JP2016142726A - 二次モアレ縞による顕微鏡走査ゆがみの影響を受けない変形測定方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】試料の変形前後に撮影した2枚の画像を合成し走査モアレ縞を重ねることで走査ゆがみの影響を除去して試料の変形を測定し得る二次モアレ縞(Secondary Moire)を利用する手法を開発した。
【選択図】図3
Description
マイクロ/ナノスケールでのモアレを利用した計測においてはレーザ走査顕微鏡(LSM)、走査電子顕微鏡(SEM)、原子間力顕微鏡(AFM)などが用いられてきた。これらの走査顕微鏡を利用した場合、図1に示すように走査線のゆがみが形成されるモアレ縞にゆがみをもたらし、変位計測に誤差が生じる。
また、デジタルモアレを利用することで画像処理による位相シフトを行い、AFMによる変形計測に走査ゆがみの影響を取り除いた報告がある(非特許文献1)。
また、格子とモアレ縞を利用した電子ビームのゆがみ較正により走査ゆがみの影響を除去する例がある(特許文献2)。
また装置を利用して試験片を微小に移動させて観察することで位相シフトした画像を得ることも出来るが、位相シフトするための装置が必要で高価になる。
このようなことから、走査ゆがみの影響を受けずに簡便な操作で、広い視野で変形計測できる手法の開発が望まれている。
二次モアレ模様は走査ゆがみの影響を受けないことから試験片の変形を正確に、高い精度で変形測定することができる。
1.(S1)試験片表面への規則格子作成(または材料に存在する規則構造を規則格子として利用してもよい)
2.(S2)走査ラインを格子ピッチ、または、その整数倍またはその数分の1に近い計測仕様に合わせたピッチで走査して変形前のモアレ縞を得る。
3.(S3)変形前のモアレにゆがみがあるか?(S31)なければ走査モアレ法を利用して変形を計測する。
変形前のモアレにゆがみがある場合は(S32)変形前のモアレ画像を保存して以下の流れで計測する。
4.(S4)試験片に負荷を掛けて、同様にして変形後のモアレ縞を得る。
5.(S5)変形前後のモアレ縞を重ねることで二次モアレ縞を作成する。
二次モアレ縞はその2枚のデジタル画像を加算、減算、乗算等して作製する。また、2枚の画像を重ねる手法を採用して保存されている顕微鏡内の画像を利用する事ができる。
6.(S6)二次モアレ縞から走査ゆがみの影響を受けない変形分布が計測される。Matlab(登録商標)などの画像解析ソフト、または図4に示すような顕微鏡に保存された走査イメージを利用することで容易に二次モアレ縞を得ることができる。
まず、二次モアレ縞を利用した変形計測が走査ゆがみの影響を受けない理由を説明する。
試験片に描写した格子ピッチ、およびy方向の走査ピッチをそれぞれp、およびTとすると、試験片格子と走査線の位相はそれぞれ2πy/p、および2πy/Tで表される。
y方向は走査線に垂直方向である。
試験片格子ピッチと走査ピッチが異なるときや両者の方向が異なるとき、図5に示すように試験片格子と走査ラインの干渉により位相2πy(1/p-1/T)の走査モアレ縞が現れる。
走査ピッチが変形前後も一定でTの場合、得られる走査モアレ縞の位相は変形前後でそれぞれ式(1)、および式(2)で表される。
また、試験片に描写した格子ピッチが走査ピッチの数倍、または数分の1になるような場合においても二次モアレを利用することで精度の高い変形計測が可能になる。
たとえば、格子ピッチが走査ピッチのn倍程度(nは整数または整分の1、例えば、n=2,3,4またはn=1/2,1/3,1/4等)のとき、得られる走査モアレ縞の位相は変形前後でそれぞれ式(4)、および(5)で表される。
変形前後の試験片格子像を重ね合わせたとき、重ね合わせモアレの位相は2πy(1/p1-1/p2)で与えられ、式(3)、(6)と一致することから、重ね合わせモアレと二次モアレは同じ位相を与えることが分かる。
