JP2016531328A - 大型ミラー用の最適な運動学的マウント - Google Patents

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Abstract

精密ミラーの熱的及び機械的に誘起される光学歪みの低減を支援する高性能な運動学的(キネマチック)ミラーマウントが開示される。ミラーマウントアセンブリは、正面の反射表面と背面の支持表面とを有するミラーを含む。一組の下層(サブティア)マウントアセンブリが、二脚として構成された多数のストラットペアを用いて下層マウントアセンブリをミラーに接続するように構成された、多数のストラットペアと多数の接合マウントパッドとを使用して、ミラーの背面の支持表面に取り付けられて設けられる。

Description

本開示は、ミラーアセンブリ、及びミラーを支持する方法に関する。
望遠鏡はしばしば、大きい曲面鏡を使用する。それらのミラーは、ガラス、炭化シリコン、研磨された金属又は幾つもの材料を含む様々な反射性の材料から製造され得る。望遠鏡の用途は、一般的な鏡、大型天文台望遠鏡から、衛星上の大型望遠鏡まで及んでいる。地表に配置される望遠鏡は、大気を通して見ざるを得ないという大きな欠点を有する。これは、ぼやけた像や歪んだ像をもたらし得るとともに焦点のレンジを制限し得るものである或る程度の量の光歪みを生じさせ得る。宇宙空間で大気の上方に配置される望遠鏡による撮像は、より小さいエリアに焦点を合わせること及び遠い被写体のいっそう明瞭な像をキャプチャすることの、遥かに良好なレンジ及び能力を有する。望遠鏡を宇宙空間に打ち上げるためには、関連するコスト及びミッションの難しさを低減すべく、望遠鏡ひいては内部のミラーの重量を軽くすることがとても望ましい。また、望遠鏡の繊細性に起因して、極めて強固な支持システムを維持することが大いに望ましい。
望遠鏡の建造の結果として、そして特に、しばしば使用される曲面鏡に伴って、別の問題が生じる。一例において、しばしば使用されるこのようなミラーは、性能強化を容易にするために、かなり大きい表面積を有する。しかしながら、一貫した略完璧なミラー曲率及び表面を持つ大きい反射表面を有するミラーを構築することは、困難であり得る。そうとはいえ、曲率が完璧であるほど、及び反射表面が完璧であるほど、像の明瞭性が増すとともに望遠鏡のレンジが増す。
一緒になって本発明の特徴を例として示す添付図面とともに以下の詳細な説明を検討することで、本発明の特徴及び利点が明らかになる。
例示的なミラーの等角正面図であり、反射表面を示している。 図1Aのミラーの等角背面図であり、反射表面を支持する支持構造を示している。 本発明の例示的な一実施形態に従ったミラーアセンブリの等角背面図であり、このミラーアセンブリは、ミラーを支持する複数の下層マウントアセンブリを持つ運動学的ミラーマウントを有している。 例示的な一実施形態に従った、図2のミラーアセンブリ及び運動学的ミラーマウントの下層マウントアセンブリのうちの1つを示す斜視図である。 図2のミラーアセンブリの詳細な部分等角背面図であり、ミラーに結合された図3の下層マウントアセンブリを示している。 図2のミラーアセンブリの詳細な部分側断面図を示している。 図3の下層マウントアセンブリの二脚ストラットペアのうちの一方の等角図である。 図3の下層マウントアセンブリの支持ベースの上面図である。 図3の下層マウントアセンブリの支持ベースの等角図である。 図2の支持ベースの等角図であり、調節可能ストラットを例示している。 図2の支持ベースの等角図であり、調節可能ストラットを例示している。 本発明の例示的な他の一実施形態に従って形成された下層マウントアセンブリ、特に、その1つの二脚ストラットペアの側面図を示している。 調節可能ストラット及びそのコンポーネントを示す図である。 調節可能ストラット及びそのコンポーネントを示す図である。 調節可能ストラット及びそのコンポーネントを示す図である。 以下、図示した例示的な実施形態を参照するとともに、ここでは特定の言葉を用いてそれを記述する。そうとはいえ、理解されるように、それによる本発明の範囲の限定は意図していない。
ここで使用されるとき、用語“実質的に”は、完全又は略完全な範囲又は程度の動作、特性、性質、状態、構造、品目又は結果を表す。例えば、“実質的に”包囲されている物体は、その物体が完全に包囲されているか、あるいは略完全に包囲されているかの何れかを意味する。絶対的な完全性からの逸脱の正確な許容可能な程度は、一部の場合において、具体的な文脈に依存し得る。しかしながら、一般的に言えば、完全に近いことは、あたかも絶対的且つ総合的な完全さが得られるかのように全体として同じ結果を有するようなものである。“実質的に”の用法は、動作、特性、性質、状態、構造、品目又は結果の完全又は略完全な欠如を表す否定的な含意で使用されるときにも等しく当てはまる。
ここで使用されるとき、“隣接”は、2つの構造又は要素の近接を表す。特に、“隣接”しているとして特定される要素は、接しているか接続されているかの何れかであり得る。そのような要素はまた、必ずしも互いに接触することなしで、互いに近いか接近するかであってもよい。近接性の正確な程度は、一部の場合において、具体的な文脈に依存し得る。
以下では、最初に技術的実施形態の概説を提供し、その後に具体的な技術的実施形態を更に詳細に説明する。この最初の概要は、より迅速に技術を理解する上で読者を助けることを意図したものであり、技術の重要な特徴又は本質的な特徴を特定することを意図したものではなく、また、特許請求に係る事項の範囲を限定することを意図したものでもない。
特には望遠鏡での使用のための、ミラーの調節可能な支持は、広く利用可能である。特に、調節可能なマウントは、異なる点への望遠鏡のフォーカシング(焦点合わせ)を可能にする。フォーカシングは、大きい距離から眺めた像を明瞭にするために必要であり、故に、直接的な近接なしで物体を観察する能力を提供する。より遠くの点にいっそう大きな明瞭性でフォーカシングする能力は、特にディッシュ曲率において極めて厳しい公差を持つミラーの使用と、反射表面の純度とを必要とする。より精密なディッシュ曲率を持つミラーは、それらのミラーがいっそう小さくて遠い点にフォーカシングされること、そして、それらの点の像をいっそう大きい明瞭さで提供することを可能にする。残念ながら、ミラー表面の少量の歪みでさえも、生成される像に歪みを生じさせ得る。
