JP2016092222A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】本明細書は、半導体素子を封止したパワーカードと冷却器が絶縁部材を挟んで積層されている半導体装置に関し、半導体装置が備える部材間の接合性を高めるとともに接合層の厚みに起因する寸法公差を小さくするための技術を提供する。【解決手段】半導体装置2は、半導体素子を封止したパワーカード10と冷却器3が絶縁板6を挟んで積層されている。半導体装置2は、パワーカード10と絶縁板6との間に位置するとともにパワーカード10及び絶縁板6に溶着している金属板8と、絶縁板6と冷却器3との間に位置するとともに絶縁板6及び冷却器3に溶着している金属板11と、を備える。【選択図】図1
Description
本明細書は、半導体装置に関する。特に、半導体素子を封止したパワーカードと冷却器が絶縁部材を挟んで積層されている半導体装置に関する。
半導体素子を封止したパワーカードと冷却器が絶縁部材を挟んで積層されている半導体装置が知られている(例えば特許文献1)。そのような半導体装置においては、パワーカードと絶縁部材の相対的位置、あるいは、冷却器と絶縁部材の相対的位置を正確に定める必要がある。特許文献1の半導体装置では、パワーカードと絶縁部材との間、及び、絶縁部材と冷却器の間の少なくとも一方が接着剤によって接合されている。接着剤は、アルミナ添加シリコーンよりなる熱伝導性接着剤である。
特許文献1の技術によると、接着剤の経時劣化により、接着強度が低下する可能性がある。また、各部材を固定する際の接着剤の厚さを目的の厚さに調節することが困難であるため、個々の半導体装置について、積層体の寸法にばらつきが生じる可能性もある。本明細書では、半導体装置が備える部材間の接合性を高めるとともに接合層の厚みに起因する寸法公差を小さくするための技術を提供する。
本明細書が開示する半導体装置は、半導体素子を封止したパワーカードと冷却器が絶縁部材を挟んで積層されているデバイスである。この半導体装置は、下記の第1の金属部材及び第2の金属部材のうちの少なくとも一方を備える。第1の金属部材は、パワーカードと絶縁部材との間に位置するとともに、パワーカード及び絶縁部材に溶着している。第2の金属部材は、絶縁部材と冷却部材との間に位置するとともに、絶縁部材及び冷却部材に溶着している。当該構成によると、特許文献1に開示された接着剤による接合の場合と比較して、以下の利点がある。即ち、金属部材は、接着剤よりも経時劣化しにくい。また、金属部材は、接着剤よりも、その厚さを調節しやすい。従って接合層の厚みに起因する積層体の寸法公差が小さくなる。
(第1実施例)図面を参照して実施例の半導体装置2を説明する。図1は、第1実施例の半導体装置2の斜視図である。半導体装置2は、複数のパワーカード10と複数の冷却器3が積層されたユニットである。なお、図1では、一つのパワーカードだけに符号10を付し、他のパワーカードには符号を省略している。同様に一つの冷却器だけに符号3を付し、他の冷却器には符号を省略している。また、半導体装置2の全体が見えるように、半導体装置2を収容するケース31は仮想線で描いてある。なお、パワーカード10と絶縁板6の間、及び、絶縁板6と冷却器3の間には仮止め用の接着部材が塗布されているが、図1と図2では接着部材の図示は省略している。
一つのパワーカード10には4個の半導体素子が収容されている。4個の半導体素子は、具体的には、2個のトランジスタTa、Tbと、2個のダイオードDa、Dbである。パワーカード10の内部構造は後に詳しく説明する。冷却器3を通る冷媒により、半導体素子が冷却される。冷媒は液体であり、典型的には水である。
パワーカード10と冷却器3は、共に平板型であり、複数の側面のうち最大面積の平坦面が対向するように積層されている。パワーカード10と冷却器3は交互に積層されており、ユニットの積層方向の両端には冷却器3が位置している。パワーカード10と冷却器3の間には絶縁板6が挟まれている。パワーカード10と絶縁板6の間、及び絶縁板6と冷却器3の間には、夫々、金属板8、11が挟まれている。各パワーカード10は、その両面の夫々に、絶縁板6と2個の金属板8、11を挟んで冷却器3が対向している。金属板8、11は、比較的熱伝導率が高く、比較的柔らかく(例えばヤング率が低く)、かつ、比較的融点が低い金属を利用するのが好ましい。好ましくは、亜鉛、アルミニウム、マグネシウム、最も好ましくは、スズが利用される。金属板8、11の厚さは、熱伝導率を確保するため、例えば、10〜50μmに設計されている。
複数の冷却器3は、連結パイプ5a、5bで連結されている。積層方向の一端の冷却器3には、冷媒供給管4aと冷媒排出管4bが連結されている。冷媒供給管4aを通じて供給される冷媒は、連結パイプ5aを通じて全ての冷却器3に分配される。冷媒は各冷却器3を通る間に隣接するパワーカード10から熱を吸収する。各冷却器3を通った冷媒は連結パイプ5bを通り、冷媒排出管4bから排出される。
半導体装置2はケース31に収容される際、積層方向の一端側に板バネ32が挿入される。その板バネ32により、パワーカード10と絶縁板6と冷却器3と金属板8、11の積層体には、積層方向の両側から荷重が加えられる。その荷重は、例えば3[kN]である。3[kN]という高い荷重は、金属板8、11を塑性変形させる。その結果、金属板8、11は、両側の部材(即ち、パワーカード10と絶縁板6と冷却器3)の表面に凹凸があったとしても、これらの部材に密着することができる。即ち、金属板8、11と両側の部材との接触面積を大きくすることができる。後述するが、半導体装置2の製造工程において、金属板8、11は、溶融され、両側の部材を溶着している。これにより、金属板8、11と両側の部材との接触面積をより大きくすることができる。そのため、パワーカード10から冷却器3への伝熱効率が高まる。即ち、パワーカード10は、絶縁板6と金属板8、11を介して、冷却器3に熱を奪われやすくなる。半導体装置2は、半導体素子(2個のトランジスタTa、Tbと2個のダイオードDa、Db)を収容したパワーカード10と冷却器3が絶縁板6を挟んで積層されているデバイスである。また、半導体装置2は、パワーカード10と絶縁板6が金属板8を介して密着し、絶縁板6と冷却器3が金属板11を介して密着するようにそれらの積層方向に荷重が加えられているデバイスである。
パワーカード10を説明する。パワーカード10において、絶縁板6と金属板8を挟んで対向する一方の平坦面10aには、放熱板16a、16bが露出している。説明の便宜上、平坦面10aをパワーカード10の正面と称する。パワーカード10を裏面(X軸の負方向)からみた図を図2に示す。平坦面10aとは反対側の平坦面10bには、別の放熱板17が露出している。平坦面10bには金属板8を挟んで別の絶縁板6が接しており、その絶縁板6には金属板11を挟んで別の冷却器3が接している。パワーカード10は、両面の夫々が金属板8を挟んで絶縁板6と接しており、各絶縁板6は金属板11を挟んで冷却器3と接している。パワーカード10の上面(図中Z軸の正方向を向く面)からは3本の電極端子7a、7b、7cが伸びており、下面(図中Z軸方向の負方向を向く面)からは制御端子29が伸びている。
ここからは、図1、図2とともに図3と図4を参照してパワーカード10の内部構造を説明する。図3は、図1のパワーカード10を図中の座標系のXY面に平行な平面であってトランジスタTaとTbを横切る平面でカットした断面図である。図4は、図1のパワーカード10を図中の座標系のXZ面に平行な平面でカットした断面図であってトランジスタTaとダイオードDaを横切る平面でカットした断面図である。別言すれば、図4は、図3のIV−IV線に沿った断面図であり、図3は図4のIII−III線に沿った断面図である。
4個の半導体素子(トランジスタTa、Tb、ダイオードDa、Db)は、樹脂製の筐体13に封止されている。筐体13は、射出成形により半導体素子を封止する。いずれの半導体素子も平坦なチップであり、その平坦面が筐体13の平坦面(パワーカード10の平坦面10a、10b)と平行になるように配置されている。なお、以下では、パワーカード10の平坦面10a、10bを筐体13の平坦面10a、10bと称する場合がある。
