JP2016188727A - 熱媒体式輻射乾燥機及びその制御方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】制御機構の規模を押えつつ加熱領域全体の温度分布を均一あるいは目標とする範囲内とすることができる熱媒体式輻射乾燥機を提供する。【解決手段】所定の加熱領域を通過する乾燥対象の物体を輻射熱によって加熱する熱媒体式輻射乾燥機は、加熱領域に対する入口と出口とを有し、加熱領域の区間内で物体に輻射熱を与えるために熱媒体が流れる流路と、加熱領域に対する流路の入口での熱媒体の温度を計測する第1の測温機構と、加熱領域に対する流路の出口での熱媒体の温度を計測する第2の測温機構と、第1の測温機構で計測された温度に基づいて、流路に供給される熱媒体の温度を制御する温度制御器と、第1の測温機構で計測された温度と第2の測温機構で計測された温度との差に基づいて、流路に供給される熱媒体の流量を制御する流量制御機構と、を有する。【選択図】図1

Description

本発明は、輻射熱により物体を乾燥させる輻射乾燥機に関し、特に、熱媒体が流れる流路を有するヒートパネルを用いた熱媒体式輻射乾燥機と、その制御方法とに関する。
例えばワークに対して塗装を行う場合、塗りむらのない塗膜を形成するために塗装後にワークを均一に乾燥する手段が求められており、その実現手段として、簡便な構造であってかつ均一な熱量をワークに与える乾燥機が求められていた。そのような要求を実現するものとして、輻射熱により物体を乾燥させる熱媒体式輻射乾燥機が広く用いられている。熱媒体式輻射乾燥機は、熱媒体を通す流路を有するヒートパネルを使用し、例えばワークなどの乾燥対象の物体の通過部分の近傍にこのヒートパネルを配設して、ヒートパネルからの輻射熱により乾燥対象の物体を加熱して例えばワーク表面の塗膜を乾燥させるものである。流路は、ヒートパネルにおいて例えば蛇行状に設けられる。図5は、このような関連技術における一般的な熱媒体式輻射乾燥機の構成の一例を示している。図5に示す熱媒体式輻射乾燥機は、連続的に給送されるシート状あるいはウェブ状のワーク90の表面に形成された塗膜を乾燥させるために用いられるものである。乾燥機本体80すなわち乾燥室内を連続的に通過するワーク90の両面にそれぞれ対向するように、乾燥室には1対のヒートパネル81が設けられている。ヒートパネル81は、乾燥室内壁82に取り付けられた平板83と、平板83の裏面に形成されて熱媒体が通過する蛇行状の流路84とから構成されている。さらにヒートパネル81の流路84の入口に対して熱媒体を給送するためのポンプ85と、ポンプ85の入口側に接続されて熱媒体を加熱するボイラ86とが設けられている。流路84の出口から流出する熱媒体は、ボイラ86に循環する。熱媒体式輻射乾燥機において、移動する乾燥対象の物体を輻射熱によって加熱する領域を加熱領域と呼ぶ。図5に示したものでは、1対のヒートパネル81によって挟まれた領域が加熱領域となる。
このような関連技術の熱媒体式輻射乾燥機において、熱媒体の温度制御は、ヒートパネル81の流路84の入口に温度センサを配置し、温度センサでの検出結果に応じてボイラ86での火力を調整するなどして行うことができる。しかしながら、ヒートパネル81の入口側での熱媒体温度に基づいて温度制御を行った場合、熱媒体が流路84内を移動して出口に至るまでに、輻射によってエネルギーを失うので熱媒体の温度が低下し、結果としてヒートパネル81での温度分布が均一なものからずれてしまう。ここでワークの進行方向に沿って無視できない温度勾配が形成されたとすると、輻射乾燥機内で同一温度、同一プロセスでの乾燥を行うことができなくなる。ワークの進行方向に対して垂直な方向に沿って同様に温度勾配が形成されたとすると、同一ワーク内での乾燥むらが発生する。特に、熱媒体の十分な流量を確保できない場合には、流路84の出口に至るまでの熱媒体の温度低下は著しいものとなるので、熱媒体の温度制御だけでヒートパネル81における温度分布の均一化を図ることがより難しくなる。