しかし、重ね合わせモアレを得るためには格子ピッチを明瞭に観察できるまで倍率を上げる必要があるため、視野が狭くなる。
一方、二次モアレ縞を得るには格子ピッチを明瞭に観察しなくても格子ピッチよりも大きな寸法である走査モアレを観察できれば良いので、低倍率で広い視野での計測ができる利点がある。
表1に走査顕微鏡を利用したモアレ計測の特性を比較した。
第1に、二次モアレ縞は顕微鏡の走査ゆがみの影響を受けないので、二次モアレ縞を利用した変形計測は正確である。
イメージセンサを用いるデジタルカメラを利用した場合にも、レンズ収差によるゆがみの影響を除去できるので同様の効果が期待できる。
これは、試験片に描写した格子模様を観察する必要がないため、試験片に描写した格子ピッチの1000倍以上の大きさの視野での変形計測が可能になる。
また、スケール的には、顕微鏡観察ではナノからミクロンスケール、イメージセンサを用いるデジタルカメラを利用すればミリからメートルスケールの広範なレンジに渡って変形計測が可能である。
このような両者のピッチが大きく異なる場合でも、二次モアレ縞を得ることができ、二次モアレ縞から変形を計測することができる。
顕微鏡で試料の変形前後を撮影した画像は、その印刷画像である紙メディアをスキャンして情報処理装置に取り込んでもよいし、直接出力インターフェース(共有の外部記憶装置を含む)を備えた顕微鏡であれば直接取り込んでから、モアレ処理してもよい。
図8(a)はSi基板の上に2ミクロンピッチの格子を電子ビームリソグラフィで描写した写真で、図8(b)は変形前に走査ピッチ1.925ミクロンのLSMから得られた走査モアレ縞、同図8(c)は変形後に(試料をわずかに回転して移動した、実施例2および実施例3における変形も同様)同じピッチで得られた走査モアレ縞を示す。
また、図9(b)、(c)に図8(b)、(c)の画像の各画素のグレー値のデジタル加算、減算、または乗算処理から得られる二次モアレ縞を示す。
図9に示した3つの二次モアレ縞は同じピッチを有しており、変形解析に利用することができる。
図10(a)に0.8ミクロンピッチの格子を描写したSi基板の写真を示す。
この試験片に走査ピッチ0.385ミクロンのLSMから得られた走査モアレ縞を同図(b)に示す。
この場合、規則格子の走査モアレ縞なので、同じ模様であるべきであるが、観察されるモアレ縞は模様が変化している。特に四角で囲んだ領域に異なる模様変化があり、走査モアレがゆがんでいることがわかる。
図12(a)に3.6ミクロンピッチの格子をCFRPにナノインプリントリソグラフィ法で転写した写真を示す。
この試験片変形前後の走査ピッチ3.85ミクロンのLSMで観察された走査モアレ縞を図12(b)、および(c)に示す。このとき格子ピッチと走査ピッチはほぼ等しい。
このような走査モアレ縞のゆがみは、変形計測において大きな誤差を与えることから、これらのゆがんだ走査モアレ縞から正確に変形分布を計測することはできない。
また、本実施例の画像処理は、パーソナルコンピューターにおいてプログラムおよび画像処理ツールを用いて行ったが、当該処理手段を備える走査型顕微鏡装置上で行ってもよいし、また、そのプログラム等を分割して走査型顕微鏡装置とパーソナルコンピューターで協同して行ってもよい。
具体的には材料、構造の変形を利用した力学特性評価、界面近傍の変形・損傷挙動の解明、工業材料の破壊機構解明などに役立つ。
1.力学特性、損傷挙動の解明
提案手法はヤング率、ポアソン比、弾性限、降伏強度、破断強度などの力学時特性評価、および応力-ひずみ線図を取得するのに有用である。また様々な形態による負荷(たとえば力学的、電気的、熱的など)条件下での層間はく離、座屈、き裂などの損傷進展の評価に利用することができる。
