JP2016162485A - Organic electroluminescence device - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an organic EL device having a long lifetime that is configured by sealing an organic electroluminescence (organic EL) element with gas barrier film and has high gas barrier performance at a joint portion for sealing.SOLUTION: An organic electroluminescent device includes an element substrate, an organic EL element formed on the element substrate, and a gas barrier film which is joined to the element substrate so as to cover the organic EL element. The gas barrier film has one or more pairs of the combination of an underlying organic layer and an inorganic layer. The surface of the gas barrier film is a surface of the inorganic layer, and the gas barrier film is joined to the element substrate so that the inorganic layer faces the element substrate. The joint is carried out by the reaction between a first reaction layer formed on the element substrate and a second reaction layer which is formed on the gas barrier film and can be joined to the first reaction layer. The distance between the element substrate and the organic layer nearest to the element substrate at the joint portion is equal to 100 nm or less.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、有機エレクトロルミネッセンス素子をガスバリアフィルムで封止してなる有機エレクトロルミネッセンス装置に関する。   The present invention relates to an organic electroluminescence device formed by sealing an organic electroluminescence element with a gas barrier film.

有機エレクトロルミネッセンス素子(有機EL素子)は、水分に弱い。そのため、有機EL素子を用いる有機エレクトロルミネッセンス装置(有機EL装置)は、ガスバリア性を付与するために、有機EL素子を接合部18材によって封止してなる構成を有する。   Organic electroluminescence elements (organic EL elements) are vulnerable to moisture. Therefore, an organic electroluminescence device (organic EL device) using an organic EL element has a configuration in which the organic EL element is sealed with a bonding portion 18 material in order to provide gas barrier properties.

ガスバリア性を付与するための有機EL素子の封止は、通常、ガラスを用いて行われている。しかしながら、ガラスは、重く、耐衝撃性も弱い。
これに対し、軽量化や耐衝撃性の向上等を目的として、ガスバリア層を有するプラスチックフィルムすなわちガスバリアフィルムによって有機EL素子を封止することが検討されている。また、可撓性を有する基板に有機EL素子を形成し、かつ、ガスバリアフィルムで有機EL素子を封止することで、可撓性を有する有機EL装置が得られる。
Sealing of the organic EL element for imparting gas barrier properties is usually performed using glass. However, glass is heavy and has low impact resistance.
On the other hand, for the purpose of reducing the weight and improving the impact resistance, it has been studied to seal the organic EL element with a plastic film having a gas barrier layer, that is, a gas barrier film. Moreover, a flexible organic EL device can be obtained by forming an organic EL element on a flexible substrate and sealing the organic EL element with a gas barrier film.

例えば、特許文献1には、有機EL素子を第1の基板と第2の基板と接合部とによって封止してなる有機EL装置であって、第1の基板および第2の基板としてガスバリアフィルムを用い、接合部が、第1の基板の表面上の反応性官能基と、第2の基板の表面上の反応性官能基との反応による結合で形成される有機EL装置が記載されている。   For example, Patent Document 1 discloses an organic EL device in which an organic EL element is sealed with a first substrate, a second substrate, and a joint, and a gas barrier film is used as the first substrate and the second substrate. An organic EL device is described in which a bonding portion is formed by a reaction between a reactive functional group on the surface of a first substrate and a reactive functional group on the surface of a second substrate. .

また、特許文献2には、有機EL素子と、有機EL素子を挟持して端部で接している一対のガスバリアフィルムと、バリア性部材とを有し、一対のガスバリアフィルムの互いに接している領域に凹部が設けられており、バリア性部材が、ガスバリアフィルムの端面と凹部が設けられている部分とを覆っている、有機EL素子が記載されている。
また、バリア性部材は、エポキシ樹脂等の接着剤によって、圧着等によってガスバリアフィルムと接着させながら接着されている。
Further, Patent Document 2 includes an organic EL element, a pair of gas barrier films that sandwich the organic EL element and are in contact with each other at an end, and a barrier member, and a region in which the pair of gas barrier films are in contact with each other The organic EL element is described in which a recess is provided and the barrier member covers the end face of the gas barrier film and the portion where the recess is provided.
Further, the barrier member is bonded with an adhesive such as an epoxy resin while being bonded to the gas barrier film by pressure bonding or the like.

さらに、特許文献3には、有機EL素子を2枚のガスバリアフィルムで挟んで、ガスバリアフィルムの周辺を熱融着や接着剤で接着することで、有機EL素子を封止した有機EL装置が記載されている。
また、接着剤としては、エポキシ基、アミノ基、ヒドロキシル基を有するポリウレタン系の接着剤が、好ましく利用されている。
Furthermore, Patent Document 3 describes an organic EL device in which an organic EL element is sealed by sandwiching an organic EL element between two gas barrier films and bonding the periphery of the gas barrier film with heat fusion or an adhesive. Has been.
As the adhesive, a polyurethane-based adhesive having an epoxy group, an amino group, or a hydroxyl group is preferably used.

特開2013−218805号公報JP 2013-218805 A 特開2010−205503号公報JP 2010-205503 A 特開2003−327718号公報JP 2003-327718 A

有機EL装置等の製造において、このようなガスバリアフィルムによる封止は、特許文献3に示されるように、一般的に接着剤を用いて行われる。ここで、有機EL素子の劣化を防止するためには、ガスバリアフィルムのみならず、封止のための接合部にも高いガスバリア性が要求される。   In the production of an organic EL device or the like, sealing with such a gas barrier film is generally performed using an adhesive as disclosed in Patent Document 3. Here, in order to prevent the deterioration of the organic EL element, a high gas barrier property is required not only for the gas barrier film but also for the bonding portion for sealing.

すなわち、有機EL素子をガスバリアフィルムで封止しても、封止のための結合部となる接着剤層から水分が侵入すれば、有機EL素子は水分によって劣化してしまう。特に、ガスバリアフィルムのガスバリア性能が高い場合には、ガスバリアフィルムを通して侵入する水分よりも、接合部を通して侵入する水分の方が圧倒的に多く、接合部から侵入した水分によって、有機EL素子が劣化してしまう。
ガスバリアフィルムによる有機EL素子の封止に、ガスバリア性の高い接着剤を用いる方法も有る。しかしながら、ガスバリア性の高い接着剤は、光や熱で硬化させるものが多く、有機EL装置の可撓性を劣化させてしまう。
That is, even if the organic EL element is sealed with the gas barrier film, if the water enters from the adhesive layer that becomes a bonding portion for sealing, the organic EL element is deteriorated by the moisture. In particular, when the gas barrier performance of the gas barrier film is high, the water entering through the joint is overwhelmingly larger than the water entering through the gas barrier film, and the organic EL element deteriorates due to the water entering through the joint. End up.
There is also a method of using an adhesive having a high gas barrier property for sealing an organic EL element with a gas barrier film. However, many adhesives having a high gas barrier property are hardened by light or heat, which deteriorates the flexibility of the organic EL device.

これに対し、特許文献1に示されるように、ガスバリアフィルムによって有機EL素子を封止するための接合を、ガスバリアフィルムの表面に存在する化合物同士の反応による分子接合で行うことにより、接合部を極めて薄くできるので、接合部からの水分の侵入を抑制できる。
しかしながら、本発明者の検討によれば、従来の分子接合は接着力が不十分であり、接合部でのガスバリアフィルムの浮きや剥離が生じてしまい、ガスバリアフィルムによる有機EL素子の封止が適正に行えない。
On the other hand, as shown in Patent Document 1, bonding for sealing an organic EL element with a gas barrier film is performed by molecular bonding based on a reaction between compounds existing on the surface of the gas barrier film. Since it can be made extremely thin, the intrusion of moisture from the joint can be suppressed.
However, according to the study of the present inventor, the conventional molecular bonding has insufficient adhesive force, and the gas barrier film floats or peels off at the bonded portion, so that the organic EL element is properly sealed with the gas barrier film. I can not do it.

本発明の目的は、このような従来技術の問題点を解決することにあり、ガスバリアフィルムによって有機EL素子を封止した有機EL装置において、有機EL素子の封止を確実に行うことができ、かつ、接合部からの水分の侵入も防止した、長寿命の有機EL装置を提供することにある。   An object of the present invention is to solve such problems of the prior art, and in an organic EL device in which an organic EL element is sealed with a gas barrier film, the organic EL element can be reliably sealed. Another object of the present invention is to provide a long-life organic EL device that prevents the intrusion of moisture from the joint.

この問題点を解決するために、本発明の有機エレクトロニクスルミネッセンス装置は、素子基板と、素子基板に形成された有機エレクトロルミネッセンス素子と、有機エレクトロルミネッセンス素子を覆って素子基板に接合される、有機エレクトロルミネッセンス素子を封止するガスバリアフィルムとを有し、
ガスバリアフィルムは、支持体の上に、無機層と無機層の下地となる有機層との組み合わせを1組以上有する、表面が無機層のものであり、表面の無機層を素子基板に向けて接合され、
素子基板とガスバリアフィルムとの接合が、素子基板に設けられた第1反応層と、ガスバリアフィルムに設けられた第1反応層と結合する第2反応層との反応によって行われ、
素子基板とガスバリアフィルムとの接合部において、素子基板に最も近い有機層と素子基板との距離が100nm以下であることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス装置を提供する。
In order to solve this problem, an organic electronics luminescence device of the present invention includes an element substrate, an organic electroluminescence element formed on the element substrate, an organic electroluminescence element that covers the organic electroluminescence element and is bonded to the element substrate. A gas barrier film that seals the luminescence element;
The gas barrier film has one or more combinations of an inorganic layer and an organic layer serving as an underlayer of the inorganic layer on the support, the surface is of the inorganic layer, and the surface inorganic layer is bonded to the element substrate. And
Bonding between the element substrate and the gas barrier film is performed by a reaction between a first reaction layer provided on the element substrate and a second reaction layer bonded to the first reaction layer provided on the gas barrier film,
Provided is an organic electroluminescence device characterized in that the distance between the organic layer closest to the element substrate and the element substrate is 100 nm or less at the junction between the element substrate and the gas barrier film.

このような本発明の有機エレクトロルミネッセンス装置において、支持体の有機層および無機層の形成面の表面粗さRaが30nm以下であるのが好ましい。
また、支持体の表面に形成される有機層の厚さが0.1μm以上であるのが好ましい。
また、ガスバリアフィルムの端部が接着剤で覆われるのが好ましい。
また、素子基板の有機エレクトロルミネッセンス素子の形成面の表面粗さRaが5nm以下であるのが好ましい。
また、接合部の幅が0.5〜5mmであるのが好ましい。
また、無機層の厚さが10〜45nmであるのが好ましい。
また、素子基板が、支持体の上に、無機層と無機層の下地となる有機層との組み合わせを1組以上有する、表面が無機層のガスバリアフィルムであり、表面の無機層に有機エレクトロルミネッセンス素子が形成されるのが好ましい。
さらに、第1反応層がシランカップリング剤を含有し、第2反応層が、第1反応層が含有するシランカップリング剤と反応するシランカップリング剤を含有し、第1反応層のシランカップリング剤と第2反応層のシランカップリング剤との反応によって、素子基板とガスバリアフィルムとの接合が行われるのが好ましい。
In such an organic electroluminescence device of the present invention, the surface roughness Ra of the surface on which the organic layer and the inorganic layer of the support are formed is preferably 30 nm or less.
The thickness of the organic layer formed on the surface of the support is preferably 0.1 μm or more.
Moreover, it is preferable that the edge part of a gas barrier film is covered with an adhesive agent.
Moreover, it is preferable that surface roughness Ra of the formation surface of the organic electroluminescent element of an element substrate is 5 nm or less.
Moreover, it is preferable that the width | variety of a junction part is 0.5-5 mm.
Moreover, it is preferable that the thickness of an inorganic layer is 10-45 nm.
In addition, the element substrate is a gas barrier film having an inorganic layer on the surface and having one or more combinations of an inorganic layer and an organic layer serving as a base of the inorganic layer on the support, and organic electroluminescence is formed on the inorganic layer on the surface. An element is preferably formed.
Further, the first reaction layer contains a silane coupling agent, the second reaction layer contains a silane coupling agent that reacts with the silane coupling agent contained in the first reaction layer, and the silane cup of the first reaction layer It is preferable that the element substrate and the gas barrier film are bonded to each other by a reaction between the ring agent and the silane coupling agent of the second reaction layer.

このような本発明によれば、ガスバリアフィルムによって有機エレクトロルミネッセンス素子を封止した有機EL装置において、有機EL素子の封止を確実に行うことができ、かつ、接合部からの水分の侵入も防止した、長寿命の有機エレクトロルミネッセンス装置が得られる。   According to the present invention as described above, in the organic EL device in which the organic electroluminescence element is sealed with the gas barrier film, the organic EL element can be reliably sealed, and the intrusion of moisture from the joint portion is also prevented. Thus, a long-life organic electroluminescence device can be obtained.

本発明の有機エレクトロルミネッセンス装置の一例を概念的に示す図である。It is a figure which shows notionally an example of the organic electroluminescent apparatus of this invention. 本発明の有機エレクトロルミネッセンス装置の別の例を概念的に示す図である。It is a figure which shows notionally another example of the organic electroluminescent apparatus of this invention. 本発明の有機エレクトロルミネッセンス装置に用いられるガスバリアフィルムの一例を概念的に示す図である。It is a figure which shows notionally an example of the gas barrier film used for the organic electroluminescent apparatus of this invention.

以下、本発明の有機エレクトロルミネッセンス装置について、添付の図面に示される好適例を基に、詳細に説明する。   Hereinafter, the organic electroluminescence device of the present invention will be described in detail on the basis of preferred examples shown in the accompanying drawings.

図1に、本発明の有機エレクトロルミネッセンス装置の一例を概念的に示す。なお、以下の説明では、有機エレクトロルミネッセンスを有機ELとも言う。
本発明の有機EL装置は、有機EL素子をガスバリアフィルムで封止したものである。
FIG. 1 conceptually shows an example of the organic electroluminescence device of the present invention. In the following description, organic electroluminescence is also referred to as organic EL.
The organic EL device of the present invention is obtained by sealing an organic EL element with a gas barrier film.

図1に示す有機EL装置10は、基本的に、素子基板12と、有機EL素子14と、ガスバリアフィルム16とを有して構成される。有機EL装置10は、有機EL素子14を覆うようにして素子基板12とガスバリアフィルム16とを積層し、ガスバリアフィルム16の周辺において、接合部18によって素子基板12とガスバリアフィルム16とを接着することにより、ガスバリアフィルム16によって有機EL素子14を封止する。
また、図示は省略するが、有機EL素子14を封止するための素子基板12とガスバリアフィルム16との接合部18において、素子基板12には第1反応層が設けられ、ガスバリアフィルム16には第1反応層と結合する第2反応層が設けられる。接合部18は、この第1反応層と第2反応層との反応によって形成される。
The organic EL device 10 shown in FIG. 1 basically includes an element substrate 12, an organic EL element 14, and a gas barrier film 16. The organic EL device 10 laminates the element substrate 12 and the gas barrier film 16 so as to cover the organic EL element 14, and adheres the element substrate 12 and the gas barrier film 16 to each other at the periphery of the gas barrier film 16 by the joint portion 18. Thus, the organic EL element 14 is sealed with the gas barrier film 16.
Although illustration is omitted, a first reaction layer is provided on the element substrate 12 at the joint 18 between the element substrate 12 and the gas barrier film 16 for sealing the organic EL element 14. A second reaction layer is provided that is coupled to the first reaction layer. The joint 18 is formed by a reaction between the first reaction layer and the second reaction layer.

素子基板12は、有機ELディスプレイや有機EL照明など、各種の有機EL素子の形成に基板として用いられる公知のシート状物やフィルム状物が、各種、利用可能である。
素子基板12としては、一例として、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレート(PEN)、ポリエチレン(PE)、ポリプロピレン(PP)、ポリスチレン、ポリアミド、ポリ塩化ビニル、ポリカーボネート、ポリアクリロニトリル、ポリイミド、ポリアクリレート、ポリメタクリレート、ポリカーボネート(PC)、シクロオレフィンポリマー(COP)、シクロオレフィンコポリマー(COC)、トリアセチルセルロース(TAC)、透明ポリイミドなどの、各種の樹脂材料(高分子材料)からなるフィルム状物やシート状物、ガラス板、薄ガラス、金属板等が例示される。
As the element substrate 12, various known sheet-like materials and film-like materials used as a substrate for forming various organic EL elements such as an organic EL display and organic EL lighting can be used.
As an example of the element substrate 12, polyethylene terephthalate (PET), polyethylene naphthalate (PEN), polyethylene (PE), polypropylene (PP), polystyrene, polyamide, polyvinyl chloride, polycarbonate, polyacrylonitrile, polyimide, polyacrylate, Films and sheets made of various resin materials (polymer materials) such as polymethacrylate, polycarbonate (PC), cycloolefin polymer (COP), cycloolefin copolymer (COC), triacetylcellulose (TAC), transparent polyimide, etc. Examples include a shape, a glass plate, a thin glass, and a metal plate.

素子基板12としては、後述するガスバリアフィルム16も好適に利用可能である。ガスバリアフィルム16を、素子基板12として用いることにより、素子基板12側からの水分の侵入を防止して、より長寿命な有機EL装置10を得られる。
ガスバリアフィルム16を素子基板12として用いる際には、有機EL素子14の形成面は、無機層28でも支持体24でも良いが、有機EL素子14に水分が侵入するのを好適に防止できる等の点で、無機層28に有機EL素子14を形成するのが好ましい。
As the element substrate 12, a gas barrier film 16, which will be described later, can also be suitably used. By using the gas barrier film 16 as the element substrate 12, it is possible to prevent moisture from entering from the element substrate 12 side and obtain the organic EL device 10 having a longer life.
When the gas barrier film 16 is used as the element substrate 12, the formation surface of the organic EL element 14 may be the inorganic layer 28 or the support 24, but it is possible to suitably prevent moisture from entering the organic EL element 14. In this respect, it is preferable to form the organic EL element 14 in the inorganic layer 28.

素子基板12の厚さは、有機EL装置10の種類や大きさ等に応じて、適宜、設定すればよい。
ここで、可撓性を有する有機EL装置10が実現できる等の点で、素子基板12の厚さは、形成材料等に応じて、必要な可撓性が得られる厚さとするのが好ましい。
The thickness of the element substrate 12 may be appropriately set according to the type and size of the organic EL device 10.
Here, it is preferable that the thickness of the element substrate 12 is set to a thickness that can provide necessary flexibility in accordance with a forming material or the like in that the organic EL device 10 having flexibility can be realized.

また、後述する接合部18における接着力は、素子基板12の有機EL素子14の形成面すなわちガスバリアフィルム16との接合面が平坦なほど、高くなる。
この点を考慮すると、素子基板12の有機EL素子14の形成面は、表面粗さRa(算術平均粗さRa)が5nm以下が好ましく、1nm以下がより好ましい。
素子基板12の有機EL素子14の形成面の表面粗さRaを5nm以下とすることにより、接合部18における接着力を、より強くできる。
なお、本発明において、表面粗さRaは、JIS B 0601(2001)に準拠して測定すればよい。
Moreover, the adhesive force in the joining part 18 mentioned later becomes so high that the formation surface of the organic EL element 14 of the element substrate 12, ie, the joining surface with the gas barrier film 16, is flat.
Considering this point, the surface of the element substrate 12 on which the organic EL element 14 is formed preferably has a surface roughness Ra (arithmetic average roughness Ra) of 5 nm or less, and more preferably 1 nm or less.
By setting the surface roughness Ra of the formation surface of the organic EL element 14 of the element substrate 12 to 5 nm or less, the adhesive force at the joint 18 can be further increased.
In the present invention, the surface roughness Ra may be measured according to JIS B 0601 (2001).

このような素子基板12に形成される有機EL素子14は、透明電極層(TFT(薄膜トランジスタ))、ホール注入層、ホール輸送層、発光層、正孔阻止層、電子輸送層、電子注入層、陰極等を有する、有機ELディスプレイや有機EL照明等の有機EL装置(OLED)を構成する、公知の有機EL素子(有機ELデバイス)である。   The organic EL element 14 formed on such an element substrate 12 includes a transparent electrode layer (TFT (thin film transistor)), a hole injection layer, a hole transport layer, a light emitting layer, a hole blocking layer, an electron transport layer, an electron injection layer, It is a well-known organic EL element (organic EL device) that constitutes an organic EL device (OLED) such as an organic EL display or organic EL illumination having a cathode or the like.

本発明の有機EL装置10において、有機EL素子14を封止するガスバリアフィルム16は、支持体の上に、無機層と、この無機層の下地層となる有機層との組み合わせを、1組以上有し、かつ、表面が無機層の物である。表面とは、言い換えると、支持体からの積層におけるの最上層である。
ガスバリアフィルム16は、表面の無機層を素子基板12に向けて、有機EL素子14を覆って素子基板12に接合されることにより、有機EL素子14を封止する。
In the organic EL device 10 of the present invention, the gas barrier film 16 that seals the organic EL element 14 includes one or more combinations of an inorganic layer and an organic layer serving as a base layer of the inorganic layer on a support. And the surface is an inorganic layer. In other words, the surface is the uppermost layer in the stack from the support.
The gas barrier film 16 seals the organic EL element 14 by covering the organic EL element 14 with the inorganic layer on the surface facing the element substrate 12 and being bonded to the element substrate 12.

図3に、ガスバリアフィルムの一例を概念的に示す。以下、ガスバリアフィルムをバリアフィルムとも言う
図3に示すバリアフィルム16は、支持体24の上に、有機層26と、無機層28と、有機層26と、無機層28とを、この順番で積層したものである。交互に積層した有機層26と無機層28とによって、ガスバリア層が形成される。
FIG. 3 conceptually shows an example of the gas barrier film. Hereinafter, the gas barrier film is also referred to as a barrier film. The barrier film 16 shown in FIG. 3 is formed by laminating an organic layer 26, an inorganic layer 28, an organic layer 26, and an inorganic layer 28 in this order on a support 24. It is a thing. A gas barrier layer is formed by the alternately stacked organic layers 26 and inorganic layers 28.

なお、図3に示すバリアフィルムは、下地となる有機層26と無機層28との組み合わせを、2組有するものであるが、本発明は、これに限定されない。すなわち、本発明に用いるバリアフィルムは、有機層26と無機層28との組み合わせを、1組のみ有するものでもよく、有機層26と無機層28との組み合わせを、3組以上有するものでもよい。
有機層26と無機層28との組み合わせは、多いほど、ガスバリア性は高くなる。その反面、有機層26と無機層28との組み合わせが多いほど、バリアフィルムは厚くなり、透明性や可撓性も低下する。従って、有機層26と無機層28との組み合わせの数は、要求されるガスバリア性、可撓性や光学特性等に応じて、適宜、設定すればよい。
但し、どのような層構成を有する場合でも、本発明でも用いるバリアフィルムは、表面が無機層28である。
In addition, although the barrier film shown in FIG. 3 has two combinations of the organic layer 26 and the inorganic layer 28 used as a foundation | substrate, this invention is not limited to this. That is, the barrier film used in the present invention may have only one combination of the organic layer 26 and the inorganic layer 28, or may have three or more combinations of the organic layer 26 and the inorganic layer 28.
The greater the number of combinations of the organic layer 26 and the inorganic layer 28, the higher the gas barrier property. On the other hand, the greater the number of combinations of the organic layer 26 and the inorganic layer 28, the thicker the barrier film and the lower the transparency and flexibility. Accordingly, the number of combinations of the organic layer 26 and the inorganic layer 28 may be appropriately set according to required gas barrier properties, flexibility, optical characteristics, and the like.
However, regardless of the layer configuration, the barrier film used in the present invention has the inorganic layer 28 on the surface.

バリアフィルム16において、支持体24は、有機層26および無機層28を支持するものである。
支持体24は、バリアフィルムの支持体として利用されている、公知のシート状物が、各種、利用可能である。
支持体24としては、具体的には、PET、PEN、PE、PP、ポリスチレン、ポリアミド、ポリ塩化ビニル、ポリカーボネート、ポリアクリロニトリル、ポリイミド、ポリアクリレート、ポリメタクリレート、PC、COP、COC、TAC、透明ポリイミドなどの、各種の樹脂材料(高分子材料)からなるフィルム状物やシート状物が、好適に例示される。
In the barrier film 16, the support 24 supports the organic layer 26 and the inorganic layer 28.
As the support 24, various known sheet-like materials that are used as a support for a barrier film can be used.
Specifically, as the support 24, PET, PEN, PE, PP, polystyrene, polyamide, polyvinyl chloride, polycarbonate, polyacrylonitrile, polyimide, polyacrylate, polymethacrylate, PC, COP, COC, TAC, transparent polyimide The film-like thing and sheet-like thing which consist of various resin materials (polymer material), such as these, are illustrated suitably.