トランジスタTa(Tb)のチップの一方の平坦面にはコレクタ電極が露出しており、他方の平坦面にはエミッタ電極が露出している。トランジスタTa(Tb)のゲートは、チップの一方の平坦面の端に設けられている。トランジスタTaの一方の平坦面の電極はハンダ15により放熱板16aの裏面に接合している。放熱板16aのおもて面は、筐体13の表面に露出している。トランジスタTaの他方の平坦面の電極は、ハンダ15と導電部材(スペーサ14)を介して放熱板17の裏面に接合している。放熱板17のおもて面は、筐体13の表面に露出している。トランジスタTaの他方の平坦面の端にはゲートが位置しており、そのゲートはワイヤを介して制御端子29に接続されている。図4では、ワイヤは破線で描いてある。トランジスタTbも同様の構造を有している。
図4によく示されているように、放熱板16aは、電極端子7aの一部である。筐体内部で放熱板16aの側縁から延設部が伸びており、その延設部は筐体13の内部を通り、筐体13の上面(図中の座標系のZ軸正方向を向く面)から外部へ伸びている。即ち、トランジスタTaの電極を外部の他のデバイスと接続するための電極端子7aにおいて、筐体13の平坦面10aに露出している部位が放熱板16aに相当する。電極端子7aはトランジスタTaの電極と接しているので、トランジスタTaの内部の熱を伝えやすい。その電極端子7aの一部が放熱板16aとして筐体13から露出しているので、放熱板16aにはトランジスタTaの内部の熱がよく伝わる。一方、冷却器3はアルミニウム(導電性の金属)で作られているので、放熱板16aと絶縁する必要がある。それゆえ、半導体装置2は、冷却器3と放熱板16a(パワーカード10)との間に絶縁板6を挟んでいる。絶縁板6は、薄くて絶縁性が高く、伝熱性も良いセラミックスで作られている。放熱板16a(電極端子7a)は、導電性と伝熱性に優れた銅で作られている。スペーサ14も、導電性と伝熱性に優れた銅で作られている。
ダイオードDa、Dbも平坦なチップであり、一方の平坦面にアノード電極が露出しており、他方の平坦面にカソード電極が露出している。ダイオードDaの一方の平坦面に露出している電極も、トランジスタTaと同様に、ハンダ15を介して放熱板16aの裏面に接続している。トランジスタTaの他方の面の電極はハンダ15とスペーサ14を介して放熱板17の裏面(筐体13に対向する面)に接続している。ダイオードDaの他方の面の電極も、ハンダ15とスペーサ14を介して放熱板17の裏面に接続している。即ち、トランジスタTaとダイオードDaは、放熱板16a(即ち電極端子7a)と放熱板17の間で並列(逆並列)に接続されている。放熱板17も、放熱板16aと同様に電極端子7cの一部である。
トランジスタTbとダイオードDbの組も、トランジスタTaとダイオードDaの組と同様の構造を有している。トランジスタTaとダイオードDbの一方の面の電極はハンダ15を介して放熱板16bの裏面に接続されており、他方の面の電極はハンダ15とスペーサ14を介して放熱板17の裏面に接続している。トランジスタTbとダイオードDbも、筐体13の内部で並列(逆並列)に接続されている。放熱板16bも、放熱板16aと同様に、電極端子7bの一部である。
第1実施例の半導体装置2では、金属板8が、パワーカード10と絶縁板6との間に位置し、パワーカード10及び絶縁板6に溶着している。また、金属板11が、絶縁板6と冷却器3との間に位置し、絶縁板6及び冷却器3に溶着している。金属板8、11に代えて、金属よりも流動性が高い接着剤を利用する構成(以下では、比較の構成と呼ぶ)を採用することが考えられる。しかしながら、比較の構成では、接着剤の経時劣化により、接着強度が低下する可能性がある。また、各部材を固定する際の接着剤の厚さを目的の厚さに調節することが困難であるため、個々の半導体装置2について、積層体の寸法にばらつきが生じる可能性もある。また、比較の構成において、特に接着剤としてグリスを利用した場合では、ポンピングやブリードアウトと呼ばれる現象等により各部材の間からグリスが垂れ落ちることが起こり得る。
一方において、第1実施例の構成によると、比較の構成において生じる上記の各問題を解消し得る。即ち、金属板8、11は、接着剤よりも経時劣化しにくいため、部材間の接合性を高めることができる。また、金属板8、11は、接着剤よりも流動性が低く、その厚さを調節しやすいため、接合層の厚みに起因する積層体の寸法公差を小さくすることができる。