ミラー表面の歪みは、数多くの要因によって生じ得るものであり、それらの要因のうちの一部は、内部及び/又は外部の環境要因の結果であり得る。環境歪み要因の一例は、例えば地球の大気などの中間物質の存在であり得る。実際、大気は、最大且つ最も完全なミラー表面にさえも、曇った不完全な像を生成させ得る。この認識が、大気によって生じる歪みを最小化あるいは排除するために多くの望遠鏡が宇宙空間で動作されることをもたらしてきた。
しかしながら、宇宙空間は、歪みを生じさせ得るその他の環境上の検討事項がないわけではない。例えば、宇宙空間の温度は、極めて寒くから極めて暑くまで著しく変化し得るものであり、ミラーの材料の熱膨張が、或る程度の歪みを生じさせ得る。これらの問題を解決するための試みが、相異なる材料間の熱膨張係数の不整合の結果としての歪みの量を低減するために、支持構造との統一(ユニタリ)構造を持つミラーの形成をもたらしてきた。
ミラー表面歪みの別の1つの原因は、例えば調節可能(アジャスタブル)マウント構造などの、ミラーを支持するマウント構造によってミラーに印加される応力及びひずみであり得る。これらの調節可能マウント構造はしばしば、やむを得ずに、ミラー表面の材料とは異なる材料で形成され、結果として、当該構造とミラーとの間に接続箇所における歪みを通じて、望ましくないミラー表面歪みを生じさせ得る熱的影響(サーマルプリント)を有し得る。さらに、調節可能マウント構造がミラーに付着する箇所はまた、ミラーをフォーカシング又はリフォーカシング(再焦点合わせ)するために必要な力に由来する力、応力、ひずみ、せん断力、及び/又はモーメントを被り得る。これらの箇所に印加される力が、ミラー支持構造に与えられて、或る程度のミラー表面歪みを生じさせ得る。
特に、望遠鏡ミラー(特に、大気圏外に打ち上げられるもの)の設計において遭遇する主な問題は、異なる材料が異なる熱膨張係数を持つということである。故に、ミラーの材料とは異なる材料で製造された、ミラーの支持構造に取り付けられる如何なる構造物も、これら2つの材料が異なる割合で膨張又は収縮することによって生じる望ましくない程度のひずみをミラー上にもたらして、それが、ミラーの反射表面への望ましくない熱的な影響スルー(プリントスルー)歪みを生じさせ得る。
手短に上述したように、ミラーを含んだ望遠鏡を宇宙空間に打ち上げることに関する更なる検討事項は、打ち上げ過程に存在する速い加速中に遭遇する負荷及び重圧の間に望遠鏡の壊れやすいコンポーネントを支持する強固な支持システムを有しながら、重量を最低限に保つことである。
故に、ミラーアセンブリ及び付随する最適な運動学的ミラーマウントを設計するときに、低い熱歪み性能と強度性能との間に適正なバランスを与えることが望ましい。低い熱歪みを達成することには、これらの負荷をミラーに伝達しない柔軟な屈曲部(フレクシャ)を使用することがある。しかしながら、これは、固いストラット(支柱)が提供する強度性能に真っ向から反する。
以上を踏まえ、本発明の実施形態は、構造的完全性を犠牲にすることなく、(例えば宇宙空間で経験するものなどの)極端な温度勾配から生じる接続箇所での熱的影響を最小化することによって、ミラー表面歪みを最小化する軽量な運動学的又は調節可能なミラーマウントを提供する。熱的に誘起される応力及び歪みをミラーに伝達せずになおも全方向に剛性を提供する多様なシステムにて構成される二脚ストラットペア内に後述のような柔軟な屈曲部を配置することによって、低い熱歪みをもたらす柔軟な屈曲部と十分な強度性能を維持することとの間の適正なバランスが達成され得る。
一部の実施形態において、本発明の運動学的ミラーマウントは、−30℃のバルク温度変化にわたって、2.5と5.7ミクロンRMS(二乗平均平方根)との間の、すなわち、0.6328ミクロンの波長で0.004と0.009波RMSとの間の、ミラーの熱歪み波面誤差を容易にし得る。
ここで、図1A及び1Bを参照するに、反射表面16と、反射表面16を支持する支持構造20とを有する例示的なミラー12が示されている。ミラー12は、ガラス、研磨された金属、炭化シリコン、又はその他の高度に反射性の材料で製造され得る。ミラー12は、機械加工され、キャストされ、研磨され、あるいは何らかの好適な手法で製造され得る。例示の目的で、ここでは、炭化シリコンで形成されたミラーを更に詳細に説明することとする。しかしながら、このタイプのミラーは何らの限定も意図していない。実際、当業者が認識するように、本発明の運動学的ミラーマウントは、好適な反射表面を持つその他のミラータイプを用いて動作するように構成されてもよい。
特に炭化シリコンミラーは、通常、支持構造と統一的に形成された反射表面を持つその最終形状にキャストされる。図示した実施形態において、ミラー12は1つの炭化シリコン構成を有している。
反射表面16を支持するように構成されるミラー12の支持構造20は更に、後述するように、ミラー12の曲率を維持するとともに、マウント及び/又は調節構造の取付けを可能にするように構成され得る。支持構造20は、幾つもの異なる構成を有し得る。例えば、支持構造20は、中空でないものであってもよいし、例えばミラーの全体の重さを低減する目的などで、図示のように、格子型の構成を有していてもよい。より具体的には、図示の例示的な支持構造20は、格子造りを形成する一連の支持リブ(肋材)24を有することができ、支持リブ24は、均一の又は変化する厚さを有し得るとともに、複数の節28を画成するように互いに交差し得る。これらの節28のうちの少なくとも一部は、後述のように、更なる構造要素を有していてもよいし、あるいは異なるように構成されてもよい。
図1B、2、及び4Aを参照するに、ミラー12の支持構造20は、上述のように、複数の節28を形成するように交差した複数の支持リブ24を有し得る。これらの節のうちの少なくとも一部は、更なる構造要素を有していてもよく、あるいは換言すれば、異なる構成の節を有していてもよい。例えば、ミラー12は更に、支持構造20に更なる剛性を提供するために中空の幾何学構成を持つ節32を有することができる。節32は、内表面36と外表面40と内部容積とを画成する薄壁構造の構成を有し得る。より詳細に後述するように、節32の内表面36及び外表面40は、これらの表面が複数の方向の取付け箇所を提供するようにその他の構造物(例えば、マウント用の構造又はアセンブリ)が取り付けられ得る接続表面として作用し得る。支持リブ24の部分も、ミラー12に取付け又は結合される構造物の取付け箇所として利用され得る。実際、支持リブ24、節28/32、及び/又は支持構造20の何らかの部分が、マウント表面として利用され得る。また、支持リブ24及び/又は節28/32は、例えば増大された壁厚さや拡大ストラットなど、必要に応じて強化された部分を有し得る。
