JP2016190236A - Ink head - Google Patents

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康行 荒井
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a technology capable of efficiently processing the formation of an organic compound layer at a high speed by an inkjet system.SOLUTION: A formation method of an organic compound layer by an inkjet system, forms the continuous organic compound layer by discharging a composition of including an organic compound having light emitting performance from an ink head. The organic compound layer is formed on a pixel electrode arranged in a matrix shape, and continuously forms the organic compound layer over a plurality of pixel electrodes. A light emitting device of using an organic light emitting element is manufactured by this manufacturing method.SELECTED DRAWING: Figure 6

Description

本発明は、発光体として有機化合物を用いる発光装置の製造方法に関し、特にインクジ
ェット方式を用いる発光装置の製造方法に関する。
The present invention relates to a method for manufacturing a light emitting device using an organic compound as a light emitter, and more particularly to a method for manufacturing a light emitting device using an ink jet method.

有機発光素子は、蛍光又は燐光が得られる有機化合物を含む薄膜を、陽極と陰極から成
る一対の電極間に挟んだ構造をもって形成されている。その発光機構は、陰極から注入さ
れた電子と、陽極から注入された正孔が発光性物質を含む発光層で再結合して分子励起子
を形成し、その分子励起子が基底状態に戻る時に光を放出する現象として捉えられている
。光を放出する過程には、一重項状態からの発光(蛍光)と三重項状態からの発光(燐光
)とがある。輝度は10V以下の印加電圧であっても数千〜数万cd/m2に及び、有機化合物
材料やそのドーパントを適宜選択することにより青色から赤色までの発光が可能である。
従って、原理的に見ても表示装置などへの応用が十分可能であると考えられている。
An organic light-emitting element is formed with a structure in which a thin film containing an organic compound capable of obtaining fluorescence or phosphorescence is sandwiched between a pair of electrodes composed of an anode and a cathode. The light emission mechanism is such that electrons injected from the cathode and holes injected from the anode are recombined in the light emitting layer containing a luminescent substance to form molecular excitons, and the molecular excitons return to the ground state. It is perceived as a phenomenon that emits light. The process of emitting light includes light emission from a singlet state (fluorescence) and light emission from a triplet state (phosphorescence). The luminance ranges from several thousand to several tens of thousands cd / m 2 even at an applied voltage of 10 V or less, and light emission from blue to red is possible by appropriately selecting an organic compound material and its dopant.
Therefore, it is considered that it can be sufficiently applied to a display device or the like even in principle.

有機化合物には高分子化合物、低分子化合物の両者について検討が進み、開発が成され
ているが、いずれも耐熱性が低いことからフォトリソグラフィー等のパターニング工程を
適用することが困難である。インクジェット方式はその問題点を克服するために開発され
、基板上に直接パターンを描画することで、フォトリソグラフィーによるパターニング工
程を不要なものとしている。
As for organic compounds, both high molecular compounds and low molecular compounds have been studied and developed. However, since both have low heat resistance, it is difficult to apply a patterning process such as photolithography. The ink jet method has been developed to overcome this problem, and a patterning process by photolithography is unnecessary by drawing a pattern directly on a substrate.

インクジェット方式に関しては、特開平10−012377号広報にアクティブマトリ
クス型有機EL表示体を製造する技術が開示されている。これは、薄膜トランジスタを有
するガラス基板に画素電極が形成され、当該画素電極上に赤、緑、青の各色の発光層を画
素毎にインクジェット方式で形成するものである。
Regarding the ink jet system, Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-012377 discloses a technique for manufacturing an active matrix organic EL display. In this method, a pixel electrode is formed on a glass substrate having a thin film transistor, and red, green, and blue light emitting layers are formed on the pixel electrode by an inkjet method for each pixel.

インクジェット方式で用いる有機化合物材料としては、シアノポリフェニレンビニレン
、ポリフェニレンビニレンなどの前駆体、アロマティックジアアミン、オキシジアゾール
、ジスチルアリーレン、トリフェニルアミン、ジスチリルなどの誘導体、キノリノール系
金属、アゾメチン亜鉛、ポリフィリン亜鉛、ベンゾオキサゾール亜鉛、フェナントロリン
ユウピウムなどの錯体が知られている。
Organic compound materials used in the inkjet method include precursors such as cyanopolyphenylene vinylene and polyphenylene vinylene, derivatives such as aromatic diamine, oxydiazole, distilarylene, triphenylamine, and distyryl, quinolinol-based metals, azomethine zinc, Complexes such as porphyrin zinc, benzoxazole zinc, and phenanthroline upium are known.

上記有機化合物は溶媒に溶解又は分散させた状態(以下、これを組成物という)でイン
クジェット印刷装置のインクヘッドから滴下して、基板上に被膜を形成する。組成物の物
性としては、粘度、表面張力、乾燥速度などが重要なパラメータとなる。また、再現性良
く組成物を滴下するにはインクヘッドの幾何学的構造やその駆動条件が重要であり、吐出
する組成物の量、方向、周期などがパラメータとなっている。
The organic compound is dropped from an ink head of an ink jet printing apparatus in a state of being dissolved or dispersed in a solvent (hereinafter referred to as a composition) to form a film on the substrate. As physical properties of the composition, viscosity, surface tension, drying speed and the like are important parameters. Further, in order to drop the composition with good reproducibility, the geometric structure of the ink head and its driving conditions are important, and the amount, direction, period, etc. of the composition to be ejected are parameters.

インクジェット方式において、組成物をインクヘッドから吐出させるには、圧電素子を
用い、その振動を利用して組成物が充填された容器の容積を変化させて外部に組成物を吐
出させる仕組みとなっている。
In the ink jet system, in order to eject the composition from the ink head, a piezoelectric element is used, and the volume of the container filled with the composition is changed using the vibration to eject the composition to the outside. Yes.

インクヘッドから1回に吐出する組成物の量は10〜40plであり、粘度は1〜20cp
が良いと考えられている。粘度が低い場合は所定の膜厚を得ることができず、被形成面に
組成物が着弾した後流れ出して必要以上にパターンが広がってしまう等の問題が発生する
。また、粘度が高すぎるとインクヘッドの吐出口から組成物を円滑に吐出できなくなった
り、吐出する一滴の組成物の形状が糸を引いたようになり、着弾後に形状不良を発生させ
る等の問題がある。
The amount of the composition discharged from the ink head at one time is 10 to 40 pl, and the viscosity is 1 to 20 cp.
Is considered good. When the viscosity is low, a predetermined film thickness cannot be obtained, and there arises a problem that the composition flows onto the surface to be formed and then flows out and the pattern spreads more than necessary. In addition, if the viscosity is too high, the composition cannot be smoothly ejected from the ejection port of the ink head, or the shape of the ejected composition of the drop is like a thread, causing a shape defect after landing. There is.

組成物における溶媒は、基板に滴下後に揮発するものが適している。しかし、常に連続
して滴下していないと溶媒が揮発して、吐出口のところで固まってしまう。例えば、トル
エンなど揮発性の高い溶媒を用いる場合は、特に注意が必要となる。吐出が連続している
場合でも、吐出口の付近に固形物が次第に成長し、最悪の場合には吐出口を塞いでしまう
。それに至らないにしても、吐出口付近にできる固形物は、吐出する組成物の方向を変化
させ、着弾精度が著しく低下してしまう。さらに、吐出口の口径が小さくなることにより
吐出する組成物の量が減少し、基板上に形成される有機化合物層の厚さが減少するという
不良が発生する。
このような不具合を防止するために、従来のインクジェット方式では、固形物による目詰
まりを防止するために、頻繁にインクヘッドをクリーニングする必要に駆られていた。
As the solvent in the composition, those which volatilize after being dropped onto the substrate are suitable. However, if it is not continuously dripped, the solvent evaporates and hardens at the discharge port. For example, when a highly volatile solvent such as toluene is used, special care is required. Even when the discharge is continuous, solid matter gradually grows in the vicinity of the discharge port, and in the worst case, the discharge port is blocked. Even if it does not lead to this, the solid material formed in the vicinity of the discharge port changes the direction of the composition to be discharged, and the landing accuracy is significantly reduced. Furthermore, since the diameter of the discharge port is reduced, the amount of the composition to be discharged is reduced, resulting in a defect that the thickness of the organic compound layer formed on the substrate is reduced.
In order to prevent such inconveniences, the conventional ink jet method has been required to frequently clean the ink head in order to prevent clogging due to solid matter.

本発明はこのような問題点を鑑みてなされたものであり、インクジェット方式による有
機化合物層の形成を効率的に高速に処理することが可能な技術を提供することを目的とす
る。
The present invention has been made in view of such problems, and an object of the present invention is to provide a technique capable of efficiently and rapidly processing the formation of an organic compound layer by an inkjet method.

この問題点を解決するために本発明は、インクジェット方式による有機化合物層の形成
方法において、インクヘッドから発光性を有する有機化合物を含む組成物を吐出して、連
続した有機化合物層を形成することを特徴としている。当該有機化合物層は、マトリクス
状に配列した画素電極上に形成するものであり、複数の画素電極に渡って連続して有機化
合物層を形成するものである。そして、この製造方法により有機発光素子を用いた発光装
置を製造するものである。
In order to solve this problem, according to the present invention, in a method for forming an organic compound layer by an ink jet method, a composition containing a light-emitting organic compound is ejected from an ink head to form a continuous organic compound layer. It is characterized by. The organic compound layer is formed on pixel electrodes arranged in a matrix, and the organic compound layer is formed continuously over a plurality of pixel electrodes. And the light-emitting device using an organic light emitting element is manufactured with this manufacturing method.

本発明は、有機発光素子をマトリクス状に配列させて画素部を形成する発光装置の製造
方法に適用することができる。アクティブマトリクス駆動方式を採用するには、薄膜トラ
ンジスタを有する基板に画素電極を形成し、当該画素電極上層に、正孔注入層が形成し、
この上層に、インクヘッドから発光性を有する有機化合物を含む組成物を吐出して連続し
た有機化合物層を形成する。
The present invention can be applied to a method of manufacturing a light emitting device in which organic light emitting elements are arranged in a matrix to form a pixel portion. In order to employ the active matrix driving method, a pixel electrode is formed on a substrate having a thin film transistor, and a hole injection layer is formed on the pixel electrode upper layer.
A continuous organic compound layer is formed on the upper layer by discharging a composition containing a light-emitting organic compound from the ink head.

基板上の被形成面に吐出された組成物は、溶媒が揮発し固化することにより有機化合物
層が形成される。しかし、表面張力により水玉状に組成物が付着すると均一な厚さの有機
化合物層が得られないので、平滑化手段により平滑にする。平滑化手段としては、ノズル
から気体を噴出して組成物を平滑にする。或いは、ヘラなどを用い、連速的に形成された
組成物の表面をならして平滑化しても良い。
In the composition discharged onto the surface to be formed on the substrate, an organic compound layer is formed when the solvent volatilizes and solidifies. However, when the composition adheres in the form of polka dots due to the surface tension, an organic compound layer having a uniform thickness cannot be obtained. As a smoothing means, gas is ejected from a nozzle to smooth the composition. Alternatively, using a spatula or the like, the surface of the composition formed continuously may be smoothed and smoothed.

