JP2016149599A - Vibrator, oscillator, real-time clock, electronic apparatus, and mobile body - Google Patents
Vibrator, oscillator, real-time clock, electronic apparatus, and mobile body Download PDFInfo
- Publication number
- JP2016149599A JP2016149599A JP2015024319A JP2015024319A JP2016149599A JP 2016149599 A JP2016149599 A JP 2016149599A JP 2015024319 A JP2015024319 A JP 2015024319A JP 2015024319 A JP2015024319 A JP 2015024319A JP 2016149599 A JP2016149599 A JP 2016149599A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vibrator
- base
- arm
- vibrating
- impact
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
Description
本発明は、振動子、発振器、リアルタイムクロック、電子機器、および移動体に関する。 The present invention relates to a vibrator, an oscillator, a real-time clock, an electronic device, and a moving object.
HDD(ハード・ディスク・ドライブ)、モバイルコンピューター、あるいはICカード等の小型の情報機器や、携帯電話、自動車電話、またはページングシステム等の移動体通信機器等において、振動子や発振器等の電子デバイスが広く使用されている。近年、電子機器の小型化・薄型化に伴い、振動子のより一層の小型化・薄型化が図られている。このような振動子の小型化・薄型化に伴い、耐衝撃性が問題となっている。 Electronic devices such as vibrators and oscillators are used in small information devices such as HDDs (hard disk drives), mobile computers, and IC cards, and mobile communication devices such as mobile phones, car phones, and paging systems. Widely used. In recent years, along with the downsizing and thinning of electronic devices, the vibrators have been further downsized and thinned. As such vibrators become smaller and thinner, impact resistance has become a problem.
例えば、小型化・薄型化された振動子では、外部からの衝撃により振動腕が厚さ方向に変形したときに、振動腕がパッケージベースに接触して振動腕に大きな衝撃が加わるおそれがある。 For example, in a vibrator that has been reduced in size and thickness, when the vibrating arm is deformed in the thickness direction due to an external impact, the vibrating arm may come into contact with the package base and a large impact may be applied to the vibrating arm.
この問題を解決するために、例えば、特許文献1に記載の振動子では、ベース部分の実装面が振動腕の自由端部に隣接する部分に形成された凹部を有し、振動腕が実装面に向けて振れたときに振動腕の中間部がその全幅において平面で凹部の角部に接触する。そのため、落下等の衝撃で振動腕が上下に大きく振れた場合に、振動腕を凹部の角部に接触させてその衝撃を振動腕の全幅に分散させて受けることができ、衝撃を緩和させることができる。
In order to solve this problem, for example, in the vibrator described in
また、例えば、特許文献2に記載の振動子では、パッケージの底面の振動腕の先端と対向する領域に凹部が形成されており、凹部はダンパーで埋められている。そのため、落下等の衝撃により振動腕が変形しても、振動腕がダンパーと当接してダンパーに振動腕の運動エネルギーを吸収させることができる。その結果、振動腕が大きく変形することを抑制することができる。 For example, in the vibrator described in Patent Document 2, a recess is formed in a region of the bottom surface of the package facing the tip of the vibrating arm, and the recess is filled with a damper. Therefore, even if the vibrating arm is deformed by an impact such as dropping, the vibrating arm can come into contact with the damper and the damper can absorb the kinetic energy of the vibrating arm. As a result, the vibration arm can be prevented from being greatly deformed.
また、例えば、特許文献3に記載の振動子では、振動腕の先端側と対向するベースに樹脂をコアとしたバンプ(緩衝部)が設けられており、落下等により衝撃が加わった場合でも、バンプ(緩衝部)が衝撃を吸収する。 Further, for example, in the vibrator described in Patent Document 3, a bump (buffer part) having a resin core is provided on the base facing the tip side of the vibrating arm, and even when an impact is applied by dropping or the like, Bumps (buffer parts) absorb the impact.
また、例えば、特許文献4に記載の振動子では、振動腕の両側に配置されている保持腕の取付け部(マウント部)が振動腕の重心よりも振動腕の先端側に配置されている。そのため、落下による衝撃が加わった際に振動片の基部側が優先的に変位して、振動腕側がパッケージに衝突することを防ぐことができる。 Further, for example, in the vibrator described in Patent Document 4, the mounting portions (mounting portions) of the holding arms arranged on both sides of the vibrating arm are arranged on the distal end side of the vibrating arm with respect to the center of gravity of the vibrating arm. For this reason, it is possible to prevent the vibration arm base from colliding with the package by preferentially displacing the base side of the vibration piece when an impact due to dropping is applied.
また、例えば、特許文献5に記載の振動子では、振動腕の両側に配置されている固定用腕が振動片の重心の近傍の位置で基体と接合されているため、接合箇所が振動片の重心の近傍に位置することになり、振動腕の曲げモーメントを接合箇所の両側で分散することができる。その結果、外部からの衝撃が加わった際に、振動腕の先端の変位量を小さくすることができ、パッケージの内側へ衝突することを有効に防止できる。 Further, for example, in the vibrator described in Patent Document 5, since the fixing arms arranged on both sides of the vibrating arm are bonded to the base body at a position near the center of gravity of the vibrating piece, the bonding portion is the vibrating piece. It will be located in the vicinity of the center of gravity, and the bending moment of the vibrating arm can be distributed on both sides of the joint. As a result, when an external impact is applied, the amount of displacement of the tip of the vibrating arm can be reduced, and collision with the inside of the package can be effectively prevented.
しかしながら、上述した振動子では、振動腕に加わる衝撃を十分に低減できない場合があり、振動腕に加わる衝撃をより低減させることができる振動子が望まれている。 However, the vibrator described above may not be able to sufficiently reduce the impact applied to the vibrating arm, and a vibrator that can further reduce the impact applied to the vibrating arm is desired.
本発明のいくつかの態様に係る目的の1つは、外部からの衝撃により振動腕が厚さ方向に変形したときに、振動腕に加わる衝撃を低減させることができる振動子を提供することにある。また、本発明のいくつかの態様に係る目的の1つは、上記振動子を含む発振器、リアルタイムクロック、電子機器、および移動体を提供することにある。 One of the objects according to some aspects of the present invention is to provide a vibrator that can reduce the impact applied to the vibrating arm when the vibrating arm is deformed in the thickness direction by an external impact. is there. Another object of some aspects of the present invention is to provide an oscillator, a real-time clock, an electronic device, and a moving body including the vibrator.
本発明は前述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の態様または適用例として実現することができる。 SUMMARY An advantage of some aspects of the invention is to solve at least a part of the problems described above, and the invention can be implemented as the following aspects or application examples.
[適用例1]
本適用例に係る振動子は、
ベースと、
前記ベースに取り付けられている取付け部を含む基部と、
前記基部から延出している振動腕と、
前記基部から延出している衝撃緩衝腕と、
を含み、
前記ベースの主面の前記衝撃緩衝腕と対向している領域、および前記衝撃振動腕の前記ベースの主面と対向している領域の少なくとも一方には、凸部が設けられている。
[Application Example 1]
The vibrator according to this application example is
Base and
A base including a mounting portion attached to the base;
A vibrating arm extending from the base;
An impact buffer arm extending from the base;
Including
Protrusions are provided in at least one of a region of the main surface of the base that faces the shock buffer arm and a region of the shock vibration arm that faces the main surface of the base.
このような振動子では、ベースの主面の衝撃緩衝腕と対向している領域および衝撃振動腕のベースの主面と対向している領域の少なくとも一方には、凸部が設けられているため、外部からの衝撃により振動腕が厚さ方向に変形したときに、振動腕がベースの主面に接触するよりも先に、衝撃緩衝腕により衝撃を吸収することができる。したがって、このような振動子では、外部からの衝撃により振動腕が厚さ方向に変形したときに、衝撃緩衝腕によって衝撃を吸収することができ、振動腕に加わる衝撃を低減させることができる。 In such a vibrator, a convex portion is provided in at least one of the region facing the shock absorbing arm on the main surface of the base and the region facing the main surface of the base of the shock vibrating arm. When the vibrating arm is deformed in the thickness direction by an impact from the outside, the shock can be absorbed by the shock absorbing arm before the vibrating arm contacts the main surface of the base. Therefore, in such a vibrator, when the vibrating arm is deformed in the thickness direction by an external shock, the shock can be absorbed by the shock absorbing arm, and the shock applied to the vibrating arm can be reduced.
[適用例2]
本適用例に係る振動子において、
前記凸部の材質は、前記ベースの材質と同じであってもよい。
[Application Example 2]
In the vibrator according to this application example,
The material of the convex part may be the same as the material of the base.
このような振動子では、例えば、凸部をベースと一体に形成することができる。 In such a vibrator, for example, the convex portion can be formed integrally with the base.
[適用例3]
本適用例に係る振動子において、
前記凸部の表面は、前記ベースおよび前記衝撃緩衝腕の少なくとも一方よりも柔らかくてもよい。
[Application Example 3]
In the vibrator according to this application example,
The surface of the convex part may be softer than at least one of the base and the shock absorbing arm.
このような振動子では、凸部の表面がベースおよび衝撃緩衝腕の少なくとも一方よりも柔らかいため、衝撃緩衝腕によって衝撃をより吸収することができ、振動腕に加わる衝撃をより低減させることができる。 In such a vibrator, since the surface of the convex portion is softer than at least one of the base and the shock absorbing arm, the shock can be absorbed more by the shock absorbing arm, and the shock applied to the vibrating arm can be further reduced. .
[適用例4]
本適用例に係る振動子において、
前記ベースとともに、前記基部、前記振動腕、および前記衝撃緩衝腕を収容する空間を形成している蓋を含んでいてもよい。
[Application Example 4]
In the vibrator according to this application example,
The base may include a lid that forms a space for accommodating the base, the vibrating arm, and the shock absorbing arm.
このような振動子では、基部、振動腕、および衝撃緩衝腕を保護することができる。 In such a vibrator, the base, the vibrating arm, and the shock absorbing arm can be protected.
