JP2016215295A - 研削ホイール - Google Patents
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- Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
Abstract
Description
4:チャックテーブル 4a:保持面 5:樹脂層
6:研削手段 7:回転スピンドル
8:ホルダ 9:モータ 10:ホイールマウント
11,11a,11b:研削ホイール
12:砥石基台 120:固定端部 121:自由端部
13:外縁部 14:内縁部 15:溝部 16:研削水供給口
17:研削砥石 170:斜辺部 171a,171b:隣辺部 172:角部
173:研削面 174,175:側面
18:隙間 19:溝部
20:研削送り手段 21:ボールネジ 22:モータ 23:ガイドレール
24:昇降板
30:研削砥石 31:上面 32:対角線
40:研削砥石 401:斜辺 402a、402b:隣辺 403:角部
404,405:側面
50:ウエーハ 51:電極板 52:樹脂層
60:研削砥石 61:研削面 62a、62b:等辺 63:底辺
64a,64b:角部
Claims (1)
- 表面に樹脂層が形成されたウエーハの該樹脂層を研削する研削ホイールであって、
回転軸を有する回転スピンドルに装着され、該回転スピンドルに固定される固定端部と自由端部とを有する円盤状の砥石基台と、
該砥石基台の該自由端部に円環状の固定位置に沿って装着された2以上の研削砥石と、を備え、
該研削砥石は、ウエーハと接触する研削面が三角形に形成され、該回転スピンドルの回転方向の前端が該三角形の角部であることを特徴とする研削ホイール。
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Citations (7)
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-
2015
- 2015-05-18 JP JP2015100863A patent/JP2016215295A/ja active Pending
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