JP2016148788A - ミラー構造、mems光スキャナ、及びミラー構造の製造方法 - Google Patents
ミラー構造、mems光スキャナ、及びミラー構造の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2016148788A JP2016148788A JP2015025938A JP2015025938A JP2016148788A JP 2016148788 A JP2016148788 A JP 2016148788A JP 2015025938 A JP2015025938 A JP 2015025938A JP 2015025938 A JP2015025938 A JP 2015025938A JP 2016148788 A JP2016148788 A JP 2016148788A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mirror
- metal
- optical scanner
- frame
- layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Abstract
Description
増反射膜は、位相光学や幾何光学等の光学計算の数式を用いて、反射率曲線等の光学特性を予測することができる。
図1(a)はMEMS光スキャナの上面図である。図1(b)は図1(a)に示すA−A線における断面図である。図1(c)は図1(a)に示すC−C線における断面図である。
フレーム2の枠内の空隙部には、アーム3,4,5,6と、トーションバー13,14,15,16と、ミラー構造35を有するミラー30とが配置されている。なお、図1(a)において、符号8a,8bを付したコ字形状部と符号8c,8dを付したT字形状部は空隙部である。
アーム4は、一端側がフレーム2に固定され、他端側がトーションバー14の一端側に接続されている。
アーム5は、一端側がフレーム2に固定され、他端側がトーションバー15の一端側に接続されている。
アーム6は、一端側がフレーム2に固定され、他端側がトーションバー16の一端側に接続されている。
アーム5及びアーム6は、一対のアームを構成し、中心線A−Aを線対称として対向配置されている。
アーム4とアーム6は、回動中心軸B−Bを線対称として対向配置されている。
トーションバー14は、一端側がアーム4に接続され、他端側がミラー30に接続されている。
トーションバー15は、一端側がアーム5に接続され、他端側がミラー30に接続されている。
トーションバー16は、一端側がアーム6に接続され、他端側がミラー30に接続されている。
圧電素子24は、アーム4上の領域に形成されている。
圧電素子25は、アーム5上の領域に形成されている。
圧電素子26は、アーム6上の領域に形成されている。
MEMS光スキャナ1は、例えばSOI(Silicon on Insulator)ウエハを半導体製造技術を用いて微細加工することで作製することができる。
密着層の材料として例えばTiを用いることができる。電極層の材料として例えばPt,Ir,Au,Ag,Cu,Al等の金属材料を用いることができる。
自然酸化の条件は特に限定されるものではなく、金属反射膜31の構成材料や膜厚、及び環境条件等によって適宜設定されるものである。
十分な増反射効果を得るためには、低屈折率材料からなる誘電体層と高屈折率材料からなる誘電体層との積層を1組としたとき、2組〜3組の積層構造とすることが好ましい。
例えば、増反射膜40を構成する材料の屈折率や消衰係数等の光学定数を基本データとして光学計算を行うことにより、膜厚等の膜構成を設計することができる。
発振器64は、生成された駆動信号を、切り替えスイッチ80を介して、MEMS光スキャナ1の圧電素子23,24と位相比較器61とドットクロック発生部90とに供給する。
位相比較器61は、例えば駆動信号及び検出信号をそれぞれ方形波に変形させてPLL(Phase Locked Loop)回路で比較する。
ドットクロック発生部90は、駆動信号となる交流信号を画素数の分だけPLL回路で分割して生成する。
Tiの含有率が2%のAl合金からなるターゲットを用いて真空中でスパッタリングを行うことにより、ミラー30のシリコン層51上に、厚さが200μmの金属反射膜31が形成される。
比較例1のミラーは、実施例のミラーに対して、酸化層32が形成されないように真空を維持した状態で、金属反射膜31上に増反射膜40が形成されている点で実施例と相違し、それ以外は実施例と同じである。
比較例2のミラーは金属反射膜31のみが形成されている。
上述した実施例、比較例1、及び比較例2のミラーに、中心波長が450nmの青色レーザ光、中心波長が550nmの緑色レーザ光、及び、中心波長が630nmの赤色レーザ光をそれぞれ照射し、各ミラーの反射率を測定した結果を図4に示す。なお、図4中に記載されている予測値は、光学計算によって算出された反射率である。
31 金属反射膜
32 酸化層
35 ミラー構造
40 増反射膜
41〜44 誘電体層
51 基部(シリコン層)
Claims (3)
- 基部上に形成され、所定の金属を含む金属反射膜と、
前記金属反射膜の表層が酸化されることにより形成され、前記所定の金属の酸化物を含む酸化層と、
前記酸化層上に形成され、互いに屈折率の異なる誘電体層が交互に積層された積層構造を有する増反射膜と、
を備えることを特徴とするミラー構造。 - 枠状のフレームと、
前記フレームの枠内に配置され、前記フレームに一端側が固定されたアームと、
前記フレームの枠内に配置され、前記アームの他端側に一端側が接続されたトーションバーと、
前記フレームの枠内に配置され、前記トーションバーの他端側に接続されたミラーと、
を備え、
前記ミラーは、
基部上に形成され、所定の金属を含む金属反射膜と、
前記金属反射膜の表層が酸化されることにより形成され、前記所定の金属の酸化物を含む酸化層と、
前記酸化層上に形成され、互いに屈折率の異なる誘電体層が交互に積層された積層構造を有する増反射膜と、
を含むミラー構造を有することを特徴とするMEMS光スキャナ。 - 基部上に、所定の金属を含む金属反射膜を形成し、
前記金属反射膜の表層を酸化させ、前記所定の金属の酸化物を含む酸化層を形成し、
前記酸化層上に、互いに屈折率の異なる誘電体層を交互に積層させて増反射膜を形成する、
ことを特徴とするミラー構造の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015025938A JP6507699B2 (ja) | 2015-02-13 | 2015-02-13 | ミラー構造、mems光スキャナ、及びミラー構造の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015025938A JP6507699B2 (ja) | 2015-02-13 | 2015-02-13 | ミラー構造、mems光スキャナ、及びミラー構造の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016148788A true JP2016148788A (ja) | 2016-08-18 |
JP6507699B2 JP6507699B2 (ja) | 2019-05-08 |
Family
ID=56687926