[適用例5]
本適用例に係る発振器は、
上記のいずれかの振動子と、
前記振動子と電気的に接続されている発振回路と、
を備えている。
[Application Example 5]
The oscillator according to this application example is
One of the above vibrators,
An oscillation circuit electrically connected to the vibrator;
It has.
このような発振器では、上記のいずれかの振動子を備えているため、耐衝撃性を向上させることができる。 Since such an oscillator includes any one of the vibrators described above, the impact resistance can be improved.
[適用例6]
本適用例に係るリアルタイムクロックは、
上記のいずれかの振動子と、
前記振動子と電気的に接続されている発振回路と、
前記発振回路から出力される信号に基づいて、日時データを生成する計時回路と、
を備えている。
[Application Example 6]
The real-time clock according to this application example is
One of the above vibrators,
An oscillation circuit electrically connected to the vibrator;
Based on a signal output from the oscillation circuit, a clock circuit that generates date and time data,
It has.
このようなリアルタイムクロックでは、上記のいずれかの振動子を備えているため、耐衝撃性を向上させることができる。 Since such a real-time clock includes any one of the vibrators described above, impact resistance can be improved.
[適用例7]
本適用例に係る電子機器は、
上記のいずれかの振動子を備えている。
[Application Example 7]
The electronic device according to this application example is
One of the above vibrators is provided.
このような電子機器では、上記のいずれかの振動子を備えているため、耐衝撃性を向上させることができる。 Since such an electronic device includes any one of the vibrators described above, impact resistance can be improved.
[適用例8]
本適用例に係る移動体は、
上記のいずれかの振動子を備えている。
[Application Example 8]
The mobile object according to this application example is
One of the above vibrators is provided.
このような移動体では、上記のいずれかの振動子を備えているため、耐衝撃性を向上させることができる。 Since such a moving body includes any one of the vibrators described above, impact resistance can be improved.
以下、本発明の好適な実施形態について図面を用いて詳細に説明する。なお、以下に説明する実施形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではない。また、以下で説明される構成の全てが本発明の必須構成要件であるとは限らない。 DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The embodiments described below do not unduly limit the contents of the present invention described in the claims. In addition, not all of the configurations described below are essential constituent requirements of the present invention.
1. 第1実施形態
1.1. 振動子
まず、第1実施形態に係る振動子について図面を参照しながら説明する。図1は、第1実施形態に係る振動子100を模式的に示す平面図である。図2は、第1実施形態に係る振動子100を模式的に示す図1のII−II線断面図である。図3は、第1実施形態に係る振動子100を模式的に示す図1のIII−III線断面図である。図1〜図3および以下に示す図5〜図20には、互いに直交する軸としてX軸、Y軸、およびZ軸を図示している。
1. 1. First embodiment 1.1. First, the vibrator according to the first embodiment will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a plan view schematically showing the
振動子100は、図1および図2に示すように、振動片110と、ベース122およびリッド(蓋)124を有するパッケージ(容器)120と、を含む。なお、図1では、便宜上、リッド124の図示を省略している。
As shown in FIGS. 1 and 2, the
(1)振動片
振動片110は、基部10と、振動腕20a,20bと、衝撃緩衝腕30と、を有している。
(1) Vibrating piece The vibrating
基部10は、略平板状の形状を有している。基部10は、本体部12と、連結部14と、基端部16と、を有している。本体部12は、基部10の−Y軸方向側に位置している。連結部14は、本体部12と基端部16とを接続している。連結部14のX軸方向の長さは、本体部12および基端部16のX軸方向の長さよりも小さい。これにより、振動腕20a,20bの振動エネルギーが、取付け部を介して外部に漏洩する、所謂振動漏れを低減させることができる。
The
基端部16は、基部10の+Y軸方向側に位置している。基端部16は、取付け部(マウント部)18を有している。取付け部18は、接合部材130a,130bによりベー
ス122に取り付けられている。取付け部18は、平面視で(Z軸方向からみて)、基部10の、接合部材130a,130bと振動片110との接触部分と重なる部分である。具体的には、図示の例では、取付け部18は、基部10の、電極パッド40a,40bが設けられている部分である。図示の例では、取付け部18は2つ設けられており、一方は基端部16の+X軸方向側の端部に設けられており、他方は基端部16の−X軸方向側の端部に設けられている。なお、取付け部18の数は特に限定されず、1つであってもよいし、3つ以上であってもよい。
The
振動腕20a,20bは、互いに並んで、基部10の本体部12から−Y軸方向に延出している。図示の例では、衝撃緩衝腕30の+X軸方向側に第1振動腕20aが設けられ、衝撃緩衝腕30の−X軸方向側に第2振動腕20bが設けられている。振動腕20a,20bは、基部10の本体部12に接続された腕部22と、腕部22に接続された錘部24と、を有している。
The vibrating
振動腕20a,20bの腕部22の、Z軸と直交する主面(互いに表裏の関係にある主面)22a,22bには、有底の溝部23が設けられている。溝部23は、平面視で、Y軸に沿って延出している。図示の例では、溝部23の先端は、腕部22と錘部24との境に位置し、溝部23の基端は、基部10(本体部12)に位置している。このように振動腕20a,20bに溝部23が設けられることにより、屈曲振動によって発生する熱の経路が狭められるため、熱が拡散(熱伝導)することを抑制することができ、断熱的領域において熱弾性損失(屈曲振動する振動片の圧縮部と伸張部との間で発生する熱伝導により生じる振動エネルギーの損失)を低減させることができる。
A bottomed
腕部22は、図3に示すように、略H字状の断面形状を有している。溝部23と、振動腕20a,20bの側面22c,22d(内側面22c,外側面22d)と、の間の距離Wは、6μm以下であることが好ましい。さらに、溝部23の最大の深さをt、振動腕20a,20bの厚さ(Z軸に沿った長さ)をTとしたとき、2t/Tで表されるηが0.6以上であることが好ましい。これにより、振動片110の等価直列抵抗、CI(Crystal Impedance)値を小さくすることができ、低消費電力化を図ることができる。なお、溝部23のY軸に沿った長さは特に限定されず、溝部23は、錘部24にも設けられていてもよい。
As shown in FIG. 3, the
振動腕20a,20bの錘部24は、略平板状の形状を有している。図示の例では、錘部24の幅(X軸に沿った長さ)W1は、腕部22の幅W2よりも大きい。幅W2に対する幅W1の比(W1/W2)は、2以上10以下であり、好ましくは5以上7以下である。これにより、熱弾性損失を低減させつつ、錘部24が捻じれることによる振動漏れを低減させることができる。
The
なお、錘部24は、腕部22よりも単位長さあたりの質量が大きければ、その形状は特に限定されない。例えば、錘部24は、腕部22の幅と同じ大きさの幅を有しており、腕部22よりも厚い形状であってもよい。また、錘部24は、錘部24に該当する振動腕20a,20bの表面や、表面に凹部を形成してそこに金などの金属を設けることによって構成されていてもよい。さらに、錘部24は、腕部22よりも質量密度の高い物質から構成されていてもよい。すなわち、腕部22と錘部24における単位長さ(Y軸方向長さ)当たりの質量を夫々Ma、Mbとした場合、総ての腕部22、或いは総ての錘部24においてMa<Mbの関係を満たしていればよい。
The shape of the
振動腕20a,20bのそれぞれには、図示しない一対の励振電極が形成され、基部10(取付け部18)には、該励振電極と電気的に接続された一対の電極パッド40a,40bが形成されている。励振電極および電極パッド40a,40bは、例えば、クロム、
ニッケルを下地層とし、その上に金、銀が積層された金属膜である。
A pair of excitation electrodes (not shown) is formed on each of the vibrating
It is a metal film in which nickel is used as a base layer and gold and silver are laminated thereon.
衝撃緩衝腕30は、一対の振動腕20a,20bの間に配置されている。衝撃緩衝腕30は、基部10の本体部12から−Y軸方向に延出している。すなわち、衝撃緩衝腕30の延出方向は、振動腕20a,20bの延出方向と同じである。衝撃緩衝腕30のY軸に沿った長さ(延出方向の長さ)は、振動腕20a,20bのY軸に沿った長さ(延出方向の長さ)よりも小さい。衝撃緩衝腕30の先端は、平面視で、振動腕20a,20bの先端よりも基部10(本体部12側)側に位置している。
The
振動片110の基部10、振動腕20a,20b、および衝撃緩衝腕30(以下、「振動腕20a,20b等ともいう」)は、一体的に設けられている。具体的には、振動腕20a,20b等は、水晶の原石(ランバード)から所定の角度で切り出された(例えば、水晶のZ軸(光軸)を厚さ方向とするZ板を、X軸(電気軸)に関して0度から15度の範囲で回転させたものなど)1枚の水晶ウェハーに、フォトリソグラフィーやエッチングなどの技術を用いて形成される。
The
なお、振動腕20a,20b等は、水晶ウェハーに限定されず、例えば、窒化アルミニウム(AlN)や、ニオブ酸リチウム(LiNbO3)、タンタル酸リチウム(LiTaO3)、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)、四ホウ酸リチウム(Li2B4O7)、ランガサイト(La3Ga5SiO14)などの酸化物基板、ガラス基板上に窒化アルミニウムや五酸化タンタル(Ta2O5)などの圧電体材料を積層させて構成された積層圧電体基板、あるいは圧電セラミックス基板から形成されてもよい。また、シリコン半導体材料などを用いて、振動腕20a,20b等を形成してもよい。
The vibrating
次に、振動片110の動作について説明する。
Next, the operation of the
振動片110には、外部から電極パッド40a,40bを介して励振電極に印加される駆動信号(交番電圧)により電界が生じる。そして、水晶の逆圧電効果によって、振動腕20a,20bの根元部を支点として図1に示す矢印A方向(振動腕20a,20bが互いに離れる方向)と矢印B方向(振動腕20a,20bが互いに近づく方向)とに交互に撓むように変位する屈曲振動が発生する(X軸方向において逆相の屈曲振動モードで振動腕20a,20bが振動する)。
An electric field is generated in the
なお、振動片110の振動(駆動)方式は、圧電駆動に限定されない。例えば、振動片110は、圧電基板を用いた圧電駆動型のもの以外に、静電気力を用いた静電駆動型や、磁力を利用したローレンツ駆動型などの振動片であってもよい。
Note that the vibration (drive) method of the
(2)パッケージ
パッケージ120は、ベース122と、リッド124と、を有している。ベース122は、凹部121を有している。この凹部121の開口を塞ぐように板状のリッド124がベース122に接合されている。このようなパッケージ120は、凹部121がリッド124にて塞がれることにより形成された収納空間を有しており、該収納空間に、振動片110が気密に収納、設置されている。すなわち、パッケージ120には、振動片110が収容されている。これにより、振動片110を保護することができる。
(2) Package The
なお、振動片110が収容される収納空間(凹部121)内は、例えば、減圧状態となっていてもよいし、窒素、ヘリウム、アルゴン等の不活性ガスが封入されていてもよい。これにより、振動片110の振動特性が向上する。
In addition, the inside of the storage space (recess 121) in which the
ベース122の材質は、例えば、セラミックグリーンシートを成形して積層し焼成した
酸化アルミニウム質焼結体、ムライト質焼結体、窒化アルミニウム質焼結体、炭化珪素質焼結体、ガラスセラミックス焼結体などのセラミックス系の絶縁性材料、水晶、ガラス、シリコン(高抵抗シリコン)などである。リッド124の材質は、ベース122と同じ材料、または、コバール、42アロイなどの金属である。
The material of the
ベース122とリッド124の接合は、ベース122上にシールリング125を設け、シールリング125上にリッド124を載置して、例えば抵抗溶接機を用いて、ベース122にシールリング125を溶接することによって行われる。なお、ベース122とリッド124の接合は、特に限定されず、接着剤を用いて行われてもよいし、シーム溶接によって行われてもよい。
The
ベース122の主面123aには、振動片110の電極パッド40a,40bに対向する位置に、内部端子140a,140bが設けられている。図示の例では、ベース122の主面123aは、凹部121の内底面(内側の底面)であり、振動片110が搭載される搭載面である。振動片110の電極パッド40aは、接合部材130aを介して内部端子140aに接合され、電極パッド40bは、接合部材130bを介して内部端子140bに接合されている。
ベース122の主面123aと反対側の主面(外底面)123bには、電極端子142a,142bが設けられている。電極端子142aは、図示しない内部配線により内部端子140aと電気的に接続されている。また、電極端子142bは、図示しない内部配線により内部端子140bと電気的に接続されている。内部端子140a,140bおよび電極端子142a,142bは、例えば、タングステン、モリブデンなどのメタライズ層に、ニッケル、金などの被膜がめっきなどにより積層された金属被膜である。
なお、図示はしないが、パッケージ120は、平板状のベース122と、凹部を有するリッド124と、を有していてもよい。また、パッケージ120は、ベース122およびリッド124の両方に凹部が設けられていてもよい。
Although not illustrated, the
接合部材130a,130bは、ベース122に設けられた内部端子140a,140bと、振動片110の電極パッド40a,40bと、を電気的、機械的に接続している。接合部材130a,130bは、例えば、金属フィラーなどの導電性物質が混合された、エポキシ系、シリコーン系、ポリイミド系、アクリル系、ビスマレイミド系などの樹脂を含む導電性接着剤や、金、アルミニウム、半田バンプなどの金属バンプ、金属層や樹脂製のコア上に金属配線を形成した樹脂バンプである。接合部材130a,130bが樹脂バンプである場合、接合部材130a,130bは、例えば、スクリーン印刷技術によって形成される。スクリーン印刷技術は、位置精度に優れているので、振動腕20a,20bと接合部材130a,130bとが接触して、振動が減衰したり短絡したりすることを抑制することができる。
The joining
接合部材130a,130bと振動腕20a,20bとの間の距離は、例えば、5μm以上200μm以下であり、好ましくは20μm以上100μm以下である。当該距離が5μmより小さいと、振動腕に接合部材が付着してしまい、短絡や振動減衰の可能性がある。当該距離が200μmより大きいと、小型化を図ることが困難になる場合がある。
The distance between the joining
ベース122の主面123aには、凸部150が設けられている。凸部150は、ベース122の主面123aから+Z軸方向に突出している。凸部150は、ベース122の主面123aの衝撃緩衝腕30と対向する領域に設けられている。すなわち、平面視で、衝撃緩衝腕30と凸部150とは重なっている。図示の例では、凸部150は、衝撃緩衝腕30の先端側と対向する領域に設けられている。凸部150は、振動腕20a,20b
と対向する領域には設けられていない。すなわち、平面視で、凸部150と振動腕20a,20bとは重なっていない。
A
It is not provided in the area facing. That is, the
衝撃緩衝腕30と凸部150との間には、例えば、空隙がある。衝撃緩衝腕30と凸部150との間の距離は、振動腕20a,20bとベース122の主面123aとの間の距離よりも小さい。そのため、外部から振動腕20a,20bの厚み方向の衝撃が加わった場合に、図5に示すように、振動腕20a,20bが主面123aに接触するよりも先に、衝撃緩衝腕30を凸部150に接触させることができる。
For example, there is a gap between the
凸部150の高さ(Z軸方向の大きさ)や位置は、外部から振動腕20a,20bの厚み方向の衝撃が加わった場合に、振動腕20a,20bが主面123aに接触するよりも先に、衝撃緩衝腕30が凸部150に接触する高さや位置であれば特に限定されない。例えば、凸部150を、衝撃緩衝腕30の+Y軸方向の先端と対向する領域を避けて設けてもよい。これにより、凸部150に衝撃緩衝腕30が接触した場合に、衝撃緩衝腕30の先端を凸部150に衝突させないことができ、衝撃緩衝腕30が欠けるおそれを低減させることができる。
The height (size in the Z-axis direction) and position of the
凸部150の平面形状は、図示の例では、四角形である。なお、凸部150の平面形状は特に限定されず、円、楕円、多角形などであってもよい。また、凸部150のX軸に沿った長さ(幅)は、図1に示すように、衝撃緩衝腕30のX軸に沿った長さ(幅)よりも大きい。なお、図示はしないが、凸部150のX軸に沿った長さ(幅)は、衝撃緩衝腕30のX軸に沿った長さ(幅)以下であってもよい。
The planar shape of the
凸部150の材質は、例えば、ベース122の材質と同じである。図2に示す例では、凸部150は、ベース122と一体に構成されている。なお、凸部150の構成はこれに限定されない。以下に凸部150の変形例について、図面を参照しながら説明する。図4(A)〜図4(D)は、凸部150の変形例を説明するための断面図である。
The material of the
例えば、図4(A)に示すように、凸部150は、ベース122と一体に形成された第1部分150aと、第1部分150a上に設けられた第2部分150bと、で構成されていてもよい。第2部分150bは、例えば、ベース122および衝撃緩衝腕30よりも柔らかい。すなわち、第2部分150bのヤング率は、ベース122のヤング率、および衝撃緩衝腕30のヤング率よりも小さい。第2部分150bの材質は、エポキシ系、シリコーン系、ポリイミド系、アクリル系、ビスマレイミド系などの樹脂である。なお、第2部分150bの材質は、樹脂に限定されず、衝撃緩衝腕30およびベース122の少なくとも一方よりも柔らかい材質(すなわちヤング率が小さい材質)であれば特に限定されない。このような凸部150では、外部から振動腕20a,20bの厚み方向の衝撃が加わった場合に、衝撃緩衝腕30が接触する凸部150の表面をベース122および衝撃緩衝腕30よりも柔らかくすることができ、衝撃緩衝腕30が接触したときの衝撃を吸収(緩和)することができる。
For example, as shown in FIG. 4A, the
また、例えば、図4(B)に示すように、凸部150は、ベース122と一体に形成された第1部分150aと、第1部分150aを覆う第2部分150bと、で構成されていてもよい。
Further, for example, as shown in FIG. 4B, the
また、例えば、図4(C)に示すように、凸部150の材質は、ベース122の材質とは異なっていてもよい。すなわち、凸部150は、ベース122と一体に設けられなくてもよい。図示の例では、凸部150は、ベース122の主面123a上に形成された樹脂突起である。なお、凸部150の材質は、樹脂に限定されず、衝撃緩衝腕30およびベース122の少なくとも一方よりも柔らかい材質(すなわちヤング率が小さい材質)であれ
ば特に限定されない。図4(C)に示す凸部150の材質としては、例えば、上述した第2部分150bの材質として例示したものを用いることができる。
Further, for example, as shown in FIG. 4C, the material of the
また、例えば、図4(D)に示すように、凸部150の形状は、半球状(ドーム状)であってもよい。
For example, as shown in FIG. 4D, the shape of the
