JP2016150132A - プリント配線板 - Google Patents
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Abstract
【課題】指紋認識の精度向上のために指紋認証用の導体回路を有するプリント配線板を提供する。【解決手段】プリント配線板では、上側の保護膜70Fが、第1の保護膜70Fdと第2の保護膜70Fuで形成されている。第1の保護膜70Fdで指紋認証用の第1導体回路間のスペースが充填される。そのため、第2の保護膜70Fuの平坦度が高くなる。指紋認証の精度が高くなる。【選択図】図1
Description
本発明は、指紋認証用の導体回路を有するプリント配線板に関する。
特許文献1は、静電容量式指紋センサを開示している。特許文献1の図1に示されているように、特許文献1の静電容量式指紋センサは半導体チップとダイパッドとパッケージ部材とワイヤと接地電極とを有する。そして、特許文献1の半導体チップは、静電容量を検出するためのセルを有する。セルは電極を有し、その電極は保護膜で覆われている。保護膜の例は、数μmの厚みを有するSiNやSiO2である。
[特許文献1の課題]
特許文献1の静電容量式指紋センサが装置に組み込まれるとき、特許文献1の静電容量式指紋センサはプリント配線板に実装されると考えられる。その場合、静電容量式指紋センサ付きプリント配線板の厚みが厚くなると推察される。静電容量式指紋センサを実装するためのスペースが必要なので、プリント配線板のサイズが大きくなると推察される。
特許文献1の静電容量式指紋センサの保護膜は数μmの厚みを有するSiNやSiO2なので、クラック等で保護膜が短時間で劣化すると考えられる。
特許文献1の静電容量式指紋センサが装置に組み込まれるとき、特許文献1の静電容量式指紋センサはプリント配線板に実装されると考えられる。その場合、静電容量式指紋センサ付きプリント配線板の厚みが厚くなると推察される。静電容量式指紋センサを実装するためのスペースが必要なので、プリント配線板のサイズが大きくなると推察される。
特許文献1の静電容量式指紋センサの保護膜は数μmの厚みを有するSiNやSiO2なので、クラック等で保護膜が短時間で劣化すると考えられる。
本発明に係るプリント配線板は、第1面と前記第1面と反対側の第2面とを有する絶縁層と、前記絶縁層の前記第1面上に形成されている指紋認証用の第1導体回路を含む最上の導体層と、前記絶縁層の前記第1面と前記最上の導体層上に形成されている上側の保護膜と、前記第2面上に形成されている下側の保護膜とからなる。そして、前記上側の保護膜の上面と前記下側の保護膜の上面は外部に露出していて、前記上側の保護膜は第1の保護膜と前記第1の保護膜上に形成されている第2の保護膜とからなり、前記第1の保護膜は前記指紋認証用の第1導体回路間のスペースを充填し、前記第2の保護膜上に指が置かれる。
本発明の実施形態によれば、指紋を認証するための機能を有するプリント配線板や応用例のサイズが小さくなる。
本発明の実施形態によれば、指紋を認証するための機能を有するプリント配線板や応用例の厚みが薄くなる。
本発明の実施形態によれば、高い精度で指紋を認証することができる。
本発明の実施形態によれば、指紋を認証するための機能を有するプリント配線板や応用例の厚みが薄くなる。
本発明の実施形態によれば、高い精度で指紋を認証することができる。
本発明の実施形態に係るプリント配線板10の断面が図1(A)に示されている。
実施形態のプリント配線板10は、指紋認証用の第1導体回路58FLを有するプリント配線板である。指紋認証用の第1導体回路58FLを有するプリント配線板10は、第1面Zと第1面Zと反対側の第2面Wを有する絶縁層(上側の樹脂絶縁層)50Fと絶縁層50Fの第1面Z上に形成されている最上の導体層58Fと最上の導体層58Fと絶縁層50Fの第1面Z上に形成されている上側の保護膜(上側のソルダーレジスト層)70Fと絶縁層50Fの第2面W上に形成されている下側の保護膜(下側のソルダーレジスト層)70Sとを有する。
指紋認証用の第1導体回路58FLは最上の導体層58Fに含まれる。
図1(A)に示されるように、上側の保護膜70Fの上面FFと下側の保護膜70Sの上面SSは外部に露出している。上側の保護膜70Fの上面FFはプリント配線板の最上面であり、下側の保護膜70Sの上面70SSはプリント配線板の最下面である。図1(A)では、上側の保護膜70Fは、絶縁層50Fと最上の導体層58Fを覆っている。図1(A)では、下側の保護膜70Sと絶縁層50Fの第2面Wとの間に絶縁基板20z、絶縁層50Sや導体層34F、34S、58Sが形成されている。
図1(A)では、上側の保護膜70Fは絶縁層50Fの第1面Z上に形成されている第1の保護膜70Fdと第1の保護膜70Fd上に形成されている第2の保護膜70Fuで形成されている。そして、第1の保護膜70Fdは隣接する指紋認証用の第1導体回路58FL間のスペース58FLSを充填している。図2(B)に示されるように、隣接する指紋認証用の第1導体回路58FL間のスペース58FLSは第1の保護膜70Fdで完全に充填されることが好ましい。第1の保護膜70Fdの上面と指紋認証用の第1導体回路58FLの上面が一致する。もしくは、第1の保護膜70Fdはスペース58FLSを充填し、さらに、絶縁層50Fと導体層58F上に形成される。第2の保護膜70Fuがスペース58FLS内に形成されないので、上側の保護膜70Fの平坦度が高くなる。指紋を認証する精度が高くなる。
第2の保護膜70Fu上に指が置かれる。
実施形態のプリント配線板10は、指紋認証用の第1導体回路58FLを有するプリント配線板である。指紋認証用の第1導体回路58FLを有するプリント配線板10は、第1面Zと第1面Zと反対側の第2面Wを有する絶縁層(上側の樹脂絶縁層)50Fと絶縁層50Fの第1面Z上に形成されている最上の導体層58Fと最上の導体層58Fと絶縁層50Fの第1面Z上に形成されている上側の保護膜(上側のソルダーレジスト層)70Fと絶縁層50Fの第2面W上に形成されている下側の保護膜(下側のソルダーレジスト層)70Sとを有する。
