JP2016141577A - 光ファイバ用母材の製造方法、及び、これを用いた光ファイバの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 伝搬する光の損失を抑制することができる光ファイバを製造可能な光ファイバ用母材の製造方法、及び、これを用いた光ファイバの製造方法を提供する。【解決手段】 光ファイバ用母材１Ｐの製造方法は、クラッド２０となるクラッドガラス体２０Ｐを有する中間母材１Ｐｓを準備する準備工程Ｐ１と、パイプ５２とパイプ５２の一方の端部に設けられる切削部５１とを有するドリルツール５０を空孔内で回転させながら押し進めてクラッドガラス体２０Ｐを削る削り工程と、を備え、削り工程の少なくとも一部において、空孔内に位置するパイプの少なくとも一部が、ドリルツール５０とともに回転しないように保持される筒状のドリルカバー７５で囲まれる。【選択図】図７

Description

本発明は、光ファイバ用母材の製造方法、及び、これを用いた光ファイバの製造方法に関し、製造される光ファイバの伝送損失を抑制する場合に好適なものである。

光ファイバの一種として、光ファイバの長手方向に沿って複数のコアを有するマルチコアファイバが知られている。このマルチコアファイバを線引きするための光ファイバ用母材の一つとして、クラッドとなるガラス体の長手方向に沿って複数の孔が形成され、この孔にコアロッドが挿入され、この中間母材がコラプスされることにより製造するものを挙げることができる。

また、光ファイバの他の一種として、光ファイバの長手方向に沿って複数の空孔が形成されているホーリーファイバが知られている。このホーリーファイバを線引きするための光ファイバ用母材は、クラッドとなるガラス体の長手方向に沿って複数の孔が形成されている。

下記特許文献１には、このようなクラッドとなるガラス体に空孔を形成する工程を含む光ファイバ用母材の製造方法が記載されている。当該製造方法における空孔の形成では、軸部材と軸部材の一方の端部に設けられるドリルヘッドとを有するドリルツールが用いられている。そして、ドリルツールがクラッドとなるガラス体に回転しながら押し進められ穿孔が行われる。また、形成された空孔の壁面を研磨する場合にも上記ドリルツールが用いられる。このドリルツールには、目の細かいドリルヘッドが用いられる。

特開２００２−２９３５６２号公報

しかし、上記特許文献１に記載の光ファイバ用母材の製造方法において、穿孔や研磨を行う際にドリルツールの軸部材が湾曲する場合がある。このようにドリルツールの軸部材が湾曲すると、湾曲した軸部材が高速で回転しながらガラス体の内壁面に接触して、ガラス体に不純物が付着することがある。この不純物が残留した中間母材から製造された光ファイバ用母材を用いて光ファイバを製造すると、光ファイバを伝搬する光の損失が生じる傾向がある。特に、この不純物が遷移金属や希土類金属である場合、この遷移金属や希土類金属による光の吸収が生じ、当該光の損失を大きくてしまう傾向がある。

そこで、本発明は、伝搬する光の損失を抑制することができる光ファイバを製造可能な光ファイバ用母材の製造方法、及び、これを用いた光ファイバの製造方法を提供することを目的とする。

本発明の光ファイバ用母材の製造方法は、クラッドとなるクラッドガラス体を有する中間母材を準備する準備工程と、軸部材と前記軸部材の一方の端部に設けられるドリルヘッドとを有するドリルツールを空孔内で回転させながら押し進めて前記クラッドガラス体を削る削り工程と、を備え、前記削り工程の少なくとも一部において、前記空孔内に位置する前記軸部材の少なくとも一部が、前記ドリルツールとともに回転しない筒状のドリルカバーで囲まれることを特徴とするものである。

このような光ファイバ用母材の製造方法によれば、空孔内に位置するドリルツールの軸部材が湾曲する場合であっても、ドリルカバーが軸部材とクラッドガラス体の間に介在することにより、湾曲した軸部材がクラッドガラス体の内壁面に接触することを抑制することができる。これにより、クラッドガラス体の内壁面に軸部材に由来する不純物が付着することを抑制することができる。また、ドリルカバーはドリルツールと共に回転しないため、ドリルカバーに由来する不純物はクラッドガラス体に付着しづらい。従って、製造される光ファイバ用母材に不純物が残留することを抑制することができ、この光ファイバ用母材を用いて製造される光ファイバの伝送損失を抑制することができる。

なお、この不純物が残留することが抑制されることにより、不純物が残留する場合よりも光ファイバの機械的強度が低下することを抑制することができる。

また、前記削り工程において、前記ドリルツールと前記ドリルカバーとを共に前記空孔の長手方向に移動させることが好ましい。

ドリルツールの空孔への挿入長さが大きくなる場合であっても、ドリルツールとともにドリルカバーを移動させることにより、軸部材の所定の位置を囲むことができる。従って、例えば、軸部材の湾曲し易い位置をドリルカバーでカバーすることができる。

この場合、前記削り工程において、前記軸部材が前記空孔内に挿入される挿入長に合わせて、前記空孔内に挿入される前記ドリルカバーの長さを変化させることが好ましい。

このような光ファイバ用母材の製造方法によれば、ドリルツールが上下に移動する場合であっても、ドリルカバーが軸部材をカバーする範囲をドリルツールの挿入長さに合わせて変えることができる。従って、湾曲した軸部材がクラッドガラス体の内壁面に接触することをより適切に抑制することができる。

また、前記ドリルカバーは、遷移金属及び希土類金属を非含有とすることが好ましい。

このような光ファイバ用母材の製造方法によれば、ドリルカバーがクラッドガラス体に接触して、ドリルカバーを構成する材料がクラッドガラス体に付着する場合であっても、製造される光ファイバにドリルカバーに由来する遷移金属及び希土類金属が残留することを防止できる。

また、前記削り工程は、前記空孔を形成する穿孔工程を含み前記穿孔工程において、前記空孔内に位置する前記軸部材の少なくとも一部が前記ドリルカバーで囲まれることとしても良い。

また、前記削り工程は、前記空孔の内壁を研磨する研磨工程を含み、前記研磨工程において、前記空孔内に位置する前記軸部材の少なくとも一部が前記ドリルカバーで囲まれることとしても良い。

また、本発明の光ファイバの製造方法は、上記の光ファイバ用母材の製造方法により製造される光ファイバ用母材を線引きする線引工程を備えることを特徴とするものである。

上述のように、上記の光ファイバ用母材の製造方法により製造される光ファイバ用母材には不純物の残留が抑制される。従って、このような光ファイバ用母材を線引きすることにより、伝送損失を抑制することができる光ファイバを製造することができる。

