JP2016212258A - Photosensitive thermosetting resin composition, dry film and printed wiring board - Google Patents

Photosensitive thermosetting resin composition, dry film and printed wiring board Download PDF

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a photosensitive thermosetting resin composition that is developable with a weak alkaline sodium carbonate aqueous solution and excellent in mechanical characteristics such as impact resistance and flexibility, a dry film and a printed wiring board.SOLUTION: The photosensitive thermosetting resin composition comprises: (A) a polyamide imide resin obtained by reacting a reaction raw material comprising a diisocyanate compound and an imidized compound obtained by reacting a diamine containing a diamine having an ether bond and a carboxyl group-containing diamine with an acid anhydride (a1) comprising an acid anhydride having at least three carboxyl groups in which at least two carboxyl groups are anhydrous; (B) a monomer having an unsaturated double bond or a resin having an unsaturated double bond and a carboxyl group; (C) an epoxy resin; and (D) a photopolymerization initiator.SELECTED DRAWING: None

Description

本発明は、アルカリ水溶液現像が可能であって、硬化膜の物性にも優れた感光性熱硬化性樹脂組成物(以下、単に「樹脂組成物」とも称する)、ドライフィルムおよびプリント配線板に関する。   The present invention relates to a photosensitive thermosetting resin composition (hereinafter also simply referred to as “resin composition”), a dry film, and a printed wiring board, which can be developed with an aqueous alkali solution and have excellent properties of a cured film.

従来、プリント配線板のソルダーレジストに用いられる材料としては、アルカリ水溶液により現像が可能な感光性樹脂組成物が用いられている。このようなアルカリ現像性の感光性樹脂組成物を用いるソルダーレジストの形成方法としては、基材に感光性樹脂組成物を塗布、乾燥して樹脂層を形成し、その樹脂層に対して、パターン状に光照射した後、アルカリ現像液で現像することにより形成する方法が一般的である。   Conventionally, as a material used for a solder resist of a printed wiring board, a photosensitive resin composition that can be developed with an alkaline aqueous solution has been used. As a method for forming a solder resist using such an alkali-developable photosensitive resin composition, a photosensitive resin composition is applied to a substrate and dried to form a resin layer, and a pattern is formed on the resin layer. A method of forming the film by irradiating the film with light and then developing with an alkali developer is common.

このようなソルダーレジストの形成方法において、アルカリ現像液としては、炭酸ナトリウム(NaCO)水溶液や、炭酸カリウム水溶液(KCO)、水酸化ナトリウム(NaOH)水溶液、テトラメチルアンモニウムハイドライド(TMAH)溶液などのアルカリ水溶液が挙げられるが、プリント配線板の製造においては、基板の信頼性の面や作業環境の面から、通常、弱アルカリ性の炭酸ナトリウムまたは炭酸カリウム水溶液が用いられている。それ故に、プリント配線板用の感光性樹脂組成物においては、弱アルカリ性の炭酸ナトリウム水溶液などで現像可能であることは、極めて重要なこととなる。 In such a method for forming a solder resist, the alkali developer includes sodium carbonate (Na 2 CO 3 ) aqueous solution, potassium carbonate aqueous solution (K 2 CO 3 ), sodium hydroxide (NaOH) aqueous solution, tetramethylammonium hydride ( An alkaline aqueous solution such as a TMAH solution may be mentioned. In the production of a printed wiring board, a weak alkaline sodium carbonate or potassium carbonate aqueous solution is usually used from the viewpoint of the reliability of the substrate and the working environment. Therefore, in the photosensitive resin composition for printed wiring boards, it is extremely important that development is possible with a weak alkaline sodium carbonate aqueous solution.

一方で、得られる硬化膜の物性を改良するために、従来、感光性樹脂組成物に用いる樹脂の種類を適宜選択することが行われているが、樹脂の種類によっては、弱アルカリ性の炭酸ナトリウム水溶液などによる現像ができない場合がある。例えば、汎用のポリイミド樹脂やポリアミドイミド樹脂は、その構造に由来して機械特性や耐熱性に優れるが、溶解性に乏しいために、その組成物を炭酸ナトリウム水溶液による現像に適用することは非常に困難であった。これに対し、これらポリイミド樹脂やポリアミドイミド樹脂に現像性を付与することも検討されてきたが、イミド特有の機械特性を大幅に犠牲にすることで対応せざるを得なかった。この点は、ポリイミド樹脂を含む感光性樹脂組成物に関する発明を開示した特許文献1の実施例において、強アルカリ性の水酸化ナトリウム水溶液により現像を行っていることからもわかる。   On the other hand, in order to improve the physical properties of the resulting cured film, conventionally, the type of resin used in the photosensitive resin composition has been appropriately selected, but depending on the type of resin, weakly alkaline sodium carbonate Development with an aqueous solution may not be possible. For example, general-purpose polyimide resins and polyamide-imide resins are excellent in mechanical properties and heat resistance due to their structures, but because of their poor solubility, it is very difficult to apply the composition to development with an aqueous sodium carbonate solution. It was difficult. On the other hand, imparting developability to these polyimide resins and polyamide-imide resins has also been studied, but it has been necessary to cope with this by sacrificing mechanical properties peculiar to imides. This point can also be understood from the fact that development is performed with a strong alkaline aqueous sodium hydroxide solution in the example of Patent Document 1 that discloses an invention relating to a photosensitive resin composition containing a polyimide resin.

特開2004−317725号公報JP 2004-317725 A

また、ポリイミド樹脂の前駆体であるポリアミック酸を利用して、炭酸ナトリウム水溶液による現像への適用検討も種々行われているが、ポリアミック酸を用いた樹脂組成物は、構造由来の高い反応性により組成物としての保存安定性が悪くなることが多く、あるいは閉環反応に高温反応が必要であるため、依然としてプリント配線板への適用例がほとんどないというのが実情である。   In addition, various studies have been made on the application of polyamic acid, which is a precursor of polyimide resin, to development using an aqueous sodium carbonate solution, but the resin composition using polyamic acid has a high reactivity derived from the structure. The storage stability as a composition often deteriorates, or a high temperature reaction is necessary for the ring-closing reaction, so that there are still few applications to printed wiring boards.

そこで本発明の目的は、弱アルカリ性の炭酸ナトリウム水溶液による現像が可能であって、耐衝撃性や屈曲性などの機械特性に優れた感光性熱硬化性樹脂組成物、ドライフィルムおよびプリント配線板を提供することにある。   Accordingly, an object of the present invention is to provide a photosensitive thermosetting resin composition, a dry film, and a printed wiring board, which can be developed with a weak alkaline sodium carbonate aqueous solution and have excellent mechanical properties such as impact resistance and flexibility. It is to provide.

本発明者らは、鋭意検討した結果、特定の構造を有するポリアミドイミド樹脂を用いた感光性熱硬化性樹脂組成物により前述した機械特性と現像性の課題を解決し、本発明を完成するに至った。   As a result of intensive studies, the present inventors have solved the above-mentioned problems of mechanical properties and developability by using a photosensitive thermosetting resin composition using a polyamideimide resin having a specific structure, and completed the present invention. It came.

すなわち、本発明の感光性熱硬化性樹脂組成物は、(A)エーテル結合を有するジアミンおよびカルボキシル基含有ジアミンを含むジアミンと、少なくとも3個のカルボキシル基を有しそれらのうち2個が無水化している酸無水物を含む酸無水物(a1)とを反応させて得られるイミド化物と、ジイソシアネート化合物と、を含む反応原料を反応させて得られるポリアミドイミド樹脂、
(B)不飽和二重結合を有するモノマー、または、不飽和二重結合およびカルボキシル基を有する樹脂、
(C)エポキシ樹脂、および、
(D)光重合開始剤、
を含有することを特徴とするものである。
That is, the photosensitive thermosetting resin composition of the present invention comprises (A) a diamine having an ether bond and a diamine containing a carboxyl group-containing diamine, and at least three carboxyl groups, two of which are dehydrated. A polyamideimide resin obtained by reacting an imidized product obtained by reacting an acid anhydride containing an acid anhydride (a1) and a diisocyanate compound with a reaction raw material,
(B) a monomer having an unsaturated double bond, or a resin having an unsaturated double bond and a carboxyl group,
(C) an epoxy resin, and
(D) a photopolymerization initiator,
It is characterized by containing.

本発明の樹脂組成物においては、前記酸無水物(a1)が、無水トリメリット酸およびシクロヘキサン−1,2,4−トリカルボン酸−1,2−無水物のうちのいずれか一方または双方を含むことが好ましい。また、前記ジイソシアネート化合物が、脂肪族骨格を有することが好ましい。さらに、前記反応原料が、少なくとも3個のカルボキシル基を有し、それらのうち2個が無水化している酸無水物(a2)をさらに含むことが好ましく、より好ましくは、前記酸無水物(a2)が、無水トリメリット酸およびシクロヘキサン−1,2,4−トリカルボン酸−1,2−無水物のうちのいずれか一方または双方を含む。さらにまた、前記(A)ポリアミドイミド樹脂の質量平均分子量Mwが10,000以下であることが好ましい。さらにまた、前記(C)エポキシ樹脂は、好適には、常温で液状のエポキシ樹脂を含む。さらにまた、前記(D)光重合開始剤が、光塩基発生剤としても機能する光重合開始剤を含むことが好ましい。   In the resin composition of the present invention, the acid anhydride (a1) includes one or both of trimellitic anhydride and cyclohexane-1,2,4-tricarboxylic acid-1,2-anhydride. It is preferable. The diisocyanate compound preferably has an aliphatic skeleton. Furthermore, it is preferable that the reaction raw material further includes an acid anhydride (a2) having at least three carboxyl groups, two of which are anhydrous, more preferably the acid anhydride (a2). ) Includes either one or both of trimellitic anhydride and cyclohexane-1,2,4-tricarboxylic acid-1,2-anhydride. Furthermore, the mass average molecular weight Mw of the (A) polyamideimide resin is preferably 10,000 or less. Furthermore, the (C) epoxy resin preferably contains an epoxy resin that is liquid at room temperature. Furthermore, the (D) photopolymerization initiator preferably contains a photopolymerization initiator that also functions as a photobase generator.

また、本発明のドライフィルムは、上記本発明の感光性熱硬化性樹脂組成物からなる樹脂層を有することを特徴とするものである。   Moreover, the dry film of this invention has a resin layer which consists of the said photosensitive thermosetting resin composition of this invention, It is characterized by the above-mentioned.

さらに、本発明のプリント配線板は、上記本発明の感光性熱硬化性樹脂組成物、または、上記本発明のドライフィルムを用いて形成される硬化物を備えることを特徴とするものである。   Furthermore, the printed wiring board of the present invention is characterized by comprising a cured product formed using the photosensitive thermosetting resin composition of the present invention or the dry film of the present invention.

本発明によれば、弱アルカリ性の炭酸ナトリウム水溶液での現像が可能であって、硬化膜の物性にも優れた感光性熱硬化性樹脂組成物、ドライフィルムおよびプリント配線板を実現することが可能となった。   According to the present invention, it is possible to develop a photosensitive thermosetting resin composition, a dry film, and a printed wiring board that can be developed with a weak alkaline aqueous sodium carbonate solution and that have excellent cured film properties. It became.

以下、本発明の実施の形態について詳述する。
本発明の感光性熱硬化性樹脂組成物は、(A)エーテル結合を有するジアミンおよびカルボキシル基含有ジアミンを含むジアミンと、少なくとも3個のカルボキシル基を有しそれらのうち2個が無水化している酸無水物を含む酸無水物(a1)とを反応させて得られるイミド化物と、ジイソシアネート化合物と、を含む反応原料を反応させて得られるポリアミドイミド樹脂、(B)不飽和二重結合を有するモノマー、または、不飽和二重結合およびカルボキシル基を有する樹脂、(C)エポキシ樹脂、および、(D)光重合開始剤、を含有するものである。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail.
The photosensitive thermosetting resin composition of the present invention comprises (A) a diamine containing an ether bond and a diamine containing a carboxyl group, and at least three carboxyl groups, two of which are anhydrous. A polyamide-imide resin obtained by reacting an imidized product obtained by reacting an acid anhydride containing an acid anhydride (a1) with a reaction raw material containing a diisocyanate compound, and (B) having an unsaturated double bond It contains a monomer or a resin having an unsaturated double bond and a carboxyl group, (C) an epoxy resin, and (D) a photopolymerization initiator.

前述したように、従来汎用のイミド樹脂やアミドイミド樹脂を含む組成物は弱アルカリ性の炭酸ナトリウム水溶液での現像ができないという問題を有していたが、本発明の感光性熱硬化性樹脂組成物においては、エーテル結合およびカルボキシル基を含む特定の(A)ポリアミドイミド樹脂とともに、(B)不飽和二重結合を有するモノマー、または、不飽和二重結合およびカルボキシル基を有するアクリル樹脂を用いるものとしたことで、以下のような効果を得ることができる。すなわち、パターニングにおける露光部については、(B)成分のラジカル重合によりネットワークを形成して、耐現像性を付与することができ、パターニングにおける未露光部については、(A)成分のイミド環と芳香環とが規則的に配列する平面構造をエーテル結合により緩和させ、さらにカルボキシル基を含むことにより親水性を向上させることで弱アルカリ水溶液への溶解性を高め、加えて(B)成分のうち、不飽和二重結合を有するモノマーの場合は軟化点を下げることで、不飽和二重結合およびカルボキシル基を有するアクリル樹脂の場合にはカルボキシル基濃度を上げることで、現像性を補助することができる。これにより、(A)ポリアミドイミド樹脂を含有していても炭酸ナトリウム水溶液での現像が可能であるとともに、イミド構造による耐熱性、および、アミド結合による強靭性等の優れた硬化膜物性を発揮できる感光性熱硬化性樹脂組成物を得ることが可能となった。
以下、本発明の感光性熱硬化性樹脂組成物を構成する各成分について詳述する。
As described above, conventional compositions containing general-purpose imide resins and amide-imide resins have had the problem that they cannot be developed with a weak alkaline aqueous sodium carbonate solution, but in the photosensitive thermosetting resin composition of the present invention, Uses a specific (A) polyamideimide resin containing an ether bond and a carboxyl group, and (B) a monomer having an unsaturated double bond or an acrylic resin having an unsaturated double bond and a carboxyl group. Thus, the following effects can be obtained. That is, with respect to the exposed portion in patterning, a network can be formed by radical polymerization of component (B) to impart development resistance, and for the unexposed portion in patterning, the imide ring and aroma of component (A) The planar structure in which the rings are regularly arranged is relaxed by an ether bond, and the solubility in a weak alkaline aqueous solution is increased by improving the hydrophilicity by including a carboxyl group, and in addition, among the components (B), In the case of a monomer having an unsaturated double bond, developability can be assisted by decreasing the softening point, and in the case of an acrylic resin having an unsaturated double bond and a carboxyl group, increasing the carboxyl group concentration. . As a result, (A) development with a sodium carbonate aqueous solution is possible even if it contains a polyamideimide resin, and excellent cured film properties such as heat resistance due to an imide structure and toughness due to an amide bond can be exhibited. It became possible to obtain a photosensitive thermosetting resin composition.
Hereinafter, each component which comprises the photosensitive thermosetting resin composition of this invention is explained in full detail.

[(A)ポリアミドイミド樹脂]
本発明に用いる(A)ポリアミドイミド樹脂は、エーテル結合を有するジアミンおよびカルボキシル基含有ジアミンを含むジアミンと、少なくとも3個のカルボキシル基を有しそれらのうち2個が無水化している酸無水物を含む酸無水物(a1)とを反応させてイミド化物を得た後、得られたイミド化物とジイソシアネート化合物とを含む反応原料を反応させて得られるものである。上記反応原料には、後述するように、上記イミド化物およびジイソシアネート化合物に加えてさらに、少なくとも3個のカルボキシル基を有し、それらのうち2個が無水化している酸無水物(a2)を、含有させることが好ましい。
[(A) Polyamideimide resin]
The (A) polyamideimide resin used in the present invention comprises a diamine having an ether bond and a diamine containing a carboxyl group, and an acid anhydride having at least three carboxyl groups and two of which are anhydrous. This is obtained by reacting the acid anhydride (a1) containing to obtain an imidized product, and then reacting the reaction raw material containing the obtained imidized product and a diisocyanate compound. As described later, in addition to the imidized product and the diisocyanate compound, the reaction raw material further includes an acid anhydride (a2) having at least three carboxyl groups, two of which are anhydrous, It is preferable to contain.

(ジアミン)
エーテル結合を有するジアミンとしては、ポリオキシエチレンジアミンや、ポリオキシプロピレンジアミン、その他、炭素鎖数の異なるオキシアルキレン基を含むポリオキシアルキレンジアミンなどが挙げられる。
エーテル結合を有するジアミンの分子量は、200〜3000であることが好ましく、400〜2000であることがより好ましい。
ポリオキシアルキレンジアミン類としては、米ハンツマン社製のジェファーミンED−600、ED−900、ED−2003、EDR−148、HK−511などのポリオキシエチレンジアミンや、ジェファーミンD−230、D−400、D−2000、D−4000などのポリオキシプロピレンジアミンや、ジェファーミンXTJ−542、XTJ533、XTJ536などのポリテトラメチレンエチレン基を有するものなどが挙げられる。
(Diamine)
Examples of the diamine having an ether bond include polyoxyethylene diamine, polyoxypropylene diamine, and other polyoxyalkylene diamines containing oxyalkylene groups having different numbers of carbon chains.
The molecular weight of the diamine having an ether bond is preferably 200 to 3000, and more preferably 400 to 2000.
Examples of polyoxyalkylenediamines include polyoxyethylene diamines such as Jeffamine ED-600, ED-900, ED-2003, EDR-148, and HK-511 manufactured by Huntsman, Inc., and Jeffamine D-230 and D-400. And polyoxypropylene diamines such as D-2000 and D-4000, and those having polytetramethylene ethylene groups such as Jeffamine XTJ-542, XTJ533, and XTJ536.

カルボキシル基含有ジアミンとしては、例えば、3,5−ジアミノ安息香酸、2,5−ジアミノ安息香酸、3,4−ジアミノ安息香酸等のジアミノ安息香酸類、3,5−ビス(3−アミノフェノキシ)安息香酸、3,5−ビス(4−アミノフェノキシ)安息香酸等のアミノフェノキシ安息香酸類、3,3’−メチレンビス(6−アミノ安息香酸)、3,3’−ジアミノ−4,4’−ジカルボキシビフェニル等のカルボキシビフェニル化合物類、3,3’−ジアミノ−4,4’−ジカルボキシジフェニルメタン、3,3’−ジカルボキシ−4,4’−ジアミノジフェニルメタン等のカルボキシジフェニルアルカン類、3,3’−ジアミノ−4,4’−ジカルボキシジフェニルエーテル等のカルボキシジフェニルエーテル化合物等を挙げることができ、これらを単独でまたは適宜組み合わせて使用することができる。   Examples of the carboxyl group-containing diamine include 3,5-diaminobenzoic acid, 2,5-diaminobenzoic acid, diaminobenzoic acids such as 3,4-diaminobenzoic acid, and 3,5-bis (3-aminophenoxy) benzoic acid. Acid, aminophenoxybenzoic acids such as 3,5-bis (4-aminophenoxy) benzoic acid, 3,3′-methylenebis (6-aminobenzoic acid), 3,3′-diamino-4,4′-dicarboxyl Carboxybiphenyl compounds such as biphenyl, 3,3′-diamino-4,4′-dicarboxydiphenylmethane, carboxydiphenylalkanes such as 3,3′-dicarboxy-4,4′-diaminodiphenylmethane, 3,3 ′ -Carboxydiphenyl ether compounds such as -diamino-4,4'-dicarboxydiphenyl ether Come, and these may be used alone or in appropriate combination.

本発明においては、ジアミンとして、エーテル結合を有するジアミンおよびカルボキシル基含有ジアミンを用いることが必要であるが、それ以外のジアミンを併用してもよい。併用可能な他のジアミンとしては、汎用の脂肪族ジアミンや芳香族ジアミンなどを、単独でまたは適宜組み合わせて使用することができる。具体的には、他のジアミンとしては、例えば、p−フェニレンジアミン(PPD)、1,3−ジアミノベンゼン、2,4−トルエンジアミン、ベンゼン核1つのジアミン、4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、3,3’−ジアミノジフェニルエーテル、3,4’−ジアミノジフェニルエーテルなどのジアミノジフェニルエーテル類、4,4’−ジアミノジフェニルメタン、3,3’−ジメチル−4,4’−ジアミノビフェニル、2,2’−ジメチル−4,4’−ジアミノビフェニル、1,3−ビス(3−アミノフェニル)ベンゼン、1,3−ビス(4−アミノフェニル)ベンゼン、1,3−ビス〔2−(4−アミノフェニル)イソプロピル〕ベンゼン、1,4−ビス〔2−(3−アミノフェニル)イソプロピル〕ベンゼン、3,3’−ビス(3−アミノフェノキシ)ビフェニル、3,3’−ビス(4−アミノフェノキシ)ビフェニル、4,4’−ビス(3−アミノフェノキシ)ビフェニル、4,4’−ビス(4−アミノフェノキシ)ビフェニル、ビス〔3−(3−アミノフェノキシ)フェニル〕エーテル、ビス〔3−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕エーテル、ビス〔4−(3−アミノフェノキシ)フェニル〕エーテルなどの芳香族ジアミン、1,2−ジアミノエタン、1,3−ジアミノプロパン、1,4−ジアミノブタン、1,5−ジアミノペンタン、1,6−ジアミノヘキサン、1,7−ジアミノヘプタン、1,8−ジアミノオクタン等の脂肪族ジアミンが挙げられる。   In the present invention, it is necessary to use a diamine having an ether bond and a carboxyl group-containing diamine as the diamine, but other diamines may be used in combination. As other diamines that can be used in combination, general-purpose aliphatic diamines and aromatic diamines can be used alone or in appropriate combination. Specifically, as other diamines, for example, p-phenylenediamine (PPD), 1,3-diaminobenzene, 2,4-toluenediamine, one benzene nucleus diamine, 4,4′-diaminodiphenyl ether, 3 , 3'-diaminodiphenyl ether, 3,4'-diaminodiphenyl ether, and other diaminodiphenyl ethers, 4,4'-diaminodiphenylmethane, 3,3'-dimethyl-4,4'-diaminobiphenyl, 2,2'-dimethyl- 4,4′-diaminobiphenyl, 1,3-bis (3-aminophenyl) benzene, 1,3-bis (4-aminophenyl) benzene, 1,3-bis [2- (4-aminophenyl) isopropyl] Benzene, 1,4-bis [2- (3-aminophenyl) isopropyl] benzene, 3,3′-bi (3-aminophenoxy) biphenyl, 3,3′-bis (4-aminophenoxy) biphenyl, 4,4′-bis (3-aminophenoxy) biphenyl, 4,4′-bis (4-aminophenoxy) biphenyl, Aromatic diamines such as bis [3- (3-aminophenoxy) phenyl] ether, bis [3- (4-aminophenoxy) phenyl] ether, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] ether, 1,2 -Aliphatic diamines such as diaminoethane, 1,3-diaminopropane, 1,4-diaminobutane, 1,5-diaminopentane, 1,6-diaminohexane, 1,7-diaminoheptane, 1,8-diaminooctane Is mentioned.

また、アミノ変性シリコーンとして、東レ・ダウコーニング社製のBY16−205、FZ−3760、BY16−871、BY16−853Uなどが挙げられる。ポリアミドイミド樹脂のアルカリ溶解性と、得られる硬化物の機械特性等とのバランスを良好にする観点から、ポリオキシアルキレンジアミンのアミン当量は、100g/eq以上1500g/eq以下であることが好ましく、200g/eq以上1000g/eq以下であることがより好ましい。   Examples of the amino-modified silicone include BY16-205, FZ-3760, BY16-871, BY16-853U manufactured by Toray Dow Corning. From the viewpoint of improving the balance between the alkali solubility of the polyamideimide resin and the mechanical properties of the resulting cured product, the amine equivalent of the polyoxyalkylene diamine is preferably 100 g / eq or more and 1500 g / eq or less, More preferably, it is 200 g / eq or more and 1000 g / eq or less.

(酸無水物(a1)および酸無水物(a2))
酸無水物(a1)および酸無水物(a2)は夫々、少なくとも3個のカルボキシル基を有し、それらのうち2個が無水化している酸無水物を含む。かかる酸無水物としては、芳香族環および脂肪族環のうちの少なくともいずか一方を有するものが挙げられ、芳香族環を有するものとして無水トリメリット酸(トリメリット酸無水物)(ベンゼン−1,2,4−トリカルボン酸1,2−無水物,TMA)等、脂肪族環を有するものとして水素添加トリメリット酸無水物(シクロヘキサン−1,2,4−トリカルボン酸−1,2−無水物,H−TMA)等を好適に挙げることができる。これらの酸無水物は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて使用してもよい。
(Acid anhydride (a1) and acid anhydride (a2))
The acid anhydride (a1) and the acid anhydride (a2) each include an acid anhydride having at least three carboxyl groups, two of which are anhydrous. Examples of the acid anhydride include those having at least one of an aromatic ring and an aliphatic ring, and trimellitic anhydride (trimellitic anhydride) (benzene-) having an aromatic ring. Hydrogenated trimellitic anhydride (cyclohexane-1,2,4-tricarboxylic acid-1,2-anhydride) having an aliphatic ring such as 1,2,4-tricarboxylic acid 1,2-anhydride, TMA) For example, H-TMA). These acid anhydrides may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more type.

本発明においては、上記酸無水物を用いることが必要であるが、カルボン酸二無水物を併用してもよい。カルボン酸二無水物としては、ピロメリット酸二無水物、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物などの、テトラカルボン酸無水物等が挙げられる。また、両末端型カルボン酸無水物変性シリコーンなどが挙げられる。   In this invention, although it is necessary to use the said acid anhydride, you may use together carboxylic dianhydride. Examples of the carboxylic dianhydride include tetracarboxylic anhydrides such as pyromellitic dianhydride and 3,3 ′, 4,4′-benzophenone tetracarboxylic dianhydride. Moreover, both terminal type carboxylic anhydride modified silicone etc. are mentioned.

(ジイソシアネート化合物)
ジイソシアネート化合物としては、芳香族ジイソシアネートおよびその異性体や多量体、脂肪族ジイソシアネート類、脂環式ジイソシアネート類およびその異性体などのジイソシアネートや、その他汎用のジイソシアネート類を用いることができるが、これらに限定されるものではない。また、これらのジイソシアネート化合物は、単独でまたは組み合わせて使用してもよい。
(Diisocyanate compound)
As the diisocyanate compound, diisocyanates such as aromatic diisocyanates and isomers and multimers thereof, aliphatic diisocyanates, alicyclic diisocyanates and isomers thereof, and other general-purpose diisocyanates can be used. Is not to be done. These diisocyanate compounds may be used alone or in combination.

ジイソシアネート化合物としては、例えば、4,4’−ジフェニルメタンジイソシアネート(MDI)、トリレンジイソシアネート、ナフタレンジイソシアネート、キシリレンジイソシアネート、ビフェニルジイソシアネート、ジフェニルスルホンジイソシアネート、ジフェニルエーテルジイソシアネートなどの芳香族ジイソシアネートおよびその異性体、多量体、ヘキサメチレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート(IPDI)、ジシクロヘキシルメタンジイソシアネート、トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート(TMDI)などの脂肪族ジイソシアネート類、あるいは、上記芳香族ジイソシアネートを水添した脂環式ジイソシアネート類および異性体、もしくはその他汎用のジイソシアネート類が挙げられる。   Examples of the diisocyanate compound include aromatic diisocyanates such as 4,4′-diphenylmethane diisocyanate (MDI), tolylene diisocyanate, naphthalene diisocyanate, xylylene diisocyanate, biphenyl diisocyanate, diphenyl sulfone diisocyanate, diphenyl ether diisocyanate, and isomers and multimers thereof. , Aliphatic diisocyanates such as hexamethylene diisocyanate, isophorone diisocyanate (IPDI), dicyclohexylmethane diisocyanate, trimethylhexamethylene diisocyanate (TMDI), or alicyclic diisocyanates and isomers hydrogenated with the above aromatic diisocyanates, or others General-purpose diisocyanates can be mentioned.

上述したように、ポリアミドイミド樹脂を得るための反応原料には、上記イミド化物およびジイソシアネート化合物に加えて、イミド化物を得る際に用いたのと同様の酸無水物(a2)を、さらに含有させてもよい。この場合の反応原料中の酸無水物(a2)の含有量については、特に限定されない。ポリアミドイミド樹脂のアルカリ溶解性と、得られる硬化物の機械特性等とのバランスを良好にする観点からは、反応原料中のイミド化物を得るために使用したジアミンの量に対する、反応原料中の酸無水物(a2)の量のモル比率は、0.25以上4以下であることが好ましく、0.5以上2以下であることがより好ましく、0.6以上1.5以下であることが特に好ましい。   As described above, in addition to the imidized product and the diisocyanate compound, the reaction raw material for obtaining the polyamideimide resin further contains the same acid anhydride (a2) as used when obtaining the imidized product. May be. In this case, the content of the acid anhydride (a2) in the reaction raw material is not particularly limited. From the viewpoint of improving the balance between the alkali solubility of the polyamideimide resin and the mechanical properties of the resulting cured product, the acid in the reaction raw material relative to the amount of diamine used to obtain the imidized product in the reaction raw material. The molar ratio of the amount of anhydride (a2) is preferably 0.25 or more and 4 or less, more preferably 0.5 or more and 2 or less, and particularly preferably 0.6 or more and 1.5 or less. preferable.

反応原料中のジイソシアネート化合物の含有量についても、特に限定されない。ポリアミドイミド樹脂のアルカリ溶解性と、得られる硬化物の機械特性等とのバランスを良好にする観点からは、反応原料中のジイソシアネート化合物の量は、反応原料中のイミド化物を得るために使用したジアミンの量と必要に応じ反応原料に含有させる酸無水物(a2)の量の総和に対するモル比率として、0.3以上1.0以下とすることが好ましく、0.4以上0.95以下とすることがより好ましく、0.50以上0.90以下とすることが特に好ましい。   The content of the diisocyanate compound in the reaction raw material is not particularly limited. From the viewpoint of improving the balance between the alkali solubility of the polyamideimide resin and the mechanical properties of the resulting cured product, the amount of the diisocyanate compound in the reaction raw material was used to obtain an imidized product in the reaction raw material. The molar ratio with respect to the sum of the amount of diamine and the amount of acid anhydride (a2) contained in the reaction raw material as required is preferably 0.3 or more and 1.0 or less, and 0.4 or more and 0.95 or less. More preferably, it is more preferably 0.50 or more and 0.90 or less.

本発明においては、特に、エーテル結合を有するジアミンと、脂環式のトリメリット酸であるH−TMAとを用いることで、得られる(A)ポリアミドイミド樹脂において、アルカリ溶解性が高まり、現像性が向上するものとなるため、好ましい。また、同じ理由から、2段階目の反応において脂肪族のジイソシアネート化合物を用いることも好ましい。前述したようにポリイミド樹脂やポリアミドイミド樹脂はイミド環と芳香環とが規則的に配列し平面構造をとるため耐熱性や機械特性に優れる一方で、溶剤やアルカリ水溶液への溶解性が低い特長があるが、本発明のように脂肪鎖や脂環構造を有効に構造内に取り込むことで、特性を大きく低下させることなくアルカリ溶解性が高めることが可能になった。   In the present invention, in particular, (A) polyamideimide resin obtained by using diamine having an ether bond and H-TMA which is an alicyclic trimellitic acid has increased alkali solubility and developability. Is preferable, because it is improved. For the same reason, it is also preferable to use an aliphatic diisocyanate compound in the second-stage reaction. As described above, polyimide resin and polyamide-imide resin have excellent heat resistance and mechanical properties due to the regular arrangement of imide rings and aromatic rings, and have a low solubility in solvents and alkaline aqueous solutions. However, by effectively incorporating a fatty chain or alicyclic structure into the structure as in the present invention, it has become possible to increase the alkali solubility without greatly degrading the characteristics.

本発明において、上記(A)ポリアミドイミド樹脂は、脂肪族構造およびエーテル結合を有することが好ましい。この場合の脂肪族構造としては、直鎖状のヘキサンまたは環状のシクロヘキサンが挙げられる。また、上記エーテル結合は、分子量が200以上であるポリエーテル構造であることが好ましい。イミド系樹脂の多くは強アルカリ/溶剤現像性を有するが、脂肪族構造やエーテル結合、特にはポリエーテル構造を導入することで、上記(A)ポリアミドイミド樹脂が、弱アルカリ水溶液による現像性、深部解像性および屈曲性を有するものとすることができる。上記脂肪族構造は、例えば、脂肪族環を有する酸無水物を用いるか、脂肪族構造を有するイソシアネートを用いることで導入することができ、上記エーテル結合は、例えば、エーテル結合を有するジアミンを用いることで、導入することができる。   In the present invention, the (A) polyamideimide resin preferably has an aliphatic structure and an ether bond. Examples of the aliphatic structure in this case include linear hexane or cyclic cyclohexane. Moreover, it is preferable that the said ether bond is a polyether structure whose molecular weight is 200 or more. Most of the imide resins have strong alkali / solvent developability, but by introducing an aliphatic structure or an ether bond, particularly a polyether structure, the (A) polyamideimide resin can be developed with a weak alkaline aqueous solution, It can have deep resolution and flexibility. The aliphatic structure can be introduced, for example, by using an acid anhydride having an aliphatic ring or an isocyanate having an aliphatic structure, and the ether bond is, for example, a diamine having an ether bond. It can be introduced.

また、上記(A)ポリアミドイミド樹脂のアミド結合は、イソシアネートとカルボン酸とを反応させて得られるものであってもよく、それ以外の反応によるものであってもよい。上記(A)ポリアミドイミド樹脂は、さらにその他の付加および縮合からなる結合を有していてもよい。   In addition, the amide bond of the (A) polyamideimide resin may be obtained by reacting isocyanate and carboxylic acid, or may be caused by other reaction. The (A) polyamideimide resin may further have a bond composed of other addition and condensation.

本発明において、上記(A)ポリアミドイミド樹脂を得る際の各成分の配合比としては、上記ジアミン1モルに対して、上記酸無水物が、好適には2.0〜2.4モル、より好適には2.0〜2.2モルである。ジアミンと酸無水物とを反応させ、脱水閉環によりイミド化する際の反応温度については特に限定されないが、140℃〜200℃の範囲内であることが好ましい。上記ジアミンと上記酸無水物とを反応させて得られるイミド化物とジイソシアネート化合物との反応温度は特に限定されないが、130℃〜200℃の範囲内であることが好ましい。   In the present invention, as the compounding ratio of the respective components when obtaining the (A) polyamideimide resin, the acid anhydride is preferably 2.0 to 2.4 mol, based on 1 mol of the diamine. Preferably it is 2.0-2.2 mol. Although the reaction temperature at the time of making diamine and an acid anhydride react and imidating by dehydration ring closure is not specifically limited, It is preferable to exist in the range of 140 degreeC-200 degreeC. The reaction temperature between the imidized product obtained by reacting the diamine with the acid anhydride and the diisocyanate compound is not particularly limited, but is preferably in the range of 130 ° C to 200 ° C.

