JP2016108634A - ロータリーカソード、および、スパッタ装置 - Google Patents

Abstract

【課題】給電ブラシの交換を円滑に行うことのできるロータリーカソード、および、ロータリーカソードを備えるスパッタ装置を提供する。【解決手段】一側面に開口部を有する本体部２２と前記本体部２２の外部に位置し、前記開口部と対向する位置に出力軸を有した駆動装置と、前記本体部２２の内部に回転可能に支持され、前記出力軸に沿う形状を有した回転軸と、前記回転軸に連結され、前記回転軸と共に回転するターゲットと、前記開口部を通じて前記出力軸と前記回転軸とを連結し、前記出力軸の回転を受けて前記回転軸を回転させるベルト３５と、前記回転軸の外周面に接触する給電ブラシ３８を備えて前記本体部２２の内部から前記本体部の外部に延びる給電部であって、前記開口部を通じて、前記本体部２２の内部に対して進入、および、退出可能に構成された前記給電部とを備える。【選択図】図４

Description

本発明は、回転可能なターゲットを備えたロータリーカソード、および、ロータリーカソードを備えたスパッタ装置に関する。

上述のスパッタ装置として、例えば、特許文献１に記載の装置が知られている。特許文献１に記載の装置は、円筒状のターゲットが基板に対向する位置に回転可能に配置されたロータリーカソードを備えている。ロータリーカソードは、ターゲットに電力を供給する給電ブラシを有し、ターゲットとともに回転するスリップリングの外周面に対してこの給電ブラシが接触している。

特開２００６−３２２０５５号公報

ところで、特許文献１に記載のスパッタ装置では、給電ブラシがスリップリングに摺動するため、ターゲットの回転に伴って給電ブラシが摩耗する。一方で、摩耗した給電ブラシが交換可能な構成であれば、給電ブラシの摩耗に関わらずターゲットを継続して使用することが可能である。それゆえに、上述したロータリーカソードにおいては、給電ブラシの交換動作を円滑に行うことのできる構成が望まれている。

本発明は、このような実情に鑑みてなされたものであり、その目的は、給電ブラシの交換を円滑に行うことのできるロータリーカソード、および、ロータリーカソードを備えるスパッタ装置を提供することにある。

上記課題を解決するためのロータリーカソードは、一側面に開口部を有する本体部と、前記本体部の外部に配置され、前記開口部と対向する位置に出力軸を有した駆動装置と、前記本体部の内部に回転可能に支持され、前記出力軸に沿う形状を有した回転軸と、前記回転軸に連結され、前記回転軸と共に回転するターゲットと、前記開口部を通じて前記出力軸と前記回転軸とを連結し、前記出力軸の回転を受けて前記回転軸を回転させるベルトと、前記回転軸の外周面に接触する給電ブラシを備えて前記本体部の内部から前記本体部の外部に延びる給電部であって、前記開口部を通じて、前記本体部の内部に対して進入、および、退出可能に構成された前記給電部とを備える。
上記課題を解決するためのスパッタ装置は、スパッタリングにおけるカソードとして、上記構成のロータリーカソードを備える。

上記各構成によれば、出力軸の回転を受けてターゲットを回転させるベルトが、本体部の開口部を通じて出力軸と回転軸とを連結している。また、回転軸の外周面に接触する給電ブラシは、こうした本体部の開口部を通じて本体部内に進入、および、退出可能に構成されている。それゆえに、給電ブラシが摩耗したときには、摩耗した給電ブラシを本体部内から退出させること、および、新たな給電ブラシを本体部内に進入させることが、開口部を通じて実現可能である。結果として、給電ブラシの交換に際しては、本体部を解体したり、ベルトを外したりすることが避けられ、給電ブラシの交換を円滑に行うことができる。
上記ロータリーカソードは、前記給電ブラシの温度を測定する温度測定部を更に備えてもよい。

例えば、給電ブラシにおける摩耗が規定の範囲を超えたときには、給電ブラシと回転軸との間の摩擦力も規定の範囲を超える。また、回転軸に対する給電ブラシの押圧力が規定の範囲に到達したときには、給電ブラシと回転軸との間の摩擦力も規定の範囲に到達する。そして、回転軸に対する給電ブラシの押圧力が規定の範囲を超えているときには、給電ブラシと回転軸との間の摩擦力も規定の範囲を超える。給電ブラシと回転軸との間の上述した摩擦力は、給電ブラシの温度と相関を有し、通常、給電ブラシと回転軸との間の摩擦力が大きいほど給電ブラシの温度は高く、給電ブラシと回転軸との摩擦力が小さいほど給電ブラシの温度は低い。