噴出する気体として、窒素、アルゴンなどの不活性気体を用いると組成物の溶媒を揮発
させることができ、また、酸化を防止することができる。或いは、吐出口の外周部に同心
円状に開口部を設け、その開口部から気体を噴出することにより平滑化すると共に、吐出
口において組成物が乾燥して固体化し、目詰まりするのを防ぐことができる。
When an inert gas such as nitrogen or argon is used as the gas to be ejected, the solvent of the composition can be volatilized and oxidation can be prevented. Alternatively, an opening is provided concentrically around the outer periphery of the discharge port, and smoothing is performed by ejecting gas from the opening, and the composition is dried and solidified at the discharge port to prevent clogging. Can do.

本発明において、インクジェット方式によりパターン形成する際に用いられる発光性を
有する組成物は、有機発光材料又はその前駆体を溶媒に溶解又は分散させたものを用いる
。例えば、昇華性を有さず、且つ分子数が20以下、又は連鎖する分子の長さが10μm
以下の有機化合物(これを本明細書において、中分子化合物という)を用いることができ
る。
In the present invention, a composition having a light-emitting property used for pattern formation by an ink jet method is obtained by dissolving or dispersing an organic light-emitting material or a precursor thereof in a solvent. For example, it has no sublimation property and the number of molecules is 20 or less, or the length of chained molecules is 10 μm.
The following organic compounds (which are referred to as medium molecular compounds in this specification) can be used.

その他に、インクジェット方式によりパターン形成する際に用いられる発光性を有する
組成物の一例は、ポリパラフェニレンビニレン系、ポリパラフェニレン系、ポリチオフェ
ン系、ポリフルオレン系などの高分子系化合物を含む組成物を適用することができる。当
該組成物により作製される有機発光素子の発光色を変えるために、発光性を有する組成物
に、その発光特性を変化させる蛍光色素が少なくとも一種含ませることでその目的を達成
できる。
In addition, an example of a composition having a light-emitting property used when forming a pattern by an ink jet method is a composition containing a polymer compound such as polyparaphenylene vinylene, polyparaphenylene, polythiophene, or polyfluorene. Can be applied. In order to change the luminescent color of an organic light-emitting device produced by the composition, the object can be achieved by including at least one fluorescent dye that changes the luminescent property in the luminescent composition.

従来のインクジェット方式では、インクヘッドの位置制御と、組成物の吐出との操作を
繰り返し行うことで所定のパターンを形成するものであったが、1ドット毎に吐出する組
成物を基板上で連続させ、線状又はストライプ状の有機化合物層を形成することにより、
位置合わせに要する時間が短縮され、有機化合物層の形成が容易となり、処理時間を短縮
することができる。
In the conventional ink jet method, a predetermined pattern is formed by repeatedly performing operations of ink head position control and composition ejection, but the composition ejected for each dot is continuously formed on the substrate. By forming a linear or striped organic compound layer,
The time required for alignment is shortened, the formation of the organic compound layer is facilitated, and the processing time can be shortened.

特に、本発明は1枚の大面積基板から複数枚の表示用パネルを切り出す生産方式に適用
する場合に適している。また、大面積基板に複数の画素領域が設けられている場合には、
画素領域間の移動の間、混合物の吐出を瞬時に停止させることで、インクヘッドを大面積
基板に対してより高速に移動させることができる。
In particular, the present invention is suitable for application to a production system in which a plurality of display panels are cut out from a single large-area substrate. When a plurality of pixel regions are provided on a large area substrate,
By instantaneously stopping the discharge of the mixture during the movement between the pixel regions, the ink head can be moved at a higher speed with respect to the large area substrate.

以上のように本発明によれば、1ドット毎に吐出する組成物を基板上で連続させ、線状
又はストライプ状の有機化合物層を形成することにより、位置合わせに要する時間が短縮
され、有機化合物層の形成が容易となり、処理時間を短縮することができる。
As described above, according to the present invention, the time required for alignment is shortened by forming a linear or striped organic compound layer by causing the composition ejected for each dot to continue on the substrate. Formation of the compound layer is facilitated, and the processing time can be shortened.

特に、本発明は1枚の大面積基板から複数枚の表示用パネルを切り出す生産方式に適用
する場合に適している。また、大面積基板に複数の画素領域が設けられている場合には、
画素領域間の移動の間、混合物の吐出を瞬時に停止させることで、インクヘッドを大面積
基板に対してより高速に移動させ、生産性を向上できるという有利な効果がある。
In particular, the present invention is suitable for application to a production system in which a plurality of display panels are cut out from a single large-area substrate. When a plurality of pixel regions are provided on a large area substrate,
By instantaneously stopping the discharge of the mixture during the movement between the pixel regions, there is an advantageous effect that the ink head can be moved at a higher speed with respect to the large area substrate and the productivity can be improved.

本発明のインクジェット方式で有機化合物層を連続的に形成する概念を説明するための図。The figure for demonstrating the concept which forms an organic compound layer continuously with the inkjet system of this invention. インクジェット方式の印刷装置の構成を説明する図。FIG. 5 illustrates a configuration of an inkjet printing apparatus. インクヘッドの構成の一例を説明する断面図。FIG. 3 is a cross-sectional view illustrating an example of the configuration of an ink head. インクヘッドの構成の一例を説明する断面図。FIG. 3 is a cross-sectional view illustrating an example of the configuration of an ink head. インクヘッドの構成の一例を説明する断面図。FIG. 3 is a cross-sectional view illustrating an example of the configuration of an ink head. 連続的な有機化合物層を形成する過程を説明する図。The figure explaining the process in which a continuous organic compound layer is formed. 連続的な有機化合物層を形成する過程を説明する図。The figure explaining the process in which a continuous organic compound layer is formed. マトリクス状に配列した各画素電極に対し、有機化合物層を連続的に形成する概念を説明する図。The figure explaining the concept which forms an organic compound layer continuously with respect to each pixel electrode arranged in the matrix form. マトリクス状に配列した各画素電極に対し、有機化合物層を連続的に形成する概念を説明する図。The figure explaining the concept which forms an organic compound layer continuously with respect to each pixel electrode arranged in the matrix form. 本発明のインクジェット方式で有機化合物層を連続的に形成する概念を説明するための図。The figure for demonstrating the concept which forms an organic compound layer continuously with the inkjet system of this invention. ヘッド部における吐出口の配置を示す図。The figure which shows arrangement | positioning of the discharge outlet in a head part. インクジェット方式を用いた有機発光装置の作製工程を説明する断面図。Sectional drawing explaining the manufacturing process of the organic light-emitting device using an inkjet system. インクジェット方式を用いた有機発光装置の作製工程を説明する断面図。Sectional drawing explaining the manufacturing process of the organic light-emitting device using an inkjet system. 有機発光素子を設ける画素の構成を説明する上面図。FIG. 6 is a top view illustrating a structure of a pixel provided with an organic light emitting element. 有機発光素子を設けたの画素の構成を説明する断面図。Sectional drawing explaining the structure of the pixel which provided the organic light emitting element. 発光装置の封止構造に一例を示す断面図。Sectional drawing which shows an example in the sealing structure of a light-emitting device. アクティブマトリクス駆動の発光装置の構成を示す上面図及び断面図。2A and 2B are a top view and a cross-sectional view illustrating a structure of a light-emitting device driven by an active matrix. パッシブマ型の発光装置の画素部の構成を説明する斜視図。FIG. 11 is a perspective view illustrating a structure of a pixel portion of a passive light emitting device. 電子装置の一例を示す図。FIG. 11 illustrates an example of an electronic device. 電子装置の一例を示す図。FIG. 11 illustrates an example of an electronic device.

本発明の実施の形態について図1から図11を参照して説明する。図1は基板101上
にデータ線駆動回路104が形成され、画素部102にインクジェット方式で有機化合物
層を形成する段階を示している。画素部102にはストライプ状に隔壁105が設けられ
、各隔壁の間に有機化合物層を形成する。隔壁105はインクジェット方式で有機化合物
層を形成する際に、隣接する有機化合層が相互に混ざり合わないようにするために設けて
いる。
Embodiments of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 1 shows a stage in which a data line driving circuit 104 is formed on a substrate 101 and an organic compound layer is formed on the pixel portion 102 by an inkjet method. A partition wall 105 is provided in a stripe shape in the pixel portion 102, and an organic compound layer is formed between the partition walls. The partition wall 105 is provided to prevent adjacent organic compound layers from being mixed with each other when the organic compound layer is formed by the inkjet method.

有機化合物層106は、インクヘッド107から発光性を有する有機化合物材料を含む
組成物を吐出して形成する。組成物はインクヘッドから連続的に吐出させて、線状のパタ
ーンを形成する。有機化合物層の材料は特に限定されるものではないが、カラー表示を行
うには赤、緑、青の各色を発光する有機化合物層106R、106G、106Bを設ける
The organic compound layer 106 is formed by discharging a composition containing a light-emitting organic compound material from the ink head 107. The composition is continuously ejected from the ink head to form a linear pattern. The material of the organic compound layer is not particularly limited, but organic compound layers 106R, 106G, and 106B that emit red, green, and blue colors are provided for color display.

インクジェット方式に適した高分子材料を用いた有機化合物層を形成する際には、単層
のみの構成としても良いが、より発光効率を向上させるためには2層以上の積層構造が良
い。代表的な積層構造は正孔輸送層と発光層とを積層させたものである。
When forming an organic compound layer using a polymer material suitable for the inkjet method, a single layer structure may be used, but a laminated structure of two or more layers is preferable in order to further improve luminous efficiency. A typical laminated structure is obtained by laminating a hole transport layer and a light emitting layer.

有機化合物層を形成する高分子系有機化合物としては、ポリパラフェニレンビニレン誘
導体、ポリチオフェン誘導体、ポリフルオレン誘導体、ポリパラフェニレン誘導体、ポリ
アルキルフェニレン、ポリアセチレン誘導体などの有機溶媒に可溶な物質を用いることが
できる。
As a high molecular weight organic compound forming the organic compound layer, a substance soluble in an organic solvent such as a polyparaphenylene vinylene derivative, a polythiophene derivative, a polyfluorene derivative, a polyparaphenylene derivative, a polyalkylphenylene, or a polyacetylene derivative should be used. Can do.