指紋認証用の第1導体回路58FLは最上の導体層58Fに含まれる。
図1(A)に示されるように、上側の保護膜70Fの上面FFと下側の保護膜70Sの上面SSは外部に露出している。上側の保護膜70Fの上面FFはプリント配線板の最上面であり、下側の保護膜70Sの上面70SSはプリント配線板の最下面である。図1(A)では、上側の保護膜70Fは、絶縁層50Fと最上の導体層58Fを覆っている。図1(A)では、下側の保護膜70Sと絶縁層50Fの第2面Wとの間に絶縁基板20z、絶縁層50Sや導体層34F、34S、58Sが形成されている。
図1(A)では、上側の保護膜70Fは絶縁層50Fの第1面Z上に形成されている第1の保護膜70Fdと第1の保護膜70Fd上に形成されている第2の保護膜70Fuで形成されている。そして、第1の保護膜70Fdは隣接する指紋認証用の第1導体回路58FL間のスペース58FLSを充填している。図2(B)に示されるように、隣接する指紋認証用の第1導体回路58FL間のスペース58FLSは第1の保護膜70Fdで完全に充填されることが好ましい。第1の保護膜70Fdの上面と指紋認証用の第1導体回路58FLの上面が一致する。もしくは、第1の保護膜70Fdはスペース58FLSを充填し、さらに、絶縁層50Fと導体層58F上に形成される。第2の保護膜70Fuがスペース58FLS内に形成されないので、上側の保護膜70Fの平坦度が高くなる。指紋を認証する精度が高くなる。
第2の保護膜70Fu上に指が置かれる。
プリント配線板10は、さらに、図1(A)に示されるコア基板30や下側の絶縁層50Sや最下の導体層58Sを有しても良い。
コア基板30は第1面Fと第1面Fと反対側の第2面Sとを有する絶縁基板20zと絶縁基板の第1面F上に形成されている第1導体層34Fと絶縁基板の第2面上に形成されている第2導体層34Sを有する。コア基板は、さらに、絶縁基板20zに形成されているスルーホール導体用の貫通孔28をめっき膜で充填しているスルーホール導体36を有する。スルーホール導体36は第1導体層34Fと第2導体層34Sを接続している。スルーホール導体のランドはスルーホール導体上とスルーホール導体の周りに形成されているめっき膜などの導体で形成されている。プリント配線板10の最上面FFは、絶縁基板20zの第1面F上に位置し、プリント配線板10の最下面SSは第2面S上に位置する。
コア基板30は第1面Fと第1面Fと反対側の第2面Sとを有する絶縁基板20zと絶縁基板の第1面F上に形成されている第1導体層34Fと絶縁基板の第2面上に形成されている第2導体層34Sを有する。コア基板は、さらに、絶縁基板20zに形成されているスルーホール導体用の貫通孔28をめっき膜で充填しているスルーホール導体36を有する。スルーホール導体36は第1導体層34Fと第2導体層34Sを接続している。スルーホール導体のランドはスルーホール導体上とスルーホール導体の周りに形成されているめっき膜などの導体で形成されている。プリント配線板10の最上面FFは、絶縁基板20zの第1面F上に位置し、プリント配線板10の最下面SSは第2面S上に位置する。
プリント配線板10がコア基板を有する時、上側の樹脂絶縁層(絶縁層)50Fは絶縁基板20zの第1面Fと第1導体層34F上に形成される。導体層58Fと第1導体層34Fやスルーホール導体は、上側の樹脂絶縁層50Fを貫通するビア導体(上側のビア導体)60Fで接続されている。
プリント配線板10がコア基板を有する時、下側の樹脂絶縁層50Sは絶縁基板20zの第2面Sと第2導体層34S上に形成される。樹脂絶縁層50S上に最下の導体層58Sが形成されている。導体層58Sと第2導体層34Sやスルーホール導体は、下側の樹脂絶縁層50Sを貫通するビア導体(下側のビア導体)60Sで接続されている。
上側の保護膜70Fは、開口を有していない。上側の樹脂絶縁層50Fと最上の導体層58Fは上側の保護膜70Fで完全に被覆されている。上側の保護膜70Fの上面FFの最大高さ(Rmax)は4μm以下である。第2の保護膜70Fuの上面FFの最大高さ(Rmax)は4μm以下である。これにより、指紋の凹凸を高い精度で測定することができる。指紋の測定や指紋の認証は、例えば、静電容量を測定することで行われる。なお、指紋認証用の第1導体回路上に形成されている上側の保護膜の上面FFの最大高さ(Rmax)は4μm以下である。それ以外のエリアの上側の保護膜の上面FFの最大高さ(Rmax)は4μmを超えても良い。なお、最大高さ(Rmax)を測定する長さは1mmである。
指紋を認証するための第1例が以下に示される。
図3(B)は、絶縁層(上側の樹脂絶縁層)50Fの第1面Z上に形成されている指紋認証用の第1導体回路58FLの平面図を示す。図3(C)は、絶縁層(上側の樹脂絶縁層)50Fの第2面W上に形成されている指紋認証用の第2導体回路34FLの平面図を示す。尚、図3(B)と図3(C)は略図である。図3(B)に示されている第1導体回路58FLの数はプリント配線板10に形成されている第1導体回路58FLの数と異なる。図3(C)に示されている第2導体回路34FLの数はプリント配線板10に形成されている第2導体回路34FLの数と異なる。指紋認証用の第1導体回路58FLと指紋認証用の第2導体回路34FLで絶縁層(上側の樹脂絶縁層)50Fは挟まれている。尚、図1(A)では、指紋認証用の第2導体回路34FLは第1導体層34Fに含まれる。図3(D)は、上面FFから指紋認証用の第1導体回路58FLと指紋認証用の第2導体回路34FLと絶縁層(上側の樹脂絶縁層)50Fを観察することで得られる図である。図3(D)では、X配線X1、X2、X3とY配線Y1、Y2、Y3が重ねられている。図3(D)の右にX軸とY軸が描かれている。図3(D)では、指紋認証用の第1導体回路58FLはX軸に平行に形成されている。指紋認証用の第1導体回路58FLはX配線と称される。指紋認証用の第2導体回路34FLはY軸に平行に形成されている。指紋認証用の第2導体回路34FLはY配線と称される。図3(D)では、指紋認証用の第1導体回路58FLと指紋認証用の第2導体回路34FLは直交している。両者が斜めに交わってもよい。各X配線の幅は略等しい。各Y配線の幅は略等しい。絶縁層50Fの厚みTはほぼ均一である。厚みTは図1(B)に示されていて、X配線とY配線との間の距離である。