支持体24は、有機層26および無機層28の形成面の表面粗さRaが30nm以下であるのが好ましく、20nm以下であるのがより好ましく、10nm以下であるのが特に好ましい。
後に詳述するが、本発明の有機EL装置10においては、バリアフィルム16が無機層28の下地層となる有機層26を有する。有機層26は、非常に表面平坦性が高く、表面平坦性の高い有機層26の上に無機層28を形成することにより、表面の無機層28の表面平坦性を高くできる。本発明の有機EL装置10は、下地の有機層26を有する表面平坦性が高い無機層28を、バリアフィルム16と素子基板12との接合面として、有機EL素子14の封止を行うことにより、素子基板12に形成した第1反応層とバリアフィルム16に形成した第2反応層との反応による分子接合で結合する接合部18において、高い接着力を実現している。
ここで、無機層28の表面平坦性は、高い程、接合部18の接着力が高くなる。無機層28の表面平坦性は、有機層26の表面平坦性が高い程、高くなる。また、有機層26の表面平坦性を高くするためには、支持体24の表面平坦性が高い方が好ましい。
すなわち、支持体24の有機層26および無機層28の形成面の表面粗さRaを30nm以下にすることにより、有機層26が薄い場合でも、より安定して表面の無機層28の表面平坦性を高くでき、接合部18の接着力をより高くできる。
The support 24 preferably has a surface roughness Ra of the formation surface of the organic layer 26 and the inorganic layer 28 of 30 nm or less, more preferably 20 nm or less, and particularly preferably 10 nm or less.
As will be described in detail later, in the organic EL device 10 of the present invention, the barrier film 16 has an organic layer 26 that serves as a base layer for the inorganic layer 28. The organic layer 26 has a very high surface flatness. By forming the inorganic layer 28 on the organic layer 26 having a high surface flatness, the surface flatness of the inorganic layer 28 on the surface can be increased. The organic EL device 10 of the present invention seals the organic EL element 14 by using the inorganic layer 28 having a high surface flatness having the underlying organic layer 26 as a bonding surface between the barrier film 16 and the element substrate 12. A high adhesive force is realized in the bonding portion 18 bonded by molecular bonding by the reaction between the first reaction layer formed on the element substrate 12 and the second reaction layer formed on the barrier film 16.
Here, the higher the surface flatness of the inorganic layer 28 is, the higher the adhesive strength of the joint 18 is. The surface flatness of the inorganic layer 28 increases as the surface flatness of the organic layer 26 increases. Further, in order to increase the surface flatness of the organic layer 26, it is preferable that the surface flatness of the support 24 is high.
That is, by setting the surface roughness Ra of the formation surface of the organic layer 26 and the inorganic layer 28 of the support 24 to 30 nm or less, even when the organic layer 26 is thin, the surface flatness of the inorganic layer 28 on the surface is more stable. And the adhesive strength of the joint 18 can be further increased.

支持体24の厚さは、有機EL装置10の用途等に応じて、適宜、設定すればよい。具体的には、支持体24の厚さは、20〜120μmが好ましい。
支持体24の厚さを20μm以上とすることにより、バリアフィルム16(後述する有機層26および無機層28)を形成することで生じるカールを抑制できる、有機EL装置10の機械的強度を確保できる等の点で好ましい。
また、支持体24の厚さを120μm以下とすることにより、有機EL装置10の可撓性を良好にできる、有機EL装置10の軽量化を図れる、有機EL装置の薄膜化を図れる等の点で好ましい。
What is necessary is just to set the thickness of the support body 24 suitably according to the use etc. of the organic EL apparatus 10. FIG. Specifically, the thickness of the support 24 is preferably 20 to 120 μm.
By setting the thickness of the support 24 to 20 μm or more, the mechanical strength of the organic EL device 10 that can suppress curling caused by forming the barrier film 16 (an organic layer 26 and an inorganic layer 28 described later) can be secured. Etc. are preferable.
In addition, by setting the thickness of the support 24 to 120 μm or less, the flexibility of the organic EL device 10 can be improved, the organic EL device 10 can be reduced in weight, and the organic EL device can be made thinner. Is preferable.

なお、支持体24の少なくとも一方の面には、必要に応じて、保護層、接着層、光反射層、反射防止層、遮光層、平坦化層、緩衝層、応力緩和層等の、各種の機能を得るための層(膜)が形成されていてもよい。   In addition, on at least one surface of the support 24, various kinds of protective layers, adhesive layers, light reflection layers, antireflection layers, light shielding layers, planarization layers, buffer layers, stress relaxation layers, etc. A layer (film) for obtaining a function may be formed.

支持体24の一面には、バリア層を構成する有機層26と無機層28とが、交互に積層される。すなわち、本発明で用いるバリアフィルム16は、有機−無機の積層構造を有するものである。   On one surface of the support 24, organic layers 26 and inorganic layers 28 constituting a barrier layer are alternately laminated. That is, the barrier film 16 used in the present invention has an organic-inorganic laminated structure.

有機層26は、有機物からなる層で、有機層26となる有機物を、架橋(重合)したものである。
有機層26は、バリア性を発現する無機層28を適正に形成するための、下地層として機能する。このような下地の有機層26を有することにより、無機層28の形成面の平坦化や均一化を図って、無機層28の形成に適した状態にできる。下地の有機層26および無機層28を積層した有機−無機の積層構造を有するバリアフィルム16は、これにより、全面に、隙間無く、適正な無機層28を形成することが可能になり、優れたバリア性を発現する。
また、本発明において、バリアフィルム16が有機層26を有することにより、表面すなわち素子基板12との接合面となる無機層28の平坦性を高くして、接合部18の接着力を高くできる。この点に関しては、後に詳述する。
The organic layer 26 is a layer made of an organic material, and is obtained by crosslinking (polymerizing) the organic material that becomes the organic layer 26.
The organic layer 26 functions as a base layer for properly forming the inorganic layer 28 that exhibits barrier properties. By having such a base organic layer 26, the formation surface of the inorganic layer 28 can be flattened and made uniform, and a state suitable for the formation of the inorganic layer 28 can be achieved. The barrier film 16 having an organic-inorganic laminate structure in which the underlying organic layer 26 and the inorganic layer 28 are laminated can thereby form an appropriate inorganic layer 28 on the entire surface without any gaps. Expresses barrier properties.
Moreover, in this invention, when the barrier film 16 has the organic layer 26, the flatness of the inorganic layer 28 used as the surface, ie, a joint surface with the element substrate 12, can be made high, and the adhesive force of the junction part 18 can be made high. This will be described in detail later.

有機層26の形成材料は、公知の有機物が、各種、利用可能である。
具体的には、ポリエステル、アクリル樹脂、メタクリル樹脂、メタクリル酸−マレイン酸共重合体、ポリスチレン、透明フッ素樹脂、ポリイミド、フッ素化ポリイミド、ポリアミド、ポリアミドイミド、ポリエーテルイミド、セルロースアシレート、ポリウレタン、ポリエーテルエーテルケトン、ポリカーボネート、脂環式ポリオレフィン、ポリアリレート、ポリエーテルスルホン、ポリスルホン、フルオレン環変性ポリカーボネート、脂環変性ポリカーボネート、フルオレン環変性ポリエステル、アクリロイル化合物、などの熱可塑性樹脂、あるいはポリシロキサン、その他の有機珪素化合物の膜が好適に例示される。これらは、複数を併用してもよい。
Various known organic materials can be used as the material for forming the organic layer 26.
Specifically, polyester, acrylic resin, methacrylic resin, methacrylic acid-maleic acid copolymer, polystyrene, transparent fluororesin, polyimide, fluorinated polyimide, polyamide, polyamideimide, polyetherimide, cellulose acylate, polyurethane, poly Ether ether ketone, polycarbonate, alicyclic polyolefin, polyarylate, polyethersulfone, polysulfone, fluorene ring modified polycarbonate, alicyclic modified polycarbonate, fluorene ring modified polyester, acryloyl compound, thermoplastic resin, or polysiloxane, etc. An organic silicon compound film is preferably exemplified. A plurality of these may be used in combination.

中でも、ガラス転移温度や強度に優れる等の点で、ラジカル重合性化合物および/またはエーテル基を官能基に有するカチオン重合性化合物の重合物から構成された有機層26は、好適である。   Among these, the organic layer 26 composed of a polymer of a radical polymerizable compound and / or a cationic polymerizable compound having an ether group as a functional group is preferable in terms of excellent glass transition temperature and strength.

中でも特に、上記強度に加え、透明性が高く光学特性に優れる等の点で、アクリレートおよび/またはメタクリレートのモノマーやオリゴマの重合体を主成分とする、ガラス転移温度が120℃以上のアクリル樹脂やメタクリル樹脂は、有機層26として好適に例示される。
その中でも特に、ジプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート(DPGDA)、1,9−ノナンジオールジ(メタ)アクリレート(A−NOD−N)、1,6ヘキサンジオールジアクリレート(A−HD−N)、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート(TMPTA)、(変性)ビスフェノールAジ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート(DPHA)などの、2官能以上のアクリレートおよび/またはメタクリレートのモノマー等の重合体を主成分とする、アクリル樹脂やメタクリル樹脂は、好適に例示される。また、これらのアクリル樹脂やメタクリル樹脂を、複数、用いるのも好ましい。
In particular, in addition to the above strength, acrylic resins having a glass transition temperature of 120 ° C. or higher, mainly composed of acrylate and / or methacrylate monomers or oligomer polymers, such as high transparency and excellent optical properties, etc. The methacrylic resin is preferably exemplified as the organic layer 26.
Among them, in particular, dipropylene glycol di (meth) acrylate (DPGDA), 1,9-nonanediol di (meth) acrylate (A-NOD-N), 1,6 hexanediol diacrylate (A-HD-N), Bifunctional or higher acrylate and / or methacrylate monomers such as trimethylolpropane tri (meth) acrylate (TMPTA), (modified) bisphenol A di (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate (DPHA), etc. An acrylic resin and a methacrylic resin mainly composed of a polymer are preferably exemplified. It is also preferable to use a plurality of these acrylic resins and methacrylic resins.

有機層26を、アクリル樹脂やメタクリル樹脂、特に2官能以上のアクリル樹脂やメタクリル樹脂で形成することにより、骨格がしっかりした下地の上に無機層28を形成できるので、より緻密でバリア性が高い無機層28を形成できる。   By forming the organic layer 26 with an acrylic resin or a methacrylic resin, particularly an acrylic resin or a methacrylic resin having a bifunctional or higher functionality, the inorganic layer 28 can be formed on the base having a solid skeleton, so that the denser and higher barrier property The inorganic layer 28 can be formed.

有機層26の厚さは、目的とするバリアフィルム16の厚さ、下地の有機層26と無機層28との組み合わせの数、無機層28の種類等に応じて、適宜、設定すればよい。
具体的には、有機層26の厚さ、中でも特に支持体24の表面に形成される有機層26の厚さは、0.1μm以上が好ましく、0.5μm以上がより好ましい。前述のように、有機層26の表面平坦性が高い程、接合部18における接着力を高くできる。有機層26の厚さを0.1μm以上とすることにより、支持体24の表面の凹凸を好適に埋めて、表面平坦性の高い有機層26が得られる。また、有機層26の厚さを0.1μm以上とすることにより、有機層26が好適な応力緩衝層として作用するため、有機EL装置10を折り曲げた際等における無機層28の割れを防止できる。
また、有機層26の厚さは、3μm以下が好ましく、1.5μm以下がより好ましい。有機層26の厚さを3μm以下とすることにより、有機層26からの水分放出に起因する有機EL素子14の劣化を好適に防止できる。
The thickness of the organic layer 26 may be appropriately set according to the thickness of the target barrier film 16, the number of combinations of the underlying organic layer 26 and the inorganic layer 28, the type of the inorganic layer 28, and the like.
Specifically, the thickness of the organic layer 26, in particular, the thickness of the organic layer 26 formed on the surface of the support 24 is preferably 0.1 μm or more, and more preferably 0.5 μm or more. As described above, the higher the surface flatness of the organic layer 26, the higher the adhesive force at the joint 18. By setting the thickness of the organic layer 26 to 0.1 μm or more, the unevenness on the surface of the support 24 is suitably filled, and the organic layer 26 having high surface flatness can be obtained. Moreover, since the organic layer 26 functions as a suitable stress buffer layer by setting the thickness of the organic layer 26 to 0.1 μm or more, the inorganic layer 28 can be prevented from cracking when the organic EL device 10 is bent. .
Further, the thickness of the organic layer 26 is preferably 3 μm or less, and more preferably 1.5 μm or less. By setting the thickness of the organic layer 26 to 3 μm or less, it is possible to suitably prevent the deterioration of the organic EL element 14 due to moisture release from the organic layer 26.

有機層26は、有機層26の形成材料に応じた公知の方法で形成すればよい。
一般的に、有機層26は、有機溶剤、有機層26となる重合性化合物(モノマ、ダイマ、トリマ、オリゴマ、ポリマ等)、界面活性剤、シランカップリング剤などを含む塗布組成物(塗料)を調製して、この塗布液を塗布、乾燥して、さらに、必要に応じて紫外線照射等によって重合性化合物を重合(架橋)する、いわゆる塗布法によって形成される。また、塗布法を利用することにより、いわゆるレベリングの効果によって、非常に表面平坦性が高い有機層26を形成できる。
The organic layer 26 may be formed by a known method corresponding to the material for forming the organic layer 26.
In general, the organic layer 26 is a coating composition (paint) containing an organic solvent, a polymerizable compound (monomer, dimer, trimer, oligomer, polymer, etc.) that becomes the organic layer 26, a surfactant, a silane coupling agent, and the like. The coating solution is applied, dried, and then polymerized (crosslinked) with a polymerizable compound by ultraviolet irradiation or the like as necessary. Further, by using a coating method, the organic layer 26 having a very high surface flatness can be formed by a so-called leveling effect.