図2を参照するに、ミラー(例えば、図1A及び1Bのミラー12)を有する例示的なミラーアセンブリ110(例えば、調節可能ミラーアセンブリ)が示されている。ミラーアセンブリ110は更に、本発明の例示的な一実施形態に従って構成された、単一の運動学的(キネマチック)マウントシステムとして機能する複数の下層(サブティア)マウントアセンブリ(下層マウントアセンブリ114a、114b及び114c参照)を有した運動学的ミラーマウントを有することができる。下層マウントアセンブリ114a−cは、ミラー12の支持構造20に取り付けられ、あるいはその他の方法で固定若しくは結合される。別の言い方をすれば、ミラー12は、複数の下層マウントアセンブリ114a−cに結合又はマウントされることができる。実際、この運動学的ミラーマウントは、ここに説明されるように、従来の関係するマウント用の装置又はシステムと比較してミラー表面歪みを最小化することによって、ミラー12の完全性を維持するように機能することができる。
図示のように、ミラーアセンブリ110及び運動学的ミラーマウントは、ミラー12に対して均等に支持力を分配するようにミラー12の支持構造20について互いから等距離に離間された複数の下層マウントアセンブリ(下層マウントアセンブリ114a−c参照)を有することができる。当然ながら、これは何らの限定も意図していない。実際、本発明は、システム全体の意図した用途及び構成に応じて必要とされるミラー表面歪みの管理を提供するために、任意数の下層マウントアセンブリを使用することを企図している。また、下層マウントアセンブリ114a−cの集合は、必要に応じて、等しくても等しくなくてもよい間隔で離間され得る。
一般的に言えば、下層マウントアセンブリ114a−cは、システムレベルでミラー12の統合及びアライメントをするときにミラー12の位置を維持し且つ重量を支持することを支援する。加えて、複数の下層マウントアセンブリを有することは、ミラー12上に及ぼされる負荷をミラー支持構造20の全体にわたって均等に分散させ、それにより、他の支持方法でミラーを支持することによって発生され得る歪みを最小化する助けとなる。リフォーカシングのために必要であるように、ミラーを異なる構成へと位置付け直すためには、新たな位置を得るために何らかの力が与えられなければならない。運動学的ミラーマウント及び様々な下層マウントアセンブリを介して移転された力が十分に高い場合、それらの力はミラー自体をひずませ、そのひずみがミラー表面の歪みを生じさせ、それにより許容できない像歪みをもたらし得る。支持構造の機械的な荷重及びミラーの位置変更によって生じる歪みは、ミラー表面への機械的な影響スルーと称し得る。
また、予測されることには、下層マウントアセンブリ114a−cは、ミラー12に対して適切にアライメントされることで、より良好に機能し得る。各下層マウントアセンブリの適切なアライメントは、ミラー12の支持構造20に及ぼされる横方向の曲げ力を排除あるいは打ち消すように機能し得る。適切なアライメントの検討事項は、様々な下層マウントアセンブリ及びそれらそれぞれの構成部品の高さ、角度、及び半径方向のアライメントを含み得る。
例示の目的で、以下にて、下層マウントアセンブリ114aについて詳細に説明する。ここでは具体的又は更に詳細には説明しないが、当業者によって認識されるように、下層マウントアセンブリ114b及び114cは、下層マウントアセンブリ114aと同一又は同様に構成されることができ、また、下層マウントアセンブリ114aと同じ又は同様の機能を提供することができる。
図2−6Bを参照するに、ミラー12の支持構造20に固定されているとして示された、下層マウントアセンブリのうちの1つ、すなわち、下層マウントアセンブリ114aが例示されている。下層マウントアセンブリ114aは、支持ベース118と、支持ベース118の1つの側面から延在してその周りで支持された複数の二脚ストラットペア150a、150b(3つ目の二脚ストラットペアは見えていない)と、支持ベース118の反対側から延在してその周りで支持された調節可能(アジャスタブル)ストラットペア190とを有することができる。支持ベース118は、二脚ストラットペアを、支持構造のリブ24と干渉することなく、ミラー12の支持構造20に結合することを可能にする構成を有し得る。
支持ベース118は、手短に上述したように、ストラットペア190の調節を介して、望遠鏡の支持フレーム(図示せず)の中で調節可能であり得る。ストラットペア190に与えられる力を支持ベース118を通じて伝達することによって、熱膨張若しくは熱収縮の間に、及び、位置変更されるときに、すなわち、ミラー12をリフォーカシングするときに、それを介して与えられる力がミラーに対して均等に分散されることが支援される。より具体的には、支持ベース118は、自身に印加された力を、自身に結合された各二脚ストラットペアに均等に分配するように構成され得る。支持ベース118は、上面120、下面122、及び上面と下面との間に延在する側面すなわち側壁124を有し得る。例示的な一実施形態において、支持ベース118は、インバーの接続金具を有するアルミニウムのハニカムコアを準等方性の表面シートで挟み込んだもので形成された複合構造を有し得る。しかしながら、ここではその他の設計も企図される。
複数のピン(例えば、複数のピン130、132、134、136、138、140参照)が、側面の1つ以上から外向きに延在するように構成され得る。これらのピンは、様々な二脚ストラットペアの個々のストラット(支柱)の、支持ベース118への結合を容易にするように構成され得るものである。これらのピンは、二脚ストラットペアの個々のストラットのマウントのそれぞれのソケットに篏合して固定されるように構成され得る。クロスブレード屈曲部を説明するときに更に詳細に後述するように、ミラー12の支持構造20を曲げ力やねじれ力にかけることは望ましくない。何故なら、これらの動的な力は、ミラー歪みの機会を増加させる更なる機械的影響スルーを生じさせ得る更なる力成分をもたらすからである。図示の実施形態において、これらのピンは、支持ベース118とそれに付随する各二脚ストラットペアとの間の接続を提供する。このピン接続は、それぞれのストラット各々がピンの周りで浮かぶことを可能にし、ミラー20への下層マウントアセンブリ114aのアセンブリ中に、二脚ストラットペアのひずみのない状態を可能にする。これは基本的に、支持ベース118が位置変更されるときに関連する二脚ペアのそれぞれのストラットに印加され得る曲げ力を排除する。この結果、ピンは、放射状の力をそれぞれのストラットに伝達し、その力がストラットへと伝わって、ミラー12の支持構造20の節32に伝達される直線的な張力又は圧縮力を与えることが可能である。