以上のように、本発明によれば、製造される光ファイバの伝送損失を抑制することができる光ファイバ用母材の製造方法、及び、これを用いた光ファイバの製造方法が提供される。

本発明の第１実施形態に係る光ファイバの長手方向に垂直な断面における構造を示す図である。 図１の光ファイバを製造するための光ファイバ用母材の長手方向に垂直な断面における構造を示す図である。 図１の光ファイバの製造方法の工程を示すフローチャートである。 準備工程により準備される中間母材を示す図である。 穿孔工程に用いるドリルツールを示す図である。 穿孔工程に用いるドリルツールをドリル装置にチャッキングした様子を示す図である。 穿孔工程の様子を示す中間母材の長手方向に沿った断面図である。 封止工程後の様子を示す中間母材の長手方向に沿った断面図である。 研磨工程に用いるドリルツールを示す図である。 研磨工程に用いるドリルツールをドリル装置にチャッキングした様子を示す図である。 研磨工程の様子を示す中間母材の長手方向に沿った断面図である。 挿入工程後の様子を示す図である。 線引工程の様子を示す図である。 第２実施形態に係る光ファイバの長手方向に垂直な断面における構造を示す図である。 図１４の光ファイバを製造するための光ファイバ用母材の長手方向に垂直な断面における構造を示す図である。 図１５の光ファイバ用母材を製造するための中間母材を示す図である。

以下、本発明に係る光ファイバ用母材の製造方法、及び、これを用いた光ファイバの製造方法の好適な実施形態について図面を参照しながら詳細に説明する。

（第１実施形態）
図１は、本発明の第１実施形態に係る光ファイバを示す図である。本実施形態の光ファイバはマルチコアファイバとされ、図１に示すようにマルチコアファイバ１は、複数のコア１０と、複数のコア１０の外周面を隙間なく囲むクラッド２０と、クラッド２０の外周面を被覆する内側保護層３１と、内側保護層３１の外周面を被覆する外側保護層３２と、を備える。なお、本実施形態では、コア１０の数が３つの場合について説明する。

本実施形態のマルチコアファイバ１では、それぞれのコア１０が互いに所定距離離れて等間隔で配置されている。それぞれのコア１０の直径は、例えば、６μｍ〜１０μｍとされ、クラッド２０の直径は、例えば、１２５〜２３０μｍとされる。また、それぞれのコア１０の屈折率はクラッド２０の屈折率よりも高く、それぞれのコア１０のクラッド２０に対する比屈折率差は、例えば、０．２％〜０．５％とされる。

また、マルチコアファイバ１は、コア１０がゲルマニウム等の屈折率が高くなるドーパントが添加されたシリカガラスから成り、クラッド２０が何ら添加物の無いシリカガラスやフッ素が添加されたシリカガラスから成る構成や、コア１０が何ら添加物の無いシリカガラスから成り、クラッド２０がフッ素等の屈折率が低くなるドーパントが添加されたシリカガラスから成る構成とされる。

図２は、図１のマルチコアファイバ１を製造するための光ファイバ用母材であるマルチコアファイバ用母材の長手方向に垂直な断面における構造を示す図である。図２に示すように、マルチコアファイバ用母材１Ｐは、略円柱状の形状をしており、それぞれのコア１０となる複数のロッド状のコアガラス体１０Ｐと、それぞれのコアガラス体１０Ｐを囲むロッド状のクラッドガラス体２０Ｐとから構成されている。このようなマルチコアファイバ用母材１Ｐが線引きされ、被覆されることにより、図１に示すマルチコアファイバ１となる。従って、コアガラス体１０Ｐは、コア１０と同じ材料から構成され、クラッドガラス体２０Ｐはクラッド２０と同じ材料から構成される。

次に、図２のマルチコアファイバ用母材１Ｐ、及び、マルチコアファイバ用母材１Ｐを用いた図１に示すマルチコアファイバ１の製造方法について説明する。

図３は、マルチコアファイバ用母材１Ｐ、及び、マルチコアファイバ１の製造方法の工程を示すフローチャートである。図３に示すように、マルチコアファイバ用母材１Ｐの製造は、準備工程Ｐ１と、第１チャッキング工程Ｐ２と、穿孔工程Ｐ３と、封止工程Ｐ４と、第２チャッキング工程Ｐ５と、研磨工程Ｐ６と、挿入工程Ｐ７と、コラプス工程Ｐ８とを備える。そして、マルチコアファイバ１の製造方法は、このようにして製造されたマルチコアファイバ用母材１Ｐを線引きする線引工程Ｐ９を更に備える。

＜準備工程Ｐ１＞
本工程は、クラッド２０となるガラス体を有する中間母材を準備する工程である。図４は、本工程により準備される中間母材を示す図である。図４に示すように中間母材１Ｐｓは、図２に示すコアガラス体１０Ｐを有しておらず、クラッドガラス体２０Ｐのみからなる円柱状のガラスロッドから成る。

＜第１チャッキング工程Ｐ２＞
次に、第１チャッキング工程Ｐ２を行う。本工程は、中間母材１Ｐｓに空孔を形成するための穿孔用のドリルツールをドリル装置にチャッキングする工程である。

図５は、上記ドリルツールを示す図である。図５に示すように、ドリルツール５０は、軸部材としてのパイプ５２と、パイプ５２の一方の端部に設けられるドリルヘッドとしての切削部５１とを主な構成として備える。

パイプ５２は、円筒状の形状をしており、中間母材１Ｐｓに形成する孔の直径よりも小さな外径を有している。パイプ５２の外径は、例えば、中間母材１Ｐｓに形成する孔の直径より０．１〜０．５ｍｍ小さい大きさとされる。また、切削部５１は、円筒状の形状をしており、中間母材１Ｐｓに形成する空孔の直径と同様の外径を有している。従って、切削部５１は、パイプ５２の外径よりも大きな外径を有している。例えば、パイプ５２の外径と、切削部５１の外径との差が０．５ｍｍ以下であれば、パイプ５２が細くなりすぎて強度不足となることを抑制できたり、切削部５１の外径が大きくなりすぎて、穿孔時にパイプ５２や切削部５１にかかる反力が大きくなることを抑制できるため好ましい。穿孔時にパイプ５２や切削部５１にかかる反力が大きくなることを抑制できることにより、パイプ５２や切削部５１の変形や消耗を抑制したり、中間母材１Ｐｓにかかる荷重を減らして中間母材１Ｐｓの破損を抑制したりすることができる。また、この差が、０．１ｍｍ以上であれば、後述のカバーを取り付け易くすることが出来る。また切削部５１の貫通孔はパイプ５２の貫通孔に繋がっている。このためドリルツール５０には長手方向に沿った貫通孔５０Ｈが形成されている。