ポリパラフェニレンビニレン誘導体としては、ポリ(2,5−ジアルコキシ−1,4−
フェニレンビニレン):RO−PPVを用いることができ、具体的にはポリ(2−メトキ
シ−5−(2−エチル−ヘキソキシ)−1,4−フェニレンビニレン):MEH−PPV
やポリ(2,5−ジメチルオクチルシリル−1,4−フェニレンビニレン):DMOS−
PPVといった材料を用いることができる。
Examples of polyparaphenylene vinylene derivatives include poly (2,5-dialkoxy-1,4-
Phenylene vinylene): RO-PPV can be used, specifically, poly (2-methoxy-5- (2-ethyl-hexoxy) -1,4-phenylene vinylene): MEH-PPV
And poly (2,5-dimethyloctylsilyl-1,4-phenylenevinylene): DMOS-
A material such as PPV can be used.

ポリパラフェニレン誘導体としては、ポリ(2,5−ジアルコキシ−1,4−フェニレ
ン):RO−PPPを用いることができる。
As the polyparaphenylene derivative, poly (2,5-dialkoxy-1,4-phenylene): RO-PPP can be used.

ポリチオフェン誘導体としては、ポリ(3−アルキルチオフェン):PATを用いるこ
とができ、具体的にはポリ(3−ヘキシルチオフェン):PHT、ポリ(3−シクロヘキ
シルチオフェン):PCHTといった材料を用いることができる。その他にもポリ(3−
シクロヘキシル−4−メチルチオフェン):PCHMT、ポリ(3−[4−オクチルフェ
ニル]−2,2’ビチオフェン):PTOPT、ポリ(3−(4オクチルフェニル)−チ
オフェン):POPT−1等を用いることもできる。
As the polythiophene derivative, poly (3-alkylthiophene): PAT can be used, and specifically, a material such as poly (3-hexylthiophene): PHT, poly (3-cyclohexylthiophene): PCHT can be used. . In addition, poly (3-
(Cyclohexyl-4-methylthiophene): PCHMT, poly (3- [4-octylphenyl] -2,2′bithiophene): PTOPT, poly (3- (4 octylphenyl) -thiophene): POPT-1, etc. You can also.

ポリフルオレン誘導体としては、ポリ(ジアルキルフルオレン):PDAFを用いるこ
とができ、具体的にはポリ(ジオクチルフルオレン):PDOFといった材料を用いるこ
とができる。
As the polyfluorene derivative, poly (dialkylfluorene): PDAF can be used, and specifically, a material such as poly (dioctylfluorene): PDOF can be used.

ポリアセチレン誘導体としては、ポリプロピルフェニルアセチレン:PPA−iPr、
ポリブチルフェニルフェニルアセチレン:PDPA−nBu、ポリヘキシルフェニルアセ
チレン:PHPAといった材料を用いることができる。
Examples of the polyacetylene derivative include polypropylphenylacetylene: PPA-iPr,
Materials such as polybutylphenylphenylacetylene: PDPA-nBu and polyhexylphenylacetylene: PHPA can be used.

また、これらの高分子系有機化合物の溶媒としては、トルエン、ベンゼン、クロロベン
ゼン、ジクロロベンゼン、クロロホルム、テトラリン、キシレン、アニソール、ジクロロ
メタン、γブチルラクトン、ブチルセルソルブ、シクロヘキサン、NMP(N−メチル−
2−ピロリドン)、ジメチルスルホキシド、シクロヘキサノン、ジオキサンまたは、TH
F(テトラヒドロフラン)等を用いることができる。
Moreover, as a solvent of these high molecular organic compounds, toluene, benzene, chlorobenzene, dichlorobenzene, chloroform, tetralin, xylene, anisole, dichloromethane, gamma butyllactone, butyl cellosolve, cyclohexane, NMP (N-methyl-
2-pyrrolidone), dimethyl sulfoxide, cyclohexanone, dioxane or TH
F (tetrahydrofuran) or the like can be used.

また、正孔注入性の高分子化合物としてPEDOT(poly(3,4‐ethylene dioxythioph
ene))や、ポリアニリン(PA)を用いることもできる。なお、これらの材料は水溶性で
ある。このPEDOTは塗布法によっても形成可能である。塗布法で形成した第1の有機
化合物層(PEDOT)の上に、インクジェット方式で第2の有機化合物層を形成するこ
ともできる。
In addition, PEDOT (poly (3,4-ethylene dioxythioph
ene)) or polyaniline (PA). These materials are water-soluble. This PEDOT can also be formed by a coating method. A second organic compound layer can also be formed by an inkjet method on the first organic compound layer (PEDOT) formed by a coating method.

その他にも、昇華性を有せず、且つ分子数が10以下、又は連鎖する分子の長さが5μ
m以下の有機化合物(これを中分子系有機化合物という)を用いることもできる。そのよ
うな材料の一例は、テトラキス(2−メルカプト−ヘンズオキサゾラト)タングステンな
どが上げられる。高分子有機化合物材料を用いたインクジェット方式によるパターン形成
では、滴下した混合物が糸を引いて線状になってしまうなどの問題点があるが、連鎖する
分子数の少ない中分子系有機化合物ではそのような不具合が発生しない。また、高分子系
有機化合物材料の混合物を形成する場合には、それを溶かす溶媒とインクヘッドを構成す
る部材との組み合わせを考慮する必要がある。実際にはインクヘッドを構成する部材を腐
食しない溶媒を用いる必要がある。しかし、中分子系有機化合物では、水溶液に分散させ
て用いることも可能であり、そのような問題が発生しない。
In addition, it has no sublimation property and the number of molecules is 10 or less, or the length of chained molecules is 5 μm.
It is also possible to use m or less organic compounds (referred to as medium molecular organic compounds). An example of such a material is tetrakis (2-mercapto-benzoxazolato) tungsten. In pattern formation by ink jet method using high molecular organic compound materials, there is a problem that the dropped mixture becomes a linear shape by pulling the thread, but in the case of medium molecular organic compounds with a small number of linked molecules, Such a problem does not occur. Further, when a mixture of polymer organic compound materials is formed, it is necessary to consider a combination of a solvent for dissolving the mixture and members constituting the ink head. In practice, it is necessary to use a solvent that does not corrode the members constituting the ink head. However, medium molecular organic compounds can be used by being dispersed in an aqueous solution, and such a problem does not occur.

また、溶媒としては、トルエン、ベンゼン、クロロベンゼン、ジクロロベンゼン、クロ
ロホルム、テトラリン、キシレン、ジクロロメタン、シクロヘキサン、NMP(N−メチ
ル−2−ピロリドン)、ジメチルスルホキシド、シクロヘキサノン、ジオキサン、THF
(テトラヒドロフラン)などを適用することができる。
As the solvent, toluene, benzene, chlorobenzene, dichlorobenzene, chloroform, tetralin, xylene, dichloromethane, cyclohexane, NMP (N-methyl-2-pyrrolidone), dimethyl sulfoxide, cyclohexanone, dioxane, THF
(Tetrahydrofuran) can be applied.

図2はインクジェット方式を用いた印刷装置の構成を示している。インクヘッド201
から吐出される組成物は、基板上で連続した有機化合物のパターンが形成されるように、
吐出する周期と基板の移動速度を調節する。インクヘッド201に隣接して、組成物(又
は有機化合物)の平滑化手段として気体を噴出するノズル202が備えている。このノズ
ルから噴出する気体により、基板上215上に吐出された組成物を平滑化するために用い
ている。また、吐出した組成物の着弾位置の精度を高めるために、インクヘッド201と
基板215との間隔を1mm以下に近づける。これはインクヘッド201が上下に動く移動
機構204とその制御手段203を設け、パターン形成時のみ基板215に近づけるよう
にする構成とする。
FIG. 2 shows a configuration of a printing apparatus using an ink jet system. Ink head 201
The composition discharged from the substrate is formed so that a continuous organic compound pattern is formed on the substrate.
The discharge cycle and the moving speed of the substrate are adjusted. Adjacent to the ink head 201, a nozzle 202 for ejecting gas is provided as a means for smoothing the composition (or organic compound). It is used to smooth the composition discharged onto the substrate 215 by the gas ejected from this nozzle. Further, in order to increase the accuracy of the landing position of the ejected composition, the distance between the ink head 201 and the substrate 215 is made close to 1 mm or less. In this configuration, a moving mechanism 204 that moves the ink head 201 up and down and its control means 203 are provided so that the ink head 201 can be brought close to the substrate 215 only during pattern formation.

その他の構成は、基板を固定しXYθ方向に可動し基板を真空チャック等の手法で固定
する基板ステージ205、インクヘッド201に組成物を供給する手段206、ノズル2
02に気体を供給する手段207などから成っている。筐体210はインクヘッド201
、基板ステージ205等を覆い、ガス供給手段208と筐体210内に設けられたシャワ
ーヘッド209により、組成物の溶媒と同じ気体を供給して雰囲気を置換しておくと乾燥
をある程度防止することができ、長時間印刷を続けることができる。その他付随する要素
として、処理する基板を保持するカセット212、そのカセット212から搬出入させる
搬送手段211、清浄な空気を送り出し作業領域の埃を低減するクリーンユニット213
などを備えても良い。
Other configurations include a substrate stage 205 that fixes the substrate, moves in the XYθ direction, and fixes the substrate by a technique such as a vacuum chuck, means 206 for supplying a composition to the ink head 201, nozzle 2
And means 207 for supplying a gas to 02. The casing 210 is an ink head 201.
If the atmosphere is replaced by supplying the same gas as the solvent of the composition by the gas supply means 208 and the shower head 209 provided in the housing 210 by covering the substrate stage 205 and the like, drying is prevented to some extent. Can be printed for a long time. As other accompanying elements, a cassette 212 for holding a substrate to be processed, a conveying means 211 for carrying in and out of the cassette 212, a clean unit 213 for sending clean air and reducing dust in the work area.
Etc. may be provided.

有機化合物層を形成するための組成物を吐出するインクヘッドは、パターンの精度を決
める上で重要な役割を担う。図3はその構成に一例を示し、筐体301に圧電素子302
が装着された弾性板303により一方の面が封止された圧力発生室304と、供給された
組成物を一旦蓄えるリザーバー305などから成っている。圧力発生室304の一端には
開口が形成され、そこから組成物を吐出する吐出口306を設けている。圧力発生室30
4を構成する弾性板303は、圧電素子302のたわみ変位により圧力発生室304の容
積を変動させ混合物を吐出させる。平滑化手段として用いる開口308が形成されたノズ
ル307は、気体を基板面に向かって噴出するものであり、インクヘッドの吐出口306
の近傍に設けられている。
An ink head that discharges a composition for forming an organic compound layer plays an important role in determining pattern accuracy. FIG. 3 shows an example of the configuration, and the case 301 includes a piezoelectric element 302.
The pressure generating chamber 304 is sealed on one surface by an elastic plate 303 to which is attached, and a reservoir 305 for temporarily storing the supplied composition. An opening is formed at one end of the pressure generating chamber 304, and a discharge port 306 is provided through which the composition is discharged. Pressure generation chamber 30
The elastic plate 303 constituting 4 changes the volume of the pressure generating chamber 304 by the deflection displacement of the piezoelectric element 302 and discharges the mixture. The nozzle 307 in which the opening 308 used as the smoothing means is formed ejects gas toward the substrate surface, and is an ejection port 306 of the ink head.
It is provided in the vicinity.