支持ベース118は更に、支持ベース118への調節可能ストラットペア190の取付けを容易にする一対の角度付けられたマウント表面142及び144を有することができる。表面142及び144は、ストラット194a及び194bの作用線に垂直なマウント平面を提供する。ストラット作用線に対する篏合面のこの垂直な向きは、せん断力の導入を排除するとともに、ジョイント滑りの可能性を軽減し、本質的にジョイントをいっそう安定にする。
上述のように、下層マウントアセンブリ114aは更に、複数の二脚ストラットペアの構成を有し得るとともに、それを用いてミラー12の支持構造20に結合されることができる。ミラーマウントをミラー12の支持構造に取り付ける従来の方法はしばしば、節の孔の中にアンカー又はプラグを設け、該アンカーに何らかの種類の硬いロッドを取り付けることを必要とした。しかしながら、それらのアンカー及びプラグの構成は、許容できない熱的及び機械的な影響スルーをもたらした。
この例示的な実施形態に示すように、下層マウントアセンブリ114aは、下層マウントアセンブリ114aによって支持構造20に及ぼされる負荷をあたかも三角形の3つの辺の周りで均等に散らすかのように、支持ベース118の周りで互いから離間された3つの二脚ストラットペア、すなわち、二脚ストラットペア150a及び150b(3つ目の二脚ストラットペアは見えていない)(二脚ストラットペア150と総称する)を有することができる。二脚ストラットペア150は、支持ベース118の周りで支持されることができ、支持ベース118は、適所にあるときに、二脚ストラットペア150がミラー12の支持構造20のリブ24と干渉しないように構成される。例えば、図示のように、支持ベース118は6側面構成を有し、二脚ストラットペア150a、150b、及び3つ目のペア(図示せず)の各々が、支持ベース118の1つおきの側面で支持される。この構成において、支持ベース118は、二脚ストラットペア150を支持した支持ベース118の側面がリブ24のうちの少なくとも一部に対して横向きであるように、ミラー12の支持構造20に対して位置付けられることができ、斯くして、二脚ストラットペア150の各々の各二脚ストラットが、リブ24と接触及び干渉することなく、リブ24同士の間で下方に格子状支持構造20内に延在して節32と篏合及び固定することが可能にされる。
二脚ストラットペア150は各々、長手方向軸を各々が持つ第1のストラット及び第2のストラット(例えば、図4Bの二脚ストラットペア150aの第1のストラット152及び第2のストラット172を参照)を有し得る。第1及び第2のストラット152及び172は、一端で支持ベース118に固定され得るとともに、これら2つのストラットの長手方向軸が近付き且つ第1及び第2のストラット152及び172の遠位端付近で交差するように、支持ベース118の上面又は下面に対して傾斜して支持ベース118から延在させられる。第1及び第2のストラット152及び172は各々、遠位端(すなわち反対側の端部)でミラー12の支持構造20に固定されることができ、斯くして、下層マウントアセンブリ114aがミラー12に取り付けられる。
より具体的には、二脚ストラットペア150a並びに第1のストラット152及び第2のストラット172のみを参照するに、二脚ストラットペア150aは節32の外表面40に付着し、外表面40が接続表面として機能する。例示的な一実施形態において、二脚ストラットペア150aは、接着剤を用いて節32の外表面40に接着され得る。例示的な一実施形態において、接着剤はエポキシを有し得る。また、二脚ストラットペア150aは、接続表面40の両反対側に付着するように位置決め及びアライメントされ得る。この構成では、これら2つの接続間の水平な力成分を打ち消すことができ、故に、節32に印加される曲げ力(さもなければミラー12の反射表面へと伝達される可能性がある)が最小化あるいは排除され得る。
当業者によって認識されるように、二脚ストラットペア150aに関して記述される構成及び機構は、全てのその他の二脚ストラットペアに同様に適用可能である。
二脚ストラットペア150aは、互いに対して図示のような向きにされた第1のストラット152及び第2のストラット172を有し得る。第1のストラット152は、第1及び第2の端部(すなわち、支持ベース118に近い側の近位端、及びミラー12に近い側の遠位端)を持つ細長いストラットボディ154を有し得る。例示的な一実施形態において、細長いストラットボディ154は、例えばその両端付近に位置するクロスブレード屈曲部156及び158などのクロスブレード屈曲部(フレクシャ)を有するように形成され得る。各クロスブレード屈曲部156及び158は、互いに対して90°の向きの2つのクロスブレード(十字継ぎ手)を有し得るが、この特定の構成は何らの限定も意図していない。クロスブレード屈曲部156及び158は、第1のストラット152の端部付近にねじれ応力及び曲げ応力が殆ど又は全く印加されないことを可能にしながら、軸方向で良好な圧縮強度及び引張強度を提供することができるという意味で、良好なたわみ効率を提供することができる。ストラット内にクロスブレード屈曲部を有することは、ストラットの端部付近に印加される曲げ及びねじれの負荷を効果的に排除するので有利である。本発明の場合、これは、変化する温度環境にシステムが晒されて支持ベース118が熱的に膨張あるいは収縮するときに、節32に印加されるトルク及び曲げを最小化する。節32に印加される曲げ及びねじれの応力を排除することは、熱的な影響スルーをもたらし得る要因の数を削減する。その一方で、クロスブレード屈曲部が当該クロスブレード屈曲部の縦軸に沿って作用する引張荷重又は圧縮荷重のみを与える場合、節32の反対側にもう1つのクロスブレード屈曲部を持つもう1つのストラットを配置することによって、力ベクトルの水平成分を基本的に中和あるいは相殺させることができる。換言すれば、第1のストラット152の両端付近のねじれ応力及び曲げ応力を最小化あるいは実質的に防止することは、ロッドに沿って作用する全ての力が、圧縮又は引張の何れかの力であることを意味し、それにより、節32の外側の接続表面40の周りでミラー12の支持構造20に印加される応力の種類が削減され、故に、ミラー12に与えられる歪みの量が最小化される。クロスブレード屈曲部を有する二脚ストラットペアを設けることは、熱負荷中にミラーに伝達される力をアイソレートすることによって、運動学的ミラーマウントの性能を高めることができる。クロスブレード屈曲部は特定の有利な品質を保有することを示しているが、同一又は同様の性能特性を提供するように使用されることが可能なその他のストラット構成(以下に限られないが、首付きロッド、玉継ぎ手式の端部を持つロッド、ヒンジ、又は様々なロッド状装置を含む)も企図されるので、クロスブレード屈曲部を持つストラットは、何らかの限定として見なされるべきでない。
