of the center of the element 25 is supported by the support portion 13, but the vicinity of the outer periphery of the element 25 is not supported by the support portion 13.
図３（Ｃ）は、図３（Ｂ）におけるＡ−Ａ’断面図であり、吸着テーブル１０上にシート２０が配置された状態を示している。シート２０を吸着テーブル１０に載置した状態で、シート２０の下面は、周辺部１５及び支持部１３に当接して支持される。より詳しくは、開口１２の内側においてはシート２０の下面は支持部１３の上面のみと当接し、それ以外の領域ではシート２０の下方に開口１２の深さだけ空間ができる。 3C is a cross-sectional view taken along the line A-A ′ in FIG. 3B, and shows a state where the sheet 20 is disposed on the suction table 10. In a state where the sheet 20 is placed on the suction table 10, the lower surface of the sheet 20 is supported in contact with the peripheral portion 15 and the support portion 13. More specifically, the lower surface of the sheet 20 is in contact with only the upper surface of the support portion 13 inside the opening 12, and a space is formed below the sheet 20 by the depth of the opening 12 in other regions.
開口１２の底面には、複数の貫通孔１４が形成されている。貫通孔１４は、吸着テーブル１０を貫通し、図１に示すチャンバー３と通じている。よって、排気装置４を駆動すると、シート２０と開口１２との間の空間内にある空気が貫通孔１４を通じてチャンバー３へ排出される。これにより、開口１２内では、シート２０を下方へ引っ張る吸引力が生じる。詳細は後述するが、この吸引力によりシート２０が素子２５の下面から部分的に引き剥がされる。 A plurality of through holes 14 are formed on the bottom surface of the opening 12. The through hole 14 penetrates the suction table 10 and communicates with the chamber 3 shown in FIG. Therefore, when the exhaust device 4 is driven, air in the space between the sheet 20 and the opening 12 is exhausted to the chamber 3 through the through hole 14. Thereby, in the opening 12, the attraction | suction force which pulls the sheet | seat 20 below arises. Although details will be described later, the sheet 20 is partially peeled from the lower surface of the element 25 by this suction force.
なお、上記の構成において、吸着テーブル１０の周辺部１５は本発明の第１ステージに相当し、支持部１３は本発明の第２ステージに相当する。また、排気装置４、チャンバー３、貫通孔１４は本発明の圧力付与手段に相当する。 In the above configuration, the peripheral portion 15 of the suction table 10 corresponds to the first stage of the present invention, and the support portion 13 corresponds to the second stage of the present invention. The exhaust device 4, the chamber 3, and the through hole 14 correspond to the pressure applying means of the present invention.
次に、ピックアップ装置１の動作について説明する。図４は、ピックアップ装置１により１つの素子２５をピックアップする工程を示す。なお、前提として、吸着テーブル１０上にシート２０が配置され、ピックアップの対象となる素子２５が吸着テーブル１０のピックアップ部１１上に配置されているものとする。 Next, the operation of the pickup device 1 will be described. FIG. 4 shows a process of picking up one element 25 by the pickup device 1. It is assumed that the sheet 20 is arranged on the suction table 10 and the element 25 to be picked up is arranged on the pickup unit 11 of the suction table 10 as a premise.
まず、工程１において、矢印５１に示すように吸着ノズル５が下降し、対象となる素子２５の上面を吸着する。 First, in step 1, the suction nozzle 5 is lowered as indicated by an arrow 51 to suck the upper surface of the target element 25.
次に、工程２において、排気装置４が動作して吸着テーブル１０の下方のチャンバー３が減圧され、矢印５２に示すように開口１２内の空気が貫通孔１４を通じてチャンバー３へ排出される。これにより、素子２５の周辺部分においてシート２０には矢印５３に示す吸引力が与えられる。 Next, in step 2, the exhaust device 4 operates to depressurize the chamber 3 below the suction table 10, and the air in the opening 12 is discharged to the chamber 3 through the through hole 14 as indicated by the arrow 52. Thereby, the suction force indicated by the arrow 53 is applied to the sheet 20 in the peripheral portion of the element 25.