図4はインクヘッド他の一例を示している。このインクヘッドの構成は、筐体401に
圧電素子402、弾性板403、が設けられ、同様に混合物を連続的に吐出することがで
きる。圧力発生室404に設けられる吐出口406には、その外周部に同心円状に開口4
08が設けられ、この開口408から気体を噴出することにより、平滑化することができ
る。また、気体として組成物の溶媒と同質のものを用いれば、吐出口406おいて組成物
が乾燥して固体化するのを防ぐことができる。
FIG. 4 shows another example of the ink head. In this ink head configuration, a piezoelectric element 402 and an elastic plate 403 are provided in a housing 401, and similarly, a mixture can be continuously discharged. A discharge port 406 provided in the pressure generation chamber 404 has a concentric opening 4 at its outer periphery.
08 is provided, and the gas can be smoothed by ejecting gas from the opening 408. In addition, if a gas having the same quality as the solvent of the composition is used as the gas, the composition can be prevented from being dried and solidified at the discharge port 406.

図5は組成物を圧縮気体を用いて押し出し、被形成面上に連続的に供給するインクヘッ
ドの構成を示している。筐体501には組成物が流れる経路が形成され、途中にダイアフ
ラムバルブ503が設けられ、吐出口513にはニードルバルブ502が設けられている
。どちらも、組成物の供給を制御するためのものであるが、ニードルバルブ502は組成
物の供給量と、供給の断続を瞬間的に行うために設けている。組成物は圧縮気体供給手段
506を利用してリザーバー505から供給する。供給量は超音波を利用した検出器(超
音波ヘッド504、検出回路507から成る)により検知し、その情報はA/Dコンバータ
508を介して演算処理装置512に入力される。演算処理装置512はインターフェー
スを介して外部情報処理装置と信号の送受信をしたり、A/D又はD/Aコンバータ509〜5
11を介して各種バルブの制御を行う。このような構成によっても線状のパターンを形成
することができる。
FIG. 5 shows a configuration of an ink head in which the composition is extruded using a compressed gas and continuously supplied onto the surface to be formed. A passage through which the composition flows is formed in the housing 501, a diaphragm valve 503 is provided in the middle, and a needle valve 502 is provided in the discharge port 513. Both are for controlling the supply of the composition, but the needle valve 502 is provided for instantaneously switching the supply amount and supply of the composition. The composition is supplied from the reservoir 505 using the compressed gas supply means 506. The supply amount is detected by a detector using ultrasonic waves (consisting of an ultrasonic head 504 and a detection circuit 507), and the information is input to the arithmetic processing unit 512 via the A / D converter 508. The arithmetic processing unit 512 transmits / receives a signal to / from an external information processing apparatus via an interface, or performs A / D or D / A converters 509 to 5.
11 is used to control various valves. A linear pattern can also be formed by such a configuration.

インクヘッドに設けられる吐出口は一つでも良いが、より効率的に印刷を行うには複数
の吐出口を設けても良い。例えば、一組の圧力発生室と吐出口を一対に対応させて設けて
も良いし、複数の吐出口に対し一組の圧力発生室を対応させても良い。
Although there may be only one ejection port provided in the ink head, a plurality of ejection ports may be provided in order to perform printing more efficiently. For example, a pair of pressure generation chambers and discharge ports may be provided in a pair, or a set of pressure generation chambers may be associated with a plurality of discharge ports.

図6は、基板上に被形成面600にインクヘッド601が組成物を吐出して線状の有機
化合物層を形成する方法を段階的に示している。図6(A)は初期状態であり、被形成面
600にパターンを形成するに当たっては、図6(B)に示すようにこのインクヘッド6
01及びノズル602が被形成面に近接し、組成物604の吐出を開始する。
FIG. 6 shows a step-by-step method of forming a linear organic compound layer by ejecting the composition from the ink head 601 onto the surface 600 to be formed on the substrate. FIG. 6A shows an initial state, and when forming a pattern on the surface 600, the ink head 6 as shown in FIG.
01 and the nozzle 602 come close to the surface to be formed, and discharge of the composition 604 is started.

そして、図6(C)に示すように、インクヘッド601と被形成面600が相対的に動
くことにより線状のパターン605が形成される。平滑化手段602から噴出する気体に
より、パターンは平滑化させることができる。所定の位置に達したインクヘッド601は
組成物の吐出を止め(図6(D))、その後被形成面600から離れる(図6(E))。
こうして、被形成面600上に所定の厚さの連続した有機化合物層のパターンを形成する
ことができる。
Then, as shown in FIG. 6C, a linear pattern 605 is formed by relatively moving the ink head 601 and the surface 600 to be formed. The pattern can be smoothed by the gas ejected from the smoothing means 602. The ink head 601 that has reached a predetermined position stops discharging the composition (FIG. 6D), and then moves away from the formation surface 600 (FIG. 6E).
Thus, a continuous organic compound layer pattern having a predetermined thickness can be formed on the formation surface 600.

また、図7は、基板上に被形成面700にインクヘッド701が組成物を吐出して線状
の有機化合物層を形成する他の方法を段階的に示している。図7(A)
は初期状態であり、被形成面700にパターンを形成するに当たっては、図7(B)に示
すようにこのインクヘッド701が被形成面に近接し、組成物702の吐出が開始する。
Further, FIG. 7 shows stepwise another method in which the ink head 701 discharges the composition onto the surface 700 to be formed on the substrate to form a linear organic compound layer. FIG. 7 (A)
Is an initial state, and when forming a pattern on the formation surface 700, the ink head 701 comes close to the formation surface as shown in FIG. 7B, and ejection of the composition 702 starts.

そして、図7(C)に示すように、インクヘッド701と被形成面700が相対的に動
くことにより線状のパターン703が形成される。形成する有機化合物のパターンは、組
成物の吐出量の他に、インクヘッド701と被形成面700との間隔をもって制御する。
所定の位置に達したインクヘッド701は組成物の吐出を止め、その後被形成面700か
ら離れる(図7(D))。こうして、被形成面700上に連続した有機化合物層のパター
ンを形成することができる。
Then, as shown in FIG. 7C, a linear pattern 703 is formed by relatively moving the ink head 701 and the surface 700 to be formed. The pattern of the organic compound to be formed is controlled by the distance between the ink head 701 and the surface 700 to be formed, in addition to the discharge amount of the composition.
The ink head 701 that has reached a predetermined position stops discharging the composition, and then moves away from the formation surface 700 (FIG. 7D). In this manner, a continuous organic compound layer pattern can be formed on the formation surface 700.

図8は有機化合物層801〜803が形成された画素部の一例を示している。
この画素部は、ゲート線804、データ線805、電源供給線806、画素電極811、
半導体層809、810を有し、これらにより薄膜トランジスタ820、830が形成さ
れている。画素電極811は薄膜トランジスタ830と接続している。そしてマトリクス
状に配列して、全体として画素部を形成している。有機化合物層は図3又は図4で説明す
るインクヘッドを用いて形成され、一滴毎に吐出される組成物を画素電極上で連続させて
、全体として線状の有機化合物層を形成している。
FIG. 8 shows an example of a pixel portion in which organic compound layers 801 to 803 are formed.
This pixel portion includes a gate line 804, a data line 805, a power supply line 806, a pixel electrode 811,
Semiconductor layers 809 and 810 are provided, and thin film transistors 820 and 830 are formed using these semiconductor layers. The pixel electrode 811 is connected to the thin film transistor 830. And it arranges in matrix form and forms the pixel part as a whole. The organic compound layer is formed using the ink head described in FIG. 3 or FIG. 4, and the composition ejected for each droplet is continuously formed on the pixel electrode to form a linear organic compound layer as a whole. .

図9は同様の構成の画素部に対し、図5で示すインクヘッドを用いて有機化合物層85
1〜853を形成した例を示している。この場合には、組成物が連続的に供給されるので
、画素電極の上層に形成される有機化合物層も線状又はストライプ状に形成される。尚、
これらの有機化合物層は、カラー表示をする場合には、赤、緑、青等に対応した色を発光
する有機化合物層を形成すれば良い。
FIG. 9 shows an organic compound layer 85 using the ink head shown in FIG.
The example which formed 1-853 is shown. In this case, since the composition is continuously supplied, the organic compound layer formed on the upper layer of the pixel electrode is also formed in a linear shape or a stripe shape. still,
These organic compound layers may be formed with an organic compound layer that emits light corresponding to red, green, blue, or the like when performing color display.

図10は画素部に形成された画素列全てに対して一括で有機化合物を塗布する例を示し
ている。ヘッド部20には画素列の本数と同じ数で吐出口が取り付けられている。このよ
うな構成とすることで一回の走査で全ての画素列に有機化合物層を形成することが可能と
なり、飛躍的にスループットが向上する。
FIG. 10 shows an example in which an organic compound is applied all at once to all the pixel columns formed in the pixel portion. The head unit 20 has the same number of ejection openings as the number of pixel rows. With such a configuration, it becomes possible to form organic compound layers in all the pixel columns in one scan, and the throughput is dramatically improved.

また、画素部を複数のゾーンに分けて、そのゾーンの中に含まれる画素列の本数と同じ
数で吐出口を設けたヘッド部を用いても良い。即ち、画素部をn個のゾーンに分割したと
すると、n回走査すれば全ての画素列に有機化合物層を形成することができる。
In addition, the pixel unit may be divided into a plurality of zones, and a head unit provided with ejection openings in the same number as the number of pixel columns included in the zone may be used. That is, if the pixel portion is divided into n zones, the organic compound layer can be formed in all the pixel columns by scanning n times.

実際には画素のサイズが数十μmと小さい場合もあるため、画素列の幅も数十μm程度と
なる場合がある。そのような場合、横一列に吐出口を並べることは困難となるため、吐出
口の配置を工夫する必要がある。図11に示すのは、インクヘッドに対する吐出口の取り
付け位置を変えた例である。図11(A)はインクヘッド51に斜めに位置をずらしなが
ら吐出口52a〜52cを形成した例である。なお、52aは赤色発光層用組成物を塗布す
るための吐出口、52bは緑色発光層用組成物を塗布するための吐出口、52cは青色発光
層用組成物を塗布するための吐出口である。また、矢印の1本1本は画素列に対応する。
このような吐出口の配置とすることで、画素列のピッチが狭くなっても、隣接する吐出口
が干渉し合うことなく有機化合物層を形成することができる。
Actually, the pixel size may be as small as several tens of μm, and thus the width of the pixel column may be about several tens of μm. In such a case, it is difficult to arrange the discharge ports in a horizontal row, so it is necessary to devise the arrangement of the discharge ports. FIG. 11 shows an example in which the mounting position of the ejection port with respect to the ink head is changed. FIG. 11A shows an example in which the ejection ports 52 a to 52 c are formed in the ink head 51 while shifting the position obliquely. 52a is a discharge port for applying the red light emitting layer composition, 52b is a discharge port for applying the green light emitting layer composition, and 52c is a discharge port for applying the blue light emitting layer composition. is there. Further, each one of the arrows corresponds to a pixel column.
With such an arrangement of the discharge ports, the organic compound layer can be formed without interference between adjacent discharge ports even when the pitch of the pixel rows is narrowed.

