JP2016516215A - 高解像度ディスプレイのためのmemsシャッターアセンブリ - Google Patents
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Abstract
Description
本特許出願は、本願の譲受人に譲渡され、参照により本明細書に明確に組み込まれている、2013年3月13日に出願された「MEMS SHUTTER ASSEMBLIES FOR HIGH-RESOLUTION DISPLAYS」と題する米国実用新案出願第13/800,459号の優先権を主張する。
22 アレイドライバ
27 ネットワークインターフェース
28 フレームバッファ
29 ドライバコントローラ
30 ディスプレイアレイ
40 ディスプレイデバイス
41 筐体
43 アンテナ
45 スピーカ
46 マイクロフォン
47 送受信機
48 入力デバイス
50 電源
52 条件付けハードウェア
100 直視型MEMS方式ディスプレイ装置、ディスプレイ装置、装置
102 光変調器、色固有光変調器
102a 光変調器
102b 光変調器
102c 光変調器
102d 光変調器
104 画像、新規画像、カラー画像、画像状態
105 ランプ
106 画素、カラー画素
108 シャッター
109 開口
110 書込み許可相互接続、相互接続、スキャンライン相互接続
112 データ相互接続、相互接続
114 共通相互接続、相互接続
120 ホストデバイス
122 ホストプロセッサ
124 環境センサ、環境センサモジュール、センサモジュール
126 ユーザ入力モジュール
128 ディスプレイ装置
130 スキャンドライバ、ドライバ、書込み許可電圧源
132 データドライバ、ドライバ、データ電圧源
134 コントローラ、デジタルコントローラ回路
138 共通ドライバ、ドライバ
140 ランプ
142 ランプ
144 ランプ
146 ランプ
148 ランプドライバ、ドライバ
150 表示素子アレイ、アレイ
200 シャッター式光変調器、光変調器、シャッターアセンブリ
202 シャッター
203 表面
204 アクチュエータ
205 コンプライアント電極ビームアクチュエータ、アクチュエータ
206 コンプライアントロードビーム、ロードビーム、コンプライアント部材、ビーム
207 スプリング
208 ロードアンカ
211 開口穴
216 コンプライアント駆動ビーム、駆動ビーム、ビーム
218 駆動ビームアンカ、駆動アンカ
220 ローラー式光変調器
250 光タップ
270 エレクトロウェッティング式光変調アレイ
300 制御マトリクス
301 画素
302 弾性シャッターアセンブリ、シャッターアセンブリ
303 アクチュエータ
304 基板
306 スキャンライン相互接続
307 書込み許可電圧源
308 データ相互接続
309 データ電圧源、Vdソース
310 トランジスタ
312 キャパシタ
320 シャッター式光変調器アレイ、画素アレイ、アレイ、光変調器アレイ
322 開口層
324 開口
400 二重アクチュエータシャッターアセンブリ、シャッターアセンブリ
402 アクチュエータ、シャッター開アクチュエータ、静電アクチュエータ
404 アクチュエータ、シャッター閉アクチュエータ、静電アクチュエータ
406 シャッター
407 開口層
408 アンカ
409 開口、方形開口
412 シャッター開口、開口
416 重複
500 ディスプレイ装置、複合ディスプレイ装置
502 シャッター式光変調器、シャッターアセンブリ、シャッターアセンブリアレイ
503 シャッター
504 透明基板、基板
505 アンカ
506 後ろ向き反射層、反射開口層、反射膜
508 表面開口、開口
512 ディフューザ
514 輝度増強膜
516 バックライト、平面光ガイド、光ガイド
517 光リダイレクタまたはプリズム
518 ランプ、光源
519 反射体
520 前向き反射膜、膜
521 光線
522 カバープレート
524 ブラックマトリクス
526 ギャップ
527 スペーサ
528 粘着シール
530 流体
532 板金または成形プラスチックアセンブリブラケット、アセンブリブラケット
536 反射体
600 複合シャッターアセンブリ、シャッターアセンブリ
601 シャッター
602 コンプライアントビーム、ビーム
603 基板
604 アンカ構造体、アンカ、アンカ領域
605 第1の機械層、機械層
606 開口層
607 導体層
609 第2の機械層、機械層
611 封入誘電体
613 犠牲層
614 下にある導電面
700 シャッターアセンブリ
701 第1の犠牲材料
702 開きまたはビア
703 型、犠牲型
705 第2の犠牲材料
708 下水平レベル、下水平面
709 垂直な側壁
710 上水平レベル、上水平面
712 シャッター
714 アンカ
716 コンプライアントスプリングビーム、側壁ビーム
718 コンプライアントアクチュエータビーム、側壁ビーム、コンプライアントビーム、コンプライアント駆動ビーム、ビーム
720 コンプライアントアクチュエータビーム、側壁ビーム、コンプライアントビーム、コンプライアントロードビーム、ビーム
724 ポイント、分離ポイント
725 開口層
726 基板
800 シャッターアセンブリ
802 シャッター
804 基板
806 ロードビーム
808 アンカ
810 駆動ビーム
812 シャッターの近位のレベル
814 シャッターの遠位のレベル
815 遠位のレベルの端部
816 側壁
818 光遮断層
820 開口
920 犠牲材料の第1の層
922 凹部
924 犠牲材料の第2の層
926 凹部
928 凹部
930 凹部
932 構造材料の層、構造材料の第1の層
934 犠牲材料の第3の層
936 凹部
938 構造材料の第2の層
1000 シャッターアセンブリ
1002 ロードビーム
1004 シャッターの遠位のレベル
1005 近位のレベルの端部
1006 シャッター
1007 ロードアンカ
1008 シャッターの近位のレベル
1010 駆動ビーム
1018 光遮断層
1102 透明基板
1104 開口
1120 犠牲材料の第1の層
1122 凹部
1124 犠牲材料の第2の層
1125 凹部
1126 構造材料の第1の層
1128 犠牲材料の第3の層
1130 構造材料の第2の層
1200 シャッターアセンブリ
1202 駆動ビーム
1204 側壁
1206 シャッター
1208 ロードアンカ
1302 透明基板
1304 開口
1318 光遮断層
1320 犠牲材料の第1の層
1322 凹部
1324 犠牲材料の第2の層
1326 凹部
1328 凹部
1329 凹部
1330 構造材料の層
1400 シャッターアセンブリ
1404 シャッター
1406 突出部
1408 シャッターキャップ
1410 アンカ
1412 アクチュエータ
1450 犠牲材料の第1の層
1452 犠牲材料の第2の層
1454 基板
1456 アンカの型の凹部
1458 アクチュエータの型の凹部
1460 構造材料の第1の層
1462 犠牲材料の第3の層
1464 凹部
1466 メサ
1468 構造材料の第2の層
1500 シャッターアセンブリ
1502 犠牲材料の3つの層を含む型
1504 シャッター
1506 基板
1508 ロードビーム
1510 駆動ビーム
1512 静電アクチュエータ
1514 開口
1516 遮光材料の層
1518 近位の光遮断レベル
1520 遠位の光遮断レベル
1522 アンカ
1524 側壁
1600 シャッターアセンブリ
1604 シャッター
1606 基板
1608 ロードビーム
1610 駆動ビーム
1612 静電アクチュエータ
1614 開口
1616 遮光材料の層
1618 シャッター開口
1620 上部光遮断層
1622 アンカ
1632 犠牲材料の第1の層
1634 犠牲材料の第2の層
1636 凹部
1638 凹部
1640 凹部
1642 犠牲材料の第3の層
1644 凹部
1700 ディスプレイ装置
1701 シャッターアセンブリ
1702a シャッター
1702b シャッター
1703a 近位のレベル
1703b 近位のレベル
