JP2016504487A - 一部を被覆しながら部品を熱化学的に処理する方法、及び対応するマスク - Google Patents

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Abstract

シート(57)を有する本体(47)を含むマスク(45)、前記シート内に位置する少なくとも変形可能なシーリングワッシャ(49)、及び締付ブッシング(51)、を提供する段階であって、前記本体は空洞(53)を有している、段階と;前記空洞内に前記部品の第1の部分(65)を配置する段階であって、前記部品の第2の部分(67)は前記シーリングワッシャにおける通路(63)内に位置しており、及び前記部品の第3の部分は前記マスク(45)の外側に位置している、段階と;前記シーリングワッシャ(49)が、前記部品の前記第2の位置に対して変形され、且つ適用されるように、前記締付ブッシングをその締付位置に移動させる段階と;及び前記部品の前記第3の部分に熱化学的処理を適用させる段階と;を含む方法。

Description

本発明は、例えば、摩耗抵抗及び腐食抵抗などの改善された特性を有する部品の製造に関連している。これらの特性を改善するために部品に適用される処理は、原子種の拡散を通した硬化処理または保護処理であり得る。
本発明は特に、加圧水型炉(PWR)及び沸騰水型炉(BWR)を含む軽水炉(LWR)で使用する部品の製造に適用できる。部品は例えば、中性子吸収棒または燃料棒用の被覆管や、炉心の核計装用のフラックス・シンブルなどのような管、中性子吸収バー、支持ピン、位置決めピン、及び端部プラグなどのようなバー、原子炉容器のバッフルアセンブリ用のエッジボルトなどのようなボルト、及び核燃料集合体の押さえバネのようなバネ、等を含む。
PWRにおいて、中性子吸収棒は一般的に制御クラスタ内でグループ化されている。原子炉の制御クラスタの間で、いくつかは原子炉の通常の操作において炉心反応度を制御することに費やされる。それらはしばしば、中性子吸収棒を挿入するためにステップモードで配置されてもよく、または原子炉の核燃料集合体のガイドシンブルから引き出され得る。ステップ動作は、中性子吸収棒と擦れ合うガイドとの接触に起因して、中性子吸収棒上での分散摩擦を引き起こし得る。
他の制御クラスタは通常操作の間に原子炉の上部においてガイド内で固定させる。未臨界状態への急速な回帰が要求されるとき、これらのクラスタは、炉心内に重力によって同時に且つ完全に挿入される、すなわち、中性子吸収棒は、対応する核燃料集合体の対応するガイドシンブル内に挿入される。流動誘起振動は、
−ガイド内の接触高さで、及び
−被覆管の下部及び下端プラグの核燃料集合体のガイドシンブルの上部との接触(先端摩擦)に起因して、それらの下端で、
固定制御クラスタの中性子吸収棒上の局所化された摩擦を引き起こしうる。
ステップ動作または流動誘起振動のどちらかからの摩擦の可能な結果は、
−被覆管内に含まれる中性子吸収材料による原子炉の一次冷却系の起こり得る水の汚染を有する被覆管の擦り切れ、及び
−被覆管の機械的強度の減少に起因する中性子吸収棒の機械的故障
である。
特に、原子炉が負荷追従モード(フランス語では「suivi de charge」)において操作されるとき、いくつかの制御クラスタの移動の振動数及び強度、及び特に、静止位置に残った制御クラスタに対して、いくつかの中性子吸収棒の振動の振動数及び強度は、摩擦からもたらされる摩耗を考えると、制御クラスタの数を頻繁に検査し、及びしばしば早期に置き換える必要があることになる。
この摩耗を抑えるために、窒化及び/または浸炭処理を通して被覆管の外表面を硬化することが提案された。特許文献1(米国特許第4,873,117号明細書)、特許文献2(欧州特許第446,083号明細書)、特許文献3(欧州特許第537,062号明細書)、及び特許文献4(欧州特許第801,142号明細書)は、特にプラズマ条件の下で、そのような処理の段階を開示している。
