JP2016147815A - フルオロヨードアルカンの吸着処理方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 本発明の課題は、煩雑な操作を必要とすることなく、穏和な条件にて、フルオロヨードアルカンを吸着処理する方法を提供することにある。
【解決手段】 本発明の課題は、フルオロヨードアルカン、又はフルオロヨードアルカンと不活性ガスとの混合ガスとを、物理吸着剤と接触させることを特徴とする、フルオロヨードアルカンの吸着処理方法によって解決される。
【選択図】 図１
【解決手段】 本発明の課題は、フルオロヨードアルカン、又はフルオロヨードアルカンと不活性ガスとの混合ガスとを、物理吸着剤と接触させることを特徴とする、フルオロヨードアルカンの吸着処理方法によって解決される。
【選択図】 図１
Description
本発明は、フルオロヨードアルカン（分子内にフッ素とヨウ素を有する炭化水素化合物）を吸着処理する方法に関する。
近年、半導体や電子部品等の分野において、大気寿命が短く、地球温暖化係数の低い、エッチングやクリーニング用材料として、フルオロヨードアルカン、例えば、トリフルオロヨードメタンなどが注目されている。
また、トリフルオロブロモメタンの代替となる可能性がある消火剤、界面活性剤、化学物質および医薬製造においてトリフルオロメチル基を導入するためのフッ素を含む中間体化合物、ならびに、ある種のハイドロフルオロカーボンとともにブレンドすることによって地球温暖化係数を低くした冷媒としても注目されている（例えば、特許文献１参照）。
また、トリフルオロブロモメタンの代替となる可能性がある消火剤、界面活性剤、化学物質および医薬製造においてトリフルオロメチル基を導入するためのフッ素を含む中間体化合物、ならびに、ある種のハイドロフルオロカーボンとともにブレンドすることによって地球温暖化係数を低くした冷媒としても注目されている（例えば、特許文献１参照）。
前記フルオロヨードアルカンを処理する方法としては、例えば、当該ガスをアルミナとアルカリ土類金属化合物を含有する分解反応剤により分解した後に、アルカリ土類金属の塩として固定できないヨウ素をモレキュラーシーブで吸着して除去する方法が知られている（例えば、特許文献２参照）。
しかしながら、特許文献２の方法では、２００℃以上の高温でフルオロヨードアルカンガスの分解を行った後に、更に吸着剤を用いて処理しなければならず、工程数が多く、処理が煩雑となるなどの問題があった。そのため、より簡便な操作で、直接的にフルオロヨードアルカンを処理する方法の提案が望まれていた。
即ち、本発明の課題は、煩雑な操作を必要とすることなく、穏和な条件にて、フルオロヨードアルカンを吸着処理する方法を提供することにある。
本発明の課題は、フルオロヨードアルカン、又はフルオロヨードアルカンと不活性ガスとの混合ガスを物理吸着剤と接触させる、フルオロヨードアルカンの処理方法によって解決される。
本発明により、煩雑な操作を必要とすることなく、穏和な条件にて、フルオロヨードアルカンを吸着処理することができる。
（フルオロヨードアルカン）
本発明のフルオロヨードアルカンとは、分子内にフッ素とヨウ素を有する炭化水素化合物を示すが、具体的には、例えば、トリフルオロヨードメタン、ジフルオロジヨードメタン、フルオロトリヨードメタン、ジフルオロヨードメタン、フルオロヨードメタン、クロロジフルオロヨードメタン、クロロフルオロジヨードメタン、フルオロジヨードメタン、ペンタフルオロヨードエタン、テトラフルオロジヨードエタン、クロロテトラフルオロヨードエタン、クロロトリフルオロジヨードエタンなどが挙げられるが、好ましくはトリフルオロヨードメタンである。
なお、これらのフルオロヨードアルカンは、複数種が混合されていても良く、また不活性ガス（ヘリウム、アルゴン、窒素など）と混合・希釈されていても良い。
本発明のフルオロヨードアルカンとは、分子内にフッ素とヨウ素を有する炭化水素化合物を示すが、具体的には、例えば、トリフルオロヨードメタン、ジフルオロジヨードメタン、フルオロトリヨードメタン、ジフルオロヨードメタン、フルオロヨードメタン、クロロジフルオロヨードメタン、クロロフルオロジヨードメタン、フルオロジヨードメタン、ペンタフルオロヨードエタン、テトラフルオロジヨードエタン、クロロテトラフルオロヨードエタン、クロロトリフルオロジヨードエタンなどが挙げられるが、好ましくはトリフルオロヨードメタンである。
なお、これらのフルオロヨードアルカンは、複数種が混合されていても良く、また不活性ガス（ヘリウム、アルゴン、窒素など）と混合・希釈されていても良い。
（物理吸着剤）
物理吸着剤としては、例えば、活性炭、ゼオライト、シリカゲル、アルミナなどが挙げられるが、好ましくはゼオライトが使用される。物理吸着剤の種類や形状は特に制限されるものではなく、例えば、繊維状、ハニカム状、円柱、ペレット状、破砕状、粒状、または粉末状のものを使用することができる。
