JP2016148577A - レーザ測定装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】測定用レーザ光源1が出射した測定光と、照準用レーザ光源2が出射した照準光とを、ダイクロイックミラー3で波長合成した上で、ビームスプリッタ5で二つのビームに分岐した光の一方を、AOM6に入射する。AOM6は、所望のシフト周波数fsの信号と周波数fjの信号でAOM6を駆動される。周波数fjは、周波数fsの信号で周波数シフトされる測定光の回折角と一致する回折角を照準光に与える周波数とする。
【選択図】図1
Description
すなわち、音響光学素子の回折角はレーザ光の波長に依存するため、同軸状に合成した近赤外のレーザ光と可視光のレーザ光の光路中に、上述のように所定のシフト周波数で駆動した音響光学素子を配置すると、波長の異なる近赤外のレーザ光と可視光のレーザ光の光軸がずれてしまう。そして、このことがレーザ測定装置の設計上の制限となり、測定に可視光のレーザ光のみを用いる場合に比べ、大幅な構成の付加が必要となることがある。すなわち、たとえば、測定のためにAOMで周波数をシフトした近赤外のレーザ光と、周波数をシフトしていない近赤外のレーザ光との二つの近赤外のレーザ光を測定のために出射するレーザ測定装置においては、出射する二つの近赤外のレーザ光のそれぞれについて、近赤外のレーザ光に可視光のレーザ光を合成する構成を付加する必要が生じる。
以上のようなレーザ測定装置によれば、測定光に与える周波数シフトの周波数の第1信号と、第1信号による測定光の回折角と等しい回折角を照準光に与える第2信号との二つの周波数の信号で音響光学素子を駆動することにより、測定光の所望の周波数分の周波数シフトを、波長合成された測定光と照準光との同軸状態を維持したまま行うことができる。
図1に、本実施形態に係るレーザドップラ速度計の構成を示す。
図示するようにレーザドップラ速度計は、測定用レーザ光源1、照準用レーザ光源2、ダイクロイックミラー3、コリメータレンズ4、ビームスプリッタ5、AOM(音響光学素子)6、ミラー7、対物レンズ8、光検出器9、計測装置10を備えている。
ここで、測定用レーザ光源1は、計測装置10によって駆動され、近赤外レーザ光を測定光として出射する。測定用レーザ光源1が出射する近赤外レーザ光の波長は、1400nmから2600nmまでのアイセーフレーザと呼ばれるレーザの波長範囲の波長を用いる。以下では、測定光として波長1550nmの近赤外レーザ光を用いるものとして説明を行う。
このようなレーザ測定装置の構成において、測定用レーザ光源1から出射された測定光と、照準用レーザ光源2から出射された照準光とは、ダイクロイックミラー3に入射し、同軸状に波長合成されコリメータレンズ4に出射される
コリメータレンズ4は、ダイクロイックミラー3から入射する測定光と照準光とを平行光束に変換してビームスプリッタ5に出射する。
ここで、このAOM6の構成と作用については後に詳述する。
そして、ミラー7は、AOM6から入射する第2レーザ光群を反射し被測定物100に照射する。
ここで、ビームスプリッタ5から出射された第1レーザ光群とミラー7から出射された第2レーザ光群は、被測定物100の同じ領域に照射する。また、ビームスプリッタ5から出射された第1レーザ光群は、被測定物100の移動方向と垂直な方向から被測定物100の正の移動方向にθ傾けた方向から被測定物100を照射し、ミラー7から出射された第2レーザ光群は、被測定物100の移動方向と垂直な方向から被測定物100の負の移動方向にθ傾けた方向から被測定物100を照射する。なお、移動方向の正負は、測定の目的に応じて任意に設定してよい。
次に、対物レンズ8は、被測定物100で散乱された第1レーザ光群と第2レーザ光群の散乱光を光検出器9に集光し、光検出器9は集光された散乱光の測定光の成分を光電変換し、測定光の成分の強度を表す検出信号を計測装置10に出力する。
ここで、第1レーザ光群の測定光の散乱光の周波数と第2レーザ光群の測定光の散乱光の周波数には、被測定物100の移動速度に応じた大きさのドップラーシフトが生じており、光検出器9が出力する検出信号には、ドップラーシフトの大きさと、AOM6における測定光のシフト周波数fsとに応じた周波数のビートが生じている。
次に、上述したAOM6の構成と作用について説明する。
図2aに示すように、AOM6は、二酸化テルル (TeO2) 等の結晶である音響光学媒体61と、音響光学媒体61に接着や蒸着により固着されたトランデューサ62とを有し、トランデューサ62は計測装置10から入力する駆動信号を超音波信号に変換し音響光学媒体61中に伝搬させる。