振動子100では、例えば、電子機器のICチップ内に集積化された発振回路から、電極端子142a,142bを介して印加される駆動信号によって、振動片110が屈曲振動を励振されて所定の周波数で共振(発振)し、電極端子142a,142bから共振信号(発振信号)を出力する。
In the
振動子100は、例えば、以下の特長を有する。
The
振動子100では、ベース122の主面123aの衝撃緩衝腕30と対向している領域には、凸部150が設けられている。そのため、外部からの衝撃により振動腕20a,20bが厚さ方向に変形したときに、振動腕20a,20bがベース122の主面123aに接触するよりも先に、衝撃緩衝腕30を凸部150に接触させることができる。このように、先に衝撃緩衝腕30が凸部150に接触することにより、衝撃緩衝腕30によって衝撃を吸収(緩和)することができ、例えば、振動腕20a,20bをベース122の主面123aに接触させないことができる。また、先に衝撃緩衝腕30が凸部150に接触することにより、例えば振動腕20a,20bがベース122の主面123aに接触した場合でも、振動腕20a,20bが主面123aに接触する際の衝撃を低減させることができる。このように振動子100では、衝撃緩衝腕30と対向している領域に凸部150が設けられることにより、外部からの衝撃により振動腕20a,20bが厚さ方向に変形したときに、衝撃緩衝腕30によって衝撃を吸収(緩和)することができ、振動腕20a,20bに加わる衝撃を低減させることができる。
In the
振動子100では、凸部150の材質は、ベース122の材質と同じである。そのため、例えば、凸部150をベース122と一体に形成することができる。したがって、例えば、製造工程を簡略化することができる。
In the
振動子100では、凸部150の表面は、ベース122および衝撃緩衝腕30の少なくとも一方よりも柔らかい。そのため、衝撃緩衝腕30が凸部150に接触したときの衝撃を吸収(緩和)させることができる。したがって、振動子100では、衝撃緩衝腕30によって衝撃をより吸収(緩和)することができ、振動腕20a,20bに加わる衝撃をより低減させることができる。
In the
なお、図示はしないが、衝撃緩衝腕30の凸部150と接触する領域にも、ベース122および衝撃緩衝腕30の少なくとも一方よりも柔らかい膜を形成してもよい。これにより、衝撃緩衝腕30が凸部150に接触したときの衝撃をより吸収(緩和)させることができる。
Although not shown, a softer film than at least one of the
振動子100では、衝撃緩衝腕30のY軸方向に沿った長さは、振動腕20a,20bのY軸に沿った長さよりも小さいため、例えば衝撃緩衝腕30のY軸方向に沿った長さが振動腕20a,20bのY軸に沿った長さよりも大きい場合と比べて、装置の小型化を図ることができる。
In the
1.2. 振動子の変形例
次に、第1実施形態に係る振動子の変形例について説明する。以下、第1実施形態の各変形例に係る振動子において、第1実施形態に係る振動子100の構成部材と同様の機能
を有する部材については同一の符号を伏し、その詳細な説明を省略する。
1.2. Next, a modification of the vibrator according to the first embodiment will be described. Hereinafter, in the vibrator according to each modification of the first embodiment, members having the same functions as those of the constituent members of the
(1)第1変形例
まず、第1実施形態の第1変形例に係る振動子について、図面を参照しながら説明する。図6は、第1実施形態の第1変形例に係る振動子200を模式的に示す平面図である。図7は、第1実施形態の第1変形例に係る振動子200を模式的に示す図6のVII−VII線断面図である。なお、図6では、便宜上、リッド124の図示を省略している。
(1) First Modification First, a vibrator according to a first modification of the first embodiment will be described with reference to the drawings. FIG. 6 is a plan view schematically showing the
上述した振動子100では、図1および図2に示すように、衝撃緩衝腕30のY軸に沿った長さは、振動腕20a,20bのY軸に沿った長さよりも小さかった。
In the
これに対して、振動子200では、図6および図7に示すように、衝撃緩衝腕30のY軸方向に沿った長さは、振動腕20a,20bのY軸に沿った長さよりも大きい。そのため、振動子200では、衝撃緩衝腕30のY軸に沿った長さが振動腕20a,20bのY軸に沿った長さよりも小さい場合と比べて、外部からの衝撃により振動腕20a,20bが厚さ方向に変形したときに、振動腕20a,20bがベース122の主面123aに接触するよりも先に、衝撃緩衝腕30をベース122の主面123aに接触させることができる。
On the other hand, in the
接合部材130a,130bの材料が、上述した樹脂のように、振動子200の振動腕20a,20b等に比べて十分に柔らかい(ヤング率の比が0.001以上0.07以下)場合、外部から衝撃が加わった際の初期的な応答では、振動腕20a,20b等は大きく変形せずに接合部材130a,130bのみが大きく変形するから、振動子200では、衝撃緩衝腕30のY軸方向に沿った長さは、振動腕20a,20bのY軸に沿った長さよりも大きいため、外部からの衝撃により振動腕20a,20bが厚さ方向に変形したときに、図8に示すように、振動腕20a,20bがベース122の主面123aに接触するよりも先に、衝撃緩衝腕30をベース122の主面123aに接触させることができる。その結果、振動子200では、外部からの衝撃により振動腕20a,20bが厚さ方向に変形したときに、衝撃緩衝腕30によって衝撃を吸収することができ、振動腕20a,20bに加わる衝撃を低減させることができる。ただし、上述した初期的な応答とは、振動子200に外部から、振動腕20a,20b等が−Z軸方向へ変位するように衝撃が加わってから、衝撃緩衝腕30が凸部150に最初に当たる迄の間を意味する。
When the material of the joining
なお、図示はしないが、振動子200において、衝撃緩衝腕30のY軸方向に沿った長さを振動腕20a,20bのY軸に沿った長さよりも大きくするとともに、ベース122の主面123aに凸部150を設けてもよい。
Although not shown, in the
(2)第2変形例
次に、第1実施形態の第2変形例に係る振動子について、図面を参照しながら説明する。図9は、第1実施形態の第2変形例に係る振動子300を模式的に示す平面図である。
(2) Second Modification Next, a vibrator according to a second modification of the first embodiment will be described with reference to the drawings. FIG. 9 is a plan view schematically showing a
上述した振動子100では、図1に示すように、基部10は、本体部12と、連結部14と、基端部16と、を有していた。
In the
これに対して、振動子300では、図9に示すように、基部10は、本体部12と、接合部210と、を有している。
On the other hand, in the
本体部12は、+Y軸方向に向かうに従って幅(X軸方向の大きさ)が連続的、あるいは断続的に漸減する縮幅部13を有している。これにより、振動漏れを低減させることができ、接合部310に漏れ振動が伝わることを抑制することができる。
The
接合部310は、本体部12から+Y軸方向に延出している第1部分312と、第1部分312の+Y軸方向の端部に接続され−X軸方向に延出している第2部分314と、で構成されている。すなわち、接合部310は、平面視で略L字状に形成されている。接合部310の第2部分314は、取付け部18を有している。
The
振動子300では、振動片100に比べて、2つの固定される場所が互いに近接しているため、スプリアスモード(X軸方向における同相の屈曲振動モード)におけるパッケージ120への固定負荷が弱くなるので、スプリアスモードの共振周波数は、メインモード(X軸方向における逆相の屈曲振動モード)の共振周波数に対して離れるように低下する。これにより、両モードの結合を低減することができるので、振動片300のメインモードにおける振動漏れを抑制することができる。
In the
(3)第3変形例
次に、第1実施形態の第3変形例に係る振動子について、図面を参照しながら説明する。図10は、第1実施形態の第3変形例に係る振動子400を模式的に示す平面図である。図11は、第1実施形態の第3変形例に係る振動子400を模式的に示す図10のXI−XI線断面図である。
(3) Third Modification Next, a vibrator according to a third modification of the first embodiment will be described with reference to the drawings. FIG. 10 is a plan view schematically showing a
上述した振動子100では、図1および図2に示すように、凸部150は、ベース122の主面123aの衝撃緩衝腕30と対向している領域に設けられていた。
In the
これに対して、振動子400では、図10および図11に示すように、凸部150は、衝撃緩衝腕30に設けられている。
On the other hand, in the
凸部150は、衝撃緩衝腕30の、ベース122の主面123aに対向する面(図示の例では衝撃緩衝腕30の−Z軸方向を向く面)に設けられている。衝撃緩衝腕30に設けられた凸部150とベース122の主面123aとの間の距離は、振動腕20a,20bとベース122の主面123aとの間の距離よりも小さい。そのため、外部から振動腕20a,20bの厚み方向の衝撃が加わった場合に、振動腕20a,20bがベース122の主面123aに接触するよりも先に、衝撃緩衝腕30に設けられた凸部150をベース122の主面123aに接触させることができる。
The
凸部150は、例えば、その表面が衝撃緩衝腕30およびベース122の主面123aの少なくとも一方よりも柔らかい材質である。例えば、凸部150は、樹脂で形成された突起(樹脂突起)である。なお、凸部150の材質を衝撃緩衝腕30の材質と同じにしてもよい。すなわち、凸部150と衝撃緩衝腕30とを一体に形成してもよい。
For example, the
振動子400では、凸部150が、衝撃緩衝腕30の、ベース122の主面123aに対向する面に設けられている。そのため、振動子400では、外部から振動腕20a,20bの厚み方向の衝撃が加わった場合に、振動腕20a,20bがベース122の主面123aに接触するよりも先に、衝撃緩衝腕30に設けられた凸部150をベース122の主面123aに接触させることができる。したがって、振動子400では、振動子100と同様に、外部からの衝撃により振動腕20a,20bが厚さ方向に変形したときに、衝撃緩衝腕30によって衝撃を吸収することができ、振動腕20a,20bに加わる衝撃を低減させることができる。
In the
2. 第2実施形態
2.1. 振動子
次に、第2実施形態に係る振動子について、図面を参照しながら説明する。図12は、
第2実施形態に係る振動子500を模式的に示す平面図である。なお、図12では、便宜上、リッド124の図示を省略している。以下、第2実施形態に係る振動子500において、第1実施形態に係る振動子100の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
2. Second Embodiment 2.1. Next, a vibrator according to a second embodiment will be described with reference to the drawings. FIG.
