JP2016529502A5 - - Google Patents

Description

図２において、嗅気型プローブ１０は、いわゆるカーペットプローブで、大きなサイズの吸引プレート３６を備える。吸引ガスライン１２は、プレートの中央部から分岐し、その分岐部に設けられた吸引ガス入口１６を備える。環状の隙間３８が計測ガスフィルタ２８の半径方向外側（外周側）に形成されている。計測ガス流は、吸引ガス流より放射状に分岐し、計測ガスフィルタ２８を内側から外側へ通過して、環状の隙間を通じ、周方向に計測ガスライン１４へ供給される。該計測ガスラインは、ガス輸送できるよう、隙間３８と連通されている。計測ガスライン１４は、流れを制限する流れ絞り弁４０を備え、ガス検出器の一部をなす真空ポンプ４２に接続されている。
なお、本発明は、実施の態様として以下の内容を含む。
〔態様１〕
ガス漏洩検出用の嗅気型プローブ（１０）であって、
一端に吸引ガス入口（１６）を備え、他端に吸引装置（２０）に接続可能な吸引ガス出口（１８）を備えた吸引ガスライン（１２）と、
前記吸引ガスライン（１２）から分岐し、一端に分岐部（２６）をなす計測ガス入口（２２）を備え、他端にガス検出器に接続可能な計測ガス出口（２４）を備えた計測ガスライン（１４）と、を有し、
前記計測ガス入口（２２）は、計測ガスフィルタ（２８）を備え、吸引ガスライン（１２）を通過して吸引ガス出口（１８）へ導かれる吸引ガス流が前記計測ガスフィルタ（２８）の表面に沿って導かれるように、該フィルタが配置されている、
嗅気型プローブ（１０）。
〔態様２〕
態様１に記載の嗅気型プローブ（１０）であって、前記計測ガスフィルタ（２８）が分岐部（２６）の領域において、前記吸引ガスライン（１２）の筒状の内壁を構成する、嗅気型プローブ。
〔態様３〕
態様１または２に記載の嗅気型プローブ（１０）であって、前記計測ガスフィルタ（２８）が円筒形状を有する嗅気型プローブ。
〔態様４〕
態様３に記載の嗅気型プローブ（１０）であって、環状の隙間（３８）が前記計測ガスフィルタ（２８）の半径方向外側に設けられている嗅気型プローブ。
〔態様５〕
態様１〜４のいずれか一態様に記載の嗅気型プローブ（１０）であって、吸引ガス流は前記吸引ガスライン（１２）を通じ、軸方向に流れ、前記計測ガスフィルタ（２８）には、少なくとも部分的に、半径方向に、内側から外側へガスが流れる、嗅気型プローブ。
〔態様６〕
態様１〜５のいずれか一態様に記載の嗅気型プローブ（１０）であって、前記分岐部（２６）の上流において、流れ方向への吸引ガス流の流量は、２０００ｓｃｃｍ〜４０００ｓｃｃｍ、特に好ましくは約３０００ｓｃｃｍである、嗅気型プローブ。
〔態様７〕
態様１〜６のいずれか一態様に記載の嗅気型プローブ（１０）であって、計測ガス流の体積流量は、２００ｓｃｃｍ〜４００ｓｃｃｍ、好ましくは約３００ｓｃｃｍである嗅気型プローブ。
〔態様８〕
態様１〜７のいずれか一態様に記載の嗅気型プローブ（１０）であって、計測ガス流の体積速度は、吸引ガス流の０．０１〜０．５倍、好ましくは約０．１倍である、嗅気型プローブ。
〔態様９〕
態様１〜８のいずれか一態様に記載の嗅気型プローブ（１０）であって、前記計測ガスフィルタ（２８）が、孔径１μｍ 以下の細孔フィルタである、嗅気型プローブ。
〔態様１０〕
態様１〜９のいずれか一態様に記載の嗅気型プローブ（１０）であって、前記吸引ガス入口（１６）が入口フィルタ（３２）を備える嗅気型プローブ。
〔態様１１〕
態様１０に記載の嗅気型プローブであって、前記ガス入口フィルタ（３２）が約１０μｍの孔径を有する嗅気型プローブ。
〔態様１２〕
態様１〜１１のいずれか一態様に記載の嗅気型プローブ（１０）であって、前記吸引ガスライン（１２）が流れ方向に見て、前記分岐部（２６）の下流側に出口フィルタ（３４）を有する嗅気型プローブ。
〔態様１３〕
態様１２に記載の嗅気型プローブ（１０）であって、前記出口フィルタ（３４）の孔径が約１０μｍである嗅気型プローブ。