バリアフィルム16において、無機層28は、主にバリア性を発現するものである。
無機層28の形成材料は、バリア性を発現する無機物からなるものが、各種、利用可能である。
具体的には、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、酸化タンタル、酸化ジルコニウム、酸化チタン、酸化インジウムスズ(ITO)などの金属酸化物; 窒化アルミニウムなどの金属窒化物; 炭化アルミニウムなどの金属炭化物; 酸化珪素、酸化窒化珪素、酸炭化珪素、酸化窒化炭化珪素などの珪素酸化物; 窒化珪素、窒化炭化珪素などの珪素窒化物; 炭化珪素等の珪素炭化物; これらの水素化物; これら2種以上の混合物; および、これらの水素含有物等の、無機化合物が、好適に例示される。
特に、窒化珪素、酸化珪素、酸窒化珪素、酸化アルミニウムは、透明性が高く、かつ、優れたバリア性を発現できる点で、好適に利用される。中でも特に、窒化珪素は、優れたバリア性に加え、透明性も高く、好適に利用される。
In the barrier film 16, the inorganic layer 28 mainly exhibits a barrier property.
Various materials can be used as the material for forming the inorganic layer 28, which are made of an inorganic material that exhibits barrier properties.
Specifically, metal oxides such as aluminum oxide, magnesium oxide, tantalum oxide, zirconium oxide, titanium oxide, and indium tin oxide (ITO); metal nitrides such as aluminum nitride; metal carbides such as aluminum carbide; silicon oxide, Silicon oxides such as silicon oxynitride, silicon oxycarbide, silicon oxynitride carbide; silicon nitrides such as silicon nitride and silicon nitride carbide; silicon carbides such as silicon carbide; hydrides thereof; mixtures of two or more of these; and Inorganic compounds such as these hydrogen-containing materials are preferably exemplified.
In particular, silicon nitride, silicon oxide, silicon oxynitride, and aluminum oxide are preferably used because they are highly transparent and can exhibit excellent barrier properties. Among these, silicon nitride is particularly preferable because it has high transparency in addition to excellent barrier properties.

無機層28の厚さは、要求されるバリア性、目的とするバリアフィルム16の厚さ、下地の有機層26と無機層28との組み合わせの数等に応じて、適宜、設定すればよい。
具体的には、無機層28の厚さは、10nm以上が好ましく、15nm以上がより好ましい。無機層28の厚さを10nm以上とすることにより、良好なガスバリア性を得ることができる。
また、無機層28の厚さは、45nm以下が好ましく、35nm以下がより好ましい。無機層28の厚さを45nm以下とすることにより、有機EL装置10を折り曲げた際における無機層28の割れを防止できる。また、前述のように、無機層28は、表面平坦性が高いほど、接合部18の接着力を強くできるが、無機層28の厚さを45nm以下とすることにより、有機層26の高い表面平坦性に追随して、無機層28の表面平坦性を高くできる。
The thickness of the inorganic layer 28 may be set as appropriate according to the required barrier properties, the desired thickness of the barrier film 16, the number of combinations of the underlying organic layer 26 and the inorganic layer 28, and the like.
Specifically, the thickness of the inorganic layer 28 is preferably 10 nm or more, and more preferably 15 nm or more. By setting the thickness of the inorganic layer 28 to 10 nm or more, good gas barrier properties can be obtained.
The thickness of the inorganic layer 28 is preferably 45 nm or less, and more preferably 35 nm or less. By setting the thickness of the inorganic layer 28 to 45 nm or less, the inorganic layer 28 can be prevented from cracking when the organic EL device 10 is bent. In addition, as described above, the higher the surface flatness of the inorganic layer 28, the stronger the adhesive force of the joint portion 18. However, by setting the thickness of the inorganic layer 28 to 45 nm or less, the high surface of the organic layer 26 can be obtained. Following the flatness, the surface flatness of the inorganic layer 28 can be increased.

無機層28は、無機層28の形成材料に応じて、公知の方法で形成すればよい。
一般的に、無機層28は、プラズマCVD、スパッタリング、真空蒸着等の気相堆積法(気相成膜法)によって形成される。
The inorganic layer 28 may be formed by a known method depending on the material for forming the inorganic layer 28.
In general, the inorganic layer 28 is formed by a vapor deposition method (vapor deposition method) such as plasma CVD, sputtering, or vacuum deposition.

本発明の有機EL装置10は、下地となる有機層26と無機層28との組み合わせを1組以上有する、表面が無機層28であるバリアフィルム16を用いて、無機層28を素子基板12に向けて、素子基板12の上に形成した有機EL素子14を封止する。
また、本発明の有機EL装置10は、有機EL素子14を封止するための接合部18における素子基板12とバリアフィルム16との接着を、素子基板12に設けられた第1反応層と、バリアフィルム16(表面の無機層28)に設けられた第1反応層と結合する第2反応層との反応による、分子接合で行う。
さらに、本発明の有機EL装置10は、接合部18において、素子基板12に最も近い有機層26の表面と、素子基板12との距離が100nm以下である。
The organic EL device 10 of the present invention uses the barrier film 16 having one or more combinations of an organic layer 26 and an inorganic layer 28 as a base, and the surface of the surface is the inorganic layer 28, and the inorganic layer 28 is formed on the element substrate 12. The organic EL element 14 formed on the element substrate 12 is sealed.
Moreover, the organic EL device 10 of the present invention includes bonding the element substrate 12 and the barrier film 16 at the joint 18 for sealing the organic EL element 14 with a first reaction layer provided on the element substrate 12, It is carried out by molecular bonding by reaction with the second reaction layer bonded to the first reaction layer provided on the barrier film 16 (surface inorganic layer 28).
Furthermore, in the organic EL device 10 of the present invention, the distance between the surface of the organic layer 26 closest to the element substrate 12 and the element substrate 12 in the bonding portion 18 is 100 nm or less.

本発明は、このような構成を有することにより、接合部18において十分な接着力を有し、しかも、接合部18の厚さを極めて薄くすることによって、接合部18からの水分の侵入を防止した、水分による有機EL素子14の劣化を抑制した、長寿命な有機EL装置10を実現している。   The present invention has a sufficient adhesive force in the joint portion 18 by having such a configuration, and further prevents the intrusion of moisture from the joint portion 18 by making the thickness of the joint portion 18 extremely thin. Thus, a long-life organic EL device 10 in which deterioration of the organic EL element 14 due to moisture is suppressed is realized.

前述のように、バリアフィルムによる有機EL素子の封止は、通常、接着剤によってバリアフィルムを素子基板に接着することで行う。しかしながら、この封止方法では、接着剤層を通って水分が侵入してしまい、この水分によって有機EL素子が劣化してしまう。
これに対し、特許文献1に示されるような、有機EL素子を封止する部材の接合面に存在する化合物同士の反応による結合を利用する分子接合では、接合部の厚さが極めて薄いため、接合部から水分が侵入することがなく、接合部から侵入する水分に起因する有機EL素子の劣化を防止できる。
As described above, sealing of the organic EL element with the barrier film is usually performed by adhering the barrier film to the element substrate with an adhesive. However, in this sealing method, moisture enters through the adhesive layer, and the organic EL element is deteriorated by the moisture.
On the other hand, as shown in Patent Document 1, in molecular bonding using a bond by reaction between compounds existing on the bonding surface of a member that seals an organic EL element, the thickness of the bonding portion is extremely thin. It is possible to prevent deterioration of the organic EL element due to moisture entering from the joining portion without moisture entering from the joining portion.

ここで、本発明者の検討によれば、素子基板に形成した有機EL素子をバリアフィルムで封止する際に、接合部において分子接合によって十分な接着力を得るためには、バリアフィルムの接合面の平坦性が高いことが重要である。
すなわち、分子接合は、シランカップリング剤など、素子基板の表面に存在する化合物と、バリアフィルムの表面に存在する化合物とが反応して結合することで行われる。そのため、バリアフィルムの表面平坦性が低いと、接合面同士の密着が不十分であり、また、接合面における化合物同士の反応が十分に行われず、さらに、反応が行われても容易に解離してしまい、十分な接着力が得られない。
前述のように、無機層は、一般的に気相堆積法で形成されるため、成膜面の凹凸に追随する。そのため、特許文献1に記載されるような、無機層のみを有するバリアフィルムでは、無機層の表面は支持体の凹凸に追随するため、バリアフィルムの表面を十分に平坦にすることができない。そのため、接合部におけるバリアフィルムと素子基板との密着が不十分で、分子接合による接着力が低く、接合部でのガスバリアフィルムの浮きや剥離が生じてしまい、ガスバリアフィルムによる有機EL素子の封止を適正に行えない。
無機層を厚くすることで、ある程度の平坦性は確保できるが、それでも、無機層の平坦性は十分とは言えず、さらに、無機層が脆くなってしまい、かつ、可撓性が失われてしまうという問題も有る。
Here, according to the study of the present inventor, when the organic EL element formed on the element substrate is sealed with the barrier film, in order to obtain sufficient adhesive force by molecular bonding at the bonding portion, the bonding of the barrier film It is important that the flatness of the surface is high.
That is, molecular bonding is performed by reacting and bonding a compound present on the surface of the element substrate such as a silane coupling agent and a compound present on the surface of the barrier film. For this reason, when the surface flatness of the barrier film is low, the adhesion between the bonding surfaces is insufficient, the reaction between the compounds on the bonding surfaces is not sufficiently performed, and further, even if the reaction is performed, the dissociation easily occurs. As a result, sufficient adhesive strength cannot be obtained.
As described above, since the inorganic layer is generally formed by a vapor deposition method, it follows the unevenness of the film formation surface. Therefore, in the barrier film having only the inorganic layer as described in Patent Document 1, the surface of the inorganic layer follows the unevenness of the support, and thus the surface of the barrier film cannot be made sufficiently flat. For this reason, the adhesion between the barrier film and the element substrate at the joint is insufficient, the adhesive force due to molecular bonding is low, and the gas barrier film floats and peels off at the joint, and the organic EL element is sealed with the gas barrier film. Cannot be performed properly.
Although a certain level of flatness can be secured by increasing the thickness of the inorganic layer, the flatness of the inorganic layer is still not sufficient, and the inorganic layer becomes brittle and the flexibility is lost. There is also a problem of end.

これに対し、本発明の有機EL装置10は、バリアフィルム16が、無機層28の下地となる有機層26を有する。すなわち、無機層28は、有機層26の上に形成される。
前述のように、有機層26は、一般的に塗布法で形成される。塗布法で形成された有機層26は、支持体24の表面の凹凸を埋めると共に、塗布組成物のレベリングの効果によって、非常に平坦(平滑)な表面を有する。また、先にも延べたが、無機層28は一般的に気相堆積法で形成されるため、有機層26の表面形状に追随する。その結果、本発明において、無機層28の表面すなわちバリアフィルム16の表面は、有機層26の高い表面平坦性に追随して、非常に高い平坦性を有する。
そのため、本発明の有機EL装置10は、バリアフィルム16の高い表面平坦性によって、素子基板12の第1反応層とバリアフィルム16の第2反応層とを十分に密着して、両反応層を形成する化合物の反応および結合を十分に行うことができる。その結果、接合部18において、分子接合によって、素子基板12とバリアフィルム16とを高い接着力で接合できる。また、このような表面の化合物同士の反応による分子接合での接合部18は、極めて薄いため、接合部18からの水分の侵入も防止できる。
さらに、有機層26は、無機層28に比べて、柔軟性に富む。そのため、外部から衝撃を受けたり、有機EL装置10が屈曲された際に、接合部18が受ける応力が緩和され、接合部18で素子基板12とバリアフィルム16とが剥離することも抑制できる。
On the other hand, in the organic EL device 10 of the present invention, the barrier film 16 has the organic layer 26 that is the base of the inorganic layer 28. That is, the inorganic layer 28 is formed on the organic layer 26.
As described above, the organic layer 26 is generally formed by a coating method. The organic layer 26 formed by the coating method fills the unevenness of the surface of the support 24 and has a very flat (smooth) surface due to the leveling effect of the coating composition. As previously described, since the inorganic layer 28 is generally formed by a vapor deposition method, it follows the surface shape of the organic layer 26. As a result, in the present invention, the surface of the inorganic layer 28, that is, the surface of the barrier film 16 follows the high surface flatness of the organic layer 26 and has a very high flatness.
Therefore, the organic EL device 10 of the present invention sufficiently adheres the first reaction layer of the element substrate 12 and the second reaction layer of the barrier film 16 due to the high surface flatness of the barrier film 16 so that both reaction layers are bonded. The compound to be formed can be fully reacted and bound. As a result, the element substrate 12 and the barrier film 16 can be bonded with high adhesive force by molecular bonding at the bonding portion 18. In addition, since the junction 18 in molecular bonding by reaction between the compounds on the surface is extremely thin, it is possible to prevent moisture from entering from the junction 18.
Furthermore, the organic layer 26 is richer in flexibility than the inorganic layer 28. Therefore, when the impact is received from the outside or the organic EL device 10 is bent, the stress received by the joint portion 18 is relieved, and the element substrate 12 and the barrier film 16 can be prevented from peeling off at the joint portion 18.

