JP2016079824A - バキュームポンプ - Google Patents

Abstract

【課題】ポンプ部およびサイレンサ部を形成する部品の耐久性を向上させることができるバキュームポンプを提供する。【解決手段】本発明の一態様は、電動バキュームポンプ１において、ポンプ部１４における筒状の外周面１４ａの外側にて外周面１４ａに接するように形成され、吸入部２７とポンプ部１４の吸入口４０とに連通する空間である吸気空間４６と、ポンプ部１４および吸気空間４６に対してポンプ部１４の中心軸Ｌｐ方向側に形成され、ポンプ部１４の吐出口４２と排気部４４とに連通する空間であるサイレンサ部２０と、を有し、吸気空間４６の内部にて気体を吸入部２７からポンプ部１４の吸入口４０へ流すことによりポンプ部１４とサイレンサ部２０を冷却する。【選択図】図１

Description

本発明は、負圧を生成するバキュームポンプに関するものであり、例えば自動車等の車両のブレーキブースタで用いられる。

バキュームポンプに関する背景技術として、特許文献１のバキュームポンプは、ポンプ部から吐出された流体が導入されるサイレンサ部を有し、このサイレンサ部はポンプ部の上側に形成されている。

また、特許文献２，３のバキュームポンプは、流体をケースとポンプハウジングとの間の空間に導入することにより、ポンプハウジングの外周面を冷却して、ベーンの耐久性を向上させようとしている。

米国特許第６４９１５０５号 実公平１−３９９１５号公報 特開昭６０−２５２１９０号公報

特許文献１のバキュームポンプにおいては、ポンプ部の上面がサイレンサ部で覆われている。ここで、サイレンサ部の内部には、ポンプ部から吐出された高温の流体が導入される。そのため、ポンプ部の上面が高温の流体で覆われることになるので、ポンプ部の内部の温度が上昇する。これにより、ポンプ部において、特にベーンとポンプハウジングとの摺動面の温度が大きく上昇するので、ベーンにおけるポンプハウジングとの摺動部の摩耗が大きく進行するおそれがある。

また、ポンプ部から吐出された高温の流体によりサイレンサ部の内部の温度が上昇するので、サイレンサ部を形成する蓋などの部品の耐久性が低下するおそれがある。

また、特許文献２，３のバキュームポンプは、前記のようなサイレンサ部を有していない。そのため、特許文献２，３には、サイレンサ部に高温の流体が導入されることによるポンプ部およびサイレンサ部を形成する部品の耐久性への影響については何ら開示されていない。

そこで、本発明は上記した問題点を解決するためになされたものであり、ポンプ部およびサイレンサ部を形成する部品の耐久性を維持できるバキュームポンプを提供すること、を課題とする。

上記課題を解決するためになされた本発明の一態様は、外部から流体を吸入する吸入部と、前記吸入部から吸入した前記流体を吸入し吐出することにより負圧を発生させるポンプ部と、前記ポンプ部から吐出される前記流体を外部へ排出する排出部を有するバキュームポンプにおいて、前記ポンプ部における外周面の外側に前記外周面と接するように形成され、前記ポンプ部における前記流体の吸入口であるポンプ部吸入口と前記吸入部とに連通する空間である冷却部と、前記ポンプ部および前記冷却部に対して前記ポンプ部の中心軸方向側に形成され、前記ポンプ部における前記流体の吐出口であるポンプ部吐出口と前記排出部とに連通する空間であるサイレンサ部と、を有し、前記冷却部の内部にて前記流体を前記吸入部から前記ポンプ部吸入口へ流すことにより前記ポンプ部と前記サイレンサ部を冷却すること、を特徴とする。

この態様によれば、ポンプ部の内部を冷却できるので、ポンプ部の内部の温度が上昇することを抑制できる。そのため、ポンプ部を形成する部品の摺動部における摩耗の進行を抑制できる。したがって、ポンプ部を形成する部品の耐久性を維持できる。また、ポンプ部の内部を冷却できるので、ポンプ部の内部における流体の密度の低下を防止できる。そのため、ポンプ容積効率の低下を抑制できる。さらに、サイレンサ部の内部を冷却できるので、サイレンサ部を形成する部品の耐熱性に関する要求を緩和できる。したがって、サイレンサ部を形成する部品の耐久性を維持できる。