図６は、本工程において、ドリルツール５０をドリル装置にチャッキングした様子を示す図である。図６に示すように、本実施形態のドリル装置７０は、動力源７１と、ドリルチャック７２と、ドリルカバー７５と、接続部７６とを備える。

動力源７１は、図示しない鉛直方向の回転軸を有するモータを内蔵している。また、動力源７１は、モータの回転軸方向に沿って上下動するよう構成されている。

動力源７１に内蔵されるモータには軸を介してドリルチャック７２が接続されている。従って、ドリルチャック７２は、モータの軸の回転により回転し、動力源７１の上下動に合わせて上下動する。ドリルチャック７２は図示しない締め付け機構を有し、ドリルツール５０をチャッキングする際には、この締め付け機構にドリルツール５０のパイプ５２を挿入して締め付ける。

接続部７６は、ドリルカバー７５と動力源７１とを接続する。動力源７１と接続部７６を介して接続されるドリルカバー７５は、筒状の部材であり、動力源７１の上下動に合わせて上下動する。しかし、ドリルカバー７５は、接続部７６で保持されているため、ドリルチャック７２にチャッキングされるドリルツール５０と共に回転しない。ドリルカバー７５の内径は、チャッキングされるドリルツール５０のパイプ５２の外径より大きくされる。従って、ドリルツール５０のパイプ５２をドリルカバー７５の貫通孔内に挿入することができる。またドリルカバー７５の外形は、ドリルツール５０の切削部５１の外径よりも小さくされる。従って、ドリルツール５０で空孔を形成すると当該空孔内にドリルカバー７５を挿入することができる。また、ドリルカバー７５の長さは、ドリルツール５０のパイプ５２の長さより短くされる。従って、ドリルツール５０のパイプ５２をドリルカバー７５の貫通孔の一方側から挿通して、パイプ５２を他方側から突出させることができる。ドリルカバー７５を構成する材料は特に限定されないが、遷移金属や希土類金属を非含有とすることが好ましく、非金属性の材料であることがより好ましい。ドリルカバー７５が非金属性の材料から成る場合、このような非金属性の材料として樹脂やガラスを挙げることができ、樹脂の場合フッ素含有樹脂が好ましく、ガラスの場合クラッドガラス体と同じ材料であることが好ましい。

このようなドリル装置７０にドリルツール５０をチャッキングするには、まず、ドリルカバー７５の貫通孔にドリルツール５０のパイプ５２を挿通する。このときドリルツール５０の切削部５１がドリルチャック７２側と反対側を向くようにして、ドリルカバー７５のドリルチャック７２側と反対側からパイプ５２を挿通して、ドリルカバー７５のドリルチャック７２側からパイプ５２を突出させる。その後、ドリルカバー７５のドリルチャック７２側から突出するパイプ５２をドリルチャック７２でチャッキングする。なお、ドリルツール５０がチャッキングされた状態において、ドリルツール５０の切削部５１がドリルカバー７５に非接触の状態となるようにドリルツール５０をチャッキングする。こうして、図６に示すように、ドリルツール５０は、パイプ５２の外周面がドリルカバー７５で囲まれた状態でチャッキングされる。

＜穿孔工程Ｐ３＞
次に、穿孔工程Ｐ３を行う。具体的には、ドリルツール５０により、準備した中間母材１Ｐｓにおけるコアガラス体１０Ｐの中心が位置すべき場所を中心として、中間母材１Ｐｓの長手方向に沿った空孔２０Ｈを形成する。本実施形態では当該空孔２０Ｈは貫通孔とされる。また、本実施形態では、図２に示すようにマルチコアファイバ用母材１Ｐが複数のコアガラス体１０Ｐを有するので、それぞれのコアガラス体１０Ｐが配置される位置に空孔２０Ｈを形成する。

図７は、穿孔工程Ｐ３の様子を示す中間母材１Ｐｓの長手方向に沿った断面図である。ただし、図７においては、理解の容易のため、ドリルツール５０は、断面図で記載されていない。図７に示すように、本工程においては、ドリル装置７０の動力源７１内のモータにより、上記のドリルチャック７２を回転させながら動力源７１をクラッドガラス体２０Ｐの長手方向に沿って移動させることで、ドリルツール５０を回転させながらドリルツール５０を中間母材１Ｐｓの長手方向に沿って押し進める。こうして、中間母材１Ｐｓの一端側からクラッドガラス体２０Ｐを削り、クラッドガラス体２０Ｐに空孔を形成する。このように本工程はクラッドガラス体２０Ｐを削ることで空孔を形成するため、本工程は削り工程と理解することができる。

上記のようにドリルカバー７５は、動力源７１の上下動に合わせて上下動するため、ドリルツール５０の移動に合わせてドリルカバー７５も移動する。ドリルカバー７５の外径は切削部５１の外径よりも小さい。従って、パイプ５２におけるドリルカバー７５で囲まれている部位が空孔内に入り込むと、ドリルカバー７５も空孔内に入り込む。こうして、穿孔した空孔内に位置するパイプ５２の少なくとも一部がドリルカバー７５で囲まれる。このとき、ドリルカバー７５が空孔内におけるクラッドガラス体２０Ｐの内壁に接触しないことが好ましい。なお、ドリルカバー７５は、接続部７６で動力源７１に接続されているため、ドリルツールと共に回転しない。

また、空孔２０Ｈの形成中においては、ドリルツール５０の貫通孔５０Ｈのパイプ５２側から液体を導入する。この液体としては、例えば、水溶性切削液を挙げることができる。このように導入された液体は、ドリルツール５０の貫通孔５０Ｈを通り、切削部５１の先端から吐出する。切削部５１がクラッドガラス体２０Ｐの途中まで進んでいる状態においては、クラッドガラス体２０Ｐの空孔が貫通していないため、切削部５１の先端から吐出する液体は、行き場を失い切削部５１とクラッドガラス体２０Ｐの内壁面との間を逆流して、パイプ５２とドリルカバー７５との間やドリルカバー７５とクラッドガラス体２０Ｐの内壁との間を流れ、形成された空孔のドリルツール５０が挿入されている側から排出される。従って、中間母材１Ｐｓに形成する孔が貫通するまでは、切削部５１とクラッドガラス体２０Ｐとの摩擦によりクラッドガラス体２０Ｐの温度が過度に上昇することが、この液体の流れにより防止され、さらに穿孔により生じるガラス屑が液体と共にドリルツール５０が挿入されている側から排出される。

そして、本実施形態では、クラッドガラス体２０Ｐに貫通孔が形成されるまで、穿孔工程Ｐ３を行う。こうして、クラッドガラス体２０Ｐに空孔２０Ｈ（貫通孔）を形成する。なお、貫通後においては、ドリルツール５０の空孔２０Ｈ内に棒状のガラス屑が生じるが、このガラス屑は、不要であるため除去する。このようにして、図４に示す中間母材１Ｐｓに複数の空孔２０Ｈを形成する。

＜封止工程Ｐ４＞
次に形成した空孔２０Ｈの一端側を封止する。図８は、本工程後の様子を示す中間母材の長手方向に沿った断面図である。なお、図８では便宜的に１つの空孔のみを示す。図８に示すように、封止を行う際、空孔２０Ｈの一端側を塞ぐようにして、封止材７９を空孔２０Ｈが形成された中間母材１Ｐｓの一方の端面に圧着する。

この封止材７９は、液体による膨張性を有する材料から構成されることが好ましい。このような材料としては、例えば、合成ゴムと高吸水性樹脂を発泡成形した混合物を挙げることができ、合成ゴムとしては、クロロプレン系ゴムを挙げることができ、高吸水性樹脂としては、水膨張性ポリウレタン樹脂を挙げることができる。このような材料により構成されることにより、封止材７９は水により膨張する。なお、封止材７９と空孔２０Ｈとのシール性を高めるために、封止材７９の体積膨張率は、１１０％／ｄａｙ以上であることが好ましい。また、後述のように封止材７９に切削液の水圧がかかるため、封止材７９の引張強さは０．１ＭＰａ以上であることが好ましい。また、後述のように封止材７９の一部を空孔２０Ｈの中に挿入する場合においては、封止材の伸びは１００％以上であることが好ましい。

また、本工程においては、封止材７９の一部が空孔２０Ｈの一部に挿入されることが好ましい。このように封止材７９の一部が空孔２０Ｈの一部に挿入されるようにするためには、空孔２０Ｈの位置に合わせて、予め封止材７９の一部を凸状に形成しておけば良い。或いは、封止材を強くクラッドガラス体２０Ｐに押しつけることにより、封止材を変形させて、封止材７９の一部が空孔２０Ｈの一部に挿入されるようにしても良い。

＜第２チャッキング工程Ｐ５＞
次に、第２チャッキング工程Ｐ５を行う。本工程は、中間母材１Ｐｓに形成され空孔２０Ｈを囲むクラッドガラス体２０Ｐの内壁を研磨するための研磨用のドリルツールをドリル装置にチャッキングする工程である。

図９は、上記ドリルツールを示す図である。図９に示すように、ドリルツール６０は、軸部材としてのパイプ６２と、パイプ６２の一方の端部に設けられているドリルヘッドとしての研磨部６１とを主な構成として備える。

パイプ６２は、ドリルツール５０のパイプ５２と同様の円筒状の形状をしており、本工程後における空孔２０Ｈの直径よりも小さな外径を有している。また、研磨部６１は、筒状の形状をしており、パイプ６２の貫通孔に繋がる貫通孔を有している。このため、ドリルツール６０は、パイプ６２から研磨部６１まで通じる貫通孔６０Ｈが形成されている。また、研磨部６１の外周面におけるパイプ６２側には、複数の凸部６５と複数の凹部６４とが、それぞれドリルツール６０の長手方向に沿って形成されている。この凸部６５を基準とした研磨部６１の外径は、穿孔工程Ｐ３により形成された空孔２０Ｈの直径よりも僅かに大きくされている。従って、ドリルツール６０が軸中心に回転する場合における、研磨部６１のパイプ６２側の外径は、空孔２０Ｈの直径よりも僅かに大きくなる。このため、研磨部６１は、パイプ６２の外径よりも大きな外径を有している。例えば、パイプ６２の外径と、研磨部６１の外径との差が０．５ｍｍ以下であれば、パイプ６２の薄肉厚化により強度が弱くなることを防止できるため好ましく、この差が、０．１ｍｍ以上であれば、後述のカバーを取り付け易くすることができる。

図１０は、本工程において、ドリルツール６０をドリル装置にチャッキングした様子を示す図である。本実施形態では、第１チャッキング工程Ｐ２、穿孔工程Ｐ３で用いられたドリル装置７０と同じドリル装置にドリルツール６０をチャッキングする。

このようなドリル装置７０にドリルツール６０をチャッキングするには、まず、ドリルカバー７５の貫通孔にドリルツール６０のパイプ５２を挿通する。このときドリルツール６０の研磨部６１がドリルチャック７２側と反対側を向くようにして、ドリルカバー７５のドリルチャック７２側と反対側からパイプ６２を挿通して、ドリルカバー７５のドリルチャック７２側からパイプ６２を突出させる。その後、ドリルカバー７５のドリルチャック７２側から突出するパイプ６２をドリルチャック７２でチャッキングする。なお、ドリルツール６０がチャッキングされた状態において、ドリルツール６０の研磨部６１がドリルカバー７５に非接触の状態となるようにドリルツール６０をチャッキングする。こうして、図１０に示すように、ドリルツール６０は、パイプ６２の外周面がドリルカバー７５で囲まれた状態でチャッキングされる。

＜研磨工程Ｐ６＞
次に、研磨工程Ｐ６を行う。具体的には、中間母材１Ｐｓの空孔２０Ｈを形成するクラッドガラス体２０Ｐの内壁面を研磨して平滑化する。なお、本工程を行うまでに封止工程Ｐ４が行われていればよく、封止工程Ｐ４及び第２チャッキング工程Ｐ５のどちらが先に行われてもよい。

図１１は、研磨工程Ｐ６の様子を示す中間母材の長手方向に沿った断面図である。ただし、図１１においては、理解の容易のため、ドリルツール６０は、断面図で記載されていない。本工程においても、穿孔工程Ｐ３と同様にして、ドリル装置７０の動力源７１内のモータによりドリルチャック７２を回転させながら、動力源７１をクラッドガラス体２０Ｐの長手方向に沿って移動させることで、ドリルツール６０を回転させながらドリルツール６０を中間母材１Ｐｓの長手方向に沿って押し進める。こうして図１１に示すように、研磨工程Ｐ６においては、ドリルツール６０を回転させながら、クラッドガラス体２０Ｐに形成された空孔２０Ｈの封止がされていない側から空孔２０Ｈに挿入する。そして、空孔２０Ｈを形成するクラッドガラス体２０Ｐの内壁を削り当該内壁面を研磨する。このように本工程はクラッドガラス体２０Ｐを削ることで内壁面を研磨するため、本工程は削り工程と理解することができる。

また、上記のようにドリルカバー７５は、動力源７１の上下動に合わせて上下動するため、ドリルツール６０の移動に合わせてドリルカバー７５も移動する。ドリルカバー７５の外径はドリルツール５０の切削部５１の外径よりも小さいため、ドリルツール６０の研磨部６１の外形よりも小さい。従って、パイプ６２におけるドリルカバー７５で囲まれている部位が空孔２０Ｈ内に入り込むと、ドリルカバー７５も空孔２０Ｈ内に入り込む。こうして、研磨された空孔２０Ｈ内に位置するパイプ６２の少なくとも一部がドリルカバー７５で囲まれる。このとき、ドリルカバー７５が空孔２０Ｈ内におけるクラッドガラス体２０Ｐの内壁に接触しないことが好ましい。なお、ドリルカバー７５は、接続部７６で動力源７１に接続されているため、ドリルツールと共に回転しない。

また、ドリルツール６０を回転させながら空孔２０Ｈに挿入する際、ドリルツール６０の貫通孔６０Ｈに液体が導入される。この液体は、封止材７９に吸収され、封止材７９が膨張する液体である。例えば、封止材７９が水による膨張性を有する場合、ドリルツール６０の貫通孔６０Ｈには、水が導入される。そして、貫通孔６０Ｈに導入された液体は、ドリルツール６０の先端からクラッドガラス体２０Ｐの空孔２０Ｈ内に吐出する。この液体の一部は封止材７９により吸収されて、封止材７９は空孔２０Ｈに食い込むようにして膨張する。上述のように、封止工程Ｐ４において、封止材７９の一部が空孔２０Ｈに一部に挿入されている場合においては、空孔２０Ｈに挿入されている封止材７９の一部が空孔２０Ｈの径方向に膨張し、封止材７９はより強力に空孔２０Ｈを封止することができる。

このように封止材７９により、空孔２０Ｈの一端側が封止されているため、研磨部６１の先端から吐出する液体は、行き場を失い研磨部６１とクラッドガラス体２０Ｐの内壁面との間を逆流し、パイプ６２とドリルカバー７５との間やドリルカバー７５とクラッドガラス体２０Ｐの内壁との間を流れ、空孔２０Ｈのドリルツール６０が挿入されている側から排出される。このとき、研磨部６１の外周面に長手方向に沿った複数の凹部６４が形成されているため、液体がこの凹部６４を流れることで、液体が研磨部６１とクラッドガラス体２０Ｐの内壁面との間を逆流し易くされている。こうして、研磨部６１とクラッドガラス体２０Ｐとの摩擦によりクラッドガラス体２０Ｐの温度が過度に上昇することが防止され、さらに研磨により生じるガラス屑が液体と共にドリルツール６０が挿入されている側から排出される。このようにして、空孔２０Ｈを形成するクラッドガラス体２０Ｐの内壁面は、ドリルツール６０により研磨されて平滑化される。このようにして、全ての空孔２０Ｈを研磨することにより、図２に示すマルチコアファイバ用母材１Ｐを得る。

＜挿入工程Ｐ７＞
次に、挿入工程を行う。図１２は、本工程後の様子を示す図である。図１２に示すように、本工程では、コアガラス体１０Ｐを含みコアガラス体１０Ｐの外周面がクラッドガラス体２０Ｐと同じガラス体からなる被覆層２０Ｐｃで被覆されたガラスロッド１５Ｐを研磨された中間母材１Ｐｓの空孔２０Ｈに挿入する。このときガラスロッド１５Ｐの直径を空孔２０Ｈの直径よりも小さくして、挿入時にガラスロッド１５Ｐがクラッドガラス体２０Ｐの内壁面と擦れないようにする。こうして、中間母材１Ｐｓは、空孔２０Ｈにコアガラス体１０Ｐとなるガラスロッド１５Ｐが挿入された状態となる。

なお、挿入前の中間母材１Ｐｓの空孔２０Ｈに対して、エッチング処理をしてもよい。このエッチング処理においては、空孔２０Ｈを形成する内壁における小さな凹凸の除去や、空孔２０Ｈの内壁から水酸基等の不純物を除去するものである。エッチング処理に用いるエッチングガスあるいはエッチング液は、マルチコアファイバ用母材１Ｐに接続されたガラス管の貫通孔を通じて、マルチコアファイバ用母材１Ｐのそれぞれの空孔２０Ｈに導入される。エッチングガスは、たとえば、ＳＦ６やＣＦ４、ＣＦ４、Ｃ２Ｆ６、ＳｉＦ４などのフッ化物ガスなどが挙げられ、エッチング液としてはフッ酸やバッファードフッ酸などの、あるいはフッ酸やＢＨＦと硝酸の混酸などが挙げられる。

＜コラプス工程Ｐ８＞
次に、空孔２０Ｈにガラスロッド１５Ｐが挿入された中間母材１Ｐｓを真空炉に投入してコラプスする。こうしてガラスロッド１５Ｐとクラッドガラス体２０Ｐの内壁面との間における空孔２０Ｈの不要な空間が潰されて、ガラスロッド１５Ｐとクラッドガラス体２０Ｐとが一体になる。ガラスロッド１５Ｐの被覆層２０Ｐｃはクラッドガラス体２０Ｐの一部となる。こうして、図２に示すマルチコアファイバ用母材１Ｐを得る。