図3(B)は、絶縁層(上側の樹脂絶縁層)50Fの第1面Z上に形成されている指紋認証用の第1導体回路58FLの平面図を示す。図3(C)は、絶縁層(上側の樹脂絶縁層)50Fの第2面W上に形成されている指紋認証用の第2導体回路34FLの平面図を示す。尚、図3(B)と図3(C)は略図である。図3(B)に示されている第1導体回路58FLの数はプリント配線板10に形成されている第1導体回路58FLの数と異なる。図3(C)に示されている第2導体回路34FLの数はプリント配線板10に形成されている第2導体回路34FLの数と異なる。指紋認証用の第1導体回路58FLと指紋認証用の第2導体回路34FLで絶縁層(上側の樹脂絶縁層)50Fは挟まれている。尚、図1(A)では、指紋認証用の第2導体回路34FLは第1導体層34Fに含まれる。図3(D)は、上面FFから指紋認証用の第1導体回路58FLと指紋認証用の第2導体回路34FLと絶縁層(上側の樹脂絶縁層)50Fを観察することで得られる図である。図3(D)では、X配線X1、X2、X3とY配線Y1、Y2、Y3が重ねられている。図3(D)の右にX軸とY軸が描かれている。図3(D)では、指紋認証用の第1導体回路58FLはX軸に平行に形成されている。指紋認証用の第1導体回路58FLはX配線と称される。指紋認証用の第2導体回路34FLはY軸に平行に形成されている。指紋認証用の第2導体回路34FLはY配線と称される。図3(D)では、指紋認証用の第1導体回路58FLと指紋認証用の第2導体回路34FLは直交している。両者が斜めに交わってもよい。各X配線の幅は略等しい。各Y配線の幅は略等しい。絶縁層50Fの厚みTはほぼ均一である。厚みTは図1(B)に示されていて、X配線とY配線との間の距離である。
図3(B)、(C)、(D)では、X配線とY配線の数は3本である。図3(D)中、左のX配線はX1配線であり、真ん中のX配線はX2配線であり、右のX配線はX3配線である。図3(D)中、上のY配線はY1配線であり、真ん中のY配線はY2配線であり、下のY配線はY3配線である。
図1(A)や図3(D)に示されるように、X配線とY配線は複数の箇所で向かい合っている。向かい合っている部分は交点と称される。交点では、X配線とY配線の間に絶縁層(上側の樹脂絶縁層)50Fが存在する。絶縁層50Fは誘電体なので、X配線とY配線との間に電圧が掛けられると、交点はコンデンサの機能を有する。従って、交点に電荷が蓄えられる。
例えば、X1配線とY1配線間に電圧が掛けられると、図3(D)に示されている交点XY11に電荷が蓄えられる。例えば、X3配線とY3配線間に電圧が掛けられると、図3(D)に示されている交点XY33に電荷が蓄えられる。
例えば、各Y配線(Y1配線、Y2配線、Y3配線)がグランドに繋げられ、各X配線(X1配線、X2配線、X3配線)が所定の正の電位に繋げられる。各交点に形成されるコンデンサの静電容量は略等しい。各交点に略等しい電荷が蓄えられる。
図1(A)や図3(D)に示されるように、X配線とY配線は複数の箇所で向かい合っている。向かい合っている部分は交点と称される。交点では、X配線とY配線の間に絶縁層(上側の樹脂絶縁層)50Fが存在する。絶縁層50Fは誘電体なので、X配線とY配線との間に電圧が掛けられると、交点はコンデンサの機能を有する。従って、交点に電荷が蓄えられる。
例えば、X1配線とY1配線間に電圧が掛けられると、図3(D)に示されている交点XY11に電荷が蓄えられる。例えば、X3配線とY3配線間に電圧が掛けられると、図3(D)に示されている交点XY33に電荷が蓄えられる。
例えば、各Y配線(Y1配線、Y2配線、Y3配線)がグランドに繋げられ、各X配線(X1配線、X2配線、X3配線)が所定の正の電位に繋げられる。各交点に形成されるコンデンサの静電容量は略等しい。各交点に略等しい電荷が蓄えられる。
図1(B)に示されるように、指紋認証用の第1導体回路58FL上に位置する上側のソルダーレジスト層70F上に指YBが置かれる。図1(B)では、Y1配線が含まれるように、プリント配線板10が切断されている。図1(B)に、Y1配線と絶縁層50FとX1配線とX2配線とX3配線と上側のソルダーレジスト層70Fと指YBが描かれている。図1(B)の各X配線X1、X2、X3の下に交点XY11,XY21、XY31が示されている。指紋は凹凸を有するので、指紋の凸部分YB1、YB3は上側の保護膜(上側のソルダーレジスト層)70Fに接し、指紋の凹部分YB2は上側のソルダーレジスト層70Fに接していない。図3(D)に示される交点XY11と交点XY31上に位置する上側のソルダーレジスト層に指は触れている。それに対し、図3(D)に示される交点XY21上に位置する上側のソルダーレジスト層に指は触れていない。そして、例えば、指と指紋認証用の第2導体回路34FLはグランドに繋げられる。Y1配線はグランドに繋げられる。指紋認証用の第1導体回路58FLは所定のプラス電位に繋げられる。X1配線とX2配線とX3配線は所定のプラス電位に繋がっている。従って、交点XY11上で指YBとX1配線でコンデンサC1が形成され、X1配線とY1配線でコンデンサC2が形成される。コンデンサC1の電極は指と第1導体回路58FLであり、コンデンサC1の誘電体は上側の保護膜70Fである。