1704a 遠位のレベル
1704b 遠位のレベル
1705a 駆動ビーム
1705b 駆動ビーム
1706 基板
1707 開口
1708a 内部光遮断部
1708b 内部光遮断部
1709a シャッターの側壁
1709b シャッターの側壁
1710a 外部光遮断部
1710b 外部光遮断部
1711 シャッターの側壁
1712 光
1714a 静電アクチュエータのロード電極
1714b 静電アクチュエータのロード電極
1715 中央ビーム
1818 光遮断層
1820 犠牲材料の第1の層
1822a 凹部
1822b 凹部
1824 犠牲材料の第2の層
1825 凹部
1826 凹部
1827 凹部
1828 凹部
1829 凹部
1830 構造材料の第1の層
1832 犠牲材料の第3の層
1834 構造材料の第2の層
Claims (20)
- 基板と、
前記基板の上で支えられる電気機械システム(EMS)ディスプレイ要素とを備える装置であって、前記EMSディスプレイ要素が、
第1のアンカに結合された第1のビーム電極と、
作動ギャップを横切って前記第1のビーム電極と対向し、第2のアンカに結合された第2のビーム電極であって、
前記第1および前記第2のアンカが、前記基板の上で前記第1および前記第2のビーム電極を支え、それによって、前記作動ギャップにわたる電圧の印加に応答して、前記第1および前記第2のビーム電極の少なくとも一方が、前記第1および前記第2のビーム電極の他方に向かって変形する、第2のビーム電極と
を含む静電アクチュエータと、
前記静電アクチュエータが作動すると、前記第2のアンカに最も近いシャッターの端部が、前記第1および前記第2のビーム電極の一方の少なくとも一部分の上または下に進むように、前記第2のビーム電極に接続されたシャッターとを含む、装置。 - 前記シャッターが、
前記基板に実質的に平行な近位のレベルと、
前記基板に実質的に平行な遠位のレベルとを含み、前記遠位のレベルが、前記近位のレベルが前記基板から離隔されるより大きい距離だけ前記基板から離隔される、請求項1に記載の装置。 - 前記第1のアンカと、前記第1のアンカに最も近い近位のシャッターレベルの端部との間の距離が、前記第1のアンカと、前記第1のアンカに最も近い遠位のシャッターレベルの端部との間の前記距離より小さく、前記第2のビーム電極が、前記遠位のシャッターレベルにおいて前記シャッターに接続する、請求項2に記載の装置。
- 前記第1のアンカと、前記第1のアンカに最も近い前記近位のシャッターレベルの端部との間の前記距離が、前記第1のアンカと、前記第1のアンカに最も近い前記遠位のシャッターレベルの端部との間の前記距離より小さく、前記第2のビーム電極が、前記近位のシャッターレベルにおいて前記シャッターに接続する、請求項2に記載の装置。
- 前記第2のビーム電極が、前記近位のシャッターレベルと前記遠位のシャッターレベルとを接続する前記シャッターの側壁において前記シャッターに接続する、請求項2に記載の装置。
- 前記第2のビーム電極が、前記近位のシャッターレベルと前記遠位のシャッターレベルとを接続する前記シャッターの前記側壁に接続し、前記側壁を含む、請求項5に記載の装置。
- 第2の静電アクチュエータに結合され、前記シャッターの方向と反対方向に作動するように構成された第2のシャッターをさらに備え、前記シャッターおよび前記第2のシャッターが、ともに、前記基板上の光遮断層内に画定された共通の光通過領域を選択的に遮るように構成される、請求項1に記載の装置。
- 前記シャッターおよび前記第2のシャッターの各々が、前記基板に実質的に平行な上部および下部の光遮断レベルを含み、前記第1および前記第2のシャッターが光遮断状態にあるときに、前記第1および前記第2のシャッターの前記上部光遮断レベルが、前記第1および前記第2のシャッターの前記下部光遮断レベルが互いに最も近い位置から横にオフセットした位置において互いに最も接近するように、前記第1および前記第2のシャッターが構成される、請求項7に記載の装置。
