JP2016538506A - 磁気的に作動可能なバルブ装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】磁気的に作動可能なバルブ装置を提供する。【解決手段】磁化可能な物質からなる少なくとも1つの壁(3)により定められ、壁が弁座(7)を形成する内部チャンバ(5)と、磁化可能な壁(3)の内部を通る磁束と共に磁気回路を生成する磁石装置(19)と、内部チャンバ(5)内で可動である少なくとも1つの弁体(13)とを備え、磁化可能な壁(3)に、内部チャンバの周囲に延び、磁化可能な壁(3)と比較して小さな磁気伝導性を有する少なくとも1つの介在要素が配置されており、介在要素は、磁化可能な壁(3)の突出部(3d)へ延びる第1凹部(21a)を備える、磁気的に作動可能なバルブ装置(1)において、弁体(13)の対向する両側、かつ第1凹部(21a)よりオフセットした位置に、磁化可能な物質からなる2つの案内要素(23)が前記内部チャンバ(5)に配置されており、案内要素(23)は、弁体(13)を案内し、案内要素(23)は、壁(3)と共に磁気回路を形成し、磁束は、前記壁(3)、弁体(13)及び案内要素(23)を通り抜ける。

Description

本発明は、磁気的に作動可能なバルブ装置に関する。
独国特許第19922414号明細書(DE19922414C1)は、弁入口と弁出口との間の圧力差のみにより弁体が弁座へ押し付けられる磁気バルブを開示している。バルブは、側方から弁体に作用する磁場により弁体が弁開口部から離れると開く。この目的のために、弁体は磁化可能な球体として設計されている。弁体の高さには、弁ハウジングの磁化壁は、磁場を歪めさせる不連続点を有し、磁場は弁座へ平行に向く力を弁体に作用させる。不連続点のために磁束は壁から弁体を通過し、弁体から壁へ戻る。弁体を通る磁束は、弁体が弁開口部から離れる方向に移動する力の尺度である。磁場が不活性となった後、フローのみにより弁開口部の上に弁体が運び戻された場合、磁気バルブは閉じる。既知のバルブでは、磁化壁は弁体と共に磁気回路を形成する。
独国特許第102005035878号明細書(DE102005035878B3)は、 請求項1のプリアンブルに記載のバルブ装置を開示している。同様に、この磁気バルブでは、弁入口及び弁出口の間の圧力差のみにより、磁気閉鎖要素が弁座へ押し付けられる。磁化壁は、非磁性の物質による少なくとも1つの介在部を含む。弁座は磁性物質からなり、閉鎖要素及び磁化壁と共に磁気回路を形成する。磁化可能な弁座のために、磁束は、小さな磁気抵抗で弁座を介して閉鎖要素から磁化壁へ磁束が流れる。
独国特許第19922414号明細書 独国特許第102005035878号明細書
本発明の目的は、弁体に大きな力を作用させることができる磁気的に作動可能なバルブを提供することである。
本発明の磁気的に作動可能なバルブ装置は、請求項1の特徴により定められる。
本発明の磁気的に作動可能なバルブ装置は、磁化可能な物質からなる少なくとも1つの壁により定められる内部チャンバを有し、その磁化壁は弁座を形成する。磁石装置は磁化壁を通る磁束と共に磁気回路を形成する。磁化可能な少なくとも1つの弁体は、内部チャンバの中で移動可能に配置されている。内部チャンバには少なくとも1つの介在要素が配置されており、その介在要素は、内部チャンバの周囲に延在し、磁化壁より低磁気伝導性を有する。ここで、介在要素は、バルブ装置の軸方向に突出する磁化壁の突出部が延在する第1凹部を有する。換言すれば、介在要素により形成される減少した磁気伝導性を有する物質の領域は、2つの対向する側に異なる軸方向の延在部を有する。
本発明のバルブ装置は、磁化可能な物質からなる2つの案内要素が内部チャンバにおいて弁体の対向する側に配置されており、第1凹部又は突出部に対してオフセットした位置に配置されていることを特徴とする。ここで、案内要素は、磁化壁、並びに、磁化壁、弁体及び案内要素を通る磁束と共に磁気回路を形成する。