そして、53で示されるように吐出口52a〜52cを一つの単位とし、一つ乃至複数個
の単位がヘッド部に設けられている。この単位53は、一つであれば3本の画素列に対し
て同時に組成物を塗布することになるし、n個あれば3n本の画素列に対して同時に組成
物を塗布することになる。このような構成とすることで、吐出口の配置スペースの自由度
が高められ、無理なく高精細な画素部に本発明を実施することが可能となる。また、図1
1(A)のインクヘッド51を用いて、画素部にある全ての画素列を一括で処理すること
もできるし、画素部を複数のゾーンに分割して数回に分けて処理することも可能である。
As indicated by 53, the discharge ports 52a to 52c are used as one unit, and one or more units are provided in the head portion. If there is one unit 53, the composition is applied simultaneously to three pixel columns, and if there are n units 53, the composition is applied simultaneously to 3n pixel columns. . With such a configuration, the degree of freedom of the arrangement space of the discharge ports is increased, and the present invention can be carried out on a high-definition pixel portion without difficulty. In addition, FIG.
1 (A) ink head 51 can be used to process all pixel columns in the pixel portion at once, or the pixel portion can be divided into a plurality of zones and processed in several times. It is.

次に、図11(B)に示すインクヘッド54は、図11(A)の変形であり、一つの単
位55に含まれるノズルの数を増やした場合の例である。単位55の中には赤色発光層用
組成物を塗布するための吐出口56a、緑色発光層用組成物を塗布するための吐出口56b
、青色発光層用組成物を塗布するための吐出口56cが2個ずつ含まれ、一つの単位55
によって合計6本の画素列に同時に有機化合物が塗布されることになる。
Next, the ink head 54 shown in FIG. 11B is a modification of FIG. 11A, and is an example in which the number of nozzles included in one unit 55 is increased. In the unit 55, the discharge port 56a for applying the composition for the red light emitting layer, and the discharge port 56b for applying the composition for the green light emitting layer.
Two discharge ports 56c for applying the blue light emitting layer composition are included, and one unit 55 is included.
As a result, the organic compound is simultaneously applied to a total of six pixel columns.

本実施例では上記単位55が一つ乃至複数個だけ設けられ、単位55が、一つであれば
6本の画素列に対して同時に組成物を塗布することになるし、n個あれば6n本の画素列
に対して同時に組成物を塗布することになる。勿論、単位55の中に設けるノズル数は6
個に限定する必要はなく、さらに複数設けることも可能である。このような構成の場合も
図11(A)の場合と同様に、画素部にある全ての画素列を一括で処理することもできる
し、画素部を複数のゾーンに分割して数回に分けて処理することが可能である。
In this embodiment, only one or a plurality of the units 55 are provided. If the number of units 55 is one, the composition is applied simultaneously to six pixel rows. The composition is applied simultaneously to the pixel columns of the book. Of course, the number of nozzles provided in the unit 55 is six.
It is not necessary to limit to the number, and it is also possible to provide a plurality. In the case of such a configuration, as in the case of FIG. 11A, all the pixel columns in the pixel portion can be processed at once, or the pixel portion is divided into a plurality of zones and divided into several times. Can be processed.

また、図11(C)のようなインクヘッド57を用いることもできる。インクヘッド5
7は三つの画素列分のスペースを空けて、赤色発光層用塗布液を塗布するための吐出口5
8a、緑色発光層用塗布液を塗布するための吐出口58b、青色発光層用塗布液を塗布する
ための吐出口58cが設けられている。このインクヘッド57をまず1回走査して画素列
に組成物を塗布したら、次にインクヘッド57を三つの画素列分だけ右にずらして再び走
査する。さらに、またインクヘッド57を三つの画素列分だけ右にずらして再び走査する
。以上のように3回の走査を行うことで赤、緑、青の順に並んだストライプ状に組成物を
塗布することができる。このような構成の場合も図11(A)の場合と同様に、画素部に
ある全ての画素列を一括で処理することもできるし、画素部を複数のゾーンに分割して数
回に分けて処理することが可能である。
An ink head 57 as shown in FIG. 11C can also be used. Ink head 5
Reference numeral 7 denotes a discharge port 5 for applying a red light emitting layer coating liquid with a space for three pixel columns.
8a, a discharge port 58b for applying the green light emitting layer coating solution and a discharge port 58c for applying the blue light emitting layer coating solution are provided. After the ink head 57 is scanned once and the composition is applied to the pixel rows, the ink head 57 is then shifted to the right by three pixel rows and scanned again. Further, the ink head 57 is shifted to the right by three pixel rows and scanned again. By performing three scans as described above, the composition can be applied in stripes arranged in the order of red, green, and blue. In the case of such a configuration, as in the case of FIG. 11A, all the pixel columns in the pixel portion can be processed at once, or the pixel portion is divided into a plurality of zones and divided into several times. Can be processed.

このように本発明を用いることにより、組成物を連続的に吐出し、有機化合物層を連続
して形成することにより、有機化合物層を印刷する際の位置制御の時間が短縮され、印刷
速度を向上させることができる。
As described above, by using the present invention, the composition is continuously discharged, and the organic compound layer is continuously formed, so that the time for position control when printing the organic compound layer is shortened, and the printing speed is increased. Can be improved.

図12(A)に示すように、基板1200上に透明画素電極1201〜1204を40
〜120μmピッチ、0.1μmの厚さで形成する。透明画素電極を形成する材料は、酸化
インジウム、酸化亜鉛、酸化スズ、又はこれらの酸化物の混合物を用いる。
As shown in FIG. 12A, 40 transparent pixel electrodes 1201 to 1204 are formed on a substrate 1200.
It is formed at a pitch of ˜120 μm and a thickness of 0.1 μm. As a material for forming the transparent pixel electrode, indium oxide, zinc oxide, tin oxide, or a mixture of these oxides is used.

次いで、図12(B)に示すようにこの透明画素電極のパターン間に樹脂材料から成る
隔壁1205を形成する。この隔壁の厚さは1〜2μm、幅は20μmとし、透明画素電極
の端部を覆うように形成する。この隔壁は、インクヘッドから吐出し着弾した組成物が流
れ出して隣接する画素と混合しないようにするために設けるものである。
Next, as shown in FIG. 12B, a partition wall 1205 made of a resin material is formed between the patterns of the transparent pixel electrodes. The partition wall has a thickness of 1 to 2 μm and a width of 20 μm, and is formed so as to cover the end of the transparent pixel electrode. The partition walls are provided to prevent the composition discharged and landed from the ink head from flowing out and mixing with adjacent pixels.

次に、この透明画素電極(陽極)1201〜1204を有するガラス基板1200に対
し、第1有機化合物層としてポリ(エチレンジオキシチオフェン)/ポリ(スチレンスル
ホン酸)水溶液(以下、PEDOT/PSSと記す)をスピン塗布法により30nmに厚さ
に成膜する。このPEDOT/PSSは、正孔注入層106として作用する(図12(C
))。
Next, with respect to the glass substrate 1200 having the transparent pixel electrodes (anodes) 1201 to 1204, a poly (ethylenedioxythiophene) / poly (styrenesulfonic acid) aqueous solution (hereinafter referred to as PEDOT / PSS) is used as the first organic compound layer. ) To a thickness of 30 nm by spin coating. This PEDOT / PSS acts as the hole injection layer 106 (FIG. 12 (C
)).

その後、加熱処理により水分を蒸発させ、インクジェット印刷装置1207により、組
成物を塗布し、厚さ0.05〜0.2μmの第2有機化合物層としての発光層を形成する
。組成物としては、アセトニトリル溶液に溶解させたπ共役系配位子を有する金属キレー
ト錯体を用いる。例えば、90μmピッチの画素に対して、粘度1〜20cp、約80μm径
の組成物を吐出する。この組成物は、インクジェット吐出後、80〜120℃で加熱して
溶媒を揮発させ、50〜150nmの発光層1208を形成する。この発光層1208は、
実施の形態で説明した如く、吐出される組成物を重ね合わせ、線状又はストライプ状の層
として形成する(図12(D))。
Thereafter, moisture is evaporated by heat treatment, and the composition is applied by an ink jet printing apparatus 1207 to form a light emitting layer as a second organic compound layer having a thickness of 0.05 to 0.2 μm. As the composition, a metal chelate complex having a π-conjugated ligand dissolved in an acetonitrile solution is used. For example, a composition having a viscosity of 1 to 20 cp and a diameter of about 80 μm is discharged to a 90 μm pitch pixel. This composition is heated at 80 to 120 ° C. after ink jet discharge to volatilize the solvent to form a light emitting layer 1208 having a thickness of 50 to 150 nm. The light emitting layer 1208 includes
As described in the embodiment mode, the composition to be discharged is overlapped to form a linear or striped layer (FIG. 12D).

陰極1209としてマグネシウム合金(例えば、AlMg)を真空蒸着法にて0.1〜
0.2μmの厚さに成膜する。これにより発光装置が完成する(図12(E))。
Magnesium alloy (for example, AlMg) is used as the cathode 1209 by a vacuum deposition method.
The film is formed to a thickness of 0.2 μm. Thus, the light emitting device is completed (FIG. 12E).

図13は、本発明の製造方法を用いてインクジェット方式によりアクティブマトリクス
駆動方式の発光装置を作製する一例を示している。図13(A)において、基板1300
上に能動素子である薄膜トランジスタ1301〜1303が形成されている。薄膜トラン
ジスタはチャネル形成領域やソース及びドレイン領域などを形成する半導体膜、ゲート電
極、ゲート絶縁膜等から構成されている。薄膜トランジスタの構造はトップゲート型やボ
トムゲート型等それぞれ特色があるが、本発明に適用する場合その構造に限定はない。
FIG. 13 shows an example of manufacturing an active matrix driving type light emitting device by an ink jet method using the manufacturing method of the present invention. In FIG. 13A, a substrate 1300
Thin film transistors 1301 to 1303 which are active elements are formed thereover. A thin film transistor is composed of a semiconductor film for forming a channel formation region, source and drain regions, a gate electrode, a gate insulating film, and the like. The structure of the thin film transistor has features such as a top gate type and a bottom gate type, but the structure is not limited when applied to the present invention.

