JP2016149279A - 質量分析装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】質量分析装置は、イオン化部21でイオン化をフィルタリングするフィルター部22と、フィルター部22を通過した対象ガスのイオンに基づいたイオン検出値を検出するイオン検出部31と、を有し、イオン検出部31は、フィルター部22の中心線Cに沿って配置されたファラディ電極33と、中心線を挟んでファラディ電極33に対向するように設けられた二次電子増倍器34とを備え、ファラディ電極33は、二次電子増倍器34の方向に進む光電子および反射光を遮蔽する遮蔽板41を備えることを特徴とする。
【選択図】図2
Description
図1は質量分析装置の構成概略図、図2は質量分析装置の検出部の拡大図である。質量分析装置1は、円筒状部材であるニップル11の内側にイオン源(イオン化部)21、四重極(フィルター部)22、イオン検出器(イオン検出部)31を有している。ニップル(ケース)11は両端にフランジ12a、12bが設けられた円筒状部材であり、ニップル11内部は真空排気可能に構成されている。ニップル11の2つのフランジ12a、12bのうち、フランジ12aは測定する被測定容器101に取り付けるための接続部である。測定時にはニップル11の内部は被測定容器101の内部と連通され、ニップル11内と被測定容器101内(測定空間)の気体(被測定ガス)は同一圧力、同一成分になる。フランジ12bは後述するコントローラ25に取り付けられるベースフランジ13に接続されている。イオン源(イオン化部)21、四重極22、イオン検出器(イオン検出部)31は配線を介してベースフランジ13の外部に配置されているコントローラ25に接続されており、コントローラ25はさらに演算部(コンピュータ)26に接続されている。
図4,5に第2実施形態を示す。以後の各実施形態は第1実施形態と比べてイオン検出器の構造に主要な相違を有する構成例である。以後の各実施形態では、第1実施形態と同様の構成には同じ符号を付し、その説明を省略する。本実施形態は、遮蔽板41の立ち上がり位置(遮蔽板41と底部電極33cの接続位置)を真空紫外光の照射範囲に近づけた構成を有している。図5は図4のB-B断面矢視図を示す。図4のように遮蔽板41の立ち上がり位置はファラディ電極33の底部の真空紫外光の照射範囲に近い方が遮蔽板41の高さを低くすることができ、イオン検出器の小型化に寄与できる。遮蔽板41の立ち上がり位置をファラディ電極33の底部の真空紫外光の照射範囲の境界(図4、5を参照)にすると、 遮蔽板41の高さHはファラディ電極33の底部の真空紫外光の照射範囲の幅W2(図5に図示)の10倍以下にできる。この場合、真空紫外光照射範囲から発生する光電子をファラディ電極に吸収でき、バックグラウンドの上昇を抑制する十分な効果がある。
図9は第3実施形態に係るイオン検出部の拡大図、図10は図9のD-D断面矢視図である。図9、10のように遮蔽板41の前面領域に、紙面の手前から奥側に向かう方向の磁場Bを印加することで光電子の軌道を曲げ、遮蔽板41に対向する位置にあるファラディ電極33の側面33a、33bに入射させることができる。その結果、遮蔽板41の高さHを低くすることが可能となり、質量分析装置の小型化が可能となる。磁場Bとして40ガウス程度を印加すれば、遮光版41の高さHは光電子照射幅Wの1.5〜3倍にできる。また、図10では磁石の構成例として、一対の永久磁石42を示したが、磁場Bを印加する磁石42(磁石部)は1つでもよく、また永久磁石と電磁石のどちらでも構わない。磁石部としての磁石42は、遮蔽板41の光電子や反射光が照射される面(遮蔽面)に平行に、かつ二次電子増倍器34を左手方向に見る方向に磁力線Bを通過させるように設けられている。
図11は第4実施形態に係るイオン検出部の拡大図である。図11のように四重極22の内側を黒色めっきや酸化処理、カーボン蒸着処理など、導電性を維持しつつ黒色に着色することもバックグラウンドの上昇の抑制に効果がある。黒化する箇所の例を図11に黒化箇所BKとして示した。黒化することで、四重極22の表面で反射してファラディ電極33へ照射される真空紫外光を減らすことができる。また、真空紫外光の照射範囲を狭く限定することができるため遮蔽板41の高さHを低くすることが可能となり、質量分析装置の小型化が可能となる。
13 ベースフランジ
21 イオン源
22 四重極
23 四重極出口アパーチャ
25 コントローラ
26 演算部(コンピュータ)
31 イオン検出器
32 絶縁材料
33 ファラディ電極
33a 電極部分
33b 拡張部分
33c 底部電極
34 二次電子増倍器
35 エレクトロンコレクタ
41 遮蔽板
42 磁石
51 返し部
52 第2の遮蔽板
53 第2返し部
B 磁場
BK 黒化箇所
Claims (6)
- 被測定ガスをイオン化するイオン化部と、
前記イオン化部でイオン化された前記被測定ガスの成分のうち、予め設定した質量電荷比を有する対象ガスのイオンだけを通過させるフィルター部と、