弁体に働く力は、弁体を貫流する磁束の作用である。また、大きな磁束は弁体に働く大きな磁力を意味する。磁束は弁体に流れ込み、弁体から流れ出す。与えられた磁位差に対し、磁気回路における低磁気抵抗は大きな磁束を得るために有利である。磁気回路における磁気抵抗は弁体と磁化壁又は案内要素との間のギャップ幅に依存する。案内要素を設けることにより、磁気回路において比較的に狭いギャップのみを克服すればよく、その結果、磁気回路において磁気抵抗が低いことが実現される。それゆえ、大きな力が弁体に作用する。案内要素は弁体を案内するので、弁体と案内要素との間のギャップは弁体の開動作の際に比較的狭いままであり、それゆえ、全開動作の間、弁体と案内要素との間に低磁気抵抗が存在することを保証する。案内要素と弁体との間のギャップ幅は例えば5:100mmであってもよい。
また、案内要素は弁体上に磁束によって生成される力を生じさせる。しかしながら、案内要素は弁体の対向する側に設けられているので、案内要素により弁体に作用する力は、完全に又は略完全に相殺されるように互いに反対方向に働く。案内要素と弁体との間のギャップは、例えば滑りばめとして設計されており、ここで、案内要素によって弁体に作用する力により、弁体は案内要素間の中心に保持され、案内要素と弁体との間の摩擦力を低く保つことが可能である。
介在要素は、より高い磁気抵抗を持った物体が形成された不連続点の近くにある場合、磁界線を磁化壁から退出させる。このような物体は弁体により形成される。介在要素における第1凹部へ延在する磁化壁の突出部は、この突出部と弁体との間の距離が、介在要素の上側に位置する磁化壁の領域と弁体との間の反対側のそれより短いため、磁界の中で非対性を形成する。それゆえ、より大きな引き付ける力が弁体上で突出部の方向に生成される。磁化壁、弁体及び案内要素を通る磁束は、内部チャンバの方向を向いている磁化壁の一部には、磁化壁の突出部と案内要素との間に磁化可能な物質の直接な接続が存在しておらず、それらの間に介在要素が形成されて間隔が存在するという事実のため実現される。
案内要素は、第1凹部又は突出部に対して例えば90度オフセットした位置に配置されてもよい。
好ましくは、案内要素は内部チャンバにテーパを持たせることが提供される。その結果、案内要素と弁体との間にできるだけ小さなギャップを形成することができ、弁体は有利な方法で案内され得る。例えば、球体形状の弁体と円形の内部チャンバとが設けられた場合、弁体の案内は、案内要素が内部チャンバの中でテーパを生じさせることにより特に有利な方法で実現され、その一方で、本発明のバルブ装置は、加えて構造的に単純な設計を有していてもよい。
発明の実施形態では、案内要素は磁化壁における磁化可能な挿入部によって形成され、その挿入部は介在要素の第2凹部まで延在することが提供される。その代わりに、案内要素は、介在要素に平行な軸方向に延びる舌状部材によって形成されることが提供されてもよい。
このようにして、案内要素は、構造的に単純な方法で提供され得る。
突出部及び案内要素は磁化壁から反対方向に軸方向に延在する。それゆえ、有利な方法では、突出部が延在する磁化壁の領域、及び案内要素が延在する磁化壁の一部は、内部チャンバを向く磁化壁の領域に直接的に接触せず、介在要素によって分離されることが実現され得る。突出部は、例えば弁入口を囲む磁化壁の一部から弁出口まで延在してもよい。案内要素は、例えば弁出口の周囲の磁化壁の領域から弁入口まで延在してもよい。
本発明の特に好ましい実施形態では、案内要素が弁座から内部チャンバまで軸方向に延在することが提供される。案内要素は、例えば弁座と一体的に形成されてもよい。ここで、案内要素は構造的に単純な方法で提供され得る。
本発明のバルブ装置の実施形態では、弁座は弁の中心軸に対してオフセットした位置に設けられた弁開口部を有することが提供される。弁開口部は例えば第1凹部へ向けてオフセットしてもよい。それゆえ、磁化壁の突出部と弁体との間に特に小さな距離を設けることができ、低磁気抵抗及び弁体上の大きな磁力が生成され得るものを提供する。この関係において、第1凹部に対向して別の第1凹部が設けられるものが提供されてもよく、磁化壁は別の突出部と共に別の第1凹部内へと延在する。この場合、2つの第1凹部及び2つの突出部は対称的であり、弁の中心軸からオフセットした位置に設けられた弁開口部により非対称性が生じ、その結果、弁体上により大きな引き付ける力を生じさせることが可能となる。
発明の実施形態では、第1凹部に向かう方向に見られるように、案内要素間の距離が減少するものを提供してもよい。弁体に面する案内要素の表面はそれゆえ湾曲しており、案内要素と弁体との間のギャップは弁体の開動作の際に減少する。更に、案内要素の湾曲した表面は、例えば、球体形状の弁体に有利に適合し、弁体の開動作の際に、弁体から小さな距離を有し、拡大された表面が形成される。言い換えれば、開動作の際に、弁体は案内要素によって更に増加する広がりに取り囲まれる。それゆえ、案内要素と弁体との間の磁気抵抗は減少する。
本発明は、有利には、弁体が球体形状又は樽形状であるものを提供する。樽形状は、対向する球状の部分を取り除き、それによって対向する平面部を形成した球形状として理解される。特に有利な方法では、このようなデザインの弁体は少なくとも1つの方向に転がることができる。更に、弁体は有利には弁開口部を密閉状態で覆うことが可能である。更に、平面部に関しては、案内要素の正反対に配置することができ、それによって、弁体と案内要素との間に小さな間隔を有し、故に特に小さな磁気抵抗が生成される非常に大きな有効領域を形成することができる。
本発明の一実施形態では、バルブ装置が、3つの弁体、弁座内の3つの弁開口部、磁化壁が各突出部と共に延在する介在要素内の3つの第1凹部、及び3つの案内要素を有するものを提供する。3つの案内要素は、3つの第1凹部に対してオフセットした位置に配置される。また、弁体の1つは横から封止され、案内要素の2つによってそれぞれ案内される。このようなバルブ装置では、各弁体は1つの弁開口部に割り当てられている。2つの各案内要素は、弁体のためのガイドを形成し、それゆえ1つの案内要素はそれぞれ2つの弁体と協働する。磁束は、各弁体を介して案内要素から磁気壁の突出部まで流れる。更に、磁気壁の突出部の1つは、各弁体に割り当てられている。バルブ装置が開いている場合、各弁体はそれぞれに割り当てられている磁気壁の突出部の方へ引っ張られ、その結果、弁開口部は解放される。バルブ装置のこの実施形態では、3つの弁開口部は偏心的に配置されている。
介在要素は、非磁性物質からなるものであってもよく、その場合、通常の使用では、介在要素は磁化しない。好ましくは、内部チャンバは円形であり、案内要素が1つの領域内にテーパを生じさせる。その結果、この領域では、円形以外のものが形成される。弁座における弁開口部は、磁性物質又は非磁性物質からなる封止挿入物を備えてもよい。
以下は、添付の図面を参照した本願発明の詳細な説明である。
本発明に係るバルブ装置の第1実施形態における断面図である。 本発明に係るバルブ装置の第1実施形態における断面図である。 本発明に係るバルブ装置の第1実施形態における断面図である。 本発明に係るバルブ装置の第2実施形態における断面図である。 本発明に係るバルブ装置の第2実施形態における断面図である。 本発明に係るバルブ装置の第3実施形態における断面図である。 本発明に係るバルブ装置の第3実施形態における断面図である。 本発明に係るバルブ装置の第4実施形態における断面図である。 本発明に係るバルブ装置を樽形状の弁体と共に示す第5実施の形態における断面図である。 本発明に係るバルブ装置を3つの弁体と共に示す第6実施形態における断面図である。 本発明に係るバルブ装置を3つの弁体と共に示す第6実施形態における断面図である。 3つの弁体を有する本発明に係るバルブ装置の更に2つの実施形態を示す図である。 3つの弁体を有する本発明に係るバルブ装置の更に2つの実施形態を示す図である。
図1A−1Cには、本発明における磁気的に作動可能なバルブ装置1の異なる断面図が模式的に示されている。図1Aは、磁束線と共に示す開状態におけるバルブ装置1の縦断面図である。図1Bは、図1Aに示す状態のバルブ装置1の横断面図であり、図1Cは、図1Aに示される断面を90度回転させた縦断面の模式図である。図1Cでは、弁は閉位置に描かれている。
バルブ装置1は、内部チャンバ5を定める磁化壁3を有する。磁化壁3は、弁開口部9を形成する弁座7を更に形成する。弁開口部9は、弁出口を形成し、内部チャンバ5への弁入口11は反対側に形成される。図1A−1Cに示される実施形態では球体として設計されている弁体13は、内部チャンバ5の内部に配置されている。弁開口部9は弁入口11と弁出口との間の圧力差を用いる弁体13により閉じられてもよい。この目的のために、弁座7は、弁開口部9を囲む封止挿入具15を備えていてもよい。封止挿入具15は、磁性物質又は非磁性物質により作られていてもよい。弁体13は内部チャンバ5の中で弁座7に対して垂直に移動可能であるのみならず、弁座7に対して平行に移動可能である。弁座7に対する垂直方向の移動は、内部チャンバ5の中に設けられる留め具17によって制限される。
磁化壁3は、内部チャンバ5の周囲に環状に形成され、磁石装置19のために環状の空洞を有する。磁石装置19は壁3の内側の脚部3aを環状に囲み、その一方で、磁石装置19はそれ自体、壁3の外側の脚部3bによって囲まれている。内側の脚部3a及び外側の脚部3bは上端にて環状プレート3cにより接続されている。
外側の脚部3bは、弁座7に直接的に接触する。ここで、弁座7は、下向きの方向における内部チャンバ5を定める板を形成する。内側の脚部3a、外側の脚部3b、環状プレート3c、及び弁座7を有する壁3は、例えば鉄や磁化可能なステンレス鋼などの磁化可能な物質により作られている。
内側の脚部3aと弁座7との間には、内側の脚部3aと弁座7とが直接的に接触を持たないように、介在要素21が配置されている。更に、介在要素21は、磁石装置19と弁座7との間にも配置されている。
介在要素21は、低磁気伝導性の物質により作られている。伝導性はゼロであってもよい。介在要素21は、図1Bに好適に見られる第1凹部21aを有する。磁化壁3の内側の脚部3aは、突出部3dにより第1凹部21aの内側へ軸方向に延在する。突出部3dは、やはり介在要素21によって弁座7から離隔している。図1Aに見られるように、介在要素21は、このように2つの対向する側にて異なる長さで軸方向に延在する。
突出部3dは、内側の脚部3aから弁座7へ向かって軸方向、したがって弁入口11から弁出口へ向かう方向に延在する。
2つの案内要素23は、弁座7から内部チャンバ5の中へ延在している。案内要素23は弁体13の両側に対向して配置され、弁体13を案内する。更に、案内要素23は、第1凹部21aに対して、すなわち突出部3dに対して、90度だけオフセットした位置に配置されている。
内側の脚部3aは、突出部3dのために、反対側と比較した場合、この領域においてより大きな長さを有する。それゆえ、磁界が生成される場合、介在要素21に起因して磁気異方性が生じる。したがって、非対称性が生じ、突出部3dの方向に作用する力が弁体13に働き、弁体13は弁開口部9から突出部3dの方向へ引き付けられる。対応する磁束線は図1A及び図1Bに示される。磁束線は磁化壁3の弁座7から案内要素23を介して弁体13へ延び、弁体13から突出部3dを介して壁3へ戻る。本発明のバルブ装置1では、磁気回路は比較的小さなギャップのみを克服するだけでよく、それゆえ低い磁気抵抗が存在する。したがって、非常に大きな力が弁体13に作用し得る。案内要素23は、弁体13と共に滑りばめを形成し、非常に小さなギャップのみが形成される。案内要素23は弁体13の周囲に互いに対向して配置されるという事実のために、案内要素23により弁体13に作用する磁力は相殺される。更に、これらの力は各案内要素23の間の中心に弁体13を保持し、突出部3dへ向かう移動のみを生じさせる。
閉状態におけるバルブが図示されている図1Cに最も良く見られるように、案内要素23は、介在要素21に平行に軸方向に延在する2つの舌状部材により形成されている。
図2A及び図2Bは、バルブ装置1の第2実施形態を2つの断面図により模式的に図示している。図2Aではバルブが縦断面により模式的に示されている。図2Bは、バルブ装置1の横断面図を示している。
図2A及び図2Bの実施形態は、図1A−図1Cで示されるバルブ装置1とは、案内要素23が介在要素21に平行に配置された舌状部材として形成されておらず、磁化可能な挿入部22として形成されていることが異なる。介在要素21は、その中に挿入部22が延在する2つの第2凹部21bを有する。挿入部22は、それゆえ壁3の一部を形成し、挿入部22は内側の脚部3aより厚みを有しているので、内部チャンバ5のテーパを生じさせる。挿入部22は弁座7の上に載っている。第1凹部21a及び2つの第2凹部21bのために、凹部21aは弁入口11の方向から介在要素21へ延在しており、一方、2つの凹部21bは弁座7から軸方向に介在要素21の内部に形成されているので、介在要素21はジグザグ形状である。それゆえ、挿入部22及び突出部3dは、磁化壁3から反対方向に軸方向に延在し、介在要素21によって分離されることを保証する。よって、壁3、弁体13及び案内要素23を通る本発明の磁束を生成することが可能である。