上記構成によれば、給電ブラシの温度を温度測定部が測定するため、給電ブラシと回転軸との間の摩擦力は、温度測定部の測定の結果からおよそ把握される。それゆえに、ロータリーカソードが正常に駆動しているか否かが、温度測定部の測定の結果からおよそ把握される。
上記ロータリーカソードは、前記温度測定部によって測定される前記給電ブラシの温度が所定の閾値以上であるときに報知を行う報知部を更に備えてもよい。
上記構成によれば、ロータリーカソードが正常に駆動しているか否かが、報知部の報知によって的確に把握される。

上記ロータリーカソードにおいて、前記回転軸の内部には、前記ターゲットを冷却する冷却水が流通する流路が形成されていてもよい。
上述したように、給電ブラシの交換に際しては、本体部を解体したりベルトを外したりすることが避けられる。そして、上記構成のように、冷却水の流通する流路が回転軸に形成されるような複雑な構成においては、本体部を解体したりベルトを外したりする作業が非常に煩わしいため、給電ブラシの交換を円滑に行うことができる効果が著しいものとなる。

本開示におけるスパッタ装置の一実施の形態の構成を示す装置構成図。 図１の２−２線矢視断面図。 同実施の形態のスパッタ装置における駆動部の横断面構造を示す断面図。 図３の４−４線矢視断面図。 参考例のスパッタ装置における給電ブラシと回転軸との連結構造を示す模式図。 本実施の形態のスパッタ装置における給電ブラシを交換する際の作用を示す模式図であって、（ａ）は、給電ブラシを交換する前の状態を示す模式図、（ｂ）は、給電ブラシを取り外した状態を示す模式図、（ｃ）は、新たな給電ブラシを取り付けた状態を示す模式図。

以下、本開示におけるロータリーカソード、および、スパッタ装置の一実施の形態について図面を参照して説明する。

図１は、ロータリーカソードを備えたスパッタ装置を、基板の搬送方向に対して直交する面で切断した場合の断面図を示す。図２は、ロータリーカソードを備えたスパッタ装置を、基板の搬送方向に対して平行する鉛直な面で切断した場合の断面図を示す。
図１に示すように、スパッタ装置が備えるチャンバ１１には、真空雰囲気に設定される空間である処理空間が形成され、チャンバ１１に形成された処理空間には、ロータリーカソード１２と支持台１３とが収容されている。チャンバ１１の処理空間には、例えば、アルゴンガスなどのスパッタガスや、酸素ガスなどの反応ガスが、処理空間において実施される処理に応じて適宜供給される。
ロータリーカソード１２は、駆動部１５、支持部１６、２つの軸部材１７、および、ターゲット１８を備えている。

駆動部１５は、チャンバ１１の上壁に取り付けられ、上面に凹部２１が形成された本体部２２を有している。本体部２２の凹部２１は、チャンバ１１の上壁に向けて開口する開口部を備え、チャンバ１１の上壁に形成された貫通孔２３を通じてチャンバ１１の外部に連通している。すなわち、このスパッタ装置の運転時に、チャンバ１１内部は減圧となるが、凹部２１内の空間は大気圧となる。

本体部２２の有する壁のうちで支持部１６と対向する壁には、本体部２２を水平方向に沿って貫通する支持孔２４が形成されている。本体部２２の有する壁のうちで支持孔２４と対向する壁には、支持孔２４と対向する支持溝２５が形成されている。これら支持孔２４、および、支持溝２５には、２つの軸部材１７のうちで一方の軸部材１７が挿通されている。一方の軸部材１７は、回転軸を構成し、支持孔２４に設けられたベアリング２８、および、支持溝２５に設けられたベアリング２９によって、駆動部１５に回転可能に支持されている。

一方の軸部材１７における軸線方向の途中位置であって、かつ、凹部２１に位置する部位には、軸部材１７の外側から従動プーリ３１が嵌着されている。また、一方の軸部材１７における軸線方向において従動プーリ３１よりも先端側となる位置であって、かつ、凹部２１に位置する部位には、軸部材１７の外側からスリップリング３６が嵌着されている。これら従動プーリ３１、および、スリップリング３６もまた、一方の軸部材と共に回転軸を構成している。なお、一方の軸部材１７の内側には、図１に矢印で示すように、ターゲット１８を冷却するための冷却水が流通する流路Ｒ１が形成されている。

