JP2016084440A - 光導波路用感光性樹脂組成物および光導波路コア層形成用光硬化性フィルム、ならびにそれを用いた光導波路、光・電気伝送用混載フレキシブルプリント配線板 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明の光導波路用感光性樹脂組成物(以下、単に「感光性樹脂組成物」という場合がある。)は、特定の樹脂成分、および、光重合開始剤を用いて得られるものである。そして、本発明においては、上記特定の樹脂成分が、芳香族エポキシ樹脂および脂肪族エポキシ樹脂の双方を含むエポキシ樹脂成分によって構成されていることを特徴とする。なお、本発明において、「液状」、あるいは「固形」とは、常温(25℃)の温度下において「液状」または「固体」状態を呈することを意味する。
以下、各種成分について順に説明する。
上記芳香族エポキシ樹脂としては、常温(25℃)で固体状態を示すものが好ましく、例えば、固形のクレゾールノボラック型エポキシ樹脂等があげられる。具体的には、YDCN−700−10、YDCN−700−7、YDCN−700−5、YDCN-700−3(いずれも新日鐵住金化学社製)等があげられる。その他、長鎖二官能芳香族ビスフェノールA型エポキシ樹脂であるJER1002、JER1004、JER1007、JER1010(いずれも三菱化学社製)等もあげられる。これらは単独でもしくは二種以上併せて用いることができる。
上記脂肪族エポキシ樹脂としては、常温(25℃)で固体状態を示すもの、常温(25℃)で液状を示すもの等が用いられ、例えば、液状水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂等があげられる。そして、少なくとも固体を示す脂肪族エポキシ樹脂を用いることが好ましく、この場合、脂肪族エポキシ樹脂として固体を示す脂肪族エポキシ樹脂のみからなる態様であってもよいし、固体を示す脂肪族エポキシ樹脂とともに液状を示す脂肪族エポキシ樹脂を併用した態様であってもよい。具体的には、YX−8034、YX−8000、YL−7410(いずれも三菱化学社製)、エポゴーセーPT(四日市合成社製)、デナコールEX−321(ナガセケムテックス社製)、EP−4080E(ADEKA社製)等があげられる。これらは単独でもしくは二種以上併せて用いることができる。なお、本発明において、脂肪族エポキシ樹脂とは、分子中に芳香環(ベンゼン環)を含まない環式または非環式の非芳香族系エポキシ樹脂をいい、例えば、脂環式エポキシ樹脂のような環状脂肪族エポキシ樹脂を含む趣旨である。
上記光酸発生剤は、感光性樹脂組成物に対して光照射による硬化性を付与するため、例えば、紫外線硬化性を付与するために用いられるものである。
つぎに、本発明の感光性樹脂組成物をコア層形成材料として用いてなる光導波路について説明する。
まず、実施例となる光導波路の作製に先立ち、クラッド層形成材料およびコア層形成材料である各感光性ワニスを調製した。
遮光条件下にて、固形多官能脂肪族エポキシ樹脂(EHPE−3150、ダイセル社製)67部、固形水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂(YX−8040、三菱化学社製)33部、光酸発生剤(CPI−101A、サンアプロ社製)1部、ヒンダードフェノール系酸化防止剤(Songnox1010、共同薬品社製)0.5部、リン系酸化防止剤(HCA、三光社製)0.5部を、乳酸エチル55部に混合し、85℃加熱下にて撹拌完溶させ、その後室温(25℃)まで冷却した後、直径1.0μmのメンブランフィルタを用い加熱加圧濾過を行なうことにより、アンダークラッド層形成材料となる感光性ワニスを調製した。