このような関連技術の熱媒体式輻射乾燥機が有する課題を解決するものとして特許文献1には、熱媒体が流れる蛇行状の流路をヒートパネルに複数本設け、熱媒体を加熱するヒータからこれら複数本の流路に熱媒体を分配して供給し、ヒータの出口温度によって温度制御を行うとともに、各流路の出口温度に基づいて当該流路での熱媒体の流量を制御するようにした熱媒体式輻射乾燥機が開示されている。特許文献2には、ヒートパネルをその縦方向及び横方向のそれぞれにおいて複数のゾーンに分割し、ゾーンごとに熱媒体の流路を設けてこれらの流路に熱媒体がボイラーから並列に供給されるようにし、さらにソーンごとに1つずつ温度センサを設け、温度センサの検出値に応じて当該ゾーンの流路に流す熱媒体の量を制御するようにした熱媒体式輻射乾燥機が開示されている。
この種の熱媒体式輻射乾燥機では、熱媒体が流れる流路を構成する配管とは別個に平板状のヒートパネルを設けることなく、配管自体にヒートパネルとしての役割を持たせ、配管の表面からの輻射熱を利用してワークの乾燥を行うようにすることもできる。この場合においても、加熱領域に設けられている流路に関し、熱媒体の流れの上流側と下流側との間で温度差があれば、その温度差が配管表面での温度差となるので、加熱領域における温度分布が均一でなくなる。
実公昭63−33116号公報 実開平5−60569号公報
特許文献1,2に記載される技術は、輻射乾燥機に設けられるヒートパネルを複数の区画(例えばゾーン)に分割し、各区画ごとにその温度に基づいて当該区画に流れる熱媒体の量を制御し、これにより、ヒートパネルの全体にわたる温度分布を均一化させようというものである。しかしながらこれらの技術は、ヒートパネルを分割した区画の数だけの制御機構を必要とするから、制御機構を多く設けることとなってコストが上昇する。
本発明の目的は、制御機構の規模を押えつつ、乾燥対象の物体が加熱される領域である加熱領域全体での温度分布を均一あるいは目標とする範囲内とすることができる熱媒体式輻射乾燥機と、その制御方法とを提供することにある。
本発明の例示実施態様によれば、所定の加熱領域を通過する乾燥対象の物体を輻射熱によって加熱する熱媒体式輻射乾燥機は、加熱領域に対する入口と出口とを有し、加熱領域の区間内で物体に輻射熱を与えるために熱媒体が流れる流路と、加熱領域に対する流路の入口での熱媒体の温度を計測する第1の測温機構と、加熱領域に対する流路の出口での熱媒体の温度を計測する第2の測温機構と、第1の測温機構で計測された温度に基づいて、流路に供給される熱媒体の温度を制御する温度制御器と、第1の測温機構で計測された温度と第2の測温機構で計測された温度との差に基づいて、流路に供給される熱媒体の流量を制御する流量制御機構と、を有する。
本発明の例示実施態様によれば、所定の加熱領域に対する入口と出口とを有する流路を有して加熱領域を通過する乾燥対象の物体に対し加熱領域の区間内で輻射熱により物体を加熱する熱媒体式輻射乾燥機の制御方法は、加熱領域に対する流路の入口において、物体に輻射熱を与えるために流路に供給される熱媒体の温度を測定することと、加熱領域に対する流路の出口において熱媒体の温度を測定することと、流路の入口における熱媒体の温度に基づいて、流路に供給される熱媒体の温度を制御することと、流路の入口における熱媒体の温度と流路の出口における熱媒体の温度との差に基づいて、流路に供給される熱媒体の流量を制御することと、を有する。
本発明によれば、制御機構の規模を押えつつ加熱領域全体の温度分布を均一あるいは目標とする範囲内とすることができる熱媒体式輻射乾燥機とその制御方法とが得られる。
実施の一形態の熱媒体式輻射乾燥機の構成を示す模式平面図である。 図1に示す熱媒体式輻射乾燥機における温度制御を説明する図である。 別の実施形態における温度制御を説明する図である。 さらに別の実施形態の熱媒体式輻射乾燥機の構成を示す模式平面図である。 関連技術の熱媒体式輻射乾燥機の一例を示す模式断面図である。
次に、本発明の好ましい実施の形態について、図面を参照して説明する。図1は実施の一形態の熱媒体式輻射乾燥機を示している。この熱媒体式輻射乾燥機は、例えば塗装後のワークを乾燥対象の物体とするものであり、ワーク表面に形成された塗膜を乾燥させるために用いられるものである。ここでは、乾燥対象の物体が塗装後のワークであるものとして説明する。