上記の態様においては、前記ポンプ部を収容するケース部を有し、前記ポンプ部は、円筒状のポンプハウジングと、前記ポンプハウジングに対して前記ポンプハウジングの中心軸方向側に配置されるカバー部材とを備え、前記冷却部は、前記ケース部と前記ポンプハウジングとの間に形成され、前記サイレンサ部は、前記ケース部と前記カバー部材との間に形成されていること、が好ましい。

この態様によれば、サイレンサ部と冷却部を備えつつもバキュームポンプの小型化を図ることができる。

上記の態様においては、前記ケース部は、内周面が円筒状に形成されるボデーを備え、前記吸入部は前記ボデーに形成され、前記吸入部に接続する筒状の吸入ポートは、前記ボデーの内周面により形成される円形状の接線上に配置されていること、が好ましい。

この態様によれば、外部から吸入ポートと吸入部を介して流体をスムーズに吸入することができるので、流体の圧力損失を低減できる。そのため、より確実に、冷却部の内部を流れる流体によるポンプ部とサイレンサ部の冷却効果を向上させることができる。

上記の態様においては、前記吸入部と前記ポンプ部吸入口とは、前記ポンプ部の中心軸を中心とする軸対称または略軸対称の位置に配置されていること、が好ましい。

この態様によれば、冷却部の内部にて流体が流れる距離を長くすることができるので、冷却部の内部を流れる流体によるポンプ部とサイレンサ部の冷却効果を向上させることができる。

上記の態様においては、前記吸入部は複数形成され、各々の前記吸入部は、前記冷却部の内部を流れる前記流体の流れ方向について互いに異なる位置に配置されていること、が好ましい。

この態様によれば、冷却部の内部を流れる流体によるポンプ部とサイレンサ部の冷却効果を向上させることができる。また、冷却部の内部を流れる流体について、当該流体の流れ方向の温度分布の差を小さくできる。そのため、冷却部の内部を流れる流体の流れ方向についてポンプ部を均一に冷却し易くなる。したがって、ポンプ部において局部的に磨耗が発生することを抑制できる。

上記の態様においては、前記冷却部の断面積は、前記吸入部から前記ポンプ部吸入口側へ向かうにつれて徐々に大きくなること、が好ましい。

この態様によれば、冷却部の内部を流れる流体について、当該流体の流れ方向の温度分布の差を小さくできる。そのため、冷却部の内部を流れる流体の流れ方向について、ポンプ部の温度差を小さくできる。したがって、ポンプ部において局部的に磨耗が発生することを抑制できる。

本発明に係るバキュームポンプによれば、ポンプ部およびサイレンサ部を形成する部品の耐久性を維持できる。

電動バキュームポンプの断面図（一部外観図）である。 図１のＡ−Ａ断面図である。 カーボン部材の摩耗特性を示す図である。 実施例２の電動バキュームポンプの断面図である。 実施例２においてポンプ部の周方向の位置と吸気空間内の気体の温度（吸気温度）との関係図である。 実施例３の電動バキュームポンプの断面図である。 実施例３においてポンプ部の周方向の位置と吸気空間内の気体の温度（吸気温度）との関係図である。

＜電動バキュームポンプの全体構成＞
まず、電動バキュームポンプ１の全体構成について説明する。電動バキュームポンプ１は、円筒形状をなしており、図１と図２に示すように、その側面に吸気ポート２４を備え、その上面に排気部４４を備えている。なお、排気部４４は本発明における「排出部」の一例である。