6 is a plan view schematically showing a
上述した振動子100では、図1に示すように、衝撃緩衝腕30は、一対の振動腕20a,20bの間に配置されていた。
In the
これに対して、振動子500は、図12に示すように、2つの衝撃緩衝腕30a,30bを備え、2つの衝撃緩衝腕30a,30bの間に、一対の振動腕20a,20bが配置されている。
On the other hand, as shown in FIG. 12, the
基部10は、本体部12と、本体部12から+X軸方向に延出している支持腕510と、本体部12から−X軸方向に延出している支持腕512と、を有している。支持腕510,512は、本体部12の+Y軸方向側の端部から互いに反対方向に延出している。
The
衝撃緩衝腕30aは、支持腕510の+X軸方向側の端部から−Y軸方向に延出している。衝撃緩衝腕30bは、支持腕512の−X軸方向側の端部から−Y軸方向に延出している。一対の振動腕20a,20bは、それぞれ本体部12から−Y軸方向に延出している。衝撃緩衝腕30a,30bは、基部10(本体部12)よりも−Y軸方向側まで延出している。衝撃緩衝腕30aと衝撃緩衝腕30bとの間に、基部10および振動腕20a,20bの一部が位置している。
The
基部10の本体部12は、取付け部18を有している。図示の例では、本体部12は、2つの取付け部18を有しており、一方の取付け部18は支持腕510の−X軸方向側の端部の近傍に設けられ、他方の取付け部18は支持腕512の+X軸方向側の端部の近傍に設けられている。
The
衝撃緩衝腕30aおよび衝撃緩衝腕30bは、互いにX軸に沿った長さ(幅)が同じである。また、衝撃緩衝腕30aおよび衝撃緩衝腕30bは、互いにY軸に沿った長さが同じである。衝撃緩衝腕30a,30bのY軸方向に沿った長さは、振動腕20a,20bのY軸に沿った長さよりも小さい。
The
ベース122の主面123aの衝撃緩衝腕30aと対向している領域、およびベース122の主面123aの衝撃緩衝腕30bと対向している領域には、それぞれ凸部150が設けられている。すなわち、振動子500では、2つの衝撃緩衝腕30a,30bに対応して、2つの凸部150が設けられている。
振動子500は、例えば、以下の特長を有する。
The
振動子500では、上述した振動子100と同様の作用効果を奏することができる。さらに、振動子500では、衝撃緩衝腕30a,30bは複数設けられているため、例えば、衝撃緩衝腕が1つ設けられている場合と比べて、外部からの衝撃により振動腕20a,20bが厚さ方向に変形したときに、衝撃緩衝腕30a,30bによって衝撃をより吸収することができ、振動腕20a,20bに加わる衝撃をより低減させることができる。
The
振動子500では、衝撃緩衝腕30a,30bのY軸方向に沿った長さは、振動腕20a,20bのY軸に沿った長さよりも小さいため、例えば衝撃緩衝腕30a,30bのY軸方向に沿った長さが振動腕20a,20bのY軸に沿った長さよりも大きい場合と比べて、装置の小型化を図ることができる。
In the
また、支持腕510と衝撃緩衝腕30aおよび支持腕512と衝撃緩衝腕30bのうち、何れか一方のみが形成されている場合においても、上述した振動子100と同様の作用効果を奏することができ、この場合は支持腕510と衝撃緩衝腕30aおよび支持腕512と衝撃緩衝腕30bの両方が形成されている場合に比べて、X軸に沿った長さを小さくすることができる。
In addition, even when only one of the
2.2. 振動子の変形例
次に、第2実施形態に係る振動子の変形例について説明する。以下、第2実施形態の各変形例に係る振動子において、上述した第1および第2実施形態に係る振動子100,500の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を伏し、その詳細な説明を省略する。
2.2. Next, a modification of the vibrator according to the second embodiment will be described. Hereinafter, in the vibrator according to each modification of the second embodiment, members having the same functions as those of the constituent members of the
(1)第1変形例
まず、第2実施形態の第1変形例に係る振動子について、図面を参照しながら説明する。図13は、第2実施形態の第1変形例に係る振動子600を模式的に示す平面図である。なお、図13では、便宜上、リッド124の図示を省略している。
(1) First Modification First, a vibrator according to a first modification of the second embodiment will be described with reference to the drawings. FIG. 13 is a plan view schematically showing a
上述した振動子500では、図12に示すように、衝撃緩衝腕30a,30bのY軸に沿った長さは、振動腕20a,20bのY軸に沿った長さよりも小さい。
In the
これに対して、振動子600では、図13に示すように、衝撃緩衝腕30a,30bのY軸方向に沿った長さは、振動腕20a,20bのY軸に沿った長さよりも大きい。そのため、振動子600では、衝撃緩衝腕30a,30bのY軸に沿った長さが振動腕20a,20bのY軸に沿った長さよりも小さい場合と比べて、外部からの衝撃により振動腕20a,20bが厚さ方向に変形したときに、振動腕20a,20bがベース122の主面123aに接触するよりも先に、衝撃緩衝腕30a,30bをベース122の主面123aに接触させることができる。
On the other hand, in the
振動子600では、基部10は、本体部12と、連結部14と、基端部16と、支持腕510、512と、を有している。支持腕510は、基端部16から+X軸方向に延出している。支持腕512は、基端部16から−X軸方向に延出している。支持腕510および支持腕512は、それぞれ取付け部18を有している。
In the
接合部材130a,130bの材料が、上述した樹脂のように、振動子600の振動腕20a,20b等に比べて十分に柔らかい(ヤング率の比が0.001以上0.07以下)場合、外部から衝撃が加わった際の初期的な応答では、振動腕20a,20b等は大きく変形せずに接合部材130a,130bのみが大きく変形するから、振動子600では、衝撃緩衝腕30のY軸方向に沿った長さは、振動腕20a,20bのY軸に沿った長さよりも大きいため、外部からの衝撃により振動腕20a,20bが厚さ方向に変形したときに、振動腕20a,20bがベース122の主面123aに接触するよりも先に、衝撃緩衝腕30a,30bをベース122の主面123aに接触させることができる。その結果、振動子600では、外部からの衝撃により振動腕20a,20bが厚さ方向に変形したときに、衝撃緩衝腕30a,30bによって衝撃を吸収することができ、振動腕20a,20bに加わる衝撃を低減させることができる。
When the material of the joining
また、支持腕510と衝撃緩衝腕30aおよび支持腕512と衝撃緩衝腕30bのうち、何れか一方のみが形成されている場合においても、上述した振動子200と同様の作用効果を奏することができ、この場合は支持腕510と衝撃緩衝腕30aおよび支持腕512と衝撃緩衝腕30bの両方が形成されている場合に比べて、X軸に沿った長さを小さく
することができる。
Further, even when only one of the
(2)第2変形例
次に、第2実施形態の第2変形例に係る振動子について、図面を参照しながら説明する。図14は、第2実施形態の第2変形例に係る振動子700を模式的に示す平面図である。なお、図14では、便宜上、リッド124の図示を省略している。
(2) Second Modification Next, a vibrator according to a second modification of the second embodiment will be described with reference to the drawings. FIG. 14 is a plan view schematically showing a
上述した振動子500では、図12に示すように、基部10の本体部12が、取付け部18を有していた。
In the
これに対して、振動子700では、図14に示すように、基部10の本体部12から延出している支持腕710が、取付け部18を有している。また、振動子700では、支持腕710のY軸に沿った長さは、振動腕20a,20bのY軸に沿った長さよりも大きい。
On the other hand, in the
振動子700では、基部10は、本体部12と、連結部14と、基端部16と、支持腕510、512と、支持腕710を有している。支持腕710は、本体部12から延出している。支持腕710は、一対の振動腕20a,20bの間を基部10から−Y軸方向に延出している第1延出部712と、第1延出部712の−Y軸方向の端部に接続され、第1延出部712と直交する第2延出部714と、を有している。第1延出部712のY軸に沿った長さは、振動腕20a,20bのY軸に沿った長さよりも大きい。第2延出部714は、第1延出部712との接続部から+X軸方向に延出している部分と、当該接続部から−X軸方向に延出している部分と、を有している。そのため、支持腕710は、平面視で、略T字状に形成されている。第2延出部714の+X軸方向側の端部、および第2延出部714の−X軸方向側の端部には、それぞれ取付け部18が設けられている。
In the
振動子700では、支持腕710に取付け部18が設けられているため、取付け部18と振動腕20a,20bとの間の振動の伝搬経路を長くすることができ、取付け部18において振動腕20a,20bの振動を十分に減衰させることができる。そのため、振動子700では、外部への振動漏れを低減させることができる。また、振動子700では、上述した振動子500と同様の作用効果を奏することができる。
In the
また、支持腕510と衝撃緩衝腕30aおよび支持腕512と衝撃緩衝腕30bのうち、何れか一方のみが形成されている場合においても、上述した振動子500と同様の作用効果を奏することができ、この場合は支持腕510と衝撃緩衝腕30aおよび支持腕512と衝撃緩衝腕30bの両方が形成されている場合に比べて、X軸に沿った長さを小さくすることができる。
In addition, even when only one of the
(3)第3変形例
次に、第2実施形態の第3変形例に係る振動子について、図面を参照しながら説明する。図15は、第2実施形態の第3変形例に係る振動子800を模式的に示す平面図である。なお、図15では、便宜上、リッド124の図示を省略している。
(3) Third Modification Next, a vibrator according to a third modification of the second embodiment will be described with reference to the drawings. FIG. 15 is a plan view schematically showing a
上述した振動子500では、図12に示すように、基部10の本体部12が、取付け部18を有していた。
In the
これに対して、振動子800では、図15に示すように、基部10の本体部12から延出している支持腕810が、取付け部18を有している。また、振動子800では、支持腕810のY軸に沿った長さは、振動腕20a,20bのY軸に沿った長さよりも小さい。
On the other hand, in the
振動子800では、基部10は、本体部12と、連結部14と、基端部16と、支持腕510、512と、支持腕810と、を有している。支持腕810は、本体部12から−Y軸方向に延出している。支持腕810は、一対の振動腕20a,20bの間に配置されている。
In the
支持腕810は、例えば、本体部12側の根元に設けられた括れ部812と、括れ部812に接続され平板状の形状を有する幅広部814と、を有している。括れ部812は、本体部12と幅広部814との間に設けられ、幅広部814の幅の大きさより小さい幅を有する部分である。これにより、振動腕20a,20bの振動により発生した振動漏れを低減させることができる。幅広部814は、取付け部18を有している。取付け部18は、Y軸に沿って2つ設けられている。
The
振動子800では、上述した振動子500と同様の作用効果を奏することができる。また、支持腕510と衝撃緩衝腕30aおよび支持腕512と衝撃緩衝腕30bのうち、何れか一方のみが形成されている場合においても、上述した振動子500と同様の作用効果を奏することができ、この場合は支持腕510と衝撃緩衝腕30aおよび支持腕512と衝撃緩衝腕30bの両方が形成されている場合に比べて、X軸に沿った長さを小さくすることができる。
The
3. 第3実施形態
次に、第3実施形態に係る振動子について、図面を参照しながら説明する。図16は、第3実施形態に係る振動子900を模式的に示す平面図である。図17は、第3実施形態に係る振動子900を模式的に示す図16のXVII−XVII線断面図である。なお、便宜上、図16では、リッド124および接合部材930を省略して図示している。以下、第3実施形態に係る振動子900において、第1実施形態に係る振動子100の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
3. Third Embodiment Next, a vibrator according to a third embodiment will be described with reference to the drawings. FIG. 16 is a plan view schematically showing a