コンデンサC2の電極は第1導体回路58FLと第2導体回路34FLであり、コンデンサC2の誘電体は絶縁層50Fである。この時、コンデンサC1とコンデンサC2は、図1(C)に示されるように、並列で繋げられる。そのため、交点XY11上の静電容量c11はコンデンサC1の静電容量c111とコンデンサC2の静電容量c112の和である。同様に、交点XY21上の静電容量c21はコンデンサC1の静電容量c211とコンデンサC2の静電容量c212の和である。同様に、交点XY31上の静電容量c31はコンデンサC1の静電容量c311とコンデンサC2の静電容量c312の和である。これらは、図1(D)に描かれている。この時、交点XY21上の上側の保護膜70Fに指が触れていない。そのため、静電容量c211の値はゼロに近い。それに対し、交点XY11上の上側の保護膜70Fに指は触れている。そのため、静電容量c111は所定の値を有する。交点XY31上の上側の保護膜70Fに指は触れている。そのため、静電容量c311は所定の値を有する。そして、前述の通り、静電容量c112と静電容量c212と静電容量c312は略等しい。従って、静電容量c11と静電容量c31の値は静電容量c21の値より大きい。例えば、静電容量c11と静電容量c21との間に閾値Ctが存在するとする。そして、閾値Ctより大きな静電容量を有する交点は1と判断され、閾値Ctより小さな静電容量を有する交点は0と判断される。各交点で、1か0の判定が行われる。判定が1であると、その交点上に位置する指紋は凸部分である。判定が0であると、その交点上に位置する指紋は凹部分である。従って、1の交点を結ぶことで、指紋の凸部分の形状を形成することができる。0の交点を結ぶことで、指紋の凹部分の形状を形成することができる。第1例によれば、指紋の認識が可能である。指紋の全体象が測定される。
指紋の凸部分が確実に上側の保護膜70Fと接し、指紋の凹部分が確実に上側の保護膜70Fから離れると、指紋の認証の精度が高い。精度を高くするため、実施形態のプリント配線板では、上側の保護膜70Fは、指紋認証用の第1導体回路間のスペース58FLSを充填している第1の保護膜70Fdを含む。そのため、第2の保護膜でスペース58FLSを充填することと指紋認証用の第1導体回路58FL上に膜を形成することは同時に行われない。平坦な面上に第2の保護膜70Fuを形成することができる。そのため、実施形態によれば、第2の保護膜Fuの上面FFの平坦度が高くなる。上側の保護膜70Fの上面FFの平坦度が高くなる。
指紋認証用の第2導体回路34FLの幅W2は、指紋認証用の第1導体回路の幅W1より大きい。第2導体回路34FL間のスペースが小さくなるので、第2導体回路34FL上の絶縁層50Fの上面の平坦度が高くなる。そのため、上側の保護膜の上面FFの平坦度が高くなる。第2導体回路34FLの幅W2と第1導体回路58FLの幅W1との比(幅W2/幅W1)は、1.2以上、2以下である。
指の接触の有無でコンデンサC1の静電容量が変化する。そのため、コンデンサC1の静電容量が大きく、コンデンサC2の静電容量が小さいと、0と1の判断の精度が高くなる。指紋の認証の精度が高くなる。コンデンサC1の静電容量を大きくするために、上側の保護膜の誘電率は高いことが好ましい。
指紋認証用の第1導体回路58FLと指の間でコンデンサC1が形成されるので、上側の保護膜の内、第2の保護膜70Fuの誘電率が高いことが好ましい。第2の保護膜70Fuの誘電率は、5以上である。第2の保護膜70Fuの誘電率は8以下である。誘電率が大きいと、保護膜内の無機粒子の量が多くなる。上面FFの平坦度が低くなりやすい。
コンデンサC2の静電容量を小さくするため、絶縁層50Fの誘電率は低いことが好ましい。絶縁層50Fの誘電率は2以上、4.8以下である。絶縁層の誘電率は上側の保護膜70Fの誘電率より低い。絶縁層50Fの誘電率は第1の保護膜70Fdの誘電率より低い。絶縁層50Fの誘電率は第2の保護膜70Fuの誘電率より低い。
第2の保護膜の誘電率を絶縁層の誘電率で割ることで得られる値は、2以上であって5以下である。
指紋認証用の第1導体回路58FLと指の間でコンデンサC1が形成されるので、上側の保護膜の内、第2の保護膜70Fuの誘電率が高いことが好ましい。第2の保護膜70Fuの誘電率は、5以上である。第2の保護膜70Fuの誘電率は8以下である。誘電率が大きいと、保護膜内の無機粒子の量が多くなる。上面FFの平坦度が低くなりやすい。
コンデンサC2の静電容量を小さくするため、絶縁層50Fの誘電率は低いことが好ましい。絶縁層50Fの誘電率は2以上、4.8以下である。絶縁層の誘電率は上側の保護膜70Fの誘電率より低い。絶縁層50Fの誘電率は第1の保護膜70Fdの誘電率より低い。絶縁層50Fの誘電率は第2の保護膜70Fuの誘電率より低い。
第2の保護膜の誘電率を絶縁層の誘電率で割ることで得られる値は、2以上であって5以下である。
第1の保護膜は隣接するX配線58FL間のスペース58FLSを充填する。そのため、第1の保護膜では、粘度や絶縁抵抗が優先される。また、隣接するX配線58FLと隣接するX配線58FLで挟まれる第1の保護膜70FdでコンデンサCRが形成される。第1の保護膜の誘電率が小さいと、コンデンサCRの容量が小さくなる。そのため、ノイズが防止される。指紋の認識の精度が向上する。それに対し、第2の保護膜では、誘電率が優先される。実施形態では、上側の保護膜が2つの層で形成されているので、上側の保護膜は複数の特性を容易に持つことができる。例えば、第1の保護膜70Fdの絶縁抵抗R1は第2の保護膜70Fuの絶縁抵抗R2より高い。例えば、第2の保護膜70Fuの誘電率ε2は第1の保護膜70Fdの誘電率ε1より高い。誘電率ε2と誘電率ε1との比(ε2/ε1)は2以上であって5以下である。例えば、誘電率ε2は2.5以上、4.8以下である。