＜線引工程Ｐ９＞
図１３は、線引工程Ｐ９の様子を示す図である。

まず、本工程を行う準備段階として、準備工程Ｐ１〜コラプス工程Ｐ８により製造されたマルチコアファイバ用母材１Ｐを紡糸炉１１０に設置する。そして、紡糸炉１１０の加熱部１１１を発熱させて、マルチコアファイバ用母材１Ｐを加熱する。このときマルチコアファイバ用母材１Ｐの下端は、例えば２０００℃に加熱され溶融状態となる。そして、マルチコアファイバ用母材１Ｐからガラスが溶融して、ガラスが線引きされる。そして、線引きされた溶融状態のガラスは、紡糸炉１１０から出ると、すぐに固化して、それぞれのコアガラス体１０Ｐがそれぞれのコア１０となり、クラッドガラス体２０Ｐがクラッド２０となり、複数のコア１０とクラッド２０とから構成されるマルチコアファイバ１の素線となる。その後、このマルチコアファイバ１の素線は、冷却装置１２０を通過して、適切な温度まで冷却される。冷却装置１２０に入る際、光ファイバの温度は、例えば１８００℃程度であるが、冷却装置１２０を出る際には、光ファイバの温度は、例えば４０℃〜５０℃となる。

次に、光ファイバは、内側被覆層３１となる紫外線硬化性樹脂が入ったコーティング装置１３１を通過し、この紫外線硬化性樹脂で被覆される。更に紫外線照射装置１３２を通過し、紫外線が照射されることで、紫外線硬化性樹脂が硬化して内側被覆層３１が形成される。次に光ファイバは、外側被覆層３２となる紫外線硬化性樹脂が入ったコーティング装置１３３を通過し、この紫外線硬化性樹脂で被覆される。更に紫外線照射装置１３４を通過し、紫外線が照射されることで、紫外線硬化性樹脂が硬化して外側被覆層３２が形成され、図１に示すマルチコアファイバ１となる。

そして、マルチコアファイバ１は、ターンプーリー１４１により方向が変換され、リール１４２により巻取られる。

こうして図１に示すマルチコアファイバ１である光ファイバが製造される。

以上説明したように、本実施形態によるマルチコアファイバ用母材１Ｐの製造方法によれば、穿孔工程Ｐ３および研磨工程Ｐ６が削り工程とされ、これらの工程に中間母材の空孔２０Ｈ内に位置するドリルツール５０のパイプ５２やドリルツール６０のパイプ６２が湾曲する場合であっても、ドリルカバー７５がこれらパイプ５２，６０とクラッドガラス体２０Ｐの間に介在することにより、湾曲したパイプ５２，６０がクラッドガラス体２０Ｐの内壁面に接触することを抑制することができる。これにより、クラッドガラス体２０Ｐの内壁面にパイプ５２，６２に由来する不純物が付着することを抑制することができる。また、ドリルカバー７５はドリルツール５０，６０と共に回転しないため、ドリルカバー７５に由来する不純物はクラッドガラス体２０Ｐに付着しづらい。従って、製造されるマルチコアファイバ用母材１Ｐに不純物が残留することを抑制することができ、このマルチコアファイバ用母材１Ｐからを用いて製造されるマルチコアファイバ１の伝送損失を抑制することができる。

なお、マルチコアファイバ１は、不純物が残留することが抑制されることにより、不純物が残留するマルチコアファイバよりも機械的強度が低下することを抑制することができる。

また、本実施形態のマルチコアファイバ用母材１Ｐの製造方法では、穿孔工程や研磨工程において、ドリルツール５０，６０とドリルカバー７５とを共に空孔２０Ｈの長手方向に移動させている。従って、パイプ５２，６２の所定の位置を予め囲むことで、ドリルツール５０，６０が上下に移動しても、当該位置が囲まれる状態を維持することができる。例えば、パイプ５２，６２の湾曲し易い位置をドリルカバー７５でカバーすることができる。

しかも、本実施形態のマルチコアファイバ用母材１Ｐの製造方法では、穿孔工程や研磨工程において、パイプ５２，６２が空孔２０Ｈ内に挿入される挿入長に合わせて、空孔内に挿入されるドリルカバー７５の長さを変化させている。従って、ドリルカバー７５がパイプ５２，６２をカバーする範囲をパイプ５２，６２の空孔２０Ｈ内への挿入長さに合わせて変えることができる。このため、パイプ５２，６２が湾曲する場合にクラッドガラス体２０Ｐの内壁面に接触することをより適切に抑制することができる。

また、ドリルカバー７５を構成する材料が遷移金属及び希土類金属を非含有である場合には、ドリルカバーがクラッドガラス体２０Ｐに接触して、ドリルカバー７５を構成する材料がクラッドガラス体２０Ｐに付着する場合であっても、製造されるマルチコアファイバ１にドリルカバー７５に由来する遷移金属及び希土類金属が残留することを防止できる。

なお、本実施形態では、コラプス工程Ｐ８において空孔２０Ｈにガラスロッド１５Ｐが挿入された中間母材１Ｐｓを真空炉に投入してコラプスしたものをマルチコアファイバ用母材１Ｐとして、線引工程Ｐ９において、マルチコアファイバ１を得た。しかし、本発明のマルチコアファイバ用母材は、必ずしもコラプス工程Ｐ８でコラプスされたものに限らない。つまり、挿入工程Ｐ７でガラスロッド１５Ｐがクラッドガラス体２０Ｐの空孔２０Ｈに挿入された状態をマルチコアファイバ用母材としてもよい。この場合、コラプス工程Ｐ８を行わず、ガラスロッド１５Ｐがクラッドガラス体２０Ｐの空孔２０Ｈに挿入されコラプスされていない状態のマルチコアファイバ用母材を紡糸炉１１０に設置する。そして、マルチコアファイバ用母材は、紡糸炉１１０で加熱されコラプスされながら線引される。

（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態について図１４〜図１６を参照して詳細に説明する。なお、第１実施形態と同一又は同等の構成要素については、同一の参照符号を付して特に説明する場合を除き重複する説明は省略する。図１４は、本発明の第２実施形態に係る光ファイバの長手方向に垂直な断面における構造を示す図である。

図１４に示すように、本実施形態の光ファイバは、クラッド２０の中心に１つのコア１０が設けられ、コア１０を囲むように複数の空孔２５がクラッド２０に形成されるホーリーファイバ２とされる。

図１５は、図１４のホーリーファイバ２を製造するための光ファイバ用母材であるホーリーファイバ用母材の長手方向に垂直な断面における構造を示す図である。図２に示すように、ホーリーファイバ用母材２Ｐは、コア１０となるコアガラス体１０Ｐと、コアガラス体１０Ｐを囲むロッド状のクラッドガラス体２０Ｐとから構成され、クラッドガラス体２０Ｐには、それぞれの空孔２５となる空孔２５Ｈが形成されている。このようなホーリーファイバ用母材２Ｐが線引きされ、被覆されることにより、図１３に示すホーリーファイバ２となる。