接合部18を形成する素子基板12の第1反応層、および、バリアフィルム16の第2反応層は、互いに反応して結合する化合物を含有する各種の層が利用可能である。
すなわち、第1反応層および第2反応層を形成する化合物は、加熱処理、紫外線等の光照射処理、電子線照射処理等によって、他方の反応層の化合物と反応して結合、好ましくは共有結合が可能な化合物であればよい。
一例として、ビニル基、エポキシ基、スチリル基、アクリル基、メタクリル基、アミノ基、ウレイド基、メルカプト基、スルフィド基、イソシアネート基、カルボキシ基、アルデヒド基等を有する化合物がが挙げられる。
As the first reaction layer of the element substrate 12 that forms the bonding portion 18 and the second reaction layer of the barrier film 16, various layers containing compounds that react and bond with each other can be used.
That is, the compound forming the first reaction layer and the second reaction layer reacts with the compound in the other reaction layer by heat treatment, light irradiation treatment such as ultraviolet rays, electron beam irradiation treatment, and the like, preferably a covalent bond. Any compound can be used.
Examples include compounds having a vinyl group, epoxy group, styryl group, acrylic group, methacryl group, amino group, ureido group, mercapto group, sulfide group, isocyanate group, carboxy group, aldehyde group, and the like.

第1反応層および第2反応層を形成する化合物の組み合わせとしては、互いに結合を形成可能な化合物の組み合わせであれば特に限定はなく、素子基板12やバリアフィルム16の種類、結合を形成させるための処理方法や条件等を考慮して適宜決定できる。
本発明においては、反応性の高さから、第1反応層および第2反応層を形成する化合物の組み合わせとしては、アミノ基を有する化合物とエポキシ基を有する化合物との組み合わせが好ましい。第1反応層を形成する化合物がアミノ基を有し、第2反応層を形成する化合物がエポキシ基を有してもよく、第1反応層を形成する化合物がエポキシ基を有し、第2反応層を形成する化合物がアミノ基を有してもよい。
The combination of the compounds forming the first reaction layer and the second reaction layer is not particularly limited as long as it is a combination of compounds capable of forming a bond with each other. In order to form the element substrate 12 and the barrier film 16 and the bond. It can be determined appropriately in consideration of the processing method and conditions.
In the present invention, a combination of a compound having an amino group and a compound having an epoxy group is preferable as the combination of the compounds forming the first reaction layer and the second reaction layer because of high reactivity. The compound forming the first reaction layer may have an amino group, the compound forming the second reaction layer may have an epoxy group, the compound forming the first reaction layer may have an epoxy group, and the second The compound forming the reaction layer may have an amino group.

素子基板12に第1反応層を好適に形成するために、第1反応層を構成する化合物は、第2反応層の化合物と結合する部位に加え、素子基板12の表面に結合する部位を有しているのが好ましい。また、この化合物は、1つの端部に第2反応層の化合物と結合する部位を有し、別の端部に素子基板12の表面に結合する部位を有している化合物であるのがより好ましい。また、第1反応層を構成する化合物は、2種以上でもよいが、1種であるのが好ましい。
他方、バリアフィルム16(表面の無機層28)に第2反応層を好適に形成するために、第2反応層を構成する化合物は、第1反応層の化合物と結合する部位に加え、バリアフィルム16の表面に結合する部位を有していることが好ましい。また、この化合物は、1つの端部に第1反応層の化合物と結合する部位を有し、別の端部にバリアフィルム16の表面に結合する部位を有している化合物であるのがより好ましい。また、第2反応層を構成する化合物は、2種以上でもよいが、1種であるのが好ましい。
In order to suitably form the first reaction layer on the element substrate 12, the compound constituting the first reaction layer has a part that binds to the surface of the element substrate 12 in addition to the part that binds to the compound of the second reaction layer. It is preferable. In addition, this compound is more preferably a compound having a part that binds to the compound of the second reaction layer at one end and a part that binds to the surface of the element substrate 12 at the other end. preferable. Moreover, although the compound which comprises a 1st reaction layer may be 2 or more types, it is preferable that it is 1 type.
On the other hand, in order to suitably form the second reaction layer on the barrier film 16 (the inorganic layer 28 on the surface), the compound constituting the second reaction layer is added to the portion that binds to the compound of the first reaction layer, and the barrier film. It is preferable to have the site | part couple | bonded with 16 surfaces. In addition, this compound is more preferably a compound having a part that binds to the compound of the first reaction layer at one end and a part that binds to the surface of the barrier film 16 at the other end. preferable. Moreover, although the compound which comprises a 2nd reaction layer may be 2 or more types, it is preferable that it is 1 type.

好ましい一例として、1つの端部に第2反応層の化合物と結合する部位を有し、別の端部に素子基板12の表面に結合する部位を有している化合物からなる第1反応層を素子基板12に形成する。また、1つの端部に第1反応層の化合物と結合する部位を有し、別の端部にバリアフィルム16の表面に結合する部位を有している化合物からなる第2反応層をバリアフィルム16に形成する。その上で、素子基板12の第1反応層を形成する化合物と、バリアフィルム16の第2反応層を形成する化合物とを、直接、反応させて結合させることにより、接合部18を形成できる。   As a preferred example, a first reaction layer made of a compound having a portion bonded to the compound of the second reaction layer at one end and a portion bonded to the surface of the element substrate 12 at the other end. Formed on the element substrate 12. In addition, the second reaction layer made of a compound having a site that binds to the compound of the first reaction layer at one end and a site that binds to the surface of the barrier film 16 at the other end is a barrier film. 16 to form. Then, the bonding portion 18 can be formed by directly reacting and bonding the compound forming the first reaction layer of the element substrate 12 and the compound forming the second reaction layer of the barrier film 16.

第1反応層を形成する化合物および第2反応層を形成する化合物としては、一端に他方の反応層を形成する化合物と反応し、他端にシロキサン結合(Si−O)を有するシランカップリング剤を用いるのが好ましい。
シランカップリング剤としては、具体的には、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシランなどのビニル基を有するもの; 2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリエトキシシランなどのエポキシ基を有するもの; p−スチリルトリメトキシシランなどのスチリル基を有するもの; 3−メタクリロキシプロピルメチルジメトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルメチルジエトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルトリエトキシシランなどのメタクリル基を有するもの; 3−アクリロキシプロピルトリメトキシシランなどのアクリル基を有するもの; N−2−(アミノエチル)−3−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、N−2−(アミノエチル)−3−アミノプロピルトリメトキシシラン、N−2−(アミノエチル)−3−アミノプロピルトリエトキシシラン、3−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−アミノプロピルトリエトキシシラン、3−トリエトキシシリル-N−(1,3−ジメチル-ブチリデン)プロピルアミン、N−フェニル−3−アミノプロピルトリメトキシシラン、N−(ビニルベンジル)−2−アミノエチル−3−アミノプロピルトリメトキシシランなどのアミノ基を有するもの; 3−ウレイドプロピルトリエトキシシランなどのウレイド基を有するもの; 3−メルカプトプロピルメチルジメトキシシラン、3−メルカプトプロピルトリメトキシシランなどのメルカプト基を有するもの; ビス(トリエトキシシリルプロピル)テトラスルフィドなどのスルフィド基を有するもの; 3−イソシアネートプロピルトリエトキシシランなどのイソシアネート基を有するもの; カルボキシ基を有するもの; アルデヒド基を有するもの; 等が例示される。
As the compound that forms the first reaction layer and the compound that forms the second reaction layer, a silane coupling agent that reacts with a compound that forms the other reaction layer at one end and has a siloxane bond (Si—O) at the other end Is preferably used.
Specific examples of the silane coupling agent include those having a vinyl group such as vinyltrimethoxysilane and vinyltriethoxysilane; 2- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane, 3-glycidoxypropyl Having an epoxy group such as methyldimethoxysilane, 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, 3-glycidoxypropylmethyldiethoxysilane, 3-glycidoxypropyltriethoxysilane; p-styryltrimethoxysilane, etc. Having a styryl group; a methacryl group such as 3-methacryloxypropylmethyldimethoxysilane, 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane, 3-methacryloxypropylmethyldiethoxysilane, 3-methacryloxypropyltriethoxysilane Having an acrylic group such as 3-acryloxypropyltrimethoxysilane; N-2- (aminoethyl) -3-aminopropylmethyldimethoxysilane, N-2- (aminoethyl) -3-aminopropyltri Methoxysilane, N-2- (aminoethyl) -3-aminopropyltriethoxysilane, 3-aminopropyltrimethoxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane, 3-triethoxysilyl-N- (1,3-dimethyl) Having an amino group such as -butylidene) propylamine, N-phenyl-3-aminopropyltrimethoxysilane, N- (vinylbenzyl) -2-aminoethyl-3-aminopropyltrimethoxysilane; 3-ureidopropyltri Having a ureido group such as ethoxysilane; 3-mer Those having a mercapto group such as ptopropylmethyldimethoxysilane and 3-mercaptopropyltrimethoxysilane; those having a sulfide group such as bis (triethoxysilylpropyl) tetrasulfide; and isocyanate groups such as 3-isocyanatopropyltriethoxysilane Examples thereof include those having a carboxy group, those having an aldehyde group, and the like.

第1反応層を形成する化合物と、第2反応層を形成する化合物との組み合わせとしては、一端にアミノ基を有し、他端にシロキサン結合を有するシランカップリング剤と、一端にエポキシ基を有し、他端にシロキサン結合を有するシランカップリング剤との組み合わせが好ましい。中でも、素子基板12の表面およびバリアフィルム16の表面において、シランカップリング剤の集積密度が高くなるため、N−2−(アミノエチル)−3−アミノプロピルトリメトキシシランと3−グリシドキシプロピルトリメトキシシランの組み合わせがより好ましい。   The combination of the compound forming the first reaction layer and the compound forming the second reaction layer includes a silane coupling agent having an amino group at one end and a siloxane bond at the other end, and an epoxy group at one end. A combination with a silane coupling agent having a siloxane bond at the other end is preferable. In particular, since the integration density of the silane coupling agent is increased on the surface of the element substrate 12 and the surface of the barrier film 16, N-2- (aminoethyl) -3-aminopropyltrimethoxysilane and 3-glycidoxypropyl A combination of trimethoxysilane is more preferable.

素子基板12に第1反応層を形成する方法、および、バリアフィルム16に第2反応層を形成する方法には、特に限定は無い。
例えば、第1反応層を構成する化合物を素子基板に結合させ、第2反応層を構成する化合物をバリアフィルム16の表面に結合させることによって、第1反応層および第2反応層を形成する方法が例示される。中でも、塗布法、浸漬法、蒸着法などの一般的な成膜方法によって、素子基板12およびバリアフィルム16の接合部18となる領域に、反応層を形成するのが好ましい。
なお、第1反応層および第2反応層は、基本的に、素子基板12およびバリアフィルム16の接合部18となる領域すなわち接合面のみに形成すればよいが、接合部18を超える範囲に第1反応層および/または第2反応層を形成してもよい。
There is no particular limitation on the method of forming the first reaction layer on the element substrate 12 and the method of forming the second reaction layer on the barrier film 16.
For example, a method of forming the first reaction layer and the second reaction layer by bonding the compound constituting the first reaction layer to the element substrate and bonding the compound constituting the second reaction layer to the surface of the barrier film 16. Is exemplified. Especially, it is preferable to form a reaction layer in the area | region used as the junction part 18 of the element substrate 12 and the barrier film 16 by common film-forming methods, such as the apply | coating method, the immersion method, and the vapor deposition method.
The first reaction layer and the second reaction layer may basically be formed only in the region to be the bonding portion 18 of the element substrate 12 and the barrier film 16, that is, the bonding surface. One reaction layer and / or a second reaction layer may be formed.

前述のように、本発明の有機EL装置10においては、接合部18において、素子基板12に最も近い有機層26の表面と、素子基板12との距離が100nm以下である。言い換えれば、接合部18における無機層28の膜厚と、接合部18との膜厚との合計が100nm以下である。   As described above, in the organic EL device 10 of the present invention, the distance between the surface of the organic layer 26 closest to the element substrate 12 and the element substrate 12 at the junction 18 is 100 nm or less. In other words, the sum of the film thickness of the inorganic layer 28 in the bonding part 18 and the film thickness of the bonding part 18 is 100 nm or less.