物理吸着剤としては、例えば、活性炭、ゼオライト、シリカゲル、アルミナなどが挙げられるが、好ましくはゼオライトが使用される。物理吸着剤の種類や形状は特に制限されるものではなく、例えば、繊維状、ハニカム状、円柱、ペレット状、破砕状、粒状、または粉末状のものを使用することができる。
（フルオロヨードアルカンの吸着処理）
本発明は、フルオロヨードアルカン、又はフルオロヨードアルカンと不活性ガスとの混合ガスとを、物理吸着剤と接触させることによって行われるが、好ましくは物理吸着剤を備えた容器に、フルオロヨードアルカン、又はフルオロヨードアルカンと不活性ガスとの混合ガスを供給する方法によって行われる。
本発明は、フルオロヨードアルカン、又はフルオロヨードアルカンと不活性ガスとの混合ガスとを、物理吸着剤と接触させることによって行われるが、好ましくは物理吸着剤を備えた容器に、フルオロヨードアルカン、又はフルオロヨードアルカンと不活性ガスとの混合ガスを供給する方法によって行われる。
（供給速度）
その際の供給速度は、フルオロヨードアルカンの濃度や、物理吸着剤の量、容器の大きさなどにより適宜調節する。
その際の供給速度は、フルオロヨードアルカンの濃度や、物理吸着剤の量、容器の大きさなどにより適宜調節する。
（吸着処理温度）
吸着処理温度は、好ましくは５〜６０℃、更に好ましくは１０〜５０℃、より好ましくは１５〜４０℃である。この範囲とすることで、物理吸着剤への吸着量が損なわれることがない。
吸着処理温度は、好ましくは５〜６０℃、更に好ましくは１０〜５０℃、より好ましくは１５〜４０℃である。この範囲とすることで、物理吸着剤への吸着量が損なわれることがない。
なお、吸着処理がなされているかどうかは、容器出口から排出されるガス中のフルオロヨードアルカンの濃度を測定することによって確認することができる。
次に、実施例を挙げて本発明を具体的に説明するが、本発明の範囲はこれらに限定されるものではない。なお、容器出口のガス中のトリフルオロヨードメタンの濃度は、ガス検知器（バイオニクス機器社製）を用いて確認した。
実施例１（トリフルオロヨードメタンの処理）
ステンレス製カラム（内径５４．９ｍｍ；断面積２３．７ｃｍ２）に、ゼオライト（東ソー社製ＩＧ７０１Ｃ）３００ｍｌ（２１４ｇ）を充填した。次いで、トリフルオロヨードメタンと窒素との混合ガス（トリフルオロヨードメタン濃度；０．４容量％）を５．００２Ｌ／ｍｉｎ．で供給した。なお、容器内のゼオライトの表面温度は２２．３〜２３．９℃を維持していた。
容器出口において、供給開始から４５０分経過した後もトリフルオロヨードメタンは、全く検出されなかった。即ち、約８．６Ｌのトリフルオロヨードメタンが吸着処理されたことになる。
なお、トリフルオロヨードメタンの破過流通量は３５．３質量％であった。
ステンレス製カラム（内径５４．９ｍｍ；断面積２３．７ｃｍ２）に、ゼオライト（東ソー社製ＩＧ７０１Ｃ）３００ｍｌ（２１４ｇ）を充填した。次いで、トリフルオロヨードメタンと窒素との混合ガス（トリフルオロヨードメタン濃度；０．４容量％）を５．００２Ｌ／ｍｉｎ．で供給した。なお、容器内のゼオライトの表面温度は２２．３〜２３．９℃を維持していた。
容器出口において、供給開始から４５０分経過した後もトリフルオロヨードメタンは、全く検出されなかった。即ち、約８．６Ｌのトリフルオロヨードメタンが吸着処理されたことになる。
なお、トリフルオロヨードメタンの破過流通量は３５．３質量％であった。
比較例１（トリフルオロヨードメタンの処理）
ゼオライトの代わりに、酸化鉄を用いた以外は、実施例１と同様にしてトリフルオロヨードメタンの吸着処理を行った。
その結果、トリフルオロヨードメタンはほとんど処理されなかった。
ゼオライトの代わりに、酸化鉄を用いた以外は、実施例１と同様にしてトリフルオロヨードメタンの吸着処理を行った。
その結果、トリフルオロヨードメタンはほとんど処理されなかった。
以上の結果より、煩雑な操作を必要とすることなく、穏和な条件にて、フルオロヨードアルカンを吸着処理することができることが分かった。
本発明によりフルオロヨードアルカン（分子内にフッ素とヨウ素を有する炭化水素化合物）を処理する方法を提供することができる。
１ 窒素ガス
２ トリフルオロヨードメタンガス
３ 吸着剤
４ ガス検知器
２ トリフルオロヨードメタンガス
３ 吸着剤
４ ガス検知器
Claims (3)
- フルオロヨードアルカン、又はフルオロヨードアルカンと不活性ガスとの混合ガスとを、物理吸着剤と接触させることを特徴とする、フルオロヨードアルカンの吸着処理方法。
- 物理吸着剤がゼオライトである、請求項１記載のフルオロヨードアルカンの吸着処理方法。
- フルオロヨードアルカンがトリフルオロヨードメタンである、請求項１〜２のいずれか１項に記載のフルオロヨードアルカンの吸着処理方法。
