JP2016070892A - 静電容量センサ及び静電チャック - Google Patents

Abstract

【課題】ワークの高さ方向のずれがあっても正確にワークの位置を測定することができ、しかも、センサの部品点数が少なく且つセンサの構造も簡易な静電容量センサ１−１及び静電チャックを提供する。
【解決手段】静電容量センサ１−３は、基板１０上の第１電極２及び６対の第２電極対３−１〜３−６と、ワークＷを含む各第２電極３Ａ（３Ｂ）と第１電極２との間の静電容量値を検出するための静電容量検出器４と、この静電容量検出器４と１２枚の第２電極３Ａ（３Ｂ）とを切換接続可能なスイッチ６と、交流の電源５とを備える。第２電極対３−１〜３−６を、図右方向に沿って量ｂだけずらし、全ての電極片３１〜３３が図上下方向で一致しないように並べた。ずれ量ｂを第２電極３Ａ（３Ｂ）における電極片３１〜３３の繰り返し間隔ａの１２分の１に設定した。
【選択図】図１１

Description

この発明は、ワークの位置を検出するための静電容量センサ及び静電チャックに関するものである。

一般に、この種の静電容量センサは、図１７に示すように、平面上に並設された第１電極１０１と第２電極１０２とを基板等の平面上に並設した構成になっている。
これにより、二点鎖線で示すワークＷが、第１電極１０１を覆った状態で第２電極１０２上を原点０から距離ｘだけ右側にずれたときには、ワークＷを含む第１電極１０１と第２電極１０２との間の静電容量値Ｃを検出することで、ワークＷの原点からの距離ｘを判断することができる。
具体的には、図１８に示すように、ワークＷのワークエッジＷａ（図１７参照）の原点０からの距離ｘとそのときの静電容量値Ｃとの相関関係を予め測定しておく。そして、実際の搬送作業時等において検出した第１電極１０１と第２電極１０２との間の静電容量値Ｃが、例えばＣ２であれば、図１８に示す相関図から、ワークＷのワークエッジＷａが距離ｘ２だけ、原点０からずれていると判断する。

特開平０８−３３５６２２号公報

しかし、上記した従来の静電容量センサでは、図１９に示すように、ワークＷを、基準高さｈで、第１電極１０１及び第２電極１０２の上を水平に動かして、図１８で示す相関関係を測定している。
したがって、ワークＷが、反り変形や歪み等、種々の原因によって、基準高さｈよりも高く又は低く位置している場合には、図１８に示す相関関係を用いて、ワークエッジＷａの位置ｘを判断すると、大きな誤差が生じてしまう。
例えば、図１９の二点鎖線で示すように、ワークＷが基準高さｈよりも高いｈ２の位置にあり、且つワークエッジＷａが距離ｘ２に達していたとする。この場合、検出される静電容量値Ｃは、ワークＷが基準高さｈにある場合に検出される静電容量値Ｃ２よりも小さい値Ｃ１になる。このため、図１８の相関関係でワークＷの位置を判断するユーザは、ワークエッジＷａが、実際には距離ｘ２に達しているにもかかわらず、手前の距離ｘ１に位置していると判断し、ワークエッジＷａの原点０から距離を誤認してしまう。

そこで、このような高さ方向のずれを考慮して、ワークＷの位置を正確に測定することができる静電容量センサが提案されている（例えば、特許文献１参照）
しかしながら、このような静電容量センサは、ワークＷの高さ方向へのずれ量を測定し、高さ方向のずれ量を補正する特別な装置が必要となる。このため、センサの部品点数が多くなると共にセンサの構造も複雑なものになり、製造工程数や製造コストの増大を招くという問題がある。

この発明は、上述した課題を解決するためになされたもので、ワークの高さ方向のずれがあっても正確にワークの位置を測定することができ、しかも、センサの部品点数が少なく且つセンサの構造も簡易な静電容量センサ及び静電チャックを提供することを目的とする。

上記課題を解決するために、請求項１の発明は、平面上に並設された第１電極と第２電極と、これら第１電極と第２電極との間の静電容量値を検出可能な静電容量検出器とを備え、平面視において、ワークが第１電極を覆い且つワークエッジが第２電極上に位置したときに、静電容量検出器が検出した静電容量値に基づいて、予め設定された原点からワークエッジ迄の距離を検出するための静電容量センサであって、第２電極を、第１電極と第２電極との並び方向である第１方向に等間隔で並べられた複数の所定幅の電極片とこれら複数の電極片を直列に接続した配線とで形成した構成とする。
かかる構成により、平面視において、ワークが第１電極を覆い且つワークエッジが第２電極上に位置すると、静電容量検出器によって、ワークを含む第１電極と各第２電極との間の静電容量値を検出することができる。そして、静電容量検出器で検出した静電容量値に基づき、予め設定された原点からワークエッジ迄の距離を検出することができる。
すなわち、第２電極が、第１方向に等間隔で並べられた複数の所定幅の電極片とこれら複数の電極片を直列に接続した配線とで形成されているので、ワークエッジを第１方向に移動させると、静電容量検出器で検出される静電容量値は、階段状に変化する。
例えば、第２電極の電極片のうち、第１電極に最も近い電極片上の任意の位置を原点として、ワークエッジを基準高さで原点から第１方向に移動させていき、静電容量検出器によって、原点からワークエッジ迄の距離と静電容量値とを検出すると、ワークエッジが第１電極に最も近い先端の電極片上を移動しているときには、静電容量値が、ワークエッジの移動距離に対応して増加する。そして、静電容量値は、ワークエッジが当該先端電極片を通過した後、次の電極片に至る迄、ほぼ一定に保たれる。しかる後、ワークエッジが当該次の電極片上を移動すると、静電容量値が増加し、当該次の電極片通過後の静電容量値はほぼ一定に保持される。以後同様に、ワークエッジが後ろの電極片を通過するごとに、静電容量値が、順次増加していく。つまり、ワークエッジを基準高さで原点から第１方向に移動させると、静電容量値は、電極片の幅に対応したステップ高さで階段状に変化することになる。
したがって、静電容量の閾値を、例えばステップ高さの中間値であるＣ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４，…，Ｃｎに設定し、この閾値Ｃ１，Ｃ２，…，Ｃａ，Ｃｂ，…，Ｃｎとワークエッジの原点からの距離ｘ１，ｘ２，…，ｘａ，ｘｂ，…，ｘｎとの相関関係を予め記録してはおくことができる。そして、実際の作業時には、ワークエッジを含む第１電極と第２電極との間の静電容量値を、静電容量検出器で検出し、その検出静電容量値がＣａ超えＣｂ以下であれば、ワークエッジの位置は原点からｘａ超えｘｂ以下の距離にあると判断することができる。
ところで、ワークが反り変形や歪み等によって、基準高さよりも高く又は低く位置した場合には、ワークエッジが原点から同じ距離に位置していても、ワークの静電容量値が、基準高さに位置させた場合の静電容量値よりも低く又は高くなっていまう。
しかし、この発明の静電容量センサでは、上記したように、検出した静電容量値が、例えば、閾値Ｃａ超えＣｂ以下であれば、ワークエッジが原点からｘａ超えｘｂ以下の距離にあると判断することができる構成であるので、ワークが基準高さから上下に多少ずれていても、その検出値は、閾値Ｃａ超えＣｂ以下に収まり、ワークエッジの原点からの距離判断に誤差は生じない。

請求項２の発明は、請求項１に記載の静電容量センサにおいて、第２電極の各電極片の幅を、配線の線幅よりも広く設定した構成とする。
第２電極の電極片の幅が広い程、Ｓ／Ｎ比が良くなり、センサ感度が上がる。また、電極片に接続された配線の線幅が狭い程、ワークエッジの位置検出時における計算誤差が少なくなる。したがって、第２電極の各電極片の幅を、配線の線幅よりも広く設定することで、高感度で誤差の少ない静電容量センサを作成することができる。

請求項３の発明は、請求項１又は請求項２に記載の静電容量センサにおいて、第２電極を、電極片を歯部とし且つ配線を背部とする櫛状に形成した構成とする。

請求項４の発明は、請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の静電容量センサにおいて、一の第２電極の電極片と他の第２電極の電極片とが、第１方向に沿って非接触状態で交互に並ぶように、これら一及び他の第２電極を組み合わせて、第２電極対を形成した構成とする。
かかる構成により、ワークエッジの原点からの距離を細かく判断することができる。
例えば、第１電極に近い一の第２電極上におけるワークエッジの位置検出が、原点からｘａ超えｘｂ以下の距離にあり、後ろの他の第２電極上におけるワークエッジの位置検出が原点からｘａ’超えｘｂ’以下の距離にあると判断された場合には、これらの距離範囲の共通範囲を採用し、ワークエッジは、ｘａ’超えｘａ以下の距離にあると判断することができる。
したがって、この発明のように、２つの第２電極を組み合わせて、静電容量センサを構成することにより、１つの第２電極のみで構成された静電容量センサに比べて、ワークエッジの位置検出の精度（分解能）をほぼ２倍にすることができる。

請求項５の発明は、請求項４に記載の静電容量センサにおいて、複数対の第２電極対を、第１方向と垂直な第２方向に沿って並設し、一の第２電極対の電極片が、他の第２電極対の電極片と第２方向で一致しないように、全ての第２電極対を第１方向に沿ってずらし、且つ、当該ずれ量を、第２電極対を構成する一の第２電極における電極片の繰り返し間隔の２分の１未満の量に設定した構成とする。
かかる構成により、各第２電極対によって、一の第２電極による分解能の２倍の分解能を得ることができ、複数対の第２電極対によって、さらに大きな分解能を得ることができる。この結果、この発明の静電容量センサは、一の第２電極による分解能のよりも遙かに大きな分解能を得ることができる。

請求項６の発明は、請求項５に記載の静電容量センサにおいて、ずれ量を、各第２電極対を構成する一の第２電極における電極片の繰り返し間隔を第２電極対の対数（ついすう）の２倍で除算した量に設定した構成とする。
かかる構成により、各第２電極対によって、一の第２電極による分解能の２倍の分解能を得ることができ、複数対の第２電極対によって、一対の第２電極対による分解能の対数倍の分解能を得ることができる。この結果、静電容量センサ全体として、一の第２電極による分解能の２倍の対数倍の分解能を得ることができる。
つまり、一の第２電極のみの静電容量センサでは、認識できる距離範囲は、一の第２電極における電極片の繰り返し間隔の距離単位であるので、ワークエッジの位置を離散的に粗く検出することになる。しかし、この発明の静電容量センサでは、（電極片の繰り返し間隔）／（第２電極対の対数の２倍）という微細な距離単位でワークエッジの位置を判断することができるので、ワークエッジの位置をほぼ連続的に細かく検出することができる。

請求項７の発明は、請求項４ないし請求項６のいずれかに記載の静電容量センサと、基材上に設けられ且つ静電気力でワークを吸着可能な吸着電極とを備える静電チャックであって、第１の静電容量センサの第１電極と第２電極対とを、吸着電極の外側であって、平面視において、吸着電極の中心から延出した第１線上又はこの第１線に平行な線上に、配設すると共に、第２の静電容量センサの第１電極と第２電極対とを、吸着電極の外側であって、平面視において、第１線とは垂直に吸着電極の中心から延出した第２線上又はこの第２線に平行な線上に、配設した構成とする。
かかる構成により、所定の電圧を基材上の吸着電極に供給して、静電気力を吸着電極に発生させることで、ワークを吸着電極によって吸着することができる。
そして、ワークエッジが吸着電極の中心から延出した第１線上のどの位置にいるかを、第１の静電容量センサによって判断することができ、さらに、ワークエッジが第１線上とは垂直に吸着電極の中心から延出した第２線上のどの位置にいるかを、第２の静電容量センサによって判断することができる。

以上詳しく説明したように、請求項１〜請求項７の発明によれば、ワークの高さ方向のずれがあっても、ワーク高さを検出するセンサ等を用いることなく、正確にワークの位置を測定することができるので、センサの部品点数が少なく且つセンサの構造も簡易な静電容量センサを提供することができる。

特に、請求項２の発明によれば、高感度で誤差の少ない静電容量センサを提供することができる。

また、請求項４及び請求項５の発明によれば、静電容量センサの分解能を極めて大きくすることができる。特に、請求項６の発明によれば、ワークエッジの位置をほぼ連続的に細かく検出することができる。

そして、請求項７の発明によれば、簡易な構造で且つ部品点数が少なく、また、ワーク位置を誤差が少なく高感度で検出することができ、しかも、ワーク位置をほぼ連続的に細かく検出する静電チャックを提供することができる。

この発明の第１実施例に係る静電容量センサを示す平面図である。 第２電極の電極片の繰り返し間隔及び電極幅，配線の線幅を示す部分拡大平面図である。 ワークが基準高さで第２電極上を水平に移動したときの静電容量値と距離との相関を示す線図である。 ワークが、異なる高さのそれぞれで、第２電極上を水平に移動したときの静電容量値と距離との相関を示す線図である。 ワークの高さを示す概略説明図である。 閾値設定について説明するための線図である。 原点設定の一変形例を示す線図である。 この発明の第２実施例に係る静電容量センサを示す平面図である。 一方の第２電極による静電容量値とワークエッジ距離との相関を示す線図である。 他方の第２電極による静電容量値とワークエッジ距離との相関を示す線図である。 この発明の第３実施例に係る静電容量センサを示す平面図である。 ６対の第２電極対のずれ量を説明するための平面図である。 第２電極対による相関曲線を説明するための線図である。 各相関曲線における閾値範囲とワークエッジ位置範囲との関係を示す表図である。 第２電極対のずれ順序の一変形例を示す平面図である。 この発明の第４実施例に係る静電チャックを示す平面図である。 一従来例の静電容量センサを説明するための概略平面図である。 従来の静電容量センサにおける静電容量値とワークエッジ距離との相関を示す線図である。 基準高さのワークと上にずれたワークを示す概略図である。

以下、この発明の最良の形態について図面を参照して説明する。

（実施例１）
図１は、この発明の第１実施例に係る静電容量センサを示す平面図である。
図１に示すように、この実施例の静電容量センサ１−１は、第１電極２及び第２電極３と、静電容量検出器４と、電源５とを備えている。

第１電極２と第２電極対３は、基板１０の平面な表面上に並設されている。
第１電極２は、四角形の導電性部材であり、引き出し線２０を通じて、一端接地の電源５に接続されている。
第２電極３は、第１電極２と一定の間隔をおいて図の右側に並べられた導電性部材である。この実施例では、第２電極３を、３枚の等幅の電極片３１〜３３と１本の配線３０とで形成した。具体的には、３枚の等幅の電極片３１〜３３を、第１電極２と第２電極３との並び方向である第１方向（図１では、左右方向）に等間隔で並べた。そして、これら電極片３１〜３３の端部を１本の配線３０で連結して、電極片３１〜３３を配線３０によって直列に接続した。つまり、第２電極３を、電極片３１〜３３が歯部であり且つ配線３０が背部である櫛状に形成した。

図２は、第２電極３の電極片３１〜３３の繰り返し間隔，電極幅と配線３０の線幅との関係を示す部分拡大平面図である。
図２に示すように、電極片３１（３２）と電極片３２（３３）との繰り返し間隔は、一定値ａに設定されている。
ところで、第２電極３の各電極片３１（３２，３３）の幅ｃが広い程、Ｓ／Ｎ比が良くなり、センサ感度が上がる。また、電極片３１〜３３に接続された配線３０の線幅ｄが狭い程、ワークエッジの位置検出時における計算誤差が少なくなる。そこで、この実施例では、各電極片３１（３２，３３）の幅ｃを、配線３０の線幅ｄよりも広く設定している。

図１に示すように、このような第２電極３は、配線３０を通じて、一端接地の抵抗５１に接続されている。つまり、電源５による交流電圧が、第１電極２と第２電極３との間に印加されるようになっている。

静電容量検出器４は、第１電極２と第２電極３との間の静電容量値を検出するための機器であり、第１電極２の引き出し線２０と第２電極３の配線３０との間に接続されている。
これにより、静電容量検出器４は、二点鎖線で示すワークＷが第１電極２を覆った状態で第２電極３上に位置したときに、ワークＷを含む第１電極２と第２電極３との間の静電容量値を検出することができる。
静電容量検出器４によって検出する静電容量値Ｃは、ワークＷが第１電極２の電極片３１の先端縁３１ａ（原点）から図右方向に移動した距離ｘに対応する。つまり、静電容量検出器４が検出した静電容量値Ｃを知ることで、ワークＷのワークエッジＷａが原点からどの程度の距離ｘにあるかを判断することができる。

図３は、ワークＷが基準高さｈで第２電極３上を水平に移動したときの静電容量値Ｃ（Ｆ：ファラッド）と距離ｘ（ｍｍ）との相関を示す線図である。
例えば、図１において、第２電極３の各電極片３１（３２，３３）の幅ｃを３ｍｍに設定すると共に、電極片３１〜３４間の繰り返し間隔ａを１２ｍｍに設定し、各電極片３１（３２〜３３）の幅ｃを配線３０の線幅ｄよりも極めて広く設定する。そして、ワークＷを第２電極３上を図右方向に移動させていく。
すると、図３に示すように、ワークＷのワークエッジＷａ（図１参照）が第２電極３の電極片３１上を移動している間（０ｍｍ〜３ｍｍの間）は、静電容量値ＣがＣ０からＣ３１迄増加する。そして、ワークエッジＷａが電極片３１を通過した後、次の電極片３２上に至る迄（３ｍｍ〜１２ｍｍ）は、静電容量値Ｃが、ほぼ一定の値Ｃ３１に保たれる。しかる後、ワークエッジＷａが後ろの電極片３２上（１２ｍｍ〜１５ｍｍ）を通ると、静電容量値Ｃが、Ｃ３１からＣ３２に増加する。そして、この電極片３２通過後、電極片３３に至る迄（１５ｍｍ〜２４ｍｍ）、静電容量値Ｃが、ほぼ一定の値Ｃ３２に保たれる。以後、ワークエッジＷａが後ろの電極片３３上（２４ｍｍ〜２７ｍｍ）を通ると、静電容量値Ｃが、Ｃ３２からＣ３３に増加する。そして、ワークエッジＷａがこの電極片３３を通過後は、静電容量値Ｃが、ほぼ一定の値Ｃ３３に保たれる。
すなわち、ワークエッジＷａを基準高さで原点から図１の右方向に移動させると、図３に示すように、各電極片３１（３２，３３）の幅に対応したステップ高さＣ０〜Ｃ３１（Ｃ３１〜Ｃ３２，Ｃ３２〜Ｃ３３）で階段状に変化する静電容量値Ｃを、静電容量検出器４によって検出することができる。

次に、この実施例の静電容量センサ１−１の作用及び効果について説明する。
図４は、ワークＷが、基準高さｈ、高さｈ１，ｈ２のそれぞれで、第２電極３上を水平に移動したときの静電容量値Ｃと距離ｘとの相関を示す線図である。
図４において、実線の階段状の相関曲線Ｓが、ワークＷが、基準高さｈで、第２電極３上を水平に移動したときの静電容量値Ｃと距離ｘとの相関を示す線図であり、図３に示した相関曲線と同じである。
図１１に示すように、この実施例の静電容量センサ１−１は、静電容量検出器４で検出した静電容量値Ｃに基づいて、ワークＷの位置を判断することができる機器であり、以下のようにして使用することができる。
まず、図３に示した相関曲線において、閾値Ｃ１〜Ｃ３を設定する。
具体的には、この実施例では、図４に示すように、相関曲線のステップ高さＣ０〜Ｃ３１（Ｃ３１〜Ｃ３２，Ｃ３２〜Ｃ３３）の半分の値を、閾値Ｃ１（Ｃ２，Ｃ３）として設定する。このとき、各閾値Ｃ１（Ｃ２，Ｃ３）におけるワークＷの原点から距離は、１．５ｍｍ（１３．５ｍｍ，２５．５ｍｍ）であるとする。

そして、図１に示すように、ワークＷを静電容量センサ１−１の基板１０に載置する。
しかる後、静電容量検出器４によって、ワークＷを載置した状態での静電容量値Ｃを検出する。
そして、図４の相関曲線Ｓを用いて、ワークＷのワークエッジＷａが、予め定められた原点である電極片３１の先端縁３１ａからどれだけずれているかを判断する。
例えば、検出された静電容量値Ｃが、Ｃ０超えＣ１以下であれば、ワークエッジＷａの原点からのずれは０．０ｍｍ超え１．５ｍｍ以下であると判断することができ、Ｃ１超えＣ２以下であれば、ずれは１．５ｍｍ超え１３．５ｍｍ以下であると判断することができ、Ｃ２超えＣ３以下であれば、ずれは１３．５ｍｍ超え２５．５ｍｍ以下であると判断することができ、Ｃ３超えていれば、ずれは２５．５ｍｍ超えている判断することができる。

図５は、ワークＷの高さを示す概略説明図である。
図５に示すように、ワークＷが、反りや歪み等によって、基準高さｈよりも低い位置ｈ１又は高い位置ｈ２に位置する場合がある。
静電容量値Ｃと原点からの距離ｘとの相関曲線は、ワークＷが基準高さｈよりも低い位置ｈ１の場合には、図４の一点鎖線で示す曲線Ｓ１のように、相関曲線Ｓよりも上方に平行移動した状態になり、また、ワークＷが基準高さｈよりも高い位置ｈ２の場合には、図４の二点鎖線で示す曲線Ｓ２のように、相関曲線Ｓよりも下方に平行移動した状態になる。
したがって、ワークエッジＷａ（図１参照）が、原点からｘ１の距離位置にあった場合に、ワークＷが基準高さｈにあると、図４に示すように、静電容量値Ｃは、Ｐ値として検出され、高さ位置ｈ１にあると、静電容量値Ｃは、Ｐ１値として検出され、高さ位置ｈ２にあると、静電容量値Ｃは、Ｐ２値として検出される。
しかし、いずれにしても、静電容量値Ｃが閾値Ｃ１とＣ２との間であり、ワークエッジＷａの原点からのずれは、１．５ｍｍ〜１３．５ｍｍの範囲内であると判断することができる。
つまり、この実施例の静電容量センサ１−１によれば、ワークＷが基準高さｈから上下に多少ずれていても、その検出値は決められた閾値間に収まるので、ワークエッジＷａの原点からの距離判断は、高さによる影響を受けない。
したがって、この実施例の静電容量センサ１−１を使用することで、高さ用のセンサ部品等を用いることなく、ワークＷの位置を判断することができる。

図６は、閾値の設定について説明するための線図である。
この実施例では、図４に示したように、閾値Ｃ１（Ｃ２，Ｃ３）を、静電容量値Ｃのステップ高さＣ０〜Ｃ３１（Ｃ３１〜Ｃ３２，Ｃ３２〜Ｃ３３）の半分の値に設定した。
しかし、閾値は、ステップ高さＣ０〜Ｃ３１（Ｃ３１〜Ｃ３２，Ｃ３２〜Ｃ３３）の中間の値であればよく、半分の値でなくとも、半分の値の場合と同様の作用及び効果を得ることができる。
ここで、閾値設定によるワークエッジ位置の誤差について説明する。
図６に示すように、閾値Ｃ２と相関曲線Ｓとの交点Ｐのワークエッジ位置は１３．５ｍｍである。この位置における相関曲線Ｓ１，Ｓ２との交点をＰａ，Ｐｂとし、交点Ｐａ，Ｐｂでの静電容量値ＣをＣａ，Ｃｂする。
すると、静電容量検出器４で検出された静電容量値Ｃが、Ｃ２〜Ｃａの間である場合に、ワークＷが基準値ｈやｈ２の高さにあると、ワークエッジＷａの位置は、１３．５ｍｍを超え２５．５ｍｍ以下であると判断され、その判断は正しい。
ところが、ワークＷがｈ１の高さにあると、ワークエッジＷａの位置は、１３．５ｍｍ以下であると判断され、その判断が、ワークＷが基準値ｈやｈ２の高さにある場合と異なってしまう。
同様に、検出された静電容量値Ｃが、Ｃ２〜Ｃｂの間である場合に、ワークＷが基準値ｈやｈ１の高さにあると、ワークエッジＷａの位置は、１３．５ｍｍ以下であると判断され、その判断は正しい。
ところが、ワークＷがｈ２の高さにあると、ワークエッジＷａの位置が、１３．５ｍｍ超え２５．５ｍｍ以下であると判断され、その判断が、ワークＷが基準値ｈやｈ１の高さにある場合と異なってしまう。
つまり、ワークＷが基準高さｈから上下にずれている状態で、Ｃａ〜Ｃｂの間の静電容量値Ｃが検出された場合には、ワークエッジＷａの位置判断に誤差が生じるおそれがある。
しかし、ワークＷの基準高さｈからのずれ量が小さい場合には、Ｃａ，Ｃｂの値が閾値Ｃ２に接近し、その際のワークエッジＷａの位置も、１３．５ｍｍの位置に近づくこととなる。
そこで、この実施例では、誤差を許容できるＣａ，Ｃｂの値を予め設定し、検出された静電容量値ＣがＣａ〜Ｃｂの場合には、ワークエッジＷａがほぼ１３．５ｍｍの位置にあると判断することとする。このような設定は、閾値Ｃ１，Ｃ３においても行い、例えば、検出静電容量値Ｃが、Ｃｃ〜Ｃｄ（Ｃｃ＞Ｃ１＞Ｃｄ）のときは、ワークエッジＷａがほぼ１．５ｍｍの位置にあると判断することとし、Ｃｅ〜Ｃｆ（Ｃｅ＞Ｃ３＞Ｃｆ）のときは、ワークエッジＷａがほぼ２５．５ｍｍの位置にあると判断することとする。

なお、上記のような誤差設定は、閾値Ｃ１（Ｃ２，Ｃ３）を、静電容量値Ｃのステップ高さＣ０〜Ｃ３１（Ｃ３１〜Ｃ３２，Ｃ３２〜Ｃ３３）の中間の値に設定した場合である。閾値を、静電容量値Ｃのステップ高さＣ３１（Ｃ３２，Ｃ３３）に設定すると、Ｃ３１（Ｃ３２，Ｃ３３）の上下に位置する誤差許容範囲Ｃａ〜Ｃｂ（Ｃｃ〜Ｃｄ，Ｃｅ〜Ｃｆ）を、狭く設定しても、ワークＷが基準高さｈから上下に位置している限り、ワークＷの位置判断に許容できない大きな誤差を生じてしまうので、注意を要する。

図７は、原点設定の一変形例を示す線図である。
この実施例では、図１に示すように、ワークエッジＷａの位置判断の原点を第２電極３を形成する電極片３１の先端縁３１ａに設定したが、原点設定は任意である。
例えば、ワークエッジＷａの位置判断の原点を電極片３２の中央位置Ｍに設定することもできる。このように原点設定することで、図７に示すように、検出された静電容量値Ｃが、Ｃ０超えＣ１以下であれば、ワークエッジＷａが原点から１３．５ｍｍ以上左にずれていると判断することができ、Ｃ１超えＣ２以下であれば、原点から左に１．５ｍｍ以上１３．５ｍｍ未満ずれていると判断することができ、Ｃ２超えＣ３以下であれば、原点から右側に１．５ｍｍ超え１３．５ｍｍ以下だけずれていると判断することができ、Ｃ３超えていれば、原点から１３．５ｍｍ超えている判断することができる。

（実施例２）
次に、この発明の第２実施例について説明する。
図８は、この発明の第２実施例に係る静電容量センサを示す平面図である。
図８に示すように、この実施例の静電容量センサ１−２は、第２電極を１対の第２電極３Ａ，３Ｂで形成した点が、上記第１実施例と異なる。

具体的には、図８に示すように、一の第２電極としての第２電極３Ａと他の第２電極としての第２電極３Ｂとを向かい合わせ、第２電極３Ａの電極片３１〜３３と第２電極３Ｂの電極片３１〜３３とを、噛み合わせた。すなわち、第２電極３Ａの電極片３１〜３３と同形の第２電極３Ｂの電極片３１〜３３とを、図の右方向に沿って、等間隔で交互に並ぶように配して、第２電極３Ａと第２電極３Ｂとで成る第２電極対３−１を形成した。
そして、第２電極３Ａと第２電極３Ｂとの配線３０，３０を、スイッチ６と抵抗５１とを通じて、接地した。また、静電容量検出器４の一方端は、スイッチ６を介して第２電極３Ａ又は第２電極３Ｂの配線３０，３０いずれかに接続し、他方端は、引き出し線２０を通じて第１電極２に接続した。そして、この第１電極２を一端接地の電源５に接続した。
スイッチ６は、静電容量検出器４の一方端に接続された可動端子６０と、第２電極３Ａの配線３０に接続された固定端子６１と、第２電極３Ｂの配線３０に接続された固定端子６２とで形成されている。これにより、スイッチ６の可動端子６０を固定端子６１，６２のいずれかに接続することで、静電容量検出器４を第２電極対３の第２電極３Ａ，３Ｂのいずれかに電気的に接続することができる。

次に、この実施例の静電容量センサ１−２の作用及び効果について説明する。
図９は、一方の第２電極３Ａによる静電容量値Ｃとワークエッジ距離ｘとの相関を示す線図であり、図１０は、他方の第２電極３Ｂによる静電容量値Ｃとワークエッジ距離ｘとの相関を示す線図である。

図８において、スイッチ６の可動端子６０を固定端子６１に接続させると、静電容量検出器４が、第１電極２と第２電極３Ａとの間に接続される。これにより、ワークＷを含む第１電極２と第２電極３Ａとの間の静電容量値Ｃを検出することができ、この結果、図９に示すように、静電容量値Ｃ（Ｆ：ファラッド）とワークエッジ距離ｘ（ｍｍ）との相関曲線ＳＡを得ることができる。
この相関曲線ＳＡを用いることで、検出した静電容量値ＣがＣ１以下であれば、ワークエッジＷａは、原点から１．５ｍｍ以下に位置し、Ｃ１超えＣ２以下であれば、ワークエッジＷａは、原点から１．５ｍｍ超え１３．５ｍｍ以下に位置し、Ｃ２超えＣ３以下であれば、ワークエッジＷａは、原点から１３．５ｍｍ超え２５．５ｍｍ以下に位置し、Ｃ３を超えていれば、ワークエッジＷａは、原点から２５．５ｍｍ以上に位置していると判断することができる。

また、図８において、スイッチ６の可動端子６０を固定端子６２に切換接続させると、静電容量検出器４が、第１電極２と第２電極３Ｂとの間に接続される。これにより、ワークＷを含む第１電極２と第２電極３Ｂとの間の静電容量値Ｃを検出することができる。このとき、第２電極３Ｂが第２電極３Ａに対して右方向に６ｍｍずれているので、図１０に示すように、静電容量値Ｃとワークエッジ距離ｘとの相関曲線ＳＢを得ることができる。
この相関曲線ＳＢを用いることにより、検出した静電容量値Ｃが、Ｃ１以下であれば、ワークエッジＷａは、原点から７．５ｍｍ以下に位置し、Ｃ１超えＣ２以下であれば、ワークエッジＷａは、原点から７．５ｍｍ超え１９．５ｍｍ以下に位置し、Ｃ２超えＣ３以下であれば、ワークエッジＷａは、原点から１９．５ｍｍ超え３１．５ｍｍ以下に位置し、Ｃ３を超えていれば、ワークエッジＷａは、原点から３１．５ｍｍ以上に位置していると判断することができる。

したがって、例えば、図８の二点鎖線で示すような位置にあるワークＷの位置判断をする場合には、スイッチ６の可動端子６０を固定端子６１に接続させて、第２電極３Ａによる静電容量値Ｃを検出する。このときの検出静電容量値ＣをＣｘ（Ｃ１〜Ｃ２の間）とすると、図９に示すように、ワークエッジＷａは、１．５ｍｍ超え１３．５ｍｍ以下に位置すると判断することができる。
そして、図８に示すスイッチ６の可動端子６０を固定端子６２に切換接続させて、第２電極３Ｂによる静電容量値Ｃを検出する。このときの検出静電容量値ＣをＣｙ（Ｃ１〜Ｃ２の間：Ｃ３１）とすると、図１０に示すように、ワークエッジＷａは、７．５ｍｍ超え１９．５ｍｍ以下に位置すると判断することができる。
以上から、第２電極３Ａによる１．５ｍｍ〜１３．５ｍｍの範囲と、第２電極３Ｂによる７．５ｍｍ〜１９．５ｍｍの範囲の共通範囲が、ワークエッジＷａの位置であると判断することができる。共通範囲は、７．５ｍｍ〜１３．５ｍｍであるので、検出位置範囲は６ｍｍ単位となる。これに対して、１つの第２電極３（第２電極３Ａ）のみで判断した場合には、位置は１．５ｍｍ〜１３．５ｍｍの範囲であり、検出位置範囲は１２ｍｍ単位である。したがって、この実施例の静電容量センサ１−２を使用することで、静電容量センサ１−１を使用した場合に比べて、２倍の分解能を得ることができる。
その他の構成、作用及び効果は、上記第１実施例と同様であるので、それらの記載は省略する。

（実施例３）
次に、この発明の第３実施例について説明する。
図１１は、この発明の第３実施例に係る静電容量センサを示す平面図である。
図１１に示すように、この実施例の静電容量センサ１−３は、実施例２に用いた第２電極対を複数対を用いて、各第２電極対を所定量だけずれした点が、上記第１及び第２実施例と異なる。

すなわち、第１電極２の右側に６対の第２電極対３−１〜３−６を並べた。詳しくは、６対の第２電極対３−１〜３−６を、第１方向と垂直な第２方向である図１１の上下方向に沿って並設し、ノイズ防止用の１対のシールド電極２１，２２を、第２電極対３−１〜３−６の両側に配設した。
そして、第１電極２を一端接地の電源５に接続すると共に、シールド電極２１，２２とを接地した。また、第２電極対３−１〜３−６を構成する６対の第２電極３Ａ，３Ｂを、スイッチ６と抵抗５１とを通じて接地した。
また、静電容量検出器４の一方端を、１つの可動端子６０と１２個の固定端子６１〜７２とで形成されたスイッチ６を通じて６対の第２電極３Ａ，３Ｂのいずれかに接続できるようにした。すなわち、第２電極対３−１の第２電極３Ａ，３Ｂを、配線３０，３０を通じてスイッチ６の固定端子６１，６２にそれぞれ接続し、同様に、第２電極対３−２〜３−６を形成する１０個の第２電極３Ａ，３Ｂを、スイッチ６の固定端子６３〜７２に順番に接続した。
これにより、スイッチ６の可動端子６０と固定端子６１〜７２との接続を切り換えることで、静電容量検出器４により、第１電極２と各第２電極３Ａ（３Ｂ）との間の静電容量値Ｃを検出することができる。

さらに、この実施例では、第２電極対３−１，第２電極対３−２，…１〜，第２電極対３−６の順で、すべての第２電極対３−１〜３−６を、第１方向である図１１の右方向に沿って順に量ｂだけずらしている。そして、全ての第２電極対３−１〜３−６の全ての電極片３１〜３３が図１１の上下方向で一致しないようにしている。

図１２は、６対の第２電極対３−１〜３−６のずれ量ｂを説明するための平面図である。
図１１に示すように、全ての第２電極対３−１〜３−６は、互いにずれ量ｂだけずれているが、このずれ量ｂは、図１２に示すように、電極片３１〜３３の繰り返し間隔ａを第２電極対の対数（ついすう）「６」の２倍である「１２」で除算した量ａ／１２に設定されている。したがって、この実施例においても、実施例１や実施例２に例示したように、繰り返し間隔ａを１２ｍｍに、各電極片３１（３２，３３）の幅ｃを３ｍｍにそれぞれ設定すると、第２電極対３−１〜３−６間のずれ量ｂは、約１ｍｍになる。

次に、この実施例の静電容量センサ１−３の作用及び効果について説明する。
図１３は、第２電極対３−１〜３−６による相関曲線を説明するための線図である。
図１１に示すスイッチ６の可動端子６０を固定端子６１〜７２に順次切り換えて、第２電極対３−１の第２電極３Ａ，３Ｂ、第２電極対３−２の第２電極３Ａ，３Ｂ、…第２電極対３−６の第２電極３Ａ，３Ｂの順で静電容量検出器４に接続する。そして、ワークＷを含む第１電極２と各第２電極３Ａ（３Ｂ）との間の静電容量値Ｃを検出する。
これにより、第２電極対３−１の第２電極３Ａでは、図９に示した相関曲線ＳＡ（以下、「ＳＡ１」と記す）を得、同電極対の第２電極３Ｂでは、図１０に示した相関曲線ＳＢ（以下、「ＳＢ１」と記す）を得る。そして、第２電極対３−２の第２電極３Ａでは、図９の相関曲線ＳＡ１を図右方向にずれ量ｂである１ｍｍだけ平行移動した相関曲線ＳＡ２を得、同電極対の第２電極３Ｂでは、図１０の相関曲線ＳＢ１を図右方向にずれ量ｂである１ｍｍだけ平行移動した相関曲線ＳＢ２得ることができる。同様に、第２電極対３−３〜３−６の第２電極３Ａでは、前の第２電極３Ａの相関曲線から１ｍｍだけ図右方向にそれぞれ移動した相関曲線ＳＡ３〜ＳＡ６を得、第２電極対３−３〜３−６の第２電極３Ｂでは、前の第２電極３Ｂの相関曲線から１ｍｍだけ図右方向にそれぞれ移動した相関曲線ＳＢ３〜ＳＢ６を得ることができる。
すなわち、図１３に示すように、第２電極対３−１〜３−６の第２電極３Ａでは、１ｍｍだけ図右方向に順次移動した相関曲線ＳＡ１〜ＳＡ６を得、第２電極対３−１〜３−６の第２電極３Ｂでは、第２電極対３−６の第２電極３Ａの相関曲線ＳＡ６から１ｍｍだけ図右方向に移動した相関曲線ＳＢ１〜ＳＢ６を得ることができる。

図１４は、各相関曲線ＳＡ１（ＳＡ２〜ＳＡ６，ＳＢ１〜ＳＢ６）における閾値範囲とワークエッジ位置範囲との関係を示す表図である。
静電容量センサ１−３を用いてワークＷの位置を判断するには、図１４の表図を用いて行うことができる。
しかも、実施例２で説明したように、１対の第２電極対３−１（３−２〜３−６）の分解能が、１つの第２電極３Ａ（３Ｂ）のみによる分解能の２倍であるので、６対の第２電極対３−１〜３−６を有するこの実施例の静電容量センサ１−３では、１２倍の分解能を有することとなる。したがって、この実施例の静電容量センサ１−３でを用いれば、ワークの位置を１２倍の分解能で検出することができることとなる。