接合部18は、薄いほど、接合部18からの水分の侵入を抑制できる。また、下地に有機層26を有する無機層28は、厚くなるほど、有機層26の表面への追随性が低くなりすなわち、表面の平坦性が低くなる。
そのため、接合部18において、素子基板12に最も近い有機層26の表面と、素子基板12との距離が100nmを超えると、接合部が厚すぎて水分が侵入し易くなり、および/または、無機層28の平坦性が悪化して接合部18における接着力が低くなり、目的とする寿命を有する有機EL装置10を得ることができない。さらに、素子基板12に最も近い有機層26の表面と、素子基板12との距離が100nmを超えると、有機EL装置10の可撓性も低減してしまう。
また、この点を考慮すると、接合部18おける素子基板12に最も近い有機層26の表面と素子基板12との距離は、75nm以下が好ましく、50nm以下がより好ましい。
The thinner the joint 18 is, the more moisture can be prevented from entering from the joint 18. Further, as the thickness of the inorganic layer 28 having the organic layer 26 as a base increases, the followability to the surface of the organic layer 26 decreases, that is, the flatness of the surface decreases.
Therefore, when the distance between the surface of the organic layer 26 closest to the element substrate 12 and the element substrate 12 in the bonding portion 18 exceeds 100 nm, the bonding portion is too thick and moisture easily enters and / or inorganic. The flatness of the layer 28 is deteriorated and the adhesive strength at the joint 18 is lowered, and the organic EL device 10 having the intended life cannot be obtained. Furthermore, when the distance between the surface of the organic layer 26 closest to the element substrate 12 and the element substrate 12 exceeds 100 nm, the flexibility of the organic EL device 10 is also reduced.
In consideration of this point, the distance between the surface of the organic layer 26 closest to the element substrate 12 and the element substrate 12 in the joint 18 is preferably 75 nm or less, and more preferably 50 nm or less.

本発明の有機EL装置10において、接合部18の幅wは、有機EL装置10の大きさ、第1反応層および第2反応層を形成する化合物の種類(化合物の結合力)、素子基板12の形成材料、無機層28の形成材料等に応じて、接合部18で十分な接着力が得られる幅wを、適宜、設定すればよい。
具体的には、接合部18の幅wは、0.5mm以上が好ましく、1mm以上がより好ましい。接合部18の幅wを0.5mm以上とすることにより、接合部18の接着力をより強くできる。
また、接合部18の幅wは、5mm以下が好ましく、2mm以下がより好ましい。接合部18の幅wを5mm以下とすることにより、表示面や発光面など、有機EL装置10の有効面を広く確保することが可能になる。
In the organic EL device 10 of the present invention, the width w of the bonding portion 18 is the size of the organic EL device 10, the type of compound forming the first reaction layer and the second reaction layer (compound binding force), and the element substrate 12. Depending on the forming material, the forming material of the inorganic layer 28, etc., the width w at which a sufficient adhesive force can be obtained at the joint 18 may be set as appropriate.
Specifically, the width w of the joint portion 18 is preferably 0.5 mm or more, and more preferably 1 mm or more. By setting the width w of the joint portion 18 to 0.5 mm or more, the adhesive force of the joint portion 18 can be further increased.
Further, the width w of the joint portion 18 is preferably 5 mm or less, and more preferably 2 mm or less. By setting the width w of the bonding portion 18 to 5 mm or less, it is possible to ensure a wide effective surface of the organic EL device 10 such as a display surface and a light emitting surface.

本発明の有機EL装置10においては、素子基板12とバリアフィルム16とが形成する空間に、必要に応じて、有機EL素子14に影響を与えない液体等を充填してもよい。
このような構成を有することにより、可撓性を有する有機EL装置10において、折れ曲がった際などにおける有機EL素子14の損傷を防止できる。
In the organic EL device 10 of the present invention, the space formed by the element substrate 12 and the barrier film 16 may be filled with a liquid that does not affect the organic EL element 14 as necessary.
By having such a configuration, in the organic EL device 10 having flexibility, it is possible to prevent the organic EL element 14 from being damaged when it is bent.

また、本発明の有機EL装置10においては、有機EL素子14とガスバリアフィルム16とを接着していてもよい。この場合、有機EL素子14は、陰極上に、スパッタリングやプラズマCVD等によって形成した窒化珪素や酸化アルミニウム等の無機膜を有するのが好ましい。
有機EL素子14とガスバリアフィルム16との接着は、有機EL装置10の性能や有機EL素子14に影響を与えないものであれば、接着剤を用いる方法等、公知の各種の方法が利用可能である。特に、有機EL素子14のガスバリアフィルム16との対向面に、素子基板12の第1反応層と同様のガスバリアフィルム16の第2反応層と反応する反応層を設け、有機EL素子14の反応層と、ガスバリアフィルム16の第2反応層との反応によって、有機EL素子14とガスバリアフィルム16とを接着するのが好ましい。なお、有機EL素子14に設ける反応層は、ガスバリアフィルム16の第2反応層と反応するものであれば、素子基板12の第1反応層と同じもので形成しても良く、異なるもので形成してもよい。
有機EL素子14とガスバリアフィルム16とを接着する場合には、両者の接着は、有機EL素子14の全面であっても、一部であってもよい。
In the organic EL device 10 of the present invention, the organic EL element 14 and the gas barrier film 16 may be bonded. In this case, the organic EL element 14 preferably has an inorganic film such as silicon nitride or aluminum oxide formed by sputtering, plasma CVD or the like on the cathode.
As long as the adhesion between the organic EL element 14 and the gas barrier film 16 does not affect the performance of the organic EL device 10 or the organic EL element 14, various known methods such as a method using an adhesive can be used. is there. In particular, a reaction layer that reacts with the second reaction layer of the gas barrier film 16 similar to the first reaction layer of the element substrate 12 is provided on the surface facing the gas barrier film 16 of the organic EL element 14, and the reaction layer of the organic EL element 14 is provided. It is preferable that the organic EL element 14 and the gas barrier film 16 are bonded together by a reaction between the gas barrier film 16 and the second reaction layer. The reaction layer provided on the organic EL element 14 may be formed of the same reaction layer as the first reaction layer of the element substrate 12 as long as it reacts with the second reaction layer of the gas barrier film 16. May be.
When the organic EL element 14 and the gas barrier film 16 are bonded, the bonding between the two may be the entire surface of the organic EL element 14 or a part thereof.

図2に、本発明の有機EL装置の別の例を示す。
図2に示す有機EL装置30は、図1に示す有機EL装置10に、さらに、バリアフィルム16の端部を覆って、素子基板12とバリアフィルム16とを接着する端部シール32を設けたものである。
このような端部シール32をも受けることにより、接合部18における分子接合を、より確実に維持して、水分の侵入を防止し、より寿命の長い有機EL装置30を得ることができる。また、本発明の有機EL装置30は、バリアフィルム16の端部に有機層26が露出している。そのため、端部シール32は高い接着力でバリアフィルムに接着されるので、この点でも、接合部18における分子接合を、より確実に維持できる。
FIG. 2 shows another example of the organic EL device of the present invention.
The organic EL device 30 shown in FIG. 2 further includes an end seal 32 that covers the end portion of the barrier film 16 and adheres the element substrate 12 and the barrier film 16 to the organic EL device 10 shown in FIG. Is.
By receiving such an end seal 32 as well, the molecular bonding at the bonding portion 18 can be more reliably maintained, the intrusion of moisture can be prevented, and the organic EL device 30 having a longer life can be obtained. In the organic EL device 30 of the present invention, the organic layer 26 is exposed at the end of the barrier film 16. Therefore, since the end seal 32 is bonded to the barrier film with a high adhesive force, the molecular bonding in the bonding section 18 can be more reliably maintained in this respect as well.

端部シール32は、一例として、バリアフィルム16と素子基板12とを接着可能な接着剤を用いて形成すればよい。また、端部シール32をガスバリア性の高い材料で形成することにより、水分による有機EL素子14の劣化を好適に抑制して、より長寿命な有機EL装置30を得られる。
このような端部シール32の形成材料としては、一例として、アルミ箔テープなどのテープ状のものや、エポキシ系やアクリル系といった液状の硬化型接着剤等が例示される。
For example, the end seal 32 may be formed using an adhesive capable of bonding the barrier film 16 and the element substrate 12. Further, by forming the end seal 32 with a material having a high gas barrier property, it is possible to suitably suppress the deterioration of the organic EL element 14 due to moisture, and to obtain the organic EL device 30 having a longer life.
Examples of the material for forming the end seal 32 include a tape-like material such as an aluminum foil tape, and a liquid curable adhesive such as epoxy or acrylic.

端部シール32のバリアフィルム16と当接する幅および素子基板12と当接する幅は、端部シールの形成材料等に応じて、接合部18における分子接合を維持できる幅を、適宜、設定すればよい。
なお、有機EL装置30において、有機EL素子14からの光の取り出し面がガスバリアフィルム16側である場合には、有機EL装置30の有効面を広くするために、端部シール32は、接合部18よりも内側に至らないように形成するのが好ましい。
さらに、端部シール32は、バリアフィルム16の端部の少なくとも一部を覆って形成すればよいが、好ましくは、バリアフィルム16の端部の全周を覆って形成する。
The width of the end seal 32 that abuts against the barrier film 16 and the width that abuts against the element substrate 12 can be appropriately set to a width that can maintain molecular bonding in the bonding portion 18 in accordance with the material for forming the end seal. Good.
In the organic EL device 30, when the light extraction surface from the organic EL element 14 is on the gas barrier film 16 side, in order to widen the effective surface of the organic EL device 30, the end seal 32 is a joint portion. It is preferable to form so as not to reach the inner side than 18.
Further, the end seal 32 may be formed so as to cover at least a part of the end of the barrier film 16, but is preferably formed so as to cover the entire circumference of the end of the barrier film 16.

以上、本発明の有機EL装置について詳細に説明したが、本発明は、上述の例に限定はされず、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、各種の改良や変更を行なってもよいのは、もちろんである。   The organic EL device of the present invention has been described in detail above. However, the present invention is not limited to the above-described example, and various improvements and modifications may be made without departing from the gist of the present invention. Of course.

以下、本発明の具体的実施例を挙げ、本発明を、より詳細に説明する。   Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to specific examples of the present invention.

[実施例1]
<バリアフィルムの作製>
支持体24としてPETフィルム(A4300、東洋紡社製)を用意した。
支持体24の表面粗さRaを原子間力顕微鏡(エスアイアイ・ナノテクノロジー社製)を用いて10×10μmの範囲で測定したところ、7.6nmであった。
[Example 1]
<Preparation of barrier film>
A PET film (A4300, manufactured by Toyobo Co., Ltd.) was prepared as the support 24.
It was 7.6 nm when surface roughness Ra of the support body 24 was measured in the range of 10 * 10 micrometer using atomic force microscope (made by SII nanotechnology company).

TMPTA(ダイセルセルテック社製)、シランカップリング剤(KBM−5103、信越化学社製)および重合性酸性化合物(KARAMER PM−21、日本化薬社製)を、質量比で14.1:3.5:1で混合してなる組成物を調製した。
この組成物18.6gと、紫外線重合開始剤(ランベルティ社製、ESACURE KTO46)1.4gと、2−ブタノン180gとを混合して、有機層26を形成するための塗料を調製した。
TMPTA (manufactured by Daicel Celltech), silane coupling agent (KBM-5103, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) and polymerizable acidic compound (KARAMER PM-21, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) in a mass ratio of 14.1: 3. A composition was prepared by mixing at 5: 1.
18.6 g of this composition, 1.4 g of an ultraviolet polymerization initiator (Lamberti, ESACURE KTO46), and 180 g of 2-butanone were mixed to prepare a coating material for forming the organic layer 26.

調製した塗料を、用意した支持体24(PETフィルム)の表面に塗布した。塗料の塗布は、ワイヤーバーを用い、塗膜厚が5μmとなるように行った。
塗料を塗布した後、室温で放置することにより、塗料を乾燥した。
次いで、窒素置換法により酸素濃度を0.1%としたチャンバー内で高圧水銀ランプの紫外線を照射(積算照射量約1J/cm2)することで、塗料の組成物を硬化させた。これにより、支持体24の表面に厚さ1000nm±50nmの有機層26を形成した。
The prepared paint was applied to the surface of the prepared support 24 (PET film). The coating was applied using a wire bar so that the coating thickness was 5 μm.
After applying the paint, the paint was dried by allowing it to stand at room temperature.
Next, the composition of the coating was cured by irradiating with ultraviolet rays from a high-pressure mercury lamp (integrated irradiation amount: about 1 J / cm 2 ) in a chamber in which the oxygen concentration was 0.1% by a nitrogen substitution method. Thereby, the organic layer 26 having a thickness of 1000 nm ± 50 nm was formed on the surface of the support 24.