上記(A)ポリアミドイミド樹脂は、アルカリ現像工程に対応するために、その酸価が50mgKOH/g以上であることが好ましく、50〜200mgKOH/gであることがより好ましく、70〜130mgKOH/gであることがさらに好ましい。酸価が50mgKOH/g以上であると、アルカリに対する溶解性が増大し、現像性が良好となり、さらには、光照射後の熱硬化成分との架橋度が高くなるため、十分な現像コントラストを得ることができる。一方、酸価が200mgKOH/g以下であると、正確なパターンの描画が容易となる。   In order to correspond to the alkali development step, the (A) polyamideimide resin preferably has an acid value of 50 mgKOH / g or more, more preferably 50 to 200 mgKOH / g, and 70 to 130 mgKOH / g. More preferably it is. When the acid value is 50 mgKOH / g or more, the solubility in alkali is increased, the developability is improved, and further, the degree of crosslinking with the thermosetting component after light irradiation is increased, so that sufficient development contrast is obtained. be able to. On the other hand, when the acid value is 200 mgKOH / g or less, drawing of an accurate pattern becomes easy.

また、(A)ポリアミドイミド樹脂の分子量は、現像性と硬化塗膜特性を考慮すると、質量平均分子量Mwが10,000以下であることが好ましく、1,000〜8,000がより好ましく、2,000〜6,000がさらに好ましい。分子量が10,000以下であると、未露光部のアルカリ溶解性が増加し、現像性が向上する。一方、分子量が1,000以上であると、露光部において、十分な耐現像性と硬化物性を得ることができる。   In addition, the molecular weight of the (A) polyamideimide resin is preferably 10,000 or less, more preferably 1,000 to 8,000, more preferably 2 or less, considering developability and cured coating film characteristics. More preferably, 6,000 to 6,000. When the molecular weight is 10,000 or less, the alkali solubility in the unexposed area is increased and the developability is improved. On the other hand, when the molecular weight is 1,000 or more, sufficient development resistance and cured product properties can be obtained in the exposed area.

[(B)不飽和二重結合を有するモノマー、または、不飽和二重結合およびカルボキシル基を有する樹脂]
(B)成分のうち、不飽和二重結合を有するモノマーは、通常、液状であり、樹脂組成物の軟化点を下げることにより、現像しやすくする効果を得ることができる。また、不飽和二重結合およびカルボキシル基を有する樹脂を用いることで、カルボキシル基の濃度が上がることによって、現像性を向上する効果を得ることができる。
[(B) Monomer having unsaturated double bond, or resin having unsaturated double bond and carboxyl group]
Among the components (B), the monomer having an unsaturated double bond is usually liquid, and an effect of facilitating development can be obtained by lowering the softening point of the resin composition. Moreover, the effect which improves developability can be acquired by using the resin which has an unsaturated double bond and a carboxyl group, and the density | concentration of a carboxyl group goes up.

(B)成分のうち、不飽和二重結合を有するモノマーとしては、慣用公知のポリエステル(メタ)アクリレート、ポリエーテル(メタ)アクリレート、ウレタン(メタ)アクリレート、カーボネート(メタ)アクリレート、エポキシ(メタ)アクリレートなどが挙げられる。具体的には、2−ヒドロキシエチルアクリレート、2−ヒドロキシプロピルアクリレートなどのヒドロキシアルキルアクリレート類;エチレングリコール、ポリエチレングリコール、プロピレングリコールなどのグリコールのジアクリレート類;ヘキサンジオール、トリメチロールプロパン、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトール、トリス−ヒドロキシエチルイソシアヌレートなどの多価アルコールまたはこれらのエチレンオキサイド付加物、プロピレンオキサイド付加物、もしくはε−カプロラクトン付加物などの多価アクリレート類;フェノキシアクリレート、ビスフェノールAジアクリレート、および、これらのフェノール類のエチレンオキサイド付加物もしくはプロピレンオキサイド付加物などの多価アクリレート類;グリセリンジグリシジルエーテル、グリセリントリグリシジルエーテル、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテル、トリグリシジルイソシアヌレートなどのグリシジルエーテルの多価アクリレート類;および、上記アクリレートに対応する各メタクリレート類の少なくともいずれか一種などが挙げられる。   Among the components (B), as the monomer having an unsaturated double bond, conventionally known polyester (meth) acrylate, polyether (meth) acrylate, urethane (meth) acrylate, carbonate (meth) acrylate, epoxy (meth) An acrylate etc. are mentioned. Specifically, hydroxyalkyl acrylates such as 2-hydroxyethyl acrylate and 2-hydroxypropyl acrylate; diacrylates of glycols such as ethylene glycol, polyethylene glycol, and propylene glycol; hexanediol, trimethylolpropane, pentaerythritol, and diacrylate Polyhydric alcohols such as pentaerythritol, tris-hydroxyethyl isocyanurate or their polyvalent acrylates such as ethylene oxide adduct, propylene oxide adduct, or ε-caprolactone adduct; phenoxy acrylate, bisphenol A diacrylate, and Polyvalent acrylates such as ethylene oxide adducts or propylene oxide adducts of these phenols; And polyvalent acrylates of glycidyl ethers such as serine diglycidyl ether, glycerin triglycidyl ether, trimethylolpropane triglycidyl ether, and triglycidyl isocyanurate; and at least one of each methacrylate corresponding to the acrylate .

また、不飽和二重結合およびカルボキシル基を有する樹脂としては、以下に列挙するような化合物(オリゴマーおよびポリマーのいずれでもよい)が挙げられる。
(1)脂肪族ジイソシアネート、分岐脂肪族ジイソシアネート、脂環式ジイソシアネート、芳香族ジイソシアネート等のジイソシアネートと、ジメチロールプロピオン酸、ジメチロールブタン酸等のカルボキシル基を含有する、ジアルコール化合物、ポリカーボネート系ポリオール、ポリエーテル系ポリオール、ポリエステル系ポリオール、ポリオレフィン系ポリオール、アクリル系ポリオール、ビスフェノールA系アルキレンオキシド付加体ジオール、フェノール性ヒドロキシル基およびアルコール性ヒドロキシル基を有する化合物等のジオール化合物の重付加反応によるカルボキシル基含有感光性ウレタン樹脂。
(2)ジイソシアネートと、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ビキシレノール型エポキシ樹脂、ビフェノール型エポキシ樹脂等の2官能エポキシ樹脂の(メタ)アクリレートもしくはその部分酸無水物変性物と、カルボキシル基含有ジアルコール化合物の重付加反応によるカルボキシル基含有感光性ウレタン樹脂。
(3)2官能またはそれ以上の多官能(固形)エポキシ樹脂に(メタ)アクリル酸を反応させ、側鎖に存在する水酸基に2塩基酸無水物を付加させたカルボキシル基含有感光性樹脂。
(4)2官能(固形)エポキシ樹脂の水酸基をさらにエピクロロヒドリンでエポキシ化した多官能エポキシ樹脂に(メタ)アクリル酸を反応させ、生じた水酸基に2塩基酸無水物を付加させたカルボキシル基含有感光性樹脂。
(5)1分子中に複数のフェノール性水酸基を有する化合物に、エチレンオキシド、プロピレンオキシド等のアルキレンオキシドまたは環状カーボネート化合物とを反応させて得られる反応生成物に、不飽和基含有モノカルボン酸を反応させ、得られる反応生成物に、更に多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシル基含有感光性樹脂。
(6)(メタ)アクリル酸などの不飽和カルボン酸と、それ以外の不飽和二重結合を有する化合物の1種類以上との共重合体に、エポキシ基と不飽和二重結合を有する化合物や(メタ)アクリル酸クロライドなどによって、エチレン性不飽和基をペンダントとして付加させることによって得られるカルボキシル基含有感光性樹脂。
(7)上述の(1)〜(6)の樹脂に、さらに1分子内に1つのエポキシ基と1つ以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物を付加してなるカルボキシル基含有感光性樹脂。
Examples of the resin having an unsaturated double bond and a carboxyl group include the compounds listed below (any of oligomers and polymers).
(1) Dialcohol compounds, polycarbonate-based polyols containing diisocyanates such as aliphatic diisocyanates, branched aliphatic diisocyanates, alicyclic diisocyanates, aromatic diisocyanates, and carboxyl groups such as dimethylolpropionic acid and dimethylolbutanoic acid, Containing a carboxyl group by polyaddition reaction of a diol compound such as a polyether polyol, polyester polyol, polyolefin polyol, acrylic polyol, bisphenol A alkylene oxide adduct diol, a compound having a phenolic hydroxyl group and an alcoholic hydroxyl group Photosensitive urethane resin.
(2) Diisocyanate and bifunctional epoxy resin such as bisphenol A type epoxy resin, hydrogenated bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, bixylenol type epoxy resin, biphenol type epoxy resin ( A carboxyl group-containing photosensitive urethane resin obtained by a polyaddition reaction of (meth) acrylate or a partially acid anhydride modified product thereof with a carboxyl group-containing dialcohol compound.
(3) A carboxyl group-containing photosensitive resin obtained by reacting a bifunctional or higher polyfunctional (solid) epoxy resin with (meth) acrylic acid and adding a dibasic acid anhydride to a hydroxyl group present in the side chain.
(4) A carboxyl obtained by reacting a polyfunctional epoxy resin obtained by epoxidizing the hydroxyl group of a bifunctional (solid) epoxy resin with epichlorohydrin with (meth) acrylic acid and adding a dibasic acid anhydride to the resulting hydroxyl group Group-containing photosensitive resin.
(5) A reaction product obtained by reacting a compound having a plurality of phenolic hydroxyl groups in one molecule with an alkylene oxide such as ethylene oxide or propylene oxide or a cyclic carbonate compound is reacted with an unsaturated group-containing monocarboxylic acid. A carboxyl group-containing photosensitive resin obtained by further reacting the resulting reaction product with a polybasic acid anhydride.
(6) A compound having an epoxy group and an unsaturated double bond in a copolymer of an unsaturated carboxylic acid such as (meth) acrylic acid and one or more other compounds having an unsaturated double bond, A carboxyl group-containing photosensitive resin obtained by adding an ethylenically unsaturated group as a pendant with (meth) acrylic acid chloride or the like.
(7) A carboxyl group-containing photosensitive resin obtained by adding a compound having one epoxy group and one or more (meth) acryloyl groups in one molecule to the above-described resins (1) to (6).

これら(B)成分は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。   These (B) components may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more type.

本発明の感光性熱硬化性樹脂組成物中の(B)成分の配合量は、(A)ポリアミドイミド樹脂100質量部に対して、好ましくは5〜150質量部であり、より好ましくは10〜80質量部である。(B)成分の配合量を上記範囲とすることで、露光部における耐現像性の向上と、未露光部における現像性の確保とを、良好に両立させることができるものとなる。   The blending amount of the component (B) in the photosensitive thermosetting resin composition of the present invention is preferably 5 to 150 parts by mass, more preferably 10 to 100 parts by mass of the (A) polyamideimide resin. 80 parts by mass. (B) By making the compounding quantity of the component into the said range, the improvement of the development resistance in an exposure part and the ensuring of the developability in an unexposed part can be made to make compatible favorable.

