JP2016082548A - 電子部品収納用パッケージ及びこれを用いる圧電発振器の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】外周角部に切り欠き14と、中央部に凹部15を有し、この底面に半導体素子12と、最上方棚部に圧電振動片13が搭載される電子部品収納用パッケージ10において、保持端子パッド16と、検査端子パッド17と、接続端子パッド18を有し、その内の第1の接続端子パッド18aが直接保持端子パッド16と電気的導通状態を有すると共に、第2の接続端子パッド18bが外部接続端子パッド21と電気的通電状態を有し、しかも、保持端子パッド16、第1の接続端子パッド18a、及び検査端子パッド17がそれぞれの層の上面に保持端子パッド16、第1の接続端子パッド18aのいずれか一方から延出し、他方からは延出しない配線導体を介して電気的導通状態を有する。
【選択図】図1
Description
(1)圧電振動片の発振周波数を予め測定するための検査端子パッドをパッケージの辺部端面に設ける切り欠きの表面にメタライズ膜を設けて形成する場合の電子部品収納用パッケージは、凹部の大きさが決められ、蓋体を接合させて凹部内の気密信頼性を維持するための切り欠きの幅を含まない最小限のシールパス幅が必要となっている。このような電子部品収納用パッケージは、小型化の要求に対して、辺部端面に設ける切り欠き幅によってシールパス幅を設けるためのセラミック基体の土手幅が大きくなりパッケージ自体の小型化の要求に限界が発生している。
(2)特許文献1で開示されるような電子部品収納用パッケージは、検査端子パッドがパッケージの外周角部に設ける切り欠きの表面にメタライズ膜を設けて形成されており、パッケージの小型化に対応できる形態となっている。しかしながら、この電子部品収納用パッケージは、圧電振動片を接合させる保持端子パッドと、半導体素子を接合させる接続端子パッドとを電気的導通状態とするための配線導体がパッケージの外周角部に設ける検査端子パッドを介して断面視してコ字状に設けられているので、配線導体が長く導通抵抗が高くなって電流が流れにくくなり通信障害を引き起こす原因となっている。また、この電子部品収納用パッケージは、上下の配線導体が多くの部分で重なるコ字形態の疑似コイル状によって磁束が変動する環境を形成しているので、この環境下に存在する導体配線に電位差を発生させる電磁誘導や、帯電した導体配線に近い側に帯電した導体配線とは逆の極性の電荷が引き寄せられる静電誘導により誘電障害を引き起こし、他の導体配線に電流が流れて通信障害を引き起こす原因となっている。
図2(A)、(B)に示すように、変形例の電子部品収納用パッケージ10aは、電子部品収納用パッケージ10と同様に、少なくとも3層以上の積層セラミック基体11からなっている。この積層セラミック基体11には、電子部品収納用パッケージ10に用いる場合と同様のセラミック材質である、機械的強度が高く、気密信頼性に優れるアルミナや、窒化アルミニウム等が用いられている。また、電子部品収納用パッケージ10aは、電子部品収納用パッケージ10と同様の積層セラミック基体11の外周角部に切り欠き14や、中央部に凹部15を有している。そして、電子部品収納用パッケージ10aには、凹部15の底面に、発振回路を集積化した半導体素子12が搭載されるようになっている。また、電子部品収納用パッケージ10aには、凹部15中の段差の最上方棚部に、圧電振動片13が搭載されるようになっている。
図3(A)に示すように、圧電発振器30の製造方法では、電子部品収納用パッケージ10、10aの凹部15に半導体素子12をフリップチップ方式等で実装する第1工程を有している。この半導体素子12は、圧電振動片13の発振周波数を電気信号に変換させることができる発振回路を集積化している。なお、図示しないが、半導体素子12は、フリップチップ方式以外に、積層セラミック基体11を少なくとも4層以上とする凹部15にワイヤボンディング方式で実装することもできる。
Claims (2)
- 少なくとも3層以上の積層セラミック基体からなり平面視四角形状の外周角部に切り欠きと、中央部にそれぞれの層での形状差からなる段差を設ける凹部を有し、該凹部の底面に半導体素子と、前記段差の最上方の棚部に圧電振動片が搭載される電子部品収納用パッケージにおいて、
前記棚部に前記圧電振動片を片持ち状態で接合させて保持するためのメタライズ膜からなる一対の保持端子パッドと、前記積層セラミック基体の最上層及び最下層を除く中間層の前記切り欠きの端面に前記保持端子パッドからそれぞれが独立的に延出して前記圧電振動片の発振周波数を予め測定するための前記メタライズ膜からなる一対の検査端子パッドと、前記半導体素子を搭載し該半導体素子に設ける複数の接続電極とそれぞれ電気的通電状態とするための前記メタライズ膜からなる複数の接続端子パッドを有し、