上述した振動子100は、図1および図2に示すように、ベース122の主面123aに設けられた1つの凸部150を有していた。
The above-described
これに対して、振動子900は、図16および図17に示すように、ベース122の主面123aに設けられた凸部150(以下「第1凸部150」ともいう)と、リッド124の主面126に設けられた第2凸部152と、を有している。
On the other hand, as shown in FIGS. 16 and 17, the
リッド124は、凹部127を有している。パッケージ120では、ベース122の凹部121とリッド124の凹部127により収納空間が形成されている。
The
リッド124の主面126には、第2凸部152が設けられている。図示の例では、リッド124の主面126は、凹部127の内底面(内側の底面)であり、振動片110側を向く面である。ベース122の主面123aとリッド124の主面126とは互いに向かい合っている(対向している)。第2凸部152は、リッド124の主面126の衝撃緩衝腕30と対向する領域に設けられている。すなわち、平面視で、衝撃緩衝腕30と第2凸部152とは重なっている。第1凸部150と第2凸部152とは、平面視で、重なっていてもよい。
A second
衝撃緩衝腕30と第2凸部152との間には、例えば、空隙がある。衝撃緩衝腕30と第2凸部152との間の距離は、振動腕20a,20bとリッド124の主面126との間の距離よりも小さい。そのため、外部から振動腕20a,20bの厚み方向の衝撃が加わった場合に、振動腕20a,20bがリッド124の主面126に接触するよりも先に
、衝撃緩衝腕30を第2凸部152に接触させることができる。
For example, there is a gap between the
第2凸部152の高さ(Z軸方向の大きさ)や位置は、外部から振動腕20a,20bの厚み方向の衝撃が加わった場合に、振動腕20a,20bが主面126に接触するよりも先に、衝撃緩衝腕30が第2凸部152に接触する高さや位置であれば特に限定されない。例えば、第2凸部152を、衝撃緩衝腕30の+Y軸方向の先端と対向する領域を避けて設けてもよい。これにより、第2凸部152に衝撃緩衝腕30が接触した場合に、衝撃緩衝腕30の先端を第2凸部152に衝突させないことができ、衝撃緩衝腕30が欠けるおそれを低減させることができる。
The height (size in the Z-axis direction) and position of the second
第2凸部152の平面形状は、図示の例では、四角形である。なお、第2凸部152の平面形状は特に限定されず、円、楕円、多角形などであってもよい。
The planar shape of the second
第2凸部152の材質は、例えば、リッド124の材質と同じである。リッド124の材質としては、例えば、ベース122の材質として例示したものを用いることができる。図17に示す例では、第2凸部152は、リッド124と一体に構成されている。なお、第2凸部152の構成はこれに限定されず、例えば第1凸部150の構成として例示したものを用いることができる。
The material of the 2nd
振動片110の基部10は、本体部12と、連結部14と、基端部16と、支持腕910a,910bと、外枠部920と、を有している。
The
支持腕910aは、基端部16から+X軸方向に延出している。支持腕910bは、基端部16から−X軸方向に延出している。支持腕910a,910bは、基端部16と外枠部920とを接続している。
The
このように図16に示す例では、基端部16と外枠部920とが、基端部16から互いに反対方向に延出している一対の支持腕910a,910bによって接続されているが、例えば、図18に示すように、基端部16が直接、外枠部920に接続されていてもよい。
As described above, in the example illustrated in FIG. 16, the
また、図16に示す例では、支持腕910a,910bは、直線状に設けられていたが、図19に示すように、支持腕910a,910bは折れ曲がっていてもよい。図19に示す例では、支持腕910aは、基端部16から+X軸方向に延出している第1梁部911aと、第1梁部911aの+X軸方向の端部から−Y軸方向に延出している第2梁部912aと、第2梁部912aの−Y軸方向の端部から+X軸方向に延出して外枠部920に接続されている第3梁部913aと、で構成されている。また、支持腕910bは、基端部16から−X軸方向に延出している第1梁部911bと、第1梁部911bの−X軸方向の端部から−Y軸方向に延出している第2梁部912bと、第2梁部912bの−Y軸方向の端部から−X軸方向に延出して外枠部920に接続されている第3梁部913bと、で構成されている。これにより、外部への振動漏れを低減させることができ、また外部の温度変化、または衝撃の影響を振動腕20a,20bに伝えにくくすることができる。
In the example shown in FIG. 16, the
外枠部920は、図16に示すように、平面視で振動腕20a,20bおよび衝撃緩衝腕30を囲むように形成されている。外枠部920は、ベース122に接合されている。すなわち、外枠部920は、ベース122に取り付けられている取付け部18を有している。図示の例では、外枠部920の全体が、取付け部18である。外枠部920は、さらに、リッド124に接合されている。すなわち、外枠部920は、ベース122とリッド124とで挟まれている。ベース122と外枠部920の接合、およびリッド124と外
枠部920の接合は、図示の例では、接着剤等の接合部材930を用いて接合されているが、陽極接合等を用いて接合してもよい。
As shown in FIG. 16, the
振動子900では、振動子100と同様に、ベース122の主面123aの衝撃緩衝腕30と対向している領域には、第1凸部150が設けられているため、外部からの衝撃により振動腕20a,20bが厚さ方向に変形したときに、振動腕20a,20bがベース122の主面123aに接触するよりも先に、衝撃緩衝腕30を第1凸部150に接触させることができる。
In the
さらに、振動子900では、リッド124の主面126の衝撃緩衝腕30と対向している領域には、第2凸部152が設けられている。そのため、振動子900では、外部からの衝撃により振動腕20a,20bが厚さ方向に変形したときに、振動腕20a,20bがリッド124の主面126に接触するよりも先に、衝撃緩衝腕30を第2凸部152に接触させることができる。したがって、振動子900では、外部からの衝撃により振動腕20a,20bが厚さ方向に変形したときに、衝撃緩衝腕30によって衝撃を吸収することができ、振動腕20a,20bに加わる衝撃を低減させることができる。
Further, in the
4. 第4実施形態
次に、第4実施形態に係る発振器について、図面を参照しながら説明する。図20は、第4実施形態に係る発振器1000を模式的に示す断面図である。
4). Fourth Embodiment Next, an oscillator according to a fourth embodiment will be described with reference to the drawings. FIG. 20 is a cross-sectional view schematically showing an
以下、本実施形態に係る発振器1000において、上述した振動子100の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
Hereinafter, in the
発振器1000は、本発明に係る振動子を備えている。以下では、本発明に係る振動子として、振動子100を備えている発振器1000について説明する。発振器1000は、図20に示すように、振動子100と、ICチップ1010と、を備えている。
The
ベース122の主面123aには、凹状に形成された収容部1012が設けられている。ICチップ1010は、収容部1012に収容されている。ICチップ1010は、発振回路を内蔵している。ICチップ1010は、収容部1012の底面に、図示しない接着剤などによって固定されている。
The
ICチップ1010は、金やアルミニウムなどのワイヤー1014によって、収容部1012の底面に設けられた内部接続端子1016a,1016bと接続されている。内部接続端子1016a,1016bは、例えば、タングステン、モリブデンなどのメタライズ層に、ニッケル、金などの被膜がめっきなどにより積層された金属被膜である。内部接続端子1016a,1016bは、図示しない内部配線を介して、電極端子142a,142bや内部端子140a,140bに接続されている。すなわち、ICチップ(発振回路)1010は、振動片110と電気的に接続されている。
The
なお、図示はしないが、ICチップ1010と内部接続端子1016a,1016bとの接続には、ワイヤー1014を用いたワイヤーボンディングによる接続方向以外に、ICチップ1010を反転させてフリップチップ実装による接続方法などを用いてもよい。また、ICチップ1010は、ベース122の外底面123bに設けられた凹部内に実装され、モールド材により封止されていてもよい。
Although not shown, the connection between the
発振器1000では、ICチップ1010から内部接続端子1016a,1016b、内部端子140a,140bなどを介して印加される駆動信号によって、振動片110が屈曲振動を励振されて所定の周波数で共振(発振)する。そして、発振器1000は、こ
の発振に伴って生じる発振信号をICチップ1010、電極端子142a,142bなどを介して外部に出力する。
In the
発振器1000では、振動子100を備えているため、耐衝撃性を向上させることができる。
Since the
5. 第5実施形態
次に、第5実施形態に係るリアルタイムクロックについて、図面を参照しながら説明する。図21は、第5実施形態に係るリアルタイムクロック1100の機能ブロック図である。
5. Fifth Embodiment Next, a real-time clock according to a fifth embodiment will be described with reference to the drawings. FIG. 21 is a functional block diagram of a real-
リアルタイムクロック1100は、本発明に係る発振器を備えている。以下では、本発明に係る発振器として、発振器1000を備えているリアルタイムクロック1100について説明する。リアルタイムクロック1100は、図21に示すように、発振器1000と、計時回路1110と、イベント検出回路1120と、メモリー1130と、制御回路1140と、を備えている。
The
発振器1000は、振動子100と、振動子100と電気的に接続されている発振回路(ICチップ)1010と、を有しており、振動子100は、発振回路1010を介して電気信号が入力されることにより所定の周波数で振動する。そして、発振回路1010は、振動子100から出力された信号を増幅して出力する。
The
計時回路1110には、発振器1000が接続されており、発振器1000から出力された信号を分周して1[Hz]の周波数を得ると、この1[Hz]の信号を利用して年、月、日、時、分、および秒の計時を各計時レジスタ(図示せず)で行っている。すなわち、計時回路1110は、発振器1000の発振回路1010から出力される信号に基づいて、日時データを生成する。このような計時回路1110を持つことにより、時刻データを得ることができ、イベントが生じた際(イベント検出周期毎)の日時等をメモリー1130に記録することが可能となる。なお計時回路1110は設定により、上記年、月、日、時、分、および秒の他に、曜日についてのデータも記憶させるようにすることができる。
An
イベント検出回路1120は、リアルタイムクロック1100の外部端子であるイベント入力端子1122に接続されている。イベント検出回路1120は、イベント入力端子1122に対してイベントが発生した旨の電気信号が入力されると、イベント発生フラグを立てるように構成されている。このように、イベントの発生をフラグにより示すことで、当該フラグに基づいてイベントの有無を判断することができる。
The
メモリー1130は、上述した時刻データやイベント発生に関するデータを記録する記憶手段である。
The
制御回路1140には、上述した計時回路1110、イベント検出回路1120、メモリー1130、および外部端子としての割り込み出力端子1142が接続されている。制御回路1140は、イベント検出回路1120から入力されたフラグ情報に基づいて、フラグが立てられている事を検出した時刻データを計時回路1110から読み出すことが可能に構成されている。
The
なお、割り込み出力端子1142は、任意のイベント入力の発生時に、時刻データやイベント発生に関するデータの記録と同時に、CPUに対して信号を割り込み出力させる役割を担う。
Note that the interrupt
リアルタイムクロック1100では、振動子100を備えているため、耐衝撃性を向上させることができる。
Since the real-
6. 第6実施形態
次に、第6実施形態に係る電子機器について、図面を参照しながら説明する。第6実施形態に係る電子機器は、本発明に係る振動子を備える。以下では、本発明に係る振動子として、振動子100を備える電子機器について、説明する。