支持部１６は、チャンバ１１の上壁に取り付けられ、支持部１６において駆動部１５と対向する壁である対向壁には、水平方向に沿って延びる支持溝２６が形成されている。２つの軸部材１７のなかで他方の軸部材１７は、支持溝２６に設けられたベアリング３０によって、支持部１６に回転可能に支持されている。

円筒形状を有するターゲット１８は、駆動部１５に支持される一方の軸部材１７と、支持部１６に支持される他方の軸部材１７とに連結され、一方の軸部材１７が回転することによって回転する。

本体部２２の上壁には、駆動装置を構成するモーター３３が搭載されている。モーター３３に連結された出力軸３２は、これもまた駆動装置を構成し、軸部材１７の軸線方向と平行に延びる形状を有し、かつ、本体部２２に形成された凹部２１と対向する位置に配置されている。モーター３３の出力軸３２には、駆動プーリ３４が連結されている。

一方の軸部材１７に連結された従動プーリ３１と、出力軸３２に連結された駆動プーリ３４とは、無端状のベルト３５によって連結されている。ベルト３５は、本体部２２に形成された凹部２１の開口部と、チャンバ１１の上壁に形成された貫通孔２３とを通じて、一方の軸部材１７と出力軸３２とに掛装され、出力軸３２の回転を受けて、一方の軸部材１７を回転させる。

一方の軸部材１７に連結されたスリップリング３６の上方には、スリップリング３６の外周面に接触する給電ブラシ３８と、給電ブラシ３８の上方において給電ブラシ３８を支持するブラシホルダ３７とが配置されている。給電ブラシ３８、および、ブラシホルダ３７は、給電部の一例であって、本体部２２の内部から本体部２２の外部まで延びている。ブラシホルダ３７の上端部は、本体部２２に対して相対的に固定され、給電ブラシ３８をスリップリング３６に向けて押し付けている。給電ブラシ３８からスリップリング３６に伝達される電力は、スリップリング３６から軸部材１７を介してターゲット１８に供給される。

給電ブラシ３８がスリップリング３６の外周面に押し付けられる状態において、ブラシホルダ３７の上端部は、凹部２１の開口部よりも上方に突き出ている。ブラシホルダ３７、および、給電ブラシ３８は、凹部２１の開口部を通じて、本体部２２の内部に進入できる大きさ、および、形状を有している。また、ブラシホルダ３７、および、給電ブラシ３８は、凹部２１の開口部を通じて、本体部２２の内部から退出できる大きさ、および、形状を有している。そして、ブラシホルダ３７は、本体部２２に対する相対的な位置の固定を解除可能に、本体部２２やチャンバ１１に直接的、あるいは、間接的に締結されている。

すなわち、ブラシホルダ３７、および、給電ブラシ３８は、凹部２１の開口部、および、チャンバ１１に形成された貫通孔２３を通じ、本体部２２の内部に対して進入、および、退出可能に構成されている。なお、ブラシホルダ３７、および、給電ブラシ３８の本体部２２の内部に対する進入、および、退出は、ベルト３５から独立している。言い換えれば、一方の軸部材１７と出力軸３２とにベルト３５が掛装された状態において、ブラシホルダ３７、および、給電ブラシ３８は、凹部２１の開口部を通じ、本体部２２の内部から退出する。また、一方の軸部材１７と出力軸３２とにベルト３５が掛装された状態において、ブラシホルダ３７、および、給電ブラシ３８は、凹部２１の開口部を通じ、本体部２２の内部へ進入する。

そして、駆動部１５から伝達される駆動力に基づきターゲット１８を回転させつつ駆動部１５からターゲット１８に電力が供給される。こうした電力の供給によって、チャンバ１１の内部に含まれるガスからターゲット１８の周囲にプラズマが生成されるとともに、生成されたプラズマ中の正イオンがターゲット１８に衝突する。その結果、ターゲット１８から粒子が放出される。

このとき、図２に示すように、ターゲット１８から放出される粒子は、搬入口Ｓ１を通じてチャンバ１１の内部に搬入された基板１４がターゲット１８の下方を通過する過程で基板１４の上面に堆積する。そして、基板１４の上面には、ターゲット１８を構成する材料を含む薄膜が形成される。こうして薄膜が形成された基板１４は搬出口Ｓ２を通じてチャンバ１１の外部に搬出される。なお、本実施の形態では、搬入口Ｓ１から搬出口Ｓ２に至る基板１４の搬送経路上の３つの位置にロータリーカソード１２が配置されており、これら３つのロータリーカソード１２のターゲット１８から放出される粒子が１つの基板１４の上面に順次堆積する。