こうして、工程３に示すように、シート２０は開口１２内で矢印５４に示すように下方へ引っ張られ、素子２５の下面から引き剥がされていく。ここで、図３（Ｂ）を参照して説明したように、支持部１３は素子２５より小さいので、シート２０は素子２５の外周側から徐々に引き剥がされていく。そして、工程Ｎに示すように、シート２０は支持部１３により支持されている領域のみを残して、素子２５の下面から剥がされる。なお、この状態では、矢印５４で示す引っ張り力は、シート２０の支持部１３により支持された領域においてほぼ水平方向となる。 Thus, as shown in step 3, the sheet 20 is pulled downward in the opening 12 as indicated by an arrow 54 and is peeled off from the lower surface of the element 25. Here, as described with reference to FIG. 3B, since the support portion 13 is smaller than the element 25, the sheet 20 is gradually peeled off from the outer peripheral side of the element 25. Then, as shown in Step N, the sheet 20 is peeled off from the lower surface of the element 25, leaving only the region supported by the support portion 13. In this state, the pulling force indicated by the arrow 54 is substantially horizontal in the region supported by the support portion 13 of the sheet 20.
こうして、支持部１３に当接する領域を除いてシート２０が素子２５の下面から剥がされると、工程Ｘ〜工程Ｙにおいて、矢印５１に示すように吸着ノズル５が上昇し、素子２５をシート２０から剥がしてピックアップする。この際、工程Ｎに示すように、素子２５は支持部１３に当接する領域以外においては既にシート２０から剥がれているため、吸着ノズル５の吸着力がそれほど大きくなくても、容易に素子２５をピックアップすることができる。なお、工程Ｙにおいては、吸着ノズル５が素子２５をピックアップした後、排気装置４が停止される。 Thus, when the sheet 20 is peeled off from the lower surface of the element 25 except for the region in contact with the support portion 13, the suction nozzle 5 is raised as indicated by the arrow 51 in the steps X to Y, and the element 25 is moved from the sheet 20. Remove and pick up. At this time, as shown in Step N, since the element 25 has already been peeled off from the sheet 20 in a region other than the region in contact with the support portion 13, the element 25 can be easily removed even if the suction force of the suction nozzle 5 is not so great. Can be picked up. In Step Y, after the suction nozzle 5 picks up the element 25, the exhaust device 4 is stopped.
このように、第１実施例のピックアップ装置１では、排気装置４により生じる吸引力により、支持部１３に当接する領域以外の領域でシート２０を素子２５の下面から引き剥がすことができるので、吸着ノズル５の吸着力が小さくても、容易に素子２５をシート２０からピックアップすることができる。また、吸着ノズル５の上昇により、支持部１３の領域において素子２５の下面をシート２０から剥がすことができるので、粘着剤などが素子２５の下面に付着したまま素子２５をピックアップすることを防止することができる。 Thus, in the pickup device 1 of the first embodiment, the suction force generated by the exhaust device 4 can peel the sheet 20 from the lower surface of the element 25 in a region other than the region in contact with the support portion 13. Even if the suction force of the nozzle 5 is small, the element 25 can be easily picked up from the sheet 20. Further, since the lower surface of the element 25 can be peeled off from the sheet 20 in the region of the support portion 13 by raising the suction nozzle 5, it is possible to prevent the element 25 from being picked up while an adhesive or the like is attached to the lower surface of the element 25. be able to.