次に、図１５のホーリーファイバ用母材２Ｐ、及び、ホーリーファイバ用母材２Ｐを用いた図１４に示すホーリーファイバ２の製造方法について説明する。

本実施形態のホーリーファイバ用母材２Ｐ及びホーリーファイバ２の製造方法は、挿入工程Ｐ７及びコラプス工程Ｐ８を有しない点において第１実施形態のマルチコアファイバ用母材１Ｐ及びマルチコアファイバ１の製造方法と異なる。

＜準備工程Ｐ１＞
本工程は、コア１０及びクラッド２０となるガラス体を有する中間母材を準備する工程である。図１６は、本工程により準備される中間母材の長手方向に垂直な断面における構造を示す図である。図１６に示すように中間母材２Ｐｓは、図１５に示す空孔２５Ｈが形成されておらず、クラッドガラス体２０Ｐの中心にコアガラス体１０Ｐが設けられた状態とされる。

なお、本工程で中間母材２Ｐｓの準備を次のように行ってもよい。まず、図４に示す中間母材１Ｐｓと同じ中間母材を準備する。そして、当該中間母材の長手方向に沿って中間母材の中心に空孔を形成する。この空孔は貫通孔とされる。この空孔の形成は、第１実施形態の第１チャッキング工程Ｐ２及び穿孔工程Ｐ３と同様に第１チャッキング工程及び穿孔工程を行う。ただし、この場合の穿孔工程では、クラッドガラス体２０Ｐの中心に１つの空孔を形成する。その後、第１実施形態の封止工程Ｐ４、第２チャッキング工程Ｐ５、研磨工程Ｐ６と同様に封止工程、第２チャッキング工程、研磨工程を行い、クラッドガラス体２０Ｐの中心に形成された空孔の内壁を研磨する。その後、第１実施形態の挿入工程Ｐ７と同様に挿入工程を行い、クラッドガラス体２０Ｐの中心に形成された空孔にガラスロッド１５Ｐと同様のガラスロッドを挿入する。そして、第１実施形態のコラプス工程Ｐ８と同様にコラプス工程を行い、クラッドガラス体２０Ｐの内壁面と空孔に挿入されたガラスロッドとの間の隙間を潰す。こうして図１６に示す中間母材２Ｐｓを得る。

＜第１チャッキング工程Ｐ２＞
次に第１実施形態の第１チャッキング工程Ｐ２と同様に第１チャッキング工程Ｐ２を行う。

＜穿孔工程Ｐ３＞
次に穿孔工程Ｐ３を行う。ただし、本実施形態では、準備した中間母材２Ｐｓのコアガラス体１０Ｐの周囲に複数の空孔を形成する点において第１実施形態の穿孔工程Ｐ３と異なる。なお、本実施形態においても形成される空孔は貫通孔とされる。この空孔が、図１５にしめすホーリーファイバ用母材２Ｐに形成される空孔２５Ｈとされる。

＜封止工程Ｐ４〜研磨工程Ｐ６＞
次に第１実施形態の封止工程Ｐ４〜研磨工程Ｐ６と同様に封止工程Ｐ４を〜研磨工程Ｐ６行う。こうして、図１５に示すホーリーファイバ用母材２Ｐを得る。

＜線引工程Ｐ９＞
次に線引工程Ｐ９を行う。ただし、本実施形態では線引工程Ｐ９を行う準備段階として、準備工程Ｐ１〜研磨工程Ｐ６により製造されたホーリーファイバ用母材２Ｐに複数のガラス管を接続する。この複数のガラス管は、それぞれのガラス管の貫通孔と、ホーリーファイバ用母材２Ｐのそれぞれの空孔２５Ｈとが互いに連通するようにして、ホーリーファイバ用母材２Ｐに接続される。次に、空孔２５Ｈの内部をエッチング処理する。このエッチング処理においては、空孔２５Ｈ内の小さな凹凸の除去や、空孔２５Ｈの内壁から水酸基等の不純物を除去するものである。エッチング処理に用いるエッチング液は、ホーリーファイバ用母材２Ｐに接続されたガラス管の貫通孔を通じて、ホーリーファイバ用母材２Ｐのそれぞれの空孔２５Ｈに導入される。

次にエッチング処理されたホーリーファイバ用母材２Ｐを紡糸炉１１０に設置して、第１実施形態の線引工程Ｐ９と同様にして、ホーリーファイバ用母材２Ｐを線引する。ただし、本実施形態の線引工程Ｐ９においては、先にホーリーファイバ用母材２Ｐに接続された複数のガラス管からホーリーファイバ用母材２Ｐのそれぞれの空孔２５Ｈに、圧力制御用の不活性ガス等の気体が導入される。このようにして、ホーリーファイバ用母材２Ｐのそれぞれの空孔２５Ｈ内の圧力が調整されながら線引きされることにより、製造されるホーリーファイバ２の空孔２５の直径がばらつくことを防止できる。

このように、本発明の光ファイバ用母材の製造方法、及び、これを用いた光ファイバの製造方法は、ホーリーファイバのように空孔が光ファイバに残る場合であっても有効である。

以上、本発明について、第１、第２実施形態を例に説明したが、本発明はこれらに限定されるものではない。

つまり、本発明の光ファイバ用母材の製造方法は、上述の形態に限らず、クラッドガラス体２０Ｐに空孔２０Ｈを形成する工程を有する光ファイバ用母材の製造方法ならば、他の構造の光ファイバ用母材の製造方法にも適用することができる。

例えば、第１実施形態のマルチコアファイバ１としての光ファイバは、コア１０を複数備えているが、コア１０がクラッド２０の中心に１つ設けられるシングルコアファイバにも適用できる。この場合、穿孔工程Ｐ３おいてクラッドガラス体２０Ｐの中心に１つの空孔を形成すればよい。そして、第１実施形態の封止工程Ｐ４、第２チャッキング工程Ｐ５、研磨工程Ｐ６と同様に封止工程、第２チャッキング工程、研磨工程を行い、クラッドガラス体２０Ｐの中心に形成された空孔の内壁を研磨する。その後、第１実施形態の挿入工程Ｐ７と同様に挿入工程を行い、クラッドガラス体２０Ｐの中心に形成された空孔にガラスロッド１５Ｐと同様のガラスロッドを挿入する。そして、第１実施形態のコラプス工程Ｐ８と同様にコラプス工程を行い、クラッドガラス体２０Ｐの内壁面と空孔に挿入されたガラスロッドとの間の隙間を潰す。こうしてシングルコアファイバ用の光ファイバ用母材を得る。さらにこの光ファイバ用母材を線引することで、シングルコアファイバを得る。

