JP2016145738A - ガス濃度測定装置及びガス濃度測定方法 - Google Patents
ガス濃度測定装置及びガス濃度測定方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2016145738A JP2016145738A JP2015022495A JP2015022495A JP2016145738A JP 2016145738 A JP2016145738 A JP 2016145738A JP 2015022495 A JP2015022495 A JP 2015022495A JP 2015022495 A JP2015022495 A JP 2015022495A JP 2016145738 A JP2016145738 A JP 2016145738A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- output value
- gas sensor
- gas
- semiconductor
- poisoning
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Abstract
Description
本発明に係るガス濃度測定装置は、検知対象となるガス成分を検知する半導体式ガスセンサを備え、その出力値に基づいて当該ガス成分の濃度を測定するガス濃度測定装置であって、半導体式ガスセンサのシリコーン被毒度を判定する被毒度判定手段と、判定されたシリコーン被毒度に対応する補正係数Cを算出する補正係数算出手段と、補正係数Cを用いて、半導体式ガスセンサの出力値を補正する出力値補正手段と、補正された出力値に基づいてガス濃度を算出するガス濃度算出手段とを備えるものである。
[式1]
補正出力値=出力値/補正係数C
本発明に係るガス濃度測定方法は、半導体式ガスセンサのシリコーン被毒度(被曝レベル)を判定する被毒度判定ステップと、判定されたシリコーン被毒度に対応する補正係数Cを算出する補正係数算出ステップと、補正係数Cを用いて、半導体式ガスセンサの出力値を補正する出力値補正ステップと、補正された出力値に基づいてガス濃度を算出するガス濃度算出ステップと、を包含する。
第1データテーブルを作成するために、半導体式ガスセンサに対する有機シリコーンガスの種々の曝露時間と、当該曝露時間のそれぞれに対応する安定化時間Tに関するデータを採取する。
[式2]
補正係数C=所定エタノール濃度のレベル1〜5のそれぞれにおける出力値/所定エタノール濃度のレベル0における出力値
以下、本発明の第2実施形態についての説明を行うが、上記第1実施形態と第2実施形態とは、被毒度判定手段及び被毒度判定手ステップのみが異なるものであるため、それ以外の用語の定義・構成については説明を省略する。
[式3]
勾配S=|(A1−A2)/(t1−t2)|
1.上述の曝露時間、被曝レベル、第1所定時間t1及び第2所定時間t2に関しては、上述の実施形態に限定されるものではなく、適宜任意に設定して良い。
2.本発明については、ガス検知器やガス警報器等のような半導体式ガスセンサを備える機器において広く適用することができる。特にガス検知器については、携帯用及び定置式のいずれかを問わずに適用することができるが、携帯用ガス検知器がより好適である。
3.上述の被毒度判定手段及び被毒度判定ステップによる被曝レベルの判定については例えば、バンプテスト(機能検査)を行う際などの非使用時に実施するようにしても良いし、あるいは、検知対象となるガス成分の濃度を実際に現場で測定する直前に実施するようにしても良い。このように被曝レベルの判定を予め終えておくことによって、より迅速かつスムーズに現場でガス成分濃度を測定することが可能となり、いち早く作業者に警報を出すように構成することもできる。
t1 第1所定時間
t2 第2所定時間
A1 第1出力値
A2 第2出力値
S 勾配
Claims (6)
- 半導体式ガスセンサを備えるガス濃度測定装置において、
前記半導体式ガスセンサのシリコーン被毒度を判定する被毒度判定手段と、
判定されたシリコーン被毒度に対応する補正係数を算出する補正係数算出手段と、
前記補正係数を用いて、前記半導体式ガスセンサの出力値を補正する出力値補正手段と、
補正された出力値に基づいてガス濃度を算出するガス濃度算出手段と、を備えることを特徴とするガス濃度測定装置。 - 前記被毒度判定手段が、前記半導体式ガスセンサの出力値の安定化時間によってシリコーン被毒度を判定することを特徴とする請求項1に記載のガス濃度測定装置。
- 前記被毒度判定手段が、前記半導体式ガスセンサの出力値の安定化時間までの第1所定時間と第2所定時間のそれぞれに出力された第1出力値と第2出力値との差によってシリコーン被毒度を判定することを特徴とする請求項1に記載のガス濃度測定装置。
- 半導体式ガスセンサのシリコーン被毒度を判定する被毒度判定ステップと、
判定されたシリコーン被毒度に対応する補正係数を算出する補正係数算出ステップと、
前記補正係数を用いて、前記半導体式ガスセンサの出力値を補正する出力値補正ステップと、
補正された出力値に基づいてガス濃度を算出するガス濃度算出ステップと、を包含することを特徴とするガス濃度測定方法。 - 前記被毒度判定ステップが、前記半導体式ガスセンサの出力値の安定化時間によってシリコーン被毒度を判定することを特徴とする請求項4に記載のガス濃度測定方法。
- 前記被毒度判定ステップが、半導体式ガスセンサの出力値の安定化時間までの第1所定時間と第2所定時間のそれぞれに前記半導体式ガスセンサから出力された第1出力値と第2出力値との差によってシリコーン被毒度を判定することを特徴とする請求項4に記載のガス濃度測定方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015022495A JP6558907B2 (ja) | 2015-02-06 | 2015-02-06 | ガス濃度測定装置及びガス濃度測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015022495A JP6558907B2 (ja) | 2015-02-06 | 2015-02-06 | ガス濃度測定装置及びガス濃度測定方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016145738A true JP2016145738A (ja) | 2016-08-12 |
JP6558907B2 JP6558907B2 (ja) | 2019-08-14 |
Family
ID=56686170
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015022495A Active JP6558907B2 (ja) | 2015-02-06 | 2015-02-06 | ガス濃度測定装置及びガス濃度測定方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6558907B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2018229921A1 (ja) * | 2017-06-15 | 2018-12-20 | 三菱電機株式会社 | 空気調和機 |
EP3623805A1 (en) * | 2018-09-13 | 2020-03-18 | STMicroelectronics Srl | A method of countering contamination in gas sensors, corresponding circuit, device and computer program product |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002286669A (ja) * | 2001-03-23 | 2002-10-03 | Tokyo Gas Co Ltd | 可燃性ガス検知器の検査方法及び装置 |
JP2002286668A (ja) * | 2001-03-26 | 2002-10-03 | New Cosmos Electric Corp | ガス検知出力補正方法およびガス検知装置 |