絶縁層や保護膜が粒子と樹脂とからなり、粒子の種類や粒子の量で保護膜70Fd、70Fuや絶縁層50Fの誘電率が調整される場合、第2の保護膜に含まれる粒子の量は第1の保護膜に含まれる粒子の量より多い。高い誘電率と高い絶縁抵抗を有する上側の保護膜を形成することができる。
第2の保護膜に含まれる粒子の比誘電率εr2は第1の保護膜に含まれる粒子の比誘電率εr1より高い。第2の保護膜の粒子の比誘電率εr2と第1の保護膜の粒子の比誘電率εr1の比(εr2/εr1)は10以上である。比(εr2/εr1)は2000以下である。例えば、第1の保護膜はシリカからなる粒子を有する。例えば、第2の保護膜に含まれる粒子はチタン酸バリウムである。例えば、比誘電率εr2は5以上、1500以下であり、比誘電率εr1は2以上、4.8以下である。
絶縁層や保護膜が粒子と樹脂とからなり、粒子の種類や粒子の量で保護膜70Fd、70Fuや絶縁層50Fの誘電率が調整される場合、第2の保護膜に含まれる粒子の量は第1の保護膜に含まれる粒子の量より多い。高い誘電率と高い絶縁抵抗を有する上側の保護膜を形成することができる。
第2の保護膜に含まれる粒子の比誘電率εr2は第1の保護膜に含まれる粒子の比誘電率εr1より高い。第2の保護膜の粒子の比誘電率εr2と第1の保護膜の粒子の比誘電率εr1の比(εr2/εr1)は10以上である。比(εr2/εr1)は2000以下である。例えば、第1の保護膜はシリカからなる粒子を有する。例えば、第2の保護膜に含まれる粒子はチタン酸バリウムである。例えば、比誘電率εr2は5以上、1500以下であり、比誘電率εr1は2以上、4.8以下である。
下側の保護膜(下側のソルダーレジスト層)70Sは第1の保護膜70Fdと同時に形成されることが好ましい。下側の保護膜を形成する樹脂の主成分と第1の保護膜を形成する樹脂の主成分は同じであることが好ましい。下側の保護膜に含まれる粒子の種類と第1の保護膜に含まれる粒子の種類は同じであることが好ましい。下側の保護膜の材質と第1の保護膜の材質は同じであることが好ましい。第2の保護膜70Fdに含まれる無機粒子の比誘電率を下側の保護膜に含まれる無機粒子の比誘電率で割ることで得られる値は10以上であって2000以下である。
例えば、下側の保護膜の誘電率と第1の保護膜の誘電率はほぼ同じである。例えば、下側の保護膜の誘電率は第2の保護膜の誘電率より低い。例えば、下側の保護膜に含まれる粒子の比誘電率と第1の保護膜に含まれる粒子の比誘電率はほぼ等しい。
例えば、下側の保護膜の絶縁抵抗の値と第1の保護膜の絶縁抵抗の値はほぼ同じである。例えば、下側の保護膜の絶縁抵抗の値は第2の保護膜の絶縁抵抗の値より高い。
例えば、下側の保護膜の誘電率と第1の保護膜の誘電率はほぼ同じである。例えば、下側の保護膜の誘電率は第2の保護膜の誘電率より低い。例えば、下側の保護膜に含まれる粒子の比誘電率と第1の保護膜に含まれる粒子の比誘電率はほぼ等しい。
例えば、下側の保護膜の絶縁抵抗の値と第1の保護膜の絶縁抵抗の値はほぼ同じである。例えば、下側の保護膜の絶縁抵抗の値は第2の保護膜の絶縁抵抗の値より高い。
最下の導体層58Sは、別の基板や電子部品に接続するためのパッド73Sを有する。そして、下側の保護膜70Sはパッド73Sを露出する開口71Sを有する。パッド73S上に半田バンプ76Sを形成することが出来る。半田バンプを介してプリント配線板に電子部品が搭載される。応用例が完成する。電子部品の例は指紋認証用の半導体素子である。
上の保護膜70F上に指が置かれる。そのため、図1(A)に示されるように、上側の保護膜70Fは最上の導体層58Fを露出する開口を有していないことが好ましい。
[指紋を認証するための第2例]
第2例の指紋認証用の第1導体回路58FLと指紋認証用の第2導体回路34FLは第1例と同様である。
第2例の第1導体回路58FLの平面図が図3(B)に示される。図3(B)中のy1とy1の間の断面が図1(A)に描かれている。
第2導体回路34FLの平面図が図3(C)に示される。図3(C)中のy2とy2との間の断面が図1(A)に描かれている。第2例では、第1導体回路58FLに電圧が印加される。第1導体回路58FLは、第1導体回路58FLと指との間の静電容量に対応する電荷を蓄えるための導体回路として用いられる。第2導体回路34FLが、第1導体回路58FLに蓄えられている電荷を電圧として検出するための導体回路として用いられる。
第2例の指紋認証用の第1導体回路58FLと指紋認証用の第2導体回路34FLは第1例と同様である。
第2例の第1導体回路58FLの平面図が図3(B)に示される。図3(B)中のy1とy1の間の断面が図1(A)に描かれている。
第2導体回路34FLの平面図が図3(C)に示される。図3(C)中のy2とy2との間の断面が図1(A)に描かれている。第2例では、第1導体回路58FLに電圧が印加される。第1導体回路58FLは、第1導体回路58FLと指との間の静電容量に対応する電荷を蓄えるための導体回路として用いられる。第2導体回路34FLが、第1導体回路58FLに蓄えられている電荷を電圧として検出するための導体回路として用いられる。