この有機層26の上に、無機層28として、厚さ35nmの窒化珪素膜を形成した。
無機層28(窒化珪素膜)の形成は、一般的なCCP(容量結合プラズマ方式)−CVD装置を用いて行った。原料ガスは、シランガス(流量160sccm)、アンモニアガス(流量370sccm)、水素ガス(流量590sccm)、および窒素ガス(流量240sccm)を用いた。成膜圧力は40Paとした。電源は周波数13.56MHzの高周波電源を用い、プラズマ励起電力を2.5kWとした。
これにより、支持体24の上に有機層26を有し、その上に無機層28を有する、有機層26と無機層28との組み合わせを1組有するバリアフィルムを作製した。
A silicon nitride film having a thickness of 35 nm was formed on the organic layer 26 as the inorganic layer 28.
The inorganic layer 28 (silicon nitride film) was formed using a general CCP (capacitively coupled plasma method) -CVD apparatus. As source gases, silane gas (flow rate 160 sccm), ammonia gas (flow rate 370 sccm), hydrogen gas (flow rate 590 sccm), and nitrogen gas (flow rate 240 sccm) were used. The film forming pressure was 40 Pa. The power supply was a high frequency power supply with a frequency of 13.56 MHz, and the plasma excitation power was 2.5 kW.
Thereby, the barrier film which has one set of the combination of the organic layer 26 and the inorganic layer 28 which has the organic layer 26 on the support body 24 and has the inorganic layer 28 on it was produced.

<第1反応層の形成>
素子基板12として、先に作製したバリアフィルムを正方形状に切り出したものを用いた。素子基板12の表面の無機層28の表面粗さRaを、先と同様に測定したところ、0.64nmであった。
ラミネートフィルム(サンエー化研社製、PAC−3−50THK)を正方形状に切り出し、素子基板12の素子形成部のみを全て覆うようにマスクをした。この素子基板12表面に、純水で2w%の濃度に薄めたシランカップリング剤(信越化学社製、KBE−402)をスピンコートし、115℃のオーブンで1時間乾燥した。乾燥後、マスクを剥がした。これにより、第1反応層を形成した素子基板12を作成した。
<Formation of first reaction layer>
As the element substrate 12, the previously produced barrier film was cut into a square shape. When the surface roughness Ra of the inorganic layer 28 on the surface of the element substrate 12 was measured in the same manner as described above, it was 0.64 nm.
A laminate film (SAN-A-KAKEN Co., Ltd., PAC-3-50THK) was cut into a square shape and masked so as to cover only the element forming portion of the element substrate 12. The surface of this element substrate 12 was spin-coated with a silane coupling agent (KBE-402, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) diluted with pure water to a concentration of 2 w% and dried in an oven at 115 ° C. for 1 hour. After drying, the mask was peeled off. Thereby, the element substrate 12 on which the first reaction layer was formed was prepared.

<有機EL素子の作製>
第1反応層を形成した素子基板12(無機層28)に表面に、60nmの膜厚になるようにAlを真空蒸着して、陽極を形成した。形成された陽極表面に、真空蒸着装置により、MoO3層を正孔注入層として2nmの膜厚で形成し、さらに、MoO3層の表面に順に正孔輸送層(α-NPD:Bis[N-(1-naphthyl)-N-phenyl]benzidine)を29nm、CBP(4,4'-Bis(carbazol-9-yl)biphenyl)をホスト材料として5%のIr(ppy)3(Tris(2-phenylpyridinato)iridium)をドープした発光層を20nm、正孔ブロック層としてBAlq(Bis-(2-methyl-8- quinolinolato)-4-(phenyl-phenolate)-aluminium(III))層を10nm、電子輸送層としてAlq3(Tris(8-hydroxy-quinolinato)aluminium)層を20nmの膜厚でそれぞれ蒸着して有機電界発光層を形成した。
続けて、得られた有機発光層の表面にLiFを0.5nm、Alを1.5nm、Agを15nmの膜厚で、この順に蒸着して、透明電極(陰極)を成膜し、素子基板12の表面に有機EL素子14を形成した。
<Production of organic EL element>
On the surface of the element substrate 12 (inorganic layer 28) on which the first reaction layer was formed, Al was vacuum-deposited to a thickness of 60 nm to form an anode. The formed anode surface by vacuum vapor deposition apparatus, a MoO 3 layer was formed at a 2nm thickness of the hole injecting layer, further, a hole transport layer in this order on the surface of the MoO 3 layer (α-NPD: Bis [N -(1-naphthyl) -N-phenyl] benzidine) is 29 nm, CBP (4,4′-Bis (carbazol-9-yl) biphenyl) is the host material and 5% Ir (ppy) 3 (Tris (2- The light emitting layer doped with (phenylpyridinato) iridium) is 20 nm, the hole blocking layer is a BAlq (Bis- (2-methyl-8-quinolinolato) -4- (phenyl-phenolate) -aluminium (III)) layer, 10 nm, and electron transport Alq3 (Tris (8-hydroxy-quinolinato) aluminum) layers were deposited to a thickness of 20 nm as layers to form organic electroluminescent layers.
Subsequently, LiF was deposited on the surface of the obtained organic light emitting layer in a thickness of 0.5 nm, Al was deposited in a thickness of 1.5 nm, and Ag was deposited in this order to form a transparent electrode (cathode). The organic EL element 14 was formed on the surface of 12.

<第2反応層の形成>
第1反応層の形成時に用いたラミネートフィルムよりも1辺が4mm大きくなるようにバリアフィルムを正方形状に切り出した。
バリアフィルムの表面全面に、純水で2w%の濃度に薄めたシランカップリング剤(信越化学社製、KBE−903)をスピンコートし、115℃のオーブンで1時間乾燥して、第2反応層を形成した。
<Formation of second reaction layer>
The barrier film was cut into a square shape so that one side was 4 mm larger than the laminate film used when forming the first reaction layer.
The entire surface of the barrier film was spin-coated with a silane coupling agent (Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., KBE-903) diluted to a concentration of 2 w% with pure water, and dried in an oven at 115 ° C. for 1 hour to produce the second reaction. A layer was formed.

<有機EL装置10の作製>
有機EL素子14の形成面とバリアフィルム表面の無機層28とを対面して、有機EL素子を覆うように、素子基板12の上にバリアフィルムを貼り合わせた。このとき素子基板12とバリアフィルムの中心を合わせて貼合することによって幅wが2mmの接合部18が形成される。
次いで、第1反応層と第2反応層とを押圧した状態で、80℃のオーブンに2時間静置し、第1反応層と第2反応層とを反応させて、素子基板12とバリアフィルムとを結合させた。これにより、接合部18によって素子基板12とバリアフィルムとを接着して、バリアフィルムで有機EL素子14を封止した有機EL装置を作製した。
<Production of Organic EL Device 10>
The formation surface of the organic EL element 14 and the inorganic layer 28 on the surface of the barrier film face each other, and a barrier film was bonded onto the element substrate 12 so as to cover the organic EL element. At this time, the joining portion 18 having a width w of 2 mm is formed by bonding the element substrate 12 and the center of the barrier film together.
Next, the first reaction layer and the second reaction layer are pressed and left in an oven at 80 ° C. for 2 hours to react the first reaction layer and the second reaction layer, so that the element substrate 12 and the barrier film are reacted. And combined. As a result, the element substrate 12 and the barrier film were bonded by the bonding portion 18 to produce an organic EL device in which the organic EL element 14 was sealed with the barrier film.

なお、以下に示す性能評価を行った後、接合部18の断面を走査型電子顕微鏡で撮影して、素子基板12と、素子基板12に最も近い有機層26との距離を測定した。その結果、素子基板12と、素子基板12に最も近い有機層26との距離は48nmであった。   In addition, after performing the performance evaluation shown below, the cross section of the junction part 18 was image | photographed with the scanning electron microscope, and the distance of the element substrate 12 and the organic layer 26 nearest to the element substrate 12 was measured. As a result, the distance between the element substrate 12 and the organic layer 26 closest to the element substrate 12 was 48 nm.

[実施例2]
バリアフィルムの作製において、さらに、無機層28の上に同様に有機層26を形成し、この有機層26の上に同様に無機層28を形成することによって、有機層26と無機層との組み合わせを2組有する、図3に示すようなバリアフィルム16を作製した。
素子基板12として、このバリアフィルム16を用い、また、このバリアフィルム16によって有機EL素子14を封止した以外は、実施例1と同様にして図1に示される有機EL装置10を作製した。
なお、実施例1と同様にバリアフィルム16の表面粗さRaを測定したところ、表面粗さRaは0.47nmであった。すなわち、本例において、素子基板12の表面粗さRaは0.47nmである。
また、実施例1と同様に、素子基板12と、素子基板12に最も近い有機層26との距離を測定したところ、41nmであった。
[Example 2]
In the production of the barrier film, the organic layer 26 is similarly formed on the inorganic layer 28, and the inorganic layer 28 is similarly formed on the organic layer 26, thereby combining the organic layer 26 and the inorganic layer. A barrier film 16 as shown in FIG.
The organic EL device 10 shown in FIG. 1 was produced in the same manner as in Example 1 except that this barrier film 16 was used as the element substrate 12 and the organic EL element 14 was sealed with the barrier film 16.
In addition, when the surface roughness Ra of the barrier film 16 was measured similarly to Example 1, the surface roughness Ra was 0.47 nm. That is, in this example, the surface roughness Ra of the element substrate 12 is 0.47 nm.
Further, similarly to Example 1, the distance between the element substrate 12 and the organic layer 26 closest to the element substrate 12 was measured and found to be 41 nm.

[実施例3]
バリアフィルム16の端部の全周を覆って、バリアフィルム16の端部と素子基板12とに跨がる端部シール32を形成した以外は、実施例2と同様にして、図2に示される有機EL装置30を作製した。
端部シール32は、バリアフィルム16の端部に沿ってエポキシ系接着剤(ナガセケムテックス社製、XNR5516Z)を塗布し、素子面をアルミホイルで保護して、積算照射量が6000mJ/cm2となるように波長356nmの紫外線を照射して硬化させることで形成した。
[Example 3]
FIG. 2 shows the same as in Example 2 except that the end seal 32 covering the entire circumference of the end portion of the barrier film 16 and straddling the end portion of the barrier film 16 and the element substrate 12 was formed. An organic EL device 30 was manufactured.
The end seal 32 is coated with an epoxy-based adhesive (manufactured by Nagase ChemteX, XNR5516Z) along the end of the barrier film 16 to protect the element surface with aluminum foil, and the integrated irradiation amount is 6000 mJ / cm 2. It was formed by irradiating and curing ultraviolet rays having a wavelength of 356 nm.

[比較例1]
有機層26を有さない以外は、実施例1と同様のバリアフィルムを作製した。すなわち、このバリアフィルムは、支持体24の上に、無機層28を一層のみ有する。なお、実施例1と同様にバリアフィルム16の表面粗さRaを測定したところ、表面粗さRaは5.3nmであった。すなわち、本例において、素子基板12の表面粗さRaは5.3nmである。
このバリアフィルムを用いた以外は、実施例1と同様に有機EL装置を作製した。
[Comparative Example 1]
A barrier film similar to that of Example 1 was produced except that the organic layer 26 was not provided. That is, this barrier film has only one inorganic layer 28 on the support 24. In addition, when the surface roughness Ra of the barrier film 16 was measured similarly to Example 1, the surface roughness Ra was 5.3 nm. That is, in this example, the surface roughness Ra of the element substrate 12 is 5.3 nm.
An organic EL device was produced in the same manner as in Example 1 except that this barrier film was used.

[比較例2]
素子基板12とバリアフィルムとの接合をエポキシ系接着剤(ナガセケムテックス社製、XNR5516Z)で行った以外は、実施例1と同様に有機EL装置を作製した。接合は、接合部18に沿って接着剤を塗布した後、素子基板12とバリアフィルムとを積層して、積算照射量が6000mJ/cm2となるように波長356nmの紫外線を照射して、接着剤を硬化させることで行った。
実施例1と同様に、素子基板12と、素子基板12に最も近い有機層26との距離を測定したところ、510nmであった。
[Comparative Example 2]
An organic EL device was produced in the same manner as in Example 1 except that the element substrate 12 and the barrier film were bonded with an epoxy adhesive (manufactured by Nagase ChemteX Corporation, XNR5516Z). Bonding is performed by applying an adhesive along the bonding portion 18, laminating the element substrate 12 and the barrier film, and irradiating with ultraviolet rays having a wavelength of 356 nm so that the integrated irradiation amount becomes 6000 mJ / cm 2. This was done by curing the agent.
Similarly to Example 1, when the distance between the element substrate 12 and the organic layer 26 closest to the element substrate 12 was measured, it was 510 nm.