また、等方性AOMの場合は、入射光と回折光間の角度θ1は、光の波長をλ、駆動信号の周波数をfa、音響光学媒体61中の音の速度をVaとした場合、
θ1 = (λ×fa)/ 2Va
によって表されることが知られている。また、異方性AOMの場合においても、同様に入射光と回折光間の角度は、光の波長と駆動信号の周波数に依存する。したがって、任意の波長の入射光について、回折光の出射角は、駆動信号の周波数faの大きさによって任意の角度に設定することができる。
また、適切な周波数fjを駆動信号として、照準光をAOM6で回折させることにより、シフト周波数fsを駆動信号として測定光をAOM6で回折させた場合の測定光の出射角と同じ出射角で照準光をAOM6から出射させることができる。
そこで、本実施形態では、シフト周波数fsと周波数fjとを加算した信号を駆動信号としてトランデューサ62を駆動する。そして、これにより、AOM6で第2レーザ光群の測定光に周波数fsの周波数シフトを与えると共に、周波数fsの周波数シフトを与えられた測定光と同軸に、第2レーザ光群の照準光をAOM6から出射させる。
また、周波数fjによる周波数シフトを与えられた測定光と、周波数fsによる周波数シフトを与えられた照準光とは、周波数fsの周波数シフトを与えられた測定光と出射角が異なるため、周波数fsの周波数シフトを与えられた測定光と、当該測定光の同軸の照準光のみを抽出してAOM6の出射光とすることができる。
ところで、以上の実施形態では、測定光と照準光の波長合成にダイクロイックミラー3を用いたが、照準光の波長合成には、ファイバ型WDM光カプラや、導波路型光カプラやダイクロイックキューブ(ダイクロイックプリズム)や、その他の波長合成器を用いるようにしてもよい。
Claims (3)
- レーザ光源が出射した波長が可視領域外のレーザ光である測定光を、当該測定光の周波数を所定の周波数シフトした上で被測定物に照射して測定を行うレーザ測定装置であって、
波長が可視領域内のレーザ光である照準光を出射する照準用レーザ光源と、
前記レーザ光源が出射した測定光と前記照準用レーザ光源が出射した照準光を同一光軸上に合成する波長合成器と、
前記波長合成器が測定光と照準光とを合成した光である合成光の光路中に配置された音響光学素子と、
前記音響光学素子に駆動信号を印加する駆動手段とを有し、
前記駆動手段は、前記駆動信号として、前記所定の周波数の信号である第1信号と、当該第1信号の周波数と異なる周波数の信号である第2信号とを前記音響光学素子に印加し、
前記第2信号の周波数は、前記第1信号によって前記音響光学素子において、周波数が前記所定の周波数がシフトされた前記合成光中の測定光が出射される方向に、前記合成光中の照準光を前記音響光学素子に回折させる周波数であることを特徴とするレーザ測定装置。
- レーザ光源が出射した波長が可視領域外のレーザ光である測定光を、当該測定光の周波数を所定の周波数シフトした上で被測定物に照射して測定を行うレーザ測定装置であって、
波長が可視領域内のレーザ光である照準光を出射する照準用レーザ光源と、
前記レーザ光源が出射した測定光と前記照準用レーザ光源が出射した照準光を同一光軸上に合成する波長合成器と、
前記合成光を第1分割光と第2分割光とに分割するビームスプリッタと、
前記第2分割光の光路中に配置された音響光学素子と、
前記音響光学素子に駆動信号を印加する駆動手段と、
前記第1分割光と、前記音響光学素子から出射された第2分割光とが、異なる方向から前記被測定物上に設定した照射領域に照射されるように、前記第1分割光と、前記音響光学素子から出射された第2分割光とのうちの少なくとも一方の進行方向を変化させる進路変更光学系と、
前記照射領域における前記測定光の散乱光の強度を検出し検出信号として出力する光検出器と、
前記検出信号のビート周波数に基づいて前記被測定物の移動速度を計測する計測部とを有し、
前記駆動手段は、前記駆動信号として、前記所定の周波数の信号である第1信号と、当該第1信号の周波数と異なる周波数の信号である第2信号とを前記音響光学素子に印加し、
前記第2信号の周波数は、前記第1信号によって前記音響光学素子において、周波数が前記所定の周波数シフトされた前記合成光中の測定光が出射される方向に、前記第2分割光中の照準光を前記音響光学素子に回折させる周波数であることを特徴とするレーザ測定装置。
- 請求項1または2記載のレーザ測定装置であって、
前記測定光は、1400nm以上2600nm以下の波長のレーザ光であることを特徴とするレーザ測定装置。
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