第1のストラット152、そして特に、細長いストラットボディ154は、例えば金属や金属合金など、如何なる好適な材料で形成されてもよい。例示的な一実施形態において、細長いストラットボディ154はチタンで形成され得る。
第1のストラット152は更に、細長いストラットボディ154の近位端付近にベースマウント160を有することができ、ベースマウント160は更にソケット162を有する。第1のストラット152は、ベースマウント160のソケット162内にピン130を受け入れさせることによって、支持ベース118に結合あるいはその他の方法で固定され得る。ピン130のサイズ及びソケット162のサイズは、ベースマウント160とピン130との間に隙間が設けられるように異なっていてもよい。例えば、この隙間は、0.05インチの定格ギャップを有し得る。この隙間は、液状のシム埋込材(例えば、高い圧縮強度特性を有するエポキシ系材料)を用いて埋められることができ、あるいは換言すれば、ピン130とベースマウント160のソケット162との間の接続又は結合は、硬化された後にストラット152のひずみがないアセンブリを可能にするが、接合が完全に硬化した後にもピントソケットとの間に構造的に安定した負荷経路を可能にする接着剤で充たされ得る。この種のジョイントは、例えばボルト継ぎ手などのその他の伝統的なジョイントによって達成され得ないような、ひずみのない状態の第1のストラット152を可能にする。このアセンブリは有利である。というのは、仮に、支持ベース118へのストラット152の組立てがひずんだ状態を生じさせる場合には、ストラットは名目上、クロスブレード屈曲部でたわみを持つことになり、故に、それらをあまり効率的でないものにし、そして場合によって、ミラーへの曲げ荷重の伝達さえ生じさせ、ミラー歪みの増大をもたらすからである。
第1のストラット152は更に、細長いストラットボディ154の遠位端付近で支持され且つミラー12の支持構造20に固定されるように構成されたマウントパッド164を有することができ、斯くして、下層マウントアセンブリ114aがミラー12に固定される。一実施形態において、マウントパッド164は、接着剤又は接合剤を用いてミラー12の支持構造20に固定されることができ、マウントパッド164が支持構造20に接合される。接着剤又は接合剤は、比較的柔軟であるとともにミラー材料に対して比較的近いCTE整合を持つ高強度エポキシ接着剤を有し得る。具体的な接着剤は、Hysol EA9394、 Hysol EA9309、若しくは3M EC 2216、又はその他を含み得る。
マウントパッド164は、節32の外表面40と形状が一致する又は結合するように構成されたマウント表面166を有し得る。図示した例示的な実施形態において、マウント表面166は、マウントパッド164が接合される節32の円筒形の外表面40と形状が一致して適合する円筒構成を有している。これは、節32の外表面40に対するマウントパッド164の一貫したいっそう強い接合を可能にする。形状が一致することに加えて、マウントパッド164は、第1のストラット152の直線的な取付けを可能にするような角度にされ得る。また、マウントパッド164は、ミラー表面16から特定の距離にある位置で固定され得る。この距離は、最小量の熱誘起ひずみ及びそれによるミラー表面への歪みをもたらすような最適な中立軸高さを与えるように解析計算される。また、マウントパッド164は、負荷経路を、第1のストラット152の軸に沿うように向け、且つマウントパッド164の重心又はマウントパッド164と節32の外表面40との間に生成される接合領域の中心を通るように向けるように、設計され、向き及び形状を定められ得る。負荷経路をこのように向けることにより、ジョイントの強度要件を軽減するように機能し得る効率的な接合ジョイントを形成することができ、故に、接合領域を最小化すること及び接合効率を向上させることが可能になる。
接合領域を縮小することは数多くの利点を提供し、そのうちの1つが、上述のように、(例えば、重量を減らすために)より細くてあまり頑丈でないマウント領域を可能にするいっそう小さい接合面積をもたらす。しかしながら、主たる利点は、これが熱的な影響スルーミラー歪みを被る面積を最小化することにある。
マウントパッド164は、多様な材料で形成され得る。しかしながら、特に有利であるのは、ミラー12、そして特に、ミラー12の支持構造の熱膨張係数に可能な限り近く整合された熱膨張係数を持つ材料からマウントパッド164を形成することである。例示的な一実施形態において、マウントパッド164は、それからミラー12が形成され得る材料のうちの1つである炭化シリコンの熱膨張係数に或る一定範囲で整合するインバー39又はカーペンター合金39として一般的に知られた鉄ニッケル合金で形成され得る。ミラーの熱膨張特性に(可能な範囲で)整合するマウントパッド164の材料の選択は、特に、ミラーが大きい温度差又は大きいバルク温度変化(例えば、宇宙空間で経験され得るような)を被り得る用途で有利であり得る。というのは、大きい温度変化での歪みはミラー表面の望ましくない歪みを生じさせ得るからである。
二脚ストラットペアの個々のストラットのマウントパッド164及びクロスブレード屈曲部は、支持ベース118(これは異なる材料で形成される)及び二脚ストラットペアに付随する熱膨張力をミラーに伝達することなく、支持ベース118の熱膨張及び収縮を可能にする。二脚ペアを使用して支持ベース118をミラー12に取付けることは、これら2つの構造を熱的に分離するように機能し、代わってこれが、ミラー表面への熱的な影響スルーを抑制するように機能する。上述のようにマウントパッド164を配置する目的での中立な軸高さの解析計算はまた、マウントパッド164の最適な配置位置を決定するときに、熱的な影響スルーを考慮に入れ得る。
マウントパッド164は、例えばボルト、ネジ、接着剤などの留め具又は結び付け手段を用いて、細長いストラットボディ154に結合され得る。図示した実施形態において、マウントパッド164は、ボルト168を用いて細長いストラットボディ154に結合されている。