[(C)エポキシ樹脂]
本発明に用いる(C)エポキシ樹脂としては、具体的には、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂、臭素化ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノールAのノボラック型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、トリフェニルメタン型エポキシ樹脂などが用いられる。これら(C)エポキシ樹脂は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
[(C) Epoxy resin]
Specific examples of the (C) epoxy resin used in the present invention include bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, hydrogenated bisphenol A type epoxy resin, brominated bisphenol A type epoxy resin, and bisphenol S type epoxy resin. Phenol novolac type epoxy resin, cresol novolak type epoxy resin, bisphenol A novolak type epoxy resin, biphenyl type epoxy resin, naphthalene type epoxy resin, dicyclopentadiene type epoxy resin, triphenylmethane type epoxy resin and the like are used. These (C) epoxy resins may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more type.

また、本発明において、(C)エポキシ樹脂は、常温(20℃)で液状であるものを用いることが好ましい。現像性には組成物の軟化点が影響することから、常温で液状である(C)エポキシ樹脂を用いることで、現像性を補助する効果を得ることができる。20℃で液状のエポキシ樹脂としては、例えば、E828(三菱化学(株)製)、YD−128(東都化成(株)製)、840,850(DIC(株)製)等のビスフェノールA型エポキシ樹脂、806,807(三菱化学(株)製)、YDF−170(東都化成(株)製)、830,835,N−730A(DIC(株)製)等のビスフェノールF型エポキシ樹脂、ZX−1059(東都化成(株)製)等のビスフェノールA,F混合物、YX−8000,8034(三菱化学(株)製)、ST−3000(東都化成(株)製)等の水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂などが挙げられる。   Moreover, in this invention, it is preferable to use what is liquid at normal temperature (20 degreeC) as (C) epoxy resin. Since the softening point of the composition affects the developability, the effect of assisting the developability can be obtained by using the (C) epoxy resin that is liquid at room temperature. Examples of epoxy resins that are liquid at 20 ° C. include bisphenol A type epoxies such as E828 (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation), YD-128 (manufactured by Toto Kasei Co., Ltd.), 840,850 (manufactured by DIC Corporation) Resin, 806, 807 (Mitsubishi Chemical Corporation), YDF-170 (Toto Kasei Co., Ltd.), 830, 835, N-730A (DIC Corporation) and other bisphenol F type epoxy resins, ZX- Hydrogenated bisphenol A type epoxy such as 1059 (manufactured by Tohto Kasei Co., Ltd.), etc. Resin etc. are mentioned.

本発明の感光性熱硬化性樹脂組成物中の(C)エポキシ樹脂の配合量は、(A)成分と(B)成分の合計のカルボン酸当量に対するエポキシ当量の比率が、好ましくは0.2〜3.0、より好ましくは0.5〜2.0の範囲となる量である。   The blending amount of the (C) epoxy resin in the photosensitive thermosetting resin composition of the present invention is such that the ratio of the epoxy equivalent to the total carboxylic acid equivalent of the component (A) and the component (B) is preferably 0.2. The amount is in the range of -3.0, more preferably in the range of 0.5-2.0.

[(D)光重合開始剤]
本発明に用いる光重合開始剤(D)としては、公知慣用のものを用いることができ、特に、後述する光照射後の加熱(PEB)工程に用いる場合には、光塩基発生剤としての機能も有する光重合開始剤が好適である。なお、このPEB工程では、光重合開始剤と光塩基発生剤とを併用してもよい。
[(D) Photopolymerization initiator]
As the photopolymerization initiator (D) used in the present invention, a known and commonly used photopolymerization initiator (D) can be used. Also suitable are photopolymerization initiators. In this PEB step, a photopolymerization initiator and a photobase generator may be used in combination.

光塩基発生剤としての機能も有する光重合開始剤は、紫外線や可視光等の光照射により分子構造が変化するか、または、分子が開裂することにより、熱反応性化合物としての(C)エポキシ樹脂の重合反応の触媒として機能しうる1種以上の塩基性物質を生成する化合物である。塩基性物質としては、例えば、2級アミン、3級アミンが挙げられる。   The photopolymerization initiator that also functions as a photobase generator is a (C) epoxy as a thermoreactive compound by changing the molecular structure upon irradiation with light such as ultraviolet light or visible light, or by cleaving the molecule. It is a compound that produces one or more basic substances that can function as a catalyst for a polymerization reaction of a resin. Examples of basic substances include secondary amines and tertiary amines.

このような光塩基発生剤としての機能も有する光重合開始剤としては、例えば、α−アミノアセトフェノン化合物、オキシムエステル化合物や、アシルオキシイミノ基,N−ホルミル化芳香族アミノ基、N−アシル化芳香族アミノ基、ニトロベンジルカーバメイト基、アルコオキシベンジルカーバメート基等の置換基を有する化合物等が挙げられる。中でも、オキシムエステル化合物、α−アミノアセトフェノン化合物が好ましく、オキシムエステル化合物がより好ましい。α−アミノアセトフェノン化合物としては、特に、2つ以上の窒素原子を有するものが好ましい。   Examples of the photopolymerization initiator that also functions as a photobase generator include α-aminoacetophenone compounds, oxime ester compounds, acyloxyimino groups, N-formylated aromatic amino groups, and N-acylated aromatics. And compounds having a substituent such as a group amino group, a nitrobenzyl carbamate group, and an alkoxybenzyl carbamate group. Among these, an oxime ester compound and an α-aminoacetophenone compound are preferable, and an oxime ester compound is more preferable. As the α-aminoacetophenone compound, those having two or more nitrogen atoms are particularly preferable.

α−アミノアセトフェノン系化合物は、分子中にベンゾインエーテル結合を有し、光照射を受けると分子内で開裂が起こり、硬化触媒作用を奏する塩基性物質(アミン)が生成するものであればよい。α−アミノアセトフェノン系化合物としては、市販品としてBASFジャパン社製のイルガキュアー907、イルガキュアー369、イルガキュアー379などが挙げられる。   The α-aminoacetophenone-based compound is not particularly limited as long as it has a benzoin ether bond in the molecule, undergoes cleavage in the molecule when irradiated with light, and generates a basic substance (amine) that exhibits a curing catalytic action. Examples of the α-aminoacetophenone compound include Irgacure 907, Irgacure 369, and Irgacure 379 manufactured by BASF Japan.

オキシムエステル系化合物としては、光照射により塩基性物質を生成する化合物であれば、いずれをも使用することができる。このようなオキシムエステル系化合物としては、市販品として、BASFジャパン社製のCGI−325、イルガキュアーOXE01、イルガキュアーOXE02、(株)ADEKA製のN−1919、NCI−831などが挙げられる。また、分子内に2個のオキシムエステル基を有する光重合開始剤も好適に用いることができる。   As the oxime ester compound, any compound that generates a basic substance by light irradiation can be used. Examples of such oxime ester compounds include CGI-325, Irgacure OXE01, Irgacure OXE02 manufactured by BASF Japan, and N-1919, NCI-831 manufactured by ADEKA Corporation. Moreover, the photoinitiator which has two oxime ester groups in a molecule | numerator can also be used suitably.

このような光重合開始剤は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。樹脂組成物中の光重合開始剤の配合量は、好ましくは(A)ポリアミドイミド樹脂100質量部に対して0.1〜40質量部であり、さらに好ましくは、0.3〜20質量部である。0.1質量部以上の場合、光照射部と未照射部との耐現像性のコントラストを良好に得ることができる。また、40質量部以下の場合、硬化物特性が向上する。   Such a photoinitiator may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more type. The blending amount of the photopolymerization initiator in the resin composition is preferably 0.1 to 40 parts by mass, more preferably 0.3 to 20 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the (A) polyamideimide resin. is there. In the case of 0.1 part by mass or more, the development resistance contrast between the light irradiated part and the non-irradiated part can be favorably obtained. Moreover, in 40 mass parts or less, hardened | cured material characteristic improves.

本発明の感光性熱硬化性樹脂組成物には、必要に応じて以下の成分を配合することができる。   The following components can be mix | blended with the photosensitive thermosetting resin composition of this invention as needed.

(高分子樹脂)
本発明の樹脂組成物には、得られる硬化物の可撓性、指触乾燥性の向上を目的に、公知慣用の高分子樹脂を配合することができる。このような高分子樹脂としては、セルロース系、ポリエステル系、フェノキシ樹脂系ポリマー、ポリビニルアセタール系、ポリビニルブチラール系、ブロック共重合体、エラストマー等が挙げられる。この高分子樹脂は、1種類を単独で用いてもよく、2種類以上を併用してもよい。
(Polymer resin)
In the resin composition of the present invention, a known and commonly used polymer resin can be blended for the purpose of improving the flexibility and dryness of the touch of the resulting cured product. Examples of such polymer resins include cellulose-based, polyester-based, phenoxy-resin-based polymers, polyvinyl acetal-based, polyvinyl butyral-based, block copolymers, and elastomers. This polymer resin may be used individually by 1 type, and may use 2 or more types together.

(無機充填剤)
本発明の樹脂組成物には、硬化物の硬化収縮を抑制し、密着性、硬度などの特性を向上させるために、無機充填剤を配合することができる。このような無機充填剤としては、例えば、硫酸バリウム、無定形シリカ、溶融シリカ、球状シリカ、タルク、クレー、炭酸マグネシウム、炭酸カルシウム、酸化アルミニウム、水酸化アルミニウム、窒化ケイ素、窒化アルミニウム、窒化ホウ素、ノイブルグシリシャスアース等が挙げられる。
(Inorganic filler)
In the resin composition of the present invention, an inorganic filler can be blended in order to suppress curing shrinkage of the cured product and improve properties such as adhesion and hardness. Examples of such inorganic fillers include barium sulfate, amorphous silica, fused silica, spherical silica, talc, clay, magnesium carbonate, calcium carbonate, aluminum oxide, aluminum hydroxide, silicon nitride, aluminum nitride, boron nitride, Neuburg Sicilius Earth etc. are mentioned.

(着色剤)
本発明の樹脂組成物には、公知慣用の着色剤を配合することができる。着色剤としては、赤、青、緑、黄、白、黒などの慣用公知の着色剤を使用することができ、顔料、染料、色素のいずれでもよい。
(Coloring agent)
The resin composition of the present invention can be blended with known and commonly used colorants. As the colorant, conventionally known colorants such as red, blue, green, yellow, white, and black can be used, and any of pigments, dyes, and pigments may be used.

(有機溶剤)
本発明の樹脂組成物には、樹脂組成物の調製のためや、基材やキャリアフィルムに塗布するための粘度調整のために、有機溶剤を使用することができる。このような有機溶剤としては、ケトン類、芳香族炭化水素類、グリコールエーテル類、グリコールエーテルアセテート類、エステル類、アルコール類、脂肪族炭化水素、石油系溶剤などを挙げることができる。このような有機溶剤は、1種を単独で用いてもよく、2種以上の混合物として用いてもよい。
(Organic solvent)
In the resin composition of the present invention, an organic solvent can be used for preparing the resin composition or adjusting the viscosity for application to a substrate or a carrier film. Examples of such organic solvents include ketones, aromatic hydrocarbons, glycol ethers, glycol ether acetates, esters, alcohols, aliphatic hydrocarbons, petroleum solvents, and the like. Such an organic solvent may be used individually by 1 type, and may be used as a 2 or more types of mixture.

(その他の任意成分)
本発明の樹脂組成物には、必要に応じてさらに、メルカプト化合物、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤などの成分を配合することができる。これらは、電子材料の分野において公知慣用のものを用いることができる。また、微粉シリカ、ハイドロタルサイト、有機ベントナイト、モンモリロナイトなどの公知慣用の増粘剤、シリコーン系、フッ素系、高分子系などの消泡剤および/またはレベリング剤、シランカップリング剤、防錆剤などのような公知慣用の添加剤類を配合することができる。
(Other optional ingredients)
If necessary, the resin composition of the present invention may further contain components such as a mercapto compound, an adhesion promoter, an antioxidant, and an ultraviolet absorber. As these, those commonly used in the field of electronic materials can be used. In addition, known and commonly used thickeners such as finely divided silica, hydrotalcite, organic bentonite, montmorillonite, defoamers and / or leveling agents such as silicones, fluorines and polymers, silane coupling agents, rust inhibitors Known and conventional additives such as can be blended.