次に、ブラシホルダ３７の周辺構成について図面を参照しつつ説明する。
図３に示すように、駆動部１５は、チャンバ１１の上壁に搭載される締結板４０を備え、締結板４０と本体部２２との間にチャンバ１１の上壁が位置するように、締結板４０はチャンバ１１に締結されている。締結板４０には、締結板４０を厚み方向に貫通する貫通孔４１が形成され、締結板４０に形成された貫通孔４１は、チャンバ１１に形成された貫通孔２３の上方に位置している。

締結板４０の上面には、貫通孔４１と対向する位置まで延びる支持片４２が固定されている。支持片４２のなかで貫通孔４１と対向する位置には、ブラシホルダ３７の上端部が固定ピン４３によって固定されている。ブラシホルダ３７の下端には、給電ブラシ３８が固定され、これらブラシホルダ３７と給電ブラシ３８とは、貫通孔２３や貫通孔４１を上下方向に沿って通過可能な大きさを有している。また、ブラシホルダ３７と給電ブラシ３８とから構成される給電部は、軸部材１７の軸線方向において、ベルト３５から離れている。すなわち、給電部を含む鉛直面は、ベルト３５を含む鉛直面とほぼ平行に配置され、給電部を構成するブラシホルダ３７と給電ブラシ３８とは、ベルト３５から独立して、本体部２２に対し進入、および、退出可能に構成されている。

図４が示すように、ブラシホルダ３７の上方には、ブラシホルダ３７の温度を測定する温度測定部の一例である放射温度計４４が設けられている。放射温度計４４は、ブラシホルダ３７に保持された給電ブラシ３８の温度をブラシホルダ３７の温度として間接的に測定する。放射温度計４４の測定結果は、駆動部１５に設けられた報知部４５に出力される。

次に、本実施の形態のスパッタ装置の作用について、特にロータリーカソード１２の給電ブラシ３８を交換する際の作用に着目して以下説明する。
例えば、給電ブラシ３８における摩耗が規定の範囲を超えたときには、給電ブラシ３８とスリップリング３６との間の摩擦力も規定の範囲を超える。また、スリップリング３６に対する給電ブラシ３８の押圧力が規定の範囲に到達したときには、給電ブラシ３８とスリップリング３６との間の摩擦力も規定の範囲に到達する。そして、スリップリング３６に対する給電ブラシ３８の押圧力が規定の範囲を超えているときには、給電ブラシ３８とスリップリング３６との間の摩擦力も規定の範囲を超える。給電ブラシ３８とスリップリング３６との間の上述した摩擦力は、給電ブラシ３８の温度と相関を有し、通常、給電ブラシ３８とスリップリング３６との間の摩擦力が大きいほど給電ブラシ３８の温度は高く、給電ブラシ３８とスリップリング３６との摩擦力が小さいほど給電ブラシ３８の温度は低い。

本実施の形態では、放射温度計４４が給電ブラシ３８の温度を間接的に測定し、その測定した温度が所定の閾値以上であるときに、報知部４５を通じた報知が行われる。それゆえに、例えば、給電ブラシ３８における摩耗が規定の範囲を超えたときの温度が、上述した所定の閾値として設定されるとき、給電ブラシ３８における摩耗が規定の範囲を超えたことが報知部４５の報知によって把握される。また、例えば、スリップリング３６に対する給電ブラシ３８の押圧力が規定の範囲に到達したときの温度が、上述した所定の閾値として設定されるとき、スリップリング３６に対する給電ブラシ３８の押圧力が規定の範囲に到達したことが報知部４５の報知によって把握される。

ここで、ロータリーカソード１２が長期間に亘って使用されると、給電ブラシ３８はスリップリング３６の外周面に摺動し続けて摩耗する。予め設定された電力が給電ブラシ３８からターゲット１８まで供給されるうえで、摩耗した給電ブラシ３８は新たな給電ブラシ３８に交換されることが望ましい。