薄膜トランジスタのソース又はドレイン領域に接続する画素電極1304〜1306は
、例えば65μmピッチ、0.1μmの厚さで形成する。このような狭いピッチでインクジ
ェット方式により有機化合物層を形成する場合、本発明の組成物を用いるとパターンに裾
引き等がなく微細なパターンを形成することができる。この画素電極パターン間に樹脂材
料から成る隔壁1308を形成する。この隔壁層の厚さは1〜2μm、幅は20μmとし、
透明画素電極の端部を覆うように形成する。この隔壁は、インクヘッッドから吐出し着弾
した組成物が流れ出して隣接する画素と混合しないようにするために設けるものである(
図13(A))。
The pixel electrodes 1304 to 1306 connected to the source or drain region of the thin film transistor are formed with a pitch of 65 μm and a thickness of 0.1 μm, for example. When the organic compound layer is formed with such a narrow pitch by an ink jet method, the pattern of the present invention can be formed without any tailing or the like when the composition of the present invention is used. A partition 1308 made of a resin material is formed between the pixel electrode patterns. The partition wall layer has a thickness of 1 to 2 μm and a width of 20 μm.
It forms so that the edge part of a transparent pixel electrode may be covered. This partition wall is provided to prevent the composition discharged and landed from the ink head from flowing out and mixing with adjacent pixels (
FIG. 13 (A)).

次に、薄膜トランジスタ1301〜1303を有するガラス基板1300に対し、第1
有機化合物層としてポリ(エチレンジオキシチオフェン)/ポリ(スチレンスルホン酸)
水溶液(以下、PEDOT/PSSと記す)をスピンコーティングにより30nmに厚さに
成膜する。このPEDOT/PSSは、正孔注入層1308として作用する(図13(B
))。
Next, for the glass substrate 1300 including the thin film transistors 1301 to 1303, the first
Poly (ethylenedioxythiophene) / poly (styrenesulfonic acid) as organic compound layer
An aqueous solution (hereinafter referred to as PEDOT / PSS) is formed to a thickness of 30 nm by spin coating. This PEDOT / PSS acts as a hole injection layer 1308 (FIG. 13B
)).

その後、加熱処理により水分を蒸発させ、インクジェット印刷装置1309により、組
成物を塗布し、厚さ0.05〜0.2μmの第2有機化合物層としての発光層を形成する
。組成物としては、アセトニトリル溶液に溶解させたπ共役系配位子を有する金属キレー
ト錯体を用いる。この組成物は、インクジェット吐出後、80〜120℃で加熱して溶媒
を揮発させ発光層1310を形成する(図13(C))。
Thereafter, moisture is evaporated by heat treatment, and the composition is applied by an ink jet printing apparatus 1309 to form a light emitting layer as a second organic compound layer having a thickness of 0.05 to 0.2 μm. As the composition, a metal chelate complex having a π-conjugated ligand dissolved in an acetonitrile solution is used. After discharging the ink jet, the composition is heated at 80 to 120 ° C. to volatilize the solvent to form the light emitting layer 1310 (FIG. 13C).

陰極1311としてマグネシウム合金(例えば、AlMg)を真空蒸着法にて0.1〜
0.2μmの厚さに成膜する。これによりアクティブマトリクス駆動方式の発光装置が完
成する(図13(D))。
Magnesium alloy (for example, AlMg) as a cathode 1311 is 0.1 to 0.1 by vacuum deposition.
The film is formed to a thickness of 0.2 μm. Thus, an active matrix driving type light emitting device is completed (FIG. 13D).

尚、図12及び図13で示す発光装置は、正孔注入層と発光層の2層をもって形成する
例を示したが、その構造に限定されるものではなく、本発明の組成物を用いてインクジェ
ット方式により発光層並びにそれに付随する注入層を任意に設ける構成としても良い。
Note that although the light emitting device shown in FIGS. 12 and 13 has an example in which it is formed with two layers of a hole injection layer and a light emitting layer, it is not limited to the structure, and the composition of the present invention is used. A light emitting layer and an injection layer associated therewith may be arbitrarily provided by an inkjet method.

本発明の組成物を用いてインクジェット方式により作製される発光装置の具体的な一例
を図面を参照して説明する。図14はアクティブマトリクス駆動する発光装置の画素構造
の一例を上面図で示す。また、図15は図14のA−A'線に対応した断面図であり、両
図は共通した符号を用いて画素の構造を説明している。
A specific example of a light-emitting device manufactured by an inkjet method using the composition of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 14 is a top view showing an example of a pixel structure of a light emitting device driven by an active matrix. FIG. 15 is a cross-sectional view corresponding to the line AA ′ in FIG. 14, and both drawings describe the structure of the pixel using common reference numerals.

この画素構造は、一つの画素に2つの薄膜トランジスタが設けられ、一方はスイッチン
グ動作を目的としたnチャネル型薄膜トランジスタ1604であり、他方は有機発光素子
に流す電流を制御する動作を目的としたpチャネル型薄膜トランジスタ1605である。
勿論、本発明のインクジェット方式による印刷装置を用いてアクティブマトリクス駆動の
発光装置を製造するに当たり、一つの画素に設ける薄膜トランジスタの数に限定はなく、
発光装置の駆動方式に従い適切な回路構成とすれば良い。
In this pixel structure, two thin film transistors are provided in one pixel, one is an n-channel thin film transistor 1604 for the purpose of switching operation, and the other is a p-channel for the purpose of controlling the current flowing through the organic light emitting element. Type thin film transistor 1605.
Of course, in manufacturing an active matrix driving light emitting device using the ink jet printing apparatus of the present invention, the number of thin film transistors provided in one pixel is not limited.
An appropriate circuit configuration may be employed in accordance with the driving method of the light emitting device.

図15で示す如く、有機発光素子1575は第1電極1546、正孔注入層1571、
発光層1572、第2電極1573から成っている。第1電極と第2電極はその極性によ
り陽極と陰極とに区別することができる。陽極を形成する材料は酸化インジウムや酸化ス
ズ、酸化亜鉛などの仕事関数の高い材料を用い、陰極にはMgAg、AlMg、Ca、M
g、Li、AlLi、AlLiAgなどのアルカリ金属又はアルカリ土類金属、代表的に
はマグネシウム化合物で形成される仕事関数の低い材料を用いる。
As shown in FIG. 15, the organic light emitting device 1575 includes a first electrode 1546, a hole injection layer 1571,
The light emitting layer 1572 and the second electrode 1573 are included. The first electrode and the second electrode can be distinguished into an anode and a cathode according to their polarities. The material for forming the anode is a material having a high work function such as indium oxide, tin oxide or zinc oxide, and the cathode is made of MgAg, AlMg, Ca, M
A material having a low work function formed of an alkali metal or an alkaline earth metal such as g, Li, AlLi, or AlLiAg, typically a magnesium compound, is used.

pチャネル型薄膜トランジスタ1605及びnチャネル型薄膜トランジスタ1604は
チャネル形成領域やソース及びドレイン領域、LDD領域などが形成される活性層151
6、1517を多結晶半導体膜で形成している。ゲート絶縁膜1518を介して第1ゲー
ト電極1533、1534が形成さているが、活性層を挟んで対向して第2ゲート電極1
506、1508が絶縁膜1510、1511を介して設けられている。層間絶縁膜15
43、1544は無機絶縁膜及び有機絶縁膜を組み合わせて形成されている。配線150
5は映像データに基づく信号線であり、配線1507は有機発光素子に電流を供給する電
源供給線である。
The p-channel thin film transistor 1605 and the n-channel thin film transistor 1604 are each an active layer 151 in which a channel formation region, a source and drain region, an LDD region, and the like are formed.
6 and 1517 are formed of a polycrystalline semiconductor film. Although the first gate electrodes 1533 and 1534 are formed via the gate insulating film 1518, the second gate electrode 1 is opposed to each other across the active layer.
506 and 1508 are provided via insulating films 1510 and 1511. Interlayer insulating film 15
43 and 1544 are formed by combining an inorganic insulating film and an organic insulating film. Wiring 150
Reference numeral 5 denotes a signal line based on video data, and a wiring 1507 is a power supply line for supplying a current to the organic light emitting element.

有機発光素子1575の第1電極1546は、pチャネル型薄膜トランジスタ1605
の電極1553と接続されている。隔壁1570は隣接する画素を分離し、インクジェッ
ト方式で発光層を形成する時に組成物が隣接する画素に及ばないように仕切る目的で形成
されている。隔壁はポリイミド、アクリル、ポリイミドアミド、ポリベンゾイミダゾール
などの感光性又は熱硬化型の樹脂材料で、第1電極の端部を覆うように形成してある。有
機化合物層は縦方向に連続させて形成しても良いし、横方向に連続させて形成しても良い
The first electrode 1546 of the organic light emitting element 1575 is a p-channel thin film transistor 1605.
The electrode 1553 is connected. The partition wall 1570 is formed for the purpose of separating adjacent pixels so that the composition does not reach adjacent pixels when a light emitting layer is formed by an inkjet method. The partition is made of a photosensitive or thermosetting resin material such as polyimide, acrylic, polyimide amide, or polybenzimidazole so as to cover the end of the first electrode. The organic compound layer may be formed continuously in the vertical direction or may be formed continuously in the horizontal direction.

樹脂材料で形成される隔壁1570の表面は、アルゴンなど希ガスを用いたプラズマ処
理で表面改質をし、表面を硬化させておいても良い。正孔注入層1571は、スピン塗布
法により基板の全面にポリ(エチレンジオキシチオフェン)/ポリ(スチレンスルホン酸
)水溶液(以下、PEDOT/PSSと記す)を塗布し、その後乾燥させることにより3
0nmの厚さに形成する。
The surface of the partition wall 1570 formed of a resin material may be surface-modified by plasma treatment using a rare gas such as argon to be hardened. The hole injection layer 1571 is formed by applying a poly (ethylenedioxythiophene) / poly (styrenesulfonic acid) aqueous solution (hereinafter referred to as PEDOT / PSS) to the entire surface of the substrate by a spin coating method, followed by drying.
It is formed to a thickness of 0 nm.

発光層は、インクジェット印刷装置により、π共役ポリマー系材料であるポリ(N−ビ
ニルカルバゾール:PVK)をホスト材、π共役系配位子を有する金属キレート錯体をゲ
スト材とし、これを溶媒に分散させた組成物を塗布する。インクヘッドから吐出された組
成物は隔壁で囲まれた領域に着弾する。その後、窒素雰囲気中80〜120℃で加熱して
0.1〜0.2μmの厚さの発光層1572を形成する。
The light emitting layer is dispersed in a solvent using an inkjet printing apparatus, using poly (N-vinylcarbazole: PVK), which is a π-conjugated polymer material, as a host material and a metal chelate complex having a π-conjugated ligand as a guest material. The prepared composition is applied. The composition discharged from the ink head lands on the area surrounded by the partition walls. Then, the light emitting layer 1572 having a thickness of 0.1 to 0.2 μm is formed by heating at 80 to 120 ° C. in a nitrogen atmosphere.