遮光条件下にて、固形クレゾールノボラック型固形エポキシ樹脂(YDCN−700−7、新日鐵住金化学社製)75部、固形脂肪族多官能脂環式エポキシ樹脂(EHPE−3150、ダイセル社製)25部、光酸発生剤(WPAG−1056、和光純薬工業社製)1部、ヒンダードフェノール系酸化防止剤(Songnox1010、共同薬品社製)0.5部、リン酸エステル系酸化防止剤(HCA、三光社製)0.5部を、乳酸エチル50部に混合し、85℃加熱下にて撹拌完溶させ、その後室温(25℃)まで冷却した後、直径1.0μmのメンブランフィルタを用い加熱加圧濾過を行なうことにより、コア層形成材料となる感光性ワニスを調製した。
遮光条件下にて、固形水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂(YX−8040、三菱化学社製)60部、固形多官能脂肪族エポキシ樹脂(EHPE−3150、ダイセル社製)30部、液状脂肪族エポキシ樹脂(YL−7410、三菱化学社製)10部、光酸発生剤(CPI−101A、サンアプロ社製)1部、ヒンダードフェノール系酸化防止剤(Songnox1010、共同薬品社製)0.5部、リン系酸化防止剤(HCA、三光社製)0.5部を、乳酸エチル50部に混合し、85℃加熱下にて撹拌完溶させ、その後室温(25℃)まで冷却した後、直径1.0μmのメンブランフィルタを用い加熱加圧濾過を行なうことにより、アンダークラッド層形成材料となる感光性ワニスを調製した。
<アンダークラッド層の作製>
スピンコーターを用いて、上記アンダークラッド層形成材料である感光性ワニスを厚み約500μmのシリコンウェハ上に塗工した後、ホットプレート上にて有機溶剤の乾燥(130℃×10分間)を行なった。ついで、UV照射機〔5000mJ/cm2(I線フィルタ)〕により全面露光を行ない、さらに後加熱(130℃×10分間)を行なうことにより、シリコンウェハ上にアンダークラッド層(厚み:15μm)を作製した。
上記のようにして形成されたアンダークラッド層上に、スピンコーターを用いて、コア層形成材料である感光性ワニスを塗工した後、ホットプレート上にて有機溶剤(乳酸エチル)を乾燥させる(130℃×10分間)ことにより、未硬化フィルム状態の未硬化層(コア形成層)を形成した。形成された未硬化層(コア形成層)に対して、UV照射機〔混線(バンドフィルタ無し)〕にて9000mJ/cm2(波長365nm積算)のマスクパターン露光〔パターン幅/パターン間隔(L/S)=50μm/200μm〕を行ない、後加熱(130℃×10分間)を行なった。その後、γ−ブチロラチクトン中にて現像(室温(25℃)下、4分間)した後、水洗し、ホットプレート上にて水分を乾燥(120℃×10分間)させることにより、所定パターンのコア層(厚み50μm)を作製した。
上記のようにして形成されたコア層上に、スピンコーターを用いて、オーバークラッド層形成材料である感光性ワニスを塗工した後、ホットプレート上にて有機溶剤(乳酸エチル)の乾燥(130℃×5分間)を行なった。その後、5000mJ/cm2(I線フィルタ)の露光、130℃×10分間の露光後加熱処理(PEB処理)を行なうことにより、オーバークラッド層(コア層上のオーバークラッド層厚み10μm)を作製した。
コア層形成材料である感光性ワニスの調製において、樹脂成分の配合組成を、固形クレゾールノボラック型固形エポキシ樹脂(YDCN−700−7、新日鐵住金化学社製)70部、固形脂肪族多官能脂環式エポキシ樹脂(EHPE−3150、ダイセル社製)30部に変えた。それ以外は実施例1と同様にしてコア層形成材料となる感光性ワニスを調製し、光導波路を作製した。
コア層形成材料である感光性ワニスの調製において、樹脂成分の配合組成を、固形クレゾールノボラック型固形エポキシ樹脂(YDCN−700−7、新日鐵住金化学社製)65部、固形脂肪族多官能脂環式エポキシ樹脂(EHPE−3150、ダイセル社製)35部に変えた。それ以外は実施例1と同様にしてコア層形成材料となる感光性ワニスを調製し、光導波路を作製した。
コア層形成材料である感光性ワニスの調製において、樹脂成分の配合組成を、固形クレゾールノボラック型固形エポキシ樹脂(YDCN−700−7、新日鐵住金化学社製)60部、固形脂肪族多官能脂環式エポキシ樹脂(EHPE−3150、ダイセル社製)40部に変えた。それ以外は実施例1と同様にしてコア層形成材料となる感光性ワニスを調製し、光導波路を作製した。
