JP2016187056A - 載置台 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、本実施形態に係るプラズマ処理装置の構成を示す概略断面図である。プラズマ処理装置は、気密に構成され、電気的に接地電位とされた処理容器1を有している。この処理容器1は、円筒状とされ、例えばアルミニウム等から構成されている。処理容器1は、プラズマが生成される処理空間を画成する。処理容器1内には、被処理体(work-piece)である半導体ウェハ(以下、単に「ウェハ」という。)Wを水平に支持する載置台2が設けられている。載置台2は、基材(ベース)2a及び静電チャック6を含んで構成されている。基材2aは、導電性の金属、例えばアルミニウム等で構成されており、下部電極としての機能を有する。静電チャック6は、ウェハWを静電吸着するための機能を有する。載置台2は、絶縁板3を介して導体の支持台4に支持されている。また、載置台2の上方の外周には、例えば単結晶シリコンで形成されたフォーカスリング5が設けられている。さらに、載置台2及び支持台4の周囲を囲むように、例えば石英等からなる円筒状の内壁部材3aが設けられている。
ところで、上述した第1実施形態に係る載置台2においては、以下説明するように、更なる改善の余地がある。図11は、図1の載置台におけるリフターピン61の駆動機構62の概要を示す模式図である。なお、図11では、リフターピン61が2つ確認できる断面の場合を図示している。図11に示すように、駆動機構62は、駆動源54及び駆動源54に接続された駆動部材55を備えている。駆動部材55は、例えば円盤状を呈し、その外縁の所定の一箇所が駆動源54と接続されている。このため、駆動源54との接続点において上下方向の駆動力が作用する。また、駆動部材55は、駆動源54との接続点に対向する駆動部材55の外縁の一箇所が固定されている。駆動部材55の上面には、リフターピン61の下端部が接続されている。なお、図11では省略しているが、3以上のリフターピン61が駆動部材55の上面に等配置されている。駆動部材55の駆動源54との接続点に駆動力が作用した場合、駆動部材55は固定された箇所を中心に傾斜し、リフターピン61が上昇する。このように、リフターピン61を支える駆動部材55は片持ち構造である場合には、リフターピン61の荷重により駆動部材55が撓む可能性がある。また、駆動部材55の外縁の一箇所が固定されておらず、替わりに他の駆動源54が接続されたいわゆる両持ち構造であっても、複数の駆動源54の駆動シーケンスがズレた場合には、駆動部材55が撓む可能性がある。駆動部材55が撓むと、リフターピン61はピン用貫通孔200内を垂直方向に正確に上下動することができない。よって、リフターピン61とピン用貫通孔200の内壁との間には、隙間空間(いわゆるあそび)が必要である。しかしながら、ピン用スペーサ201を挿入したことに伴い、径方向の空間が減るため、リフターピン61が上下動するために十分な隙間空間が存在しなくなる可能性がある。また、基材2aは導電性の金属で構成されていることから熱膨張する。このため、ピン用貫通孔200の位置がずれたり、口径が小さくなる場合がある。そうすると、ピン用スペーサ201を挿入した場合には、当該位置ずれや縮径が許容できないおそれがある。また、ピン用スペーサ201の挿入に伴い、リフターピン61が上下動する際の摺動抵抗が増加するおそれがある。以上より、ピン用スペーサ201の挿入によって空間を縮小することにより異常放電を防止するという対策では、リフターピンの機能と異常放電の防止とを適切に両立できない場合があると考えられる。
Claims (3)
- 電圧印加可能に構成された載置台であって、
被処理体を載置する載置面及び前記載置面に対向する裏面を有し、前記載置面に第1貫通孔が形成された静電チャックと、
前記静電チャックの裏面に接合され、前記第1貫通孔と連通し前記第1貫通孔の孔径よりも大きい孔径の第2貫通孔が形成されたベースと、
前記第2貫通孔に挿入された筒状のスリーブと、
前記スリーブ内及び前記第1貫通孔に挿入される絶縁体からなる筒状のスペーサと、
を備える載置台。 - 前記第1貫通孔は、冷熱伝達用ガスを供給するガス孔である請求項1に記載の載置台。
- 前記載置面上に前記第1貫通孔から出没自在に上下動し、前記被処理体を上下方向に搬送するリフターピンをさらに備える請求項1に記載の載置台。
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