なお、第2のストラット172は、第1のストラット152と同じ又は同様の機構を有することができ、また、同じ又は同様の機能を提供することができる。実際、第2のストラット172は、近位端及び遠位端付近にそれぞれクロスブレード屈曲部176及び178を有する細長いストラットボディ174を有し得る。細長いストラットボディ174の近位端付近に、ソケット182を有するベースマウント180が形成あるいはその他の方法で配置され得る。細長いストラットボディ174の遠位端付近に、マウント表面186を有するマウントパッド184が形成あるいはその他の方法で配置され得る(例えば、ボルト188を用いてそれに結合される)。
上述のように、二脚ストラットペア150aは、第1及び第2のストラット152及び172が節32の周りで互いに反対側に取り付けられるように、ミラー12の支持構造20にマウントあるいはその他の方法で結合され得る。また、認識されるように、マウントパッド164及び184それぞれの取付け深さDは、下層マウントアセンブリ114a−cによって異なる性能特性が提供されることをもたらし得る。一観点において、取付け深さDは、ミラー12の反射表面における歪みの程度に影響を及ぼし得る。なお、取付け深さDは、マウントパッド164及び184それぞれのマウント表面166及び186上の中心点の、ミラーの反射表面の下側からの距離として参照され得る。なお、また、下層マウントアセンブリ114a−cは、取付け深さDにかかわらず、従来の関係するマウント対策よりもミラー表面歪みを低減することを提供する。
ミラー表面歪みを抑制することにおける下層マウントアセンブリ114a−cの性能は、二脚ストラットペア150aのマウントパッド164及び184が、反射表面16の下側すなわち背面に直接的に接するところから、反射表面の下側から幾らかの距離だけ離れたところまで、の範囲に及ぶ取付け深さDを有する最適な中立軸高さに配置されるときに向上され得る。図示した実施形態においては、反射表面16の下側から0と1.0インチとの間である取付け深さDで性能向上を達成することができ、およそ0.6インチの取付け深さDで最適性能が生じ得る。当業者が認識するように、これは何らの限定も意図しておらず、具体的なミラーの幾何学構成、ミラーマウント機構、及びマウント用のハードウェアに応じて、異なるミラーアセンブリでは他の取付け深さ距離が最適であるとして決定され得る。
据え付けにおいては、様々な二脚ストラットペアのマウントパッドを互いに対して、及び支持構造に対して、適正に位置決め及びアライメントするとともに、マウントパッドをミラーの支持構造に固定するのに使用される接着剤又は接合剤の硬化中にこれを維持することが有利であり得る。また、接着剤又は接合剤が硬化する間、コンポーネントを実効的に浮かせるようにして、組み立てられるコンポーネントの全てを適所に保持することが可能な無重力構成を用いてこれを行うことが有利であり得る。この構成では、コンポーネントを、それらへの荷重またはひずみが殆ど又は全く存在しないようにして保持することができる。これを行う際、コンポーネント間の応力、特に、二脚ストラットペアとミラーの支持構造との間の応力が低減あるいは排除され、この構成で接着剤又は接合剤を硬化させる。可能な限り小さい応力での据え付け又は組み立ては、ミラー自体に印加される応力を可能な範囲で抑制あるいは排除するために望ましいものであり得る。この構成は、例えば、アセンブリ治具を用いて達成され得る。
従来の一部のミラーマウントアセンブリは、ミラー支持構造の中空構成の節(例えば、上述のミラー12の節32など)の内部の容積又は空間に収まるように設計された挿入部又はプラグを有する。そのようなマウントアセンブリは、材料にかかわらず、曲げ力又はねじれ力を打ち消すことができないので、ミラー表面の比較的大きい歪みを許す傾向にある。例えば、この種のマウントアセンブリでは、−30℃のバルク温度変化の下で、(0.6328ミクロンの波長で)0.043波RMS(二乗平均平方根)の波面誤差(wave front error;WFE)を持つミラーアセンブリをもたらすことが珍しくない。
一方、本発明の運動学的ミラーマウントを使用するミラーアセンブリは、−30℃のバルク温度変化の下で、(0.6328ミクロンの波長で)0.0041と0.0085波RMSとの間のWFEを達成し得る(これは、マウントパッドをおよそ0.6インチの取付け深さDで配置した)。プラグ又は挿入部を用いる従来のミラーマウントと比較して、ここに説明された運動学的ミラーマウントは、例えば取付け深さDなどの様々な要因に応じて、75%と90%との間で歪みの少ないミラー表面を提供するように構成され得る。
ここでは具体的に説明しないが、支持ベース118の周りで支持される残りの二脚ストラットペアの各々も、二脚ストラットペア150aと同様にミラー12に固定されて動作するように構成され得る。従って、下層マウントアセンブリ内の各二脚ストラットペアが、支持ベース118及びミラー12を適切なアライメントで支持するように、そして更には、ミラー12に印加される力を等化してミラー表面の歪みを最小化するように構成及びアライメントされ得る。
図3−4A及び7A−7Bを参照するに、下層マウントアセンブリ114aは更に、一対の調節可能ストラット(例えば、調節可能ストラットペア190参照)を有することができる。調節可能ストラットペア190は、第1の調節可能ストラット194a及び第2の調節可能ストラット194bを有し得る。調節可能ストラットペア190は、下層マウントアセンブリ114a及びミラー12を計測構造、光学ベンチ、又は別の典型的なミラー支持構造(図示せず)に取り付けるように機能することができる。一態様において、調節可能ストラットペア190は、ミラー12の位置変更及び再焦点合わせを支援し得る。
調節可能ストラットペア190は、ミラー12に対する支持ベース118の動き及び位置変更を容易にする。調節可能ストラット194a及び194bは、支持ベース118上に位置する角度付けられたマウント表面142及び144に取り付けられ得る。調節可能ストラット194a及び194bは、ねじれ及び曲げの応力を抑制するために屈曲型のロッドを有し得る。一部のミラーアセンブリの実施形態において、ミラーの幾何学構成、並びにミラーを支持する運動学的ミラーマウント及び下層マウントアセンブリの位置は、特に様々な二脚ペアの位置で、ミラーに作用する力を均等にバランスしないものにし得る。例えば、一部の実施形態は、ミラー12の中心に対して最も近くに位置する二脚ペアにおいて、より高い応力集中を示すことがある。
支持ベース118に対する調節可能ストラットペア190の接続位置は、支持ベース118の中心に対して或る一定距離だけ半径方向に外に移動されることができ、それらの選択的な調節が、下層マウントアセンブリ114aの各二脚ストラットペアに及ぼされる力を等しくするように機能する。