図3(D)では、X配線(X1、X2、X3)とY配線(Y1、Y2、Y3)が重ねられている。例えば、X1配線と図示しないアース間にパルス状の電圧が印加される。X1配線と指と両者間の誘電体でコンデンサが形成される。図3(A)に示されるように測定用のY1配線とX1配線との交点XY11上に指(電極)とX1配線(電極)と指とX1配線間の上側の保護膜(誘電体)でコンデンサXY11Cが形成される。交点XY12上に指(電極)とX1配線(電極)と指とX1配線間の上側の保護膜と空気からなる誘電体でコンデンサXY12Cが形成される。交点XY13上に指(電極)とX1配線(電極)と指とX1配線間の上側の保護膜(誘電体)でコンデンサXY13Cが形成される。そして、各コンデンサXY11C、XY12C、XY13Cの静電容量が測定される。コンデンサXY11Cは静電容量C凸を有する。そして、静電容量C凸に応じて、交点XY11上のX1配線に電荷が蓄えられる。交点XY11上のX1配線に蓄えられている電荷に対応する電圧が絶縁層50Fを介して容量結合しているY1配線で検出される。同様な方法で、交点XY12上のX1配線に蓄えられている電荷に対応する電圧が絶縁層50Fを介して容量結合しているY2配線で検出される。尚、コンデンサXY12Cの静電容量は静電容量C凹である。交点XY13上のX1配線に蓄えられている電荷に対応する電圧が絶縁層50Fを介して容量結合しているY3配線で検出される。尚、コンデンサXY13の静電容量は静電容量C凸である。各交点上のX1配線に蓄えられている電荷に対応する電圧の測定が完了すると、X1配線上の電荷を放電するために、X1配線がアースに接続される。その後、同様な測定により、各交点上のX配線に蓄えられている電荷に対応する電圧が各Y配線で検出される。
図3(A)は、第1導体回路58FLと指との間に形成されるコンデンサXY11C、XY12C、XY13Cの静電容量を示す模式図である。コンデンサの静電容量はC=ε(s/d)で表される。εは誘電体の誘電率εであり、sは電極の面積sであり、dは電極間の距離dである。従って、静電容量Cは距離dによって変化する。指はコンデンサの電極を形成していて、指紋の凸部分での距離dは指紋の凹部分での距離dより小さい。指紋の凹凸によりコンデンサXY11C、XY12C、XY13Cの静電容量は異なる。また、コンデンサの電極に蓄えられる電荷Qは、Q=CVで表される。ここで、Vは電圧である。電圧VはX配線と指との間の電圧である。電圧VはX配線を介して印加され、一定の値を持つ。従って、各交点上のコンデンサXY11C、XY12C、XY13Cに蓄えられる電荷Qは、各交点上のコンデンサXY11C、XY12C、XY13Cの静電容量Cに依存する。つまり、プリント配線板の第1導体回路58FL(X配線)と指との間に形成されるコンデンサに蓄えられる電荷が、指紋の凹凸によって異なる。第2例では、その差を検出することで指紋認識が行われる。指紋の凸部での距離dは指紋の凹部での距離dより小さい。従って、交点XY11,XY13上のコンデンサXY11C、XY13Cの静電容量C凸は、交点XY12上のコンデンサXY12Cの静電容量C凹より大きい。そのため、誘電体を介して指紋の凸部分と対向しているX配線に蓄えられる電荷は、誘電体を介して指紋の凹部分と対向しているX配線に蓄えられる電荷より大きい。指紋の凹凸に依存する電荷に対応する電圧がX配線と容量結合しているY配線で検出される。従って、第2例によれば、指紋の凹凸を測定することができる。指紋の凹凸が認識される。指紋の全体象が測定される。
第1導体回路(X配線)58FLと指との間に形成されている誘電体は上側の保護膜70Fであるので、上側の保護膜70Fの誘電率を上げることで、静電容量C凸と静電容量C凹との差を大きくすることができる。第2例の上側の保護膜と第1例の上側の保護膜は同様である。第2例の下側の保護膜と第1例の下側の保護膜は同様である。これにより、指紋認証の認識性を改善することができる。
[実施形態のプリント配線板の製造方法]
実施形態のプリント配線板10の製造方法が図2に示される。
第1面Fと第1面Fと反対側の第2面Sとを有する絶縁基板20zと絶縁基板20zの第1面上の第1導体層34Fと絶縁基板20zの第2面上の第2導体層34Sと第1導体層34Fと第2導体層34Sを接続するスルーホール導体36とを有するコア基板30が準備される。なお、第1導体層はY配線を含む。例えば、コア基板30は、US7786390に開示されている方法で製造される。US7786390の内容は本明細書に取り込まれる。
絶縁基板の第1面Fと第1導体層上に絶縁層(上側の樹脂絶縁層)50Fが形成される。絶縁層50Fは第1面Zと第1面Zと反対側の第2面Wを有する。絶縁層50Fの第2面Wと絶縁基板20zの第1面Fが対向している。
絶縁基板の第2面Sと第2導体層上に下側の樹脂絶縁層50Sが形成される。
上側の樹脂絶縁層に第1導体層に到るビア導体60F用の開口61Fが形成される。セミアディティブ法で、絶縁層50の第1面Z上に最上の導体層58Fが形成される。なお、導体層58FはX配線を含む。同時に、開口61Fに、第1導体層と最上の導体層を接続するビア導体60Fが形成される。
下側の樹脂絶縁層に第2導体層に到るビア導体60S用の開口61Sが形成される。セミアディティブ法で、下側の樹脂絶縁層50S上に最下の導体層58Sが形成される。同時に、開口61Sに、第2導体層と最下の導体層を接続するビア導体60Sが形成される。
図2(A)に示される途中基板100が形成される。
実施形態のプリント配線板10の製造方法が図2に示される。
第1面Fと第1面Fと反対側の第2面Sとを有する絶縁基板20zと絶縁基板20zの第1面上の第1導体層34Fと絶縁基板20zの第2面上の第2導体層34Sと第1導体層34Fと第2導体層34Sを接続するスルーホール導体36とを有するコア基板30が準備される。なお、第1導体層はY配線を含む。例えば、コア基板30は、US7786390に開示されている方法で製造される。US7786390の内容は本明細書に取り込まれる。
絶縁基板の第1面Fと第1導体層上に絶縁層(上側の樹脂絶縁層)50Fが形成される。絶縁層50Fは第1面Zと第1面Zと反対側の第2面Wを有する。絶縁層50Fの第2面Wと絶縁基板20zの第1面Fが対向している。
絶縁基板の第2面Sと第2導体層上に下側の樹脂絶縁層50Sが形成される。
上側の樹脂絶縁層に第1導体層に到るビア導体60F用の開口61Fが形成される。セミアディティブ法で、絶縁層50の第1面Z上に最上の導体層58Fが形成される。なお、導体層58FはX配線を含む。同時に、開口61Fに、第1導体層と最上の導体層を接続するビア導体60Fが形成される。