次に、支持部１３の大きさ（上面の面積）について検討する。上述のように、排気装置４により生じる吸引力により、支持部１３に当接する領域以外の領域でシート２０は素子２５の下面から剥がされるので、支持部１３の上面の面積を小さくした方が、吸着ノズル５によるピックアップ前に、シート２０のより多くの領域を素子２５から剥がしておくことができる。その一方で、支持部１３はシート２０及びその上の素子２５を支持する役割を有するので、その面積を小さくしすぎると、支持部１３による素子２５の支持が不安定となり、吸着ノズル５による吸着動作に支障が生じる可能性がある。従って、支持部１３の面積は、吸着ノズル５による吸着動作時に必要となる安定性が確保できる範囲内で、できるだけ小さくすることが好ましい。 Next, the size (the area of the upper surface) of the support portion 13 will be examined. As described above, because the sheet 20 is peeled off from the lower surface of the element 25 in a region other than the region in contact with the support portion 13 by the suction force generated by the exhaust device 4, it is preferable to reduce the area of the upper surface of the support portion 13. More areas of the sheet 20 can be peeled off from the element 25 before being picked up by the suction nozzle 5. On the other hand, since the support portion 13 has a role of supporting the sheet 20 and the element 25 thereon, if the area is made too small, the support of the element 25 by the support portion 13 becomes unstable, and suction by the suction nozzle 5 is performed. Operation may be hindered. Therefore, it is preferable that the area of the support portion 13 be as small as possible within a range in which the stability required during the suction operation by the suction nozzle 5 can be secured.
次に、貫通孔１４について検討する。貫通孔１４は、基本的に開口１２内に均等な間隔で複数個設けることが好ましい。シート２０を素子２５の下面から引き剥がすのに必要な吸引力が得られるように、貫通孔１４の個数及び位置、各貫通孔１４の大きさなどが調整される。また、上述のようにシート２０を素子２５の外周側から徐々に剥がしていくためには、貫通孔１４を素子２５の外周に対応する位置、即ち、開口１２における外周付近に形成することが好ましい。 Next, the through hole 14 will be examined. It is preferable to provide a plurality of through holes 14 at equal intervals in the opening 12 basically. The number and position of the through holes 14 and the size of each through hole 14 are adjusted so that a suction force required to peel the sheet 20 from the lower surface of the element 25 can be obtained. In order to gradually peel the sheet 20 from the outer peripheral side of the element 25 as described above, it is preferable to form the through hole 14 at a position corresponding to the outer periphery of the element 25, that is, near the outer periphery of the opening 12. .
なお、上記の実施例においては、開口１２の大きさを素子２５よりも大きくしている。具体的には、図３（Ｂ）に示すように、開口１２の縦横の長さが矩形の素子２５の縦横の長さより長く、素子２５の外周が開口１２の内側に収まるような大きさとなっている。その代わりに、縦横のいずれか一方のみにおいて開口１２の大きさが素子２５よりも大きくなるようにしてもよい。図５はこの場合の例を示す。矩形の素子２５ａは、図中の縦方向の長さは開口１２より短いが、横方向の長さは開口１２よりも長く、横方向では開口１２の外部にはみ出している。この場合、排気装置４による吸引力を与えても、素子２５の左右の端部においてシート２０を素子２５から剥がすことはできないが、上下の端部においてはシート２０を素子２５から剥がすことができる。また、素子２５の横方向においても、周辺部１５上の領域ではシート２０を素子２５から剥がすことはできないが、それより内側の領域、即ち開口１２内の領域では、吸引力によりシート２０の粘着力を低下させることはできる。従って、必ずしも素子２５全体が開口１２の内側に収まるような大小関係でなくても、排気装置４の吸引力によりシート２０を素子２５から引き剥がす効果を得ることができる。 In the above embodiment, the size of the opening 12 is larger than that of the element 25. Specifically, as shown in FIG. 3B, the vertical and horizontal lengths of the opening 12 are longer than the vertical and horizontal lengths of the rectangular element 25, and the outer periphery of the element 25 is sized to fit inside the opening 12. ing. Instead, the size of the opening 12 may be larger than the element 25 in only one of the vertical and horizontal directions. FIG. 5 shows an example of this case. The rectangular element 25a has a length in the vertical direction in the drawing shorter than that of the opening 12, but a length in the horizontal direction is longer than that of the opening 12, and protrudes outside the opening 12 in the horizontal direction. In this case, the sheet 20 cannot be peeled off from the element 25 at the left and right ends of the element 25 even if the suction force is applied by the exhaust device 4, but the sheet 20 can be peeled off from the element 25 at the upper and lower ends. . Also, in the lateral direction of the element 25, the sheet 20 cannot be peeled off from the element 25 in the region on the peripheral portion 15, but in the inner region, that is, in the region within the opening 12, the sheet 20 is adhered by suction force. You can reduce power. Therefore, the effect of peeling the sheet 20 from the element 25 by the suction force of the exhaust device 4 can be obtained even if the size of the element 25 is not necessarily within the opening 12.