また、第２実施形態のホーリーファイバ２である光ファイバにおいて、コアの周りに複数の空孔を有する光ファイバであれば、孔の大きさ、数、配置を変更しても良い。例えば、空孔の大きさや配置を変えて、フォトニックバンドギャップファイバとしてのホーリーファイバとしても良い。

また、上記実施形態において、穿孔工程Ｐ３を行い形成する空孔が深くなるごとに第１チャッキング工程Ｐ２を行い、ドリルツール５０の長さ及びドリルカバー７５の長さを大きくして、貫通孔が形成されるまで、第１チャッキング工程Ｐ２と穿孔工程Ｐ３とを繰り返してもよい。

また、上記実施形態では、穿孔工程Ｐ３により空孔２０Ｈ、２５Ｈとして貫通孔が形成されたが、本発明では、必ずしも空孔２０Ｈ、２５Ｈが貫通孔である必要はなく、中間母材の一端側から空孔を形成して、他方側の端部の近傍で空孔の形成を止めても良い。こうすることで、封止工程Ｐ４を省略することができる。なお、このようにする場合、ドリルツール５０の空孔２０Ｈ、２５Ｈ内に生じる棒状のガラス屑が、他方側の端部の近傍において、クラッドガラス体２０Ｐに接続されている状態となるが、このガラス屑は適宜除去する。

また、穿孔工程Ｐ３及び研磨工程Ｐ６の一方において、ドリルカバー７５が用いられなくてもよい。穿孔工程Ｐ３でドリルカバー７５が用いられない場合、第１チャッキング工程Ｐ２でドリル装置７０からドリルカバー７５が取り外され、研磨工程Ｐ６でドリルカバー７５が用いられない場合、第２チャッキング工程Ｐ５でドリル装置７０からドリルカバー７５が取り外される。なお、穿孔工程Ｐ３及び研磨工程Ｐ６の一方において、ドリルカバー７５が用いられない場合、穿孔工程Ｐ３においてドリルカバーが用いられないほうがよい。これは、穿孔工程Ｐ３で、パイプ５２に由来する付着物がクラッドガラス体２０Ｐの内壁面に付着しても、研磨工程Ｐ６で当該付着物が除去される傾向にあるためである。

また、本実施形態では、ドリルツール５０の軸部材をパイプ５２で構成し、ドリルツール６０の軸部材をパイプ６２で構成した。しかし、軸部材は必ずしもパイプでなくてもよい。

本発明によれば、本発明によれば、製造される光ファイバの伝送損失を抑制することができる光ファイバ用母材の製造方法、及び、これを用いた光ファイバの製造方法が提供され、ファイバレーザ装置や光ファイバ通信の分野や、その他光ファイバを利用したデバイスに利用することができる。

１・・・マルチコアファイバ（光ファイバ）
１Ｐ・・・マルチコアファイバ用母材（光ファイバ用母材）
１Ｐｓ・・・中間母材
２・・・ホーリーファイバ
２Ｐ・・・ホーリーファイバ用母材（光ファイバ用母材）
２Ｐｓ・・・中間母材
１０・・・コア
１０Ｐ・・・コアガラス体
１５Ｐ・・・ガラスロッド
２０・・・クラッド
２０Ｐ・・・クラッドガラス体
２０Ｈ・・・空孔
２５・・・空孔
２５Ｐ・・・空孔
５０・・・ドリルツール（穿孔用のドリルツール）
５１・・・切削部（ドリルヘッド）
５２・・・パイプ（軸部材）
６０・・・ドリルツール（研磨用のドリルツール）
６１・・・研磨部（ドリルヘッド）
６２・・・パイプ（軸部材）
７０・・・ドリル装置
７５・・・ドリルカバー
Ｐ１・・・準備工程
Ｐ２・・・第１チャッキング工程
Ｐ３・・・穿孔工程（削り工程）
Ｐ４・・・封止工程
Ｐ５・・・第２チャッキング工程
Ｐ６・・・研磨工程（削り工程）
Ｐ７・・・挿入工程
Ｐ８・・・コラプス工程
Ｐ９・・・線引工程

Claims (7)

1. クラッドとなるクラッドガラス体を有する中間母材を準備する準備工程と、
   軸部材と前記軸部材の一方の端部に設けられるドリルヘッドとを有するドリルツールを空孔内で回転させながら押し進めて前記クラッドガラス体を削る削り工程と、
   を備え、
   前記削り工程の少なくとも一部において、前記空孔内に位置する前記軸部材の少なくとも一部が、前記ドリルツールとともに回転しない筒状のドリルカバーで囲まれる
   ことを特徴とする光ファイバ用母材の製造方法。
2. 前記削り工程において、前記ドリルツールと前記ドリルカバーとを共に前記空孔の長手方向に移動させる
   ことを特徴とする請求項１に記載の光ファイバ用母材の製造方法。
3. 前記削り工程において、前記軸部材が前記空孔内に挿入される挿入長に合わせて、前記空孔内に挿入される前記ドリルカバーの長さを変化させる
   ことを特徴とする請求項２に記載の光ファイバ用母材の製造方法。
4. 前記ドリルカバーは、遷移金属及び希土類金属を非含有とする
   ことを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の光ファイバ用母材の製造方法。
5. 前記削り工程は、前記空孔を形成する穿孔工程を含み
   前記穿孔工程において、前記空孔内に位置する前記軸部材の少なくとも一部が前記ドリルカバーで囲まれる
   ことを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の光ファイバ用母材の製造方法。
6. 前記削り工程は、前記空孔の内壁を研磨する研磨工程を含み、
   前記研磨工程において、前記空孔内に位置する前記軸部材の少なくとも一部が前記ドリルカバーで囲まれる
   ことを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載の光ファイバ用母材の製造方法。
7. 請求項１から６のいずれか１項に記載の光ファイバ用母材の製造方法により製造される光ファイバ用母材を線引きする線引工程を備える
   ことを特徴とする光ファイバの製造方法。
   
   

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