熱媒体式輻射乾燥機は、ワークが通過する乾燥機本体1を備えており、乾燥機本体1におけるワークの通過経路に沿って、ヒートパネル2が設けられている。ヒートパネル2は、通過中のワークに近接するが接触はしないように、ワークの通過位置の近傍に配置されている。ヒートパネル2には、熱媒体を通すための流路3が設けられている。流路3は、例えば、ヒートパネル2内に埋め込められた管状の流路であってもよいし、あるいは、平板状のヒートパネル2の裏面(ワークに対向しない方の面)に設けられた配管であってもよい。熱媒体の有する熱エネルギーが流路3からヒートパネル2に伝熱することにより、ヒートパネル2の表面から輻射熱が放射されてワークが加熱されることになる。図示したものでは、流路3は、ヒートパネル2においてワークの移動方向と概ね平行に延びている。ここでは、ワークの移動方向と流路3における熱媒体の移動方向とは同じ向きとなっている。この構成では、ヒートパネル2が設けられている位置が、ワークを輻射熱により加熱する加熱領域となる。
ヒートパネル2における流路3の入口すなわち加熱領域に対する流路3の入口に近接して、流路3の入口における熱媒体の温度(これを流路始点温度と呼ぶ)を計測する測温機構4が設けられ、同様に、ヒートパネル2における流路3の出口すなわち加熱領域に対する流路3の出口に近接して、流路3の出口における熱媒体の温度(これを流路終点温度と呼ぶ)を計測する測温機構5が設けられている。測温機構4,5としては、例えば温度センサを用いることができる。さらに熱媒体式輻射乾燥機には、測温機構4,5での測定結果に基づいてヒートパネル2の表面における温度分布を均一にする制御を行うために、ヒートパネル2での流路3の入口に供給される熱媒体の温度を流路始点温度に基づいて制御する温度制御器6と、ヒートパネル2での流路3の入口に供給される熱媒体の流量を流路始点温度と流路終点温度との差に基づいて制御する流量制御機構7とが設けられている。温度制御器6は、例えば、熱媒体を加熱するボイラーや電気ヒーターなどの加熱部と、加熱部での発熱量を変化させることにより温度制御器6の出口での熱媒体の温度を制御する制御装置とを含んでいる。流量制御機構7は、例えば、熱媒体をヒートパネル2に向けて給送するポンプと、ポンプによる流量を制御する制御装置とを含んでいる。図示したものでは、ヒートパネル2での流路3の出口から流出する熱媒体が流量制御機構7に送られ、流量制御機構7からの送り出される熱媒体は温度制御器6を介して流路3の入口に供給され、これにより、ヒートパネル2と温度制御器6及び流量制御機構7との間で熱媒体が循環するようになっている。温度制御器6と流量制御機構7の配置順を逆にしてもよい。
次に、本実施形態の熱媒体式輻射乾燥機の動作を説明する。ヒートパネル2ではその流路3内をヒートパネル2の熱源となる熱媒体が循環しており、上述したようにその流量は流量制御機構7によって制御され、その温度は温度制御器6によって制御される。加熱した熱媒体をヒートパネル2に通ずることにより、ヒートパネル2の表面から輻射熱が発生する。このとき乾燥機本体1内をワークが通過していれば、そのワークは、ヒートパネル2からの輻射熱によって加熱され、ワーク表面に塗膜が形成されていればその塗膜が乾燥されることになる。測温機構4,5は、流路3に出入りする熱媒体の温度を常にモニタリングしており、これらの温度がフィードバックされる温度制御器6及び流量制御機構7は、ヒートパネル2から発生する輻射熱がヒートパネル2の表面の全体にわたって実質的に均一となるように、熱媒体の温度及び流量の制御を行う。
図2は、温度制御器6及び流量制御機構7による制御の一例を示すフローチャートである。測温機構4,5による温度モニタリングが開始すると、まず、温度制御器6は、ステップ51において、測温機構4で測定された温度すなわち流路始点温度が、温度について予め定めた目標値(温度目標値)の範囲内にあるかどうかを判定し、温度目標値の範囲から逸脱しているときは、ステップ52において熱媒体の温度を変更する。この場合、温度制御器6は、始点温度が温度目標値よりも高い場合には熱媒体の温度を下げるような制御を行い、始点温度が温度目標値よりも低い場合には熱媒体の温度を上げるような制御を行う。