- 前記シャッターおよび前記第2のシャッターの部分が、電位差が前記シャッターと前記第2のシャッターとにわたって印加されると、前記シャッターおよび前記第2のシャッターが互いに引き寄せられて前記光遮断状態になるように、第3の静電アクチュエータの対向する電極として働くように構成される、請求項7に記載の装置。
- 前記シャッターと前記第2のシャッターとの間に配置され、前記シャッターおよび前記第2のシャッターに共通の静電力を加えるように構成された中央静電アクチュエータをさらに備える、請求項7に記載の装置。
- 前記EMSディスプレイ要素を含むディスプレイと、
前記ディスプレイと通信するように構成され、画像データを処理するように構成されたプロセッサと、
前記プロセッサと通信するように構成されたメモリデバイスとをさらに備える、請求項1に記載の装置。 - 前記ディスプレイに少なくとも1つの信号を送るように構成されたドライバ回路をさらに備え、
前記プロセッサが、前記ドライバ回路に前記画像データの少なくとも一部分を送るようにさらに構成される、請求項11に記載の装置。 - 前記プロセッサに前記画像データを送るように構成された画像ソースモジュールをさらに備え、前記画像ソースモジュールが、受信機、トランシーバ、および送信機のうちの少なくとも1つを備える、請求項11に記載の装置。
- 入力データを受信し、前記入力データを前記プロセッサに通信するように構成された入力デバイスをさらに備える、請求項11に記載の装置。
- ディスプレイ要素を製造する方法であって、
ディスプレイ要素アンカおよび静電アクチュエータを作製するために形成された犠牲型を基板上に設けるステップと、
前記犠牲型の上に構造材料の第1の層を堆積するステップと、
前記ディスプレイ要素アンカおよび前記静電アクチュエータを画定するために構造材料の前記層をパターニングするステップと、
構造材料の前記パターニングされた第1の層の上に犠牲材料の追加の層を堆積するステップと、
ディスプレイ要素シャッターの型を形成するために犠牲材料の前記追加の層をパターニングするステップと、
犠牲材料の前記パターニングされた追加の層の上に構造材料の第2の層を堆積するステップと、
前記静電アクチュエータに最も近い前記ディスプレイ要素シャッターの部分の端部が、前記基板から最も遠い前記静電アクチュエータの前記端部よりも前記基板から遠く離隔されるように、前記ディスプレイ要素シャッターの前記部分を画定するように、構造材料の前記第2の層をパターニングするステップとを含む、方法。 - 前記犠牲型および犠牲材料の前記追加の層から、前記ディスプレイ要素アンカ、前記静電アクチュエータ、および前記シャッターを開放するステップをさらに含む、請求項15に記載の方法。
- 犠牲材料の前記追加の層をパターニングするステップが、犠牲材料の前記追加の層内に側壁および底を有する凹部を形成するステップを含み、構造材料の前記第2の層をパターニングするステップが、前記凹部の前記側壁および前記底の上に堆積された構造材料の前記第2の層からの構造材料を含むように前記ディスプレイ要素シャッターを画定するステップを含む、請求項15に記載の方法。
- 構造材料の前記第2の層をパターニングするステップが、前記凹部に隣接する犠牲材料の前記追加の層の上部の上に堆積された構造材料の前記第2の層からの材料を含むように前記ディスプレイ要素シャッターを画定するステップを含む、請求項17に記載の方法。
- 犠牲材料の前記追加の層をパターニングするステップが、犠牲材料の前記追加の層内に側壁および上面を有するメサを形成するステップを含み、構造材料の前記第2の層をパターニングするステップが、前記メサの前記側壁および前記上面の上に堆積された構造材料の前記第2の層からの構造材料を含むように前記ディスプレイ要素シャッターを画定するステップを含む、請求項15に記載の方法。
- 構造材料の前記第2の層をパターニングするステップが、前記メサに隣接して堆積された構造材料の前記第2の層からの材料を含むように前記ディスプレイ要素シャッターを画定するステップを含む、請求項20に記載の方法。
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