6). Sixth Embodiment Next, an electronic apparatus according to a sixth embodiment will be described with reference to the drawings. An electronic apparatus according to the sixth embodiment includes the vibrator according to the invention. Hereinafter, an electronic device including the
図22は、第6実施形態に係る電子機器として、スマートフォン1300を模式的に示す平面図である。スマートフォン1300は、図22に示すように、振動子100を有する発振器1000を備えている。
FIG. 22 is a plan view schematically showing a
スマートフォン1300は、発振器1000を、例えば、基準クロック発振源などのタイミングデバイスとして用いる。スマートフォン1300は、さらに、表示部(液晶ディスプレイや有機ELディスプレイ等)1310、操作部1320、および音出力部1330(マイクロフォン等)を有することができる。スマートフォン1300は、表示部1310に対する接触検出機構を設けることで表示部1310を操作部として兼用してもよい。
The
なお、スマートフォン1300に代表される電子機器は、振動子100を駆動する発振回路と、振動子100の温度変化に伴う周波数変動を補正する温度補償回路と、を備えていることが好ましい。
Note that an electronic device typified by the
これによれば、スマートフォン1300に代表される電子機器は、振動子100を駆動する発振回路と共に、振動子100の温度変化に伴う周波数変動を補正する温度補償回路を備えていることから、発振回路が発振する共振周波数を温度補償することができ、温度特性に優れた電子機器を提供することができる。
According to this, the electronic device represented by the
図23は、第6実施形態に係る電子機器として、モバイル型(またはノート型)のパーソナルコンピューター1400を模式的に示す斜視図である。パーソナルコンピューター1400は、図23に示すように、キーボード1402を備えた本体部1404と、表示部1405を備えた表示ユニット1406と、により構成され、表示ユニット1406は、本体部1404に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。このようなパーソナルコンピューター1400には、フィルター、共振器、基準クロック等として機能する振動子100が内蔵されている。
FIG. 23 is a perspective view schematically showing a mobile (or notebook)
図24は、第6実施形態に係る電子機器として、携帯電話機(PHSも含む)1500を模式的に示す斜視図である。携帯電話機1500は、複数の操作ボタン1502、受話口1504および送話口1506を備え、操作ボタン1502と受話口1504との間には、表示部1508が配置されている。このような携帯電話機1500には、フィルター、共振器等として機能する振動子100が内蔵されている。
FIG. 24 is a perspective view schematically showing a mobile phone (including PHS) 1500 as an electronic apparatus according to the sixth embodiment. A
図25は、第6実施形態に係る電子機器として、デジタルスチルカメラ1600を模式的に示す斜視図である。なお、図25には、外部機器との接続についても簡易的に示されている。ここで、通常のカメラは、被写体の光像により銀塩写真フィルムを感光するのに対し、デジタルスチルカメラ1600は、被写体の光像をCCD(Charge Coupled Device)などの撮像素子により光電変換して撮像信号(画像信号)を生成する。
FIG. 25 is a perspective view schematically showing a
デジタルスチルカメラ1600におけるケース(ボディー)1602の背面には、表示
部1603が設けられ、CCDによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、表示部1603は、被写体を電子画像として表示するファインダーとして機能する。また、ケース1602の正面側(図中裏面側)には、光学レンズ(撮像光学系)やCCDなどを含む受光ユニット1604が設けられている。
A
撮影者が表示部に表示された被写体像を確認し、シャッターボタン1606を押下すると、その時点におけるCCDの撮像信号が、メモリー1608に転送・格納される。また、デジタルスチルカメラ1600においては、ケース1602の側面に、ビデオ信号出力端子1612と、データ通信用の入出力端子1614とが設けられている。そして、図示されるように、ビデオ信号出力端子1612にはテレビモニター1630が、データ通信用の入出力端子1614にはパーソナルコンピューター1640が、それぞれ必要に応じて接続される。さらに、所定の操作により、メモリー1608に格納された撮像信号が、テレビモニター1630や、パーソナルコンピューター1640に出力される構成になっている。このようなデジタルスチルカメラ1600には、フィルター、共振器等として機能する振動子100が内蔵されている。
When the photographer confirms the subject image displayed on the display unit and presses the
電子機器1300,1400,1500,1600は、振動子100を備えているため、耐衝撃性を向上させることができる。
Since the
なお、本発明の振動子を備えている電子機器は、上記の例に限定されず、例えば、インクジェット式吐出装置(例えばインクジェットプリンター)、ラップトップ型パーソナルコンピューター、テレビ、ビデオカメラ、ビデオテープレコーダー、カーナビゲーション装置、ページャー、電子手帳(通信機能付も含む)、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニター、電子双眼鏡、POS端末、医療機器(例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡)、魚群探知機、各種測定機器、計器類(例えば、車両、航空機、船舶の計器類)、フライトシュミレーター等に適用することができる。 The electronic device including the vibrator of the present invention is not limited to the above example. For example, an ink jet type ejection device (for example, an ink jet printer), a laptop personal computer, a television, a video camera, a video tape recorder, Car navigation devices, pagers, electronic notebooks (including communication functions), electronic dictionaries, calculators, electronic game devices, word processors, workstations, videophones, security TV monitors, electronic binoculars, POS terminals, medical devices (eg electronic thermometers) , Blood pressure monitor, blood glucose meter, electrocardiogram measuring device, ultrasonic diagnostic device, electronic endoscope), fish detector, various measuring instruments, instruments (eg, vehicles, aircraft, ship instruments), flight simulator, etc. can do.
7. 第7実施形態
次に、第7実施形態に係る移動体について、図面を参照しながら説明する。図26は、第7実施形態に係る移動体1700として、自動車を模式的に示す斜視図である。
7). 7th Embodiment Next, the mobile body which concerns on 7th Embodiment is demonstrated, referring drawings. FIG. 26 is a perspective view schematically showing an automobile as the moving
第7実施形態に係る移動体は、本発明に係る振動子を備えている。以下では、本発明に係る振動子として、振動子100を備えている移動体について、説明する。
The moving body according to the seventh embodiment includes the vibrator according to the present invention. Hereinafter, a moving body including the
第7実施形態に係る移動体1700は、さらに、エンジンシステム、ブレーキシステム、キーレスエントリーシステム等の各種の制御を行うコントローラー1720、コントローラー1730、コントローラー1740、バッテリー1750、およびバックアップ用バッテリー1760を含んで構成されている。なお、第7実施形態に係る移動体1700は、図26に示される構成要素(各部)の一部を省略または変更してもよいし、他の構成要素を付加した構成としてもよい。
The
このような移動体1700としては種々の移動体が考えられ、例えば、自動車(電気自動車も含む)、ジェット機やヘリコプター等の航空機、船舶、ロケット、人工衛星等が挙げられる。
As such a moving
移動体1700は、振動子100を備えているため、耐衝撃性を向上させることができる。
Since the moving
なお、本発明は上述した実施形態に限定されず、本発明の要旨の範囲内で種々の変形実
施が可能である。
In addition, this invention is not limited to embodiment mentioned above, A various deformation | transformation implementation is possible within the range of the summary of this invention.
例えば、上述した各実施形態では、各振動腕の主面には、1つの溝部が設けられていたが、溝の数は特に限定されず、2本以上であってもよい。例えば、各主面に、X軸方向に沿って並ぶ2つ以上の溝が設けられていてもよい。 For example, in each embodiment described above, one groove portion is provided on the main surface of each vibrating arm, but the number of grooves is not particularly limited, and may be two or more. For example, two or more grooves arranged along the X-axis direction may be provided on each main surface.
図27は、本変形例に係る振動子の一例を模式的に示す断面図であって、図2と同じ断面を示している。以下、本変形例に係る振動子において、第1実施形態に係る振動子100の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
FIG. 27 is a cross-sectional view schematically showing an example of a vibrator according to this modification, and shows the same cross section as FIG. Hereinafter, in the vibrator according to this modification, members having the same functions as those of the constituent members of the
本変形例に係る振動子では、図27に示すように、振動腕20aの主面22a,22bおよび振動腕20bの主面22a,22bには、それぞれX軸方向に沿って並ぶ2つの溝部23が設けられている。本変形例に係る振動子は、各振動腕20a,20bの各主面22a,22bに設けられている溝部23の数が異なる以外は上述した第1実施形態に係る振動子100と同様である。このような溝部23の構成においても、熱弾性損失を低減させることができる。
In the vibrator according to this modification, as shown in FIG. 27, two
上述した実施形態及び変形例は一例であって、これらに限定されるわけではない。例えば各実施形態及び各変形例は、適宜組み合わせることが可能である。 The above-described embodiments and modifications are merely examples, and the present invention is not limited to these. For example, each embodiment and each modification can be combined as appropriate.