電動バキュームポンプ１は、回路部１０と、モータ部１２と、ポンプ部１４と、ボデー１６と、蓋１８と、サイレンサ部２０などを有している。そして、ポンプ部１４は、ボデー１６と蓋１８から形成されるケース部の内部空間内に収容されている。また、ボデー１６は、蓋１８により閉塞されている。なお、ボデー１６と蓋１８は、樹脂により形成されている。

回路部１０は、モータ部１２へ電力を供給する。モータ部１２は、電動モータ（不図示）と、シャフト２２などを備えている。シャフト２２は、電動モータの回転子（不図示）と一体に取り付けられている。

ポンプ部１４は、その外形が円筒状に形成されている。このポンプ部１４は、ベーン式バキュームポンプにより構成され、ボデー１６内においてモータ部１２の上部に配置されている。そして、ポンプ部１４は、モータ部１２に連動して駆動する。このようなポンプ部１４は、ボデー１６に備わる吸気ポート２４から吸入した気体を吸入し、圧縮し、吐出することにより、負圧を発生させる。

吸気ポート２４は、円筒状に形成されており、その内周面の内側に流路２５を備えている。そして、吸気ポート２４は、流路２５の吸気空間４６側の開口部に形成される吸入部２７に接続している。吸入部２７は、ボデー１６に形成されている。吸入部２７は、電動バキュームポンプ１の外部から内部（吸気空間４６内）へ気体を吸入するための吸入口である。

ここで、ベーン式バキュームポンプは、円筒状のポンプハウジング２６の内周面２６ａよりも内側に形成されるポンプ室２８内に偏心状態で配置される円筒状のロータ３０に複数の溝３２を設け、この溝３２に複数のベーン３４がロータ３０の径方向に移動可能に挿入された構造を有している。なお、ポンプハウジング２６の外周面２６ｂは、ポンプ部１４の外周面１４ａの一部を構成している。

また、ポンプハウジング２６に対してポンプ部１４の中心軸Ｌｐ（ポンプハウジング２６の中心軸）方向の両端側に、一対のカバー部材が配置されている。すなわち、ポンプハウジング２６に対してサイレンサ部２０側に略円盤状の第１カバー部材３６が配置され、ポンプハウジング２６に対してモータ部１２側に略円盤状の第２カバー部材３８が配置されている。そして、このようにして、ポンプ室２８は、ポンプハウジング２６と第１カバー部材３６と第２カバー部材３８とにより区画されて形成されている。なお、第２カバー部材３８の側面３８ｂは、ポンプ部１４の外周面１４ａの一部を構成している。

そして、ロータ３０がシャフト２２を中心に回転すると、遠心力によりベーン３４が溝３２から突出し、ベーン３４がポンプハウジング２６の内周面２６ａと接しながら摺動する。そして、ベーン３４により区画された閉塞空間の容積が増減することで、気体（例えば、空気）の吸入、圧縮、吐出が行われ、ポンプ室２８内に負圧が発生するようになっている。

吸入口４０は、第２カバー部材３８におけるポンプ室２８側の面３８ａに形成されており、ポンプ室２８内と吸気空間４６内とを連通させている。これにより、吸気空間４６内の気体は、吸入口４０を通ってポンプ室２８の内部に導入される。なお、吸入口４０は、本発明における「ポンプ部吸入口」の一例である。

吐出口４２は、第１カバー部材３６にて第１カバー部材３６の板厚方向に貫通するように形成されており、サイレンサ部２０内とポンプ室２８内とを連通させている。これにより、ポンプ室２８内の気体は、吐出口４２を通ってサイレンサ部２０内に吐出される。なお、吐出口４２は、本発明における「ポンプ部吐出口」の一例である。

蓋１８は、ポンプ部１４を収容するボデー１６の開口端を閉塞する樹脂部材である。蓋１８は、ポンプ部１４から吐出された気体を電動バキュームポンプ１の外部へ排出する排気部４４を備えている。

サイレンサ部２０は、蓋１８の内部空間に形成されている。これにより、ポンプ部１４の吐出口４２から吐出された気体は、サイレンサ部２０を通過した後、排気部４４を流れて電動バキュームポンプ１の外部へ排出される。

また、吸気空間４６は、ポンプ部１４に対してポンプ部１４の径方向（ポンプハウジング２６の径方向）の外側の位置にて、ポンプ部１４と接するように形成されている。なお、吸気空間４６の詳細は、後述する。

そして、このような構成を有する電動バキュームポンプ１は、以下のように作用する。モータ部１２が駆動してシャフト２２が回転すると、ロータ３０が回転する。そして、このロータ３０の回転に伴い、ベーン３４により区画された各閉塞空間の体積が膨張または圧縮する。

このようにして、気体は、吸気ポート２４から吸気空間４６と吸入口４０を介してポンプ室２８内に吸入される。また、ポンプ室２８内に吸入された気体は、吐出口４２からポンプ室２８外のサイレンサ部２０内に吐出される。この動作により、ポンプ室２８内に負圧が作り出される。そして、気体は、サイレンサ部２０内に吐出された後、排気部４４を介して、電動バキュームポンプ１の外部へ排出される。

＜ポンプ部の周辺構造について＞
次に、ポンプ部１４の周辺構造について説明する。

〔実施例１〕
まず、実施例１について説明する。図１と図２に示すように、本実施例では、電動バキュームポンプ１は、吸気空間４６を有している。この吸気空間４６は、ボデー１６の内周面１６ａと、ポンプハウジング２６の外周面２６ｂと、第２カバー部材３８の側面３８ｂと、第１カバー部材３６の第２面３６ｂと、ボデー１６の端面１６ｂとの間に形成されている。なお、ボデー１６の端面１６ｂは、ボデー１６におけるポンプ部１４の中心軸Ｌｐ方向の端面である。このように、吸気空間４６は、ポンプ部１４の径方向についてポンプ部１４の外周面１４ａ（ポンプハウジング２６の外周面２６ｂと第２カバー部材３８の側面３８ｂ）の外側の位置にて、ポンプ部１４の外周面１４ａと接するように形成されている。また、吸気空間４６は、吸入部２７とポンプ部１４の吸入口４０とに連通する。なお、吸気空間４６は、本発明における「冷却部」の一例である。

サイレンサ部２０は、ポンプ部１４および吸気空間４６に対してポンプ部１４の中心軸Ｌｐ方向の排気部４４側の位置に形成されている。このサイレンサ部２０は、蓋１８の内面１８ａと第１カバー部材３６の第１面３６ａとの間の位置に形成される空間である。そして、サイレンサ部２０は、第１カバー部材３６により吸気空間４６と分割されている。また、サイレンサ部２０は、ポンプ部１４における吐出口４２と排気部４４とに連通する。

このような構成の本実施例の電動バキュームポンプ１は、吸気空間４６内において、吸気ポート２４を介して吸入部２７から吸入した常温の気体（高温でない気体、例えば大気温の空気）を吸入部２７からポンプ部１４の吸入口４０へ流すことにより、ポンプ部１４とサイレンサ部２０を冷却する。すなわち、吸入部２７から吸気空間４６に導入される気体が吸気空間４６の内部を流れてポンプ部１４の吸入口４０に流れ込むときに、吸気空間４６の内部を流れる気体によりポンプハウジング２６と第１カバー部材３６と第２カバー部材３８が冷却される。なお、図２において、吸気空間４６内を流れる気体の流れ方向を点線の矢印により示す。

これにより、ポンプ室２８内が冷却されるので、ポンプ室２８内の温度が上昇することが抑制される。そのため、ベーン３４におけるポンプハウジング２６の内周面２６ａとの摺動部での摩耗の進行が抑制される。ここで、図３に示すように、カーボン部材（炭素部材、本実施例のベーン３４に相当）の摩耗量は、カーボン部材の周辺の雰囲気温度（本実施例のポンプ室２８内の温度に相当）が低下すると少なくなる。したがって、ポンプ部１４を形成するベーン３４などの部品の耐久性が維持される。

また、ポンプ室２８内が冷却されるので、ポンプ室２８内における温度上昇による気体の密度の低下が防止される。そのため、ポンプ容積効率の低下が抑制される。

また、サイレンサ部２０内が冷却されるので、サイレンサ部２０を形成する部品（例えば、蓋１８）の耐熱性に対する要求を緩和できる。そのため、例えば、蓋１８が耐熱性の低い樹脂で形成されていても、蓋１８の耐久性が維持される。

本実施例において、サイレンサ部２０は、蓋１８の内面１８ａと第１カバー部材３６の第１面３６ａとの間に形成されている。さらに、吸気空間４６は、ボデー１６の内周面１６ａとポンプハウジング２６の外周面２６ｂとの間に形成されている。これにより、サイレンサ部２０と吸気空間４６を備えつつも電動バキュームポンプ１の小型化を図ることができる。

また、ボデー１６は、その内周面１６ａが円形状に形成されている。そして、吸入部２７に接続する吸気ポート２４は、ボデー１６の内周面１６ａにより形成される円形状の接線Ｌｔ上に配置されている。図２に示す例においては、吸気ポート２４の（図面左側の）外周部が接線Ｌｔ上に配置されている。そして、吸気ポート２４は、その軸線が接線Ｌｔと平行であり、吸気ポート２４から吸気空間４６内へ導入される気体の流れ方向がロータ３０の回転方向と同じとなる向きに配置されている。これにより、電動バキュームポンプ１の外部から吸気ポート２４を介して気体を吸気空間４６内へスムーズに吸入することができるので、気体の圧力損失を低減できる。そのため、より確実に、吸気空間４６内を流れる気体によるポンプ部１４とサイレンサ部２０の冷却効果が向上する。

また、図２に示すように、吸気ポート２４は、ポンプ部１４の吸入口４０に対して、ポンプ部１４を挟んだ反対側に配置されている。具体的には、吸入部２７とポンプ部１４の吸入口４０とは、ポンプ部１４の中心軸Ｌｐを中心とする軸対称または略軸対称の位置に配置されている。これにより、吸気空間４６内にて気体が流れる距離が長くなるので、吸気空間４６内を流れる気体によりポンプ部１４やサイレンサ部２０が冷却される部分の面積が大きくなる。そのため、吸気空間４６内を流れる気体によるポンプ部１４とサイレンサ部２０の冷却効果が向上する。

また、サイレンサ部２０と吸気空間４６を分割する第１カバー部材３６は、ボデー１６と接している。これにより、サイレンサ部２０と吸気空間４６から伝達される熱は、ボデー１６を伝わって電動バキュームポンプ１の外部へ放出される。そのため、サイレンサ部２０と吸気空間４６から電動バキュームポンプ１の外部への放熱性がさらに向上する。

また、吸気空間４６内を流れる気体により第１カバー部材３６が冷却されるので、第１カバー部材３６の温度上昇により発生し得るロータ３０の中心軸方向の端面３０ａにおける磨耗の進行が抑制される。そのため、電動バキュームポンプ１におけるスラストクリアランス（電動バキュームポンプ１を形成する各部品間における電動バキュームポンプ１の中心軸方向の隙間）に対する影響が抑制されるので、ポンプ性能の低下が防止される。

また、吸気空間４６内を流れる気体によりポンプ組み付け部４８（図２参照）が冷却されるので、電動バキュームポンプ１におけるスラストクリアランスの熱膨張による拡大が抑制される。そのため、スラストクリアランスの拡大によるポンプ性能の低下が抑制される。なお、ポンプ組み付け部４８は、ポンプ部１４を形成する各部品を組み付ける部位であり、具体的には、ネジ５０によりポンプハウジング２６と第１カバー部材３６と第２カバー部材３８とが組み付けられている部位である。

〔実施例２〕
次に、実施例２について説明するが、実施例１と同等の構成要素については、同一の符号を付して説明を省略し、異なった点を中心に述べる。なお、図４は、本実施例の電動バキュームポンプの断面図であり、図２に対応する断面図である。

本実施例では、吸入部２７は複数形成され、かつ、各々の吸入部２７は、吸気空間４６内を流れる気体の流れ方向（以下、「ポンプ部１４の周方向」ともいう。）について互いに異なる位置に配置されている。具体的には、図４に示すように、電動バキュームポンプ１は、吸気ポート２４Ａと吸気ポート２４Ｂを有し、かつ、吸気ポート２４Ａが接続される吸入部２７Ａと吸気ポート２４Ｂが接続される吸入部２７Ｂを有する。そして、吸入部２７Ａ（吸気ポート２４Ａ）と吸入部２７Ｂ（吸気ポート２４Ｂ）は、ポンプ部１４の周方向について互いに異なる位置に配置されている。図４に示す例では、一例として、吸入部２７Ｂは、吸入部２７Ａに対してポンプ部１４の周方向（図４における反時計回り方向（左回り方向））に１４０°〜１５０°移動した位置に配置されている。

そして、吸気ポート２４Ｂと吸入部２７Ｂを介して吸気空間４６内へ気体が導入されることにより、吸入部２７Ａからポンプ部１４の吸入口４０までの吸気空間４６における途中の位置からも気体が導入されることになる。

これにより、吸気空間４６内の気体の温度の上昇を抑制できるので、ポンプ部１４と吸気空間４６との間、および、サイレンサ部２０と吸気空間４６との間における温度差を維持できる。そのため、吸気空間４６内の気体によるポンプ部１４とサイレンサ部２０の冷却効果が向上する。また、吸気空間４６内の気体について、ポンプ部１４の周方向の温度分布の差が小さくなる。ここで、図５に示すように、吸気空間４６内の気体の温度（吸気温度）について、吸気ポート２４が１つである比較例よりも吸気ポート２４が２つである実施例２のほうがポンプ部１４の周方向の温度分布の差が小さくなる。なお、図５の横軸は、吸気ポート２４Ａの位置を０°としたときのポンプ部１４の周方向（図４における反時計回り方向（左回り方向））における位置を示している。以上のように、ポンプ部１４の周方向について、ポンプ部１４は均一に冷却され易くなる。そのため、ポンプ部１４において局部的にベーン３４などの磨耗が発生することが抑制される。

〔実施例３〕
次に、実施例３について説明するが、実施例１や実施例２と同等の構成要素については、同一の符号を付して説明を省略し、異なった点を中心に述べる。なお、図６は、本実施例の電動バキュームポンプの断面図であり、図２や図４に対応する断面図である。

本実施例では、吸気空間４６における気体の流れ方向に直交する方向の断面積は、吸入部２７からポンプ部１４の吸入口４０に向かうにつれて徐々に大きくなっている。具体的には、図６に示すように、吸気空間４６における電動バキュームポンプ１の径方向（ポンプハウジング２６の径方向）の幅δは、吸入部２７からポンプ部１４の吸入口４０側に向かうにつれて、徐々に大きくなっている。なお、吸気空間４６の幅δは、ボデー１６の内周面１６ａとポンプハウジング２６の外周面２６ｂとの間の距離である。

これにより、吸気空間４６内を流れる気体の流速は、ポンプ部１４の周方向の位置によって変化する。具体的には、吸気空間４６内を流れる気体の流速は、吸入部２７付近の位置よりもポンプ部１４の吸入口４０付近の位置の方が遅くなる。そのため、吸気空間４６内を流れる気体の温度について、ポンプ部１４の周方向における温度差が抑制される。ここで、図７に示すように、吸気空間４６内を流れる気体の温度について、吸気空間４６の断面積が均一である比較例よりも、吸気空間４６の断面積が徐々に変化する実施例３の方が、ポンプ部１４の周方向における温度差が小さくなっている。なお、図７の横軸は、吸気ポート２４の位置を０°としたときのポンプ部１４の周方向（図６における反時計回り方向（左回り方向））における位置を示している。以上のように、ポンプ部１４の吸入口４０付近においても、吸気空間４６内を流れる気体によるポンプ部１４とサイレンサ部２０に対する冷却効果が向上する。そのため、ポンプ部１４の周方向についてポンプハウジング２６の温度差が小さくなるので、ポンプ部１４において局部的にベーン３４の磨耗が発生することが抑制される。