そのような処理は、中性子吸収棒の被覆管及び下端プラグを摩耗及び腐食から効果的に保護することができる。
例えば特許文献1(米国特許第4,873,117号明細書)に開示されているように、処理される被覆管は、最初に洗浄され、それから下部プラグに取り付けられる。ステンレス鋼のスラグにより構成され得る熱緩衝体は、各被覆管に配置されており、及びそれから一時的な上部プラグが各被覆管に固定される。一時的な上部プラグは、処理の間に被覆管を保持し、被覆管の開口端を一時的に閉ざし、それから被覆管内に含まれる空気による処理雰囲気の汚染を避けるために使用される。被覆管は、処理容器内に配置され、及び上部プラグに近いそれらの上部は有利的に被覆される。
処理の後で、被覆管は容器から取り出される。一時的な上部プラグが除去され、及び被覆管は中性子吸収材料が装荷され、最終的な上部プラグが各被覆管の自由端で溶接される。
被覆管の上部の被覆は、この区域における被覆管材料の処理を避ける。実際、そのような処理は、材料特性及び最終的な上部プラグに溶接されるこの上部の特性に対する影響を有している。例として、上部の浸炭窒化は、上部プラグへの溶接の間に、炭化物及び/または窒化物の析出を引き起こすおそれがあり、このようにして被覆管のひずみ及び腐食へのより低い抵抗を引き起こす。
より一般的に、例えば、酸化、窒化、浸炭窒化など、処理される必要のある部品の部分は、材料特性及び性質が変更すること、及びこれらの部分に適用される後続の製造工程、すなわち、機械成形、スタンピング、溶接、機械加工、ねじ切りなどが妨げられることを避けるために被覆されるべきである。
様々な被覆の方法が知られており、処理される必要のある部品の保護部分に対して使用されている。
特に、上で述べたように、固体マスクがプラズマを含む処理のために使用されてきた。そのような固体マスクは、フィッティングクリアランスと共に、処理から保護されるべき部分を受け入れる。このクリアランスは、その部分上でマスクの正確な取り付けを確実にするために必要とされる空間に対応しており、及びデバイ長(Debye length)よりも低い厚さを有する必要がある。デバイ長は、移動電化キャリア(例えば、電子)が、特定のプラズマ条件に対して電場を保護するスケールである。言い換えると、デバイ長は、大幅な電荷分離が起こることができない距離である。
クリアランスの厚さはデバイ長より小さく、プラズマ条件はクリアランスに存在しておらず、その結果、前記クリアランスを有する固体マスクで囲まれた部品の部分は、固体マスクの外側に位置する部品の残りに適用される処理から保護される。
しかしながら、基準フィッティングクリアランスがデバイ長より大きく、マスク及び保護される部分の累積製造公差より低くなることのできない場合、そのような固体マスクは役に立たない。加えて、基準フィッティングクリアランスがデバイ長より低いとしても、固体マスクは、少なくともプラズマ浸炭窒化処理に対して役に立たないことが証明されており、マスクされた部分は固体マスクの存在にも関わらず、デパッシベーション及び/または硬化を受ける。
クリアランスを有する固体マスクはまた、例えば、特許文献5(国際公開第2009/081013号)で教示されているように、プラズマまたはガス相において、制御クラスタ内の中性子吸収棒として使用されるハフニウム被覆管またはハフニウム固体バー、または核燃料棒として使用されるジルコニウム合金被覆管の酸素拡散処理に対して役に立たないことが立証されている。
特許文献6(国際公開第02/066,698号)は浸炭処理から部品の一部を保護するために使用される固体マスクを開示している。固体マスクは、処理される部品の熱膨張係数より小さい熱膨張係数を有している。よって、保護される部分と固体マスクとの間のクリアランスは、浸炭処理の間に減少する。しかしながら、これは部品及びマスクの材料に依存して、例えばおおよそ500℃から900℃の高い処理温度を必要とし、部品が薄肉管の場合、マスクとの接触を通して、部品の外表面が損傷を受け、またはその形状の変化でさえ受ける高いリスクがある。
