JP2016070454A - 摺動部材の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
たレーザ表面加工装置を使用して形成する。このレーザ表面加工装置では、レーザ発生器
11は、ミラー12により加工材料Wに向けて折り返され、メカニカルシャッタ13に導
かれる。レーザ照射時はメカニカルシャッタ13を開放し、レーザ照射強度は1/2波長
板14と偏光ビームスプリッタ16によって調整可能とし、1/2波長板15によって偏
光方向を調整し、集光レンズ17によって、XYθステージ19上の加工材料W表面に集
光照射することになる。
1a 摺動面
2 第2部材
2a 摺動面
3 周期構造
P1 周期構造形成工程
P2 鏡面仕上工程
P3 摩耗工程
Claims (6)
- 凸状曲面の摺動面を有する第1部材と、この第1部材の摺動面に対して相対的に摺動する摺動面を有する第2部材とを備えた摺動部材の製造方法であって、前記第1部材の摺動面に、凸部頂点が非平坦面となって連続的に高さが変化するグレーティング状凹凸の周期構造を形成する周期構造形成工程と、前記第2部材の摺動面を、第1部材の摺動面より表面硬度を高く鏡面仕上げする鏡面仕上工程と、第1部材の摺動面と第2部材の摺動面とを潤滑下で相対的に摺動させて、前記周期構造を犠牲層として摩滅させる摩耗工程とを備えたことを特徴とする摺動部材の製造方法。
- 前記第1部材の摺動面のグレーティング状凹凸の周期構造は摺動痕周縁に残存しており、摺動方向に直交する周期構造残存寸法が摺動方向に直交する摺動痕寸法の2倍以上とすることを特徴とする請求項1に記載の摺動部材の製造方法。
- 前記グレーティング状凹凸の周期構造が摺動方向に直交することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の摺動部材の製造方法。
- 前記第1部材の摺動面の曲率半径の絶対値が前記第2部材の摺動面の曲率半径の絶対値以下とすることを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載の摺動部材の製造方法。
- 前記第1部材の基材表面に形成する周期構造は、加工閾値近傍の照射強度で直線偏光のレーザを照射し、その照射部分をオーバーラップさせながら走査して、自己組織的に形成することを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載の摺動部材の製造方法。
- 前記請求項1〜請求項5のいずれか1項に記載の摺動部材の製造方法を用いて製造された摺動部材であって、凸部頂点が非平坦面となって連続的に高さが変化するグレーティング状凹凸の周期構造を有する第1部材の凹凸が50nm以上500nm以下かつ周期ピッチが10μm以下であることを特徴とする摺動部材。
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