［第２実施例］
次に、本発明の第２実施例について説明する。第２実施例は、第１実施例に加えて、突上げピン７を利用する点に特徴を有する。
[Second Embodiment]
Next, a second embodiment of the present invention will be described. The second embodiment is characterized in that a push-up pin 7 is used in addition to the first embodiment.
図６（Ａ）は、第２実施例に係るピックアップ装置１ａの構成を示す断面図である。第２実施例のピックアップ装置１ａは、第１実施例のピックアップ装置１に加えて、筐体２内部に突上げピン７が配置されている。突上げピン７は、図示しない機構により、矢印５７に示すように上下移動する。 FIG. 6A is a cross-sectional view showing the configuration of the pickup apparatus 1a according to the second embodiment. In the pickup device 1a of the second embodiment, a push-up pin 7 is arranged inside the housing 2 in addition to the pickup device 1 of the first embodiment. The push-up pin 7 moves up and down as shown by an arrow 57 by a mechanism (not shown).
図６（Ａ）は、ピックアップ装置１ａの吸着テーブル１０ａのピックアップ部１１ａの斜視図である。図３（Ａ）と比較するとわかるように、第２実施例のピックアップ部１１ａにおいては、支持部１３の略中央に貫通孔１３ａが形成されている。貫通孔１３ａは、吸着テーブル１１ａを貫通し、筐体２の内部のチャンバー３に通じている。突上げピン７は、この貫通孔１３ａの下方に位置している。素子２５をシート２０からピックアップするときには、突上げピン７が上昇し、貫通孔１３ａを通過してシート２５の下面を上方に押し上げる。これにより、素子２５が持ち上げられ、シート２０から剥がれやすくなる。即ち、突上げピン７の上昇は、素子２５からのシート２０の剥離を促進する。なお、これ以外の点は、第２実施例のピックアップ装置１ａは第１実施例のピックアップ装置１と同様である。 FIG. 6A is a perspective view of the pickup portion 11a of the suction table 10a of the pickup device 1a. As can be seen from comparison with FIG. 3A, in the pickup portion 11 a of the second embodiment, a through hole 13 a is formed at the approximate center of the support portion 13. The through hole 13 a penetrates the suction table 11 a and communicates with the chamber 3 inside the housing 2. The push-up pin 7 is located below the through hole 13a. When the element 25 is picked up from the sheet 20, the push-up pin 7 rises and passes through the through hole 13 a to push the lower surface of the sheet 25 upward. As a result, the element 25 is lifted and easily peeled off from the sheet 20. That is, the rising of the push-up pin 7 promotes the peeling of the sheet 20 from the element 25. In other respects, the pickup device 1a of the second embodiment is the same as the pickup device 1 of the first embodiment.
図７は、ピックアップ装置１ａにより１つの素子２５をピックアップする工程を示す。なお、前提として、吸着テーブル１０ａ上にシート２０が配置され、ピックアップの対象となる素子２５が吸着テーブル１０ａのピックアップ部１１ａに配置されているものとする。 FIG. 7 shows a process of picking up one element 25 by the pickup device 1a. As a premise, it is assumed that the sheet 20 is arranged on the suction table 10a and the element 25 to be picked up is arranged in the pickup section 11a of the suction table 10a.