その上にはパッシベーション膜1574が形成されている。パッシベーション膜には窒
化シリコン、酸窒化シリコン、ダイヤモンドライクカーボン(DLC)
など酸素や水蒸気に対しバリア性の高い材料を用いて形成する。
A passivation film 1574 is formed thereon. For passivation film, silicon nitride, silicon oxynitride, diamond-like carbon (DLC)
For example, a material having a high barrier property against oxygen or water vapor is used.

以上のようにしてアクティブマトリクス駆動の発光装置を作製することができる。本発
明の組成物を用いて発光装置を作製することで、発光層を精度良くパターン形成すること
ができ、発光しない欠陥画素の発生率を低減することができる。
As described above, an active matrix driving light-emitting device can be manufactured. By manufacturing a light-emitting device using the composition of the present invention, the light-emitting layer can be patterned with high accuracy, and the incidence of defective pixels that do not emit light can be reduced.

図16で示すように、図12に従い作製した発光装置にアクリル、ポリイミド、ポリイ
ミドアミド、ポリベンゾイミダゾールなどの樹脂層1211を形成し、さらにその上にプ
ラスチックやガラスなどの封止板1212を固着することにより、密閉性の高い発光装置
を得ることができる。封止板1212の表面には窒化シリコンやDLCをコーティングし
ておくことでガスバリア性を高め、発光装置の信頼性をさらに向上させることもできる。
As shown in FIG. 16, a resin layer 1211 such as acrylic, polyimide, polyimide amide, or polybenzimidazole is formed on the light emitting device manufactured according to FIG. 12, and a sealing plate 1212 such as plastic or glass is further fixed thereon. Thus, a light-emitting device with high hermeticity can be obtained. By coating silicon nitride or DLC on the surface of the sealing plate 1212, the gas barrier property can be improved and the reliability of the light emitting device can be further improved.

本実施例では、有機発光素子を備えた発光表示装置の形態を図17に示す。図17(A
)は、発光装置を示す上面図であり、そのA−A'線の断面図を図17(B)に示す。絶
縁表面を有する基板1700(例えば、ガラス基板、結晶化ガラス基板、もしくはプラス
チック基板等)に、画素領域1702、ソース側駆動回路1701、及びゲート側駆動回
路1703を形成する。これらの画素領域における有機化合物層は、本発明のインクジェ
ット方式により形成する。また駆動回路については、公知の薄膜トランジスタ及び回路技
術を適用すれば良い。
In this embodiment, a mode of a light-emitting display device provided with an organic light-emitting element is shown in FIG. FIG.
) Is a top view showing the light-emitting device, and a cross-sectional view taken along line AA ′ is shown in FIG. A pixel region 1702, a source side driver circuit 1701, and a gate side driver circuit 1703 are formed over a substrate 1700 having an insulating surface (eg, a glass substrate, a crystallized glass substrate, or a plastic substrate). The organic compound layer in these pixel regions is formed by the inkjet method of the present invention. A known thin film transistor and circuit technology may be applied to the driver circuit.

1718はシール材、1719はDLC膜であり、画素領域および駆動回路部はシール
材1718で覆われ、そのシール材は保護膜1719で覆われている。
さらに、接着材を用いてカバー材1720で封止されている。熱や外力などによる変形に
耐えるためカバー材1720は基板1700と同じ材質のもの、例えばガラス基板を用い
ることが望ましく、サンドブラスト法などにより図17に示す凹部形状(深さ3〜10μ
m)に加工する。さらに加工して乾燥剤1721が設置できる凹部(深さ50〜200μm
)を形成することが望ましい。なお、1708はソース側駆動回路1701及びゲート側
駆動回路1703に入力される信号を伝送するための配線であり、外部入力端子となるF
PC(フレキシブルプリントサーキット)1709からビデオ信号やクロック信号を受け
取る。
Reference numeral 1718 denotes a sealing material, and 1719 denotes a DLC film. The pixel region and the driver circuit portion are covered with a sealing material 1718, and the sealing material is covered with a protective film 1719.
Further, the cover material 1720 is sealed with an adhesive. The cover material 1720 is preferably made of the same material as that of the substrate 1700, for example, a glass substrate in order to withstand deformation due to heat, external force, etc., and the concave shape (depth 3 to 10 μm) shown in FIG.
m). Further processed recess (depth 50-200 μm) where desiccant 1721 can be installed
) Is desirable. Reference numeral 1708 denotes a wiring for transmitting a signal input to the source side driver circuit 1701 and the gate side driver circuit 1703, and F is an external input terminal.
A video signal and a clock signal are received from a PC (flexible printed circuit) 1709.

次に、断面構造について図7(B)を用いて説明する。基板1700上に絶縁膜171
0が設けられ、絶縁膜1710の上方には画素領域1702、ゲート側駆動回路1703
が形成されており、画素領域1702は電流制御用薄膜トランジスタ1711とそのドレ
インに電気的に接続された発光素子の一方の電極1712を含む複数の画素により形成さ
れる。また、ゲート側駆動回路1703はnチャネル型薄膜トランジスタ1713とpチ
ャネル型薄膜トランジスタ1714とを組み合わせたCMOS回路を用いて形成される。
これらの薄膜トランジスタ(1711、1713、1714を含む)は、公知の技術に従
い作製すればよい。
Next, a cross-sectional structure will be described with reference to FIG. An insulating film 171 is formed over the substrate 1700
0, a pixel region 1702 above the insulating film 1710, and a gate side driver circuit 1703.
The pixel region 1702 is formed by a plurality of pixels including the current control thin film transistor 1711 and one electrode 1712 of the light emitting element electrically connected to the drain thereof. The gate side driver circuit 1703 is formed using a CMOS circuit in which an n-channel thin film transistor 1713 and a p-channel thin film transistor 1714 are combined.
These thin film transistors (including 1711, 1713, and 1714) may be manufactured according to a known technique.

画素電極1712は有機発光素子の陽極として機能する。また、画素電極1712の両
端には隔壁1715が形成され、発光素子の電極1712上には有機化合物層1716お
よび有機発光素子の陰極1717が形成される。有機化合物層1716は正孔注入層や発
光層、電子注入層などを適宜組み合わせて形成する。
その全てをインクジェット方式の印刷技術で形成しても良いし、スピン塗布法とインクジ
ェット方式を組み合わせて形成しても良い。
The pixel electrode 1712 functions as an anode of the organic light emitting element. Further, partition walls 1715 are formed on both ends of the pixel electrode 1712, and an organic compound layer 1716 and a cathode 1717 of the organic light emitting element are formed on the electrode 1712 of the light emitting element. The organic compound layer 1716 is formed by appropriately combining a hole injection layer, a light emitting layer, an electron injection layer, and the like.
All of them may be formed by an inkjet printing technique, or may be formed by combining a spin coating method and an inkjet method.

例えば、正孔注入層としてPEDOTから成る第1の有機化合物層を形成し、その上に
インクジェット方式による印刷装置を用いて線状又はストライプ状の第2の有機化合物層
を形成することができる。この場合、第2の有機化合物層が発光層となる。適用する有機
化合物材料は、高分子系又は中分子系のものが可能でる。
For example, a first organic compound layer made of PEDOT can be formed as a hole injection layer, and a linear or striped second organic compound layer can be formed thereon using an inkjet printing apparatus. In this case, the second organic compound layer is a light emitting layer. The organic compound material to be applied can be a high molecular or medium molecular material.

陰極1717は全画素に共通の配線としても機能し、接続配線1708を経由してFP
C1709に電気的に接続されている。さらに、画素領域1702及びゲート側駆動回路
1703に含まれる素子は全て陰極1717、シール材1718、及び保護膜1719で
覆われている。また、シール材1718を用いて有機発光素子を完全に覆った後、すくな
くとも図17に示すようにDLC膜などからなる保護膜1719をシール材1718の表
面(露呈面)に設けることが好ましい。また、基板の裏面を含む全面に保護膜を設けても
よい。ここで、外部入力端子(FPC)が設けられる部分に保護膜が成膜されないように
注意することが必要である。マスクを用いて保護膜が成膜されないようにしてもよいし、
マスキングテープで外部入力端子部分を覆うことで保護膜が成膜されないようにしてもよ
い。
The cathode 1717 also functions as a wiring common to all pixels, and is connected to the FP via the connection wiring 1708.
C1709 is electrically connected. Further, all elements included in the pixel region 1702 and the gate side driver circuit 1703 are covered with a cathode 1717, a sealing material 1718, and a protective film 1719. In addition, after completely covering the organic light emitting element with the sealing material 1718, it is preferable to provide a protective film 1719 made of a DLC film or the like on the surface (exposed surface) of the sealing material 1718 as shown in FIG. Further, a protective film may be provided on the entire surface including the back surface of the substrate. Here, it is necessary to pay attention so that a protective film is not formed on the portion where the external input terminal (FPC) is provided. A protective film may be prevented from being formed using a mask,
The protective film may not be formed by covering the external input terminal portion with a masking tape.

以上のような構造で有機発光素子をシール材1718及び保護膜で封入することにより
、有機発光素子を外部から完全に遮断することができ、外部から水分や酸素等の有機化合
物層の酸化による劣化を促す物質が侵入することを防ぐことができる。従って、信頼性の
高い発光装置を得ることができる。また、画素電極を陰極とし、有機化合物層と陽極を積
層して図17とは逆方向に発光する構成としてもよい。
By encapsulating the organic light emitting element with the sealing material 1718 and the protective film with the structure as described above, the organic light emitting element can be completely shut off from the outside, and deterioration due to oxidation of the organic compound layer such as moisture and oxygen from the outside. It is possible to prevent a substance that promotes invasion. Therefore, a highly reliable light-emitting device can be obtained. Alternatively, the pixel electrode may be a cathode, and an organic compound layer and an anode may be stacked to emit light in a direction opposite to that in FIG.

図18は発光装置の外観の一例を示すものであり、透明画素電極(陽極)901と陰極
906とが交差するように設けられ、その間に有機化合物層が形成されている。透明画素
電極(陽極)901の間には絶縁膜903が形成され、その上に隔壁904が形成されて
いる。但し、この絶縁膜903は省略しても構わない。有機化合物層は、インクジェット
方式の他にスピン塗布方式を適宜組み合わせて形成することが可能である。スピン塗布法
を用いる場合には隔壁904上にもその被膜が形成される。
FIG. 18 shows an example of the appearance of a light emitting device. A transparent pixel electrode (anode) 901 and a cathode 906 are provided so as to intersect each other, and an organic compound layer is formed therebetween. An insulating film 903 is formed between the transparent pixel electrodes (anodes) 901, and a partition wall 904 is formed thereon. However, this insulating film 903 may be omitted. The organic compound layer can be formed by appropriately combining spin coating methods in addition to the ink jet method. When the spin coating method is used, the film is also formed on the partition 904.