次に、ステップ53に移行し、流量制御機構7は、測温機構4で測定された流路始点温度と測温機構5で測定された温度すなわち流路終点温度との差が、温度差について予め定めた目標値(温度差目標値)の範囲内にあるかどうかを判定し、温度目標値の範囲から逸脱しているときは、ステップ54において熱媒体の流量を変更する。熱媒体式輻射乾燥機では、熱媒体が有する熱エネルギーは輻射熱の形で少なくともワークに与えられて乾燥機本体1の外部に持ち出されるので、始点温度と終点温度とが厳密に一致することは考えにくい。むしろ、ヒートパネル2に要求される温度分布の均一さの範囲内で始点温度と終点温度との間に差があることを許容して、その差に対する温度差目標値を設定する。そして流量制御機構7は、実際に測定された始点温度と終点温度との温度差が温度差目標値を下回る場合には熱媒体の流量を低下させるような制御を行い、温度差が温度差目標値を上回る場合には熱媒体の流量を増加させるような制御を行う。その後、ステップ55において、処理対象のワークがなくなったなどの理由によって制御を終了するかどうかが判断され、制御を続行する場合には処理がステップ51に戻り、制御を終了させる場合には温度モニタリングを終了する。
このような本実施形態の熱媒体式輻射乾燥機によれば、温度分布に要求される均一さを満たすようにヒートパネル2全体での温度分布を設定できて、ワークをむら無く乾燥することができるようになる。
図2に示した制御では、温度目標値及び温度差目標値がいずれも範囲をもって定められているとし、それらの範囲からの逸脱があったときに熱媒体温度あるいは熱媒体流量を変化させていたが、本発明における制御はそのようなものに限定されるものではない。例えば、温度目盛り上の1点として温度目標値を設定して流路始点温度と温度目標値との偏差に基づいて熱媒体温度をフィードバック制御し、また、温度差目標値として所定の単一の値を指定した上で流路始点温度と流路終点温度との差(これをΔTとする)を常時監視し、ΔTと温度差目標値との偏差に応じて熱媒体流量をフィードバック制御するようにしてもよい。図3は、このような偏差に基づくフィードバック制御を行う場合の熱媒体式輻射乾燥機全体としての制御を示している。
図3に示した制御では、制御を開始すると、ステップ61において、流路始点温度と予め定めた温度目標値との偏差に基づくフィードバック制御により、温度制御器6は流路3の入口に供給される熱媒体の温度を制御する。この場合、温度制御器6は、始点温度が温度目標値よりも高い場合には熱媒体の温度を下げるような制御を行い、始点温度が温度目標値よりも低い場合には熱媒体の温度を上げるような制御を行う。次に、ステップ63において、始点温度と終点温度との差ΔTを求め、ステップ64において、ΔTと予め定めた温度差目標値とΔTとの偏差に基づくフィードバック制御により、流量制御機構7は流路3の入口の供給される熱媒体の流量を制御する。この場合も、流量制御機構7は、ΔTが温度差目標値を下回る場合には熱媒体の流量を低下させるような制御を行い、ΔTが温度差目標値を上回る場合には熱媒体の流量を増加させるような制御を行う。ここでは、熱媒体流量の制御に関し、始点温度や終点温度の監視を常時行っているので、ステップ64ののち、熱媒体式輻射乾燥機の動作制御は再びステップ61に戻る。
図4はさらに別の実施形態の熱媒体式輻射乾燥機を示している。図1に示した熱媒体式輻射乾燥機では、ヒートパネル2において、ワークの進行方向と概ね同じ方向に延びるように流路3が設けられていたが、図4に示す熱媒体式輻射乾燥機では、ヒートパネル2における熱媒体の流路8が、ワークの移動方向に沿って蛇行状に形成されている。乾燥対象のワークの形状によっては、例えばワークの形状が大きいために大型のヒートパネル2を使用する必要があるときは、このように蛇行状の流路8をヒートパネル2に形成することにより、ヒートパネル2における温度分布の均一性を高めることができる。なお、流路8を蛇行状に形成するときは、直線状の流路に比べて流路長が長くなるため、その分、高い制御精度が求められる。
