JP2016141029A - Scribe device and holder unit - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、ガラス基板等の脆性材料基板の分断において、脆性材料基板の表面にスクライブラインを形成する際に用いるスクライブ装置及びホルダユニットに関する。 The present invention relates to a scribing device and a holder unit used when forming a scribe line on the surface of a brittle material substrate in dividing a brittle material substrate such as a glass substrate.
ガラス基板等の脆性材料基板を所望の寸法に分断する際、一般的にスクライブ装置が用いられる。このスクライブ装置は、スクライビングホイールを保持するためのホルダにスクライビングホイールを取り付けて使用される。また、このスクライビングホイールは、ホルダの保持部に形成されたピン孔と、スクライビングホイールの側面に形成された貫通孔とに、円柱状のピン軸を挿入することで、保持部間(保持溝)に保持される。 When a brittle material substrate such as a glass substrate is divided into desired dimensions, a scribing device is generally used. This scribing device is used by attaching the scribing wheel to a holder for holding the scribing wheel. In addition, this scribing wheel has a cylindrical pin shaft inserted into a pin hole formed in a holder holding part and a through hole formed in a side surface of the scribing wheel, so that the holding part (holding groove) Retained.
そして、ホルダに取り付けられたスクライビングホイールは、回転自在に保持されており、脆性材料基板の表面を回転しながら進むことで、脆性材料基板にスクライブラインを形成する。なお、このようなスクライブ装置として、例えば、特許文献1に記載されているようなスクライブ装置がある。
The scribing wheel attached to the holder is rotatably held, and proceeds while rotating on the surface of the brittle material substrate, thereby forming a scribe line in the brittle material substrate. An example of such a scribing device is a scribing device described in
ホルダに取り付けられたスクライビングホイールは、上述のようにスクライブラインを形成するために保持溝で回転する必要がある。したがって、保持溝の幅はスクライビングホイールの厚みより若干広くなっており、スクライビングホイールと保持部との間にはクリアランスが確保されている。具体的には、スクライビングホイールの厚みが0.65mmの場合には、保持溝の幅は0.02mm程度広くなっている。このように、スクライビングホイールと保持部との間にクリアランスが存在することによって、スクライビングホイールは、回転自在に保持される。 The scribing wheel attached to the holder needs to rotate in the holding groove in order to form a scribe line as described above. Therefore, the width of the holding groove is slightly larger than the thickness of the scribing wheel, and a clearance is secured between the scribing wheel and the holding portion. Specifically, when the thickness of the scribing wheel is 0.65 mm, the width of the holding groove is increased by about 0.02 mm. As described above, the clearance exists between the scribing wheel and the holding portion, so that the scribing wheel is rotatably held.
一方で、このクリアランスによって、スクライビングホイールは、ホルダ溝内でピン軸に沿って0.02mm程度移動できることになってしまう。したがって、スクライブラインを形成する際に、スクライビングホイールがピン軸方向に移動してしまうことで、スクライブラインの形成位置が安定しなくなり、従来のスクライブ装置では、スクライブラインが所望の位置からずれるということが問題となっていた。 On the other hand, this clearance allows the scribing wheel to move about 0.02 mm along the pin axis within the holder groove. Therefore, when the scribe line is formed, the scribing wheel moves in the pin axis direction, so that the formation position of the scribe line becomes unstable, and in the conventional scribe device, the scribe line is shifted from a desired position. Was a problem.
本発明は、上述したスクライビングホイールがピン軸方向に移動することによりスクライブラインの形成位置がずれるという問題点に鑑みてなされたものであって、スクライブイラインの形成位置を安定させ、所望の位置からのずれが生じないようにするスクライブ装置及びホルダユニットを提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the problem that the formation position of the scribe line is shifted due to the movement of the above-described scribing wheel in the pin axis direction, and the formation position of the scribe line is stabilized to a desired position. An object of the present invention is to provide a scribing device and a holder unit that prevent deviation from the above.