発光層等をインクジェット方式で形成する場合には、昇華性を有さず、且つ分子数が1
0以下、又は連鎖する分子の長さが10μm以下の有機化合物(中分子化合物)を用いて
形成する。これを用いてインクジェット方式を用いたパターン形成を行う場合には、水系
、アルコール又はグリコール系溶剤に溶解又は分散させたものを用いる。いずれにしても
、インクジェット方式を用いたパターン形成に適用可能な粘度に調整することができ、簡
単かつ短時間で最適な条件の膜形成を行うことができる。
When the light emitting layer or the like is formed by an ink jet method, it does not have sublimation and has 1 molecule.
It is formed using an organic compound (medium molecular compound) having a length of 0 or less or a chained molecule of 10 μm or less. When pattern formation using an ink jet method is performed using this, a solution dissolved or dispersed in an aqueous, alcohol or glycol solvent is used. In any case, the viscosity can be adjusted to be applicable to pattern formation using an ink jet method, and film formation under optimum conditions can be performed easily and in a short time.

インクヘッドから吐出された組成物は、隔壁904の間に着弾し、乾燥させることで発
光層などを含む有機層905を形成することができる。有機化合物層905は図12で示
すように隔壁904をストライプ状に形成し、その間に連続的に形成する。このように有
機化合物層を形成することで、発光層を効率良くパターン形成することができ、発光しな
い欠陥画素の発生率を低減することができる。
The composition ejected from the ink head is landed between the partition walls 904 and dried to form an organic layer 905 including a light emitting layer. As shown in FIG. 12, the organic compound layer 905 is formed by continuously forming partition walls 904 in a stripe shape. By forming the organic compound layer in this way, the light emitting layer can be efficiently patterned, and the incidence of defective pixels that do not emit light can be reduced.

本発明を用いて形成された発光装置を用いて様々な電子装置を完成させることができる
。その様な電子装置の一例としてビデオカメラ、デジタルカメラ、ヘッドマウントディス
プレイ(ゴーグル型ディスプレイ)、カーナビゲーション、プロジェクター、カーステレ
オ、パーソナルコンピュータ、携帯情報端末(モバイルコンピュータ、携帯電話または電
子書籍等)などが挙げられる。それらの一例を図19、20に示す。
Various electronic devices can be completed using a light-emitting device formed using the present invention. Examples of such electronic devices include video cameras, digital cameras, head mounted displays (goggles type displays), car navigation systems, projectors, car stereos, personal computers, personal digital assistants (mobile computers, mobile phones, electronic books, etc.), etc. Can be mentioned. Examples of these are shown in FIGS.

図19(A)はパーソナルコンピュータであり、本体2001、画像入力部2002、表
示部2003、キーボード2004等を含む。本発明を用いて形成される発光装置は表示
部2003に組み入れることができ、パーソナルコンピュータを完成させることができる
FIG. 19A illustrates a personal computer, which includes a main body 2001, an image input portion 2002, a display portion 2003, a keyboard 2004, and the like. A light-emitting device formed using the present invention can be incorporated in the display portion 2003 and a personal computer can be completed.

図19(B)はビデオカメラであり、本体2101、表示部2102、音声入力部210
3、操作スイッチ2104、バッテリー2105、受像部2106等を含む。本発明を用
いて形成される発光装置は表示部2102に組み入れることができ、ビデオカメラを完成
させることができる。
FIG. 19B illustrates a video camera, which includes a main body 2101, a display portion 2102, and an audio input portion 210.
3, an operation switch 2104, a battery 2105, an image receiving unit 2106, and the like. A light-emitting device formed using the present invention can be incorporated in the display portion 2102 and a video camera can be completed.

図19(C)はモバイルコンピュータ(モービルコンピュータ)であり、本体2201
、カメラ部2202、受像部2203、操作スイッチ2204、表示部2205等を含む
。本発明を用いて形成される発光装置は表示部2205に組み入れることができ、モバイ
ルコンピュータを完成させることができる。
FIG. 19C illustrates a mobile computer (mobile computer), which includes a main body 2201.
, A camera unit 2202, an image receiving unit 2203, an operation switch 2204, a display unit 2205, and the like. A light-emitting device formed using the present invention can be incorporated in the display portion 2205 and a mobile computer can be completed.

図19(D)はゴーグル型ディスプレイであり、本体2301、表示部2302、アー
ム部2303等を含む。本発明を用いて形成される発光装置は表示部2302に組み入れ
ることができ、ゴーグル型ディスプレイを完成させることができる。
FIG. 19D illustrates a goggle type display including a main body 2301, a display portion 2302, an arm portion 2303, and the like. A light-emitting device formed using the present invention can be incorporated in the display portion 2302 and a goggle-type display can be completed.

図19(E)はプログラムを記録した記録媒体(以下、記録媒体と呼ぶ)を用いるプレ
ーヤーであり、本体2401、表示部2402、スピーカ部2403、記録媒体2404
、操作スイッチ2405等を含む。なお、このプレーヤーは記録媒体としてDVD(Digit
al Versatile Disc)、CD等を用い、音楽鑑賞や映画鑑賞やゲームやインターネットを行
うことができる。本発明を用いて形成される発光装置は表示部2402に組み入れること
ができ、ゴーグル型ディスプレイを完成させることができる。
FIG. 19E shows a player using a recording medium (hereinafter referred to as a recording medium) on which a program is recorded. The main body 2401, a display portion 2402, a speaker portion 2403, and a recording medium 2404.
Operation switch 2405 and the like. This player is a DVD (Digit
al Versatile Disc), CD, etc., music appreciation, movie appreciation, games and the Internet can be performed. A light-emitting device formed using the present invention can be incorporated in the display portion 2402 and a goggle-type display can be completed.

図19(F)はデジタルカメラであり、本体2501、表示部2502、接眼部250
3、操作スイッチ2504、受像部(図示しない)等を含む。本発明を用いて形成される
発光装置は表示部2502に組み入れることができ、デジタルカメラを完成させることが
できる。
FIG. 19F illustrates a digital camera, which includes a main body 2501, a display portion 2502, and an eyepiece portion 250.
3, an operation switch 2504, an image receiving unit (not shown), and the like. A light-emitting device formed using the present invention can be incorporated in the display portion 2502 and a digital camera can be completed.

図20(A)は携帯電話であり、本体2901、音声出力部2902、音声入力部29
03、表示部2904、操作スイッチ2905、アンテナ2906、画像入力部(CCD
、イメージセンサ等)2907等を含む。本発明を用いて形成される発光装置は表示部2
904に組み入れることができ、デジタルカメラを完成させることができる。
FIG. 20A illustrates a mobile phone, which includes a main body 2901, an audio output unit 2902, and an audio input unit 29.
03, display unit 2904, operation switch 2905, antenna 2906, image input unit (CCD
2907 and the like. The light emitting device formed using the present invention is a display unit 2.
The digital camera can be completed.

図20(B)は携帯書籍(電子書籍)であり、本体3001、表示部3002、300
3、記憶媒体3004、操作スイッチ3005、アンテナ3006等を含む。本発明を用
いて形成される発光装置は表示部3002、3003に組み入れることができ、携帯書籍
を完成させることができる。
FIG. 20B illustrates a portable book (electronic book), which includes a main body 3001 and display portions 3002 and 300.
3, a storage medium 3004, an operation switch 3005, an antenna 3006, and the like. A light-emitting device formed using the present invention can be incorporated in the display portions 3002 and 3003 and a portable book can be completed.

図20(C)はディスプレイであり、本体3101、支持台3102、表示部3103
等を含む。本発明を用いて形成される発光装置は表示部3103に組み入れることができ
、ディスプレイを完成させることができる。尚、図20(C)
に示すディスプレイは中小型または大型のもの、例えば5〜20インチの画面サイズのも
のである。また、このようなサイズの表示部を形成するためには、基板の一辺が1mを越
えるものを用い、多面取りを行って量産することが好ましい。
FIG. 20C illustrates a display, which includes a main body 3101, a support base 3102, and a display portion 3103.
Etc. A light-emitting device formed using the present invention can be incorporated in the display portion 3103 and a display can be completed. Note that FIG.
The display shown in FIG. 2 is a medium or small size display, for example, a screen size of 5 to 20 inches. In order to form a display portion having such a size, it is preferable to use a substrate having a side of more than 1 m and mass-produce it by performing multi-face drawing.

Claims (2)

有機化合物層を形成するための組成物を吐出するインクヘッドであって、
第1の室と第2の室とを有し、
前記第1の室は、前記組成物を一旦蓄える機能を有し、
前記第2の室は、容積を変動させることで、前記第1の室から供給された前記組成物を吐出口より吐出する機能を有し、
前記第1の室と前記第2の室とは、一部が区切りにより分けられるとともに、一部がつながっており、
前記吐出口の近傍に、気体を噴出して吐出された前記組成物を平滑化する開口部を有することを特徴とするインクヘッド。
An ink head for discharging a composition for forming an organic compound layer,
Having a first chamber and a second chamber;
The first chamber has a function of temporarily storing the composition;
The second chamber has a function of discharging the composition supplied from the first chamber through a discharge port by changing the volume.
The first chamber and the second chamber are partly separated by a separator and partly connected,
An ink head comprising an opening for smoothing the composition ejected by ejecting gas in the vicinity of the ejection port.
請求項1において、
前記気体は、前記組成物の溶媒と同質であることを特徴とするインクヘッド。
In claim 1,
The ink head is characterized in that the gas is the same as the solvent of the composition.
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Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04338545A (en) * 1991-05-15 1992-11-25 Fujitsu Ltd Ink-jet recording apparatus
JPH0542670A (en) * 1991-08-10 1993-02-23 Brother Ind Ltd Ink jet printer
JPH08220335A (en) * 1995-02-16 1996-08-30 Canon Inc Production of color filter and color filter
JPH08299878A (en) * 1995-05-12 1996-11-19 Dainippon Screen Mfg Co Ltd Rotary coating apparatus and rotary coating method
JPH08317130A (en) * 1995-05-22 1996-11-29 Canon Inc Scanner printer
JPH09109374A (en) * 1995-10-20 1997-04-28 Hitachi Ltd Packaging machine with ink jet recorder
JPH09150528A (en) * 1995-11-30 1997-06-10 Fuji Electric Co Ltd Ink jet recorder

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04338545A (en) * 1991-05-15 1992-11-25 Fujitsu Ltd Ink-jet recording apparatus
JPH0542670A (en) * 1991-08-10 1993-02-23 Brother Ind Ltd Ink jet printer
JPH08220335A (en) * 1995-02-16 1996-08-30 Canon Inc Production of color filter and color filter
JPH08299878A (en) * 1995-05-12 1996-11-19 Dainippon Screen Mfg Co Ltd Rotary coating apparatus and rotary coating method
JPH08317130A (en) * 1995-05-22 1996-11-29 Canon Inc Scanner printer
JPH09109374A (en) * 1995-10-20 1997-04-28 Hitachi Ltd Packaging machine with ink jet recorder
JPH09150528A (en) * 1995-11-30 1997-06-10 Fuji Electric Co Ltd Ink jet recorder

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