以上説明した各実施形態では、ヒートパネル2に流路3が設けられているものとしたが、流路3を構成する配管自体にヒートパネルとしての役割を持たせ、配管の表面からの輻射熱によりワークを加熱するように構成してもよい。ヒートパネル2を設けるにせよ設けないにせよ、加熱領域の区間において、流路3には、ワークを輻射熱を与えるために熱媒体が流されることになる。
上記の実施形態の一部または全部は、以下の付記のようにも記載されうるが、以下には限られない。
[付記1]
所定の加熱領域を通過する乾燥対象の物体を輻射熱によって加熱する熱媒体式輻射乾燥機であって、
前記加熱領域に対する入口と出口とを有し、前記加熱領域の区間内で前記物体に輻射熱を与えるために熱媒体が流れる流路と、
前記加熱領域に対する前記流路の入口での前記熱媒体の温度を計測する第1の測温機構と、
前記加熱領域に対する前記流路の出口での前記熱媒体の温度を計測する第2の測温機構と、
前記第1の測温機構で計測された温度に基づいて、前記流路に供給される前記熱媒体の温度を制御する温度制御器と、
前記第1の測温機構で計測された温度と前記第2の測温機構で計測された温度との差に基づいて、前記流路に供給される前記熱媒体の流量を制御する流量制御機構と、
を有する、熱媒体式輻射乾燥機。
[付記2]
前記流路の出口から流出した前記熱媒体が、前記流量制御機構及び前記温度制御器を介して前記流路の入口に循環する、付記1に記載の熱媒体式輻射乾燥機。
[付記3]
前記温度制御器は、前記第1の測温機構で計測された温度が所定の温度目標値の範囲を逸脱するときに前記流路に供給される前記熱媒体の温度を変更する、付記1または2に記載の熱媒体式輻射乾燥機。
[付記4]
前記流量制御機構は、前記差が所定の温度差目標値の範囲を逸脱するときに前記流路に供給される前記熱媒体の流量を変更する、付記1乃至3のいずれか1項に記載の熱媒体式輻射乾燥機。
[付記5]
前記温度制御器は、前記第1の測温機構で計測された温度と所定の温度目標値との偏差に基づいて前記流路に供給される前記熱媒体の温度を制御し、
前記流量制御機構は、前記差と所定の温度差目標値との偏差に基づいて前記流路に供給される前記熱媒体の流量を制御する、付記1または2に記載の熱媒体式輻射乾燥機。
[付記6]
前記加熱領域に対応して設けられて前記流路から伝熱するヒートパネルを有し、前記ヒートパネルの表面からの輻射熱によって前記物体が加熱される、付記1乃至5のいずれか1項に記載の熱媒体式輻射乾燥機。
[付記7]
前記加熱領域において前記物体の移動方向に沿って前記流路が蛇行状に形成されている、付記1乃至6のいずれか1項に記載の熱媒体式輻射乾燥機。
[付記8]
所定の加熱領域に対する入口と出口とを有する流路を有し、前記加熱領域を通過する乾燥対象の物体に対し前記加熱領域の区間内で輻射熱により前記物体を加熱する熱媒体式輻射乾燥機の制御方法であって、
前記加熱領域に対する前記流路の入口において、前記物体に前記輻射熱を与えるために前記流路に供給される熱媒体の温度を測定することと、
前記加熱領域に対する前記流路の出口において前記熱媒体の温度を測定することと、
前記流路の入口における前記熱媒体の温度に基づいて、前記流路に供給される前記熱媒体の温度を制御することと、
前記流路の入口における前記熱媒体の温度と前記流路の出口における前記熱媒体の温度との差に基づいて、前記流路に供給される前記熱媒体の流量を制御することと、
を有する、制御方法。
[付記9]
前記流路の出口から流出した前記熱媒体に対して前記温度の制御と前記流量の制御とを行って前記流路の入口に循環させる、付記8に記載の制御方法。
[付記10]
前記流路の入口における前記熱媒体の温度が所定の温度目標値の範囲を逸脱するときに前記流路に供給される前記熱媒体の温度を変更する、付記8または9に記載の制御方法。
[付記11]
前記差が所定の温度差目標値の範囲を逸脱するときに前記流路に供給される前記熱媒体の流量を変更する、付記8乃至10のいずれか1項に記載の制御方法。
[付記12]
前記流路の入口における前記熱媒体の温度と所定の温度目標値との偏差に基づいて前記流路に供給される前記熱媒体の温度を制御し、前記差と所定の温度差目標値との偏差に基づいて前記流路に供給される前記熱媒体の流量を制御する、付記8または9に記載の制御方法。