本発明は、実施の形態で説明した構成と実質的に同一の構成(例えば、機能、方法および結果が同一の構成、あるいは目的及び効果が同一の構成)を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。 The present invention includes configurations that are substantially the same as the configurations described in the embodiments (for example, configurations that have the same functions, methods, and results, or configurations that have the same objects and effects). In addition, the invention includes a configuration in which a non-essential part of the configuration described in the embodiment is replaced. In addition, the present invention includes a configuration that exhibits the same operational effects as the configuration described in the embodiment or a configuration that can achieve the same object. Further, the invention includes a configuration in which a known technique is added to the configuration described in the embodiment.
10…基部、12…本体部、14…連結部、16…基端部、18…取付け部、20a…第1振動腕、20b…第2振動腕、22…腕部、22a,22b…主面、22c…内側面、22d…外側面、23…溝部、24…錘部、30,30a,30b…衝撃緩衝腕、40a,40b…電極パッド、100…振動子、110…振動片、120…パッケージ、121…凹部、122…ベース、123a…主面、123b…外底面、124…リッド、125…シールリング、126…主面、127…凹部、130a,130b…接合部材、140a,140b…内部端子、142a,142b…電極端子、150…凸部、150a…第1部分、150b…第2部分、152…第2凸部、200…振動子、210…接合部、212…第1部分、214…第2部分、300,400,500…振動子、510…支持腕、512…支持腕、600,700…振動子、710…支持腕、712…第1延出部、714…第2延出部、800…振動子、810…支持腕、812…括れ部、814…幅広部、900…振動子、910a,910b…支持腕、911a,911b…第1梁部、912a,912b…第2梁部、913a,913b…第3梁部、920…外枠部、930…接合部材、1000…発振器、1010…ICチップ、1012…収容部、1014…ワイヤー、1016a,1016b…内部接続端子、1100…リアルタイムクロック、1110…計時回路、1120…イベント検出回路、1122…イベント入力端子、1130…メモリー、1140…制御回路、1142…割り込み出力端子、1300…スマートフォン、1310…表示部、1320…操作部、1330…音出力部、1400…パーソナルコンピューター、1402…キーボード、1404…本体部、1405…表示部、1406…表示ユニット、1500…携帯電話機、1502…操作ボタン、1504…受話口、1506…送話口、1508…表示部、1600…デジタルスチルカメラ、1602
…ケース、1603…表示部、1604…受光ユニット、1606…シャッターボタン、1608…メモリー、1612…ビデオ信号出力端子、1614…入出力端子、1630…テレビモニター、1640…パーソナルコンピューター、1700…移動体、1720…コントローラー、1730…コントローラー、1740…コントローラー、1750…バッテリー、1760…バックアップ用バッテリー
DESCRIPTION OF
... Case, 1603 ... Display unit, 1604 ... Light receiving unit, 1606 ... Shutter button, 1608 ... Memory, 1612 ... Video signal output terminal, 1614 ... Input / output terminal, 1630 ... TV monitor, 1640 ... Personal computer, 1700 ... Moving object, 1720 ... Controller, 1730 ... Controller, 1740 ... Controller, 1750 ... Battery, 1760 ... Backup battery
Claims (8)
前記ベースに取り付けられている取付け部を含む基部と、
前記基部から延出している振動腕と、
前記基部から延出している衝撃緩衝腕と、
を含み、
前記ベースの主面の前記衝撃緩衝腕と対向している領域、および前記衝撃振動腕の前記ベースの主面と対向している領域の少なくとも一方には、凸部が設けられている、振動子。 Base and
A base including a mounting portion attached to the base;
A vibrating arm extending from the base;
An impact buffer arm extending from the base;
Including
A vibrator having a convex portion provided in at least one of a region of the main surface of the base that faces the shock buffer arm and a region of the shock vibration arm that faces the main surface of the base .
前記凸部の材質は、前記ベースの材質と同じである、振動子。 In claim 1,
The material of the convex portion is the same as the material of the base.
前記凸部の表面は、前記ベースおよび前記衝撃緩衝腕の少なくとも一方よりも柔らかい、振動子。 In claim 1,
The surface of the convex portion is a vibrator that is softer than at least one of the base and the shock absorbing arm.
前記ベースとともに、前記基部、前記振動腕、および前記衝撃緩衝腕を収容する空間を形成している蓋を含む、振動子。 In any one of Claims 1 thru | or 3,
A vibrator comprising, together with the base, a lid forming a space for accommodating the base, the vibrating arm, and the shock absorbing arm.
前記振動子と電気的に接続されている発振回路と、
を備えている、発振器。 A vibrator according to any one of claims 1 to 4,
An oscillation circuit electrically connected to the vibrator;
Equipped with an oscillator.
前記振動子と電気的に接続されている発振回路と、
前記発振回路から出力される信号に基づいて、日時データを生成する計時回路と、
を備えている、リアルタイムクロック。 A vibrator according to any one of claims 1 to 4,
An oscillation circuit electrically connected to the vibrator;
Based on a signal output from the oscillation circuit, a clock circuit that generates date and time data,
Real-time clock with
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015024319A JP2016149599A (en) | 2015-02-10 | 2015-02-10 | Vibrator, oscillator, real-time clock, electronic apparatus, and mobile body |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015024319A JP2016149599A (en) | 2015-02-10 | 2015-02-10 | Vibrator, oscillator, real-time clock, electronic apparatus, and mobile body |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016149599A true JP2016149599A (en) | 2016-08-18 |
Family
ID=56688045
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015024319A Pending JP2016149599A (en) | 2015-02-10 | 2015-02-10 | Vibrator, oscillator, real-time clock, electronic apparatus, and mobile body |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2016149599A (en) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019121839A (en) * | 2017-12-28 | 2019-07-22 | 株式会社村田製作所 | Vibrator and vibration device |
JPWO2020261630A1 (en) * | 2019-06-26 | 2020-12-30 | ||
JP2021141555A (en) * | 2020-03-09 | 2021-09-16 | エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 | Piezoelectric vibrator container and piezoelectric vibrator |
WO2021220536A1 (en) * | 2020-04-27 | 2021-11-04 | 株式会社村田製作所 | Resonator and resonance device |
WO2022208959A1 (en) * | 2021-03-31 | 2022-10-06 | 株式会社村田製作所 | Resonance device manufacturing method and resonance device |
-
2015
- 2015-02-10 JP JP2015024319A patent/JP2016149599A/en active Pending
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019121839A (en) * | 2017-12-28 | 2019-07-22 | 株式会社村田製作所 | Vibrator and vibration device |
JP7089214B2 (en) | 2017-12-28 | 2022-06-22 | 株式会社村田製作所 | Oscillator and vibration device |
JPWO2020261630A1 (en) * | 2019-06-26 | 2020-12-30 | ||
JP7185861B2 (en) | 2019-06-26 | 2022-12-08 | 株式会社村田製作所 | Resonator |
JP2021141555A (en) * | 2020-03-09 | 2021-09-16 | エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 | Piezoelectric vibrator container and piezoelectric vibrator |
JP7425632B2 (en) | 2020-03-09 | 2024-01-31 | エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 | Piezoelectric vibrator container and piezoelectric vibrator |
WO2021220536A1 (en) * | 2020-04-27 | 2021-11-04 | 株式会社村田製作所 | Resonator and resonance device |
JP7482402B2 (en) | 2020-04-27 | 2024-05-14 | 株式会社村田製作所 | Resonators and resonating devices |
WO2022208959A1 (en) * | 2021-03-31 | 2022-10-06 | 株式会社村田製作所 | Resonance device manufacturing method and resonance device |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6464749B2 (en) | Physical quantity sensor, electronic device and mobile object | |
JP6592906B2 (en) | Vibrating piece, vibrator, vibrating device, oscillator, electronic device, and moving object | |
JP6435606B2 (en) | Vibration element, vibrator, oscillator, electronic device, and moving object | |
JP2016149599A (en) | Vibrator, oscillator, real-time clock, electronic apparatus, and mobile body | |
JP2013192013A (en) | Vibration element, vibration device and electronic apparatus | |
US10305426B2 (en) | Method for manufacturing resonator element, wafer, resonator element, resonator, oscillator, real-time clock, electronic apparatus, and moving object | |
JP6318550B2 (en) | Vibrating piece, angular velocity sensor, electronic device and moving object | |
JP2015008352A (en) | Vibration piece, vibrator, electronic device, electronic apparatus, and moving body | |
JP2016174202A (en) | Vibration piece, vibrator, vibration device, oscillator, electronic apparatus, and mobile | |
JP2015097362A (en) | Vibration piece, vibrator, oscillator, electronic device and mobile object | |
JP2015128262A (en) | Vibration piece, vibrator, oscillator, electronic apparatus, sensor and movable body | |
JP6551649B2 (en) | Method of manufacturing vibrating piece, vibrating piece, vibrator, oscillator, real time clock, electronic device, and moving body | |
JP5982896B2 (en) | Sensor element, sensor device and electronic device | |
JP6575071B2 (en) | Vibrating piece, vibrator, vibrating device, oscillator, electronic device, and moving object | |
JP2016149595A (en) | Vibrator, oscillator, real-time clock, electronic apparatus, and mobile body | |
JP6531896B2 (en) | Oscillator, oscillator, real-time clock, electronic device, and moving body | |
JP2020150325A (en) | Vibration device, electronic apparatus, and movable body | |
JP2016152607A (en) | Vibration piece, vibrator, oscillator, electronic apparatus, and mobile | |
JP2014200039A (en) | Vibration piece, vibrator, oscillator, electronic apparatus and moving body | |
JP6737376B2 (en) | Vibrating element, oscillator, oscillator, real-time clock, electronic device, and mobile unit | |
JP6536783B2 (en) | Vibrating piece, vibrator, oscillator, real time clock, electronic device, and moving body | |
JP2016178500A (en) | Vibration piece, vibrator, vibration device, oscillator, electronic apparatus, and mobile body | |
JP2014200052A (en) | Vibration piece, vibrator, oscillator, electronic apparatus and moving body | |
JP6750711B2 (en) | Vibrating element, vibrator, oscillator, real-time clock, electronic device, and mobile unit | |
JP6521221B2 (en) | Vibrating piece, vibrator, oscillator, real time clock, electronic device, and moving body |