JP2016094304A - シリカガラスの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】屈折率の高いシリカガラスを容易かつ安価で製造することが可能な方法を提供する。【解決手段】シリカガラス原料を、3GPa以上で加圧しながら加熱する工程を含むことを特徴とするシリカガラスの製造方法。【選択図】図1
Description
本発明は、高屈折な光学特性を有するシリカガラスの製造方法に関する。
シリカガラスは、波長約360nm以下の紫外域における光透過特性に優れている。そのため、LSIチップを製造するためのウエハ上に集積回路パターンを描画するための露光光源に用いるレンズや、紫外線LEDのカバーレンズ等として好適である。
しかしながら、シリカガラスはその他の通常の多成分系の光学ガラスと比較して屈折率が低いため、レンズとして用いた場合、所望の焦点距離を得るためにレンズの厚さや曲率を大きくする必要がある。その結果、レンズの曲面収差が大きくなる等の光学的悪影響が生じてしまうという問題がある。
そこで、特許文献1では、シリカガラス原料を等方性加圧処理することにより、従来よりも屈折率の高いシリカガラスを得る方法が開示されている。
特許文献1に記載の方法により、ある程度屈折率の高いシリカガラスが得られるものの、その特性は未だ不十分である。また、特許文献1に記載の方法では、シリカガラスのさらなる高屈折率化を図ろうとすると、処理温度を非常に高くする必要がある。そのため、製造が困難になるとともに、製造コストが高くなりやすいという問題がある。
従って、本発明は、屈折率の高いシリカガラスを容易かつ安価で製造することが可能な方法を提供することを目的とする。
本発明のシリカガラスの製造方法は、シリカガラス原料を、3GPa以上で加圧しながら加熱する工程を含むことを特徴とする。
本発明のシリカガラスの製造方法において、800℃以上で加熱することが好ましい。
本発明のシリカガラスの製造方法において、シリカガラス原料を、高温高圧発生装置を用いて加圧しながら加熱することが好ましい。
本発明のシリカガラスは、前記方法により製造されたことを特徴とする。
本発明のシリカガラスは、屈折率ndが1.55以上であることを特徴とする。
本発明によれば、屈折率の高いシリカガラスを容易かつ安価で製造することが可能となる。
以下、本発明の好ましい実施形態について説明する。但し、下記の実施形態は、単なる例示である。本発明は、下記の実施形態に何ら限定されない。
図1は、本発明のシリカガラスを製造するための高温高圧発生装置の模式的側面図である。
高温高圧発生装置1は、上側基材2に接続された略円錐台形状の上側アンビル3、下側基材4に接続された略円錐台形状の下側アンビル5、中央に開口部Oを有する円盤状のシリンダー6、及びシリンダー6の開口部O内に設置されるセル7を備えている。上側アンビル3及び下側アンビル5は互いに上下方向に対向するように設けられており、上側アンビル3は上側基材2を介して高温高圧発生装置1本体に固定(非可動)されており、下側アンビル5は下側基材4とともに上下方向に可動式となっている。なお、上側アンビル3が上側基材2とともに上下方向に可動式である構造であってもよい。また、シリンダー6は図示しないレールに沿って水平方向に可動式となっている。なお、シリンダー6は「ベルト」とも呼ばれ、高温高圧発生装置1は「ベルト型高温高圧発生装置」とも呼ばれる。
次に、高温高圧発生装置1を用いて本発明のシリカガラスを製造する方法を説明する。まずシリカガラス原料片をセル7内に配置する。シリカガラス原料片の形状は特に限定されず、円柱状、多角柱状、直方体状等が挙げられるが、円柱状であれば、シリカガラス原料片に圧力を均等に印加しやすいため好ましい。次に、下側アンビル5を上方に移動させることにより、上側アンビル3の頂部3aと下側アンビル5の頂部5aとの間に、セル7内のシリカガラス原料片を挟み込んで圧力を印加する。その後、上側アンビル3及び下側アンビル5の間に電流を流すことにより、セル7内のヒーター(図示せず)に通電し、シリカガラス原料片を加熱する。その後、室温まで降温し、さらに大気圧まで減圧することにより、本発明のシリカガラスを得る。
上記の高温高圧発生装置1を用いることにより、3GPa以上の高圧雰囲気を容易に達成でき、シリカガラスの高屈折率化が可能となる。
本発明の製造方法において、シリカガラス原料に加圧する際の圧力は3GPa以上であり、4GPa以上であることが好ましく、5GPa以上であることがより好ましく、7GPa以上であることがさらに好ましい。加圧する際の圧力が小さすぎると、所望の屈折率を有するシリカガラスが得られにくくなる。一方、加圧する際の圧力が高すぎると、望まない結晶が析出しやすくため、10GPa以下であることが好ましい。
本発明の製造方法において、加熱する際の温度(最高温度)は800℃以上であることが好ましく、900℃以上であることがより好ましく、1000℃以上であることがさらに好ましく、1100℃以上であることが特に好ましい。一方、特に加圧する際に圧力が比較的高い場合は、加熱する際の温度が高すぎると、望まない結晶が析出しやすくなる。よって、加熱する際の温度は1550℃以下であることが好ましく、1500℃以下であることがより好ましく、1400℃以下であることがさらに好ましい。なお、本発明では、3GPa以上の高圧下でシリカガラスの製造を行うため、比較的低温であっても、所望の屈折率を有するシリカガラスが得られやすい。