まず、工程１において、矢印５１に示すように吸着ノズル５が下降し、対象となる素子２５の上面を吸着する。 First, in step 1, the suction nozzle 5 is lowered as indicated by an arrow 51 to suck the upper surface of the target element 25.
次に、工程２において、排気装置４が動作し、矢印５２に示すように開口１２内の空気が貫通孔１４を通じてチャンバー３へ排出され、素子２５の周辺部分においてシート２０には吸引力が与えられる。また、突上げピン７が上昇し、シート２０の下面に当接する。 Next, in step 2, the exhaust device 4 operates, and the air in the opening 12 is discharged to the chamber 3 through the through-hole 14 as indicated by an arrow 52, and a suction force is applied to the sheet 20 in the peripheral portion of the element 25. It is done. Further, the push-up pin 7 rises and comes into contact with the lower surface of the seat 20.
工程３において、シート２０は開口１２内で下方へ引っ張られ、素子２５の下面から引き剥がされていく。これに加えて、突上げピン７が上昇してシート２０の下面を持ち上げることにより、シート２０の剥離が促進される。 In step 3, the sheet 20 is pulled downward in the opening 12 and is peeled off from the lower surface of the element 25. In addition to this, the push-up pin 7 rises to lift the lower surface of the sheet 20, thereby promoting the peeling of the sheet 20.
こうして、支持部１３の領域を除いてシート２０が素子２５の下面から剥がされると、工程Ｘ〜工程Ｙにおいて、矢印５１に示すように吸着ノズル５が上昇し、吸着ノズル５が素子２５をシート２０から剥がしてピックアップする。工程Ｙにおいて、吸着ノズル５が素子２５をピックアップした後、排気装置４は停止される。 Thus, when the sheet 20 is peeled from the lower surface of the element 25 except for the region of the support portion 13, the suction nozzle 5 rises as indicated by the arrow 51 in the steps X to Y, and the suction nozzle 5 places the element 25 on the sheet. Remove from 20 and pick up. In step Y, after the suction nozzle 5 picks up the element 25, the exhaust device 4 is stopped.
以上のように、第２実施例では、突上げピン７でシート２０を上方に持ち上げることにより、素子２５からのシート２０の剥離を促進する。よって、ピックアップされた素子２５に粘着剤などが残ることを防止することができる。 As described above, in the second embodiment, peeling of the sheet 20 from the element 25 is promoted by lifting the sheet 20 upward with the push-up pins 7. Therefore, it is possible to prevent an adhesive or the like from remaining on the picked up element 25.
［変形例］
（変形例１）
第１及び第２実施例では、ピックアップ部１１の開口１２内に１つの支持部１３を設けていたが、その代わりに複数の支持部を設けてもよい。図８は、変形例１に係る吸着テーブル１０ｂのピックアップ部１１ｂを示す。図８の例では、開口１２内に４つの支持部１３ｂを設けている。第１及び第２実施例の支持部１３と同様に、４つの支持部１３ｂはシート２０及び素子２５を下方から支持する。また、４つの支持部１３ｂの間に複数の貫通孔１４が設けられている。この構造により、排気装置４が生成する吸着力によって、４つの支持部１３ｂ以外の領域でシート２０を素子２５の下面から引き剥がすことができる。
[Modification]
(Modification 1)
In the first and second embodiments, one support portion 13 is provided in the opening 12 of the pickup portion 11, but a plurality of support portions may be provided instead. FIG. 8 shows the pickup unit 11b of the suction table 10b according to the first modification. In the example of FIG. 8, four support portions 13 b are provided in the opening 12. Similar to the support portions 13 of the first and second embodiments, the four support portions 13b support the sheet 20 and the element 25 from below. A plurality of through holes 14 are provided between the four support portions 13b. With this structure, the sheet 20 can be peeled off from the lower surface of the element 25 in a region other than the four support portions 13 b by the adsorption force generated by the exhaust device 4.