図５に示すように、参考例のスパッタ装置では、回転軸１１７と直交する上下左右の四方向から給電ブラシ１３８が押し付けられている。こうした参考例のスパッタ装置では、本体部１２２が解体されて本体部１２２の内部が開放されたり、本体部１２２から回転軸１１７が抜き取られたりしない限り、本体部１２２の外部から給電ブラシ１３８にアクセスすることができない。すなわち、給電ブラシ１３８を交換する際には、まず、本体部１２２の内部や回転軸１１７の内部から冷却水が排出され、その後に、本体部１２２が解体されたり、回転軸１１７が本体部１２２から取り外されたりする必要がある。そのため、給電ブラシ１３８の交換に際しては、冷却水の排出や、本体部１２２の解体、あるいは、回転軸１１７の取り外しという煩雑な作業が必要となる。

これに対し、図６（ａ）に示すように、本実施の形態のスパッタ装置においては、本体部２２に形成された凹部２１の開口部を通じて、軸部材１７の上方のみからスリップリング３６に対し給電ブラシ３８が押し付けられている。そのため、図６（ｂ）に示すように、給電ブラシ３８を交換する際には、まず、凹部２１の開口部を通じて、摩耗した給電ブラシ３８が本体部２２から取り外される。次いで、図６（ｃ）に示すように、凹部２１の開口部を通じて、新たな給電ブラシ３８が本体部２２内に挿入される。そして、新たな給電ブラシ３８が軸部材１７の上方からスリップリング３６に対して押し付けられる。結果として、本体部２２を解体したり、軸部材１７を本体部２２から取り外したりすることなく、給電ブラシ３８の交換が行われる。さらには、チャンバ１１内部を減圧状態に維持したまま給電ブラシ３８の交換も可能である。

なお、１つのスリップリング３６に１つの給電ブラシ３８が接触する構成では、１つの回転軸に４つの給電ブラシが接触する構成と比べて、スリップリング３６の外周面において、給電ブラシの接触する面積が小さい。それゆえに、スリップリング３６の上方に位置する給電ブラシ３８は、スリップリング３６の外周面における上半分の全体を覆うことが好ましい。なお、軸部材１７の軸方向に沿った給電ブラシ３８の厚みを大きくすることによって、スリップリング３６の外周面において、給電ブラシ３８の接触する面積を広げることは可能である。

以上、上記実施の形態によれば、以下に示す効果を得ることができる。
（１）駆動装置の出力軸と軸部材１７とをベルト３５が連結するために、駆動装置の出力軸に向けて開口する凹部２１、すなわち、上方に向けて開口する凹部２１が本体部２２には形成されている。そして、凹部２１の開口部を通じて進入、および、退出可能に、本体部２２の内部に給電ブラシ３８が挿入されている。それゆえに、給電ブラシ３８の交換に際しては、交換前の給電ブラシ３８が凹部２１の開口部を通じて取り出され、新たな給電ブラシ３８が凹部２１の開口部を通じて本体部２２内に挿入される。結果として、給電ブラシ３８の交換を円滑に行うことができる。

（２）給電ブラシ３８の温度を放射温度計４４が測定するため、給電ブラシ３８とスリップリング３６との間の摩擦力は、放射温度計４４の測定の結果からおよそ把握される。それゆえに、ロータリーカソードが正常に駆動しているか否かが、放射温度計４４の測定の結果からおよそ把握される。

（３）給電ブラシ３８の温度が所定の閾値以上であるときには、給電ブラシ３８の摩擦度合いが通常よりも高い状態にあることからその旨が報知部４５を通じて報知される。そのため、給電ブラシ３８の摩擦度合いに基づく給電ブラシ３８のメンテナンスの時期を的確に把握することができる。

（４）給電ブラシ３８の交換に際しては、本体部２２を解体したりベルト３５を外したりすることが避けられる。そして、冷却水の流通する流路Ｒ１が軸部材１７に形成されるような複雑な構成においては、本体部２２を解体したりベルト３５を外したりする作業が非常に煩わしいため、給電ブラシ３８の交換を円滑に行うことができる上記（１）に準じた効果が著しいものとなる。

なお、上記実施の形態は、以下のような形態にて実施することもできる。
・冷却水の流路Ｒ１は、本体部２２から省略され、凹部２１を通じて、ロータリーカソードの外部と軸部材１７とを繋ぐ構成であってもよい。さらに、冷却水の流路Ｒ１自体が、ロータリーカソードから省略されてもよい。