本発明の感光性熱硬化性樹脂組成物は、靭性や耐熱性に優れるポリアミドイミド樹脂を含みながら、炭酸ナトリウム水溶液で現像が可能であることから、プリント配線板の分野において広く使用することができ、例えば、パッケージ用、車載用、マザーボード用、フレキシブル用などのプリント配線板のソルダーレジスト等の用途として用いることができる。   The photosensitive thermosetting resin composition of the present invention can be widely used in the field of printed wiring boards because it can be developed with an aqueous sodium carbonate solution while containing a polyamideimide resin excellent in toughness and heat resistance. For example, it can be used as a solder resist for printed wiring boards such as for packages, for vehicles, for motherboards, and for flexible use.

(ドライフィルム)
本発明のドライフィルムは、以下のようにして製造できる。すなわち、まず、キャリアフィルム(支持体)上に、上記本発明の樹脂組成物を、有機溶剤で希釈して適切な粘度に調整し、常法に従い、コンマコーター等の公知の手法で順次塗布する。その後、通常、50〜130℃の温度で1〜30分間乾燥することで、キャリアフィルム上に形成された樹脂層を有するドライフィルムを得ることができる。このドライフィルム上には、膜の表面に塵が付着することを防ぐ等の目的で、さらに、剥離可能なカバーフィルムを積層することができる。キャリアフィルムおよびカバーフィルムとしては、従来公知のプラスチックフィルムを適宜用いることができ、カバーフィルムについては、カバーフィルムを剥離するときに、樹脂層とキャリアフィルムとの接着力よりも小さいものであることが好ましい。キャリアフィルムおよびカバーフィルムの厚さについては特に制限はないが、一般に、10〜150μmの範囲で適宜選択される。
(Dry film)
The dry film of the present invention can be produced as follows. That is, first, on the carrier film (support), the resin composition of the present invention is diluted with an organic solvent to adjust to an appropriate viscosity, and sequentially applied by a known method such as a comma coater according to a conventional method. . Then, normally, the dry film which has the resin layer formed on the carrier film can be obtained by drying for 1 to 30 minutes at the temperature of 50-130 degreeC. On this dry film, a peelable cover film can be further laminated for the purpose of preventing dust from adhering to the surface of the film. As the carrier film and the cover film, conventionally known plastic films can be used as appropriate. When the cover film is peeled off, the adhesive force between the resin layer and the carrier film may be smaller. preferable. Although there is no restriction | limiting in particular about the thickness of a carrier film and a cover film, Generally, it selects suitably in the range of 10-150 micrometers.

(プリント配線板およびその製造方法)
本発明のプリント配線板は、上記本発明の感光性熱硬化性樹脂組成物、または、上記本発明のドライフィルムを用いて形成される硬化物を備える点に特徴を有する。ポリアミドイミド樹脂を含む本発明の感光性熱硬化性樹脂組成物を用いて得られる本発明のプリント配線板は、強靱でかつ高耐熱性を有し、また、屈曲性にも優れるとの利点を有するものである。
(Printed wiring board and manufacturing method thereof)
The printed wiring board of the present invention is characterized in that it comprises a cured product formed using the photosensitive thermosetting resin composition of the present invention or the dry film of the present invention. The printed wiring board of the present invention obtained by using the photosensitive thermosetting resin composition of the present invention containing a polyamide-imide resin has the advantage that it is tough and has high heat resistance and excellent flexibility. It is what you have.

本発明のプリント配線板の製造は、導体回路を形成したプリント配線基板上に本発明の感光性熱硬化性樹脂組成物からなる樹脂層を形成する工程(樹脂層形成工程)、この樹脂層に活性エネルギー線をパターン状に照射する工程(露光工程)、この樹脂層をアルカリ現像して、パターン化された樹脂層を一括形成する工程(現像工程)を含む製造方法である。必要に応じて、アルカリ現像後、さらなる光硬化や熱硬化(ポストキュア工程)を行い、樹脂層を完全に硬化させて信頼性の高いプリント配線板を得ることができる。   The printed wiring board of the present invention is manufactured by a step of forming a resin layer made of the photosensitive thermosetting resin composition of the present invention on a printed wiring board on which a conductor circuit is formed (resin layer forming step). It is a manufacturing method including a step (exposure step) of irradiating active energy rays in a pattern, and a step (development step) in which the resin layer is alkali-developed to form a patterned resin layer at once. If necessary, after the alkali development, further photocuring and heat curing (post-cure process) can be performed to completely cure the resin layer, thereby obtaining a highly reliable printed wiring board.

また、本発明のプリント配線板の製造は、以下の手順に従い行うこともできる。すなわち、導体回路を形成したプリント配線基板上に本発明の感光性熱硬化性樹脂組成物からなる樹脂層を形成する工程(樹脂層形成工程)、この樹脂層に活性エネルギー線をパターン状に照射する工程(露光工程)、この樹脂層を加熱する工程(加熱(PEB)工程)、および、樹脂層をアルカリ現像して、パターン化された樹脂絶縁層を形成する工程(現像工程)を含む製造方法である。アルカリ現像後、さらなる光硬化や熱硬化(ポストキュア工程)を行い、樹脂層を完全に硬化させて信頼性の高いプリント配線板を得ることができる。特に、本発明においては、この手順を用いることが好ましい。   Moreover, manufacture of the printed wiring board of this invention can also be performed in accordance with the following procedures. That is, a step of forming a resin layer made of the photosensitive thermosetting resin composition of the present invention on a printed wiring board on which a conductor circuit is formed (resin layer forming step), and irradiating the resin layer with active energy rays in a pattern Manufacturing step (exposure step), a step of heating the resin layer (heating (PEB) step), and a step of developing the resin layer by alkali development to form a patterned resin insulating layer (development step) Is the method. After the alkali development, further photocuring or heat curing (post-cure process) is performed to completely cure the resin layer, thereby obtaining a highly reliable printed wiring board. In particular, it is preferable to use this procedure in the present invention.

以下、各工程について、詳細に説明する。   Hereinafter, each step will be described in detail.

[樹脂層形成工程]
この工程では、プリント配線板上に、本発明の感光性熱硬化性樹脂組成物からなる樹脂層を少なくとも一層形成する。
樹脂層の形成方法としては、塗布法と、ラミネート法が挙げられる。塗布法の場合、スクリーン印刷等の方法により、本発明の樹脂組成物をプリント配線板上に塗布し、乾燥することにより樹脂層を形成する。ラミネート法の場合、まずは、本発明の樹脂組成物を有機溶剤で希釈して適切な粘度に調整し、キャリアフィルム上に塗布、乾燥して樹脂層を有するドライフィルムを作成する。次に、ラミネーター等により樹脂層が、プリント配線板と接触するように貼り合わせ、樹脂層を形成する。キャリアフィルムは、ラミネート工程後又は後述の光照射工程又は加熱(PEB)工程後に剥離する。
[Resin layer forming step]
In this step, at least one resin layer made of the photosensitive thermosetting resin composition of the present invention is formed on the printed wiring board.
Examples of the method for forming the resin layer include a coating method and a laminating method. In the case of the coating method, the resin composition of the present invention is coated on a printed wiring board by a method such as screen printing and dried to form a resin layer. In the case of the laminating method, first, the resin composition of the present invention is diluted with an organic solvent to adjust to an appropriate viscosity, applied onto a carrier film and dried to prepare a dry film having a resin layer. Next, the resin layer is bonded with a laminator or the like so as to come into contact with the printed wiring board to form a resin layer. The carrier film is peeled after the laminating step or after the light irradiation step or heating (PEB) step described later.

また、樹脂層とプリント配線板の間には、他の層を介在させることができる。他の層は、アルカリ現像型感光性樹脂組成物からなることが好ましい。アルカリ現像型感光性樹脂組成物としては、公知の組成物を使用することができ、例えば、ソルダーレジスト用の公知の組成物を使用できる。このように他の層を含めた積層構造とすることにより、さらに耐衝撃性と屈曲性に優れた硬化物を得ることができる。   Moreover, another layer can be interposed between the resin layer and the printed wiring board. The other layer is preferably made of an alkali development type photosensitive resin composition. As an alkali development type photosensitive resin composition, a well-known composition can be used, For example, the well-known composition for soldering resists can be used. Thus, by setting it as the laminated structure including another layer, the hardened | cured material which was further excellent in impact resistance and flexibility can be obtained.

[露光工程]
この工程は、ネガ型のパターン状に光照射にて樹脂層に含まれる光重合開始剤を活性化して光照射部を硬化する。この工程では、光照射部で発生したラジカルにより、樹脂組成物に含まれる感光性樹脂成分が重合し、現像液に不溶となる。また、光塩基発生剤や、光塩基発生剤としても機能する光重合開始剤を含む組成物の場合は、この工程において光照射部に塩基が発生する。
[Exposure process]
This step activates the photopolymerization initiator contained in the resin layer by light irradiation in a negative pattern to cure the light irradiation portion. In this step, the photosensitive resin component contained in the resin composition is polymerized by radicals generated in the light irradiation portion, and becomes insoluble in the developer. In the case of a composition containing a photobase generator or a photopolymerization initiator that also functions as a photobase generator, a base is generated in the light irradiation part in this step.

光照射機としては、直接描画装置、メタルハライドランプを搭載した光照射機などを用いることができる。パターン状の光照射用のマスクは、ネガ型のマスクである。
光照射に用いる活性エネルギー線としては、最大波長が350〜450nmの範囲にあるレーザー光または散乱光を用いることが好ましい。最大波長をこの範囲とすることにより、効率よく光重合開始剤を活性化させることができる。この範囲のレーザー光を用いていればガスレーザー、固体レーザーのいずれでもよい。また、その光照射量は膜厚等によって異なるが、一般には100〜1500mJ/cmとすることができる。
As the light irradiator, a direct writer, a light irradiator equipped with a metal halide lamp, or the like can be used. The patterned light irradiation mask is a negative mask.
As the active energy ray used for light irradiation, it is preferable to use laser light or scattered light having a maximum wavelength in the range of 350 to 450 nm. By setting the maximum wavelength within this range, the photopolymerization initiator can be activated efficiently. If a laser beam in this range is used, either a gas laser or a solid laser may be used. Moreover, although the light irradiation amount changes with film thicknesses etc., it can generally be set as 100-1500 mJ / cm < 2 >.

[加熱(PEB)工程]
この工程では、光塩基発生剤や、光塩基発生剤としても機能する光重合開始剤を含む組成物において、光照射工程で光照射部に発生した塩基により熱反応性化合物が反応し、照射部のアルカリ現像耐性が向上する。加熱温度は、例えば、80〜140℃である。加熱時間は、例えば、1〜100分である。
本工程における樹脂組成物の反応は、例えば、熱反応によるエポキシ樹脂の開環反応であるため、光ラジカル反応で硬化が進行する場合と比べてひずみや硬化収縮を抑えることができる。また樹脂組成物のカルボキシル基が反応し、減ることにより、光照射部のアルカリ現像耐性が大きく向上する。
[Heating (PEB) process]
In this step, in the composition containing a photobase generator and a photopolymerization initiator that also functions as a photobase generator, the heat-reactive compound reacts with the base generated in the light irradiation portion in the light irradiation step, and the irradiation portion The alkali development resistance is improved. The heating temperature is, for example, 80 to 140 ° C. The heating time is, for example, 1 to 100 minutes.
Since the reaction of the resin composition in this step is, for example, a ring-opening reaction of an epoxy resin by a thermal reaction, distortion and curing shrinkage can be suppressed as compared with the case where curing proceeds by a photoradical reaction. Moreover, when the carboxyl group of the resin composition reacts and decreases, the alkali development resistance of the light irradiation portion is greatly improved.

[現像工程]
現像工程は、アルカリ現像により、未照射部を除去して、ネガ型のパターン状の絶縁膜、特に、ソルダーレジストパターンを形成する。
現像方法としては、ディッピング等の公知の方法によることができる。また、現像液としては、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、アミン類、水酸化テトラメチルアンモニウム水溶液(TMAH)等のアルカリ水溶液またはこれらの混合液を用いることができる。ここで、本発明においては、前述したような特定のポリアミドイミド樹脂を用いることにより、例えば、0.3〜3質量%の弱アルカリ性の現像液により現像可能である点に、メリットがある。
[Development process]
In the development step, the unirradiated portion is removed by alkali development to form a negative pattern insulating film, particularly a solder resist pattern.
The developing method can be a known method such as dipping. As the developer, an aqueous alkali solution such as sodium carbonate, potassium carbonate, sodium hydroxide, potassium hydroxide, amines, tetramethylammonium hydroxide aqueous solution (TMAH) or a mixed solution thereof can be used. Here, in this invention, there exists a merit that it can develop with a weak alkaline developing solution of 0.3-3 mass% by using the specific polyamide imide resin as mentioned above, for example.

[ポストキュア工程]
この工程は、現像工程の後に、樹脂層を完全に熱硬化させて信頼性の高い塗膜を得るものである。加熱温度は、例えば140℃〜180℃である。さらに、ポストキュアの前または後に、光照射してもよい。
[Post cure process]
In this step, after the development step, the resin layer is completely thermoset to obtain a highly reliable coating film. The heating temperature is, for example, 140 ° C to 180 ° C. Further, light irradiation may be performed before or after the post cure.

以下、実施例、比較例により本発明をさらに詳細に説明するが、本発明は、これら実施例、比較例によって制限されるものではない。   EXAMPLES Hereinafter, although an Example and a comparative example demonstrate this invention further in detail, this invention is not restrict | limited by these Examples and a comparative example.

<合成例1:ポリエーテル構造およびシクロ環を有するポリアミドイミド樹脂溶液の合成例>
撹拌機、窒素導入管、分留環、冷却環を取り付けたセパラブル3つ口フラスコに、3,5−ジアミノ安息香酸を3.8g、2,2’−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパンを6.98g、ジェファーミンXTJ−542(ハンツマン社製、分子量1025.64)を8.21g、γ−ブチロラクトンを86.49g、室温で仕込み、溶解した。
<Synthesis Example 1: Synthesis Example of Polyamideimide Resin Solution Having Polyether Structure and Cyclo Ring>
3.8 g of 3,5-diaminobenzoic acid, 2,2′-bis [4- (4-aminophenoxy) in a separable three-necked flask equipped with a stirrer, nitrogen inlet tube, fractional ring, and cooling ring 6.98 g of phenyl] propane, 8.21 g of Jeffamine XTJ-542 (manufactured by Huntsman, molecular weight 10225.64) and 86.49 g of γ-butyrolactone were charged at room temperature and dissolved.

次いで、シクロヘキサン−1,2,4−トリカルボン酸−1,2−無水物17.84gおよびトリメリット酸無水物2.88gを仕込み、室温で30分間保持した。次いで、トルエンを30g加え、160℃まで昇温して、トルエンおよび水を留去しながら3時間撹拌した後、室温まで冷却し、イミド化物溶液を得た。   Next, 17.84 g of cyclohexane-1,2,4-tricarboxylic acid-1,2-anhydride and 2.88 g of trimellitic anhydride were charged and held at room temperature for 30 minutes. Next, 30 g of toluene was added, the temperature was raised to 160 ° C., the mixture was stirred for 3 hours while distilling off toluene and water, and then cooled to room temperature to obtain an imidized product solution.

得られたイミド化物溶液に、トリメリット酸無水物9.61gおよびトリメチルヘキサメチレンジイソシアネート17.45gを仕込み、温度160℃で32時間撹拌した。こうしてカルボキシル基を有するポリアミドイミド樹脂溶液(PAI−1)を得た。得られた樹脂溶液(PAI−1)の固形分は40.1質量%、固形分の酸価は88.1mgKOHであった。   To the obtained imidized product solution, 9.61 g of trimellitic anhydride and 17.45 g of trimethylhexamethylene diisocyanate were charged and stirred at a temperature of 160 ° C. for 32 hours. Thus, a polyamideimide resin solution (PAI-1) having a carboxyl group was obtained. The solid content of the obtained resin solution (PAI-1) was 40.1% by mass, and the acid value of the solid content was 88.1 mgKOH.

<合成例2:ポリエーテル構造およびシクロ環を有しないポリアミドイミド樹脂溶液の合成例>
撹拌機、窒素導入管、分留環、冷却環を取り付けたセパラブル3つ口フラスコに、2,2’−ビス(トリフルオロメチル)ベンジジン26.69g、γ−ブチロラクトン166.05gを室温で仕込み、溶解した。
<Synthesis Example 2: Synthesis Example of Polyamideimide Resin Solution Not Having Polyether Structure and Cyclocycle>
A separable three-necked flask equipped with a stirrer, a nitrogen introducing tube, a fractional ring, and a cooling ring was charged with 26.69 g of 2,2′-bis (trifluoromethyl) benzidine and 166.05 g of γ-butyrolactone at room temperature. Dissolved.

次いで、無水トリメリット酸32.02gを仕込み、室温で30分保持した。さらにトルエン30gを仕込み、160℃まで昇温して、反応で生成する水をトルエンと共に除去した後、3時間保持して、室温まで冷却することでイミド化物溶液を得た。   Next, 32.02 g of trimellitic anhydride was charged and held at room temperature for 30 minutes. Further, 30 g of toluene was added, the temperature was raised to 160 ° C., water generated by the reaction was removed together with toluene, and then kept for 3 hours, and cooled to room temperature to obtain an imidized solution.

得られたイミド化物溶液に、無水トリメリット酸16.01gおよび4,4’−ジフェニルメタンジイソシアネート25.03gを仕込み、160℃の温度で12時間撹拌した。こうしてカルボキシル基を有するポリアミドイミド樹脂溶液(PAI−2)を得た。得られた樹脂溶液(PAI−2)の固形分は36.8%、固形分酸価は84.6mgKOH/gであった。   To the obtained imidized product solution, 16.01 g of trimellitic anhydride and 25.03 g of 4,4′-diphenylmethane diisocyanate were charged and stirred at a temperature of 160 ° C. for 12 hours. Thus, a polyamideimide resin solution (PAI-2) having a carboxyl group was obtained. The obtained resin solution (PAI-2) had a solid content of 36.8% and a solid content acid value of 84.6 mgKOH / g.

<合成例3:イミド環、フェノール性水酸基およびカルボキシル基を有するポリイミド樹脂溶液の合成例>
撹拌機、窒素導入管、分留環、冷却環を取り付けたセパラブル3つ口フラスコに、3,3’−ジアミノ−4,4’−ジヒドロキシジフェニルスルホン22.4g、2,2’−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパンを8.2g、NMPを30g、γ−ブチロラクトンを30g、4,4’−オキシジフタル酸無水物を27.9g、トリメリット酸無水物を3.8g加え、窒素雰囲気下、室温、100rpmで4時間撹拌した。次いでトルエンを20g加え、シリコン浴温度180℃、150rpmでトルエンおよび水を留去しながら4時間撹拌してイミド環を有するアルカリ溶解性樹脂溶液(PI−1)を得た。
得られた樹脂溶液(PI−1)の固形分酸価は18mgKOH、Mwは10,000、水酸基当量は390であった。
<Synthesis example 3: Synthesis example of polyimide resin solution having imide ring, phenolic hydroxyl group and carboxyl group>
To a separable three-necked flask equipped with a stirrer, a nitrogen introduction tube, a fractionation ring, and a cooling ring, 22.4 g of 3,3′-diamino-4,4′-dihydroxydiphenylsulfone, 2,2′-bis [4 -(4-aminophenoxy) phenyl] propane 8.2 g, NMP 30 g, γ-butyrolactone 30 g, 4,4′-oxydiphthalic anhydride 27.9 g, trimellitic anhydride 3.8 g, The mixture was stirred at room temperature and 100 rpm for 4 hours under a nitrogen atmosphere. Next, 20 g of toluene was added and stirred for 4 hours while distilling off toluene and water at a silicon bath temperature of 180 ° C. and 150 rpm to obtain an alkali-soluble resin solution (PI-1) having an imide ring.
The obtained resin solution (PI-1) had a solid content acid value of 18 mgKOH, Mw of 10,000, and a hydroxyl group equivalent of 390.

(実施例1〜6,比較例1〜3)
下記表中に記載の配合に従って、実施例および比較例に記載の材料をそれぞれ配合、攪拌機にて予備混合した後、3本ロールミルにて混練し、感光性熱硬化性樹脂組成物を調製した。なお、表中の配合量の値は、特に断りがない限り、固形分の質量部を示す。
(Examples 1-6, Comparative Examples 1-3)
In accordance with the composition described in the following table, the materials described in Examples and Comparative Examples were respectively blended, premixed with a stirrer, and then kneaded with a three-roll mill to prepare a photosensitive thermosetting resin composition. In addition, unless otherwise indicated, the value of the compounding amount in a table | surface shows the mass part of solid content.

<露光部の表面状態および未露光部の溶解時間>
銅厚18μmの回路が形成されたプリント配線基材を用意し、メック社製のCZ−8100を使用して、前処理を行った。その後、前処理を行ったプリント配線基材に、各感光性熱硬化性樹脂組成物を、乾燥後の膜厚が25μmになるように塗布した。その後、熱風循環式乾燥炉にて90℃/30分にて乾燥し、感光性熱硬化性樹脂組成物からなる被膜を形成した。
<Surface condition of exposed area and dissolution time of unexposed area>
A printed wiring board on which a circuit having a copper thickness of 18 μm was formed was prepared, and pretreatment was performed using CZ-8100 manufactured by MEC. Then, each photosensitive thermosetting resin composition was apply | coated to the printed wiring board which performed the pretreatment so that the film thickness after drying might be set to 25 micrometers. Then, it dried at 90 degreeC / 30 minutes with the hot-air circulation type drying furnace, and formed the film which consists of a photosensitive thermosetting resin composition.

上記で得られた被膜を備える基材に対し、高圧水銀灯(ショートアークランプ)搭載の露光装置を用いて500mJ/cmでネガ型パターンを露光した。その後、実施例1〜6および比較例1,2および4については90℃で30分間PEB工程を行った後、30℃の1質量%NaCO水溶液を用いて、スプレー圧2kg/cmの条件で5分間現像を行い、現像後の露光部の表面状態を観察して、耐現像性を評価した。また、未露光部の溶解時間を測定した。溶解時間は、一般的なプリント配線板製造工程の現像時間に対応する120秒以下であれば合格である。 A negative pattern was exposed at 500 mJ / cm 2 using an exposure apparatus equipped with a high-pressure mercury lamp (short arc lamp) on the substrate provided with the coating obtained above. Then, after 30 minutes PEB step at 90 ° C. for Examples 1 to 6 and Comparative Examples 1, 2 and 4, with 1 wt% Na 2 CO 3 aqueous solution 30 ° C., spray pressure 2 kg / cm 2 Development was performed for 5 minutes under the conditions described above, and the surface condition of the exposed area after development was observed to evaluate the development resistance. Moreover, the dissolution time of the unexposed part was measured. The dissolution time is acceptable if it is 120 seconds or less corresponding to the development time of a general printed wiring board manufacturing process.

<屈曲性試験(クラックの有無)>
ポリイミド厚25μm、銅厚18μmからなるプリント配線基材を用意し、メック社製のCZ−8100を使用して、前処理を行った。このプリント配線板上に、各感光性熱硬化性樹脂組成物を、乾燥後の膜厚が25μmになるように塗布した。その後、熱風循環式乾燥炉にて90℃/30分にて乾燥し、感光性熱硬化性樹脂組成物からなる被膜を形成した。
<Flexibility test (presence of cracks)>
A printed wiring substrate having a polyimide thickness of 25 μm and a copper thickness of 18 μm was prepared, and pretreatment was performed using CZ-8100 manufactured by MEC. On this printed wiring board, each photosensitive thermosetting resin composition was applied so that the film thickness after drying was 25 μm. Then, it dried at 90 degreeC / 30 minutes with the hot-air circulation type drying furnace, and formed the film which consists of a photosensitive thermosetting resin composition.

上記で得られた被膜を備える基材に対し、高圧水銀灯(ショートアークランプ)搭載の露光装置を用いて500mJ/cmで全面露光した。その後、実施例1〜6および比較例1,2および4については90℃で30分間PEB工程を行ってから、30℃の1質量%NaCO水溶液を用いて、スプレー圧2kg/cmの条件で5分間現像を行った。その後に熱風循環式乾燥炉にて150℃で60分の硬化を行い、感光性熱硬化性樹脂組成物の硬化被膜を備える基板を作製した。 The entire surface of the base material provided with the film obtained above was exposed at 500 mJ / cm 2 using an exposure apparatus equipped with a high-pressure mercury lamp (short arc lamp). Then, after performing 30 minutes PEB step at 90 ° C. for Examples 1 to 6 and Comparative Examples 1, 2 and 4, with 1 wt% Na 2 CO 3 aqueous solution 30 ° C., spray pressure 2 kg / cm 2 Development was performed for 5 minutes under the conditions described above. Thereafter, curing was performed at 150 ° C. for 60 minutes in a hot-air circulation type drying furnace to prepare a substrate provided with a cured film of the photosensitive thermosetting resin composition.

得られた基板を約50mm×約200mmに切断し、円筒型マンドレル試験機(BYKガードナー社,No.5710)を用いて、屈曲性評価を行った。樹脂組成物を塗布した面を外側に配置し、直径2mmの芯棒を中心に屈曲させて、クラック発生の有無を評価した。
その評価結果を下記の表中に併せて示す。
The obtained substrate was cut into about 50 mm × about 200 mm, and the flexibility was evaluated using a cylindrical mandrel tester (BYK Gardner, No. 5710). The surface on which the resin composition was applied was placed on the outside, bent around a core rod having a diameter of 2 mm, and the presence or absence of cracks was evaluated.
The evaluation results are also shown in the following table.

Figure 2016212258
*1)PAI−1:合成例1のポリアミドイミド樹脂
*2)PAI−2:合成例2のポリアミドイミド樹脂
*3)PI−1:合成例3のポリイミド樹脂
*4)PCR−1170H:カルボキシル基含有変性フェノールノボラック型エポキシ樹脂(日本化薬(株)製),酸価64mgKOH/g,COOH当量890
*5)BPE−900:エトキシ化ビスフェノールAジメタクリレート(新中村化学(株)製)
*6)E828:ビスフェノールA型エポキシ樹脂,エポキシ当量190,質量平均分子量380(20℃で液状のエポキシ樹脂)(三菱化学(株)製)
*7)IRGACURE 379:アルキルフェノン系光重合開始剤(BASF社製)
*8)IRGACURE OXE02:オキシム系光重合開始剤(BASF社製)
Figure 2016212258
* 1) PAI-1: Polyamideimide resin of Synthesis Example 1 * 2) PAI-2: Polyamideimide resin of Synthesis Example 2 * 3) PI-1: Polyimide resin of Synthesis Example 3 * 4) PCR-1170H: Carboxyl group Containing modified phenol novolac type epoxy resin (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), acid value 64 mgKOH / g, COOH equivalent 890
* 5) BPE-900: Ethoxylated bisphenol A dimethacrylate (manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.)
* 6) E828: bisphenol A type epoxy resin, epoxy equivalent 190, mass average molecular weight 380 (epoxy resin which is liquid at 20 ° C) (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation)
* 7) IRGACURE 379: Alkylphenone photopolymerization initiator (BASF)
* 8) IRGACURE OXE02: Oxime-based photopolymerization initiator (BASF)

上記表中に示す評価結果から明らかであるように、各実施例の樹脂組成物において使用した(A)ポリアミドイミド樹脂PAI−1は、溶解性に優れるとともに、構造中にポリエーテル構造およびシクロ環を有することで、現像性も高く維持できるものであることがわかる。かかる(A)ポリアミドイミド樹脂PAI−1と(B)〜(D)成分とを併せて用いたことにより、各実施例の樹脂組成物においては、良好な現像性と、高い屈曲性とが得られている。   As is clear from the evaluation results shown in the above table, the (A) polyamideimide resin PAI-1 used in the resin composition of each example is excellent in solubility and has a polyether structure and a cyclo ring in the structure. It can be seen that the development property can be maintained high. By using the (A) polyamideimide resin PAI-1 and the components (B) to (D) in combination, the resin composition of each example has good developability and high flexibility. It has been.

一方、本発明の要件を満足しないポリアミドイミド樹脂PAI−2はポリエーテル構造およびシクロ環を有しないものであり、比較例1,2から、ポリアミドイミド樹脂PAI−2やイミド樹脂PI−1は、単独では炭酸ナトリウム現像ができないことがわかる。これに対し、ポリアミドイミド樹脂PAI−2やイミド樹脂PI−1を(A)ポリアミドイミド樹脂PAI−1と併用した場合には、実施例5,6から、炭酸ナトリウム水溶液に対する溶解性は確保されている。また、比較例3においては、イミド系樹脂を含まないために、クラックが発生した。   On the other hand, the polyamideimide resin PAI-2 that does not satisfy the requirements of the present invention does not have a polyether structure and a cyclo ring. From Comparative Examples 1 and 2, the polyamideimide resin PAI-2 and the imide resin PI-1 are It turns out that sodium carbonate development cannot be performed by itself. On the other hand, when the polyamide-imide resin PAI-2 and the imide resin PI-1 are used in combination with the (A) polyamide-imide resin PAI-1, from Examples 5 and 6, the solubility in an aqueous sodium carbonate solution is secured. Yes. Further, in Comparative Example 3, cracks occurred because no imide-based resin was contained.

Claims (10)

(A)エーテル結合を有するジアミンおよびカルボキシル基含有ジアミンを含むジアミンと、少なくとも3個のカルボキシル基を有しそれらのうち2個が無水化している酸無水物を含む酸無水物(a1)とを反応させて得られるイミド化物と、ジイソシアネート化合物と、を含む反応原料を反応させて得られるポリアミドイミド樹脂、
(B)不飽和二重結合を有するモノマー、または、不飽和二重結合およびカルボキシル基を有する樹脂、
(C)エポキシ樹脂、および、
(D)光重合開始剤、
を含有することを特徴とする感光性熱硬化性樹脂組成物。
(A) a diamine containing an ether bond and a diamine containing a carboxyl group, and an acid anhydride (a1) containing an acid anhydride having at least three carboxyl groups and two of which are anhydrous. A polyamide-imide resin obtained by reacting a reaction raw material containing an imidized product obtained by reacting with a diisocyanate compound,
(B) a monomer having an unsaturated double bond, or a resin having an unsaturated double bond and a carboxyl group,
(C) an epoxy resin, and
(D) a photopolymerization initiator,
A photosensitive thermosetting resin composition comprising:
前記酸無水物(a1)が、無水トリメリット酸およびシクロヘキサン−1,2,4−トリカルボン酸−1,2−無水物のうちのいずれか一方または双方を含む請求項1記載の感光性熱硬化性樹脂組成物。   The photosensitive thermosetting according to claim 1, wherein the acid anhydride (a1) contains one or both of trimellitic anhydride and cyclohexane-1,2,4-tricarboxylic acid-1,2-anhydride. Resin composition. 前記ジイソシアネート化合物が、脂肪族骨格を有する請求項1または2記載の感光性熱硬化性樹脂組成物。   The photosensitive thermosetting resin composition according to claim 1, wherein the diisocyanate compound has an aliphatic skeleton. 前記反応原料が、少なくとも3個のカルボキシル基を有し、それらのうち2個が無水化している酸無水物(a2)をさらに含む請求項1〜3のうちいずれか一項記載の感光性熱硬化性樹脂組成物。   The photosensitive heat | fever as described in any one of Claims 1-3 in which the said reaction raw material further contains the acid anhydride (a2) which has at least 3 carboxyl groups, and 2 of them are anhydrous. Curable resin composition. 前記酸無水物(a2)が、無水トリメリット酸およびシクロヘキサン−1,2,4−トリカルボン酸−1,2−無水物のうちのいずれか一方または双方を含む請求項4記載の感光性熱硬化性樹脂組成物。   The photosensitive thermosetting according to claim 4, wherein the acid anhydride (a2) includes one or both of trimellitic anhydride and cyclohexane-1,2,4-tricarboxylic acid-1,2-anhydride. Resin composition. 前記(A)ポリアミドイミド樹脂の質量平均分子量Mwが10,000以下である請求項1〜5のうちいずれか一項記載の感光性熱硬化性樹脂組成物。   The photosensitive thermosetting resin composition according to claim 1, wherein the (A) polyamideimide resin has a mass average molecular weight Mw of 10,000 or less. 前記(C)エポキシ樹脂が、常温で液状のエポキシ樹脂を含む請求項1〜6のうちいずれか一項記載の感光性熱硬化性樹脂組成物。   The photosensitive thermosetting resin composition according to claim 1, wherein the (C) epoxy resin contains an epoxy resin that is liquid at normal temperature. 前記(D)光重合開始剤が、光塩基発生剤としても機能する光重合開始剤を含む請求項1〜7のうちいずれか一項記載の感光性熱硬化性樹脂組成物。   The photosensitive thermosetting resin composition according to claim 1, wherein the photopolymerization initiator (D) includes a photopolymerization initiator that also functions as a photobase generator. 請求項1〜8のうちいずれか一項記載の感光性熱硬化性樹脂組成物からなる樹脂層を有することを特徴とするドライフィルム。   It has a resin layer which consists of a photosensitive thermosetting resin composition as described in any one of Claims 1-8, The dry film characterized by the above-mentioned. 請求項1〜8のうちいずれか一項記載の感光性熱硬化性樹脂組成物、または、請求項9記載のドライフィルムを用いて形成される硬化物を備えることを特徴とするプリント配線板。   A printed wiring board comprising the photosensitive thermosetting resin composition according to claim 1 or a cured product formed using the dry film according to claim 9.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2020009087A1 (en) * 2018-07-05 2020-01-09 日本化薬株式会社 Photosensitive resin composition
CN112143227A (en) * 2019-06-27 2020-12-29 住友化学株式会社 Optical film, flexible display device, and method for manufacturing optical film
KR20210082102A (en) 2019-12-24 2021-07-02 닛뽄 가야쿠 가부시키가이샤 Photosensitive resin composition and use thereof
CN113166410A (en) * 2018-11-30 2021-07-23 太阳油墨制造株式会社 Photosensitive thermosetting resin composition, dry film and printed wiring board

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2020009087A1 (en) * 2018-07-05 2020-01-09 日本化薬株式会社 Photosensitive resin composition
KR20210029185A (en) 2018-07-05 2021-03-15 닛뽄 가야쿠 가부시키가이샤 Photosensitive resin composition
CN113227194A (en) * 2018-07-05 2021-08-06 日本化药株式会社 Photosensitive resin composition
CN113166410A (en) * 2018-11-30 2021-07-23 太阳油墨制造株式会社 Photosensitive thermosetting resin composition, dry film and printed wiring board
CN112143227A (en) * 2019-06-27 2020-12-29 住友化学株式会社 Optical film, flexible display device, and method for manufacturing optical film
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