実際、様々な二脚ストラットペアの各々における力を均衡させるため、支持ベース118に取り付けられた調節可能ストラットが、二脚ストラットペア同士の間での力の等化を容易にする位置へと、半径方向に外側に移動され得る。例示的な一実施形態において、調節可能ストラット194a及び194bは、何らかの必要距離又は所望距離だけ外に移動され得る。調節可能ストラット194a及び194bは更に、反対側の端部で、AMS、望遠鏡フレーム、又はミラー筐体(図示せず)に結合あるいはその他の方法で固定され得る。
図8を参照するに、本発明の例示的な他の一実施形態に従って形成された下層マウントアセンブリ214が示されている。下層マウントアセンブリ214は、上述の下層マウントアセンブリ114aと多くの点で同様である。しかしながら、この特定の実施形態に示すように、下層マウントアセンブリ214は、個々の二脚ストラット(ストラット252及びストラット272参照)がブリッジ部材274で共に結合された複数の二脚ストラットペア(二脚ストラットペア250参照(その他のものは見えていない))を有し得る。ブリッジ部材274は、下層マウントアセンブリ218とインタフェースし且つそれに結合されるように構成されることができ、それによってまた、個々のストラット252及び272を下層マウントアセンブリ218に結合している。ブリッジ部材274は、個々のストラット252及び272に印加して、それらの間で直接的に力を伝達するように機能し得る。具体的には説明しないが、二脚ストラットペア250は、ここに説明されたその他の二脚ストラットの実施形態と同様に機能することができる。
図9A−9Cを参照するに、本発明の一態様に従った調節可能ストラット194の例示的な一実施形態が示されている。調節可能ストラット194の機構及び属性に関する如何なる説明も、幾つもの組み合わせにおける最適な運動学的ミラーマウントの様々な調節可能ストラットの全てに同様に適用され得る。さらに、一部の実施形態において、ストラット194は、2つの同様に構成された端部を有することができ、第1の端部に関する説明は第2の端部に同様に適用可能であり得る。
調節可能ストラット194は、運動学的なアイソレーションと適正なアライメントとを提供できることを可能にするマウントインタフェースを用いて構造的な支持を提供し得る。調節可能ストラット194の端部は、調節可能ストラット194の一端を支持ベース(図示せず)に、そして、調節可能ストラット194の他端をミラー支持構造(図示せず)に取り付け、あるいはその他の方法で結合する取付け手段を備えたハウジング210を有し得る。
ハウジング210は、調節可能ポスト230の端部を受けるように構成され得る。調節可能ポスト230は、球形のボール端と、屈曲ロッドと、当該ポストの高精度調節のための細目ネジを有するネジ山付きのポスト部とを備えた構成を持つように示されている。調節可能ポスト230のネジ山付きのポスト部は、ストラット本体260に結合されるネジ山付きの内面を持つストラット接続金具220によって、ストラット本体260に結合され得る。その一方で、調節可能ポストの球形ボール端は、ハウジング210の円錐形の内表面に結合され、円錐形のワッシャ232及びクランプナット240によって所望の位置に保持され得る。この結果として得られるボールジョイント(玉継ぎ手)は、支持ベースに付随する複数の異なるストラットの各々が調節されるときに、ストラット端がそれらそれぞれのハウジングの内部で自由に回転することを可能にする。ストラットが個別に調節されるとき、ストラット内に小さい角度ミスアライメントが誘起される。このボールジョイントは、角度ミスアライメントが、ミラーへと伝わって波面誤差の増大として現れ得るストラット内のモーメントを誘起することを禁止する。
さらに、調節可能ポスト230は、屈曲部として作用する首付きの薄い部分を有し得る。一次ミラーアセンブリが異なる温度環境に晒されるとき、一次ミラーアセンブリがマウントされる構造物と支持ベースとの間の材料不整合が、調節可能ストラットにひずみを生じさせ得る。このような熱的な材料不整合によるひずみは、ミラーに伝わって波面誤差の増大として現れ得る。調節可能ポスト230の首付き屈曲部は、このひずみを吸収して一次ミラーアセンブリの運動学的アイソレーションを高めるように作用することができ、故に、この熱的な歪み及び許容できない波面誤差のおそれが軽減される。
調節可能ポスト230の球形ボール端とハウジング210の円錐形の内面とが、ボールジョイントを形成し、このボールジョイントが多様な方法でロックされ得る。例示的な一実施形態において、クランプナット240がねじ込まれ得る。しかしながら、例えば本発明の用途でなど、厳しい波面誤差許容度を有する一次ミラーでは、クランプナット240をねじ込むことによって生じるボールジョイント内の残留モーメントが、ミラーに過度の歪みを生じさせ得る。故に、他の例示的な一実施形態において、ハウジング210は、接合剤注入穴250、及び調節可能ポスト230のボール端とハウジング210との間の小さい隙間とを備え得る。これは、ボールジョイントを締め付けることに代えて、ボールジョイントを接着する余地を可能にする。この接合プロセスは、残留モーメントを導入することなく、接続金具に必要な連結硬さを作り出す能力を可能にする。この2つ目の方法において、クランプナット240は、位置を保つために頼られるのではなく、接合を保つために使用され得る。
さらに、ストラット194の調節可能な細かさが、調節可能ポスト230のネジ山付き部分によって高められ得る。調節可能ポスト230は、ストラット本体260に結合され得るストラット接続金具220の内外で回転することが可能な、細かいネジ山付きのシャフトを有し得る。これは、ストラット194の長さの高精度制御を提供する。ストラット接続金具220は、所望のストラット長が達成されたときに調節可能ポスト230を適所に係止するスプリット型クランプを備え得る。システムとして、支持ベースに付随する調節可能ストラットは、一次ミラーアセンブリに並進及び回転の調節機能を提供し、一次ミラーのアライメントを容易にする。
理解されるべきことには、開示された本発明の実施形態は、ここに開示された特定の構造、処理工程、又は材料に限定されず、当業者によって認識されるその均等範囲に拡張される。やはり理解されるべきことには、ここで使用されている用語は、単に特定の実施形態を説明する目的で使用されており、限定の意図はない。
本明細書の全体を通じての“一実施形態”又は“或る実施形態”の参照は、その実施形態に関連して記載される特定の機構、構造、又は特性が、本発明の少なくとも1つの実施形態に含まれることを意味する。故に、本明細書の全体の様々な箇所で“一実施形態において”又は“或る実施形態において”という言い回しが現れることは、必ずしも全てが同じ実施形態に言及しているわけではない。
ここで使用されるとき、複数の品目、構造要素、組成要素、及び/又は材料が、便宜上、共通のリストにて提示され得る。しかしながら、それらのリストは、そのリストの各メンバーが別個の独特のメンバーとして個々に特定されているかのように解釈されるべきである。故に、そのようなリストの何れの個々メンバーも、反することの示唆がない限り、単に共通のグループにて提示されていることに基づいて、同じリスト内のその他のメンバーの事実上の等価物として解釈されるべきでない。さらに、ここでは、本発明の様々な実施形態及び例が、その様々な構成要素に関する代替とともに言及されることがある。理解されるように、それらの実施形態、例、及び代替は、互いに事実上の等価物と見なされるべきでなく、本発明の別個の自立した表現と見なされるべきである。
また、記載された機構、構造、又は特性は、1つ以上の実施形態において好適に組み合わされ得る。以上の説明においては、本発明の実施形態の十分な理解を提供するため、例えば長さ、幅、形状の例など、数多くの具体的詳細事項が提供されている。しかしながら、当業者が認識するように、本発明は、これらの具体的詳細事項のうちの1つ以上を用いずに実施されてもよいし、あるいは、他の方法、構成要素、材料などを用いて実施されてもよい。また、周知の構造、材料、又は処理については、本発明の態様を不明瞭にすることがないよう、詳細に示したり説明したりしていない。
以上の例は、1つ以上の特定の用途において本発明の原理を例示したものであり、当業者には明らかなように、発明能力の発揮なしで、本発明の原理及び概念を逸脱することなく、実装の形態、用法、及び細部における数多くの変更が為され得る。従って、以下に記載される請求項によるものを除いて、本発明を限定する意図はない。

Claims (20)

  1. 調節可能なミラーアセンブリであって、
    反射表面及び支持構造を有するミラーと、
    前記ミラーを支持するよう機能する運動学的ミラーマウントであり、
    少なくとも1つの支持ベース、
    前記支持ベースに結合された複数の二脚ストラットペアであり、各二脚ストラットペアが第1及び第2のストラットを有する複数の二脚ストラットペア、並びに
    前記第1及び第2のストラットの各々について支持されるマウントパッドであり、前記ミラーの前記支持構造に固定されるマウントパッド、
    を有する運動学的ミラーマウントと、
    を有するミラーアセンブリ。
  2. 前記ミラーの前記支持構造が更に、
    複数の節を有する単一構成の支持リブの格子材であり、複数のマウント表面を有する格子材
    を有する、請求項1に記載のミラーアセンブリ。
  3. 前記支持ベースと調節可能なミラー構造との間に結合された調節可能ストラットであり、前記二脚ストラットペアの各々間で負荷を等化するために前記支持ベースに結合された調節可能ストラット、
    を更に有する請求項1に記載のミラーアセンブリ。
  4. 当該ミラーアセンブリは、前記ミラーの熱的な歪み波面誤差を、−30℃のバルク温度変化にわたって、0.6328ミクロンの波長で、二乗平均平方根で0.004波と0.009波との間にする、請求項1に記載のミラーアセンブリ。
  5. 前記支持構造は、アルミニウムのハニカムコアを挟み込んだ準等方性の表面シートを有する、請求項1に記載のミラーアセンブリ。
  6. 前記複数の二脚ストラットペアは、クロスブレード屈曲部と、首付きロッドと、ボールジョイントが一端に取り付けられたロッドと、から成る群から選択されたストラット構成を有する、請求項1に記載のミラーアセンブリ。
  7. 前記複数の二脚ストラットペアは、クロスブレード屈曲部を持つストラットを有する、請求項1に記載のミラーアセンブリ。
  8. 前記マウントパッドは、負荷経路が前記マウントパッドと前記ミラーの前記支持構造との間の接合領域の重心を通る向きにされるように、前記二脚ストラットペアに結合されている、請求項1に記載のミラーアセンブリ。
  9. 前記節は、内表面と外表面とを持つ中空の幾何学形状を有し、前記外表面が、前記マウントパッドの取付け表面として機能する、請求項2に記載のミラーアセンブリ。
  10. 前記マウントパッドは、対応する前記節の外側の前記取付け表面の表面構成と一致する表面構成を有する、請求項9に記載のミラーアセンブリ。
  11. 前記ミラーは炭化シリコンミラーを有する、請求項1に記載のミラーアセンブリ。
  12. 前記マウントパッドは低熱膨張鉄ニッケル合金を有する、請求項1に記載のミラーアセンブリ。
  13. 前記複数の二脚ストラットペアは、液状のシム埋込材を用いて前記支持ベースに結合されている、請求項1に記載のミラーアセンブリ。
  14. 前記マウントパッドは、前記ミラーに関して解析計算された最適な中立軸高さの位置で、前記ミラーの前記支持構造に固定されている、請求項1に記載のミラーアセンブリ。
  15. ミラーを支持する方法であって、
    反射表面と該反射表面を支持する支持構造とを有するミラーを取得することと、
    前記ミラーを支持するよう機能する複数の下層マウントアセンブリを有する運動学的ミラーマウントに、前記ミラーを取り付けることと
    を有し、
    前記下層マウントアセンブリは各々、
    支持ベースと、
    前記支持ベースに結合された複数の二脚ストラットペアであり、各二脚ストラットペアが第1及び第2のストラットを有する複数の二脚ストラットペアと、
    前記第1及び第2のストラットの各々について支持されるマウントパッドであり、前記ミラーの前記支持構造に固定されるマウントパッドと
    を有する、
    方法。
  16. 前記マウントパッドは更に、前記ミラーの前記支持構造の、対応する取付け表面の構成と一致する構成を持つ表面を有する、請求項15に記載の方法。
  17. 複数の前記マウントパッドを互いに対してアライメントすること、を更に有する請求項15に記載の方法。
  18. 前記運動学的ミラーマウントは、熱的な影響スルー歪みの波面誤差をRMSで0.009波と0.004波との間にする、請求項15に記載の方法。
  19. 前記ミラーは炭化シリコンミラーを有する、請求項15に記載の方法。
  20. 前記マウントパッドは低熱膨張鉄ニッケル合金で形成される、請求項15に記載の方法。
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