[付記13]
前記熱媒体式輻射乾燥機は、前記加熱領域に対応して設けられて前記流路から伝熱するヒートパネルを有し、前記ヒートパネルの表面からの輻射熱によって前記物体が加熱される、付記8乃至12のいずれか1項に記載の制御方法。
1 乾燥機本体
2 ヒートパネル
3,8 流路
4,5 測温機構
6 温度制御器
7 流量制御機構

Claims (10)

  1. 所定の加熱領域を通過する乾燥対象の物体を輻射熱によって加熱する熱媒体式輻射乾燥機であって、
    前記加熱領域に対する入口と出口とを有し、前記加熱領域の区間内で前記物体に輻射熱を与えるために熱媒体が流れる流路と、
    前記加熱領域に対する前記流路の入口での前記熱媒体の温度を計測する第1の測温機構と、
    前記加熱領域に対する前記流路の出口での前記熱媒体の温度を計測する第2の測温機構と、
    前記第1の測温機構で計測された温度に基づいて、前記流路に供給される前記熱媒体の温度を制御する温度制御器と、
    前記第1の測温機構で計測された温度と前記第2の測温機構で計測された温度との差に基づいて、前記流路に供給される前記熱媒体の流量を制御する流量制御機構と、
    を有する、熱媒体式輻射乾燥機。
  2. 前記流路の出口から流出した前記熱媒体が、前記流量制御機構及び前記温度制御器を介して前記流路の入口に循環する、請求項1に記載の熱媒体式輻射乾燥機。
  3. 前記温度制御器は、前記第1の測温機構で計測された温度が所定の温度目標値の範囲を逸脱するときに前記流路に供給される前記熱媒体の温度を変更する、請求項1または2に記載の熱媒体式輻射乾燥機。
  4. 前記流量制御機構は、前記差が所定の温度差目標値の範囲を逸脱するときに前記流路に供給される前記熱媒体の流量を変更する、請求項1乃至3のいずれか1項に記載の熱媒体式輻射乾燥機。
  5. 前記温度制御器は、前記第1の測温機構で計測された温度と所定の温度目標値との偏差に基づいて前記流路に供給される前記熱媒体の温度を制御し、
    前記流量制御機構は、前記差と所定の温度差目標値との偏差に基づいて前記流路に供給される前記熱媒体の流量を制御する、請求項1または2に記載の熱媒体式輻射乾燥機。
  6. 前記加熱領域に対応して設けられて前記流路から伝熱するヒートパネルを有し、前記ヒートパネルの表面からの輻射熱によって前記物体が加熱される、請求項1乃至5のいずれか1項に記載の熱媒体式輻射乾燥機。
  7. 所定の加熱領域に対する入口と出口とを有する流路を有して前記加熱領域を通過する乾燥対象の物体に対し前記加熱領域の区間内で輻射熱により前記物体を加熱する熱媒体式輻射乾燥機の制御方法であって、
    前記加熱領域に対する前記流路の入口において、前記物体に前記輻射熱を与えるために前記流路に供給される熱媒体の温度を測定することと、
    前記加熱領域に対する前記流路の出口において前記熱媒体の温度を測定することと、
    前記流路の入口における前記熱媒体の温度に基づいて、前記流路に供給される前記熱媒体の温度を制御することと、
    前記流路の入口における前記熱媒体の温度と前記流路の出口における前記熱媒体の温度との差に基づいて、前記流路に供給される前記熱媒体の流量を制御することと、
    を有する、制御方法。
  8. 前記流路の入口における前記熱媒体の温度が所定の温度目標値の範囲を逸脱するときに前記流路に供給される前記熱媒体の温度を変更する、請求項7に記載の制御方法。
  9. 前記差が所定の温度差目標値の範囲を逸脱するときに前記流路に供給される前記熱媒体の流量を変更する、請求項7または8に記載の制御方法。
  10. 前記流路の入口における前記熱媒体の温度と所定の温度目標値との偏差に基づいて前記流路に供給される前記熱媒体の温度を制御し、前記差と所定の温度差目標値との偏差に基づいて前記流路に供給される前記熱媒体の流量を制御する、請求項7に記載の制御方法。
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