コア層形成材料である感光性ワニスの調製において、樹脂成分の配合組成を、固形クレゾールノボラック型固形エポキシ樹脂(YDCN−700−7、新日鐵住金化学社製)55部、固形脂肪族多官能脂環式エポキシ樹脂(EHPE−3150、ダイセル社製)45部に変えた。それ以外は実施例1と同様にしてコア層形成材料となる感光性ワニスを調製し、光導波路を作製した。
コア層形成材料である感光性ワニスの調製において、樹脂成分の配合組成を、固形クレゾールノボラック型固形エポキシ樹脂(YDCN−700−10、新日鐵住金化学社製)75部、固形脂肪族多官能脂環式エポキシ樹脂(EHPE−3150、ダイセル社製)13部、液状水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂(YX−8034、三菱化学社製)12部、乳酸エチル40部に変えた。それ以外は実施例1と同様にしてコア層形成材料となる感光性ワニスを調製し、光導波路を作製した。
コア層形成材料である感光性ワニスの調製において、樹脂成分の配合組成を、固形クレゾールノボラック型固形エポキシ樹脂(YDCN−700−10、新日鐵住金化学社製)55部、固形脂肪族多官能脂環式エポキシ樹脂(EHPE−3150、ダイセル社製)25部、液状水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂(YX−8034、三菱化学社製)20部、乳酸エチル40部に変えた。それ以外は実施例1と同様にしてコア層形成材料となる感光性ワニスを調製し、光導波路を作製した。
コア層形成材料である感光性ワニスの調製において、樹脂成分の配合組成を、固形クレゾールノボラック型固形エポキシ樹脂(YDCN−700−7、新日鐵住金化学社製)80部、固形脂肪族多官能脂環式エポキシ樹脂(EHPE−3150、ダイセル社製)20部に変えた。それ以外は実施例1と同様にしてコア層形成材料となる感光性ワニスを調製し、光導波路を作製した。
コア層形成材料である感光性ワニスの調製において、樹脂成分の配合組成を、固形クレゾールノボラック型固形エポキシ樹脂(YDCN−700−7、新日鐵住金化学社製)50部、固形脂肪族多官能脂環式エポキシ樹脂(EHPE−3150、ダイセル社製)50部に変えた。それ以外は実施例1と同様にしてコア層形成材料となる感光性ワニスを調製し、光導波路を作製した。
コア層形成材料である感光性ワニスの調製において、樹脂成分の配合組成を、固形クレゾールノボラック型固形エポキシ樹脂(YDCN−700−10、新日鐵住金化学社製)80部、液状水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂(YX−8034、三菱化学社製)20部、乳酸エチル40部に変えた。それ以外は実施例1と同様にしてコア層形成材料となる感光性ワニスを調製し、光導波路を作製した。
コア層形成材料である感光性ワニスの調製において、樹脂成分の配合組成を、固形クレゾールノボラック型固形エポキシ樹脂(YDCN−700−10、新日鐵住金化学社製)50部、固形脂肪族多官能脂環式エポキシ樹脂(EHPE−3150、ダイセル社製)25部、液状水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂(YX−8034、三菱化学社製)25部、乳酸エチル40部に変えた。それ以外は実施例1と同様にしてコア層形成材料となる感光性ワニスを調製し、光導波路を作製した。
コア層形成材料である感光性ワニスの調製において、樹脂成分の配合組成を、固形クレゾールノボラック型固形エポキシ樹脂(YDCN−700−10、新日鐵住金化学社製)50部、固形脂肪族多官能脂環式エポキシ樹脂(EHPE−3150、ダイセル社製)40部、液状水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂(YX−8034、三菱化学社製)10部、乳酸エチル40部に変えた。それ以外は実施例1と同様にしてコア層形成材料となる感光性ワニスを調製し、光導波路を作製した。