上記目的を達成するため、本発明のスクライブ装置は、スクライビングホイールと、前記スクライビングホイールの貫通孔に貫通されたピン軸と、本体部と、前記本体部の下方側に形成され前記スクライビングホイールを保持する一対の保持部と、前記保持部にそれぞれ形成されるとともに前記ピン軸が挿通されたピン孔と、を有するホルダと、を備えたホルダユニットと、鉛直方向に伸びる回転軸を中心に前記ホルダユニットを回転自在に保持するスクライブヘッドと、を備えるスクライブ装置であって、前記ピン軸が、水平面において前記スクライビングホイールの進行方向と直交する方向から傾いて配置されていることを特徴とする。 In order to achieve the above object, the scribing device of the present invention includes a scribing wheel, a pin shaft penetrating through a through hole of the scribing wheel, a main body, and a lower side of the main body that holds the scribing wheel. A holder unit comprising: a holder having a pair of holding portions; and a pin hole formed in each of the holding portions and through which the pin shaft is inserted; and the holder centering on a rotating shaft extending in a vertical direction A scribing device including a scribing head that rotatably holds the unit, wherein the pin shaft is disposed in a horizontal plane so as to be inclined from a direction orthogonal to a traveling direction of the scribing wheel.
本発明のスクライブ装置によれば、ピン軸が進行方向と直交する方向から傾いて配置されているため、スクライブラインを形成すると、スクライビングホイールが一方の保持部側へと寄ることになる。このため、スクライビングホイールと保持部との間のクリアランスによってスクライビングホイールがピン軸方向へ移動することが規制される。したがって、スクライブ装置は、スクライブラインの形成位置を安定させることができる。 According to the scribing device of the present invention, since the pin shaft is arranged to be inclined from the direction orthogonal to the traveling direction, when the scribe line is formed, the scribing wheel approaches one holding part side. For this reason, the scribing wheel is restricted from moving in the pin axis direction by the clearance between the scribing wheel and the holding portion. Therefore, the scribe device can stabilize the formation position of the scribe line.
また、本発明のスクライブ装置は、前記ピン孔が、水平面において進行方向に沿って互いに異なる位置に形成されていることを特徴とする。 The scribing apparatus of the present invention is characterized in that the pin holes are formed at different positions along the traveling direction in a horizontal plane.
本発明のスクライブ装置によれば、ホルダのピン孔の形成位置を調整するだけで上記効果を奏することができる。 According to the scribing device of the present invention, the above-described effect can be achieved by simply adjusting the formation position of the pin hole of the holder.
また、本発明のスクライブ装置は、一対の前記保持部との間で形成される保持溝が、前記ピン軸と直交するように傾いて形成されていることを特徴とする。 Moreover, the scribing device of the present invention is characterized in that a holding groove formed between the pair of holding portions is inclined so as to be orthogonal to the pin axis.
本発明のスクライブ装置によれば、スクライビングホイールが一方の保持部側へと寄った際にスクライビングホイールと保持部との接触面積が増えるため、スクライビングホイールの側面の摩耗を抑えることができる。 According to the scribing device of the present invention, since the contact area between the scribing wheel and the holding portion increases when the scribing wheel approaches one holding portion, wear on the side surface of the scribing wheel can be suppressed.
また、本発明のスクライブ装置は、前記スクライブヘッドが、水平面において前記スクライビングホイールの進行方向と直交する方向から前記ピン軸を傾けるためのホルダユニット傾斜手段を備えることを特徴とする。 The scribing apparatus of the present invention is characterized in that the scribing head includes holder unit tilting means for tilting the pin shaft from a direction perpendicular to the traveling direction of the scribing wheel on a horizontal plane.
本発明のスクライブ装置によれば、スクライブヘッドがホルダユニット傾斜手段を備えるため、ホルダユニットそのものにピン軸を傾けるための特別な加工を行う必要がない。そのため、スクライブ装置は、一般に用いられるホルダユニットを用いて上記効果を奏することができる。 According to the scribing apparatus of the present invention, since the scribing head includes the holder unit tilting means, it is not necessary to perform special processing for tilting the pin shaft on the holder unit itself. Therefore, the scribing device can achieve the above effect using a commonly used holder unit.
また、本発明のスクライブ装置は、前記スクライブヘッドが、前記回転軸が取り付けられたホルダジョイントを備えており、前記ホルダユニット傾斜手段は、前記ホルダジョイントに形成されていることを特徴とする。 In the scribing apparatus of the present invention, the scribing head includes a holder joint to which the rotating shaft is attached, and the holder unit tilting means is formed in the holder joint.
本発明のスクライブ装置によれば、ホルダユニットがホルダジョイントを介してスクライブヘッドへ取り付けられる構成のスクライブ装置にも適用することができる。 According to the scribing apparatus of the present invention, the present invention can also be applied to a scribing apparatus having a configuration in which the holder unit is attached to the scribing head via the holder joint.
また、本発明のスクライブ装置は、前記ホルダジョイントが垂直壁を備え、前記ホルダユニット傾斜手段は、前記垂直壁と前記ホルダとの間に配置された傾斜部材であることを特徴とする。また、本発明のスクライブ装置は、前記ホルダユニット傾斜手段が、前記ホルダジョイントと前記ホルダとの間に配置されたバネ部材であることを特徴とする。また、本発明のスクライブ装置は、前記ホルダユニット傾斜手段が、前記ホルダジョイントに取り付けられた磁石であることを特徴とする。 The scribing apparatus of the present invention is characterized in that the holder joint includes a vertical wall, and the holder unit tilting means is a tilting member disposed between the vertical wall and the holder. The scribing device of the present invention is characterized in that the holder unit tilting means is a spring member disposed between the holder joint and the holder. The scribing apparatus of the present invention is characterized in that the holder unit tilting means is a magnet attached to the holder joint.
本発明のスクライブ装置によれば、スクライブ装置に適したホルダユニット傾斜手段を採用することができる。 According to the scribing apparatus of the present invention, it is possible to employ holder unit tilting means suitable for the scribing apparatus.
また、本発明のホルダユニットは、スクライビングホイールと、前記スクライビングホイールの貫通孔に貫通されたピン軸と、本体部と、前記本体部の下方側に形成され前記スクライビングホイールを保持する一対の保持部と、前記保持部にそれぞれ形成されるとともに前記ピン軸が挿通されたピン孔と、を有するホルダと、を備えたホルダユニットであって、前記ピン孔が、水平面において進行方向に沿って互いに異なる位置に形成され、前記ピン軸は、水平面において前記スクライビングホイールの進行方向と直交する方向から傾いて配置されていることを特徴とする。 The holder unit of the present invention includes a scribing wheel, a pin shaft penetrating through the through hole of the scribing wheel, a main body portion, and a pair of holding portions that are formed below the main body portion and hold the scribing wheel. And holders each having a pin hole formed in the holding portion and through which the pin shaft is inserted, wherein the pin holes are different from each other along the traveling direction in a horizontal plane. The pin shaft is formed at a position, and is inclined from a direction orthogonal to the traveling direction of the scribing wheel on a horizontal plane.
本発明のホルダユニットを用いてスクライブ装置によりスクライブラインを形成することで、ピン軸が進行方向と直交する方向から傾いて配置されているため、スクライビングホイールが一方の保持部側へと寄ることになる。このため、スクライビングホイールと保持部との間のクリアランスによってスクライビングホイールがピン軸方向へ移動することが規制される。 By forming the scribe line by the scribe device using the holder unit of the present invention, the pin shaft is arranged inclined from the direction orthogonal to the traveling direction, so that the scribing wheel approaches one holding part side. Become. For this reason, the scribing wheel is restricted from moving in the pin axis direction by the clearance between the scribing wheel and the holding portion.
また、本発明のホルダユニットは、一対の前記保持部との間で形成される保持溝が、前記ピン軸と直交するように傾いて形成されていることを特徴とする。 Further, the holder unit of the present invention is characterized in that a holding groove formed between the pair of holding portions is inclined so as to be orthogonal to the pin shaft.
本発明のホルダユニットによれば、スクライビングホイールが一方の保持部側へと寄った際にスクライビングホイールと保持部との接触面積が増えるため、スクライビングホイールの側面の摩耗を抑えることができる。 According to the holder unit of the present invention, since the contact area between the scribing wheel and the holding portion increases when the scribing wheel approaches one holding portion, wear on the side surface of the scribing wheel can be suppressed.
以下、本発明の実施形態を図面を用いて説明する。ただし、以下に示す実施形態は、本発明の技術思想を具体化するための一例を示すものであり、本発明をこの実施形態に特定することを意図するものではない。本発明は、特許請求の範囲に含まれるその他の実施形態にも適応できるものである。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. However, the embodiment shown below shows an example for embodying the technical idea of the present invention, and is not intended to specify the present invention to this embodiment. The present invention is also applicable to other embodiments within the scope of the claims.
[実施形態1]
図1は、本発明の実施形態に係るスクライブ装置1の概略図である。スクライブ装置1は、移動台10を備えている。移動台10は、ボールネジ11と螺合されており、モータの駆動によりこのボールネジ11が回転することで、一対の案内レール12に沿ってy軸方向に移動可能となっている。
[Embodiment 1]
FIG. 1 is a schematic view of a
移動台10の上面には、モータ13が設置されている。モータ13は、上部に位置するテーブル14をxy平面で回転させて所定角度に位置決めする。モータ13により水平回転可能なテーブル14は、図示しない真空吸着手段を備えており、テーブル14上に載置された脆性材料基板15をこの真空吸着手段によって保持する。
A
この脆性材料基板15は、ガラス基板、低温焼成セラミックスや高温焼成セラミックスからなるセラミック基板、シリコン基板、化合物半導体基板、サファイア基板、石英基板等である。また、脆性材料基板15は、基板の表面又は内部に薄膜或いは半導体材料を付着させたり、含ませたりしたものであってもよい。また、脆性材料基板15は、その表面に脆性材料に該当しない薄膜等が付着されていても構わない。
The
スクライブ装置1は、テーブル14に載置された脆性材料基板15の上方に、この脆性材料基板15の表面に形成されたアライメントマークを撮像する二台のCCDカメラ16を備えている。移動台10とその上部のテーブル14とを跨ぐように、ブリッジ17が支柱18a、18bに架設されている。
The
ブリッジ17にはガイド19が取り付けられており、スクライブヘッド20はこのガイド19に案内されてx軸方向に移動するように設置されている。スクライブヘッド20は下端にホルダジョイント21を備えている。ホルダ60にスクライビングホイール40が保持されているホルダユニット30が、ホルダジョイント21を介してスクライブヘッド20に取り付けられている。
A
ここで、スクライブ装置1を用いて脆性材料基板15へスクライブラインを形成する工程の概略を説明する。まず、スクライブヘッド20に取り付けられたホルダ60にスクライビングホイール40を取り付ける。そして、スクライブ装置1は、一対のCCDカメラ16によって脆性材料基板15の位置決めを行う。次いで、スクライブ装置1は、スクライブヘッド20を所定の位置に移動させ、スクライビングホイール40に対して所定の荷重を印加して、脆性材料基板15へ接触させる。そして、スクライブ装置1は、スクライブヘッド20をX軸方向に移動させることにより、脆性材料基板15の表面に所定のスクライブラインを形成する。なお、スクライブ装置1は、必要に応じてテーブル14を回動ないしY軸方向に移動し、上記の場合と同様にしてスクライブラインを形成する。
Here, an outline of a process of forming a scribe line on the
次に、ホルダユニット30の詳細について図を用いて説明する。図2(A)はホルダユニット30の横向きに示した正面図であり、図2(B)はホルダユニット30の側面図であり、図2(C)は図2(B)の矢印Aで示した上方視におけるホルダユニット30の概念図である。なお、図2(A)、(B)には、ホルダユニット30が直接取り付けられるホルダジョイント21が併せて図示されている。また、図2(C)は、後述する水平面Hにおけるピン軸50の向きを示すための概念図であるため、ホルダユニット30について一部図示を省略している。
Next, details of the
ホルダユニット30は、スクライビングホイール40と、ピン軸50と、ホルダ60と、が一体となったものである。ホルダユニット30は、図2(B)に示すようにホルダジョイント21に取付ネジ31によって取り付けられている。
The
ここで、ホルダジョイント21は、垂直壁22aと水平壁22bからなり断面形状が逆L字状の取付部22と、取付部22の水平壁22bの天面側から鉛直方向に伸びた回転軸23と、回転軸23が挿通された二つのベアリング24a、24bと、で構成されている。
Here, the holder joint 21 includes a
ホルダジョイント21に取り付けられたホルダユニット30は、ホルダユニット30の側面が取付部22の垂直壁22aと接触し、ホルダユニット30の上面が水平壁22bと接触する。また、垂直壁22aには、図2(A)に示すように取付ネジ31が挿入されるネジ孔25が形成されている。
In the
そして、ホルダジョイント21は、取付部22に取り付けられたホルダユニット30をスクライブヘッド20から露出するようにして、スクライブヘッド20の内部へと固定される。この時、ホルダジョイント21に固定されたホルダユニット30は、回転軸23を中心として回転自在となっている。なお、一点鎖線Sは、回転軸23の軸中心を示している。また、図2(A)の破線Hは回転軸23と直交する水平面を示しており、この水平面Hは脆性材料基板15の表面と平行な面となる。
The holder joint 21 is fixed to the inside of the
また、スクライブ装置1を用い脆性材料基板15の表面にスクライブラインを形成する際、スクライビングホイール40は図2等で示す矢印Rの方向に進むように回転する。なお、スクライブ装置1は、ホルダジョイント21を用いないで、ホルダユニット30自身が回転軸23やベアリング24a、24bを備える構成でも構わない。
Further, when a scribe line is formed on the surface of the
スクライビングホイール40は、例えば焼結ダイヤモンドや超硬合金等で形成された、円板状の部材である。また、スクライビングホイール40にはピン軸50が貫通するための貫通孔41が円板の両側面42a、42bの中心に形成されている。また、スクライビングホイール40には稜線を形成するV字状の刃が外周部に形成されている。また、本実施形態のスクライビングホイール40は、厚さが約0.65mmであり、外径が約2.0mm、貫通孔41の径が約0.8mm、刃の刃先角が約130°である。
The
ピン軸50は、例えば焼結ダイヤモンドや超硬合金等で形成された、円柱状の部材であり、一端が尖頭形状の尖頭部51になっている。また、本実施形態のピン軸50の径は約0.8mmとなっている。
The
ホルダ60は、ステンレスや炭素工具鋼からなる本体部61からなる。本体部61は、図2(B)に示すように下方側が側面視において下端に向かって幅が狭くなる台形状となっている。また、本体部61の台形状部分には、それぞれ保持部62a、62bが形成されており、保持部62a、62bとの間に保持溝63が形成される。なお、ホルダ60は本体部61を一つの基材で構成しているが、例えば、保持部62a、62bをそれぞれ有する二つの基材を固定することで本体部61を形成したものでも構わない。
The
保持部62a、62bには、ピン軸50が挿通されるピン孔64a、64bが形成されている。なお、ピン孔64a、64bが形成されている位置について詳細を更に後述する。スクライビングホイール40の側面42aは保持部62aと対向し、側面42bは保持部62bと対向する。側面42aと対向する保持部62aの対向面は保持壁65aとなり、側面42bと対向する保持部62bの対向面は保持壁65bとなる。
本体部61の上部には、取付ネジ31が挿入されるネジ孔66が形成されている。また、保持部62a側には止め金68aがネジ69aで取り付けられており、保持部62b側には止め金68bがネジ69bで取り付けられている。この止め金68a、68bは、ピン孔64a、64bを閉塞するためのものである。
A
以上のようなスクライブ装置1は、スクライビングホイール40と、スクライビングホイール40の貫通孔41に貫通されたピン軸50と、本体部61の下方側の保持部62a、62bに設けられたピン孔64a、64bにピン軸50が挿通されたホルダ60と、を備えたホルダユニット30と、回転軸23を中心にホルダユニット30を回転自在に保持するとともにスクライブヘッド20内部へ固定されるホルダジョイント21と、を備えている。
The
また、このスクライブ装置1は、水平面Hにおいて、図2(C)に示すように進行方向Rと直交する方向Bに対して傾いてピン軸50を配置している。具体的には、ホルダ60の保持部62a、62bに形成されているピン孔64a、64bが、一般的には進行方向Rに沿って同じ位置に対面するようにして形成されているが、本実施形態では図2(C)に示すように進行方向Rに沿って互いに異なる位置に形成されている。
In addition, the
したがって、ピン孔64a、64bに挿通されたピン軸50は、進行方向Rと直交する方向Bに対して傾いて配置されることになる。
Accordingly, the
そして、このようなスクライブ装置1を用いて脆性材料基板15の表面にスクライブラインを形成すると、脆性材料基板15から受ける反力によって、スクライビングホイール40の側面42a側が保持壁65aに近づく方向に移動し、保持壁65aへと接触する。
Then, when a scribe line is formed on the surface of the
このため、スクライビングホイール40の側面42aと保持壁65aとのクリアランスがゼロになる。したがって、スクライビングホイール40は、スクライブラインを形成する際に、ピン軸50に沿った移動を規制されることになる。そして、スクライブ装置1はスクライブラインの形成位置が安定することになり、所望の位置へスクライブラインを形成することができる。
For this reason, the clearance between the
[実施形態2]
次に他の実施形態について図を用いて説明する。図3は上方視におけるホルダユニット130の概念図である。なお、実施形態1のホルダユニット30の同様な構成については、符号とともに説明を省略する。
[Embodiment 2]
Next, another embodiment will be described with reference to the drawings. FIG. 3 is a conceptual diagram of the
実施形態1のホルダユニット30は、保持溝63に位置するピン軸50のみが進行方向Rと直交する方向Bに対して傾いて配置されていた。一方、本実施形態のホルダユニット130は、ピン軸150の傾きにあわせて保持溝163も傾いて形成されている。
In the
このようなホルダユニット130を備えるスクライブ装置1を用いてスクライブラインを形成すると、スクライビングホイール140の側面142a側が保持壁165aに近づく方向に移動した際に、スクライビングホイール140の側面142a側と保持壁165aとの接触面積が増えることになる。また、保持溝163の傾斜角度を、スクライビングホイール140の側面と進行方向Rとの間の角度にあわせることで、スクライビングホイール140の側面142a側と保持壁165aとが面接触することになる。
When a scribe line is formed using the
したがって、スクライビングホイール140の側面142aや、保持部162aの保持壁165aの摩耗が均一に進むことになり、部品の交換頻度を抑えることができる。なお、
Therefore, the wear of the
[実施形態3]
次に他の実施形態について図を用いて説明する。図4は上面視におけるホルダジョイント221に取り付けられたホルダユニット230の概念図である。なお、実施形態1と同様な構成については、符号とともに説明を省略する。
[Embodiment 3]
Next, another embodiment will be described with reference to the drawings. FIG. 4 is a conceptual diagram of the
本実施形態におけるスクライブ装置1は、水平面Hにおいて進行方向Rと直交する方向Bに対して傾いてピン軸250を配置するために、ホルダジョイント221がホルダユニット傾斜手段を備える構成となっている。
The
具体的には、ホルダユニット傾斜手段は、ホルダジョイント221の垂直壁222aとホルダユニット230との間に固定配置された傾斜部材280である。
Specifically, the holder unit tilting means is a tilting
この傾斜部材280は、金属製の部材からなり、図4に示すように進行方向Rに対して前方から後方に向けて徐々に幅が狭くなる三角状の部材である。
The
この傾斜部材280は、本体部261の保持部262b側の側面と垂直壁222aとの間であって、止め金268bとネジ269bと接触しないように正面視においてネジ269bよりも上方に配置されている。また、傾斜部材280は、ネジ孔(図示せず)が形成されており、垂直壁222aにホルダ260を取り付ける取付ネジ(図示せず)よって、固定されている。
The
このように、ホルダジョイント221がホルダユニット傾斜手段を備える構成とすることによって、ホルダユニット230自身にピン軸250を傾けるための加工を施す必要がないため、一般的なホルダユニット230をそのまま用いることができる。
As described above, since the holder joint 221 includes the holder unit tilting means, it is not necessary to perform processing for tilting the
[実施形態4]
次に他の実施形態について図を用いて説明する。図5(A)はホルダジョイントに321に取り付けられたホルダユニット330の側面図であり、図5(B)は上面視におけるホルダユニット330の概念図である。
[Embodiment 4]
Next, another embodiment will be described with reference to the drawings. FIG. 5A is a side view of the
本実施形態におけるスクライブ装置1は、実施形態3と同様にホルダジョイント321がホルダユニット傾斜手段を備える構成となっている。
In the
一方、本実施形態のホルダユニット傾斜手段は、ホルダジョイント321とホルダユニット330との間に配置されたバネ部材380である。具体的には、バネ部材380は、ホルダジョイント321の水平壁322bの前方に設けられた引掛け部381aと、ホルダ360の本体部361前方に設けられた引掛け部381bに、端部をそれぞれ引掛けて配置されている。そして引掛け部381aと381bは、進行方向Rに沿って同一線上から少しだけ外れるように設けられている。
On the other hand, the holder unit tilting means of the present embodiment is a
したがって、バネ部材380の弾性力によって、図5(B)に示すようにホルダユニット330が若干傾くことになる。ホルダユニット330が傾くことにより、ピン軸350も進行方向Rと直交する方向Bに対して傾くことになる。
Therefore, the
そして、スクライブ装置1を用いて脆性材料基板15の表面にスクライブラインを形成すると、スクライビングホイール340の側面342a側が保持壁365aに近づく方向に移動し、保持壁365aへと接触する。このため、スクライビングホイール340は、側面342aと保持壁365aとのクリアランスがゼロになり、スクライブラインを形成する際にピン軸350に沿った移動を規制されることになる。
Then, when a scribe line is formed on the surface of the
[実施形態5]
次に他の実施形態について図を用いて説明する。図6(A)はホルダジョイントに421に取り付けられたホルダユニット430の側面図であり、図6(B)は上面視におけるホルダユニット430の概念図である。
[Embodiment 5]
Next, another embodiment will be described with reference to the drawings. 6A is a side view of the
本実施形態におけるスクライブ装置1は、実施形態3、実施形態4と同様にホルダジョイント421がホルダユニット傾斜手段を備える構成となっている。
The
一方、本実施形態のホルダユニット傾斜手段は、ホルダジョイント421に取り付けらえた磁石480である。具体的には、磁石480は、ホルダジョイント421の水平壁422bの前方に設けられた固定部481aに取り付けられている。
On the other hand, the holder unit tilting means of the present embodiment is a
また、本実施形態においてホルダ460の本体部461は、例えばオーステナイト系ステンレスのような非磁性材料で形成されている。そして、ホルダ460の本体部461前方に磁石481bが内蔵されている。
In the present embodiment, the
したがって、磁石480にホルダユニット430が備える磁石481bが引き付けられることになり、図6(B)に示すようにホルダユニット430が若干傾くことになる。ホルダユニット430が傾くことにより、ピン軸450も進行方向Rと直交する方向Bに対して傾くことになる。
Therefore, the
そして、スクライブ装置1を用いて脆性材料基板15の表面にスクライブラインを形成すると、スクライビングホイール440の側面442a側が保持壁465aに近づく方向に移動し、保持壁465aへと接触する。このため、スクライビングホイール440は、側面442aと保持壁465aとのクリアランスがゼロになり、スクライブラインを形成する際にピン軸450に沿った移動を規制されることになる。
Then, when a scribe line is formed on the surface of the
また、実施形態3〜5のように、スクライブ装置1がホルダユニット傾斜手段を備える構成によって、ホルダユニット自体にピン軸を傾ける加工を施す必要がないため、一般的に用いられているホルダユニットをほぼそのまま使用することができる。なお、実施形態3〜5においては、ホルダジョイントがホルダユニット傾斜手段を備える構成を示したが、例えば、スクライブ装置1がホルダジョイントを備えない構成である場合には、スクライブヘッドにホルダユニット傾斜手段を設ける構成でも構わない。
In addition, since the
1…スクライブ装置
10…移動台
11…ボールネジ
12…案内レール
13…モータ
14…テーブル
15…脆性材料基板
16…CCDカメラ
17…ブリッジ
18a、18b…支柱
19…ガイド
20…スクライブヘッド
21、221、321、421…ホルダジョイント
22…取付部
22a…垂直壁
22b…水平壁
23…回転軸
24a、24b…ベアリング
25…ネジ孔
30、130、230、330、430…ホルダユニット
31、131…取付ネジ
40、140、340、440…スクライビングホイール
41…貫通孔
42a、42b、142a、342a、442a…側面
50、150、250、350、450…ピン軸
51…尖頭部
60、160、260、360、460…ホルダ
61、261、361、461…本体部
62a、62b、162a、262b…保持部
63、163…保持溝
64a、64b…ピン孔
65a、65b、165a、365a、465a…保持壁
66…ネジ孔
68a、68b、268b…止め金
69a、69b、269b…ネジ
280…傾斜部材
380…バネ部材
381a、381b…引掛け部
480、481b…磁石
481a…固定部
DESCRIPTION OF
Claims (10)
前記スクライビングホイールの貫通孔に貫通されたピン軸と、
本体部と、前記本体部の下方側に形成され前記スクライビングホイールを保持する一対の保持部と、前記保持部にそれぞれ形成されるとともに前記ピン軸が挿通されたピン孔と、を有するホルダと、を備えたホルダユニットと、
鉛直方向に伸びる回転軸を中心に前記ホルダユニットを回転自在に保持するスクライブヘッドと、
を備えるスクライブ装置であって、
前記ピン軸が、水平面において前記スクライビングホイールの進行方向と直交する方向から傾いて配置されていることを特徴とするスクライブ装置。 A scribing wheel,
A pin shaft penetrating through the through hole of the scribing wheel;
A holder having a main body part, a pair of holding parts formed on the lower side of the main body part to hold the scribing wheel, and a pin hole formed in the holding part and through which the pin shaft is inserted; A holder unit comprising:
A scribe head that rotatably holds the holder unit around a rotation axis extending in a vertical direction;
A scribing device comprising:
The scribing apparatus, wherein the pin shaft is disposed to be inclined from a direction orthogonal to a traveling direction of the scribing wheel on a horizontal plane.
前記ホルダユニット傾斜手段は、前記ホルダジョイントに形成されていることを特徴とする請求項4に記載のスクライブ装置。 The scribe head includes a holder joint to which the rotating shaft is attached;
The scribing apparatus according to claim 4, wherein the holder unit tilting means is formed on the holder joint.
前記ホルダユニット傾斜手段は、前記垂直壁と前記ホルダとの間に配置された傾斜部材であることを特徴とする請求項5に記載のスクライブ装置。 The holder joint comprises a vertical wall;
The scribing apparatus according to claim 5, wherein the holder unit tilting means is a tilting member disposed between the vertical wall and the holder.
前記スクライビングホイールの貫通孔に貫通されたピン軸と、
本体部と、前記本体部の下方側に形成され前記スクライビングホイールを保持する一対の保持部と、前記保持部にそれぞれ形成されるとともに前記ピン軸が挿通されたピン孔と、を有するホルダと、
を備えたホルダユニットであって、
前記ピン孔が、水平面において進行方向に沿って互いに異なる位置に形成され、
前記ピン軸は、水平面において前記スクライビングホイールの進行方向と直交する方向から傾いて配置されていることを特徴とするホルダユニット。 A scribing wheel,
A pin shaft penetrating through the through hole of the scribing wheel;
A holder having a main body part, a pair of holding parts formed on the lower side of the main body part to hold the scribing wheel, and a pin hole formed in the holding part and through which the pin shaft is inserted;
A holder unit comprising:
The pin holes are formed at different positions along the traveling direction in a horizontal plane,
The holder unit according to claim 1, wherein the pin shaft is inclined from a direction orthogonal to a traveling direction of the scribing wheel on a horizontal plane.
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JP2001102241A (en) * | 1999-09-30 | 2001-04-13 | Murata Mfg Co Ltd | Method for manufacturing laminated ceramic parts and cutting device for laminated ceramic body |
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-
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- 2015-02-02 JP JP2015018179A patent/JP6557982B2/en active Active
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