以下、かかる点を説明する。
例えば、ワークＷが、図１２の二点鎖線で示すような位置にある場合には、ワークエッジＷａが、第２電極対３−１の第２電極３Ａにおける電極片３３の先端縁３３ａに一致しているので、ワークエッジＷａは原点から２４ｍｍの位置にある。
この静電容量センサ１−３を用いれば、ワークエッジＷａが、原点から２４ｍｍの近傍にあることを検出することができる。

すなわち、まず、図１１において、スイッチ６を切換え、ワークＷを含む第２電極対３−１〜３−６の第２電極３Ａ，３Ｂ間の静電容量値Ｃをそれぞれ検出する。
図１２に示すように、第２電極対３−１〜３−６の第２電極３Ａと第２電極対３−１〜３−４の第２電極３Ｂでは、電極片３１，３２の全てがワークＷ側に位置しており、第２電極対３−５の第２電極３Ｂでは、電極片３１の全部と電極片３２の３分の２がワークＷ側に位置しているので、第２電極対３−１〜３−６の第２電極３Ａと第２電極対３−１〜３−５の第２電極３Ｂによる静電容量値Ｃは、全て、Ｃ２〜Ｃ３内の値として検出される。
次に、図１４の表図から、第２電極対３−１〜３−６の第２電極３Ａと第２電極対３−１〜３−５の第２電極３Ｂの相関曲線ＳＡ１〜ＳＡ６，ＳＢ１〜ＳＢ５に注視する。そして、相関曲線ＳＡ１〜ＳＡ６，ＳＢ１〜ＳＢ５のＣ２〜Ｃ３に対応した１１個の位置範囲を取り出し、これらの共通範囲を求める。すると、共通範囲は「２３．５ｍｍ〜２５．５ｍｍ」となる。
また、第２電極対３−６の第２電極３Ｂでは、電極片３１の全部と電極片３２の３分の１がワークＷ側に位置しているので、第２電極対３−６の第２電極３Ｂによる静電容量値Ｃは、Ｃ１〜Ｃ２内の値として検出される。図１４の表図から、この第２電極対３−６の第２電極３Ｂの相関曲線ＳＢ６を注視する。そして、相関曲線ＳＢ６のＣ１〜Ｃ２に対応した位置範囲を取り出すと、この位置範囲は、「１２．５ｍｍ〜２４。５ｍｍ」である。
したがって、この「１２．５ｍｍ〜２４．５ｍｍ」と上記「２３．５ｍｍ〜２５．５ｍｍ」との共通範囲を求めると、「２３．５ｍｍ〜２４．５ｍｍ」となる。
つまり、この実施例の静電容量センサ１−３を用いることで、ワークＷのワークエッジＷａが、実際の値２４ｍｍの近傍である２３．５ｍｍ〜２４．５ｍｍの範囲内にあると判断することができる。
したがって、この静電容量センサ１−３による検出位置範囲は、１ｍｍ単位であり、１つの第２電極３Ａ（３Ｂ）のみによる１２ｍｍ単位の分解能の１２倍である。

図１５は、第２電極対３−１〜３−６のずれ順序の一変形例を示す平面図である。
この実施例では、図１１に示したように、第２電極対３−１，第２電極対３−２，…１〜，第２電極対３−６の順で、全ての第２電極対３−１〜３−６を量ｂだけずらした例を示したが、第２電極対のずらす順序は、任意である。したがって、図１５に示すように、第２電極対３−３，３−２，３−１，３−４，３−６，３−５の順でずらしても、静電容量センサ１−３の分解能には影響はなく、同様の作用効果を得ることができる。
その他の構成、作用及び効果は、上記第１及び第２実施例と同様であるので、それらの記載は省略する。

（実施例４）
次に、この発明の第４実施例について説明する。
図１６は、この発明の第４実施例に係る静電チャックを示す平面図である。
図１６に示すように、この実施例の静電チャック９は、第１の静電容量センサとしての静電容量センサ１−３Ａと、第２の静電容量センサとしての静電容量センサ１−３Ｂと、基材としての基板１０上に設けられた吸着電極９１，９２とを備えている。

吸着電極９１，９２は、静電気力でワークＷを吸着するための電極であり、直流の電源９０に接続されている。この電源９０は、スイッチ９３によって、オン又はオフすることができるようになっている。

静電容量センサ１−３Ａ，１−３Ｂは、実施例３の静電容量センサ１−３と同じセンサであり、静電容量センサ１−３Ａは、吸着電極９１，９２の右外側に配設され、静電容量センサ１−３Ｂは、吸着電極９１，９２の上外側に配設されている。
具体的には、静電容量センサ１−３Ａの第１電極２と６対の第２電極対３−１〜３−６とが、吸着電極９１，９２の中心Ｏから右方に延出した第１線としてのＸ軸上に又はＸ軸に平行に配されている。そして、基板１０の外部に配設された静電容量検出器４が、基板１０の外部に配されたスイッチ６の可動端子６０に接続され、１２個の第２電極３Ａ，３Ｂ（図８参照）が、スイッチ６の固定端子６１〜７２にそれぞれ接続されている。このスイッチ６は、抵抗５１を通じて接地されている。また、第１電極２は、外部の電源５に接続されている。
これにより、静電容量センサ１−３Ａによって、ワークＷが、原点から左右方向にどれだけずれているかを検出することができる。
一方、静電容量センサ１−３Ｂの第１電極２と６対の第２電極対３−１〜３−６とは、吸着電極９１，９２の中心Ｏから上方に延出した第２線としてのＹ軸上に又はＹ軸に平行に配されている。そして、静電容量検出器４がスイッチ６の可動端子６０に接続され、１２個の第２電極３Ａ，３Ｂ（図８参照）が、スイッチ６の固定端子６１〜７２にそれぞれ接続されるている。このスイッチ６は、抵抗５１を通じて接地されている。また、第１電極２は、電源５に接続されている。
これにより、静電容量センサ１−３Ｂによって、ワークＷが、原点から上下方向にどれだけずれているかを検出することができる。
なお、上記第１〜第３実施例では、図１や図８に示したように、ワークＷの原点を第１電極２に最も近い第２電極３Ａの先端縁に設定した。しかし、この実施例では、図の二点鎖線で示すように、ワークＷのＸ軸方向の原点Ｘ０を、静電容量センサ１−３Ａの第２電極対３−１〜３−６の中間に設定し、Ｙ軸方向の原点Ｙ０を、静電容量センサ１−３Ｂの第２電極対３−１〜３−６の中間に設定した。
すなわち、右，上のワークエッジＷａ，Ｗｂが原点Ｘ０，Ｙ０に一致する位置を、ワークＷの所望吸着位置とし、作業時に静電チャック９で吸着したワークＷが、この所望吸着位置からどれだけずれているかを、静電容量センサ１−３Ａ，１−３Ｂによって検出することができる。

次に、この実施例の静電チャックが示す作用及び効果について説明する。
スイッチ９３をオンにすると、吸着電極９１，９２に直流電圧が供給され、静電気が吸着電極９１，９２に発生する。
この状態で、静電チャック９を移動させ、吸着電極９１，９２をワークＷに接触させると、ワークＷが静電気力で吸着電極９１，９２に吸着される。
このとき、ワークＷが、上記所望吸着位置に吸着されているか否かを、静電容量センサ１−３Ａ，１−３Ｂによって検出することができる。
すなわち、静電容量センサ１−３Ａ（１−３Ｂ）によって、ワークＷのワークエッジＷａ（Ｗｂ）が、原点Ｘ０（Ｙ０）からどのくらいＸ軸方向（Ｙ軸方向）にずれているかを検出する。そして、ずれ量が許容範囲内であれば、ワークＷを静電チャック９により所定の作業場所迄搬送することができる。しかし、ずれ量が許容範囲を超えている場合には、ワークＷを静電チャック９から外して再度吸着し直すか又は破棄することができる。
その他の構成、作用及び効果は、上記第１〜第３実施例と同様であるので、それらの記載は省略する。

なお、この発明は、上記実施例に限定されるものではなく、発明の要旨の範囲内において種々の変形や変更が可能である。
例えば、上記実施例では、第２電極３（３Ａ，３Ｂ）の各電極片３１（３２，３３）の数を３枚に設定し、第２電極３の幅ｃを３ｍｍに設定すると共に繰り返し間隔ａを１２ｍｍに設定した例を示したが、各電極片の数，第２電極の幅ｃ，繰り返し間隔ａは、これに限定されるものではないことは勿論である。
また、上記実施例３においては、第２電極対３−１（３−２〜３−６）の対数を６に設定した例を示したが、第２電極対の対数は、これに限定されるものではないことは勿論である。
さらに、実施例３では、第２電極対３−１〜３−６のずれ量ｂを繰り返し間隔ａの１２分の１に設定したが、これに限定されるものではない。ずれ量ｂは、「一の第２電極３（３Ａ，３Ｂ）における電極片３１〜３３の繰り返し間隔ａの２分の１未満の量」であればよい。
また、上記実施例４では、実施例３の静電容量センサ１−３を適用した例を示したが、実施例１や実施例２の静電容量センサ１−１，１−２を適用した静電チャックを、この発明から除外する意ではない。

１−１〜１−３，１−３Ａ，１−３Ｂ…静電容量センサ、 ２…第１電極、 ３，３Ａ，３Ｂ…第２電極、 ３−１〜３−６…第２電極対、 ４…静電容量検出器、 ５，９０…電源、 ６，９３…スイッチ、 ９…静電チャック、 １０…基板、 ２０…引き出し線、 ２１，２２…シールド電極、 ３０…配線、 ３１〜３３…電極片、 ３１ａ，３３ａ…先端縁、 ３２ａ…中央位置、 ５１…抵抗、 ６０…可動端子、 ６１〜７２…固定端子、 ９１，９２…吸着電極、 Ｏ…中心、 ０，Ｘ０，Ｙ０…原点、 Ｐ，Ｐａ，Ｐｂ…交点、 Ｗ…ワーク、 Ｗａ…ワークエッジ。

Claims (7)

1. 平面上に並設された第１電極と第２電極と、これら第１電極と第２電極との間の静電容量値を検出可能な静電容量検出器とを備え、平面視において、ワークが上記第１電極を覆い且つワークエッジが第２電極上に位置したときに、上記静電容量検出器が検出した静電容量値に基づいて、予め設定された原点から当該ワークエッジ迄の距離を検出するための静電容量センサであって、
   上記第２電極を、第１電極と第２電極との並び方向である第１方向に等間隔で並べられた複数の所定幅の電極片とこれら複数の電極片を直列に接続した配線とで形成した、
   ことを特徴とする静電容量センサ。
2. 請求項１に記載の静電容量センサにおいて、
   上記第２電極の各電極片の幅を、上記配線の線幅よりも広く設定した、
   ことを特徴とする静電容量センサ。
3. 請求項１又は請求項２に記載の静電容量センサにおいて、
   上記第２電極を、上記電極片を歯部とし且つ配線を背部とする櫛状に形成した、
   ことを特徴とする静電容量センサ。
4. 請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の静電容量センサにおいて、
   一の上記第２電極の電極片と他の上記第２電極の電極片とが、上記第１方向に沿って非接触状態で交互に並ぶように、これら一及び他の第２電極を組み合わせて、第２電極対を形成した、
   ことを特徴とする静電容量センサ。
5. 請求項４に記載の静電容量センサにおいて、
   複数対の上記第２電極対を、上記記第１方向と垂直な第２方向に沿って並設し、
   一の第２電極対の電極片が、他の第２電極対の電極片と上記第２方向で一致しないように、全ての第２電極対を上記第１方向に沿ってずらし、
   且つ、当該ずれ量を、第２電極対を構成する一の第２電極における電極片の繰り返し間隔の２分の１未満の量に設定した、
   ことを特徴とする静電容量センサ。
6. 請求項５に記載の静電容量センサにおいて、
   上記ずれ量を、各第２電極対を構成する一の第２電極における電極片の繰り返し間隔を第２電極対の対数の２倍で除算した量に設定した、
   ことを特徴とする静電容量センサ。
7. 請求項４ないし請求項６のいずれかに記載の静電容量センサと、基材上に設けられ且つ静電気力でワークを吸着可能な吸着電極とを備える静電チャックであって、
   第１の静電容量センサの第１電極と第２電極対とを、上記吸着電極の外側であって、平面視において、吸着電極の中心から延出した第１線上又はこの第１線に平行な線上に、配設すると共に、
   第２の静電容量センサの第１電極と第２電極対とを、上記吸着電極の外側であって、平面視において、上記第１線とは垂直に吸着電極の中心から延出した第２線上又はこの第２線に平行な線上に、配設した、
   ことを特徴とする静電チャック。

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