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015025938A Active JP6507699B2 (ja) | 2015-02-13 | 2015-02-13 | ミラー構造、mems光スキャナ、及びミラー構造の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6507699B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11892660B2 (en) | 2020-03-19 | 2024-02-06 | Ricoh Company, Ltd. | Reflecting element, light deflecting device, image projection device, optical writing device, object recognition device, mobile object, and head-mounted display |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20040130766A1 (en) * | 2002-11-08 | 2004-07-08 | Dewa Andrew Steven | Multilayered oscillating functional surface |
JP2006210715A (ja) * | 2005-01-28 | 2006-08-10 | Canon Inc | 紫外域用ミラー及びそれを有する露光装置 |
JP2010217397A (ja) * | 2009-03-16 | 2010-09-30 | Panasonic Electric Works Co Ltd | マイクロミラー素子 |
-
2015
- 2015-02-13 JP JP2015025938A patent/JP6507699B2/ja active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20040130766A1 (en) * | 2002-11-08 | 2004-07-08 | Dewa Andrew Steven | Multilayered oscillating functional surface |
JP2006210715A (ja) * | 2005-01-28 | 2006-08-10 | Canon Inc | 紫外域用ミラー及びそれを有する露光装置 |
JP2010217397A (ja) * | 2009-03-16 | 2010-09-30 | Panasonic Electric Works Co Ltd | マイクロミラー素子 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11892660B2 (en) | 2020-03-19 | 2024-02-06 | Ricoh Company, Ltd. | Reflecting element, light deflecting device, image projection device, optical writing device, object recognition device, mobile object, and head-mounted display |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6507699B2 (ja) | 2019-05-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5929691B2 (ja) | 光走査素子及び表示装置 | |
EP3070939A1 (en) | Speckle suppression unit and laser projection imaging device having same | |
JP6244945B2 (ja) | 電子機器 | |
US9335543B2 (en) | Optical scanner, image display device, head mount display, and heads-up display | |
US20120275000A1 (en) | Optical scanning device | |
US10705258B2 (en) | Antireflection film, optical device, and production method for antireflection film | |
US8830550B2 (en) | Light deflector, method of manufacturing light deflector, and image display device | |
US11598950B2 (en) | Thermally actuated cantilevered beam optical scanner | |
WO2017051681A1 (ja) | 圧電素子及びその製造方法、圧電アクチュエータ | |
JP2016151681A (ja) | Mems光スキャナ | |
KR100815352B1 (ko) | 후단 렌즈계의 개구수가 개선된 광변조기를 이용한디스플레이 장치 | |
Hofmann et al. | Wafer-level vacuum-packaged two-axis MEMS scanning mirror for pico-projector application | |
JP6236987B2 (ja) | 光走査装置及び光走査ユニット | |
US9223130B2 (en) | Light scanner, image display device, head-mounted display, and method of manufacturing light scanner | |
JP6507699B2 (ja) | ミラー構造、mems光スキャナ、及びミラー構造の製造方法 | |
Cho et al. | Electrostatic 1D microscanner with vertical combs for HD resolution display | |
US7382518B2 (en) | Optical modulator | |
US8854711B2 (en) | Microelectromechanical system with reduced speckle contrast | |
KR100781367B1 (ko) | 광반사층 상에 보호막을 갖는 광변조기 소자 | |
JP2006293176A (ja) | 光制御素子およびその製造方法、並びに表示装置 | |
JP2004102150A (ja) | 光学mems素子、その作製方法、glvデバイス、及びレーザディスプレイ | |
JP2014048327A (ja) | 光偏向器及びこれを用いる画像表示装置、光偏向器の製造方法 | |
WO2020218585A1 (ja) | マイクロミラーデバイス | |
JP5168735B2 (ja) | 光学デバイス、光スキャナ及び画像形成装置 | |
US20200319451A1 (en) | Display device with compact scanning mirror |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20171004 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20180620 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180724 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180910 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190305 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190318 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6507699 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |