JP2016071246A - 表示パネル基板の製造方法、表示パネル基板、及び、タッチパネル表示装置 - Google Patents

Abstract

【課題】表示装置表面の微細凹凸平坦化性、基板追従性、及び、鉛筆硬度に優れた保護膜を具備する表示パネル基板の製造方法、上記製造方法により製造される表示パネル基板、上記表示パネル基板を備えたタッチパネル表示装置を提供する。
【解決手段】工程１として、感光性組成物を、表示パネルのタッチ検出電極を備える面に塗布する塗布工程と、工程２として、塗布された感光性組成物から溶剤を除去する溶剤除去工程と、工程３として、溶剤が除去された感光性組成物を光及び／又は熱により硬化する硬化工程とをこの順で含む。
【選択図】図１

Description

本発明は、表示パネル基板の製造方法、表示パネル基板、及び、タッチパネル表示装置に関する。

液晶表示装置、有機ＥＬ表示装置等のフラットパネルディスプレイが広く使用されている。
表示パネル基板の製造においては、表示パネルが有するガラス基板の表面に電極が形成された状態で硬化性組成物を塗布し、保護膜を形成することが行われている。
このような保護膜の形成方法としては、特許文献１又は２に記載の方法が知られている。
また近年では、これらディスプレイの軽量化と薄型化の要請に基づき、液晶ディスプレイを構成するガラス基板を研磨することが行われている。

特許第５２０１０６６号公報 特許第５４２３００４号公報

しかしながら、特許文献１又は２に記載の組成物は、表面の微細凹凸平坦化性、基板追従性、及び鉛筆硬度の観点で充分ではなかった。
本発明が解決しようとする課題は、表面の微細凹凸平坦化性、基板追従性、及び、鉛筆硬度に優れた保護膜を具備する表示パネル基板の製造方法、上記製造方法により製造される表示パネル基板、上記表示パネル基板を備えたタッチパネル表示装置を提供することである。

本発明の上記課題は、以下の＜１＞、＜５＞又は＜６＞に記載の手段により解決された。好ましい実施態様である、＜２＞〜＜４＞と共に以下に記載する。
＜１＞ 工程１として、感光性組成物を、表示パネルのタッチ検出電極を備える面に塗布する塗布工程と、工程２として、塗布された感光性組成物から溶剤を除去する溶剤除去工程と、工程３として、溶剤が除去された感光性組成物を光及び／又は熱により硬化する硬化工程とをこの順で含み、上記感光性組成物が、成分Ａとして、５官能以上の（メタ）アクリレート化合物、成分Ｂとして、光重合開始剤、成分Ｃとして、有機又は無機粒子、及び、成分Ｄとして、溶剤、を含有し、成分Ａの含有量が、感光性組成物中の成分Ｃ以外の全固形分量に対して５０〜９８質量％であり、感光性組成物の粘度が３〜３０ｍＰａ・ｓであり、感光性組成物の表面張力が２０〜３０ｍＮ／ｍであり、感光性組成物の全量に対する固形分量が１０〜５０質量％であり、上記表示パネルが、少なくとも一つの面にタッチ検出電極を備え、タッチ検出電極のある面の少なくとも一部に厚さ０．３ｍｍ以下のガラス基板又は厚さ１．０ｍｍ以下の樹脂基板を備え、上記タッチ検出電極の厚みが３０ｎｍ以上であることを特徴とする表示パネル基板の製造方法、
＜２＞ 上記感光性組成物が、成分Ｅとして、界面活性剤を更に含有する、＜１＞に記載の表示パネル基板の製造方法、
＜３＞ 塗布工程において、表示パネルを吸着により固定する、＜１＞又は＜２＞に記載の表示パネル基板の製造方法、
＜４＞ 上記タッチ検出電極のある面の少なくとも一部に備える基板がガラス基板であり、上記塗布工程の前に、ガラス基板を研磨するスリミング工程を更に含む、＜１＞〜＜３＞のいずれかに記載の表示パネル基板の製造方法、
＜５＞ ＜１＞〜＜４＞のいずれか１つに記載の表示パネル基板の製造方法により製造された、表示パネル基板、
＜６＞ ＜５＞に記載の表示パネル基板を備えるタッチパネル表示装置。

本発明によれば、表示装置表面の微細凹凸平坦化性、基板追従性、及び、鉛筆硬度に優れた保護膜を具備する表示パネル基板の製造方法、上記製造方法により製造される表示パネル基板、上記表示パネル基板を備えたタッチパネル表示装置を提供することができる。

感光性組成物塗布時の表示パネル基板の一例の概念図を示す。 液晶表示装置の一例の構成概念図を示す。液晶表示装置におけるアクティブマトリックス基板の模式的断面図を示し、層間絶縁膜である硬化膜１７を有している。 有機ＥＬ表示装置の一例の構成概念図を示す。ボトムエミッション型の有機ＥＬ表示装置における基板の模式的断面図を示し、平坦化膜４を有している。 タッチパネルの機能を有する液晶表示装置の一例の構成概念図を示す。 タッチパネルの機能を有する液晶表示装置の他の一例の構成概念図を示す。

以下において、本発明の内容について詳細に説明する。以下に記載する構成要件の説明は、本発明の代表的な実施態様に基づいてなされることがあるが、本発明はそのような実施態様に限定されるものではない。なお、本願明細書において「〜」とはその前後に記載される数値を下限値及び上限値として含む意味で使用される。また、本発明における有機ＥＬ素子とは、有機エレクトロルミネッセンス素子のことをいう。
本明細書における基（原子団）の表記において、置換及び無置換を記していない表記は、置換基を有さないものと共に置換基を有するものをも包含するものである。例えば、「アルキル基」とは、置換基を有さないアルキル基（無置換アルキル基）のみならず、置換基を有するアルキル基（置換アルキル基）をも包含するものである。
なお、本明細書中において、“（メタ）アクリレート”はアクリレート及びメタクリレートを表し、“（メタ）アクリル”はアクリル及びメタクリルを表し、“（メタ）アクリロイル”はアクリロイル及びメタクリロイルを表す。
また、本発明において、「質量％」と「重量％」とは同義であり、「質量部」と「重量部」とは同義である。
また、本発明において、好ましい態様の組み合わせは、より好ましい。

本発明では、ポリマー成分については、分子量は、テトラヒドロフラン（ＴＨＦ）を溶剤とした場合のゲルパーミエーションクロマトグラフィ（ＧＰＣ）で測定されるポリスチレン換算の重量平均分子量である。

（表示パネル基板の製造方法）
本発明の表示パネル基板の製造方法は、工程１として、感光性組成物を、表示パネルのタッチ検出電極を備える面に塗布する塗布工程と、工程２として、塗布された感光性組成物から溶剤を除去する溶剤除去工程と、工程３として、溶剤が除去された感光性組成物を光及び／又は熱により硬化する硬化工程とをこの順で含み、上記感光性組成物が、成分Ａとして、５官能以上の（メタ）アクリレート化合物、成分Ｂとして、光重合開始剤、成分Ｃとして、有機又は無機粒子、及び、成分Ｄとして、溶剤、を含有し、成分Ａの含有量が、感光性組成物中の成分Ｃ以外の全固形分量に対して５０〜９８質量％であり、感光性組成物の粘度が３〜３０ｍＰａ・ｓであり、感光性組成物の表面張力が２０〜３０ｍＮ／ｍであり、感光性組成物の全量に対する固形分量が１０〜５０質量％であり、上記表示パネルが、少なくとも一つの面にタッチ検出電極を備え、タッチ検出電極のある面の少なくとも一部に厚さ０．３ｍｍ以下のガラス基板又は厚さ１．０ｍｍ以下の樹脂基板を備え、上記タッチ検出電極の厚みが３０ｎｍ以上であることを特徴とする。

近年、表示パネルの薄型化や軽量化の要求が強く、研磨により薄型化したガラス基板や柔軟な樹脂基板を用いて表示パネルが製造されている。またガラス基板の場合には厚さ０．３ｍｍ以下であることが多く、樹脂基板の場合は厚さ１．０ｍｍ以下であることが多い。
しかし、厚さが０．３ｍｍ以下のガラス基板を有する表示パネル基板はガラス基板の柔軟性が高いため、感光性組成物を塗布する際に基板が変形し、歪みを生じてしまう。また、厚さ１．０ｍｍ以下の樹脂基板を有する表示パネル基板も、樹脂基板の柔軟性が高いため同様の問題が生じる。
本発明者等は、そのような変形した基板に感光性組成物を塗布した場合、塗布した組成物が基板の形に追従せず、基板の歪んだ部分に乾燥前の組成物が溜まってしまい、保護膜の厚さが均一にならないという問題点があることを見出した。
また、タッチ検出電極の低抵抗化の要求から、タッチ検出電極の厚みは３０ｎｍ以上となる場合が多いが、３０ｎｍ以上の厚みを持つタッチ検出電極が形成されている場合、上記タッチ検出電極により形成される凹凸が保護層の表面にも影響し、表面が平坦化されないという問題があった。
更に、厚さ０．３ｍｍ以下のガラス基板を用いる場合は、表示パネルのパネル化工程後である事が多い。パネル化工程後に、表示パネル上に感光性組成物を塗布し硬化させる場合には、下地となる表示パネルの損耗を防ぐため、低温（２００℃以下、可能ならば１８０℃以下）での硬化性も求められる。樹脂基板を用いる際は基板自体の耐熱性が低く、同様の課題がある。
そこで、本発明者等は、感光性組成物中の、５官能以上の（メタ）アクリレート化合物の含有量、粘度、及び、表面張力を特定の値にすることにより、厚さ０．３ｍｍ以下のガラス基板又は厚さ１．０ｍｍ以下の樹脂基板を用い、かつタッチ検出電極の厚みが３０ｎｍ以上であるような表示パネルに塗布した場合でも、微細凹凸平坦化性、基板追従性、及び、鉛筆硬度に優れた保護膜が得られることを見出した。

本発明の内容について、図１を参照して説明する。
図１（ａ）は本発明の表示パネル基板の製造方法により製造された表示パネル基板であり、ガラス基板３４の変形にしたがって保護層３２が均一な厚さで形成されている。また、ガラス基板３４の表面にはタッチ検出電極３０が形成されているが、タッチ検出電極３０の上に形成されている保護層３２であっても、表面の微細な凹凸は平坦化されている。
図１（ｂ）は、微細凹凸平坦化性、及び、基板追従性が悪い場合の表示パネルであり、保護層３２はガラス基板３４の変形に追従せず、薄い部分と厚い部分ができてしまっている。また、タッチ検出電極３０の上に形成されている保護層３２の表面は平坦化されず、微細な凹凸３６ができてしまっている。

＜塗布工程＞
発明の表示パネル基板の製造方法は、工程１として、感光性組成物を、表示パネルのタッチ検出電極を備える面に塗布する塗布工程を含む。
本発明に用いられる感光性組成物については後述する。

〔表示パネル〕
本発明に用いられる表示パネルは、少なくとも一つの面にタッチ検出電極を備え、タッチ検出電極のある面の少なくとも一部に厚さ０．３ｍｍ以下のガラス基板又は厚さ１．０ｍｍ以下の樹脂基板を備え、上記タッチ検出電極の厚みが３０ｎｍ以上である。
上記ガラス基板は、厚さが０．３ｍｍ以下であり、０．２ｍｍ以下であることが好ましい。ガラス基板の厚さを調整する方法としては、特に限定されないが、後述するスリミング工程により厚さを調整されることが好ましい。
タッチ検出電極の厚さは３０ｎｍ以上であり、４０ｎｍ以上であることが好ましく、５０ｎｍ以上であることがより好ましい。厚さが上記範囲にあることにより、タッチ検出電極の電気抵抗を低くすることができる。
上限としては特に制限はないが、後工程を経た後の表面平坦性の観点から、２，０００ｎｍ以下が好ましく、１，０００ｎｍ以下がより好ましく、３００ｎｍ以下がより更に好ましく、２００ｎｍ以下が最も好ましい。
上記タッチ検出電極は、表示特性の観点から透明導電層であることが好ましい。透明導電層としては特に制限なく透光性の導電性金属として公知の材料により形成されていればよく、例えば、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ Ｔｉｎ Ｏｘｉｄｅ）やＩＺＯ（Ｉｎｄｉｕｍ Ｚｉｎｃ Ｏｘｉｄｅ）が好ましく挙げられ、ＩＴＯがより好ましい。
また、タッチ検出電極としては、透明導電層の他、金属配線を用いることもできる。金属としては、導電性の高い金属が好ましい。例えば、アルミニウム、チタン、クロム、マンガン、鉄、ニッケル、銅、亜鉛、モリブデン、銀、タングステン、白金、金などを例示でき、また、これらの合金であってもよい。中でも、導電性、パターンニング性及び黒化処理容易性の観点から、銀、銅、アルミニウム、チタン、クロム、モリブデン、及び、これらの合金よりなる群から選ばれた金属が好ましく、銀、銅、又は、これらの合金がより好ましく、銀、又は、銅が更に好ましく、銅が特に好ましい。このような金属をもちいることで、高い導電性のタッチ検出電極を形成できる。
また、本発明の表示パネルは、２枚のガラス基板又は樹脂基板を有していることが好ましく、２枚のガラス基板又は樹脂基板の間には表示パネルとして機能するための構造を備えることが好ましい。
本発明の表示パネルは、表示に使用されるパネルであれば特に限定されないが、液晶パネル、又は、有機ＥＬパネルであることが好ましい。
本発明の表示パネルが液晶パネルである場合、カラーフィルタ、配向膜、液晶層を更に有することがより好ましく、ガラス基板又は樹脂基板、カラーフィルタ、配向膜、液晶層、配向膜、ガラス基板又は樹脂基板の順に有することが更に好ましい。
本発明の表示パネルは、最終製品の形態によって、例えばＴＦＴ素子のような多層積層構造が形成されていることが好ましい。
また、オンセル構造のタッチパネルなどのような場合には、表示パネルとして一旦完成しているＬＣＤセルやＯＬＥＤセルを用い、それらの上に、本発明に用いられる感光性組成物を塗布してもよい。
また、本発明の表示パネルは、ガラス基板又は樹脂基板とタッチ検出電極の間、又は、ガラス基板又は樹脂基板上に、インデックスマッチング層等、その他の層を含んでいてもよい。

＜ガラス基板又は樹脂基板＞
本発明の基板にはガラス基板又は樹脂基板が用いられる。
パネルの軽量化、薄型化の観点から、基板は薄いことが好ましく、ガラス基板の場合には０．３ｍｍ以下であり、樹脂基板の場合は１．０ｍｍ以下である。
基板の厚さについて特に下限はないが、パネルの強度の観点から、ガラス基板の場合には０．０５ｍｍ以上が好ましく、０．１ｍｍ以上がより好ましい。
樹脂基板の場合には０．１ｍｍ以上が好ましく、０．３ｍｍ以上がより好ましい。
樹脂としては、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリブチレンナフタレート、ポリスチレン、ポリカーボネート、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリアリレート、アリルジグリコールカーボネート、ポリアミド、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリエーテルイミド、ポリベンズオキサゾール、ポリベンズアゾール、ポリフェニレンサルファイド、ポリシクロオレフィン、ノルボルネン樹脂、ポリクロロトリフルオロエチレン等のフッ素樹脂、液晶ポリマー、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂、アイオノマー樹脂、シアネート樹脂、架橋フマル酸ジエステル樹脂、環状ポリオレフィン、芳香族エーテル樹脂、マレイミド−オレフィン樹脂、セルロース、エピスルフィド樹脂等が挙げられる。
基板としては、寸法精度及び透明性の観点からは、ガラス基板が好ましく、また、軽量性、割れにくさ及び屈曲性の観点からは、樹脂フィルム基板が好ましい。樹脂フィルムは、いわゆる、ロールトゥロールの製造方法を好適に採用することができる。
以下、液晶パネル及び有機ＥＬパネルについて説明する。

＜液晶パネル＞
本発明に用いられる液晶パネルは、特に制限されず、様々な構造をとる公知の液晶パネルを挙げることができる。
また、本発明の液晶表示装置が取りうる液晶駆動方式としてはＴＮ（Ｔｗｉｓｔｅｄ Ｎｅｍａｔｉｃ）方式、ＶＡ（Ｖｉｒｔｉｃａｌ Ａｌｉｇｎｍｅｎｔ）方式、ＩＰＳ（Ｉｎ−Ｐｌａｃｅ−Ｓｗｉｔｃｈｉｎｇ）方式、ＦＦＳ（Ｆｒｉｎｇｅ Ｆｉｅｌｄ Ｓｗｉｔｃｈｉｎｇ）方式、ＯＣＢ（Ｏｐｔｉｃａｌｌｙ Ｃｏｍｐｅｎｓａｔｅｄ Ｂｅｎｄ）方式などが挙げられる。
パネル構成においては、ＣＯＡ（Ｃｏｌｏｒ Ｆｉｌｔｅｒ ｏｎ Ａｒｒａｙ）方式の液晶表示装置でも本発明の硬化膜を用いることができ、例えば、特開２００５−２８４２９１号公報の有機絶縁膜（１１５）や、特開２００５−３４６０５４号公報の有機絶縁膜（２１２）として用いることができる。また、本発明の液晶表示装置が取りうる液晶配向膜の具体的な配向方式としてはラビング配向法、光配向方などが挙げられる。また、特開２００３−１４９６４７号公報や特開２０１１−２５７７３４号公報に記載のＰＳＡ（Ｐｏｌｙｍｅｒ Ｓｕｓｔａｉｎｅｄ Ａｌｉｇｎｍｅｎｔ）技術によってポリマー配向支持されていてもよい。

図２は、アクティブマトリックス方式の液晶表示装置１０の一例を示す概念的断面図である。このカラー液晶表示装置１０は、背面にバックライトユニット１２を有する液晶パネルであって、液晶パネルは、偏光フィルムが貼り付けられた２枚のガラス基板１４，１５の間に配置されたすべての画素に対応するＴＦＴ１６の素子が配置されている。ガラス基板上に形成された各素子には、硬化膜１７中に形成されたコンタクトホール１８を通して、画素電極を形成するＩＴＯ透明電極１９が配線されている。ＩＴＯ透明電極１９の上には、液晶２０の層とブラックマトリックスを配置したＲＧＢカラーフィルタ２２が設けられている。
本発明においては、上記液晶表示装置のガラス基板１４及び１５の少なくとも１つの表面にタッチ検出電極を有するものを、表示パネルとして用いることができる。
バックライトの光源としては、特に限定されず公知の光源を用いることができる。例えば、白色ＬＥＤ、青色・赤色・緑色などの多色ＬＥＤ、蛍光灯（冷陰極管）、有機ＥＬなどを挙げることができる。
また、液晶表示装置は、３Ｄ（立体視）型のものとしたり、タッチパネル型のものとしたりすることも可能である。更にフレキシブル型にすることも可能であり、特開２０１１−１４５６８６号公報に記載の第２層間絶縁膜（４８）や、特開２００９−２５８７５８号公報に記載の層間絶縁膜（５２０）として用いることができる。

＜有機ＥＬパネル＞
本発明に用いられる有機ＥＬパネルとしては、上記本発明の感光性組成物を用いて形成される平坦化膜や層間絶縁膜を有すること以外は特に制限されず、様々な構造をとる公知の各種有機ＥＬ表示装置を挙げることができる。
例えば、本発明に用いられる有機ＥＬパネルが有するＴＦＴ（Ｔｈｉｎ−Ｆｉｌｍ Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）の具体例としては、アモルファスシリコン−ＴＦＴ、低温ポリシリコンーＴＦＴ、酸化物半導体ＴＦＴ等が挙げられる。本発明の硬化膜は電気特性に優れるため、これらのＴＦＴに組み合わせて好ましく用いることができる。
図３は、有機ＥＬパネルの一例の構成概念図である。ボトムエミッション型の有機ＥＬ表示装置における基板の模式的断面図を示し、平坦化膜４を有している。
ガラス基板６上にボトムゲート型のＴＦＴ１を形成し、このＴＦＴ１を覆う状態でＳｉ₃Ｎ₄から成る絶縁膜３が形成されている。絶縁膜３に、ここでは図示を省略したコンタクトホールを形成した後、このコンタクトホールを介してＴＦＴ１に接続される配線２（高さ１．０μｍ）が絶縁膜３上に形成されている。配線２は、ＴＦＴ１間、又は、後の工程で形成される有機ＥＬ素子とＴＦＴ１とを接続するためのものである。
更に、配線２の形成による凹凸を平坦化するために、配線２による凹凸を埋め込む状態で絶縁膜３上に平坦化膜４が形成されている。
平坦化膜４上には、ボトムエミッション型の有機ＥＬ素子が形成されている。すなわち、平坦化膜４上に、ＩＴＯからなる第一電極５が、コンタクトホール７を介して配線２に接続させて形成されている。また、第一電極５は、有機ＥＬ素子の陽極に相当する。
第一電極５の周縁を覆う形状の絶縁膜８が形成されており、この絶縁膜８を設けることによって、第一電極５とこの後の工程で形成する第二電極との間のショートを防止することができる。
更に、図１には図示していないが、所望のパターンマスクを介して、正孔輸送層、有機発光層、電子輸送層を順次蒸着して設け、次いで、基板上方の全面にＡｌから成る第二電極を形成し、封止用ガラス板と紫外線硬化型エポキシ樹脂とを用いて貼り合わせることで封止し、各有機ＥＬ素子にこれを駆動するためのＴＦＴ１が接続されてなるアクティブマトリックス型の有機ＥＬ表示装置が得られる。
本発明においては、上記有機ＥＬ表示装置のガラス基板１４及び１５の少なくとも１つの表面にタッチ検出電極を有するものを、表示パネルとして用いることができる。

〔塗布方法〕
感光性組成物を塗布する方法としては、特に制限なく公知の塗布方法を使用することが可能だが、例えば、インクジェット法、スリットコート法、スプレー法、ロールコート法、回転塗布法、流延塗布法、スリットアンドスピン法等の方法を用いることができる。更に、特開２００９−１４５３９５号公報に記載されているような、所謂プリウェット法を適用することも可能である。
また、塗布時には基板を吸着により固定することが好ましい。
基板を吸着する方法としては、特に限定されず公知の方法を用いることができるが、装置のコストや歩留まりの観点から、真空吸着が好ましい。
塗布時の感光性組成物のウエット膜厚は特に限定されないが、通常は０．１〜１０μｍの範囲で使用される。
また、感光性組成物を表示パネルのタッチ検出電極を備える面へ塗布する前にアルカリ洗浄やプラズマ洗浄といった基板の洗浄を行うことができる。更に基板洗浄後にヘキサメチルジシラザン等でタッチ検出電極を備える面を処理することができる。この処理を行うことにより、感光性組成物のタッチ検出電極を備える面への密着性が向上する傾向にある。

＜溶剤除去工程＞
本発明の表示パネル基板の製造方法は、工程２として、塗布された感光性組成物から溶剤を除去する溶剤除去工程を含む。
上記溶剤除去工程においては、塗布された感光性組成物から、減圧（バキューム）及び／又は加熱等により、溶剤を除去して基板上に乾燥塗膜を形成させることが好ましい。溶剤除去工程の加熱条件は、好ましくは７０〜１３０℃で３０〜３００秒間程度である。また、上記溶剤除去工程においては、感光性組成物中の溶剤を完全に除去する必要はなく、少なくとも一部が除去されていればよい。

＜硬化工程＞
本発明の表示パネル基板の製造方法は、工程３として、溶剤が除去された感光性組成物を光及び／又は熱により硬化する硬化工程を含む。
硬化工程においては、光及び／又は熱により硬化すればよいが、光及び熱により硬化することが好ましい。

〔光による硬化〕
硬化工程において、光により硬化する場合、感光性組成物を波長３００ｎｍ以上４５０ｎｍ以下の活性光線により露光することが好ましい。上記活性光線により、感光性組成物中の重合性単量体が、光重合開始剤の作用により重合硬化する。
露光光源としては、低圧水銀灯、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、ケミカルランプ、ＬＥＤ光源、エキシマレーザー発生装置などを用いることができ、ｉ線（３６５ｎｍ）、ｈ線（４０５ｎｍ）、ｇ線（４３６ｎｍ）などの波長３００ｎｍ以上４５０ｎｍ以下の波長を有する活性光線が好ましく使用できる。また、必要に応じて長波長カットフィルター、短波長カットフィルター、バンドパスフィルターのような分光フィルターを通して照射光を調整することもできる。
露光装置としては、ミラープロジェクションアライナー、ステッパー、スキャナー、プロキシミティ、コンタクト、マイクロレンズアレイ、レンズスキャナ、レーザー露光、など各種方式の露光機を用いることができる。
また、上記露光における露光量としても、特に制限はないが、１〜３，０００ｍＪ／ｃｍ²であることが好ましく、１〜５００ｍＪ／ｃｍ²であることがより好ましい。
上記露光は、酸素遮断された状態で行うことが、硬化促進の観点から好ましい。酸素を遮断する手段としては、窒素雰囲気下で露光したり、酸素遮断膜を設けることが例示される。
また、上記露光工程における露光は、溶剤が除去された硬化性組成物の少なくとも一部に行われればよく、例えば、全面露光であっても、パターン露光であってもよい。

〔熱による硬化〕
硬化工程において、熱により硬化する場合、熱処理の温度としては、特に制限なく、メタアクリレート化合物が硬化する温度で熱硬化することができる。
製造適性の観点から、１８０℃以下が好ましく、１５０℃以下がより好ましく、１３０℃以下が更に好ましい。下限値としては、８０℃以上が好ましく、９０℃以上がより好ましい。加熱の方法は特に限定されず、公知の方法を用いることができる。例えば、ホットプレート、オーブン、赤外線ヒーターなどが挙げられる。
また、加熱時間としては、ホットプレートの場合は１分〜３０分程度が好ましく、それ以外の場合は２０分〜１２０分程度が好ましい。この範囲で基板、装置へのダメージなく硬化することができる。
また、硬化工程における光及び／又は熱による硬化は、連続して行ってもよいし、逐次行ってもよい。
また、熱処理を行う際は窒素雰囲気下で行うことにより、透明性をより向上させることもできる。

＜スリミング工程＞
本発明の表示パネル基板の製造方法は、基板としてガラス基板を用いる場合、塗布工程の前に、ガラス基板を研磨するスリミング工程を更に含むことが好ましい。
スリミング工程により、ガラス基板の厚さを所定の範囲に調整することができる。
スリミング工程は、表示パネル上にタッチ検出電極を形成する前に行うことが好ましい。スリミング工程後に、公知の方法により、イメージマッチング層等の形成や、タッチ検出電極の形成を行うことができる。

〔研磨方法〕
スリミング工程における研磨方法としては、特に制限なく公知の方法を使用することができるが、化学研磨により行われることが好ましい。
化学研磨の方法としては、ガラス基板、又は、２枚のガラス基板が張り合わされた基材を、フッ酸を含有する化学研磨液に浸漬する方法が挙げられる。
上記化学研磨液は、フッ酸及び硫酸を含有する水溶液であることが好ましい。フッ酸の濃度は、１０〜３０質量％が好ましく、１５〜２８質量％がより好ましく、１７〜２５質量％が更に好ましい。また、硫酸の濃度は、２０〜５０質量％が好ましく、３０〜４５質量％がより好ましく、３５〜４２質量％が更に好ましい。
化学研磨の方法としては、特に限定されないが、特開２００９−２１０７１９号公報や、特開２００１−１００１６５号公報に記載の方法を好ましく使用することができる。

（感光性組成物）
本発明に用いられる感光性組成物（以下、単に「感光性組成物」又は「組成物」ともいう。）は、成分Ａとして、５官能以上の（メタ）アクリレート化合物、成分Ｂとして、光重合開始剤、成分Ｃとして、有機又は無機粒子、成分Ｄとして、溶剤、とを含有し、成分Ａの含有量が、感光性組成物中の成分Ｃ以外の全固形分量に対して５０〜９８質量％であり、感光性組成物の粘度が３〜３０ｍＰａ・ｓであり、感光性組成物の表面張力が２０〜３０ｍＮ／ｍであり、感光性組成物の全量に対する固形分量が１０〜５０質量％である。
感光性組成物の粘度は、３〜３０ｍＰａ・ｓであり、５〜２５ｍＰａ・ｓであることが好ましく、７〜２２ｍＰａ・ｓであることがより好ましい。
粘度は、例えば、東機産業（株）製のＲＥ−８０Ｌ型回転粘度計を用いて、２５±０．２℃で測定することが好ましい。測定時の回転速度は、５ｍＰａ・ｓ未満は１００ｒｐｍ、５ｍＰａ・ｓ以上１０ｍＰａ・ｓ未満は５０ｒｐｍ、１０ｍＰａ・ｓ以上３０ｍＰａ・ｓ未満は２０ｒｐｍ、３０ｍＰａ・ｓ以上は１０ｒｐｍで、それぞれ行うことが好ましい。
感光性組成物の表面張力は、２０〜３０ｍＮ／ｍであり、２２〜３０ｍＮ／ｍであることが好ましく、２４〜２８ｍＮ／ｍであることがより好ましい。
表面張力は、例えば、協和界面科学（株）製のＤＭ−７０１を用いて、ペンダントドロップ法によって測定することができる。
感光性組成物の溶剤除去工程後の膜厚は、微細凹凸平坦性と基板追従性の観点から、０．２〜２０μｍが好ましく、０．４〜１０μｍがより好ましく、０．８〜５．０μｍがより更に好ましく、１．２〜４．０μｍが最も好ましい。
具体的には、以下の成分を含む組成物が、具体的な実施態様として例示される。

成分Ａ：５官能以上の（メタ）アクリレート化合物
本発明に用いられる感光性組成物は、成分Ａとして、５官能以上の（メタ）アクリレート化合物を含有する。
成分Ａは、分子内に５つ以上の（メタ）アクリロイル基を有する化合物である。
成分Ａは、低分子の化合物でもよく、オリゴマーであってもよいが、ポリマーではない。すなわち、成分Ａは、硬化膜の硬度の観点から、分子量（分子量分布を有する場合には、重量平均分子量）が１０，０００以下であり、５，０００以下であることが好ましく、３，０００以下であることが更に好ましい。

成分Ａは、分子内に５つ以上の（メタ）アクリロイル基を有する。分子内（１分子内）に有する（メタ）アクリロイル基の数は、５〜１５であることが好ましく、５〜１０であることがより好ましく、５〜７であることが更に好ましい。
（メタ）アクリロイル基の数が上記範囲内であると、硬度及び反応性に優れる。

成分Ａは、１分子内にアクリロイル（−Ｃ（＝Ｏ）−ＣＨ＝ＣＨ₂）基及びメタクリロイル基（−Ｃ（＝Ｏ）−Ｃ（ＣＨ₃）＝ＣＨ₂）を合計して５つ以上有していればよいが、アクリロイルオキシ基（−Ｏ−Ｃ（＝Ｏ）−ＣＨ＝ＣＨ₂）及びメタクリロイルオキシ基（−Ｏ−Ｃ（＝Ｏ）−Ｃ（ＣＨ₃）＝ＣＨ₂）を合計して５つ以上有することが好ましい。また、アクリロイル基を５つ以上有することが好ましく、アクリロイルオキシ基を５つ以上有することがより好ましい。
メタクリロイル基に比べ、アクリロイル基は硬化性（反応性）に優れる点で好ましい。また、（メタ）アクリロイルオキシ基であると、反応性に優れ、合成が容易である点で好ましい。

〔成分Ａ−１：カルボキシ基を有する重合性単量体〕
成分Ａは、成分Ａ−１として、分子内（１分子内）に１つ以上のカルボキシ基を有することが好ましい。１分子内のカルボキシ基の数は、１つ〜６つであることが好ましく、１つ〜３つであることがより好ましく、１つ又は２つであることが更に好ましく、１つであることが特に好ましい。
成分Ａ−１が１分子内に有するカルボキシ基の数が上記範囲内であると、基材密着性に優れるので好ましい。
なお、成分Ａ−１の有するカルボキシ基は、塩を形成していてもよい。塩を形成するカチオンとしては、有機カチオン性化合物、遷移金属配位錯体カチオン、又は、金属カチオンが好ましい。有機カチオン性化合物としては、４級アンモニウムカチオン、４級ピリジニウムカチオン、４級キノリニウムカチオン、ホスホニウムカチオン、ヨードニウムカチオン、スルホニウムカチオン等が挙げられる。遷移金属カチオンとしては、特許２７９１４３号公報に記載の化合物が例示される。金属カチオンとしては、Ｎａ⁺、Ｋ⁺、Ｌｉ⁺、Ａｇ⁺、Ｆｅ²⁺、Ｆｅ³⁺、Ｃｕ⁺、Ｃｕ²⁺、Ｚｎ²⁺、Ａｌ³⁺、Ｃａ²⁺等が例示される。

なお、成分Ａ−１は、上記カルボキシ基以外の酸基を有していないことが好ましい。カルボキシ基以外の酸基としては、スルホン酸基、リン酸基等が例示される。カルボキシ基以外の酸基を有すると、基材密着性が低下する場合がある。

成分Ａ−１としては、ポリヒドロキシ化合物と不飽和カルボン酸とのエステルであり、かつ、ポリヒドロキシ化合物の未反応のヒドロキシ基にカルボン酸無水物を反応させて酸基（カルボキシ基）を持たせた重合性単量体が好ましく、特に好ましくは、ポリヒドロキシ化合物がペンタエリスリトール及び／又はジペンタエリスリトールであるものである。

成分Ａ−１は、例えば、５つ以上の（メタ）アクリロイル基とヒドロキシ基を有する化合物（以下「ヒドロキシ多官能（メタ）アクリレート」ともいう。）に酸無水物を付加することで得ることができる。
ヒドロキシ多官能（メタ）アクリレートとしては、５つ以上のヒドロキシ基を有するポリヒドロキシ化合物と、（メタ）アクリル酸とのエステルが例示される。
５つ以上のヒドロキシ基を有するポリヒドロキシ化合物は、脂肪族ポリヒドロキシ化合物であることが好ましく、具体的には、ジペンタエリスリトール、トリペンタエリスリトール等が例示される。これらの中でも、ジペンタエリスリトールが好ましい。
また、ポリヒドロキシ化合物として、上記の例示したポリヒドロキシ化合物のアルキレンオキサイド付加物を使用してもよく、アルキレンオキサイドとしては、エチレンオキサイド、プロピレンオキサイド等が例示される。

ヒドロキシ多官能アクリレートの製造方法としては、公知の方法を適宜採用すればよく、特に限定されない。具体的には、酸性触媒下にポリヒドロキシ化合物と、（メタ）アクリル酸とを加熱・撹拌する方法が例示される。酸性触媒としては、硫酸、パラトルエンスルホン酸及びメタンスルホン酸等が挙げられる。また、反応温度は、使用する化合物及び目的に応じて適宜設定すればよいが、好ましくは７０℃〜１４０℃である。上記の温度範囲内であると、反応が速く、また、安定的に反応が進み、不純物の生成やゲル化が抑制される。
反応に際しては、エステル化反応で生成する水との溶解度が低い有機溶媒を使用し、水を共沸させながら脱水を促進することが好ましい。好ましい有機溶媒としては、例えばトルエン、ベンゼン及びキシレン等の芳香族炭化水素、ヘキサン及びヘプタン等の脂肪族炭化水素、並びに、メチルエチルケトン及びシクロヘキサノン等のケトン等が挙げられる。また、有機溶媒は、反応後に減圧で留去することができる。
また、得られる（メタ）アクリル酸エステルの重合を防止する目的で、反応液に重合禁止剤を添加することができる。このような重合禁止剤としては、例えば、ハイドロキノン、ハイドロキノンモノメチルエーテル、２，６−ジターシャリーブチル−ｐ−クレゾール及びフェノチアジン等が挙げられる。

成分Ａ−１は、上記ヒドロキシ多官能（メタ）アクリレートと、酸無水物との反応によって得られる。
酸無水物としては、無水コハク酸、無水１−ドデセニルコハク酸、無水マレイン酸、無水グルタル酸、無水イタコン酸、無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、メチルヘキサヒドロ無水フタル酸、テトラメチレン無水マレイン酸、テトラヒドロ無水フタル酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、エンドメチレンテトラヒドロ無水フタル酸、メチルエンドメチレンテトラヒドロ無水フタル酸、無水テトラクロロフタル酸、無水テトラブロモフタル酸及び無水トリメリット酸等の同一分子内に１個の酸無水物基を有する化合物、並びに無水ピロメリット酸、無水フタル酸ニ量体、ジフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物、ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物及び１，２，３，４−ブタンテトラカルボン酸二無水物、ジフェニルエーテルテトラカルボン酸無水物及び無水トリメリット酸・エチレングリコールエステル（市販品としては、例えば、新日本理化（株）製、商品名リカシッドＴＭＥＧ−１００がある）等の同一分子内に２個の酸無水物基を有する化合物が挙げられる。
これらの中でも、同一分子内に１個の酸無水物基を有する化合物が好ましい。

成分Ａ−１の製造方法としては、常法に従えばよい。
例えば、ヒドロキシ多官能（メタ）アクリレートとカルボン酸無水物とを、触媒の存在下、６０〜１１０℃で１〜２０時間反応させる方法等が挙げられる。この場合の触媒としては、Ｎ，Ｎ−ジメチルベンジルアミン、トリエチルアミン、トリブチルアミン、トリエチレンジアミン、ベンジルトリメチルアンモニウムクロライド、ベンジルトリエチルアンモニウムブロマイド、テトラメチルアンモニウムブロマイド、セチルトリメチルアンモニウムブロマイド及び酸化亜鉛等が挙げられる。

成分Ａ−１は、式Ａ−１で表される化合物であることが好ましい。

式Ａ−１中、Ｘ²は、それぞれ独立に水素原子、炭素数１〜６のアルキル基、アクリロイルオキシ基又はメタクリロイルオキシ基を表し、５つあるＸ²はアクリロイルオキシ基又はメタクリロイルオキシ基であり、Ｗ²は、炭素数１〜６のアルキレン基、炭素数２〜６のアルケニレン基、又は、フェニレン基を表す。

式Ａ−１中、５つあるＸ²はアクリロイルオキシ基又はメタクリロイル基を表し、アクリロイルオキシ基であることが好ましい。
また、アクリロイルオキシ基又はメタクリロイルオキシ基以外のＸ²は、水素原子、又は、炭素数１〜６のアルキル基を表す。炭素数１〜６のアルキル基は、直鎖状、分岐状、環状のいずれのアルキル基であってもよい。これらの中でも、（メタ）アクリロイルオキシ基以外のＸ²は、水素原子又は炭素数１〜４のアルキル基であることが好ましく、水素原子、メチル基又はエチル基であることがより好ましく、水素原子であることが更に好ましい。
式Ａ−１中、Ｗ²は、炭素数１〜６のアルキレン基、炭素数２〜６のアルケニレン基、又は、フェニレン基を表し、炭素数１〜６のアルキレン基としては、直鎖状、分岐状、環状のいずれでもよい。上記アルキレン基は、炭素数２〜６であることが好ましく、エチレン基、プロピレン基、ブチレン基、ペンチル基、ヘキシレン基、シクロへキシレン基が例示される。
式Ａ−１中、Ｗ²は炭素数１〜６のアルキレン基であることが好ましく、炭素数２〜６のアルキレン基であることがより好ましく、炭素数２又は３のアルキレン基であることが更に好ましく、エチレン基であることが特に好ましい。

成分Ａ−１として、上市されている製品を使用してもよく、例えば、東亞合成（株）製の多塩基酸変性アクリルオリゴマーとして、アロニックス（登録商標）シリーズのＭ−５１０、Ｍ−５２０、ＴＯ−２３４９、ＴＯ−２３５９、などが挙げられる。

成分Ａ−１は１種単独で使用してもよく、２種以上を併用してもよい。
成分Ａ−１の含有量は、感光性組成物の全有機固形分に対して、３〜４９．５質量％であることが好ましく、３〜４５質量％であることがより好ましく、５〜４０質量％であることが更に好ましく、１０〜３５質量％であることが最も好ましい。
なお、本発明において、感光性組成物における「固形分」とは、有機溶剤等の揮発性成分を除いた成分を意味する。また、「有機固形分」とは、感光性組成物から有機溶剤等の揮発性成分と、無機粒子等の無機成分を除いた成分を意味する。

〔成分Ａ−２：カルボキシ基を有しない重合性単量体〕
本発明に用いられる感光性組成物は、成分Ａ−２として、分子内に５つ以上の（メタ）アクリロイル基を有し、カルボキシ基を有しない重合性単量体を含有する。成分Ａ−２は、分子内（１分子内）に５つ以上の（メタ）アクリロイル基を有する、成分Ａ−１とは異なる重合性単量体である。成分Ａ−２は、分子内にカルボキシ基を有しないが、他の酸基も有しないことが好ましく、他の酸基としては、スルホン酸基、リン酸基等が例示される。
成分Ａ−２は、低分子の化合物でもよく、オリゴマーであってもよいが、ポリマーではない。すなわち、成分Ａ−２は、硬化膜の硬度の観点から、分子量（分子量分布を有する場合には、重量平均分子量）が１０，０００以下であり、５，０００以下であることが好ましく、３，０００以下であることが更に好ましい。

成分Ａ−２は、分子内に３つ以上の（メタ）アクリロイル基を有する。（メタ）アクリロイル基を３〜１０有することが好ましく、３〜６有することがより好ましい。上記の構成とすることにより、本発明の効果がより発揮される。

成分Ａ−２としては、この種の組成物に適用される化合物を適宜選択して用いることができ、例えば、特開２００６−２３６９６号公報の段落００１１に記載の成分や、特開２００６−６４９２１号公報の段落００３１〜００４７に記載の成分のうち、分子内に３つ以上の（メタ）アクリロイル基を有するものを挙げることができ、これらの記載は本願明細書に組み込まれる。
成分Ａ−２としては、ポリヒドロキシ化合物の（メタ）アクリル酸エステルが好ましく例示され、具体的には、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレートＥＯ変性体などが挙げられる。

成分Ａ−２としては、上市されている製品を使用してもよく、例えば、アロニックス（登録商標）Ｍ−３０９、同Ｍ−４００、同Ｍ−４０５、同Ｍ−４５０、同Ｍ−７１００、同Ｍ−８０３０、同Ｍ−８０６０、同ＴＯ−１３８２、同ＴＯ−１４５０（東亞合成（株）製）、ＫＡＹＡＲＡＤ ＴＭＰＴＡ、同ＤＰＨＡ、同ＤＰＣＡ−２０、同ＤＰＣＡ−３０、同ＤＰＣＡ−６０、同ＤＰＣＡ−１２０（日本化薬（株）製）、ビスコート２９５、同３００、同３６０、同ＧＰＴ、同３ＰＡ、同４００（大阪有機化学工業（株）製）などを挙げることができる。
なお、成分Ａ−２に該当する化合物であっても、後述するアルコキシシラン化合物に該当するものは、アルコキシシラン化合物とする。

〔ウレタン（メタ）アクリレート〕
本発明において、成分Ａ−２として、ウレタン（メタ）アクリレートを使用してもよい。
本発明で用いることができる、ウレタン（メタ）アクリレートとしては、イソシアネートと水酸基の付加反応を用いて製造されるウレタン付加重合性化合物が例示され、特開昭５１−３７１９３号公報、特公平２−３２２９３号公報、特公平２−１６７６５号公報に記載されているようなウレタンアクリレート類が例示され、これらの記載は本願明細書に組み込まれる。

ウレタン（メタ）アクリレートの分子量は、硬化膜硬度の観点から、５００〜１０，０００が好ましく、６５０〜６，０００がより好ましく、８００〜３，０００が更に好ましい。
このような構成とすることにより、本発明の効果がより効果的に発揮される。

ウレタン（メタ）アクリレートにおける（メタ）アクリロイルオキシ基は、アクリロイルオキシ基、メタクリロイルオキシ基のいずれであっても、両方であってもよいが、アクリロイルオキシ基であることが好ましい。

ウレタン（メタ）アクリレートにおける（メタ）アクリロキシ基の数は、５以上であることが好ましく、６以上であることがより好ましく、１０以上であることが更に好ましい。上記態様であると、本発明の効果がより効果的に発揮される。
また、上記（メタ）アクリロキシ基の数の上限は特に制限はないが、５０以下であることが好ましく、３０以下であることがより好ましく、２０以下であることが更に好ましい。
本発明の硬化性組成物は、ウレタン（メタ）アクリレートを１種類のみ含んでいてもよいし、２種類以上含んでいてもよい。

ウレタン（メタ）アクリレートにおける（メタ）アクリロキシ基は、アクリロキシ基、メタクリロキシ基のいずれであっても、両方であってもよいが、アクリロキシ基であることが好ましい。
ウレタン（メタ）アクリレートにおけるウレタン結合の数は、特に制限はないが、１〜３０であることが好ましく、１〜２０であることがより好ましく、２〜１０であることが更に好ましく、２〜５であることが特に好ましく、２又は３であることが最も好ましい。
ウレタン（メタ）アクリレートは、脂肪族ウレタン（メタ）アクリレートであることが好ましい。
また、ウレタン（メタ）アクリレートは、イソシアヌル環構造を有することが好ましい。
また、ウレタン（メタ）アクリレートは、１以上のウレタン結合を有するコア部分と、コア部分に結合し、かつ１以上の（メタ）アクリロキシ基を有する末端部分からなる化合物であることが好ましく、上記コア部分に、２個以上の上記末端部分が結合した化合物であることがより好ましく、上記コア部分に、２〜５個の上記末端部分が結合した化合物であることが更に好ましく、上記コア部分に、２又は３個の上記末端部分が結合した化合物であることが特に好ましい。

ウレタン（メタ）アクリレートは、下記式Ａｅ−１又は式Ａｅ−２で表される基を少なくとも有する化合物であることが好ましく、下記式Ａｅ−１で表される基を少なくとも有する化合物であることがより好ましい。また、ウレタン（メタ）アクリレートは、下記式Ａｅ−１で表される基及び式Ａｅ−２で表される基よりなる群から選ばれた基を２以上有する化合物であることがより好ましい。
また、ウレタン（メタ）アクリレートにおける上記末端部分は、下記式Ａｅ−１又は式Ａｅ−２で表される基であることが好ましい。

式Ａｅ−１及び式Ａｅ−２中、Ｒはそれぞれ独立に、アクリル基又はメタクリル基を表し、波線部分は他の構造との結合位置を表す。

また、ウレタン（メタ）アクリレートは、下記式Ａｃ−１又は式Ａｃ−２で表される基を少なくとも有する化合物であることが好ましく、下記式Ａｃ−１で表される基を少なくとも有する化合物であることがより好ましい。
また、ウレタン（メタ）アクリレートにおける上記コア部分は、下記式Ａｃ−１又は式Ａｃ−２で表される基であることが好ましい。

式Ａｃ−１及び式Ａｃ−２中、Ｌ¹〜Ｌ⁴はそれぞれ独立に、炭素数２〜２０の２価の炭化水素基を表し、波線部分は他の構造との結合位置を表す。
Ｌ¹〜Ｌ⁴はそれぞれ独立に、炭素数２〜２０のアルキレン基であることが好ましく、炭素数２〜１０のアルキレン基であることがより好ましく、炭素数４〜８のアルキレン基であることが更に好ましい。また、上記アルキレン基は、分岐や環構造を有していてもよいが、直鎖アルキレン基であることが好ましい。
また、ウレタン（メタ）アクリレートは、式Ａｃ−１又は式Ａｃ−２で表される基と、式Ａｅ−１及び式Ａｅ−２で表される基よりなる群から選ばれた２又は３個の基とが結合した化合物であることが特に好ましい。

以下に、本発明で好ましく用いられる、ウレタン（メタ）アクリレートを例示するが、本発明はこれらに限定されるものではないことは言うまでもない。

また、本発明で用いることができるウレタン（メタ）アクリレートとしては、イソシアネートと水酸基との付加反応を用いて製造されるウレタン付加重合性化合物が例示され、特開昭５１−３７１９３号公報、特公平２−３２２９３号公報、特公平２−１６７６５号公報に記載されているようなウレタンアクリレート類が例示され、これらの記載は本願明細書に組み込まれる。

ウレタン（メタ）アクリレートの市販品としては、新中村化学工業（株）から入手可能なＵ−６ＨＡ、ＵＡ−１１００Ｈ、Ｕ−６ＬＰＡ、Ｕ−１５ＨＡ、Ｕ−６Ｈ、Ｕ−１０ＨＡ、Ｕ−１０ＰＡ、ＵＡ−５３Ｈ、ＵＡ−３３Ｈ（いずれも登録商標）や、共栄社化学（株）から入手可能なＵＡ−３０６Ｈ、ＵＡ−３０６Ｔ、ＵＡ−３０６Ｉ、ＵＡ−５１０Ｈ、ＢＡＳＦ社から入手可能なＬａｒｏｍｅｒ ＵＡ−９０４８、ＵＡ−９０５０、ＰＲ９０５２、ダイセルオルネクス（株）から入手可能なＥＢＥＣＲＹＬ ２２０、５１２９、８３０１、ＫＲＭ８２００、８２００ＡＥ、８４５２などが例示される。

成分Ａ−２は１種単独で使用してもよく、２種以上を併用してもよい。
成分Ａ−２の含有量は、感光性組成物の全有機固形分に対して、２０〜８５質量％であることが好ましく、３０〜８０質量％であることがより好ましく、４５〜７５質量％であることが更に好ましい。

本発明において、成分Ａ−１及び成分Ａ−２の総含有量に対する成分Ａ−１の含有量は、１０〜５０質量％である。成分Ａ−１及び成分Ａ−２の総含有量に対する成分Ａ−１の含有量が１０質量未満であると、組成物におけるカルボキシ基の量が少なく、現像性（パターニング性）に劣る。また、５０質量％を超えると、耐汗性などの信頼性に劣る。
成分Ａ−１及び成分Ａ−２の総含有量に対する成分Ａ−１の含有量は、１２〜４０質量％であることが好ましく、１５〜３５質量％であることがより好ましく、１８〜３０質量％であることが更に好ましい。

また、本発明において、成分Ａ−１及び成分Ａ−２の総含有量は、感光性組成物の全有機固形分に対し４０質量％以上であることが好ましい。成分Ａ−１及び成分Ａ−２の総含有量が上記範囲内であると、現像性及び硬化膜の信頼性に優れる。
成分Ａの含有量は、感光性組成物中の成分Ｃ以外の全固形分量に対して５０〜９８質量％であり、６０〜９５質量％であることがより好ましく、７０〜９０質量％であることが更に好ましい。

成分Ｂ：光重合開始剤
本発明に用いられる感光性組成物は、成分Ｂとして、光重合開始剤を含有する。
光重合開始剤は、ラジカル重合開始剤を含むことが好ましい。
本発明に用いることができる光重合開始剤は、光により重合を開始、促進可能な化合物である。中でも、光ラジカル重合開始剤がより好ましい。
「光」とは、その照射により成分Ｂより開始種を発生させることができるエネルギーを付与することができる活性エネルギー線であれば、特に制限はなく、広くα線、γ線、Ｘ線、紫外線（ＵＶ）、可視光線、電子線などを包含するものである。これらの中でも、紫外線を少なくとも含む光が好ましい。

光重合開始剤としては、例えば、オキシムエステル化合物、有機ハロゲン化化合物、オキシジアゾール化合物、カルボニル化合物、ケタール化合物、ベンゾイン化合物、アクリジン化合物、有機過酸化化合物、アゾ化合物、クマリン化合物、アジド化合物、メタロセン化合物、ヘキサアリールビイミダゾール化合物、有機ホウ酸化合物、ジスルホン酸化合物、オニウム塩化合物、アシルホスフィン（オキシド）化合物が挙げられる。これらの中でも、感度の点から、オキシムエステル化合物、ヘキサアリールビイミダゾール化合物が好ましく、オキシムエステル化合物がより好ましい。

オキシムエステル化合物としては、特開２０００−８００６８号公報、特開２００１−２３３８４２号公報、特表２００４−５３４７９７号公報、特開２００７−２３１０００号公報、特開２００９−１３４２８９号公報に記載の化合物を使用できる。
オキシムエステル化合物は、下記式１又は式２で表される化合物であることが好ましい。

式１又は式２中、Ａｒは芳香族基又はヘテロ芳香族基を表し、Ｒ¹はアルキル基、芳香族基又はアルキルオキシ基を表し、Ｒ²は水素原子又はアルキル基を表し、更にＲ²はＡｒ基と結合し環を形成してもよい。

Ａｒは、芳香族基又はヘテロ芳香族基を表し、ベンゼン環化合物、ナフタレン環化合物又はカルバゾール環化合物から芳香環上の水素原子を１つ除いた基であることが好ましく、Ｒ²と共に環を形成したナフタレニル基、カルバゾイル基がより好ましい。ヘテロ芳香族基におけるヘテロ原子としては、窒素原子、酸素原子、及び、硫黄原子が好ましく挙げられる。
Ｒ¹は、アルキル基、芳香族基又はアルキルオキシ基を表し、メチル基、エチル基、ベンジル基、フェニル基、ナフチル基、メトキシ基又はエトキシ基が好ましく、メチル基、エチル基、フェニル基又はメトキシ基がより好ましい。
Ｒ²は、水素原子又はアルキル基を表し、水素原子又は置換アルキル基が好ましく、水素原子、Ａｒと共に環を形成する置換アルキル基又はトルエンチオアルキル基がより好ましい。
また、Ａｒは、炭素数４〜２０の基であることが好ましく、Ｒ¹は、炭素数１〜３０の基であることが好ましく、また、Ｒ²は、炭素数１〜５０の基であることが好ましい。

オキシムエステル化合物は、下記式３、式４又は式５で表される化合物であることが更に好ましい。

式３〜式５中、Ｒ¹はアルキル基、芳香族基又はアルコキシ基を表し、Ｘは−ＣＨ₂−、−Ｃ₂Ｈ₄−、−Ｏ−又はＳ−を表し、Ｒ³はそれぞれ独立に、ハロゲン原子を表し、Ｒ⁴はそれぞれ独立に、アルキル基、フェニル基、アルキル置換アミノ基、アリールチオ基、アルキルチオ基、アルコキシ基、アリールオキシ基又はハロゲン原子を表し、Ｒ⁵は水素原子、アルキル基又はアリール基を表し、Ｒ⁶はアルキル基を表し、ｎ１及びｎ２はそれぞれ独立に、０〜６の整数を表し、ｎ３は０〜５の整数を表す。

Ｒ¹はアルキル基、芳香族基又はアルコキシ基を表し、Ｒ¹¹−Ｘ’−アルキレン基−で表される基（Ｒ¹¹はアルキル基又はアリール基を表し、Ｘ’は硫黄原子又は酸素原子を表す。）が好ましい。Ｒ¹¹はアリール基が好ましく、フェニル基がより好ましい。Ｒ¹¹としての、アルキル基及びアリール基は、ハロゲン原子（好ましくは、フッ素原子、塩素原子若しくは臭素原子）又はアルキル基で置換されていてもよい。
Ｘは硫黄原子が好ましい。
Ｒ³及びＲ⁴は、芳香環上の任意の位置で結合することができる。
Ｒ⁴はアルキル基、フェニル基、アルキル置換アミノ基、アリールチオ基、アルキルチオ基、アルコキシ基、アリールオキシ基又はハロゲン原子を表し、アルキル基、フェニル基、アリールチオ基又はハロゲン原子が好ましく、アルキル基、アリールチオ基又はハロゲン原子がより好ましく、アルキル基又はハロゲン原子が更に好ましい。アルキル基としては、炭素数１〜５のアルキル基が好ましく、メチル基又はエチル基がより好ましい。ハロゲン原子としては、塩素原子、臭素原子又はフッ素原子が好ましい。
また、Ｒ⁴の炭素数は、０〜５０であることが好ましく、０〜２０であることがより好ましい。
Ｒ⁵は水素原子、アルキル基又はアリール基を表し、アルキル基が好ましい。アルキル基としては、炭素数１〜５のアルキル基が好ましく、メチル基又はエチル基がより好ましい。アリール基としては、炭素数６〜１０のアリール基が好ましい。
Ｒ⁶はアルキル基を表し、炭素数１〜５のアルキル基が好ましく、メチル基又はエチル基がより好ましい。
ｎ１及びｎ２はそれぞれ、式３又は式４における芳香環上のＲ³の置換数を表し、ｎ３は式５における芳香環上のＲ⁴の置換数を表す。
ｎ１〜ｎ３はそれぞれ独立に、０〜２の整数であることが好ましく、０又は１であることがより好ましい。

以下に、本発明で好ましく用いられるオキシムエステル化合物の例を示す。しかしながら、本発明で用いられるオキシムエステル化合物がこれらに限定されるものではないことは言うまでもない。なお、Ｍｅはメチル基を表し、Ｐｈはフェニル基を表す。また、これら化合物におけるオキシムの二重結合のシス−トランス異性は、ＥＺのどちら一方であっても、ＥＺの混合物であってもよい。

有機ハロゲン化化合物の例としては、具体的には、若林等、「Bull Chem. Soc. Japan」４２、２９２４（１９６９）、米国特許第３，９０５，８１５号明細書、特公昭４６−４６０５号公報、特開昭４８−３６２８１号公報、特開昭５５−３２０７０号公報、特開昭６０−２３９７３６号公報、特開昭６１−１６９８３５号公報、特開昭６１−１６９８３７号公報、特開昭６２−５８２４１号公報、特開昭６２−２１２４０１号公報、特開昭６３−７０２４３号公報、特開昭６３−２９８３３９号公報、Ｍ．Ｐ．Ｈｕｔｔ“Journal of Heterocyclic Chemistry”１（Ｎｏ３），（１９７０）等に記載の化合物が挙げられ、特に、トリハロメチル基が置換したオキサゾール化合物、ｓ−トリアジン化合物が挙げられる。

ヘキサアリールビイミダゾール化合物の例としては、例えば、特公平６−２９２８５号公報、米国特許第３，４７９，１８５号、同第４，３１１，７８３号、同第４，６２２，２８６号等の各明細書に記載の種々の化合物が挙げられる。

アシルホスフィン（オキシド）化合物としては、モノアシルホスフィンオキサイド化合物、及び、ビスアシルホスフィンオキサイド化合物が例示でき、具体的には、例えば、ＢＡＳＦ社製のイルガキュア８１９、ダロキュア４２６５、ダロキュアＴＰＯなどが挙げられる。

光重合開始剤は、１種又は２種以上を組み合わせて用いることができる。
本発明に用いられる感光性組成物における光重合開始剤の総量は、組成物中の全固形分１００質量部に対して、０．５〜３０質量部であることが好ましく、１〜２０質量部であることがより好ましく、１〜１０質量部であることが更に好ましく、２〜５質量部であることが特に好ましい。

〔増感剤〕
本発明に用いられる感光性組成物には、光重合開始剤の他に、増感剤を添加することもできる。
増感剤は、活性光線又は放射線を吸収して励起状態となる。励起状態となった増感剤は、成分Ｂとの相互作用により、電子移動、エネルギー移動、発熱などの作用が生じ、重合を開始・促進できる。
本発明において用いることができる典型的な増感剤としては、クリベロ〔J. V. Crivello, Adv. in Polymer Sci., 62, 1 (1984)〕に開示しているものが挙げられ、具体的には、ピレン、ペリレン、アクリジンオレンジ、チオキサントン、２−クロロチオキサントン、ベンゾフラビン、Ｎ−ビニルカルバゾール、９，１０−ジブトキシアントラセン、アントラキノン、クマリン、ケトクマリン、フェナントレン、カンファーキノン、フェノチアジン誘導体などを挙げることができる。増感剤は、光重合開始剤に対し、５０〜２００質量％の割合で添加することが好ましい。

成分Ｃ：有機又は無機粒子
本発明に用いられる感光性組成物は、成分Ｃとして、有機又は無機粒子を含有する。有機又は無機粒子を含有することにより、硬化膜の硬度がより優れたものとなる。

〔有機粒子〕
本発明で用いる有機粒子としては、特に限定はされず、公知の有機粒子を用いることができる。硬化膜の膜硬度の観点から中空粒子であることが好ましい。中空粒子とは、粒子内部に空隙を有する粒子であればよい。また、中空粒子の外形は略球体でも、略楕円球体でもよく、形状は問わない。
中空の有機粒子としては、特開２００４−２９２５９６号公報、特開２００５−０５４０８４号公報、特開２００５−２１５３１５号公報、特開２００６−０８９６４８号公報、特開２００６−０９６９７１号公報、特開２００６−２４１２２６号公報、特開２００６−２９１０９０号公報、特開２００８−２６６５０４号公報、特許第４０５９９１２号公報等に記載の中空の有機高分子微粒子を使用することができる。
外殻を構成する高分子としては、疎水性ビニル系モノマーと親水性基を有するビニル系モノマーとの共重合体、スチレン−アクリル共重合体、ポリビニルアルコールとメチルアタリレート／トリメチロールプロパンジメタクリレート等との組み合わせ、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、ポリイソシアナートからなる親油性反応部分と水、アミン、ポリオール及び／又はポリカルボン酸からなる親水性反応部分とが反応してなる樹脂（ポリウレア樹脂、ポリウレタン樹脂）等が、中空の有機高分子粒子として使用できる。この場合、ポリイソシアネートと水及び／又はアミンとが反応することによりポリウレアが生成され、ポリイソシアネートとポリオールとが反応することによりポリウレタンが生成され、ポリイソシアネートとポリカルボン酸とが反応することによりポリアミドが生成される。また、ポリイソシアナートからなる親油性反応部分と水からなる親水性反応部分とが反応してなる樹脂には、ウレア結合だけでなく、ビウレット構造を有していてもよい。
中空粒子の分散性、硬化皮膜の形成プロセスにおける耐性から、スチレン−アクリル共重合体、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、ポリウレア樹脂及びポリウレタン樹脂よりなる群がら選択された少なくとも１種の樹脂を含む外殻を有する中空粒子であるが好ましく、スチレン−アクリル共重合体、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、ポリウレア樹脂及びポリウレタン樹脂よりなる群がら選択された少なくとも１種の樹脂からなる外殻を有する中空粒子であることがより好ましい。
中空粒子は、平均粒子径（外径）が１０〜１，０００ｎｍであることが好ましく、１０〜２００ｎｍであることがより好ましく、２０〜１００ｎｍであることが更に好ましく、２０〜６０ｎｍであることが最も好ましい。上記範囲であると、本発明の効果をより発揮できる。なお、中空粒子における平均粒子径は、特に断りがない限り、平均外径である。
中空粒子において、空隙が粒子の体積に占める比率である空隙率は、任意に設計できるが、絶縁安定性の性能からは空隙率が高いものが有利である。
中空粒子の空隙率は、１０〜８０％が好ましく、２０〜６０％がより好ましく、４０％〜６０％が最も好ましい。
また、中空粒子の外殻のシェル厚みは、０．１〜３００ｎｍが好ましく、塗布、現像及び熱硬化等の工程での強度が必要なため、１〜３０ｎｍがより好ましい。
なお、本発明における中空粒子の平均粒子径（外径）の測定方法は、粒子の電子顕微鏡画像を球（円）相当径に換算し、その２００個の算術平均である。

〔無機粒子〕
本発明で用いる無機粒子の平均粒径は、１〜２００ｎｍが好ましく、５〜１００ｎｍがより好ましく、５〜５０ｎｍが最も好ましい。平均粒径は、電子顕微鏡により任意の粒子２００個の粒子径を測定し、その算術平均をいう。また、粒子の形状が球形でない場合には、最も長い辺を径とする。
また、硬化膜の硬度の観点から、無機粒子の空隙率は、１０％未満が好ましく、３％未満がより好ましく、空隙がないことが最も好ましい。粒子の空隙率は電子顕微鏡による断面画像の空隙部分と粒子全体との面積比の、２００個の算術平均である。
無機粒子としては、Ｂｅ、Ｍｇ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａ、Ｓｃ、Ｙ、Ｌａ、Ｃｅ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｙｂ、Ｌｕ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｎｂ、Ｍｏ、Ｗ、Ｚｎ、Ｂ、Ａｌ、Ｓｉ、Ｇｅ、Ｓｎ、Ｐｂ、Ｓｂ、Ｂｉ、Ｔｅ等の原子を含む金属酸化物粒子が好ましく、酸化ケイ素、酸化チタン、チタン複合酸化物、酸化亜鉛、酸化ジルコニウム、インジウム／スズ酸化物、アンチモン／スズ酸化物がより好ましく、酸化ケイ素、酸化チタン、チタン複合酸化物、酸化ジルコニウムが更に好ましく、酸化ケイ素又は酸化チタンが、粒子の安定性、入手容易性、硬化膜の硬度、透明性、屈折率調整等の観点から特に好ましい。

酸化ケイ素としては、シリカが好ましく挙げられ、シリカ粒子がより好ましく挙げられる。
シリカ粒子としては、二酸化ケイ素を含む無機酸化物の粒子であれば特に問題はなく、二酸化ケイ素又はその水和物を主成分（好ましくは８０質量％以上）として含む粒子が好ましい。上記粒子は、少量成分（例えば、５質量％未満）としてアルミン酸塩を含んでいてもよい。少量成分として含まれることがあるアルミン酸塩としては、アルミン酸ナトリウム、アルミン酸カリウムなどが挙げられる。また、シリカ粒子は、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化リチウム、水酸化アンモニウム等の無機塩類やテトラメチルアンモニウムヒドロキシド等の有機塩類が含まれていてもよい。このような化合物の例として、コロイダルシリカが例示される。
コロイダルシリカの分散媒としては特に制限はなく、水、有機溶剤、及びこれらの混合物のいずれであってもよい。これらは、１種単独で使用してもよいし、２種以上を併用することもできる。
本発明において、粒子は、適当な分散剤及び溶剤中でボールミル、ロッドミル等の混合装置を用いて混合・分散することにより調製された分散液として使用に供することもできる。なお、本発明に用いられる感光性組成物において、コロイダルシリカがコロイド状態で存在していることを必須とするものではない。
無機粒子を配合する場合、無機粒子の含有量は、硬度の観点から、感光性組成物の全固形分に対し、１質量％以上が好ましく、５質量％以上がより好ましく、１０質量％以上が更に好ましい。また、８０質量％以下が好ましく、５０質量％以下がより好ましく、４０質量％以下が更に好ましく、３０質量％以下が特に好ましい。
無機粒子は、１種類のみ含んでいてもよいし、２種類以上含んでいてもよい。２種類以上含む場合は、その合計量が上記範囲となることが好ましい。

成分Ｄ：溶剤
本発明に用いられる感光性組成物は、成分Ｄとして、溶剤を含有する。本発明に用いられる感光性組成物は、必須成分である成分Ａ、成分Ｂ、成分Ｃと、後述の任意成分とを、溶剤に溶解した溶液として調製されることが好ましい。
成分Ｄとして、有機溶剤が好ましく、本発明に用いられる感光性組成物に使用される有機溶剤としては、公知の溶剤を用いることができ、エチレングリコールモノアルキルエーテル類、エチレングリコールジアルキルエーテル類、エチレングリコールモノアルキルエーテルアセテート類、プロピレングリコールモノアルキルエーテル類、プロピレングリコールジアルキルエーテル類、プロピレングリコールモノアルキルエーテルアセテート類、ジエチレングリコールジアルキルエーテル類、ジエチレングリコールモノアルキルエーテルアセテート類、ジプロピレングリコールモノアルキルエーテル類、ブチレングリコールジアセテート類、ジプロピレングリコールジアルキルエーテル類、ジプロピレングリコールモノアルキルエーテルアセテート類、アルコール類、エステル類、ケトン類、アミド類、ラクトン類等が例示できる。これらの有機溶剤の具体例としては、特開２００９−０９８６１６号公報の段落００６２を参照できる。

具体的には、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、１，３−ブチレングリコールジアセテート、シクロヘキサノールアセテート、プロピレングリコールジアセテート、テトラヒドロフルフリルアルコールが好ましい。

有機溶剤の沸点は、塗布性の観点から１００℃〜３００℃が好ましく、１２０℃〜２５０℃がより好ましい。
本発明に用いることができる溶剤は、１種単独、又は、２種以上を併用することができる。沸点の異なる溶剤を併用することも好ましい。
本発明に用いられる感光性組成物における溶剤の含有量は、塗布に適した粘度に調整するという観点から、組成物の全固形分１００質量部あたり、１００〜３，０００質量部であることが好ましく、２００〜２，０００質量部であることがより好ましく、２５０〜１，０００質量部であることが更に好ましい。
感光性組成物の固形分濃度としては、３〜５０質量％が好ましく、２０〜４０質量％であることがより好ましい。

成分Ｅ：界面活性剤
本発明に用いられる感光性組成物は、成分Ｅとして、界面活性剤を含有してもよい。成分Ｅを含有することにより、感光性組成物の粘度及び表面張力を調整することができる。
界面活性剤としては、アニオン系、カチオン系、ノニオン系、又は、両性のいずれでも使用することができるが、好ましい界面活性剤はノニオン系界面活性剤である。界面活性剤としては、ノニオン系界面活性剤が好ましく、フッ素系界面活性剤がより好ましい。
本発明に用いることができる界面活性剤としては、例えば、市販品である、メガファックＦ１４２Ｄ、同Ｆ１７２、同Ｆ１７３、同Ｆ１７６、同Ｆ１７７、同Ｆ１８３、同Ｆ４７９、同Ｆ４８２、同Ｆ５５４、同Ｆ７８０、同Ｆ７８１、同Ｆ７８１−Ｆ、同Ｒ３０、同Ｒ０８、同Ｆ−４７２ＳＦ、同ＢＬ２０、同Ｒ−６１、同Ｒ−９０（ＤＩＣ（株）製）、フロラードＦＣ−１３５、同ＦＣ−１７０Ｃ、同ＦＣ−４３０、同ＦＣ−４３１、Ｎｏｖｅｃ ＦＣ−４４３０（住友スリーエム（株）製）、アサヒガードＡＧ７１０５，７０００，９５０，７６００、サーフロンＳ−１１２、同Ｓ−１１３、同Ｓ−１３１、同Ｓ−１４１、同Ｓ−１４５、同Ｓ−３８２、同ＳＣ−１０１、同ＳＣ−１０２、同ＳＣ−１０３、同ＳＣ−１０４、同ＳＣ−１０５、同ＳＣ−１０６（旭硝子（株）製）、エフトップＥＦ３５１、同３５２、同８０１、同８０２（三菱マテリアル電子化成（株）製）、フタージェント２５０（ネオス（株）製）が挙げられる。また、上記以外にも、ＫＰ（信越化学工業（株）製）、ポリフロー（共栄社化学（株）製）、エフトップ（三菱マテリアル電子化成（株）製）、メガファック（ＤＩＣ（株）製）、フロラード（住友スリーエム（株）製）、アサヒガード、サーフロン（旭硝子（株）製）、ＰｏｌｙＦｏｘ（ＯＭＮＯＶＡ社製）等の各シリーズを挙げることができる。

また、界面活性剤としては、下記式Ｗで表される構成単位Ａ及び構成単位Ｂを含み、テトラヒドロフランを溶媒としてゲルパーミエーションクロマトグラフィで測定されるポリスチレン換算の重量平均分子量（Ｍｗ）が１，０００以上１０，０００以下である共重合体を好ましい例として挙げることができる。

式Ｗ中、Ｒ^W1及びＲ^W3はそれぞれ独立に、水素原子又はメチル基を表し、Ｒ^W2は炭素数１以上４以下の直鎖アルキレン基を表し、Ｒ^W4は水素原子又は炭素数１以上４以下のアルキル基を表し、Ｌ^Wは炭素数３以上６以下のアルキレン基を表し、ｐ及びｑは重合比を表す質量百分率であり、ｐは１０質量％以上８０質量％以下の数値を表し、ｑは２０質量％以上９０質量％以下の数値を表し、ｒは１以上１８以下の整数を表し、ｓは１以上１０以下の整数を表す。

上記Ｌ^Wは、下記式Ｗ−２で表される分岐アルキレン基であることが好ましい。式Ｗ−２におけるＲ^W5は、炭素数１以上４以下のアルキル基を表し、相溶性と被塗布面に対する濡れ性の点で、炭素数１以上３以下のアルキル基が好ましく、炭素数２又は３のアルキル基がより好ましい。
式Ｗにおけるｐとｑとの和（ｐ＋ｑ）は、ｐ＋ｑ＝１００、すなわち、１００質量％であることが好ましい。
上記共重合体の重量平均分子量（Ｍｗ）は、１，５００以上５，０００以下がより好ましい。

本発明に用いられる感光性組成物における界面活性剤の含有量は、配合する場合、組成物の全固形分に対して、０．００１〜５．０質量％が好ましく、０．０１〜２．０質量％がより好ましい。
界面活性剤は、１種類のみ含んでいてもよいし、２種類以上含んでいてもよい。２種類以上含む場合は、その合計量が上記範囲となることが好ましい。

成分Ｎ：ブロックイソシアネート化合物
本発明に用いられる感光性組成物は、成分Ｎとして、ブロックイソシアネート化合物を含有することが好ましい。成分Ｎを含有することにより、信頼性の高い硬化膜を得ることができる。その作用機構は明確ではないが、光硬化後の加熱処理により成分Ｎのブロックイソシアネート基は脱保護されると考えられる。硬化膜中で、成分Ｎに由来するイソシアネート基の働きにより、基板との密着性が向上したり、イソシアネート基が水分、塩類と相互作用することによって、信頼性の高い硬化膜が得られると考えられる。
ブロックイソシアネート化合物としては、ブロックイソシアネート基を有する化合物であれば特に制限はないが、硬化性の観点から、１分子内に２以上のブロックイソシアネート基を有する化合物であることが好ましい。ブロックイソシアネート基の数の上限は、特に定めるものではないが、６以下が好ましい。
また、ブロックイソシアネート化合物としては、その骨格は特に限定されるものではなく、１分子中にイソシアネート基を２個有するものであればどのようなものでもよく、脂肪族、脂環族又は芳香族のポリイソシアネートであってよいが、例えば、２，４−トリレンジイソシアネート、２，６−トリレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、１，６−ヘキサメチレンジイソシアネート、１，３−トリメチレンジイソシアネート、１，４−テトラメチレンジイソシアネート、２，２，４−トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート、２，４，４−トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート、１，９−ノナメチレンジイソシアネート、１，１０−デカメチレンジイソシアネート、１，４−シクロヘキサンジイソシアネート、２，２’−ジエチルエーテルジイソシアネート、ジフェニルメタン−４，４’−ジイソシアネート、ｏ−キシレンジイソシアネート、ｍ−キシレンジイソシアネート、ｐ−キシレンジイソシアネート、メチレンビス（シクロヘキシルイソシアネート）、シクロヘキサン−１，３−ジメチレンジイソシアネート、シクロヘキサン−１，４−ジメチレンジイソシアネート、１，５−ナフタレンジイソシアネート、ｐ−フェニレンジイソシアネート、３，３’−メチレンジトリレン−４，４’−ジイソシアネート、４，４’−ジフェニルエーテルジイソシアネート、テトラクロロフェニレンジイソシアネート、ノルボルナンジイソシアネート、水素化１，３−キシリレンジイソシアネート、水素化１，４−キシリレンジイソシアネート等のイソシアネート化合物、並びに、これらの多量体、及び、これらの化合物から派生するプレポリマー型の骨格の化合物を好適に用いることができる。これらの中でも、トリレンジイソシアネート（ＴＤＩ）やジフェニルメタンジイソシアネート（ＭＤＩ）、ヘキサメチレンジイソシアネート（ＨＤＩ）、イソホロンジイソシアネート（ＩＰＤＩ）、及び、これらの多量体よりなる群から選ばれた化合物を保護したブロックイソシアネート化合物が好ましく、ヘキサメチレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、及び、これらの多量体よりなる群から選ばれた化合物を保護したブロックイソシアネート化合物がより好ましい。
イソシアネート化合物の多量体としては、２量体以上の多量体であれば特に制限はなく、ビウレット体、イソシアヌレート体、アダクト体等を例示することができ、ビウレット体が好ましい。

本発明に用いられる感光性組成物におけるブロックイソシアネート化合物の母構造としては、ビウレット型、イソシアヌレート型、アダクト型、２官能プレポリマー型等を挙げることができる。
上記ブロックイソシアネート化合物のブロック構造を形成するブロック剤としては、オキシム化合物、ラクタム化合物、フェノール化合物、アルコール化合物、アミン化合物、活性メチレン化合物、ピラゾール化合物、メルカプタン化合物、イミダゾール系化合物、イミド系化合物等を挙げることができる。これらの中でも、オキシム化合物、ラクタム化合物、フェノール化合物、アルコール化合物、アミン化合物、活性メチレン化合物、又は、ピラゾール化合物が好ましく、オキシム化合物、及び、ラクタム化合物がより好ましく、オキシム化合物が更に好ましく、メチルエチルケトンオキシムが特に好ましい。

上記オキシム化合物としては、オキシム、及び、ケトオキシムが挙げられ、具体的には、アセトキシム、ホルムアルドキシム、シクロヘキサンオキシム、メチルエチルケトンオキシム、シクロヘキサノンオキシム、ベンゾフェノンオキシム等が例示できる。
上記ラクタム化合物としては、ε−カプロラクタム、γ−ブチロラクタム等が例示できる。
上記フェノール化合物としては、フェノール、ナフトール、クレゾール、キシレノール、ハロゲン置換フェノール等が例示できる。
上記アルコール化合物としては、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、シクロヘキサノール、エチレングリコールモノアルキルエーテル、プロピレングリコールモノアルキルエーテル、乳酸アルキル等が例示できる。
上記アミン化合物としては、第１級アミン及び第２級アミンが挙げられ、芳香族アミン、脂肪族アミン、脂環族アミンいずれでもよく、アニリン、ジフェニルアミン、エチレンイミン、ポリエチレンイミン等が例示できる。
上記活性メチレン化合物としては、マロン酸ジエチル、マロン酸ジメチル、アセト酢酸エチル、アセト酢酸メチル等が例示できる。
上記ピラゾール化合物としては、ピラゾール、メチルピラゾール、ジメチルピラゾール等が例示できる、
上記メルカプタン化合物としては、アルキルメルカプタン、アリールメルカプタン等が例示できる。

本発明に用いられる感光性組成物に使用できるブロックイソシアネート化合物は、市販品として入手可能であり、例えば、コロネートＡＰステーブルＭ、コロネート２５０３、２５１５、２５０７、２５１３、２５５５、ミリオネートＭＳ−５０（以上、日本ポリウレタン工業（株）製）、タケネートＢ−８３０、Ｂ−８１５Ｎ、Ｂ−８２０ＮＳＵ、Ｂ−８４２Ｎ、Ｂ−８４６Ｎ、Ｂ−８７０Ｎ、Ｂ−８７４Ｎ、Ｂ−８８２Ｎ（以上、三井化学（株）製）、デュラネート１７Ｂ−６０Ｐ、１７Ｂ−６０ＰＸ、１７Ｂ−６０Ｐ、ＴＰＡ−Ｂ８０Ｘ、ＴＰＡ−Ｂ８０Ｅ、ＭＦ−Ｂ６０Ｘ、ＭＦ−Ｂ６０Ｂ、ＭＦ−Ｋ６０Ｘ、ＭＦ−Ｋ６０Ｂ、Ｅ４０２−Ｂ８０Ｂ、ＳＢＮ−７０Ｄ、ＳＢＢ−７０Ｐ、Ｋ６０００（以上、旭化成ケミカルズ（株）製）、デスモジュールＢＬ１１００、ＢＬ１２６５ ＭＰＡ／Ｘ、ＢＬ３５７５／１、ＢＬ３２７２ＭＰＡ、ＢＬ３３７０ＭＰＡ、ＢＬ３４７５ＢＡ／ＳＮ、ＢＬ５３７５ＭＰＡ、ＶＰＬＳ２０７８／２、ＢＬ４２６５ＳＮ、ＰＬ３４０、ＰＬ３５０、スミジュールＢＬ３１７５（以上、住化バイエルウレタン（株）製）等を好ましく使用することができる。

本発明に用いられる感光性組成物におけるブロックイソシアネート化合物の含有量は、感光性組成物の全固形分に対し、０．１〜２０質量％であることが好ましく、０．５〜１０質量％であることがより好ましく、１〜５質量％であることが更に好ましい。
また、本発明に用いられる感光性組成物におけるブロックイソシアネート化合物の含有量は、感光性組成物の全有機固形分に対し、０．１〜２０質量％であることが好ましく、０．５〜１０質量％であることがより好ましく、１〜５質量％であることが更に好ましい。
成分Ｎの含有量が上記範囲内であると、信頼性に優れた硬化膜が得られるので、好ましい。

成分Ｋ：重合禁止剤
本発明に用いられる感光性組成物は、成分Ｋとして、重合禁止剤を含有することが好ましい。成分Ｋを含有することにより、漏れ光による重合反応が抑制され、現像性に優れる。重合禁止剤とは、露光や熱により重合開始剤から発生した重合開始ラジカル成分に対して水素供与（又は、水素授与）、エネルギー供与（又は、エネルギー授与）、電子供与（又は、電子授与）などを実施し、重合開始ラジカルを失活させ、重合開始を禁止する役割を果たす物質である。例えば、特開２００７−３３４３２２号公報の段落０１５４〜０１７３に記載の化合物などを用いることができる。

重合禁止剤の種類としては、硬調で、かつ、感度を下げないものが好ましく採用される。このような重合禁止剤としては、フェノチアジン、クロルプロマジン、レボメプロマジン、フルフェナジン、チオリダジン等のフェノチアジン誘導体、フェノキサジン、３，７−ビス（ジエチルアミノ）フェノキサジン−５−イウム・ペルクロラート、５−アミノ−９−（ジメチルアミノ）−１０−メチルベンゾ［ａ］フェノキサジン−７−イウム・クロリド、７−（ペンチルオキシ）−３Ｈ−フェノキサジン−３−オン、５，９−ジアミノベンゾ［ａ］フェノキサジン−７−イウム・アセタート、７−エトキシ−３Ｈ−フェノキサジン−３−オン等のフェノキサジン誘導体、トリ−ｐ−ニトロフェニルメチル、ジフェニルピクリルヒドラジル、カルビノキシル等の安定ラジカル、キノン、ベンゾキノン、クロロベンゾキノン、２，５−ジ−クロロベンゾキノン、２，６−ジ−クロロベンゾキノン、２，３−ジ−メチルベンゾキノン、２，５−ジ−メチルベンゾキノン、メトキシベンゾキノン、メチルベンゾキノン、テトラブロモベンゾキノン、テトラクロロベンゾキノン、テトラメチルベンゾキノン、トリクロロベンゾキノン、トリメチルベンゾキノン、アミルキノン、アミロキシヒドロキノン、２，５−ジ−ｔ−ブチルヒドロキノン、２，５−ジフェニル−ｐ−ベンゾキノン等のキノン類、α−ナフトール、２−ニトロ−１−ナフトール、β−ナフトール、１−ニトロ−２−ナフトール等のナフトール類、４−メトキシフェノール、４−エトキシフェノール、ヒドロキノン、フェノール、ｔ−ブチルカテコール、メチルヒドロキノン、ｎ−ブチルフェノール、ヒドロキノンモノプロピルエーテル、ｔ−ブチルクレゾール、ｐ−クレゾール、２，６−ジ−ｔ−ブチル−ｐ−クレゾール、カテコールレゾルシン、ｏ−ｔ−ブチルフェノール、２，６−ジ−ｐ−メトキシフェノール、２，６−ジ−ｔ−ブチルフェノール、２，４−ジ−ｔ−ブチルフェノール、３，５−ジ−ｔ−ブチルフェノール、３，５−ジ−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシ安息香酸、Ｎ，Ｎ’−ビス−３−（３’，５’−ジ−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシフェニル）プロピオニルヘキサメチレンジアミン、２，２’−メチレンビス（６−ｔ−ブチル−ｐ−クレゾール）、ｎ−オクタデシル−３−（４−ヒドロキシ−３’，５’−ジ−ｔ−ブチルフェニル）プロピオネート、ジステアリル（４−ヒドロキシ−３−メチル−５−ｔ−ブチル）ベンジルマロネート、２，４，６−トリ−ｔ−ブチルフェノール、１，６−ヘキサンジオール−ビス［３−（３，５−ジ−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシフェニル）プロピオネート］、トリエチレングリコール−ビス［３−（３−ｔ−ブチル−５−メチル−４−ヒドロキシフェニル）プロピオネート］、２，２−チオ−ジエチレン−ビス［３−（３，５−ジ−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシフェニル）プロピオネート］、３，９−ビス［１，１−ジメチル−２−［β−（３−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシ−５−メチルフェニル）プロピオニロキシエチル−２，４，８，１０−テトラオキサスピロ［５，５］ウンデカン、２，２’−エチリデン−ビス−（２，４−ジ−ｔ−ブチルフェノール）、１，１，３−トリス−（２−メチル−４−ヒドロキシ−５−ｔ−ブチルフェニルブタン、１，３，５−トリメチル−２，４，６−トリス（３，５−ジ−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシベンジル）ベンゼン、トリス（３，５−ジ−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシベンジル）イソシアネート、トリス［２−（３’，５’−ジ−ｔ−ブチル−４’−ヒドロキシヒドロ−シンナモイロキシル）エチル］イソシアネート、トリス（４−ｔ−ブチル−２，６−ジ−メチル−３−ヒドロキシベンジル）イソシアネート、テトラキス［メチレン−３−（３’，５’−ジ−ｔ−ブチル−４’−ヒドロキシフェニル）プロピオネート］−メタン等のフェノール類、２，４−ジニトロフェノール、ｏ−ニトロフェノール、ｍ−ニトロフェノール、ｐ−ニトロフェノール等のニトロフェノール類、没食子酸、没食子酸メチル、没食子酸プロピル、没食子酸イソアミル等の没食子酸類、メチレンブルー、マラカイトグリーン等の色素類、β−ナフチルアミン、Ｎ−ニトロソシクロヘキシルアミン塩、ジ−ｐ−フルオロフェニルアミン等のアミン類、ピロガロール、モノベンジルエーテル、ベンゾキノン、トリフェニルホスフィン、塩化第一銅、フェノチアジン、クロラニール、ピリジン、ニトロベンゼン、ジニトロベンゼン、ｐ−トルイジン、ピクリン酸、サリチル酸メチル等が挙げられる。

重合禁止剤として特に好ましくは、フェノチアジン、フェノキサジン、ヒンダードアミン及びこれらの誘導体から選択される少なくとも１種が例示される。
フェノチアジン及びその誘導体としては、フェノチアジン、ビス（α−メチルベンジル）フェノチアジン、３，７−ジオクチルフェノチアジン、ビス（α−ジメチルベンジル）フェノチアジンが例示され、フェノチアジンが好ましい。
フェノキサジン及びその誘導体としては、フェノキサジン、３，７−ビス（ジエチルアミノ）フェノキサジン−５−イウム・ペルクロラート、５−アミノ−９−（ジメチルアミノ）−１０−メチルベンゾ［ａ］フェノキサジン−７−イウム・クロリド、７−（ペンチルオキシ）−３Ｈ−フェノキサジン−３−オン、５，９−ジアミノベンゾ［ａ］フェノキサジン−７−イウム・アセタート、７−エトキシ−３Ｈ−フェノキサジン−３−オンが例示され、フェノキサジンが好ましい。
ヒンダードアミン及びその誘導体としては、ＣＨＩＭＡＳＳＯＲＢ ２０２０ ＦＤＬ、ＴＩＮＵＶＩＮ １４４、７６５、７７０（以上、ＢＡＳＦ社製）が例示され、ＴＩＮＵＶＩＮ １４４が好ましい。
本発明に用いられる感光性組成物における成分Ｋの含有量は、感光性組成物の全固形分に対し、０．０１〜０．５質量％の範囲が好ましく、０．１〜０．５質量％の範囲がより好ましい。重合禁止剤の配合量を調整することによって、感度を損なわずに解像性を向上させることができる。

成分Ｓ：アルコキシシラン化合物
本発明に用いられる感光性組成物は、成分Ｓとして、アルコキシシラン化合物を含有することが好ましい。アルコキシシラン化合物を用いると、本発明に用いられる感光性組成物により形成された膜と基板との密着性を向上できる。
アルコキシシラン化合物としては、アルコキシ基がケイ素原子に直接結合した基を少なくとも１つ有する化合物であれば、特に制限はないが、ジアルコキシシリル基及び／又はトリアルコキシシリル基を有する化合物であることが好ましく、トリアルコキシシリル基を有する化合物であることがより好ましい。
本発明に用いることができるアルコキシシラン化合物は、基材、例えば、シリコン、酸化シリコン、窒化シリコン等のシリコン化合物、金、銅、モリブデン、チタン、アルミニウム等の金属と硬化膜との密着性を向上させる化合物であることが好ましい。具体的には、公知のシランカップリング剤等も有効である。エチレン性不飽和結合を有するシランカップリング剤が好ましい。

シランカップリング剤としては、例えば、γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリアルコキシシラン、γ−グリシドキシプロピルジアルコキシシラン、γ−メタクリロキシプロピルトリアルコキシシラン、γ−メタクリロキシプロピルジアルコキシシラン、γ−クロロプロピルトリアルコキシシラン、γ−メルカプトプロピルトリアルコキシシラン、β−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリアルコキシシラン、ビニルトリアルコキシシランが挙げられる。これらのうち、γ−メタクリロキシプロピルトリアルコキシシラン、γ−アクリロキシプロピルトリアルコキシシラン、ビニルトリアルコキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリアコキシシランがより好ましい。これらは１種単独又は２種以上を組み合わせて使用することができる。
市販品としては、信越化学工業（株）製、ＫＢＭ−４０３やＫＢＭ−５１０３が例示される。

本発明に用いられる感光性組成物におけるアルコキシシラン化合物の含有量は、感光性組成物の全固形分対し、０．１〜３０質量％が好ましく、２〜２７質量％がより好ましく、３〜２４質量％が更に好ましい。アルコキシシラン化合物は、１種類のみ使用してもよいし、２種類以上含んでいてもよい。２種類以上含む場合、合計量が上記範囲となることが好ましい。

（その他の成分）
本発明に用いられる感光性組成物は、上述した成分に加え、その他の成分を含有していてもよい。その他の成分としては、エポキシ基を有する化合物、オキセタニル基を有する化合物が例示される。

＜エポキシ基を有する化合物、及び、オキセタニル基を有する化合物＞
本発明に用いられる感光性組成物は、エポキシ基を有する化合物、及び、オキセタニル基を有する化合物よりなる群から選ばれる少なくとも１種を含んでいてもよい。上記態様であると、得られる硬化物の硬度により優れる。

〔エポキシ基を有する化合物〕
本発明に用いられる感光性組成物は、エポキシ基を有する化合物を含んでいてもよい。エポキシ基を有する化合物は、エポキシ基を分子中に１個のみ有していてもよいが、２個以上有することが好ましい。
分子内に２個以上のエポキシ基を有する化合物の具体例としては、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、脂肪族エポキシ樹脂等を挙げることができる。

これらは市販品として入手できる。例えば、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂としては、ＪＥＲ８２７、ＪＥＲ８２８、ＪＥＲ８３４、ＪＥＲ１００１、ＪＥＲ１００２、ＪＥＲ１００３、ＪＥＲ１０５５、ＪＥＲ１００７、ＪＥＲ１００９、ＪＥＲ１０１０（以上、ジャパンエポキシレジン（株）製）、ＥＰＩＣＬＯＮ８６０、ＥＰＩＣＬＯＮ１０５０、ＥＰＩＣＬＯＮ１０５１、ＥＰＩＣＬＯＮ１０５５（以上、ＤＩＣ（株）製）等であり、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂としては、ＪＥＲ８０６、ＪＥＲ８０７、ＪＥＲ４００４、ＪＥＲ４００５、ＪＥＲ４００７、ＪＥＲ４０１０（以上、ジャパンエポキシレジン（株）製）、ＥＰＩＣＬＯＮ８３０、ＥＰＩＣＬＯＮ８３５（以上、ＤＩＣ（株）製）、ＬＣＥ−２１、ＲＥ−６０２Ｓ（以上、日本化薬（株）製）等であり、フェノールノボラック型エポキシ樹脂としては、ＪＥＲ１５２、ＪＥＲ１５４、ＪＥＲ１５７Ｓ７０、ＪＥＲ１５７Ｓ６５（以上、ジャパンエポキシレジン（株）製）、ＥＰＩＣＬＯＮ Ｎ−７４０、ＥＰＩＣＬＯＮ Ｎ−７４０、ＥＰＩＣＬＯＮ Ｎ−７７０、ＥＰＩＣＬＯＮ Ｎ−７７５（以上、ＤＩＣ（株）製）等であり、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂としては、ＥＰＩＣＬＯＮ Ｎ−６６０、ＥＰＩＣＬＯＮ Ｎ−６６５、ＥＰＩＣＬＯＮ Ｎ−６７０、ＥＰＩＣＬＯＮ Ｎ−６７３、ＥＰＩＣＬＯＮ Ｎ−６８０、ＥＰＩＣＬＯＮ
Ｎ−６９０、ＥＰＩＣＬＯＮ Ｎ−６９５（以上、ＤＩＣ（株）製）、ＥＯＣＮ−１０２０（以上、日本化薬（株）製）等であり、脂肪族エポキシ樹脂としては、ＡＤＥＫＡ ＲＥＳＩＮ ＥＰ−４０８０Ｓ、同ＥＰ−４０８５Ｓ、同ＥＰ−４０８８Ｓ（以上、（株）ＡＤＥＫＡ製）、セロキサイド２０２１Ｐ、セロキサイド２０８１、セロキサイド２０８３、セロキサイド２０８５、ＥＨＰＥ３１５０、ＥＰＯＬＥＡＤ ＰＢ ３６００、同ＰＢ ４７００（以上、ダイセル化学工業（株）製）等である。その他にも、ＡＤＥＫＡ
ＲＥＳＩＮ ＥＰ−４０００Ｓ、同ＥＰ−４００３Ｓ、同ＥＰ−４０１０Ｓ、同ＥＰ−４０１１Ｓ（以上、（株）ＡＤＥＫＡ製）、ＮＣ−２０００、ＮＣ−３０００、ＮＣ−７３００、ＸＤ−１０００、ＥＰＰＮ−５０１、ＥＰＰＮ−５０２（以上、（株）ＡＤＥＫＡ製）等が挙げられる。
また、特公昭５８−４９８６０号公報、特公昭５６−１７６５４号公報、特公昭６２−３９４１７号公報、特公昭６２−３９４１８号公報に記載のエチレンオキサイド骨格を有するウレタン化合物類も好適に用いることができ、これらの内容は本願明細書に組み込まれる。

本発明に用いられる感光性組成物は、エポキシ基を有する化合物を含む場合、組成物の全固形分の０．１〜２０質量％の範囲で含むことが好ましく、０．５〜１０質量％の範囲で含むことがより好ましく、１〜５質量％の範囲で含むことが更に好ましい。
本発明に用いられる感光性組成物は、エポキシ基を有する化合物を１種類のみ含んでいてもよいし、２種類以上含んでいてもよい。２種類以上含む場合は、合計量が上記範囲となることが好ましい。

〔オキセタニル基を有する化合物〕
本発明に用いられる感光性組成物は、オキセタニル基を有する化合物を含んでいてもよい。オキセタニル基を有する化合物は、オキセタニル基を分子中に１個のみ有していてもよいが、２個以上有することが好ましい。

オキセタニル基を有する化合物の具体例としては、アロンオキセタンＯＸＴ−１２１、ＯＸＴ−２２１、ＯＸ−ＳＱ、ＰＮＯＸ（以上、東亞合成（株）製）を用いることができる。
また、オキセタニル基を含む化合物は、単独で又はエポキシ基を含む化合物と混合して使用することが好ましい。

本発明に用いられる感光性組成物は、オキセタニル基を有する化合物を含む場合、組成物の全固形分の０．１〜２０質量％の範囲で含むことが好ましく、０．５〜１０質量％の範囲で含むことがより好ましく、１〜５質量％の範囲で含むことが更に好ましい。
本発明に用いられる感光性組成物は、オキセタニル基を有する化合物を１種類のみ含んでいてもよいし、２種類以上含んでいてもよい。２種類以上含む場合は、合計量が上記範囲となることが好ましい。

本発明に用いられる感光性組成物には、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で上記以外の他の化合物（例えば、アルコキシメチル基含有化合物等）を含んでいてもよい。アルコキシメチル基含有化合物としては、特開２０１１−２２１４９４号公報の段落０１９２〜０１９４に記載のものを挙げることができる。

＜酸化防止剤＞
本発明に用いられる感光性組成物は、上記の成分の他に、酸化防止剤を含有してもよい。なお、酸化防止剤は、上述した成分Ｋ以外の化合物である。酸化防止剤としては、公知の酸化防止剤を含有することができる。酸化防止剤を添加することにより、硬化膜の着色を防止できる、又は、分解による膜厚減少を低減でき、また、耐熱透明性に優れるという利点がある。
このような酸化防止剤としては、例えば、リン系酸化防止剤、アミド類、ヒドラジド類、ヒンダードフェノール系酸化防止剤、アスコルビン酸類、硫酸亜鉛、糖類、亜硝酸塩、亜硫酸塩、チオ硫酸塩、ヒドロキシルアミン誘導体などを挙げることができる。これらの中では、硬化膜の着色、膜厚減少の観点から特にヒンダードフェノール系酸化防止剤、リン系酸化防止剤が好ましく、ヒンダードフェノール系酸化防止剤が最も好ましい。これらは１種単独で用いてもよいし、２種以上を混合してもよい。
好ましい市販品として、アデカスタブＡＯ−６０、アデカスタブＡＯ−８０（以上、（株）ＡＤＥＫＡ製）、イルガノックス１０９８（以上、ＢＡＳＦ社製）を挙げることができる。
酸化防止剤の含有量は、特に制限はないが、感光性組成物の全固形分に対して、０．１〜１０質量％であることが好ましく、０．２〜５質量％であることがより好ましく、０．５〜４質量％であることが更に好ましい。

＜バインダーポリマー＞
本発明に用いられる感光性組成物は、解像性及び皮膜特性向上などの観点から、バインダーポリマーを含有していてもよい。
バインダーポリマーとしては、特に制限はなく、公知のものを用いることができるが、線状有機ポリマーを用いることが好ましい。このような線状有機ポリマーとしては、公知のものを任意に使用できる。好ましくは水現像あるいは弱アルカリ水現像を可能とするために、水あるいは弱アルカリ水に可溶性又は膨潤性である線状有機ポリマーが選択される。線状有機ポリマーは、皮膜形成剤としてだけでなく、水、弱アルカリ水あるいは有機溶剤現像剤としての用途に応じて選択使用される。例えば、水可溶性有機ポリマーを用いると水現像が可能になる。このような線状有機ポリマーとしては、側鎖にカルボン酸基を有するラジカル重合体、例えば特開昭５９−４４６１５号公報、特公昭５４−３４３２７号公報、特公昭５８−１２５７７号公報、特公昭５４−２５９５７号公報、特開昭５４−９２７２３号公報公報、特開昭５９−５３８３６号公報、特開昭５９−７１０４８号公報に記載されているもの、すなわち、カルボキシル基を有するモノマーを単独あるいは共重合させた樹脂、酸無水物を有するモノマーを単独あるいは共重合させ酸無水物ユニットを加水分解若しくはハーフエステル化若しくはハーフアミド化させた樹脂、エポキシ樹脂を不飽和モノカルボン酸及び酸無水物で変性させたエポキシアクリレート等が挙げられる。カルボキシル基を有するモノマーとしては、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、クロトン酸、マレイン酸、フマル酸、４−カルボキシルスチレン等が挙げられ、酸無水物を有するモノマーとしては、無水マレイン酸等が挙げられる。
中でも側鎖に酸基を有するアクリル樹脂が好ましい。なお、アクリル樹脂とは（メタ）アクリル酸エステルモノマー又はビニルモノマーを共重合したポリマーであり、スチレン等のメタアクリル酸エステル以外の構成単位が２０モル％以下含有してもよい。酸基としてはカルボン酸又はフェノールが好ましい。酸基を導入するためのモノマーとしては、（メタ）アクリル酸が好ましい。
また、同様に側鎖にカルボン酸基を有する酸性セルロース誘導体がある。この他に水酸基を有する重合体に環状酸無水物を付加させたものなどが有用である。
本発明に用いられる感光性組成物中におけるバインダーポリマーの含有量は、特に制限はないが、感光性組成物の全固形分に対して、０〜４０質量％であることが好ましく、０〜３０質量％であることがより好ましく、０〜２０質量％であることが更に好ましく、０〜１０質量％であることが特に好ましく、０〜５質量％であることが最も好ましい。

本発明に用いられる感光性組成物は、重量平均分子量が、１０，０００を超えるポリマー成分の含有量が、感光性組成物の全固形分に対して０〜４０質量％であることが好ましく、０〜３０質量％であることがより好ましく、０〜２０質量％であることが更に好ましく、０〜１０質量％であることが特に好ましく、０〜５質量％であることが最も好ましい。
ポリマー成分の含有量が上記範囲内であると、現像性及び硬化性に優れる。

〔その他の成分〕
本発明に用いられる感光性組成物には、必要に応じて、上述した以外にも、可塑剤、熱酸発生剤、酸増殖剤等のその他の成分を添加することができる。これらの成分については、例えば、特開２００９−９８６１６号公報、特開２００９−２４４８０１号公報に記載のもの、その他公知のものを用いることができる。また、“高分子添加剤の新展開（（株）日刊工業新聞社）”に記載の各種紫外線吸収剤や、金属不活性化剤等を本発明に用いられる感光性組成物に添加してもよい。

（表示パネル基板）
本発明の表示パネル基板は、本発明の表示パネル基板の製造方法により製造されたことを特徴とする。
本発明の表示パネル基板には、液晶表示装置、及び、有機ＥＬ表示装置が含まれる。

（タッチパネル表示装置）
本発明のタッチパネル表示装置は、本発明の表示パネル基板を備えることを特徴とする。本発明のタッチパネルとしては、抵抗膜方式、静電容量方式、超音波方式、電磁誘導方式など公知の方式いずれでもよい。中でも、静電容量方式が好ましい。
静電容量方式のタッチパネルとしては、特開２０１０−２８１１５号公報に開示されるものや、国際公開第２０１２／０５７１６５号に開示されるものが挙げられる。この他のタッチパネルとしては、いわゆる、インセル型（例えば、特表２０１２−５１７０５１号公報の図５、図６、図７、図８）、いわゆる、オンセル型（例えば、特開２０１３−１６８１２５の図１９、ＯＧＳ型、ＴＯＬ型、その他の構成（例えば、特開２０１３−１６４８７１号公報の図６）を挙げることができる。

また、図４は、タッチパネルの機能を有する液晶表示装置の一例の構成概念図を示す。
なお、タッチパネルの検出電極としては、銀、銅、アルミニウム、チタン、モリブデン、これらの合金であることが好ましい。
図４において、１１０は画素基板を、１４０は液晶層を、１２０は対向基板を、１３０はセンサ部をそれぞれ示している。画素基板１１０は、図４の下側から順に、偏光板１１１、透明基板１１２、共通電極１１３、絶縁層１１４、画素電極１１５、配向膜１１６を有している。対向基板１２０は、図３の下側から順に、配向膜１２１、カラーフィルタ１２２、透明基板１２３を有している。センサ部１３０は、位相差フィルム１２４、保護層１２６、接着層１２７、偏光板１２８をそれぞれ有している。また、図４中、１２５は、センサ用検出電極である。
本発明の液晶パネル基板の製造方法において硬化された感光性組成物は、保護層１２６として使用される。

更に、スタティック駆動方式の液晶表示装置でも、本発明を適用することで意匠性の高いパターンを表示させることも可能である。例として、特開２００１−１２５０８６号公報に記載されているようなポリマーネットワーク型液晶の絶縁膜として本発明を適用することができる。

また、図５は、タッチパネルの機能を有する液晶表示装置の他の一例の構成概念図である。
薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）４４０が具備された薄膜トランジスタ表示板に相当する下部表示板２００、下部表示板２００と対向して下部表示板２００と対向する面に複数のカラーフィルタ３３０が具備されたカラーフィルタ表示板に相当する上部表示板３００、及び下部表示板２００と上部表示板３００の間に形成された液晶層４００を含む。液晶層４００は液晶分子（図示せず）を含む。

下部表示板２００は、第１絶縁基板２１０、第１絶縁基板２１０の上に配置する薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）、薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）の上面に形成された絶縁膜２８０、及び絶縁膜２８０の上に配置する画素電極２９０を含む。薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）は、ゲート電極２２０、ゲート電極２２０を覆うゲート絶縁膜２４０、半導体層２５０、オーミックコンタクト層２６０、２６２、ソース電極２７０、及び、ドレイン電極２７２を含むことができる。
絶縁膜２８０には薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）のドレイン電極２７２が露出するようにコンタクトホール２８２が形成されている。

上部表示板３００は、第２絶縁基板３１０の一面の上に配置して、マトリックス状に配列された遮光部材３２０、第２絶縁基板３１０の上に配置する配向膜３５０、配向膜の上に配置するカラーフィルタ３３０、及び、カラーフィルタ３３０の上に配置し、下部表示板２００の画素電極２９０と対応して、液晶層４００に電圧を印加する共通電極３７０を含む。

図４に示す液晶表示装置において、第２絶縁基板３１０の他の一面にはセンシング電極４１０、保護層膜４２０、駆動電極４３０、及び、保護膜２８０を配置する。このように、図４に示す液晶表示装置の製造においては、上部表示板３００を形成する時に、タッチスクリーンの構成要素であるセンシング電極４１０、保護層４２０、及び、駆動電極４３０などを共に形成することができる。
本発明の液晶パネル基板の製造方法において硬化された感光性組成物は、保護層４２０として使用される。

その他、本発明のタッチパネル表示装置としては、特開２０１２−２３０６５７号公報に記載の、いわゆるインオンセル型のタッチパネルの製造方法において、本発明の表示パネル基板を本文中のタッチ検出機能付き表示デバイスとして用いた態様や、特開２０１３−１６８１２５号公報に記載の、いわゆるオンセル型のタッチパネルの製造方法において、本発明の表示パネル基板を、本文中の液晶表示装置として用いた態様が好ましく挙げられる。

以下に実施例を挙げて本発明を更に具体的に説明する。以下の実施例に示す材料、使用量、割合、処理内容、処理手順等は、本発明の趣旨を逸脱しない限り、適宜、変更することができる。従って、本発明の範囲は以下に示す具体例に限定されるものではない。なお、特に断りのない限り、「部」、「％」は質量基準である。

実施例及び比較例で使用した各成分は、以下の通りである。
（成分Ａ）
Ａ−１：５官能以上のウレタンアクリレート（Ｕ−１５ＨＡ、新中村化学工業（株）製）
Ａ−２：ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（ＤＰＨＡ、日本化薬（株）製）
Ａ−３：ペンタエリスリトールテトラアクリレート（Ａ−ＴＭＭＴ、新中村化学工業（株）製）

（成分Ｂ）
Ｂ−１：化合物１（合成品、下記参照）、オキシムエステル化合物
Ｂ−２：ＩＲＧＡＣＵＲＥ ＯＸＥ０２（ＢＡＳＦ社製）、オキシムエステル化合物、下記構造

（成分Ｃ）
Ｃ−１：ＰＭＡ−ＳＴ（日産化学工業（株）製）、シリカ粒子、平均粒径１０〜１５ｎｍ
Ｃ−２：ＭＩＢＫ−ＳＴ−Ｌ（日産化学工業（株）製）、シリカ粒子、平均粒径４０〜５０ｎｍ
Ｃ−３：ＳＸ８６６、（ＪＳＲ（株）製）、スチレン−アクリル中空粒子（粉体）

（成分Ｄ）
Ｄ−１：ハイソルブＥＤＭ（東邦化学工業（株）製）、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル
Ｄ−２：ＰＧＭＥＡ（ダイセル化学工業（株）製）、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート

（成分Ｅ）
Ｅ−１：メガファックＦ５５４（（株）ＤＩＣ製）、フッ素系界面活性剤

（バインダーポリマー）
Ｆ−１：ベンジルメタクリレート（ＢｚＭＡ）／メタクリル酸（ＭＡＡ）共重合体のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート４５％溶液（ＢＺＭＡ：ＭＡＡ（質量比）＝７０：３０、重量平均分子量＝３０，０００）（藤倉化成（株）製）

＜化合物１（Ｂ−１）の合成＞
〔化合物Ａの合成〕
エチルカルバゾール（１００．０ｇ、０．５１２ｍｏｌ）をクロロベンゼン２６０ｍｌに溶解し、０℃に冷却後、塩化アルミニウム（７０．３ｇ、０．５２７ｍｏｌ）を加えた。続いてｏ−トルオイルクロリド（８１．５ｇ、０．５２７ｍｏｌ）を４０分かけて滴下し、室温（２５℃、以下同様）に昇温して３時間撹拌した。次に、０℃に冷却後、塩化アルミニウム（７５．１ｇ、０．５６３ｍｏｌ）を加えた。４−クロロブチリルクロリド（７９．４ｇ、０．５６３ｍｏｌ）を４０分かけて滴下し、室温に昇温して３時間撹拌した。３５質量％塩酸水溶液１５６ｍｌと蒸留水３９２ｍｌとの混合溶液を０℃に冷却し、反応溶液を滴下した。析出した固体を吸引濾過後、蒸留水とメタノールとで洗浄し、アセトニトリルで再結晶後、下記構造の化合物Ａ（収量１６４．４ｇ、収率７７％）を得た。

〔化合物Ｂの合成〕
上記で得られた化合物Ａ（２０．０ｇ、４７．９ｍｍｏｌ）をテトラヒドロフラン（ＴＨＦ）６４ｍｌに溶解し、４−クロロベンゼンチオール（７．２７ｇ、５０．２ｍｍｏｌ）とヨウ化ナトリウム（０．７ｇ、４．７９ｍｍｏｌ）とを加えた。続いて反応液に水酸化ナトリウム（２．０ｇ、５０．２ｍｍｏｌ）を加え、２時間還流した。次に、０℃に冷却後、ＳＭ−２８（１１．１ｇ、５７．４ｍｍｏｌ、ナトリウムメトキシド２８％メタノール溶液、和光純薬工業（株）製）を２０分かけて滴下し、室温に昇温して２時間撹拌した。次に、０℃に冷却後、亜硝酸イソペンチル（６．７３ｇ、５７．４ｍｍｏｌ）を２０分かけて滴下し、室温に昇温して３時間撹拌した。反応液をアセトン１２０ｍｌに希釈し、０℃に冷却した０．１Ｎ塩酸水溶液に滴下した。析出した固体を吸引濾過後、蒸留水で洗浄した。続いてアセトニトリルで再結晶し、下記構造の化合物Ｂ（収量１７．０ｇ、収率６４％）を得た。

〔化合物１の合成〕
化合物Ｂ（１８．０ｇ、３２．４ｍｍｏｌ）を９０ｍｌのＮ−メチルピロリドン（ＮＭＰ）に溶解し、トリエチルアミン（Ｅｔ₃Ｎ、３．９４ｇ、３８．９ｍｍｏｌ）を加えた。次に、０℃に冷却後、アセチルクロライド（ＡｃＣｌ、３．０５ｇ、３８．９ｍｍｏｌ）を２０分かけて滴下後、室温に昇温して２時間撹拌した。反応液を０℃に冷却した蒸留水１５０ｍｌに滴下し、析出した固体を吸引濾過後、０℃に冷却したイソプロピルアルコール２００ｍｌで洗浄し、乾燥後、化合物１（収量１９．５ｇ、収率９９％）を得た。

また、得られた化合物１の構造はＮＭＲにて同定した。
¹Ｈ−ＮＭＲ（４００ＭＨｚ，ＣＤＣｌ₃）：δ＝８．８６（ｓ，１Ｈ），８．６０（ｓ，１Ｈ），８．３１（ｄ，１Ｈ，Ｊ＝８．０Ｈｚ），８．８１（ｄ，１Ｈ，Ｊ＝８．０Ｈｚ），７．５１−７．２４（ｍ，１０Ｈ），７．３６（ｑ，２Ｈ，７．４Ｈｚ），３．２４−３．１３（ｍ，４Ｈ），２．３６（ｓ，３Ｈ），２．２１（ｓ，３Ｈ），１．５０（ｔ，３Ｈ，７．４Ｈｚ）。

（実施例１〜１１、及び、比較例１〜７）
＜感光性組成物の調製＞
下記表１に記載のように各成分を配合・撹拌して有機溶剤の溶液及び／又は分散液とし、孔径０．３μｍのポリテトラフルオロエチレン製フィルターで濾過して、本発明の感光性組成物を得た。下記表の各成分の単位は、固形分濃度を除き、質量部である。また、表中の「−」は、その成分が含まれていないことを示す。

＜塗布膜厚均一性の評価＞
（実施例１〜１１及び比較例１〜７）
液晶封入、貼り合わせ、スリミング処理、表面へＩＴＯスパッタリング後、タッチ検出電極のパターニングまで完了した液晶セルマザー基板（基板サイズＧ５）を用意した。液晶セルマザー基板上へ本感光性組成物をスリットコーター（東京応化工業（株）製スリットコーター）を使用して塗布、ホットプレートにて９０℃／１２０秒プリベークして溶剤を揮発させ、膜厚２．２μｍの感光性組成物の溶剤除去後の膜を得た。次に高圧水銀灯により５００ｍＪ／ｃｍ^２（ｉ線換算）の光照射を行い、更にオーブンで１２０℃、６０分間ベークを行うことにより表面に保護膜を備える表示パネル基板を作成した。表示パネル作成後にパネルを切り出し、各測定を行った。
なお、タッチ検出電極の膜厚は、下記のように測定した。タッチ検出電極パターンニングまで完了した上記液晶セルマザー基板上について、ＥＴ２００（（株）小坂研究所製 段差／膜厚計）を用いて、触針式により、上記タッチ検出電極配線の高さを測定した。得られたガラス面からタッチ検出電極表面との高さの差をタッチ検出電極膜厚とした。

（実施例１２〜１４）
基板の素材及び厚みを表に記載の内容とした以外は全て実施例２と同様の処理を行った。表中の基板素材、ＰＣはポリカーボネート、ＰＩはポリイミド、ＰＥＴはポリエチレンテレフタラートを意味する。

（実施例１５）
タッチ検出電極の厚みを５１ｎｍとしたこと以外は実施例２と同様の処理を行った。

（実施例１６）
タッチ検出電極の厚みを１５３ｎｍとしたこと以外は実施例２と同様の処理を行った。

（実施例１７）
タッチ検出電極の材料を銅とし、厚みを１５３ｎｍとしたこと以外は実施例２と同様の処理を行った。

（実施例１８）
感光性組成物の溶剤除去後の膜厚を３．０μｍとしたこと以外は実施例２と同様の処理を行った。

（実施例１９）
感光性組成物の溶剤除去後の膜厚を１．８μｍとしたこと以外は実施例２と同様の処理を行った。

〔微細凹凸平坦化性評価〕
得られた表示パネル基板上の保護膜について、ＥＴ２００（（株）小坂研究所製 段差／膜厚計）を用いてＩＴＯ配線上とＩＴＯ配線が無い部分の高低差を測定した。１、２が実用範囲である。
１ 塗膜上段差 １０ｎｍ未満
２ 塗膜上段差 １０ｎｍ以上 ２０ｎｍ未満
３ 塗膜上段差 ２０ｎｍ以上 ３０ｎｍ未満
４ 塗膜上段差 ３０ｎｍ以上 ４０ｎｍ未満
５ 塗膜上段差 ４０ｎｍ以上

〔基板追従性評価〕
得られた表示パネル基板上の保護膜の膜厚分布（配線無し部分）を、ＥＴ２００（（株）小坂研究所製 段差／膜厚計）を用いて測定し、（最大値−最小値）／平均値を算出することで、基板上塗膜の膜厚均一性を測定した。１、２が実用範囲である。
１ 膜厚分布 ２％未満
２ 膜厚分布 ３％未満
３ 膜厚分布 ４％未満
４ 膜厚分布 ５％未満
５ 膜厚分布 ５％以上

〔鉛筆硬度の評価〕
上記で調製された各硬化性組成物を、ガラス基板（１００ｍｍ×１００ｍｍ）上にスピンコートし、９０℃、１２０秒のプリベークを行い、膜厚２．０μｍの塗布膜を得た。次に高圧水銀灯により５００ｍＪ／ｃｍ²（ｉ線換算）の光照射を行い、更にオーブンで１２０℃、６０分間ベークを行うことにより硬化膜を作製した。
得られた硬化膜に対して、ＪＩＳ Ｋ５６００に準拠した方法（荷重７５０ｇ）で鉛筆硬度試験を行い、膜強度を評価した。２Ｈ以上が実用範囲である。

上記表２から明らかなとおり、本発明の表示パネル基板の製造方法によれば、保護膜の微細凹凸平坦化性、基板追従性、及び、鉛筆硬度に優れた表示パネル基板を製造することができた。

（タッチパネル表示装置の作製）
本発明の各実施例で得られた表示パネル基板を用い、タッチパネル表示装置を作成した。表示装置のその他の部分は、特開２０１３−１６４８７１号公報に図６として記載された製造方法に従って作製した。作製した表示装置は、表示性能、タッチ検出性能とも優れていた。

１：ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）、２：配線、３：絶縁膜、４：平坦化膜、５：第一電極、６：ガラス基板、７：コンタクトホール、８：絶縁膜、１０：液晶表示装置、１２：バックライトユニット、１４，１５：ガラス基板、１６：ＴＦＴ、１７：硬化膜、１８：コンタクトホール、１９：ＩＴＯ透明電極、２０：液晶、２２：カラーフィルタ、３０：タッチ検出電極、３２：保護層、３４：ガラス基板、３６：微細な凹凸、１１０：画素基板、１１１：偏光板、１１２：透明基板、１１３：共通電極、１１４：絶縁層、１１５：画素電極、１１６：配向膜、１２０：対向基板、１２１：配向膜、１２２：カラーフィルタ、１２３：透明基板、１２４：位相差フィルム、１２５：センサ用検出電極、１２６：保護層、１２７：接着層、１２８：偏光板、１３０：センサ部、１４０：液晶層、２００：下部表示板、２１０：第１絶縁基板、２２０：ゲート電極、２４０：ゲート絶縁膜、２５０：半導体層、２６０，２６２：オーミックコンタクト層、２７０：ソース電極、２７２：ドレイン電極、２８０：絶縁膜、２８２：コンタクトホール、２９０：画像電極、３００：上部表示板、３１０：第２絶縁基板、３２０：遮光部材、３３０：カラーフィルタ、３５０：配向膜、３７０：共通電極、４００：液晶層、４１０：センシング電極、４２０：保護層、４３０：駆動電極、４４０：ＴＦＴ

Claims (6)

1. 工程１として、感光性組成物を、表示パネルのタッチ検出電極を備える面に塗布する塗布工程と、
   工程２として、塗布された感光性組成物から溶剤を除去する溶剤除去工程と、
   工程３として、溶剤が除去された感光性組成物を光及び／又は熱により硬化する硬化工程とをこの順で含み、
   前記感光性組成物が、成分Ａとして、５官能以上の（メタ）アクリレート化合物、成分Ｂとして、光重合開始剤、成分Ｃとして、有機又は無機粒子、及び、成分Ｄとして、溶剤、を含有し、成分Ａの含有量が、感光性組成物中の成分Ｃ以外の全固形分量に対して５０〜９８質量％であり、感光性組成物の粘度が３〜３０ｍＰａ・ｓであり、感光性組成物の表面張力が２０〜３０ｍＮ／ｍであり、感光性組成物の全量に対する固形分量が１０〜５０質量％であり、
   前記表示パネルが、少なくとも一つの面にタッチ検出電極を備え、タッチ検出電極のある面の少なくとも一部に厚さ０．３ｍｍ以下のガラス基板又は厚さ１．０ｍｍ以下の樹脂基板を備え、前記タッチ検出電極の厚みが３０ｎｍ以上であることを特徴とする
   表示パネル基板の製造方法。
2. 前記感光性組成物が、成分Ｅとして、界面活性剤を更に含有する、請求項１に記載の表示パネル基板の製造方法。
3. 塗布工程において、表示パネルを吸着により固定する、請求項１又は２に記載の表示パネル基板の製造方法。
4. 前記タッチ検出電極のある面の少なくとも一部に備える基板がガラス基板であり、前記塗布工程の前に、ガラス基板を研磨するスリミング工程を更に含む、請求項１〜３のいずれか１項に記載の表示パネル基板の製造方法。
5. 請求項１〜４のいずれか１項に記載の表示パネル基板の製造方法により製造された、表示パネル基板。
6. 請求項５に記載の表示パネル基板を備えるタッチパネル表示装置。

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