この固体マスクはそれ故、例えば中性子吸収棒の被覆管のプラズマ浸炭窒化に対して使用することができない。実際、中性子吸収棒の被覆管で使用される材料(主に、ステンレス鋼またはニッケルベースの合金)は、被覆管の製造公差よりも低いか、またはせいぜい同じ規模の処理温度で熱膨張を有している。このように、処理済バッチの全ての被覆管の被覆された部分は均一な方法で保護されているという保証はない。さらに、被覆管の外表面は、マスクの固定または除去により、または処理の間に損傷されるべきではなく、これはより小さなクリアランスの使用を妨げている。
米国特許第4,873,117号明細書 欧州特許第446,083号明細書 欧州特許第537,062号明細書 欧州特許第801,142号明細書 国際公開第2009/081013号 国際公開第02/066,698号
本発明の一つの目的は、プラズマ浸炭窒化または酸化処理の下であっても、部品の損傷への低いリスクを有する、部品の一部の効果的な被覆を提供している、部品を熱化学的に処理する方法を提供することにより、これらの欠点を克服することである。
この目的のために、本発明は、請求項1に係る方法に関連している。
他の実施形態において、その方法は、独立に、または任意の技術的特徴の組み合わせから取られる、請求項2から17の以下の特徴の一つまたはいくつかを備えている。
本発明はまた、請求項18に係るマスクに関連している。
他の実施形態において、そのマスクは、独立に、または任意の技術的特徴の組み合わせから取られる、請求項19から22の以下の特徴の一つまたはいくつかを備えている。
本発明及びその効果は、例として単に与えられた以下の説明を読み、添付の図面を参照することでより理解される。
核燃料集合体及び制御クラスタの概略部分図である。 本発明による中性子吸収棒の被覆管を処理するための設備の概略図である。 図2の設備の、線III−IIIに沿って見た、マスクの拡大分解断面図である。
図1は、核燃料集合体1の一部、及び核燃料集合体1が装荷された原子炉の炉心の反応度を制御するための制御クラスタ3の一部を示している。
便宜的に、核燃料集合体1は核燃料ロッドの束(図示せず)及び前記束を支持及び保持するための躯体5を含む。躯体5は、下部ノズル7、上部ノズル9、及び下部ノズル7と上部ノズル9を接続するガイドシンブル11を含む。
一つのガイドシンブル11が図1に示されている。制御クラスタ3は、中性子吸収棒13(図1では一つだけが示されている)及びスパイダ15を有している。スパイダ15は中性子吸収棒13を支持及び保持し、それらは平行となり、制御クラスタ3より下に位置する核燃料集合体1のガイドシンブル11と同じネットワークに横方向に沿って位置している。
スパイダ15は、制御クラスタ3を置換機構(図示せず)に接続するためのノブ17と、ノブ17に固定されたアーム19とを含む。一つ以上の中性子吸収棒13が各アーム19に固定されている。
図1に示された中性子吸収棒13は、Ag−In−Cd合金、ハフニウム、またはハフニウム−ジルコニウム(HfZr)合金などのバー、及び/または炭化ホウ素(BC)、二ホウ化ハフニウム−ジルコニウム((HfZr)B)のペレットのスタックなどの少なくとも1つの中性子吸収材料23を含有する被覆管21を含む。被覆管21は、円形基部を有する管状である。例えば、長さ3.8m、外径9.70mm及び厚さ約0.5から1mmである。被覆管21は、上部プラグ25及び下部プラグ27により閉ざされている。
被覆管21及び下部プラグ27は、例えばオーステナイト系ステンレス鋼から作られる。
他の実施形態において、中性子吸収棒13は単に、ハフニウム−ジルコニウム合金(HfZr)またはハフニウム(Hf)などの中性子吸収材料の非被覆バーからなってもよく、例えば、約9から10mmの外径、場合により中心孔を有している。中性子吸収棒13はまた、その下部においてそのような非被覆バー、並びにその上部においてHfZr合金からなり、且つ中性子吸収材料23のペレットを含む被覆管21を含み得る。