[性能評価]
<接合強度>
素子基板12の全面に第1反応層を形成し、バリアフィルムの全面に第2反応層を形成し、素子を作製せずに貼り合わせた。その後、80℃のオーブンに2時間静置し、反応を促進した。これを引張試験機(島津製作所製、オートグラフAG−Xplus)にセットし180°方向の剥離強度を測定した。
なお、実施例3は、以下のように接合強度を測定した。すなわち、素子基板12の全面に第1反応層を形成した。他方、バリアフィルムは素子基板12に対して端部が2mm小さくなるように切り出し、全面に第2反応層を形成した。次いで、素子を形成せずに、素子基板とバリアフィルムとを貼り合わせ、その後、80℃のオーブンに2時間静置し、反応を促進した。さらに、バリアフィルムの端部3辺に沿ってエポキシ系接着剤を塗布し、積算照射量が6000mJ/cm2となるように波長356nmの紫外線を照射して硬化させること端部シールを形成した。これを端部シールをしていない1辺の側から剥離し、このときの剥離強度を測定した。
また、比較例2は、素子基板12の全面にエポキシ系接着剤を塗布し、素子基板12とバリアフィルムとを積層して、積算照射量が6000mJ/cm2となるように波長356nmの紫外線を照射して、接着剤を硬化させることで貼り合わせた。
[Performance evaluation]
<Joint strength>
A first reaction layer was formed on the entire surface of the element substrate 12, a second reaction layer was formed on the entire surface of the barrier film, and the devices were bonded together without manufacturing the device. Then, it left still for 2 hours in 80 degreeC oven, and accelerated | stimulated reaction. This was set in a tensile tester (manufactured by Shimadzu Corporation, Autograph AG-Xplus), and the peel strength in the 180 ° direction was measured.
In Example 3, the bonding strength was measured as follows. That is, the first reaction layer was formed on the entire surface of the element substrate 12. On the other hand, the barrier film was cut out so that the end portion was 2 mm smaller than the element substrate 12, and a second reaction layer was formed on the entire surface. Next, without forming an element, the element substrate and the barrier film were bonded together, and then left in an oven at 80 ° C. for 2 hours to promote the reaction. Further, an epoxy adhesive was applied along the three edge portions of the barrier film, and an edge seal was formed by irradiating and curing ultraviolet rays having a wavelength of 356 nm so that the integrated irradiation amount was 6000 mJ / cm 2 . This was peeled off from one side where the end seal was not performed, and the peel strength at this time was measured.
In Comparative Example 2, an epoxy adhesive is applied to the entire surface of the element substrate 12, the element substrate 12 and the barrier film are laminated, and ultraviolet rays having a wavelength of 356 nm are applied so that the integrated irradiation amount is 6000 mJ / cm 2. It bonded together by irradiating and hardening an adhesive agent.

<素子耐久性>
作製した有機EL装置を、60℃、相対湿度90%の環境に100時間放置した。
放置後の有機ELデバイスを、Keithley社製のSMU2400型ソースメジャーユニットを用いて7Vの電圧を印加して発光させて、顕微鏡を用いて発光面を観察して、発光面に対するダークスポットの総面積を評価した。
ダークスポットの総面積が10%未満のものを『A』、
ダークスポットの総面積が10〜50%のものを『B』、
ダークスポットの総面積が50%を超えるものを『C』、と評価した。
<Element durability>
The produced organic EL device was left in an environment of 60 ° C. and a relative humidity of 90% for 100 hours.
The organic EL device after being allowed to stand is made to emit light by applying a voltage of 7 V using a Keithley SMU2400 type source measure unit, and the light emitting surface is observed using a microscope, and the total area of dark spots with respect to the light emitting surface. Evaluated.
“A” when the total area of the dark spots is less than 10%
A dark spot with a total area of 10-50% "B"
A case where the total area of the dark spots exceeded 50% was evaluated as “C”.

<曲げ強度>
素子基板12の全面に第1反応層を形成し、バリアフィルムの全面に第2反応層を形成し、素子を作製せずに貼り合わせた。その後、80℃のオーブンに2時間静置し、反応を促進した。
実施例3は、接合強度と同様に、素子基板12の全面に第1反応層を形成し、バリアフィルムは素子基板12に対して端部が2mm小さくなるように切り出し、全面に第2反応層を形成し、素子を形成せずに、素子基板とバリアフィルムとを貼り合わせた。その後、80℃のオーブンに2時間静置し、反応を促進した。さらに、バリアフィルムの端部4辺に沿ってエポキシ系接着剤を塗布し、積算照射量が6000mJ/cm2となるように波長356nmの紫外線を照射して硬化させること端部シールを形成した。
また、比較例2は、素子基板12の全面にエポキシ系接着剤を塗布し、素子基板12とバリアフィルムとを積層して、積算照射量が6000mJ/cm2となるように波長356nmの紫外線を照射して、接着剤を硬化させることで貼り合わせた。
これをJIS−K5600−5−1に従ってマンドレル屈曲試験器によって屈曲強度を測定した。なお、結果は、剥離が起こる最大のマンドレル直径を示している。また、剥離は目視によって確認した。
以上の結果を、下記の表に示す。
<Bending strength>
A first reaction layer was formed on the entire surface of the element substrate 12, a second reaction layer was formed on the entire surface of the barrier film, and the devices were bonded together without manufacturing the device. Then, it left still for 2 hours in 80 degreeC oven, and accelerated | stimulated reaction.
In Example 3, similarly to the bonding strength, the first reaction layer is formed on the entire surface of the element substrate 12, and the barrier film is cut out so that the end portion is 2 mm smaller than the element substrate 12. The element substrate and the barrier film were bonded together without forming the element. Then, it left still for 2 hours in 80 degreeC oven, and accelerated | stimulated reaction. Furthermore, an epoxy adhesive was applied along the four edges of the barrier film, and an edge seal was formed by irradiating with an ultraviolet ray having a wavelength of 356 nm and curing so that the integrated dose was 6000 mJ / cm 2 .
In Comparative Example 2, an epoxy adhesive is applied to the entire surface of the element substrate 12, the element substrate 12 and the barrier film are laminated, and ultraviolet rays having a wavelength of 356 nm are applied so that the integrated irradiation amount is 6000 mJ / cm 2. It bonded together by irradiating and hardening an adhesive agent.
The bending strength was measured with a mandrel bending tester according to JIS-K5600-5-1. The results show the maximum mandrel diameter at which peeling occurs. Moreover, peeling was confirmed visually.
The above results are shown in the following table.

上記表に示されるように、本発明によれば、接合部18において、分子接合によって高い接着力で素子基板12とバリアフィルム16とを接着して、寿命が長く、かつ、可撓性にも優れる有機EL装置が得られる。
これに対し、有機層を有さないバリアフィルムを素子基板として用いた比較例1は、素子基板の表面粗さRaが高く、これに起因して、接合部の接着力が不十分であり、接合部18において素子基板12とバリアフィルム16との剥離等が生じ、十分な素子耐久性は得られない。
また、素子基板12とバリアフィルム16との接合をエポキシ系接着剤で行い、また、素子基板12と、素子基板12に最も近い有機層26との距離が長すぎる比較例2は、接合部から水分が侵入して有機EL素子14が劣化したと考えられ、十分な素子耐久性が得られなかった。また、通常の接着剤を用いる接着に比して、接着剤の厚さが薄いため、接合強度および曲げ強度も不十分であった。
以上の結果より、本発明の効果は明らかである。
As shown in the above table, according to the present invention, the element substrate 12 and the barrier film 16 are bonded to each other at a bonding portion 18 with a high bonding force by molecular bonding, and the lifetime is long and also flexible. An excellent organic EL device can be obtained.
On the other hand, Comparative Example 1 using a barrier film having no organic layer as the element substrate has a high surface roughness Ra of the element substrate, and due to this, the adhesive force of the joint is insufficient. Separation between the element substrate 12 and the barrier film 16 occurs at the joint 18 and sufficient element durability cannot be obtained.
Further, the element substrate 12 and the barrier film 16 are bonded with an epoxy adhesive, and the comparative example 2 in which the distance between the element substrate 12 and the organic layer 26 closest to the element substrate 12 is too long is It was thought that the organic EL element 14 was deteriorated due to moisture intrusion, and sufficient element durability was not obtained. In addition, since the thickness of the adhesive is smaller than that of bonding using a normal adhesive, bonding strength and bending strength are also insufficient.
From the above results, the effects of the present invention are clear.

有機ELディスプレイや有機EL照明に好適に利用可能である。   It can be suitably used for organic EL displays and organic EL lighting.

10,30 有機EL(有機エレクトロルミネッセンス)装置
12 素子基板
14 有機EL(有機エレクトロルミネッセンス)素子
16 (ガス)バリアフィルム
18 接合部
24 支持体
26 有機層
28 無機層
32 端部シール
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10,30 Organic EL (organic electroluminescence) apparatus 12 Element substrate 14 Organic EL (organic electroluminescence) element 16 (Gas) barrier film 18 Junction part 24 Support body 26 Organic layer 28 Inorganic layer 32 End seal

Claims (9)

素子基板と、前記素子基板に形成された有機エレクトロルミネッセンス素子と、前記有機エレクトロルミネッセンス素子を覆って前記素子基板に接合される、前記有機エレクトロルミネッセンス素子を封止するガスバリアフィルムとを有し、
前記ガスバリアフィルムは、支持体の上に、無機層と前記無機層の下地となる有機層との組み合わせを1組以上有する、表面が無機層のものであり、前記表面の無機層を前記素子基板に向けて接合され、
前記素子基板とガスバリアフィルムとの接合が、前記素子基板に設けられた第1反応層と、前記ガスバリアフィルムに設けられた前記第1反応層と結合する第2反応層との反応によって行われ、
前記素子基板とガスバリアフィルムとの接合部において、前記素子基板に最も近い前記有機層と素子基板との距離が100nm以下であることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス装置。
An element substrate, an organic electroluminescence element formed on the element substrate, and a gas barrier film that covers the organic electroluminescence element and is bonded to the element substrate to seal the organic electroluminescence element;
The gas barrier film has one or more combinations of an inorganic layer and an organic layer serving as a base of the inorganic layer on a support, the surface of the gas barrier film is an inorganic layer, and the surface of the inorganic layer is the element substrate. To be joined
Bonding between the element substrate and the gas barrier film is performed by a reaction between a first reaction layer provided on the element substrate and a second reaction layer bonded to the first reaction layer provided on the gas barrier film;
The organic electroluminescence device according to claim 1, wherein a distance between the organic layer closest to the element substrate and the element substrate is 100 nm or less at a joint portion between the element substrate and the gas barrier film.
前記支持体の前記有機層および無機層の形成面の表面粗さRaが30nm以下である請求項1に記載の有機エレクトロルミネッセンス装置。   The organic electroluminescence device according to claim 1, wherein the surface roughness Ra of the organic layer and inorganic layer forming surface of the support is 30 nm or less. 前記支持体の表面に形成される前記有機層の厚さが0.1μm以上である請求項1または2に記載の有機エレクトロルミネッセンス装置。   The organic electroluminescence device according to claim 1 or 2, wherein the organic layer formed on the surface of the support has a thickness of 0.1 µm or more. 前記ガスバリアフィルムの端部が接着剤で覆われる請求項1〜3のいずれか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス装置。   The organic electroluminescent device according to claim 1, wherein an end portion of the gas barrier film is covered with an adhesive. 前記素子基板の有機エレクトロルミネッセンス素子の形成面の表面粗さRaが5nm以下である請求項1〜4のいずれか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス装置。   The organic electroluminescence device according to claim 1, wherein the surface roughness Ra of the formation surface of the organic electroluminescence element of the element substrate is 5 nm or less. 前記接合部の幅が0.5〜5mmである請求項1〜5のいずれか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス装置。   The organic electroluminescence device according to any one of claims 1 to 5, wherein a width of the joint portion is 0.5 to 5 mm. 前記無機層の厚さが10〜45nmである請求項1〜6のいずれか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス装置。   The organic electroluminescence device according to claim 1, wherein the inorganic layer has a thickness of 10 to 45 nm. 前記素子基板が、支持体の上に、無機層と前記無機層の下地となる有機層との組み合わせを1組以上有する、表面が無機層のガスバリアフィルムであり、
前記表面の無機層に前記有機エレクトロルミネッセンス素子が形成される請求項1〜7のいずれか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス装置。
The element substrate has one or more combinations of an inorganic layer and an organic layer serving as a base of the inorganic layer on a support, and the surface is a gas barrier film having an inorganic layer,
The organic electroluminescence device according to any one of claims 1 to 7, wherein the organic electroluminescence element is formed on the inorganic layer on the surface.
前記第1反応層がシランカップリング剤を含有し、前記第2反応層が、前記第1反応層が含有するシランカップリング剤と反応するシランカップリング剤を含有し、
前記第1反応層のシランカップリング剤と第2反応層のシランカップリング剤との反応によって、前記素子基板とガスバリアフィルムとの接合が行われる請求項1〜8のいずれか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス装置。
The first reaction layer contains a silane coupling agent, the second reaction layer contains a silane coupling agent that reacts with the silane coupling agent contained in the first reaction layer,
The joining of the said element substrate and a gas barrier film is performed by reaction with the silane coupling agent of a said 1st reaction layer, and the silane coupling agent of a 2nd reaction layer of any one of Claims 1-8. Organic electroluminescence device.
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