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|---|---|---|---|
| JP2015024263A JP2016147815A (ja) | 2015-02-10 | 2015-02-10 | フルオロヨードアルカンの吸着処理方法 |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2015024263A JP2016147815A (ja) | 2015-02-10 | 2015-02-10 | フルオロヨードアルカンの吸着処理方法 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
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Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108675914A (zh) * | 2018-06-19 | 2018-10-19 | 宇极（廊坊）新材料有限公司 | 一种制备高纯三氟碘甲烷的方法 |
| WO2021044613A1 (ja) * | 2019-09-06 | 2021-03-11 | 東芝キヤリア株式会社 | 冷凍サイクル装置 |
| CN114307517A (zh) * | 2021-12-31 | 2022-04-12 | 天津大学浙江绍兴研究院 | 惰性气体保护的高纯全氟碳电子特气吸附纯化方法 |
Citations (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0812602A (ja) * | 1994-06-23 | 1996-01-16 | Showa Denko Kk | トリフルオロメタンの精製法 |
| JP2000135412A (ja) * | 1998-08-19 | 2000-05-16 | Toshiba Corp | ガス回収装置及びガス回収方法 |
| JP2004249285A (ja) * | 2003-01-29 | 2004-09-09 | Showa Denko Kk | フッ素化合物の分解方法 |
| JP2005021861A (ja) * | 2003-07-02 | 2005-01-27 | Nippo Kagaku Kk | ヨウ化アルキルの回収方法およびヨウ化アルキル回収装置 |
| JP2007288820A (ja) * | 2006-04-12 | 2007-11-01 | Japan Ae Power Systems Corp | ガス絶縁電気機器 |
| JP2007300717A (ja) * | 2006-04-28 | 2007-11-15 | Toshiba Corp | ガス絶縁電気機器 |
| JP2009266662A (ja) * | 2008-04-25 | 2009-11-12 | Tokyo Denki Univ | ガス開閉器 |
| JP2009543793A (ja) * | 2006-07-12 | 2009-12-10 | ハネウェル・インターナショナル・インコーポレーテッド | フルオロカーボン製品からｈｆｃ−２３を除去するためのモレキュラーシーブの使用 |
| JP2010509486A (ja) * | 2006-11-14 | 2010-03-25 | ハネウェル・インターナショナル・インコーポレーテッド | ヨウ素およびヨウ化物を除去する方法 |
| JP2010201357A (ja) * | 2009-03-04 | 2010-09-16 | Central Res Inst Of Electric Power Ind | 使用済み吸着剤の処理方法 |
| JP2011194337A (ja) * | 2010-03-19 | 2011-10-06 | Ube Industries Ltd | ハイドロフルオロカーボン除去剤、およびハイドロフルオロカーボンの除去方法 |
| US20130283846A1 (en) * | 2012-04-26 | 2013-10-31 | Lawrence Livermore National Security, Llc | Adsorption cooling system using metal organic frameworks |
-
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Patent Citations (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0812602A (ja) * | 1994-06-23 | 1996-01-16 | Showa Denko Kk | トリフルオロメタンの精製法 |