なお、上記した実施の形態は単なる例示にすぎず、本発明を何ら限定するものではなく、その要旨を逸脱しない範囲内で種々の改良、変形が可能であることはもちろんである。

１ 電動バキュームポンプ
１４ ポンプ部
１４ａ 外周面
１６ ボデー
１６ａ 内周面
１６ｂ 端面
１８ 蓋
１８ａ 内面
２０ サイレンサ部
２４，２４Ａ，２４Ｂ 吸気ポート
２５ 流路
２６ ポンプハウジング
２６ａ 内周面
２６ｂ 外周面
２７，２７Ａ，２７Ｂ 吸入部
３０ ロータ
３０ａ 端面
３４ ベーン
３６ 第１カバー部材
３６ａ 第１面
３６ｂ 第２面
３８ 第２カバー部材
３８ｂ 側面
４０ 吸入口
４２ 吐出口
４４ 排気部
４６ 吸気空間
Ｌｐ （ポンプ部の）中心軸
Ｌｔ 接線
δ （吸気空間の）幅

Claims (6)

1. 外部から流体を吸入する吸入部と、前記吸入部から吸入した前記流体を吸入し吐出することにより負圧を発生させるポンプ部と、前記ポンプ部から吐出される前記流体を外部へ排出する排出部を有するバキュームポンプにおいて、
   前記ポンプ部における外周面の外側に前記外周面と接するように形成され、前記ポンプ部における前記流体の吸入口であるポンプ部吸入口と前記吸入部とに連通する空間である冷却部と、
   前記ポンプ部および前記冷却部に対して前記ポンプ部の中心軸方向側に形成され、前記ポンプ部における前記流体の吐出口であるポンプ部吐出口と前記排出部とに連通する空間であるサイレンサ部と、を有し、
   前記冷却部の内部にて前記流体を前記吸入部から前記ポンプ部吸入口へ流すことにより前記ポンプ部と前記サイレンサ部を冷却すること、
   を特徴とするバキュームポンプ。
2. 請求項１のバキュームポンプにおいて、
   前記ポンプ部を収容するケース部を有し、
   前記ポンプ部は、円筒状のポンプハウジングと、前記ポンプハウジングに対して前記ポンプハウジングの中心軸方向側に配置されるカバー部材とを備え、
   前記冷却部は、前記ケース部と前記ポンプハウジングとの間に形成され、
   前記サイレンサ部は、前記ケース部と前記カバー部材との間に形成されていること、
   を特徴とするバキュームポンプ。
3. 請求項２のバキュームポンプにおいて、
   前記ケース部は、内周面が円筒状に形成されるボデーを備え、
   前記吸入部は前記ボデーに形成され、
   前記吸入部に接続する筒状の吸入ポートは、前記ボデーの内周面により形成される円形状の接線上に配置されていること、
   を特徴とするバキュームポンプ。
4. 請求項１乃至３のいずれか１つのバキュームポンプにおいて、
   前記吸入部と前記ポンプ部吸入口とは、前記ポンプ部の中心軸を中心とする軸対称または略軸対称の位置に配置されていること、
   を特徴とするバキュームポンプ。
5. 請求項１乃至４のいずれか１つのバキュームポンプにおいて、
   前記吸入部は複数形成され、
   各々の前記吸入部は、前記冷却部の内部を流れる前記流体の流れ方向について互いに異なる位置に配置されていること、
   を特徴とするバキュームポンプ。
6. 請求項１乃至５のいずれか１つのバキュームポンプにおいて、
   前記冷却部の断面積は、前記吸入部から前記ポンプ部吸入口側へ向かうにつれて徐々に大きくなること、
   を特徴とするバキュームポンプ。

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