なお、図８の例では、４個の支持部１３を設けているが、支持部１３の数はいくつであってもよい。支持部１３を複数個設けることにより、個々の支持部１３の面積が小さくても、素子を安定的に支持することができる。また、複数個設けた支持部１３の回りに貫通孔１４を設けることにより、シート２０の剥離を促進することができる。 In addition, in the example of FIG. 8, although the four support parts 13 are provided, the number of the support parts 13 may be any number. By providing a plurality of support portions 13, the element can be stably supported even if the area of each support portion 13 is small. Moreover, peeling of the sheet | seat 20 can be accelerated | stimulated by providing the through-hole 14 around the support part 13 provided in multiple numbers.
（変形例２）
図９（Ａ）は、図３（Ｂ）に示すピックアップ部１１のＡ−Ａ’断面を示している。図示のように、第１、第２実施例及び変形例１では、ピックアップ部１１の開口１２の外周縁部１２ｅは断面がほぼ直角となっている。この場合、排気装置４を駆動してシート２０をチャンバー３側へ吸引すると、吸引力が外周縁部１２ｅの角に集中し、シート２０が部分的に伸びて変形することがある。シート２０が部分的に変形してしまうと、次の素子２５をピックアップ部１１に移動するためにシート２０を水平移動する際に支障が生じる場合がある。
(Modification 2)
FIG. 9A shows an AA ′ cross section of the pickup unit 11 shown in FIG. As illustrated, in the first and second embodiments and the first modification, the outer peripheral edge portion 12e of the opening 12 of the pickup portion 11 has a substantially right-angle cross section. In this case, when the exhaust device 4 is driven and the sheet 20 is sucked toward the chamber 3, the suction force is concentrated on the corner of the outer peripheral edge portion 12e, and the sheet 20 may partially extend and deform. If the sheet 20 is partially deformed, there may be a problem in horizontally moving the sheet 20 in order to move the next element 25 to the pickup unit 11.
そこで、変形例２では、図９（Ｂ）に示すように、ピックアップ部１１ｃの外周縁部１２ｅｘの断面形状を鈍角とし、なだらかな傾斜とする。これにより、シート２０が吸引されたときに局部的に吸引力が集中してシート２０が部分的に変形することを防止することができる。 Therefore, in the second modification, as shown in FIG. 9B, the cross-sectional shape of the outer peripheral edge portion 12ex of the pickup portion 11c is obtuse and has a gentle inclination. Thereby, when the sheet | seat 20 is attracted | sucked, it can prevent that the attraction | suction force concentrates locally and the sheet | seat 20 deform | transforms partially.
（変形例３）
上記の第１、第２実施例及び変形例１、２では、ピックアップ装置１に排気装置４を設け、ピックアップ部１１の開口１２内においてシート２０を下方へ吸引することにより、シート２０を素子２５から引き剥がしている。その代わりに、シート２０の上方から圧力を与えることにより、シート２０を素子２５から引き剥がすようにしてもよい。
(Modification 3)
In the first and second embodiments and the first and second modifications, the pickup device 1 is provided with the exhaust device 4, and the sheet 20 is sucked downward in the opening 12 of the pickup unit 11, whereby the sheet 20 is moved to the element 25. I'm tearing it off. Instead, the sheet 20 may be peeled off from the element 25 by applying pressure from above the sheet 20.