US20020168772A1 (en) * | 2001-05-11 | 2002-11-14 | Lloyd Greg A. | Method of detecting poisoning of a MOS gas sensor |
JP2003232760A (ja) * | 2002-02-06 | 2003-08-22 | Figaro Eng Inc | ガス検出方法とその装置 |
JP2016075532A (ja) * | 2014-10-03 | 2016-05-12 | 株式会社タニタ | ガス測定装置、ガス測定システム、ガス測定方法、およびガス測定プログラム |
-
2015
- 2015-02-06 JP JP2015022495A patent/JP6558907B2/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002286669A (ja) * | 2001-03-23 | 2002-10-03 | Tokyo Gas Co Ltd | 可燃性ガス検知器の検査方法及び装置 |
JP2002286668A (ja) * | 2001-03-26 | 2002-10-03 | New Cosmos Electric Corp | ガス検知出力補正方法およびガス検知装置 |
US20020168772A1 (en) * | 2001-05-11 | 2002-11-14 | Lloyd Greg A. | Method of detecting poisoning of a MOS gas sensor |
JP2003232760A (ja) * | 2002-02-06 | 2003-08-22 | Figaro Eng Inc | ガス検出方法とその装置 |
JP2016075532A (ja) * | 2014-10-03 | 2016-05-12 | 株式会社タニタ | ガス測定装置、ガス測定システム、ガス測定方法、およびガス測定プログラム |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2018229921A1 (ja) * | 2017-06-15 | 2018-12-20 | 三菱電機株式会社 | 空気調和機 |
JPWO2018229921A1 (ja) * | 2017-06-15 | 2019-12-19 | 三菱電機株式会社 | 空気調和機 |
EP3623805A1 (en) * | 2018-09-13 | 2020-03-18 | STMicroelectronics Srl | A method of countering contamination in gas sensors, corresponding circuit, device and computer program product |
US11391686B2 (en) | 2018-09-13 | 2022-07-19 | Stmicroelectronics S.R.L. | Method of countering contamination in gas sensors, corresponding circuit, device and computer program product |
US11788980B2 (en) | 2018-09-13 | 2023-10-17 | Stmicroelectronics S.R.L. | Apparatus of countering contamination in gas sensors including corresponding circuit |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6558907B2 (ja) | 2019-08-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4591105B2 (ja) | 校正方法 | |
US9884269B2 (en) | Methods and systems for selective hydrogen gas extraction for dissolved gas analysis applications | |
US20140360245A1 (en) | Functional test for gas sensors | |
JP4184007B2 (ja) | ガスセンサ特性補償装置およびガス濃度測定装置 | |
US20140284478A1 (en) | X-ray analyzing apparatus | |
KR20200125427A (ko) | 흡광 분석 장치, 및 흡광 분석 장치용 프로그램이 기록된 프로그램 기록 매체 | |
JP6558907B2 (ja) | ガス濃度測定装置及びガス濃度測定方法 | |
KR20220084165A (ko) | 가스 센서의 작동 및 교정 방법, 및 관련된 가스 센서 | |
JP5705700B2 (ja) | 酸素拡散係数測定装置および酸素拡散係数測定方法 | |
US11740175B2 (en) | Method and device for compensating temperature gradient effects | |
JP2016537641A5 (ja) | ||
US10732067B2 (en) | Detecting test gas fluctuations during sniffer leak searching | |
JP2019219428A (ja) | プロトコル適応コンピュータで制御される対象分析物の透過試験器 | |
JP2018532118A (ja) | ガスセンサによって測定ガス中のガス濃度を求めるための方法 | |
JP2010085339A (ja) | 接触燃焼式ガス検出素子を使用したガス検出装置のゼロ点調整方法 | |
US20120272718A1 (en) | Photoacoustic Sensor with Baseline and Span Correction | |
JP5844556B2 (ja) | 熱伝導式ガスセンサの出力補正方法およびガス検知器 | |
JP6004535B2 (ja) | ガス検出装置 | |
JP2005043296A (ja) | 熱重量測定方法 | |
JP5096081B2 (ja) | フッ素ガス測定方法及び装置 | |
US10571391B2 (en) | Method for adjusting a measuring device | |
US20230349877A1 (en) | Method and device for compensating temperature change rate dependent effects | |
CN117129371B (zh) | 面密度测量仪的标定方法、装置和可读存储介质 | |
US11112354B2 (en) | Method and device for measuring carbon concentration in silicon single crystal | |
CN113406268B (zh) | 用于调整供气系统的方法和具有调整功能的供气系统 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180202 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20181026 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20181204 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190116 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190702 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190716 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6558907 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |