JP2016136048A - 静圧流体軸受装置、静圧流体軸受装置を用いた工作機械用主軸装置及び静圧流体軸受装置の製造方法 - Google Patents

静圧流体軸受装置、静圧流体軸受装置を用いた工作機械用主軸装置及び静圧流体軸受装置の製造方法 Download PDF

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Abstract

【課題】静圧流体軸受装置のポケットにおける流体の速度勾配の上昇を抑制し動力損失の低減を図る。
【解決手段】静圧流体軸受装置であって、砥石軸131(回転軸)を回転支持するための静圧部18を有する軸受メタルを備え、静圧部18は、軸受隙間20と、軸受面部22と、複数のポケット24と、仕切り板48と、を有し、砥石軸131の回転方向において仕切り板48とポケットの縁部46との間に隙間50が形成されており、隙間50はポケット24内において回転方向の前後に設けられており、軸受隙間20は、第1軸受隙間Cと、第2軸受隙間Hと、を有し、第2軸受隙間Hは、第1軸受隙間Cより大きい関係である。
【選択図】図6

Description

この発明は静圧流体軸受装置、静圧流体軸受装置を用いた工作機械用主軸装置及び静圧流体軸受装置の製造方法に関する。
従来、工作機械の主軸などの高速回転する回転軸を潤滑液剤等の加圧流体の静圧によって支持する静圧流体軸受装置が知られている(特許文献1参照)。例えば、特許文献1には、回転軸を回転支持するための静圧部を有する軸受メタルを備える静圧流体軸受装置の技術が開示されている。係る静圧部は、回転軸の表面との間に軸受隙間を有する軸受面部と、軸受面部の周方向に隣接して凹設される複数のポケットとを有し、係るポケットに潤滑液剤などの流体を供給することで、回転軸を流体圧(静圧)によって支持する技術である。
特開2001−304260号公報
しかしながら、静圧流体軸受装置に使用される潤滑液剤は、図9、10に示すように回転軸の回転によってポケット内において所謂つれ回りによる流れを引き起こし、回転軸の回転方向の流れと、ポケットの底部における回転軸の回転と逆方向の流れと、が生じる。これに伴い静圧流体軸受装置は、回転軸の表面近傍に大きな速度勾配が発生し、大きな流体せん断抵抗による動力損失が懸念される。また、ポケット内部は、レイノルズ数が20000〜30000の強い乱流となっており、回転軸の表面近傍の大きな速度勾配の発生、大きな流体せん断抵抗による動力損失が懸念される。この傾向は、回転軸が高速回転するにつれて一層顕著となる。
そこで本発明は、このような点に鑑みて創案されたものであり、本発明が解決しようとする課題は、静圧流体軸受装置のポケットにおける流体の速度勾配の上昇を抑制し動力損失の低減を図ることにある。
上記課題を解決するために、本発明の静圧流体軸受装置は次の手段をとる。先ず、第1の発明に係る静圧流体軸受装置は、静圧流体軸受装置であって、回転軸を回転支持するための静圧部を有する軸受メタルを備え、前記静圧部は、前記回転軸の表面との間に潤滑液剤が充填される軸受隙間と、前記回転軸の表面と並行する軸受面部と、該軸受面部の周方向に隣接して凹設される複数のポケットと、該ポケット内に収容され且つ前記ポケットの底部と前記回転軸の表面の間を仕切る仕切り板と、を有し、前記回転軸の回転方向において前記仕切り板と前記ポケットの縁部との間に隙間が形成されており、前記隙間は前記ポケット内において回転方向の前後に設けられており、前記軸受隙間は、前記回転軸の表面と前記軸受面部との間の第1軸受隙間と、前記回転軸の表面と前記仕切り板との間の第2軸受隙間と、を有し、前記第2軸受隙間は、前記第1軸受隙間より大きい関係である。
この第1の発明によれば、静圧部には、ポケット内に収容され且つポケットの底部と回転軸の表面の間を仕切る仕切り板を有している。また、ポケット内において回転方向の前後に設けられる隙間を有している。これにより、潤滑液剤の流れは、仕切り板の構成により回転軸の回転方向の流れと、ポケットの底部における回転軸の回転と逆方向の流れと、の相互の影響を及ぼし難くなる。これにより、静圧流体軸受装置のポケットにおける流体の速度勾配の上昇を抑制し動力損失の低減を図ることができる。
次に、第2の発明に係る静圧流体軸受装置は、第1の発明であって前記潤滑液剤の密度をρ、前記潤滑液剤の粘性係数をμ、前記回転軸の周速をU、前記第2軸受隙間をHである場合に、前記第2軸受隙間におけるレイノルズ数ReはRe=ρUH/μで表され、前記回転軸が回転支持される状態の前記第2軸受隙間における潤滑液剤の流れはRe<2000である。
この第2の発明によれば、回転軸の表面と前記仕切り板との間の第2軸受隙間におけるレイノルズ数ReはRe=ρUH/μで表される。そして回転軸が回転支持される状態の第2軸受隙間における潤滑液剤の流れはRe<2000である。すなわち、第2軸受隙間における潤滑液剤の流れにともなう大きな流体せん断抵抗が生じ難くなり、動力損失が抑制され得る。
次に、第3の発明に係る静圧流体軸受装置は、上述した第1の発明または第2の発明に係る静圧流体軸受装置であって、前記隙間は前記回転軸の軸方向に並行するスリットとして設けられており、前記スリットは前記回転軸の回転方向で見て下流側の第1スリットと上流側の第2スリットを有しており、前記第1スリットと前記第2スリットの開口幅は前記第2軸受隙間より大きい。
この第3の発明によれば、スリットは前記回転軸の回転方向で見て下流側の第1スリットと上流側の第2スリットを有しており、第1スリットと第2スリットの開口幅は第2軸受隙間より大きい。そのため、第2軸受隙間における潤滑液剤をポケットの底部側に流れやすくすることができる。
次に、第4の発明に係る静圧流体軸受装置は、上述した第1の発明から第3の発明のいずれかに係る静圧流体軸受装置であって、前記潤滑液剤は、水または組成に占める水の割合が90%以上の水溶液または、低粘度鉱油である。
この第4の発明によれば、潤滑液剤は、水または組成に占める水の割合が90%以上の水溶液または、低粘度鉱油であると好適である。
次に、第5の発明に係る静圧流体軸受装置は、上述した第1の発明から第4の発明のいずれかに係る静圧流体軸受装置であって、前記回転軸が回転支持される状態の前記第2軸受隙間における前記潤滑液剤は前記回転軸の回転方向に沿って流れる層流であり、前記ポケットの底部と前記仕切り板との間の第3軸受隙間における前記潤滑液剤は前記回転軸の反回転方向の流れである。
この第5の発明によれば、第2軸受隙間における潤滑液剤は回転軸の回転方向に沿って流れる層流であり、ポケットの底部と仕切り板との間の第3軸受隙間における潤滑液剤は回転軸の反回転方向の流れとする。これにより、仕切り板は、第2軸受隙間における層流と、第3軸受隙間における反回転方向の流れを仕切る。そのため相互の影響を及ぼし難くなる。よって、ポケットにおける流体の速度勾配の上昇を抑制し動力損失の低減をより一層図ることができ得る。
次に、第6の発明に係る静圧流体軸受装置は、上述した第1の発明から第5の発明のいずれかに係る静圧流体軸受装置であって、前記仕切り板と前記軸受メタルとは、別体で設けられている。
この第6の発明によれば、仕切り板は、軸受メタルと別体で設けることで、仕切り板のみの交換が容易となる。これは、静圧流体軸受が回転軸から径方向に力が加わって磨耗などの影響を受けた場合でも、仕切り板のみ交換することができる。そのため軸受メタルすべて交換する必要がなくなる。
次に、第7の発明に係る静圧流体軸受装置は、上述した第1の発明から第6の発明のいずれかに係る静圧流体軸受装置であって、前記仕切り板と前記軸受メタルとは、別材質であり、前記仕切り板は、前記軸受メタルより低強度の材質で設けられている。
この第7の発明によれば、仕切り板は、軸受メタルと別材質であり、軸受メタルより低強度の材質で設けられている。仕切り板が別材質で軸受メタルより低強度の材質で設けられていることで、軸受メタルと同材質の場合に比べ負荷などにより回転軸と仕切り板が接した際に、回転軸への磨耗などの悪影響をより起こしにくくできる。回転軸は、回転精度を高めるため、高い真円度など高精度に加工される場合が多く、交換するとコスト高となりやすいが、本発明では回転軸をより損傷、磨耗し難くできる。