例えば、図１０（Ａ）の例では、吸着ノズル５の外周にブロア８を設け、矢印５８に示すように下方へエアー（空気）を吹き付ける、即ち、エアブローを行うことにより、シート２０を素子２５から引き剥がす。ブロア８の断面形状は、素子の平面形状に合わせるのが好ましい。即ち、素子２５の平面形状が矩形であれば、ブロア８の断面形状は素子２５の平面形状よりも少し大きい矩形とするのが好ましい。なお、ブロア８によるエアブローは、ピックアップの対象となる素子２５の外周付近であって、周囲の素子２５には及ばない領域に対して行われることが好ましい。 For example, in the example of FIG. 10A, the blower 8 is provided on the outer periphery of the suction nozzle 5 and air (air) is blown downward as indicated by an arrow 58, that is, by performing air blowing, the sheet 20 is moved to the element 25. Remove from. The cross-sectional shape of the blower 8 is preferably matched to the planar shape of the element. That is, if the planar shape of the element 25 is a rectangle, the cross-sectional shape of the blower 8 is preferably a rectangle that is slightly larger than the planar shape of the element 25. Note that the air blow by the blower 8 is preferably performed in the vicinity of the outer periphery of the element 25 to be picked up, but does not reach the surrounding element 25.
図１０（Ｂ）の例では、吸着ノズル５の外周に樹脂などの筒状体９を設ける。筒状体９を矢印５９に示すように下降させてシート２０に押し付ける、即ち、押圧力を与えることにより、シート２０を素子２５から引き剥がす。この場合も、筒状体９の断面形状は、素子の平面形状に合わせ、素子２５の平面形状が矩形であれば、筒状体９の断面形状は素子２５の平面形状よりも少し大きい矩形とするのが好ましい。なお、筒状体９は、ピックアップの対象となる素子２５の周囲の素子２５に接触しない大きさとする必要がある。 In the example of FIG. 10B, a cylindrical body 9 such as a resin is provided on the outer periphery of the suction nozzle 5. The cylindrical body 9 is lowered as shown by an arrow 59 and pressed against the sheet 20, that is, by applying a pressing force, the sheet 20 is peeled off from the element 25. Also in this case, the cross-sectional shape of the cylindrical body 9 matches the planar shape of the element, and if the planar shape of the element 25 is rectangular, the cross-sectional shape of the cylindrical body 9 is a rectangle that is slightly larger than the planar shape of the element 25. It is preferable to do this. The cylindrical body 9 needs to have a size that does not contact the elements 25 around the element 25 to be picked up.
１、１ａ ピックアップ装置
２ 筐体
３ チャンバー
４ 排気装置
５ 吸着ノズル
７ 突上げピン
１０、１０ａ、１０ｂ、１０ｃ 吸着テーブル
１１、１１ａ、１１ｂ、１１ｃ ピックアップ部
１２ 開口
１３、１３ａ、１３ｂ 支持部
１４ 貫通孔
１５ 周辺部
２０ シート
２５ 電子部品（素子）
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1, 1a Pickup apparatus 2 Housing | casing 3 Chamber 4 Exhaust apparatus 5 Adsorption nozzle 7 Push-up pin 10, 10a, 10b, 10c Adsorption table 11, 11a, 11b, 11c Pickup part 12 Opening 13, 13a, 13b Support part 14 Through-hole 15 Peripheral part 20 Sheet 25 Electronic component (element)
Claims (10)
前記開口の内部に設けられ、前記素子よりも小さい載置面を有し、前記シートの下側から前記素子を支持する第２ステージと、
前記シートに対して圧力を与える圧力付与手段と、
前記シートに対して圧力が与えられた状態で、前記素子を吸着してピックアップする吸着ノズルと、
を備えることを特徴とするピックアップ装置。 A first stage on which a sheet with an element attached is placed and having an opening;
A second stage provided inside the opening, having a mounting surface smaller than the element, and supporting the element from the lower side of the sheet;
Pressure applying means for applying pressure to the sheet;
A suction nozzle that picks up and picks up the element in a state where pressure is applied to the sheet;
A pickup device comprising:
前記吸着ノズルは、前記素子が前記シートから部分的に剥がされた状態で、前記素子を吸着してピックアップすることを特徴とする請求項１に記載のピックアップ装置。 The pressure applying means peels the sheet to the opening side by applying pressure to the sheet,
The pickup device according to claim 1, wherein the suction nozzle picks up and picks up the element in a state where the element is partially peeled from the sheet.