本発明のシリカガラスの屈折率ndは1.52以上であることが好ましく、1.53以上であることがより好ましく、1.54以上であることがさらに好ましく、1.55以上であることが特に好ましく、1.552以上であることが最も好ましい。また、本発明のシリカガラスのアッベ数νdは68以上であることが好ましく、68.5以上であることがより好ましい。
本発明のシリカガラスの形状は特に限定されず、円柱状、多角柱状、直方体状等が挙げられる。なお、製造の容易性の観点から円柱状であることが好ましい。
本発明のシリカガラスの体積は特に限定されないが、大きいほど、適用可能な用途が多様化するため好ましい。具体的には、本発明のシリカガラスの体積は10mm3以上であることが好ましく、20mm3以上であることがより好ましく、30mm3以上であることがより好ましい。
以下に、本発明のシリカガラスの製造方法を実施例を用いて説明するが、本発明は以下の実施例に何ら限定されるものではない。
表1は、実施例1、2及び比較例を示す。
(実施例1)
合成シリカガラス(屈折率nd:1.459、アッベ数νd:67.9)に対し、切断及び研削を施すことにより直径5.7mm、高さ2mmの円盤状のシリカガラス原料片を作製した。シリカガラス原料片を、Ta箔で包み、Taチューブに封入した状態で、図1に準ずるベルト型高温高圧発生装置のセル内に配置した。
合成シリカガラス(屈折率nd:1.459、アッベ数νd:67.9)に対し、切断及び研削を施すことにより直径5.7mm、高さ2mmの円盤状のシリカガラス原料片を作製した。シリカガラス原料片を、Ta箔で包み、Taチューブに封入した状態で、図1に準ずるベルト型高温高圧発生装置のセル内に配置した。
室温で7.7GPaまで加圧し、10分間で300℃まで昇温した後、3分間で1000℃まで昇温した。そのまま30分間保持した後、3分間で300℃まで降温し、さらに10分間で室温まで降温した。その後、大気圧まで減圧することにより、直径5mm、高さ2mmのシリカガラス試料を得た。得られたシリカガラス試料の屈折率nd及びアッベ数νdを、島津デバイス製造社製の精密屈折計KPR−2000を用いて測定した。結果を表1に示す。
(実施例2)
高温高圧処理時の最高温度を1200℃にした以外は、実施例1と同様の方法により試料を作製した。得られた試料について光学特性を測定した。結果を表1に示す。
高温高圧処理時の最高温度を1200℃にした以外は、実施例1と同様の方法により試料を作製した。得られた試料について光学特性を測定した。結果を表1に示す。
(比較例)
合成シリカガラスに対し、切断及び研削を施すことにより5mm×4mm×4mmの直方体状のシリカガラス原料片を作製した。シリカガラス原料片を熱間等方加圧型装置の試料室にセットした。1200℃、200MPaで2時間加圧した後、室温まで降温及び大気圧まで減圧し、試料を取り出した。得られた試料について光学特性を測定した。結果を表1に示す。
合成シリカガラスに対し、切断及び研削を施すことにより5mm×4mm×4mmの直方体状のシリカガラス原料片を作製した。シリカガラス原料片を熱間等方加圧型装置の試料室にセットした。1200℃、200MPaで2時間加圧した後、室温まで降温及び大気圧まで減圧し、試料を取り出した。得られた試料について光学特性を測定した。結果を表1に示す。
表1から明らかなように、実施例1及び2では、得られたシリカガラスの屈折率が1.556以上と高かった。一方、比較例では、得られたシリカガラスの屈折率が1.513と低かった。
1 高温高圧発生装置
2 上側基材
3 上側アンビル
4 下側基材
5 下側アンビル
6 シリンダー
7 セル
2 上側基材
3 上側アンビル
4 下側基材
5 下側アンビル
6 シリンダー
7 セル
Claims (5)
- シリカガラス原料を、3GPa以上で加圧しながら加熱する工程を含むことを特徴とするシリカガラスの製造方法。
- 800℃以上で加熱することを特徴とする請求項1に記載のシリカガラスの製造方法。
- シリカガラス原料を、高温高圧発生装置を用いて加圧しながら加熱することを特徴とする請求項1または2に記載のシリカガラスの製造方法。
- 請求項1〜3のいずれか一項に記載の方法により製造されたことを特徴とするシリカガラス。
- 屈折率ndが1.55以上であることを特徴とするシリカガラス。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014229446A JP2016094304A (ja) | 2014-11-12 | 2014-11-12 | シリカガラスの製造方法 |
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JP2014229446A JP2016094304A (ja) | 2014-11-12 | 2014-11-12 | シリカガラスの製造方法 |
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JP2016094304A true JP2016094304A (ja) | 2016-05-26 |
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2014
- 2014-11-12 JP JP2014229446A patent/JP2016094304A/ja active Pending
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