次に、第8の発明は、上述した第1の発明から第6の発明のいずれかに係る静圧流体軸受装置を用いて工作機械における工作機械用主軸を回転支持する工作機械用主軸装置とする。このように、工作機械用主軸装置に上記静圧流体軸受装置を用いると好適である。
また、第9の発明は、金属製の円筒状部材の外周面と内周面に切削加工を施して、軸方向両端に配設される環状部位と、該軸方向両端の環状部位を連結し周方向に間隔をあけて配置される複数の柱部位と、該柱部位によって区画形成される複数のポケットと、該ポケット内に円弧状の仕切り板とを形成し、回転軸を回転支持するための軸受メタルに対し、前記切削加工後の円筒状部材を焼き嵌めによって取り付ける静圧流体軸受装置の製造方法である。このような製造方法によって静圧流体軸受装置を採用し得る。
本発明は上記各発明の手段をとることにより、静圧流体軸受装置のポケットにおける流体の速度勾配の上昇を抑制し動力損失の低減を図ることができる。
実施形態に係る静圧流体軸受装置を用いた工作機械用主軸装置の一例として研削盤の全体構成を示す平面図である。 図1に示す研削盤の右側面図である。 図1のIII部の拡大断面図である。 図3のIV−IV線断面図である。 軸受メタルに筒状部材を組付けた状態の斜視図である。 図4のVI部を拡大した断面図でありポケット内の潤滑液剤の流れを示した図である。 ポケット内の潤滑液剤の流れの速度分布図である。 静圧流体軸受装置の消費電力を示した図である。 従来のポケット内の潤滑液剤の流れの速度分布図である。 従来のポケット内の潤滑液剤の流れを示した図である。
以下に本発明を実施するための一形態として静圧流体軸受装置、静圧流体軸受装置を用いた工作機械用主軸装置及び静圧流体軸受装置の製造方法を図面を用いて説明する。
図1は、実施形態に係る静圧流体軸受装置を用いた工作機械用主軸装置の一例として研削盤10の全体構成を示す平面図である。図2は、研削盤10の右側面図である。なお、図2では保持台151を備えたワーク保持装置150の図示を省略している。ここで、X軸、Y軸、Z軸が記載されているすべての図面において、X軸とY軸とZ軸は互いに直交しており、Y軸は鉛直上向きを示しており、Z軸とX軸は水平方向を示している。そして、Z軸方向は砥石回転軸L1と平行な方向(換言すれば、ワーク回転軸方向)を示しており、X軸方向は砥石回転軸L1に直交する方向であり、砥石132がワークWに切り込む方向を示している。また、砥石回転軸L1とワーク回転軸L2とツルア回転軸L3は、いずれもZ軸方向と平行である。
図1、2に示される研削盤10は、ワークWに対して砥石132をX軸方向及びZ軸方向へ相対的に移動制御してワークWを研削するようになっている。平面形状で矩形に形成された基台110上の略中央部には、Z軸方向に延びる一対のZ軸方向ガイドレール111にスライド案内されるZ軸方向スライドテーブル112が配設されている。Z軸方向スライドテーブル112は、制御手段180(NC制御装置等)によって作動制御されるZ軸方向駆動モータ114を駆動源とするZ軸方向送りねじ113の回転動作によってZ軸方向へスライドされる。また、Z軸方向駆動モータ114には、Z軸方向スライドテーブル112のZ軸方向の位置を確認するために、Z軸駆動モータ114の出力軸の回転角度を検出してその検出信号を制御手段180に送るエンコーダ等のZ軸方向位置検出手段115が設けられている。制御手段180は、Z軸方向駆動モータ114を用いて、ツルア177又はワークWに対して砥石132を相対的にZ軸方向へ移動させ、Z軸方向位置検出手段115からの検出信号に基づいて、ツルア177又はワークWに対する砥石132のZ軸方向への相対的な移動量を検出可能である。
Z軸方向スライドテーブル112上には、X軸方向に延びる一対のX軸方向ガイドレール121にスライド案内されるX軸方向スライドテーブル122が配設されている。X軸方向スライドテーブル122は、制御手段180によって作動制御されるX軸方向駆動モータ124を駆動源とするX軸方向送りねじ123の回転動作によってX軸方向へスライドされる。また、X軸方向駆動モータ124には、X軸方向スライドテーブル122のX軸方向の位置を確認するために、X軸方向駆動モータ124の出力軸の回転角度を検出してその検出信号を制御手段180に送るエンコーダ等のX軸方向位置検出手段125が設けられている。制御手段180は、X軸方向駆動モータ124を用いて、ツルア177又はワークWに対して砥石132を相対的にX軸方向へ移動させ、X軸方向位置検出手段125からの検出信号に基づいて、ツルア177又はワークWに対する砥石132のX軸方向への相対的な移動量を検出可能である。
X軸方向スライドテーブル122上には、砥石駆動モータ126と砥石軸ホルダ130とがそれぞれ配設されており、砥石駆動モータ126の出力軸には駆動プーリ127が設けられる。一方、砥石軸ホルダ130に回転可能に支持されかつ一端部に略円筒状の砥石132が設けられる砥石軸131(Z軸方向に平行な砥石回転軸L1回りに回転する砥石軸)の他端には、従動プーリ128が設けられている。そして、駆動プーリ127と従動プーリ128との間にはベルト129が張設され、これによって、砥石駆動モータ126の出力軸のトルクがベルト129を介して砥石軸131に伝達される。
基台110上には、軸状のワークWをZ軸方向のワーク回転軸L2回りに回転させながら設定位置に保持するワーク保持装置140とワーク保持装置150とが、Z軸方向に平行なワーク回転軸L2上に配設されている。ワーク保持装置140は、基台110上に固定された保持台141と、保持台141に対しワーク回転軸L2上に往復動可能な保持軸ハウジング142と、この保持軸ハウジング142内でワーク回転軸L2回りに回転可能に支持された保持軸部材143とを備え、保持軸部材143の先端にはワークWの一方の端面の中心部を支持するセンタ部材144が設けられている。また、保持軸部材143は、制御手段180によって作動制御される保持軸モータ(図示省略)を駆動源として任意の角速度で任意の角度まで回転制御される。また、ワーク保持装置150においても、ワーク保持装置140と同様にして保持台151、保持軸ハウジング152、保持軸部材153及びセンタ部材154を備えて構成されている。また、保持軸ハウジング142にはツルア回転軸L3回りに回転可能に支持されたツルア177を備えたツルーイング装置160が設けられている。なお、図2に示すように、砥石回転軸L1と、ワーク回転軸L2と、ツルア回転軸L3は、いずれもX軸方向及びZ軸方向に平行な平面である仮想平面VM上にある。
このように、研削盤10は、ワークWまたはツルア177に対して砥石132をZ軸方向及びX軸方向に相対移動させることで、ワークWの研削を施し、またはツルア177によって砥石132の外形形状を適宜型直しを施す。
図3は、砥石軸ホルダ130の拡大断面図(図1のIII部の箇所)である。図4は、図3のIV−IV線断面図である。図5は、軸受メタルに円筒状部材を組付けた状態の斜視図である。ここで図5は、軸受メタル14の一部を割断し内部の円筒状部材40を図示している。図6は、図4のVI部を拡大した断面図でありポケット内の潤滑液剤の流れを示した図である。砥石軸ホルダ130は、図3に示すように砥石軸ハウジング12と、砥石軸ハウジング12内に固定される軸受メタル14を有する。砥石軸131(回転軸)は軸受メタル14に回転支持されている。図4に示すように、軸受メタル14は、軸受メタル14内にポンプP等から流路16を介して潤滑液剤Rなどの流体を供給することで砥石軸131を流体圧(静圧)によって回転支持するための静圧部18を有する。軸受メタル14は、図5に示すように鉄鋼製の筒状に構成されている。静圧部18は、図6に示すように軸受メタル14の内周面において、軸受隙間20と、軸受面部22と、複数のポケット24と、仕切り板48と、が構成される。なお、潤滑液剤Rは、水または組成に占める水の割合が90%以上の水溶液または、低粘度鉱油であることが望ましい。
軸受面部22は、図5、6に示すように砥石軸131の表面と並行する面である。ポケット24は、ポンプP(図4参照)等から流路16を介して供給される潤滑液剤Rを溜める部位である。ポケット24は、軸受メタル14の軸受面部22に凹設され、周方向に複数個が分割されて隣接している。本実施形態では、4個のポケット24にそれぞれ潤滑液剤Rが流路16を介して供給される。なお、ポケット24の個数は、4個に限定されるものではない。なお、ポケット24、軸方向ポケット(図示省略)にて砥石軸131の静圧支持に使用されて流出した流体は、ドレイン(図示省略)を経由して回収され、オイルクーラ等にて冷却されてタンクT(図4参照)に戻される。仕切り板48は、ポケット24内に収容され且つポケット24の底部26と砥石軸131の表面の間を仕切る板部材である。軸受隙間20は、砥石軸131の表面との間に潤滑液剤Rが充填される空間である。軸受隙間20は、砥石軸131の表面と軸受面部22との間の第1軸受隙間Cと、砥石軸131の表面と仕切り板48との間の第2軸受隙間Hと、ポケット24の底部26と仕切り板48との間の第3軸受隙間Jを有する。第2軸受隙間Hは、第1軸受隙間Cより大きい関係で設定される。
軸受メタル14の内面には、軸受メタル14と別体且つ別材質であり、軸受メタル14より低強度の材質で設けられる円筒状部材40を有する。円筒状部材40は、例えば砲金(ほうきん)が選択される。砲金は、銅合金の一種で、銅と錫の合金であり、靱性に優れ、鋳造が容易で、耐磨耗性や耐腐食性にも優れる性質を有する。また、外径側の鉄鋼製の軸受メタル14より低強度に設定される。円筒状部材40は、外周面と内周面に切削加工を施して、軸方向両端に配設される環状部位42と、軸方向両端の環状部位42を連結し周方向に間隔をあけて配置される複数の柱部位44と、柱部位44によって区画形成される複数のポケット24と、ポケット24内において円弧状の仕切り板48が形成されている。この切削加工後の円筒状部材40は、軸受メタル14に対し焼き嵌めによって取り付けられる。これにより、軸受メタル14と円筒状部材40の組み合わせにより、砥石軸131の表面との間に潤滑液剤Rが充填される軸受隙間20と、砥石軸131の表面と並行する軸受面部22と、軸受面部22の周方向に隣接して凹設される複数のポケット24と、ポケット24内に収容され且つポケット24の底部26と砥石軸131の表面の間を仕切る仕切り板48と、を有する静圧部18となる。
砥石軸131の回転方向において仕切り板48とポケット24の縁部46(換言すれば柱部位44の縁部)との間に隙間50を有する。換言すれば、仕切り板48において砥石軸131とポケット24の底部26の間を貫通するように開口している。かかる隙間50は砥石軸131の軸方向に並行するスリットとして設けられており、スリットは砥石軸131の回転方向で見て下流側の第1スリット51と上流側の第2スリット52を有している。また、第1スリット51と第2スリット52の開口幅は、第2軸受隙間Hより大きく形成される。
砥石軸131は、係るポケット24に潤滑液剤Rなどの流体を供給することで流体圧(静圧)によって支持される。ここで、潤滑液剤Rの密度ρ、潤滑液剤Rの粘性係数μ、砥石軸131の周速U、第2軸受隙間Hである場合に、第2軸受隙間Hにおけるレイノルズ数ReはRe=ρUH/μで表される。ここで、砥石軸131の周速Uの設定は、砥石軸131の設計標準仕様速度、想定する使用頻度の高い回転速度や平均速度、加工条件による仕様の速度などをもとに適宜設定することが例示される。砥石軸131が回転支持される状態の潤滑液剤Rの流れはRe<2000で設定されるように第2軸受隙間Hの間隔を設定する。砥石軸131が回転支持される状態の第2軸受隙間Hにおける潤滑液剤Rは、砥石軸131の回転方向に沿って流れる層流となる。一方、層流の潤滑液剤Rの一部は、第2スリット52から第3軸受隙間Jに流入し、第1スリット51に向かう流れとなる。すなわち、ポケット24の底部26と仕切り板48との間の第3軸受隙間Jにおける潤滑液剤Rは砥石軸131の反回転方向の流れとなる。
ここで、従来における仕切り板48を有さないポケット224内の潤滑液剤Rは、図9、10に示すように砥石軸231の回転によってポケット224内において所謂つれ回りによる流れを引き起こし、砥石軸231回転方向の流れと、ポケット224の底部226近傍における砥石軸231の回転と逆方向の流れと、が生じる。これに伴い静圧流体軸受装置は、砥石軸231の表面近傍に大きな速度勾配が発生し、大きな流体せん断抵抗による動力損失が懸念される。軸受内の潤滑液剤Rの流れがレイノルズ数20000〜30000の強い乱流の状況下では、ポケット深さK、砥石軸231の周速Sとしたときの潤滑液剤Rの流れの速度勾配が∂S/∂Kと表される。ここで、潤滑液剤Rの粘性係数μの場合、砥石軸231に係るせん断力τ1は、τ1=μ×(∂S/∂K)と表される。そして、ポケット224内の潤滑液剤Rが砥石軸231に及ぼす動力損失P1は、ポケット224の開口面積Aとすると、P1=S×τ1×Aと表される。してみると、砥石軸231の周速S及びポケット224の開口面積Aが固定の値であると仮定した場合、動力損失P1に影響を及ぼすのは、せん断力τ1となる。さらには、潤滑液剤Rの温度変化が一定であれば粘性係数μは一定である。そのため、τ1における速度勾配の∂S/∂Kが動力損失P1に影響を及ぼす要因となる。
一方、図6に示すように軸受内の潤滑液剤Rの流れが層流状況下においては、速度勾配をU/Hと近似することができる。砥石軸131に係るせん断力τ2は、τ2=μ×(U/H)と表される。そして、ポケット24内の潤滑液剤Rが砥石軸131に及ぼす動力損失P2は、ポケット24の開口面積Aとすると、P2=U×τ2×Aと表される。してみると、砥石軸131の周速U及びポケット24の開口面積Aが固定の値であると仮定した場合、動力損失P2に影響を及ぼすのは、せん断力τ2となる。さらには、潤滑液剤Rの温度変化が一定であれば粘性係数μは一定である。そのため、τ2は、速度勾配のU/Hの内、Hが動力損失P2に影響を及ぼす要因となる。
そのため、本実施形態の静圧部18は、砥石軸131の表面近傍を層流状況下としつつ、砥石軸131回転方向の流れと、ポケット24の底部26における砥石軸131の回転と逆方向の流れを個別にして相互に影響を及ぼさないようにするために、仕切り板48を採用した。この仕切り板48と砥石軸131の表面との間の第2軸受隙間Hを層流が維持できる範囲内で最大に設定する。この仕切り板48の構成により、ポケット24内の軸受隙間20は、砥石軸131の表面と軸受面部22との間の第1軸受隙間Cと、砥石軸131の表面と仕切り板48との間の第2軸受隙間Hと、ポケット24の底部26と仕切り板48との間の第3軸受隙間Jを有する。ここで、第2軸受隙間Hは、第1軸受隙間Cより大きい関係で設定される。そのため、砥石軸131が回転支持される状態の第2軸受隙間Hにおける潤滑液剤Rは砥石軸131の回転方向に沿って流れる層流となり、ポケット24の底部26と仕切り板48との間の第3軸受隙間Jにおける潤滑液剤Rは砥石軸131の反回転方向の流れとなる。これにより、図8に示すように、潤滑液剤Rを水、水溶液、低粘度鉱油いずれを用いても、消費電力を低減する結果が得られた。
このように、実施形態の静圧流体軸受装置によれば、静圧部18には、ポケット24内に収容され且つポケット24の底部26と砥石軸131の表面の間を仕切る仕切り板48を有している。また、ポケット24内において回転方向の前後に設けられる隙間50を有している。これにより、潤滑液剤Rの流れは、仕切り板48も構成により砥石軸131の回転方向の流れと、ポケット24の底部26における砥石軸131の回転と逆方向の流れと、の相互の影響を及ぼし難くなる。これにより、静圧流体軸受装置のポケット24における流体の速度勾配の上昇を抑制し動力損失の低減を図ることができる。
また、砥石軸131の表面と前記仕切り板48との間の第2軸受隙間Hにおけるレイノルズ数ReはRe=ρUH/μで表される。そして砥石軸131が回転支持される状態の第2軸受隙間Hにおける潤滑液剤Rの流れはRe<2000である。すなわち、第2軸受隙間Hにおける潤滑液剤Rの流れにともなう大きな流体せん断抵抗が生じ難くなり、動力損失が抑制され得る。
また、スリットは前記砥石軸131の回転方向で見て下流側の第1スリット51と上流側の第2スリット52を有しており、第1スリット51と第2スリット52の開口幅は第2軸受隙間Hより大きい。そのため、第2軸受隙間Hにおける潤滑液剤Rをポケット24の底部26側に流れやすくすることができる。
また、潤滑液剤Rは、水または組成に占める水の割合が90%以上の水溶液または、低粘度鉱油であると好適である。
また、第2軸受隙間Hにおける潤滑液剤Rは砥石軸131の回転方向に沿って流れる層流であり、ポケット24の底部26と前記仕切り板48との間の第3軸受隙間Jにおける潤滑液剤Rは砥石軸131の反回転方向の流れとする。これにより、仕切り板48は、第2軸受隙間Hにおける層流と、第3軸受隙間Jにおける反回転方向の流れを仕切る。そのため相互の影響を及ぼし難くなる。よって、ポケット24における流体の速度勾配の上昇を抑制し動力損失の低減をより一層図ることができ得る。
また、仕切り板48は、軸受メタル14とを別体で設けることで、仕切り板48のみの交換が容易となる。これは、静圧流体軸受が砥石軸131から径方向に力が加わって磨耗などの影響を受けた場合でも、仕切り板48のみ交換することができる。そのため軸受メタル14すべて交換する必要がなくなる。
また、仕切り板48は、軸受メタル14と別材質であり、軸受メタル14より低強度の材質で設けられている。仕切り板48が別材質で軸受メタル14より低強度の材質で設けられていることで、軸受メタル14と同材質の場合に比べ負荷などにより砥石軸131と仕切り板48が接した際に、砥石軸131への磨耗などの悪影響をより起こしにくくできる。砥石軸131は、回転精度を高めるため、高い真円度など高精度に加工される場合が多く、交換するとコスト高となりやすいが、本発明では砥石軸131をより損傷、磨耗し難くできる。
次に、上記構成の静圧流体軸受装置を用いて工作機械における工作機械用主軸を回転支持する工作機械用主軸装置とすると好適である。
金属製の円筒状部材40の外周面と内周面に切削加工を施して、軸方向両端に配設される環状部位42と、軸方向両端の環状部位42を連結し周方向に間隔をあけて配置される複数の柱部位44と、該柱部44によって区画形成される複数のポケット24と、ポケット24内に円弧状の仕切り板48とを形成し、砥石軸131を回転支持するための軸受メタル14に対し、切削加工後の円筒状部材40を焼き嵌めによって取り付ける静圧流体軸受装置の製造方法である。このような製造方法によって上記構成の静圧流体軸受装置を採用し得る
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明の静圧流体軸受装置、静圧流体軸受装置を用いた工作機械用主軸装置及び静圧流体軸受装置の製造方法は、実施形態に限定されず、その他各種の形態で実施することができるものである。例えば、本実施形態では、軸受メタルと軸受メタルと別体の円筒状部材とを、別材質で形成する態様を示したが、別材質に限らず同じ材質で形成する場合も含み得る。
10 研削盤
12 砥石軸ハウジング
14 軸受メタル
16 流路
18 静圧部
20 軸受隙間
22 軸受面部
24 ポケット
26 ポケットの底部
40 円筒状部材
42 環状部位
44 柱部位
46 ポケットの縁部
48 仕切り板
50 隙間
51 第1スリット
52 第2スリット
110 基台
111 Z軸方向ガイドレール
112 Z軸方向スライドテーブル
113 Z軸方向送りねじ
114 Z軸方向駆動モータ
115 Z軸方向位置検出手段
121 X軸方向ガイドレール
122 X軸方向スライドテーブル
123 X軸方向送りねじ
124 X軸方向駆動モータ
125 X軸方向位置検出手段
126 砥石駆動モータ
127 駆動プーリ
128 従動プーリ
129 ベルト
130 砥石軸ホルダ
131 砥石軸(回転軸)
132 砥石
140 ワーク保持装置
141 保持台
142 保持軸ハウジング
143 保持軸部材
144 センタ部材
150 ワーク保持装置
151 保持台
152 保持軸ハウジング
153 保持軸部材
154 センタ部材
160 ツルーイング装置
177 ツルア
180 制御手段
C 第1軸受隙間
H 第2軸受隙間
J 第3軸受隙間
L1 砥石回転軸
L2 ワーク回転軸
L3 ツルア回転軸
P ポンプ
R 潤滑液剤
U 砥石軸の周速
VM 仮想平面
W ワーク

Claims (9)

  1. 静圧流体軸受装置であって、
    回転軸を回転支持するための静圧部を有する軸受メタルを備え、
    前記静圧部は、前記回転軸の表面との間に潤滑液剤が充填される軸受隙間と、前記回転軸の表面と並行する軸受面部と、該軸受面部の周方向に隣接して凹設される複数のポケットと、該ポケット内に収容され且つ前記ポケットの底部と前記回転軸の表面の間を仕切る仕切り板と、を有し、
    前記回転軸の回転方向において前記仕切り板と前記ポケットの縁部との間に隙間が形成されており、
    前記隙間は前記ポケット内において回転方向の前後に設けられており、
    前記軸受隙間は、前記回転軸の表面と前記軸受面部との間の第1軸受隙間と、前記回転軸の表面と前記仕切り板との間の第2軸受隙間と、を有し、
    前記第2軸受隙間は、前記第1軸受隙間より大きい関係である静圧流体軸受装置。
  2. 請求項1に記載の静圧流体軸受装置であって、
    前記潤滑液剤の密度をρ、
    前記潤滑液剤の粘性係数をμ、
    前記回転軸の周速をU、
    前記第2軸受隙間をHである場合に、
    前記第2軸受隙間におけるレイノルズ数ReはRe=ρUH/μで表され、
    前記回転軸が回転支持される状態の前記第2軸受隙間における潤滑液剤の流れはRe<2000である静圧流体軸受装置。
  3. 請求項1または請求項2に記載の静圧流体軸受装置であって、
    前記隙間は前記回転軸の軸方向に並行するスリットとして設けられており、
    前記スリットは前記回転軸の回転方向で見て下流側の第1スリットと上流側の第2スリットを有しており、
    前記第1スリットと前記第2スリットの開口幅は前記第2軸受隙間より大きい静圧流体軸受装置。
  4. 請求項1から請求項3のいずれかに記載の静圧流体軸受装置であって、
    前記潤滑液剤は、水または組成に占める水の割合が90%以上の水溶液または、低粘度鉱油である静圧流体軸受装置。
  5. 請求項1から請求項4のいずれかに記載の静圧流体軸受装置であって、
    前記回転軸が回転支持される状態の前記第2軸受隙間における前記潤滑液剤は前記回転軸の回転方向に沿って流れる層流であり、
    前記ポケットの底部と前記仕切り板との間の第3軸受隙間における前記潤滑液剤は前記回転軸の反回転方向の流れである静圧流体軸受装置。
  6. 請求項1から請求項5のいずれかに記載の静圧流体軸受装置であって、
    前記仕切り板と前記軸受メタルとは、別体で設けられている静圧流体軸受装置。
  7. 請求項6に記載の静圧流体軸受装置であって、
    前記仕切り板と前記軸受メタルとは、別材質であり、
    前記仕切り板は、前記軸受メタルより低強度の材質で設けられている静圧流体軸受装置。
  8. 請求項1から請求項7のいずれかに記載の静圧流体軸受装置を用いて工作機械における工作機械用主軸を回転支持する工作機械用主軸装置。
  9. 金属製の円筒状部材の外周面と内周面に切削加工を施して、軸方向両端に配設される環状部位と、該軸方向両端の環状部位を連結し周方向に間隔をあけて配置される複数の柱部位と、該柱部位によって区画形成される複数のポケットと、該ポケット内に円弧状の仕切り板とを形成し、
    回転軸を回転支持するための軸受メタルに対し、前記切削加工後の円筒状部材を焼き嵌めによって取り付ける静圧流体軸受装置の製造方法。
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