慣習的に、原子炉の反応度を調整するために、制御クラスタ3は原子炉の炉心から挿入され、または除去され、中性子吸収棒13がガイドシンブル11内に、且つ原子炉の上内部に位置する対応するガイド(図示せず)に沿って配置される。
被覆管21からなる部品29の外表面31及び下部プラグ27の摩耗抵抗及び腐食抵抗は、処理を通して改善されている。
この処理は、好ましくは、被覆管21の外表面31及び下部プラグの表面層内への原子種の拡散を含む硬化処理であり、同時に、上部プラグ25の後続の溶接のために、被覆管21の非処理部分を提供する。
例えばオーステナイト系ステンレス鋼またはニッケルベースの合金に対して、その処理は上述した特許文献で開示された処理の一つ、特に特許文献4(欧州特許第801,142号明細書)で開示されたようなプラズマ浸炭窒化処理であり得る。
その処理は、図2で示された設備33内で実施される。設備33は、一般的に特許文献1(米国特許第4,873,117号明細書)で開示された設備と類似している。
設備33は、容器35内の圧力を減少させるためのポンプ37を有する容器35と、容器35内に特定の処理雰囲気、例えば、プラズマ浸炭窒化処理を実施するときはN、H、及びCHを導入するための吸気管39と、を含む。設備33はまた、容器35と処理される部品29との間に電圧を印加するための発電機41を含む。容器35は、部品29を加熱するための手段を好ましくは含むが、そのような手段は、処理温度を達成するために必ずしも必要とされていない。実際、ステンレス鋼からなる部品29を処理するためには、例えば、650℃より低く、好ましくは600℃より低く、より好ましくは500℃より低く、例えば、380から450℃の間であり得る温度を達成すれば十分である。
容器35は、処理される部品29を容器35の内部で支持し、且つ部品29を発電機41へ電気的に接続するための取付フレーム43を含む。
設備33は、各部品29に対して、部品29の上部、すなわち被覆管21の上部を処理から保護するための固体マスク45を含む。
これらのマスク45の構造は類似しており、図1の被覆管21の一部を保護するために使用される図3のマスク45の構造だけがここでは開示されている。
この構造は、一般的に垂直軸Aのまわりで回転性である。
マスク45は、本体47、いくつかのシーリングワッシャ49、及び締付ブッシング51を含む。
本体47及び締付ブッシング51は、例えばステンレス鋼で作られている。
本体47は、上端55によって閉ざされ、且つ拡大した円形シート57を通して本体の外側に下方に開口している内部空洞53を有している。本体47の上端は、例えば、取付フレーム43のピン(図示せず)と共同しているホール59を通して、取付フレーム43に機械的に且つ電気的に結合され得る。
開示される実施例において、マスク45は、四つのシーリングワッシャ49のスタックを含む。これらのシーリングワッシャ49は、好ましくは耐火材料で作られ、且つ好ましくはフェルトまたはプリーツの形態であり、例えば黒鉛フェルトで作られたリングである。シーリングワッシャ49は、シート57内に受け入れられる。
締付ブッシング51は、シーリングワッシャ49のスタックをシート57の表面58に対して軸方向に押圧するために下部のシーリングワッシャ49に面する内部ショルダ61を備えている。
締付ブッシング51は、本体47の下端に位置する外部スレッド48上にねじ留めされる内部スレッド64を含む外部カラー62を有している。
締付ブッシング51は、本体47に対してねじ留めされることにより、
・締付ブッシング51が本体47に近づき、シート57の表面58に対して軸方向に変形可能なシーリングワッシャ49を押圧させる、上部締付位置と
・締付ブッシング51が本体47から離れて、シーリングワッシャ49を押圧しない、下部緩み位置との間で移動することができる。
シーリングワッシャ49及び締付ブッシング51の内部ショルダ61は、締付ブッシング51が緩み位置にあり、且つ被覆管21がマスク45内に挿入されていないとき、本体47の空洞53がマスク45の下方外側にそれを通して開口している内部円形通路63を区切っている。
部品29を処理するために、被覆管21は、例えば、まずその下部プラグ27が設けられ、熱緩衝体で任意に満たされる。それから、締付ブッシング51は、その緩み位置にあり、被覆管21の第1の上部65が本体47の空洞53内部に位置されるように、被覆管21の上端が通路63を通り、第1の部分65より下の第2の部分67はシーリングワッシャ49のスタック内部に位置しており、及び第2の部分67より下の第3の部分69(図1)は、マスク45の外側にある。図3に示されるように、部品29は、好ましくは、空洞53の上端55に隣接する。
それから、締付ブッシング51は、その締付位置に向かって本体47上にねじ留めされる。シーリングワッシャ49はシート57の表面58に対して軸方向に押圧され、それにより、シーリングワッシャ49が部品29の第2の部分67に接触するように半径方向に内側に拡張する。
シーリングワッシャ49はこのように、通路63及び空洞53を密閉する。そのような密閉は、被覆管21に含まれる空気による処理雰囲気の汚染を避け、及び一時的な上部プラグで部品29を閉鎖する必要性を無くす。
部品29は、シーリングワッシャ49を通してマスク45及び取付フレーム43に機械的に接続される。マスク45及びそのシーリングワッシャ49はまた、取付フレーム43と部品29との間の電気的接続を確実にする。その目的のために、シーリングワッシャ49は、好ましくは導電材料または導電層で被覆された電気絶縁材料で作られる。
最後に、マスク45は、部品29、すなわち被覆管21の第1の部分65及び第2の部分67を、容器35内部の全ての到達可能な表面に、且つそのようにして部品29の第3の部分69に後で適用される処理から保護する。
この処理が実施されてから、締付ブッシング51は、その緩み位置に移動され、部品29はそれからマスク45から取り除かれ得る。
第3の部分69はこのようにして処理され、第1の部分65及び第2の部分67は処理から保護され、且つ被覆管21を対応する上部プラグ25に溶接するために後で使用され得る。
上で説明したマスク45は安く、導入及び除去が容易であり、プラズマ浸炭窒化処理であっても効果的な保護を提供する。マスク45は再利用されてもよい。
固体マスク45の使用はまた、マスクとしての塗装の使用に関連している汚染のリスクを減少させる。
締付ブッシング51により変形可能なシーリングワッシャ49の使用の結果、被覆管21の外径の製造ばらつきをよそに、部品29の被覆管21の外表面31を損傷させるリスクが減少する。
黒鉛よりも他の材料、例えば、接触の間に被覆管21が損傷することを避けるために、それらが十分に変形可能であり、且つ柔軟である限り、金属リング、金属またはセラミックフェルトまたはプリーツ、圧縮セラミックなどがシーリングワッシャ49として使用されることができる。
有利的に、本体47及び締付ブッシング51は、熱変形を避けるために抵抗材料の固体部品であり、本体47のスレッド48及びカラー62のスレッド64は、スレッドの摩擦及びシージングを避けるために熱化学的に処理される。
好ましい実施形態において、本体47及び締付ブッシング51はステンレス鋼で作られ、及びその両者はプラズマ窒化または浸炭窒化され、またはそれらの両者のスレッド48、64を有する少なくとも一部は最初の使用の前に窒化または浸炭窒化される。そのようなマスク45は、何度も何度も再利用でき、シーリングワッシャ49だけが再配置される必要があり得、消耗材料である。
本発明によるマスクは、操作に早く、且つ容易である。変形可能なシーリングワッシャ49は被覆管21の製造ばらつきを補償する。
任意的に、目盛り付きトルク・レンチが、締付ブッシング51を本体47上にねじ留めするために使用される。このように、正確に決定され且つ均一な接触圧力がシーリングワッシャ49によって部品29上に加えられ、その結果、部品29の形状または外表面31の損傷の低いリスクと共に、処理の間にシーリングワッシャ49だけによる効果的な保持を確実にする。
上で説明した実施形態において、マスク45は、部品29の機械的支持、及び必須ではないが電気的接続を提供する。
例えば、特許文献5(国際公開第2009/081013号)で教示された処理のような酸化処理は、部品29の電気的接続を必要としない。
処理される部品は実際、鋼またはニッケルベースの合金以外の材料、例えば、ジルコニウム、チタン、またはハフニウム合金であり得る。
本発明による固体マスクの使用は、条件、特に、これらの合金の熱化学処理の温度条件、例えば、酸化の場合において300℃から最大で800℃−1000℃、プラズマ電解酸化(PEO)の場合においては10から100℃など、と互換性がある。
マスク45は、プラズマ処理以外の他の処理、例えば、液相内の処理、または原子種の拡散以外の他の処理でさえ使用され得る。
他の処理は例えば、次のものである。
−溶融塩などの液相内での熱化学処理、例えば、ホウ砂浴内での鋼部品の浸炭化。この例において、シーリングワッシャ49はアルミナまたはジルコニアフェルトまたはプリーツで作られ得る。
−化学気相堆積(CVD)処理、例えば、ニオブ管上のTiN−TiC−TiN−TiC−TiN堆積。この例において、シーリングワッシャ49はシリカフェルトまたはプリーツで作られてもよく、通常300から1100℃の温度処理が本発明による固体マスクの使用と互換性がある。
シーリングワッシャ49の材料は処理される部品29の材料に依存して採用されてもよく、シリカ、アルミナ、黒鉛、またはイオンまたはガス酸化処理用の金属、窒化に対して好ましくは黒鉛など、である。
空洞53はまた、説明した実施形態において終端の閉口を有しているが、この空洞53は、例えば、部品29の任意の局所部分の保護を可能にし、必要であれば、部品29のいくつかの局所部分を保護するためにいくつかのマスク45の使用を可能にする、その両者の開口でのシーリングワッシャの配置を有する貫通孔であり得る。
説明された実施形態において、四つのシーリングワッシャ49のスタックが使用されるが、マスク45は、任意の数のシーリングワッシャ49を備えていてもよく、単一のシーリングワッシャであってもよい。
マスク及びその要素は、前に説明されたものとは異なる形状を有していてもよい。ねじ留め接続以外の接続が、本体47及び締付ブッシング51の間に使用され得る。
特に、上で説明した発明は、本体47、シーリングワッシャ49、締付ブッシング51などが回転形状でない場合において、円形基部を有する管形状またはバー形状以外の形状を有する部品に適用され得る。特に、部品は四角基部を有する管状であり得る。
1 核燃料集合体
3 制御クラスタ
5 躯体
7 下部ノズル
9 上部ノズル
11 ガイドシンブル
13 中性子吸収棒
15 スパイダ
17 ノブ
19 アーム
21 被覆管
23 中性子吸収材料
25 上部プラグ
27 下部プラグ
29 部品
31 外表面
35 容器
37 ポンプ
39 吸気管
41 発電機
43 取付フレーム
45 マスク
47 本体
48 スレッド
49 シーリングワッシャ
51 締付ブッシング
53 空洞
55 上端
57 シート
58 表面
59 ホール
61 内部ショルダ
62 カラー
63 通路
64 スレッド
65 第1の部分
67 第2の部分
69 第3の部分

Claims (22)

  1. 部品(29)を熱化学的に処理する方法であって、
    ・シート(57)を有する本体(47)を含むマスク(45)、前記シート(57)内に位置する少なくとも変形可能なシーリングワッシャ(49)、及び前記シーリングワッシャ(49)を押圧する締付位置と緩み位置との間で前記本体に対して移動可能な締付ブッシング(51)、を提供する段階であって、前記本体(47)は、前記締付ブッシング(51)がその緩み位置にあるとき、前記シーリングワッシャ(49)において区切られた通路(63)を通して接続することのできる空洞(53)を有している、段階と、