・報知部４５は、給電ブラシ３８の温度が所定の範囲外であるときに、給電ブラシ３８の温度が所定の範囲外であることを報知してもよい。こうした構成であれば、スリップリング３６に対する給電ブラシ３８の過度な接触、および、スリップリング３６に対する給電ブラシ３８の接触不足の双方を報知によって把握させることが可能である。

・報知部４５が割愛され、給電ブラシ３８の温度が所定の閾値以上であるときには、給電ブラシ３８による電力の供給と、駆動装置による軸部材１７の駆動とが強制的に停止される構成であってもよい。

・上記実施の形態において、温度測定部は、ブラシホルダ３７や給電ブラシ３８からは電気的に絶縁された状態で、これらブラシホルダ３７と給電ブラシ３８のいずれか一方に接触する接触型温度計であってもよい。なお、給電ブラシ３８の温度を測定する温度測定部は省略されてもよい。

・給電部は、軸部材１７に電力を供給する給電ブラシ３８を備え、開口部を通じて、本体部２２の内部から本体部２２の外部に延びる構造体であればよく、例えば、ブラシホルダ３７と給電ブラシ３８とに加えて、さらに他の部材を備えてもよい。

・回転軸は、軸部材１７とスリップリング３６とが一体に形成された１つの部材であってもよく、要は、回転軸は、本体部２２の内部に回転可能に支持され、かつ、出力軸３２に沿う形状を有し、ターゲットを回転させる軸であればよい。

・凹部２１が有する開口部の大きさや形状は、例えば、矩形の開口であってもよいし、円形の開口であってもよい。要は、ブラシホルダ３７、および、給電ブラシ３８から構成される給電部が、上下方向に沿って、本体部２２の内部に対して、進入、および、退出可能な構成であればよい。なお、凹部２１が有する開口部の大きさは、給電部の進入、および、退出に際して、給電部とベルト３５とが相互に干渉しない程度であることが好ましい。

・本体部２２は、チャンバ１１の上壁に限らず、チャンバ１１の側壁に配設されてもよい。こうした構成においては、凹部２１の有する開口部が、チャンバ１１の内部から水平方向に向けて開口していることが好ましい。この際に、ブラシホルダ３７、および、給電ブラシ３８から構成される給電部や、無端状のベルト３５は、本体部２２の内部から、水平方向に沿って延びる形状を有していることが好ましい。

・本体部２２は、チャンバ１１の上壁に限らず、チャンバ１１の底壁に配設されてもよい。こうした構成においては、凹部２１の有する開口部が、チャンバ１１の内部から鉛直方向の下方に向けて開口していることが好ましい。この際に、ブラシホルダ３７、および、給電ブラシ３８から構成される給電部や、無端状のベルト３５は、本体部２２の内部から、鉛直方向の下方に沿って延びる形状を有していることが好ましい。
要は、凹部２１が有する開口部は、出力軸３２と向かい合うように開口していればよい。

１２…ロータリーカソード、１７…軸部材、１８…ターゲット、２１…凹部、２２…本体部、３２…出力軸、３３…モーター、３５…ベルト、３８…給電ブラシ、４４…放射温度計、４５…報知部、Ｒ１…流路。

Claims (5)

1. 一側面に開口部を有する本体部と、
   前記本体部の外部に配置され、前記開口部と対向する位置に出力軸を有した駆動装置と、
   前記本体部の内部に回転可能に支持され、前記出力軸に沿う形状を有した回転軸と、
   前記回転軸に連結され、前記回転軸と共に回転するターゲットと、
   前記開口部を通じて前記出力軸と前記回転軸とを連結し、前記出力軸の回転を受けて前記回転軸を回転させるベルトと、
   前記回転軸の外周面に接触する給電ブラシを備えて前記本体部の内部から前記本体部の外部に延びる給電部であって、前記開口部を通じて、前記本体部の内部に対して進入、および、退出可能に構成された前記給電部と、
   を備えるロータリーカソード。
2. 前記給電ブラシの温度を測定する温度測定部を更に備える請求項１に記載のロータリーカソード。
3. 前記温度測定部によって測定される前記給電ブラシの温度が所定の閾値以上であるときに報知を行う報知部を更に備える請求項２に記載のロータリーカソード。
4. 前記回転軸の内部には、前記ターゲットを冷却する冷却水が流通する流路が形成されている請求項１〜３の何れか一項に記載のロータリーカソード。
5. スパッタリングにおけるカソードとして、請求項１〜４の何れか一項に記載のロータリーカソードを備えるスパッタ装置。

Images