下側の樹脂絶縁層に第2導体層に到るビア導体60S用の開口61Sが形成される。セミアディティブ法で、下側の樹脂絶縁層50S上に最下の導体層58Sが形成される。同時に、開口61Sに、第2導体層と最下の導体層を接続するビア導体60Sが形成される。
図2(A)に示される途中基板100が形成される。
エポキシ樹脂と第1の粒子とを含む第1の樹脂組成物が準備される。第1の粒子は有機粒子や無機粒子である。保護膜の熱膨張係数を小さくするため、無機粒子が好ましい。第1の粒子の比誘電率は4以下であることが好ましい。第1の粒子の例は、溶融シリカからなる無機粒子である。
第1の樹脂組成物から第1の保護膜70Fdと下側の保護膜70Sが形成される(図2(B))。図2(B)では、第1の保護膜70Fdは最上の導体層58Fから露出する絶縁層50Fと最上の導体層58F上に形成されている。第1の保護膜70Fdの上面と最上の導体層58Fの上面が同じ平面上に位置しても良い。その場合、第1の保護膜70Fdはスペース58FLSのみを充填している。下側の保護膜70Sは最下の導体層58Sから露出する下側の樹脂絶縁層50Sと最下の導体層58S上に形成されている。
第1の保護膜70Fdと下側の保護膜70Sは同じ材料で形成されている。第1の保護膜70Fdの厚みbが図2(B)に示されている。図2(B)に示されるように、厚みbは最上の導体層58Fの上面と第1の保護膜70Fdの上面FFとの間の距離である。隣接する第1導体回路58FL間の絶縁抵抗を確保するため、厚みbは0より大きい。ノイズが減少する。上側の保護膜70Fの上面FFの平坦度を高くするため、厚みbは5μm以上、10μm以下であることが望ましい。
下側の保護膜70Sの厚みcが図2(B)に示されている。図2(B)に示されるように、厚みcは最下の導体層58Sの上面と下側の保護膜70Sの上面SSとの間の距離である。厚みcは15μm以上、25μm以下である。下側の保護膜70Sが剥がれない。
第1の樹脂組成物から第1の保護膜70Fdと下側の保護膜70Sが形成される(図2(B))。図2(B)では、第1の保護膜70Fdは最上の導体層58Fから露出する絶縁層50Fと最上の導体層58F上に形成されている。第1の保護膜70Fdの上面と最上の導体層58Fの上面が同じ平面上に位置しても良い。その場合、第1の保護膜70Fdはスペース58FLSのみを充填している。下側の保護膜70Sは最下の導体層58Sから露出する下側の樹脂絶縁層50Sと最下の導体層58S上に形成されている。
第1の保護膜70Fdと下側の保護膜70Sは同じ材料で形成されている。第1の保護膜70Fdの厚みbが図2(B)に示されている。図2(B)に示されるように、厚みbは最上の導体層58Fの上面と第1の保護膜70Fdの上面FFとの間の距離である。隣接する第1導体回路58FL間の絶縁抵抗を確保するため、厚みbは0より大きい。ノイズが減少する。上側の保護膜70Fの上面FFの平坦度を高くするため、厚みbは5μm以上、10μm以下であることが望ましい。
下側の保護膜70Sの厚みcが図2(B)に示されている。図2(B)に示されるように、厚みcは最下の導体層58Sの上面と下側の保護膜70Sの上面SSとの間の距離である。厚みcは15μm以上、25μm以下である。下側の保護膜70Sが剥がれない。
エポキシ樹脂と第2の粒子とを含む第2の樹脂組成物が準備される。第2の粒子は有機粒子や無機粒子である。保護膜の熱膨張係数を小さくするため、無機粒子が好ましい。第2の粒子の比誘電率は10を超えることが好ましい。第2の粒子の比誘電率が50を超えると、指紋の認識精度が高くなる。第2の粒子の例は、酸化チタンからなる無機粒子である。
第1の保護膜70Fdと最上の導体層58F上に、第2の樹脂組成物から第2の保護膜70Fuが形成される(図3(C))。第2の保護膜の粒子の種類と第1の保護膜の粒子の種類は異なる。粒子以外、第2の保護膜の成分と第1の保護膜の成分は同じである。両者の樹脂の種類は同じである。第2の保護膜70Fuと第1の保護膜70Fdとの密着性が高くなる。
図2(C)に第2の保護膜70Fuの厚みaが示されている。図に示されるように、厚みaは第1の保護膜70Fdの上面と第2の保護膜70Fuの上面との間の距離である。上側の保護膜70Fの平坦度を高くするため、厚みaは15〜20μmであることが望ましい。
図2(C)に示されるように、厚みaと厚みbの合計が上側の保護膜70Fの厚みDである。厚みDは最上の導体層58Fの上面と上側の保護膜70Fの上面との間の距離である。上側の保護膜70Fの平坦度を高くするため、厚みDと厚みcとの差は5μm以下であることが好ましい。
第1の保護膜70Fdと最上の導体層58F上に、第2の樹脂組成物から第2の保護膜70Fuが形成される(図3(C))。第2の保護膜の粒子の種類と第1の保護膜の粒子の種類は異なる。粒子以外、第2の保護膜の成分と第1の保護膜の成分は同じである。両者の樹脂の種類は同じである。第2の保護膜70Fuと第1の保護膜70Fdとの密着性が高くなる。
図2(C)に第2の保護膜70Fuの厚みaが示されている。図に示されるように、厚みaは第1の保護膜70Fdの上面と第2の保護膜70Fuの上面との間の距離である。上側の保護膜70Fの平坦度を高くするため、厚みaは15〜20μmであることが望ましい。
図2(C)に示されるように、厚みaと厚みbの合計が上側の保護膜70Fの厚みDである。厚みDは最上の導体層58Fの上面と上側の保護膜70Fの上面との間の距離である。上側の保護膜70Fの平坦度を高くするため、厚みDと厚みcとの差は5μm以下であることが好ましい。
下側の保護膜70Sにレーザで開口71Sが形成される(図3(C))。開口71Sから露出する導体層58Sやビア導体60Sの上面はパッド73Sとして機能する。尚、下側の保護膜70Sの形成後、開口71Sが形成され、その後、第2の保護膜70Fuが形成されても良い。
上側の保護膜70Fに開口は形成されない。上側の保護膜70Fで最上の導体層58Fから露出する絶縁層50Fと最上の導体層58Fは覆われている。