    ・前記締付ブッシング(51)がその緩み位置にある間に、前記空洞(53)内に前記部品(29)の第1の部分(65)を配置する段階であって、前記部品(29)の第2の部分(67)は前記通路(63)内に位置しており、及び前記部品(29)の第3の部分(69)は前記マスク(45)の外側に位置している、段階と、
    ・前記シーリングワッシャ(49)が、前記部品(29)の前記第2の部分(67)に対して変形され、且つ適用されるように、前記締付ブッシング(51)をその締付位置に移動させる、段階と、
    前記部品(29)の前記第3の部分(69)へ熱化学的処理を適用させる段階と、
    を含む、方法。
  2. 前記処理は、原子種の拡散を含む、請求項1に記載の方法。
  3. 前記処理は、窒素種の拡散を含む、請求項2に記載の方法。
  4. 前記処理は、炭素種の拡散を含む、請求項2または3に記載の方法。
  5. 前記処理は、酸素種の拡散を含む、請求項1から4のいずれか一項に記載の方法。
  6. 前記処理は、プラズマ処理である。請求項1から5のいずれか一項に記載の方法。
  7. 前記処理は、液相内の処理である、請求項1から5のいずれか一項に記載の方法。
  8. 前記処理は、化学気相堆積処理である、請求項1に記載の方法。
  9. 前記部品(29)は、650℃より低く、好ましくは600℃より低く、及びより好ましくは500℃より低い温度で処理される、請求項1から8のいずれか一項に記載の方法。
  10. 前記部品(29)は管状である、請求項1から9のいずれか一項に記載の方法。
  11. 前記部品(29)は、被覆管(21)を含む、請求項10に記載の方法。
  12. 前記部品(29)は、ステンレス鋼、ジルコニウム合金、ハフニウム合金、チタン合金、またはニッケルベースの合金で作られている、請求項1から11のいずれか一項に記載の方法。
  13. 前記シーリングワッシャ(49)は、導電性材料を含む、請求項1から12のいずれか一項に記載の方法。
  14. 前記マスク(45)は、前記本体(47)と前記締付ブッシング(51)との間にねじ留め接続を有している、請求項1から13のいずれか一項に記載の方法。
  15. 前記シーリングワッシャ(49)は、耐火材料で作られている、請求項1から14のいずれか一項に記載の方法。
  16. 前記シーリングワッシャ(49)は、プリーツ、フェルトまたは圧縮材料を含む、請求項1から15のいずれか一項に記載の方法。
  17. 前記部品(29)は、前記シーリングワッシャ(49)のみにより処理の間保持されている、請求項1から16のいずれか一項に記載の方法。
  18. 請求項1から17のいずれか一項に記載の方法のためのマスク(45)であって、前記マスク(45)は、シート(57)を有する本体(47)、前記シート(57)内に位置する少なくとも変形可能なシーリングワッシャ(49)、前記シーリングワッシャ(49)を押圧している締付位置と緩め位置との間で前記本体(47)に対して移動可能な締付ブッシング(51)、を含み、前記本体(47)は、前記締付ブッシング(51)がその緩み位置にあるとき、前記シーリングワッシャ(49)において区切られた通路(63)を通して接続することのできる空洞(53)を有している、マスク。
  19. 前記シーリングワッシャ(49)は導電性材料を含む、請求項18に記載のマスク。
  20. 前記マスク(45)は、前記本体(47)と前記締付ブッシング(51)との間にねじ留め接続を有している、請求項18または19に記載のマスク。
  21. 前記シーリングワッシャ(49)は耐火材料で作られている、請求項18から20のいずれか一項に記載のマスク。
  22. 前記シーリングワッシャ(49)は、プリーツ、フェルト、または圧縮材料を含む、請求項18から21のいずれか一項に記載のマスク。
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