前記フィルター部を通過した前記対象ガスのイオンに基づいたイオン検出値を検出するイオン検出部と、を有し、
前記イオン検出部は、
前記フィルター部の中心線に沿って配置されたファラディ電極と、
前記中心線を挟んで前記ファラディ電極に対向して設けられた二次電子増倍器と、
前記ファラディ電極に接続され、前記二次電子増倍器よりも前記イオンの流れの下流側の位置に、前記中心線を遮るように設けられた底部電極と、
前記底部電極を介して前記ファラディ電極に接続され、前記二次電子増倍器の方向に進む光電子および反射光を遮蔽する遮蔽部と、を備えることを特徴とする質量分析装置。 - 遮蔽部の高さが、遮蔽部と照射範囲外周部との距離の10倍以下であることを特徴とする請求項1に記載の質量分析装置。
- 前記イオン検出部は、前記遮蔽部に磁力線を通過させる磁石部をさらに有していることを特徴とする請求項1に記載の質量分析装置。
- 前記磁石部は、前記遮蔽部の遮蔽面に平行、かつ前記二次電子増倍器を左手方向に見る方向に磁力線を通過させるように設けられていることを特徴とする請求項3に記載の質量分析装置。
- 遮蔽部の高さが、遮蔽部と照射範囲外周部との距離の1.5〜3倍であることを特徴とする請求項3又は4に記載の質量分析装置。
- 前記フィルター部もしくは前記遮蔽部の真空紫外光が照射される部分を導電性を維持しつつ黒色に着色することを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の質量分析装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015026012A JP6359470B2 (ja) | 2015-02-13 | 2015-02-13 | 質量分析装置 |
US14/980,824 US9697998B2 (en) | 2015-02-13 | 2015-12-28 | Mass spectrometer |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015026012A JP6359470B2 (ja) | 2015-02-13 | 2015-02-13 | 質量分析装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016149279A true JP2016149279A (ja) | 2016-08-18 |
JP6359470B2 JP6359470B2 (ja) | 2018-07-18 |
Family
ID=56621268
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015026012A Active JP6359470B2 (ja) | 2015-02-13 | 2015-02-13 | 質量分析装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9697998B2 (ja) |
JP (1) | JP6359470B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP4557266B2 (ja) | 2008-04-30 | 2010-10-06 | キヤノンアネルバ株式会社 | 質量分析装置及び質量分析方法 |
JP5390343B2 (ja) | 2008-12-26 | 2014-01-15 | キヤノンアネルバ株式会社 | 質量分析方法およびそれに用いる質量分析装置 |
JP5451360B2 (ja) | 2008-12-26 | 2014-03-26 | キヤノンアネルバ株式会社 | 質量分析装置及び質量分析方法 |
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JP5922256B2 (ja) | 2012-12-27 | 2016-05-24 | キヤノンアネルバ株式会社 | 質量分析装置 |
-
2015
- 2015-02-13 JP JP2015026012A patent/JP6359470B2/ja active Active
- 2015-12-28 US US14/980,824 patent/US9697998B2/en active Active
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---|---|
US9697998B2 (en) | 2017-07-04 |
US20160240364A1 (en) | 2016-08-18 |
JP6359470B2 (ja) | 2018-07-18 |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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