| JP2000135412A (ja) * | 1998-08-19 | 2000-05-16 | Toshiba Corp | ガス回収装置及びガス回収方法 |
| JP2004249285A (ja) * | 2003-01-29 | 2004-09-09 | Showa Denko Kk | フッ素化合物の分解方法 |
| JP2005021861A (ja) * | 2003-07-02 | 2005-01-27 | Nippo Kagaku Kk | ヨウ化アルキルの回収方法およびヨウ化アルキル回収装置 |
| JP2007288820A (ja) * | 2006-04-12 | 2007-11-01 | Japan Ae Power Systems Corp | ガス絶縁電気機器 |
| JP2007300717A (ja) * | 2006-04-28 | 2007-11-15 | Toshiba Corp | ガス絶縁電気機器 |
| JP2009543793A (ja) * | 2006-07-12 | 2009-12-10 | ハネウェル・インターナショナル・インコーポレーテッド | フルオロカーボン製品からｈｆｃ−２３を除去するためのモレキュラーシーブの使用 |
| JP2010509486A (ja) * | 2006-11-14 | 2010-03-25 | ハネウェル・インターナショナル・インコーポレーテッド | ヨウ素およびヨウ化物を除去する方法 |
| JP2009266662A (ja) * | 2008-04-25 | 2009-11-12 | Tokyo Denki Univ | ガス開閉器 |
| JP2010201357A (ja) * | 2009-03-04 | 2010-09-16 | Central Res Inst Of Electric Power Ind | 使用済み吸着剤の処理方法 |
| JP2011194337A (ja) * | 2010-03-19 | 2011-10-06 | Ube Industries Ltd | ハイドロフルオロカーボン除去剤、およびハイドロフルオロカーボンの除去方法 |
| US20130283846A1 (en) * | 2012-04-26 | 2013-10-31 | Lawrence Livermore National Security, Llc | Adsorption cooling system using metal organic frameworks |
Non-Patent Citations (2)
| Title |
|---|
| SANABIA, J E ET AL.: "CF3I on a silicon surface: Adsorption, temperature-programmed desorption, and electron-stimulated de", JOURNAL OF CHEMICAL PHYSICS, vol. 116, no. 23, JPN7018003905, 15 June 2002 (2002-06-15), pages 10402 - 10410, ISSN: 0003919543 * |
| YAN, XIAO QING ET AL.: "Halogen bonding: A new retention mechanism for the solid phase extraction of perfluorinated iodoalka", ANALYTICA CHIMICA ACTA, vol. 753, JPN6018044974, 13 November 2012 (2012-11-13), pages 48 - 56, ISSN: 0004040031 * |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108675914A (zh) * | 2018-06-19 | 2018-10-19 | 宇极（廊坊）新材料有限公司 | 一种制备高纯三氟碘甲烷的方法 |
| WO2021044613A1 (ja) * | 2019-09-06 | 2021-03-11 | 東芝キヤリア株式会社 | 冷凍サイクル装置 |
| CN114307517A (zh) * | 2021-12-31 | 2022-04-12 | 天津大学浙江绍兴研究院 | 惰性气体保护的高纯全氟碳电子特气吸附纯化方法 |
| CN114307517B (zh) * | 2021-12-31 | 2022-10-11 | 天津大学浙江绍兴研究院 | 惰性气体保护的高纯全氟碳电子特气吸附纯化方法 |
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