上記実施例および比較例により得られた光導波路をサンプルとして用い、光源(850nmVCSEL光源OP250、三喜社製)から発振された光をマルチモードファイバー〔FFP−G120−0500、三喜社製(直径50μmMMF、NA=0.2)〕にて集光して、上記サンプルに入射した。そして、サンプルから出射された光をレンズ〔FH14−11,清和光学製作所社製(倍率20、NA=0.4)〕にて集光し、光計測システム(オプティカルマルチパワーメーターQ8221、アドバンテスト社製)にて6チャンネルを評価した。その平均全損失から直線損失を算出し、下記の基準に基づき評価した。
○:全直線損失が0.05dB/cm未満であった。
×:全直線損失が0.05dB/cm以上であった。
上記実施例および比較例により得られた光導波路を、基材であるシリコンウェハから剥離し、直径1.5mmの金属棒に360°巻き付けた際の過剰損失値を、上記直線損失と同様にして測定、評価した。その結果を、下記の基準に基づき評価した。
○:過剰損失が0.1dB/cm以下であった。
×:過剰損失が0.1dB/cmを超える値であった。
上記実施例および比較例において調製したコア層形成材料となる感光性ワニスを、厚み約500μmのシリコンウェハ上にスピンコーターを用いて塗工し、ホットプレート上にて乾燥(130℃×5分間のプリベーク)を行なうことにより未硬化フィルム層(厚み約50μm)を作製した。得られた未硬化フィルム層の表面を指触により確認し、その結果、下記の基準に基づき評価した。
○:タックが無く、かつ表面荒れが発生しなかった。
×:タックを有しており、かつ表面荒れが発生した。
上記実施例および比較例において調製したコア層形成材料となる感光性ワニスを、厚み50μmのSUS基材上にスピンコーターにて塗工し、乾燥(130℃×5分間)を行なうことにより厚み約50μmの未硬化フィルムを作製した。上記SUS基材上に形成された未硬化フィルム(アモルファスフィルム)を、直径8cmの巻き芯に沿って巻回し、フィルムに生じたクラックの有無を目視により確認した。その結果、下記の基準に基づき評価した。
○:クラックが発生しなかった。
×:クラックが発生した。
Claims (7)
- 樹脂成分および光酸発生剤を含有する光導波路用感光性樹脂組成物であって、上記樹脂成分が、芳香族エポキシ樹脂および脂肪族エポキシ樹脂の双方を含むエポキシ樹脂成分によって構成され、かつ上記芳香族エポキシ樹脂がエポキシ樹脂成分全体の55重量%以上80重量%未満であり、脂肪族エポキシ樹脂が20重量%を超え45重量%以下であることを特徴とする光導波路用感光性樹脂組成物。
- 芳香族エポキシ樹脂が、固形を示すものである請求項1記載の光導波路用感光性樹脂組成物。
- 脂肪族エポキシ樹脂が、少なくとも固形脂肪族エポキシ樹脂を含む請求項1または2記載の光導波路用感光性樹脂組成物。
- 光導波路用感光性樹脂組成物が、基材とその基材上にクラッド層が形成され、さらに上記クラッド層中に所定パターンで、光信号を伝搬するコア層が形成されてなる光導波路におけるコア層形成材料である請求項1〜3のいずれか一項に記載の光導波路用感光性樹脂組成物。
- 請求項1〜4のいずれか一項に記載の光導波路用感光性樹脂組成物をフィルム状に形成してなる光導波路コア層形成用光硬化性フィルム。
- 基材とその基材上にクラッド層が形成され、さらに上記クラッド層中に所定パターンで、光信号を伝搬するコア層が形成されてなる光導波路であって、上記コア層が、請求項1〜4のいずれか一項に記載の光導波路用感光性樹脂組成物、または請求項5記載の光導波路コア層形成用光硬化性フィルムを硬化させることにより形成されてなることを特徴とする光導波路。
- 請求項6記載の光導波路を備えることを特徴とする光・電気伝送用混載フレキシブルプリント配線板。
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