強度化、高靭化の効果を添加する前後の変形挙動を調べることにより、定量的にこれらの効果を評価することができる。またそれにより効果を最大にする最適な添加材料、界面、構造を決定することができる。
熱や加工を利用した応力緩和手法を利用することで本手法から様々な材料の残留ひずみ、応力分布の評価が可能になる。また残留ひずみ、応力状態を評価することで潜在的に壊れやすい箇所を同定できる。
2 本来あるべき走査ライン
3 歪んだモアレ縞
4 走査ライン
5 規則格子
6 走査モアレ縞
7 変形前の走査モアレ縞
8 変形後の走査モアレ縞
9 二次モアレ縞
10 変形前の格子
11 変形後の格子
12 重ねあわせモアレ縞
13 二次モアレ縞縁
14 顕微鏡
15 試料台
16 試料
17 格子
18 熱負荷
19 引張負荷
20 圧縮負荷
21 3点曲げ負荷
22 移動・回転負荷
23 コンピュータ(情報処理装置(表示装置を含む))
Claims (9)
- 走査型顕微鏡を用いて撮像したモアレ縞画像に基づく変形計測方法であって、
その表面に計測仕様に基づく規則格子を備えた試料を準備して、
変形前の該試料の規則格子のピッチまたはその整数倍またはその数分の1に近い計測仕様に合わせた走査ピッチで走査して撮像したモアレ縞画像と、
負荷を与えて変形後の該試料を該走査ピッチで走査して撮像したモアレ縞画像を、
重ね合わせて得た合成画像に現われた二次モアレ縞により、該顕微鏡の走査ひずみを除去して、該負荷による変形を計測することを特徴とするモアレ縞画像に基づく変形計測方法。 - 前記走査型顕微鏡に代わってレンズとCCDまたはCMOSセンサのいずれかを備えたカメラを用いて撮像したことを特徴とする請求項1に記載するモアレ縞画像に基づく変形計測方法。
- 前記合成画像の二次モアレ縞は、前記変形の前後に撮像した2枚のモアレ縞画像を合成し解析して得たことを特徴とする請求項1または請求項2のいずれか1項に記載するモアレ縞画像に基づく変形計測方法。
- 前記合成画像の二次モアレ縞は、前記変形の前後に撮像した2枚のモアレ縞画像を情報処理装置において画像処理プログラムで合成処理して得たことを特徴とする請求項1または請求項2のいずれか1項に記載するモアレ縞画像に基づく変形計測方法。
- 前記合成処理における二次モアレ縞は、前記変形の前後に撮像した2枚のモアレ縞画像の各画素のグレー値のデジタル加算、減算、または乗算処理の結果であることを特徴とする請求項4に記載するモアレ縞画像に基づく変形計測方法。
- 前記変形前の該試料を前記走査ピッチで走査して撮像したモアレ縞画像と、
連続的負荷を与えて変形後の該試料を前記走査ピッチで走査して連続して撮像した連続したモアレ縞画像を、
連続して重ね合わせて得た連続した合成画像にあらわれた連続した前記二次モアレ縞により、連続的変形を計測することを特徴とする請求項4または請求項5のいずれか1項に記載するモアレ縞画像に基づく変形計測方法。 - 前記変形の前後に撮像した2枚のモアレ縞画像を、一旦前記顕微鏡にまたは前記CCDカメラにまたは外部に備えた記憶装置に保存して、後に、前記合成解析または画像処理プログラムで前記合成処理をしたことを特徴とする請求項5または請求項6のいずれか1項に記載するモアレ縞画像に基づく変形計測方法。
- 少なくとも走査型顕微鏡、またはレンズとCCDまたはCMOSセンサのいずれかを備えたカメラ、記憶装置、情報処理装置を備えたモアレ縞画像に基づく変形計測装置であって、
請求項7に記載するモアレ縞画像に基づく変形計測方法を実施することを特徴とするモアレ縞画像に基づく変形計測装置。 - 請求項7に記載するモアレ縞画像に基づく変形計測方法を実施することを特徴とするモアレ縞画像に基づく変形計測プログラムおよび該プログラムを記録した記憶媒体。
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