(第2実施例)第2実施例の半導体装置2を説明する。第2実施例の半導体装置2は、金属板の態様が第1実施例とは異なるだけである。それゆえ、半導体装置2全体の説明は省略する。図5に、図1の座標系におけるXY平面でカットした第2実施例の半導体装置2の断面図を示す。
第2実施例の半導体装置2では、パワーカード10と絶縁板6の間、及び絶縁板6と冷却器3の間には、夫々、金属板108、111が挟まれている。金属板108では、金属部材108aが金属部材108bでメッキ処理されている。金属板111では、金属部材111aが金属部材111bでメッキ処理されている。金属部材108a、111aは、例えば、銅が利用される。金属部材108b、111bとして利用される金属は、金属板8、11と同様である。第2実施例でも、第1実施例と同様の効果を奏することができる。
(第3実施例)第3実施例は、第1実施例の半導体装置2の製造方法に関する。製造方法は、積層工程、加圧工程、及び、溶着工程を備える。
図6〜9を参照して積層工程を説明する。図6では、平坦面10a、10bの四隅に仮止め用の接着部材18を塗布した後に、パワーカード10に金属板8を接着する。図7では、パワーカード10に接着している金属板8の平坦面とは反対側の平坦面の四隅に仮止め用の接着部材19を塗布した後に、金属板8に絶縁板6を接着する。図8では、金属板8に接着している絶縁板6の平坦面とは反対側の平坦面の四隅に仮止め用の接着部材20を塗布した後に、絶縁板6に金属板11を接着する。これにより、パワーカード10と、絶縁板6と、金属板8、11と、が積層される。図9では、連結パイプ5a、5bで連結されている複数個の冷却器3を準備し、隣り合う2個の冷却器3の間に、図8で作製された積層体を挿入する。これにより、パワーカード10と、絶縁板6と、金属板8、11と、冷却器3と、が積層される。
続いて、図10を参照して加圧工程を説明する。図9で作製された積層体をケース31に収容し、積層方向の一端側に板バネ32を挿入する。その板バネ32により、パワーカード10と絶縁板6と冷却器3と金属板8、11の積層体には、積層方向の両側から荷重が加えられる。第1実施例で説明したように、金属板8、11は、塑性変形し、両側の部材に密着する。
続いて、図10を参照して溶着工程を説明する。まず、冷媒供給管4aから高温流体を流入させる。高温流体は、例えば、金属板8、11が融点よりも高い温度(例えば220〜240度)の温風である。流入した高温流体は、連結パイプ5aを介して、各冷却器3に流れる。これにより、冷却器3の間に位置する金属板8、11は溶融する。各冷却器3を通過した高温流体は、連結パイプ5bを介して、冷媒排出管4bから流出する。金属板8、11が溶融した後に、金属板8、11を冷却する。金属板8、11は、冷媒供給管4aから冷媒を流入させることによって冷却されてもよいし、放冷されてもよい。これにより、金属板8、11は、両側の部材を溶着する。以上の工程によって半導体装置2を製造することができる。
実施例で説明した技術に関する留意点を述べる。図では、理解を助けるため、金属板の層の厚み、放熱板の厚みなどを強調して描いることに留意されたい。
実施例では、パワーカード10と絶縁板6の間、及び、絶縁板6と冷却器3の間には、夫々、金属板8、11が挟まれている。変形例では、2個の金属板8と2個の金属板11のうち、少なくとも1個の金属板が挟まれていればよく、その他の金属板に代えて、グリス等の接着部材が挟まれていてもよい。
実施例では、金属板8、11を両側の部材に溶着しているが、変形例では、溶着していなくてもよい。即ち、半導体装置2の製造方法において、溶着工程を省略してもよい。本変形例でも、実施例ほどではないが、金属板8、11が両側の部材に密着しているため、半導体装置2が備える部材間の接合性を高めるとともに接合層の厚みに起因する寸法公差を小さくすることができる。
以上、本発明の具体例を詳細に説明したが、これらは例示に過ぎず、特許請求の範囲を限定するものではない。特許請求の範囲に記載の技術には、以上に例示した具体例を様々に変形、変更したものが含まれる。本明細書または図面に説明した技術要素は、単独であるいは各種の組合せによって技術的有用性を発揮するものであり、出願時請求項記載の組合せに限定されるものではない。また、本明細書または図面に例示した技術は複数目的を同時に達成し得るものであり、そのうちの一つの目的を達成すること自体で技術的有用性を持つものである。
2:半導体装置
3:冷却器
4a:冷媒供給管
4b:冷媒排出管
5a、5b:連結パイプ
6:絶縁板
7a:電極端子
7b:電極端子
7c:電極端子
8、11、108、111:金属板
10:パワーカード
10a、10b:平坦面
13:筐体
14:スペーサ
15:ハンダ
16a、16b、17:放熱板
18、19、20:接着部材
29:制御端子
31:ケース
32:板バネ
108a、108b、111a、111b:金属部材
Da、Db:ダイオード(半導体素子)
Ta、Tb:トランジスタ(半導体素子)
3:冷却器
4a:冷媒供給管
4b:冷媒排出管
5a、5b:連結パイプ
6:絶縁板
7a:電極端子
7b:電極端子
7c:電極端子
8、11、108、111:金属板
10:パワーカード
10a、10b:平坦面
13:筐体
14:スペーサ
15:ハンダ
16a、16b、17:放熱板
18、19、20:接着部材
29:制御端子
31:ケース
32:板バネ
108a、108b、111a、111b:金属部材
Da、Db:ダイオード(半導体素子)
Ta、Tb:トランジスタ(半導体素子)
Claims (1)
- 半導体素子を封止したパワーカードと冷却器が絶縁部材を挟んで積層されている半導体装置であって、
前記パワーカードと前記絶縁部材との間に位置するとともに前記パワーカード及び前記絶縁部材に溶着している第1の金属部材、及び、前記絶縁部材と前記冷却器との間に位置するとともに前記絶縁部材及び前記冷却器に溶着している第2の金属部材のうちの少なくとも一方の金属部材を備える半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014225155A JP2016092222A (ja) | 2014-11-05 | 2014-11-05 | 半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014225155A JP2016092222A (ja) | 2014-11-05 | 2014-11-05 | 半導体装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016092222A true JP2016092222A (ja) | 2016-05-23 |
Family
ID=56016384
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014225155A Pending JP2016092222A (ja) | 2014-11-05 | 2014-11-05 | 半導体装置 |
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Country | Link |
---|---|
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018041824A (ja) * | 2016-09-07 | 2018-03-15 | トヨタ自動車株式会社 | 半導体装置 |
WO2022163658A1 (ja) * | 2021-01-27 | 2022-08-04 | 京セラ株式会社 | 発熱素子配置用基板、加熱モジュール及び加熱装置 |
-
2014
- 2014-11-05 JP JP2014225155A patent/JP2016092222A/ja active Pending
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2018041824A (ja) * | 2016-09-07 | 2018-03-15 | トヨタ自動車株式会社 | 半導体装置 |
WO2022163658A1 (ja) * | 2021-01-27 | 2022-08-04 | 京セラ株式会社 | 発熱素子配置用基板、加熱モジュール及び加熱装置 |
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