JP2016099262A - 走査型プローブ顕微鏡 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】液体Lが入れられた容器33が配置され、液体L中に試料Sが配置される試料台32と、液体L中で試料S表面と対向する位置に配置され、探針21aを自由端部に有するカンチレバー21と、カンチレバー21の自由端部の変位を検出して、変位信号を出力するセンサ31と、カンチレバー21を励振させるために、カンチレバー21に取り付けられた圧電素子22と、圧電素子22に励振信号を出力するとともに、試料Sの表面情報を取得する制御部41とを備える走査型プローブ顕微鏡1であって、カンチレバー21の熱振動スペクトルを計測するスペクトラムアナライザ50を備え、制御部41は、熱振動スペクトルに基づいて、圧電素子22に励振信号を出力するように構成する。
【選択図】図1
Description
また、図5は、周波数変調方式原子間力顕微鏡101によって液体L中の試料Sを測定した際に、変位測定部31で測定された変位の一例を示す図である。このような図5に示すグラフ性からは、カンチレバー21の機械的共振周波数を判別することはできなくなっている。
そこで、本発明は、カンチレバーを振動させる圧電素子に出力する励振信号の周波数と位相とを自動的に設定することができる走査型プローブ顕微鏡を提供することを目的とする。
また、本発明の走査型プローブ顕微鏡は、前記制御部は、前記熱振動スペクトルに基づいて、前記励振信号の周波数と位相とを調整するようにしてもよい。
周波数変調方式原子間力顕微鏡(走査型プローブ顕微鏡)1は、筐体10と、カンチレバー21と圧電素子22とを有するカンチレバー支持部20と、レーザ光を出射する光源部30と、カンチレバー21の変位を測定する変位測定部(センサ)31と、試料Sと試料容器33とが載置される試料載置台32と、スペクトラムアナライザ50と、周波数変調方式原子間力顕微鏡1全体を制御する制御部41とを備える。
(1)上述した周波数変調方式原子間力顕微鏡1では、試料載置台32がX方向とY方向とに移動可能となっている構成を示したが、カンチレバー支持部20がX方向とY方向とに移動可能となっているような構成としてもよい。
20 カンチレバー支持部
21 カンチレバー
21a 探針
22 圧電素子
30 光源部
31 変位測定部(センサ)
32 試料載置台
32a 載置面
32b ピエゾスキャナ
33 試料容器
41 制御部
50 スペクトラムアナライザ
Claims (3)
- 液体が入れられた容器が配置され、当該液体中に試料が配置される試料台と、
前記液体中で前記試料表面と対向する位置に配置され、探針を自由端部に有するカンチレバーと、
前記カンチレバーの自由端部の変位を検出して、変位信号を出力するセンサと、
前記カンチレバーを励振させるために、前記カンチレバーに取り付けられた圧電素子と、
前記圧電素子に励振信号を出力するとともに、前記試料の表面情報を取得する制御部とを備える走査型プローブ顕微鏡であって、
前記カンチレバーの熱振動スペクトルを計測するスペクトラムアナライザを備え、
前記制御部は、前記熱振動スペクトルに基づいて、前記圧電素子に励振信号を出力することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。 - 前記制御部は、前記熱振動スペクトルに基づいて、前記励振信号の周波数と位相とを調整することを特徴とする請求項1に記載の走査型プローブ顕微鏡。
- 前記カンチレバー又は前記試料をXYZ方向に移動させるXYZ制御機構を備え、
前記制御部は、前記XYZ制御機構に制御信号を出力することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の走査型プローブ顕微鏡。
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Citations (4)
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---|---|---|---|---|
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WO2006073068A1 (ja) * | 2005-01-06 | 2006-07-13 | National University Corporation Hokkaido University | 表面位置計測方法および表面位置計測装置 |
US20120278958A1 (en) * | 2011-04-28 | 2012-11-01 | Min-Feng Yu | Ultra-Low Damping Imaging Mode Related to Scanning Probe Microscopy in Liquid |
WO2013038659A1 (ja) * | 2011-09-12 | 2013-03-21 | 国立大学法人金沢大学 | 電位計測装置、及び原子間力顕微鏡 |
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10319024A (ja) * | 1997-05-14 | 1998-12-04 | Jeol Ltd | 走査プローブ顕微鏡 |
WO2006073068A1 (ja) * | 2005-01-06 | 2006-07-13 | National University Corporation Hokkaido University | 表面位置計測方法および表面位置計測装置 |
US20120278958A1 (en) * | 2011-04-28 | 2012-11-01 | Min-Feng Yu | Ultra-Low Damping Imaging Mode Related to Scanning Probe Microscopy in Liquid |
WO2013038659A1 (ja) * | 2011-09-12 | 2013-03-21 | 国立大学法人金沢大学 | 電位計測装置、及び原子間力顕微鏡 |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
JEFFREY L. HUTTER、JOHN BECHHOEFER: ""Calibration of atomic-force microscope tips"", REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS, vol. 64, no. 7, JPN6017039196, July 1993 (1993-07-01), US, pages 1868 - 1873 * |
Also Published As
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