図3A及び図3Bは本発明のバルブ装置1の第3実施形態の模式的断面図を示している。図3Aはバルブ装置1の縦断面であり、図3Bはその横断面である。図3A及び図3Bの実施形態は、弁開口部9が弁軸25よりオフセットした位置に配置されていることが図1に示す実施形態と異なる。よって、弁開口部9は偏心的に突出部3dの方へシフトしている。それゆえ、突出部3dと弁体13との間に狭いギャップが形成され、磁気抵抗は非常に低い状態で維持され、開動作の際に大きな力が弁体13に作用する。
図3A及び図3Bに示される実施形態では、第1凹部21aの反対側に位置する別の第1凹部21cが更に設けられていてもよい。磁化壁3の内側の脚部3cは、更なる突出部3cによって更に第1凹部21cまで延在している。弁体13の偏心配置のために非対称性が生じ、突出部3dによって弁体13にはより大きな磁力が作用し、弁体13は突出部3dの方向へ引き付けられて弁を開かせる。
案内要素23は図1A−図1Cに示される実施形態と同様の方法にて設計されている。
図4は本発明に係るバルブ装置1の第4実施形態を示す模式的断面図である。図4の例は概ね図1Bの例に対応している。図4に示す実施形態は、案内要素23が第1凹部21a及び突出部3dに向かって湾曲しており、2つの案内要素23の間の距離が減少していることが図1A−図1Cの実施形態と異なる。それゆえ、弁体13に面する案内要素23の表面は球体形状の弁体13に適合するので、案内要素23の大きな表面は弁体13と協働することができ、非常に低い磁気抵抗が得られる。
図5は本発明に係るバルブ装置1の第5実施形態を断面により模式的に示している。図5の例は、概ね図1Bの例に対応している。図5に示す実施形態は、弁体13が球体形状に代えて樽形状としてあることが図1A−図1Cと異なる。更に、図5に示していない弁座7から内部チャンバ5まで延在する案内要素23は、弁体13を有利に案内できるように、より厚みを有している。
樽形状のために、弁体13は2つの対向する平面部13aを有しており、その2つの平面部13aは案内要素23の表面に平行に延在している。それゆえ、弁体13と案内要素23との間に短い有効表面が形成され、非常に低い磁気抵抗が得られる。樽形状のために、弁体13は弁開口部9を封止するのに有利に適合する。更に、樽形状のために、弁が作動した場合に、単純な方法で弁体13は突出部3dの方へ転がることが可能である。
図6A及び図6Bは本発明に係るバルブ装置1の第6実施形態を模式的に示している。図6Aはバルブ装置1の縦断面である。図6Bはバルブ装置1の横断面である。図6A及び図6Bに図示されているバルブ装置1は、3つのバルブ開口部9を有する弁座7を備える。各バルブ開口部9は封止挿入具15によって密封されている。更に、3つの球体形状の弁体13が内部チャンバ5の中に配置される。各弁体13は1つの弁開口部9に割り当てられている。弁体13は、3つの案内要素23の全部が弁座7から内部チャンバ5まで軸方向に延在することにより互いに分離している。内部チャンバ5の周囲の壁3は、介在要素21によって内側の脚部3aで遮られる。ここで、3つの第1凹部21aは、壁3の内側の脚部3aにおける突出部3dへ延在するように形成される。案内要素23は、突出部3dに対してオフセットした位置に配置される。更に、各突出部3dは弁体13の1つに割り当てられる。図6A及び図6Bでは、バルブは開状態として描かれており、磁束線が模式的に示されている。各案内要素23は2つの弁体13と協働し、弁体13及び案内要素23は、内部チャンバ5の周方向に交互に配置されている。
バルブ装置1が作動した場合、磁束は磁化壁3から案内要素23を通り抜け、弁体13に至ると共に、弁体13から突出部3d及び壁3の内部へ戻る。各突出部3dとそれぞれ割り当てられた弁体13との間に磁力が生成され、当該磁力は弁体13のそれぞれを突出部3dの方向へ引き付け、その結果、バルブ開口部9を開放する。
図7は、図6A及び図6Bに図示されている本発明に係るバルブ装置1の実施形態の変形例を示している。図7の例は、概ね図6Bの例に対応する。図7の実施形態は、弁体13に面する表面23aが湾曲しており、それゆえ弁体13の形状に適合することが図6A及び図6Bに図示されているバルブ装置1と異なる。図7に図示されているバルブ装置1の機能性は、図4に図示されている実施形態の機能性に概ね対応している。