上側の保護膜70Fに開口は形成されない。上側の保護膜70Fで最上の導体層58Fから露出する絶縁層50Fと最上の導体層58Fは覆われている。
パッド73S上に保護膜74が形成される(図1(A))。保護膜74でパッド73Sの酸化が防止される。保護膜74の例は、Ni/Auである。プリント配線板10が完成する(図1(A))。
厚みbは、厚みcより薄いことが好ましい。厚みbは、厚みaより薄いことが好ましい。厚みaは厚みcより薄いことが好ましい。厚みbは2μm以上であって、5μm以下であることが好ましい。厚みaを薄くすることができる。指と第1の導体回路58FL間の静電容量が大きくなる。指紋認証の精度が高くなる。
上側の保護膜70Fの物性と下側の保護膜70Sの保護膜の物性が異なる。もしくは、上側の保護膜70Fの厚みと下側の保護膜70Sの厚みが異なる。物性や厚みの差の影響を小さくするため、厚みDと厚みcの比(c/D)が0.7より大きく1.2未満であることが好ましい。
第1例と第2例、実施形態では、指は第2の保護膜Fu上に置かれている。指は上側の保護膜70F上に置かれている。指は第2の保護膜Fuに接している。指は上側の保護膜70Fに接している。第2の保護膜Fuや上側の保護膜70Fを保護するため、第2の保護膜Fu上に保護シートが積層されても良い。上側の保護膜70F上に保護シートが積層されても良い。その場合、保護シート上に指が置かれる。保護シートに指が接する。プリント配線板10が保護シートを有しても、第1例と同様な方法で指紋の認証が行われる。第2例と同様な方法で指紋の認証が行われる。
上側の保護膜70Fは開口を有しないので、実施形態のプリント配線板の上側の保護膜70Fは熱硬化性樹脂で形成されている。上面FFの平坦度が高くなる。下側の保護膜は開口を備えるので、実施形態の下側の保護膜70Sは光硬化性樹脂で形成されている。
30 コア基板
34F 第1導体層
50F 上側の樹脂絶縁層
58F 最上の導体層
70F 上側の保護膜
70Fd 第1の保護膜
70Fu 第2の保護膜
70S 下側の保護膜
34F 第1導体層
50F 上側の樹脂絶縁層
58F 最上の導体層
70F 上側の保護膜
70Fd 第1の保護膜
70Fu 第2の保護膜
70S 下側の保護膜
Claims (10)
- 第1面と前記第1面と反対側の第2面とを有する絶縁層と、
前記絶縁層の前記第1面上に形成されている指紋認証用の第1導体回路を含む最上の導体層と、
前記絶縁層の前記第1面と前記最上の導体層上に形成されている上側の保護膜と、
前記第2面上に形成されている下側の保護膜とからなるプリント配線板であって、
前記上側の保護膜の上面と前記下側の保護膜の上面は外部に露出していて、前記上側の保護膜は第1の保護膜と前記第1の保護膜上に形成されている第2の保護膜とからなり、前記第1の保護膜は前記指紋認証用の第1導体回路間のスペースを充填し、前記第2の保護膜上に指が置かれる。 - 請求項1のプリント配線板であって、前記上側の保護膜は開口を有しておらず、前記下側の保護膜は開口を有している。
- 請求項1のプリント配線板であって、前記第2の保護膜の誘電率は前記下側の保護膜の誘電率より高い。
- 請求項3のプリント配線板であって、前記第2の保護膜の誘電率は5以上であって、前記下側の保護膜の誘電率は4.8以下である。
- 請求項3のプリント配線板であって、前記第1の保護膜の材質と前記下側の保護膜の材質は同じである。
- 請求項3のプリント配線板であって、前記第2の保護膜と前記下側の保護膜は無機粒子を有し、前記第2の保護膜の無機粒子の比誘電率は前記下側の保護膜の無機粒子の比誘電率の10倍以上である。
- 請求項1のプリント配線板であって、前記上側の保護膜の前記上面の最大高さ(Rmax)は4μm以下である。
- 請求項1のプリント配線板であって、前記第1の保護膜の絶縁抵抗は前記第2の保護膜の絶縁抵抗より高い。
- 請求項1のプリント配線板であって、前記第2の保護膜の厚み(a)は前記第1の保護膜(b)の厚みより厚く、前記第1の保護膜の厚みは前記下側の保護膜(c)の厚みより薄い。
- 請求項9のプリント配線板であって、前記第2の保護膜の厚み(a)と前記第1の保護膜(b)と前記下側の保護膜(c)は、下の関係式(1)を満足する。
関係式(1):0.7<c/(a+b)<1.2
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015029406A JP2016150132A (ja) | 2015-02-18 | 2015-02-18 | プリント配線板 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015029406A JP2016150132A (ja) | 2015-02-18 | 2015-02-18 | プリント配線板 |
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Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016150132A true JP2016150132A (ja) | 2016-08-22 |
Family
ID=56695777
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015029406A Pending JP2016150132A (ja) | 2015-02-18 | 2015-02-18 | プリント配線板 |
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---|---|
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-
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