前記接続端子パッドの内の一対の第1の接続端子パッドがそれぞれ配線導体及び前記中間層に設けるビア導体を介して直接前記保持端子パッドと電気的導通状態を有すると共に、前記第1の接続端子パッド以外のそれぞれの第2の接続端子パッドが前記最下層の裏面に設ける前記メタライズ膜からなる外部接続端子パッドとそれぞれが電気的通電状態を有し、しかも、前記保持端子パッド、前記第1の接続端子パッド、及び前記検査端子パッドが前記保持端子パッドと前記接続端子パッドを設けるそれぞれの前記層の上面に前記保持端子パッド、前記第1の接続端子パッドのいずれか一方から延出し、他方からは延出しない前記配線導体を介して電気的導通状態を有することを特徴とする電子部品収納用パッケージ。 - 請求項1記載の電子部品収納用パッケージを用いる圧電発振器の製造方法であって、前記電子部品収納用パッケージの前記凹部に前記圧電振動片の発振周波数を電気信号に変換させる発振回路を集積化した前記半導体素子と、その上方に上下面で一対となる励振電極を設ける前記圧電振動片を搭載する第1工程と、該第1工程後に前記電子部品収納用パッケージの外周角部の前記切り欠きに設ける前記検査端子パッドを介して前記圧電振動片の発振周波数を測定しながら所望の該発振周波数範囲になるように前記圧電振動片の前記励振電極を加工しながら調整して前記圧電振動片への前記発信周波数範囲を決定する第2工程と、該第2工程後に前記凹部を金属製蓋体で接合して前記凹部内部の前記半導体素子及び前記圧電振動片を気密に封止する第3工程を有することを特徴とする圧電発振器の製造方法。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019186664A (ja) * | 2018-04-05 | 2019-10-24 | 日本電波工業株式会社 | 水晶発振器 |
CN113745169A (zh) * | 2021-07-23 | 2021-12-03 | 中国电子科技集团公司第二十九研究所 | 多腔槽ltcc基板与封装盒体焊接结构及方法 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001326533A (ja) * | 2000-05-18 | 2001-11-22 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 表面実装用の水晶発振器 |
JP2002076812A (ja) * | 2000-08-31 | 2002-03-15 | Seiko Epson Corp | 圧電デバイス及びその製造方法と圧電発振器の製造方法 |
JP2006054321A (ja) * | 2004-08-11 | 2006-02-23 | Daishinku Corp | 電子部品用パッケージ及び当該電子部品用パッケージを用いた圧電発振器 |
JP2010103754A (ja) * | 2008-10-23 | 2010-05-06 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 表面実装用の水晶発振器 |
WO2013190749A1 (ja) * | 2012-06-19 | 2013-12-27 | 株式会社大真空 | 表面実装型圧電発振器 |
JP2014236466A (ja) * | 2013-06-05 | 2014-12-15 | 日本電波工業株式会社 | デュアルモード水晶発振器 |
-
2014
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001326533A (ja) * | 2000-05-18 | 2001-11-22 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 表面実装用の水晶発振器 |
JP2002076812A (ja) * | 2000-08-31 | 2002-03-15 | Seiko Epson Corp | 圧電デバイス及びその製造方法と圧電発振器の製造方法 |
JP2006054321A (ja) * | 2004-08-11 | 2006-02-23 | Daishinku Corp | 電子部品用パッケージ及び当該電子部品用パッケージを用いた圧電発振器 |
JP2010103754A (ja) * | 2008-10-23 | 2010-05-06 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 表面実装用の水晶発振器 |
WO2013190749A1 (ja) * | 2012-06-19 | 2013-12-27 | 株式会社大真空 | 表面実装型圧電発振器 |
JP2014236466A (ja) * | 2013-06-05 | 2014-12-15 | 日本電波工業株式会社 | デュアルモード水晶発振器 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019186664A (ja) * | 2018-04-05 | 2019-10-24 | 日本電波工業株式会社 | 水晶発振器 |
CN113745169A (zh) * | 2021-07-23 | 2021-12-03 | 中国电子科技集团公司第二十九研究所 | 多腔槽ltcc基板与封装盒体焊接结构及方法 |
CN113745169B (zh) * | 2021-07-23 | 2023-10-24 | 中国电子科技集团公司第二十九研究所 | 多腔槽ltcc基板与封装盒体焊接结构及方法 |
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