図8は、本発明に係るバルブ装置1の別の実施形態を断面により模式的に示している。図8に示す実施形態は、図6A及び図6Bに示すバルブ装置1の別の変形例である。図8の例は図6Bの例に概ね対応している。図8の実施形態は、弁体13が球体形状ではなく、樽形状であることが、図6A及び図6Bに示す実施形態のバルブ装置1と異なる。したがって、弁体13は、互いに対向し、案内要素23の表面23aにそれぞれ平行に延在する平面部13aを有する。それゆえ、案内要素23は、案内要素23及び弁体13の間に存在する非常に低い磁気抵抗により、表面23aを介して弁体13の平面部13aと大きな表面上で協働する。図8の実施形態の機能性は図5の実施形態の機能性に概ね対応する。
弁体13の樽形状は弁開口部9を有利に密封することができる。更に、バルブ装置1が作動した場合、弁体13は丸みのある表面上を突出部3dの方向へ有利に転がることができる。ここで、弁体13の有利な案内は、平面部13a及び案内要素23の表面23aによって行われる。
本発明のバルブ装置1では、弁体13は、弁入口11と弁開口部9によって形成される弁出口との間の圧力差のみによって、封止挿入具15上に押し付けられる。磁石装置19を介して磁場が誘起された場合、バルブ装置1は開けられる。

Claims (9)

  1. 磁化可能な物質からなる少なくとも1つの壁(3)により定められ、前記壁が弁座(7)を形成する内部チャンバ(5)と、前記磁化可能な壁(3)の内部を通る磁束と共に磁気回路を生成する磁石装置(19)と、前記内部チャンバ(5)内で可動である少なくとも1つの弁体(13)とを備え、前記磁化可能な壁(3)に、前記内部チャンバの周囲に延び、前記磁化可能な壁(3)と比較して小さな磁気伝導性を有する少なくとも1つの介在要素が配置されており、前記介在要素は、前記磁化可能な壁(3)の突出部(3d)へ延びる第1凹部(21a)を備える、磁気的に作動可能なバルブ装置(1)において、
    前記弁体(13)の対向する両側、かつ前記第1凹部(21a)よりオフセットした位置に、磁化可能な物質からなる2つの案内要素(23)が前記内部チャンバ(5)に配置されており、
    前記案内要素(23)は、弁体(13)を案内し、
    前記案内要素(23)は、前記壁(3)と共に前記磁気回路を形成し、
    前記磁束は、前記壁(3)、前記弁体(13)及び前記案内要素(23)を通り抜ける
    ことを特徴とするバルブ装置。
  2. 前記案内要素(23)は、前記内部チャンバ(5)の中にテーパを生じさせることを特徴とする請求項1に記載のバルブ装置。
  3. 前記案内要素(23)は、前記磁化可能な壁(3)へ挿入される磁化可能な挿入部(22)により形成されており、
    前記挿入部(22)は、前記介在要素(21)の第2凹部(21b)へ延びる
    ことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のバルブ装置。
  4. 前記案内要素(23)は、前記介在要素(21)と平行に軸方向に延びる舌状部材により形成される
    ことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のバルブ装置。
  5. 前記突出部(3d)及び前記案内要素(23)は、前記磁化可能な壁(3)とは反対側に軸方向に延びる
    ことを特徴とする請求項1から請求項4の何れか1つに記載のバルブ装置。
  6. 前記案内要素(23)は、前記弁座(7)から前記内部チャンバ(5)へ軸方向に延びる
    ことを特徴とする請求項1から請求項5の何れか1つに記載のバルブ装置。
  7. 前記弁座(7)は、前記バルブの中心軸(25)からオフセットした位置に弁開口部(9)を有する
    ことを特徴とする請求項1から請求項6の何れか1つに記載のバルブ装置。
  8. 前記少なくとも1つの弁体(13)は、球体形状又は樽形状である
    ことを特徴とする請求項1から請求項6の何れか1つに記載のバルブ装置。
  9. 3つの弁体(13)、弁座(7)に設けた3つの弁開口部(9)、各突出部(3d)により前記壁(3)まで延びる前記介在要素の3つの第1凹部(21a)、及び、3つの第1凹部(21a)からオフセットした位置に配置される3つの案内要素(23)を備え、2つの案内要素(23)が、前記弁体(13)のうちの1つを夫々側方から囲み、案内することを請求項1から請求項8に記載のバルブ装置。
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