前記圧力付与手段は、前記貫通孔を通じて前記開口の内部の空気を吸引する排気装置であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載のピックアップ装置。 A through hole is provided in the opening of the first stage,
4. The pickup device according to claim 1, wherein the pressure applying unit is an exhaust device that sucks air inside the opening through the through hole. 5.
前記圧力付与手段は、前記素子の端部側から前記シートを引き剥がすことを特徴とする請求項４に記載のピックアップ装置。 The through hole is provided near the outer periphery of the opening,
The pickup apparatus according to claim 4, wherein the pressure applying unit peels the sheet from the end side of the element.
前記穴を通じて、前記素子を押し上げるように前記突上げピンを上下移動させる突上げ機構を備えることを特徴とする請求項１乃至９のいずれか一項に記載のピックアップ装置。 The second stage is provided with a hole through which a push-up pin passes,
The pickup device according to any one of claims 1 to 9, further comprising a push-up mechanism that moves the push-up pin up and down so as to push up the element through the hole.
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112599467A (en) * | 2020-12-15 | 2021-04-02 | 长江存储科技有限责任公司 | Die picking method and device |
| JP7421950B2 (en) | 2020-02-25 | 2024-01-25 | リンテック株式会社 | Sheet peeling method and sheet peeling device |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TWI800003B (en) * | 2021-09-23 | 2023-04-21 | 均華精密工業股份有限公司 | Chip peeling apparatus and chip pre-peeling device |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01321651A (en) * | 1988-06-22 | 1989-12-27 | Kawasaki Steel Corp | Pick-up device for semiconductor chip |
| JPH0371642U (en) * | 1989-11-16 | 1991-07-19 | ||
| JP2000353710A (en) * | 1999-06-14 | 2000-12-19 | Toshiba Corp | Manufacture of pellet pickup device and semiconductor device |
| JP2006319150A (en) * | 2005-05-13 | 2006-11-24 | Nec Corp | Semiconductor chip pick-up device and method therefor |
| US20070277929A1 (en) * | 2004-05-19 | 2007-12-06 | Joachim Trinks | Method and Device for Detaching a Component Which is Attached to a Flexible Film |
| JP2016219573A (en) * | 2015-05-19 | 2016-12-22 | 富士通株式会社 | Pickup apparatus and method |
-
2015
- 2015-06-16 JP JP2015120862A patent/JP2017005222A/en active Pending
- 2015-10-30 TW TW104135782A patent/TWI590362B/en active
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01321651A (en) * | 1988-06-22 | 1989-12-27 | Kawasaki Steel Corp | Pick-up device for semiconductor chip |
| JPH0371642U (en) * | 1989-11-16 | 1991-07-19 | ||
| JP2000353710A (en) * | 1999-06-14 | 2000-12-19 | Toshiba Corp | Manufacture of pellet pickup device and semiconductor device |
| US20070277929A1 (en) * | 2004-05-19 | 2007-12-06 | Joachim Trinks | Method and Device for Detaching a Component Which is Attached to a Flexible Film |
| JP2006319150A (en) * | 2005-05-13 | 2006-11-24 | Nec Corp | Semiconductor chip pick-up device and method therefor |
| JP2016219573A (en) * | 2015-05-19 | 2016-12-22 | 富士通株式会社 | Pickup apparatus and method |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP7421950B2 (en) | 2020-02-25 | 2024-01-25 | リンテック株式会社 | Sheet peeling method and sheet peeling device |
| CN112599467A (en) * | 2020-12-15 | 2021-04-02 | 长江存储科技有限责任公司 | Die picking method and device |
| CN112599467B (en) * | 2020-12-15 | 2022-08-09 | 长江存储科技有限责任公司 | Die picking method and device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
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| TWI590362B (en) | 2017-07-01 |
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