JP2016064933A - シリカガラスルツボの製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
シリカガラスルツボ内に入射されたレーザー光の、当該シリカガラスルツボの厚み方向の各位置の散乱状況を測定する工程を有する
という構成を採る。
前記レーザー光の散乱状況を測定する工程は、シリカガラスルツボの内側から当該シリカガラスルツボの厚み方向に向かってレーザー光を出射し、シリカガラスルツボの端面方向から前記レーザー光の散乱状況を測定する
という構成を採る。
前記レーザー光の散乱状況を測定する工程は、出射するレーザー光の波長に応じた所定の波長の照明光をシリカガラスルツボに照射し、前記照明光の照射下で前記レーザー光の散乱状況を測定する
という構成を採る。
前記レーザー光の散乱状況を測定する工程は、
シリカガラスルツボにレーザー光を広角に出射し、
シリカガラスルツボ内に入射されたレーザー光の、シリカガラスルツボの厚み方向の各位置の散乱状況を測定する工程を有する
という構成を採る。
前記レーザー光の散乱状況を測定する工程は、シリカガラスルツボの端面方向から当該シリカガラスルツボの厚み方向の各位置に単色のレーザー光を出射し、
前記出射した光に応じて生じるラマン散乱を前記レーザー光の散乱状況として前記各位置で測定する
という構成を採る。
前記レーザー光の散乱状況を測定する工程は、予め定められた所定の間隔でシリカガラスルツボの全周に亘ってレーザー光を出射し、
出射したレーザー光に応じた前記レーザー光の散乱状況をそれぞれ測定する
という構成を採る。
本発明の第1の実施形態におけるルツボ測定装置を、図1乃至図10を参照して説明する。図1は、本発明の第1の実施形態にかかるルツボ測定装置の構成の一例を示す図である。図2は、シリカガラスルツボにレーザー光を入射した際の様子を、シリカガラスルツボの端面方向から測定した際の一例を示す図である。図3は、シリカガラスルツボにレーザー光を入射した際の様子を、シリカガラスルツボの端面方向から測定した際の一例を示す図である。図4は、シリカガラスルツボの構造とレーザー光の散乱状況との関係の一例を示す図である。図5は、シリカガラスルツボの構造とレーザー光の散乱状況との関係の一例を示す図である。図6は、実際の測定画像の一例を示す図である。図7は、図5で示すシリカガラスルツボの内部残留応力を示す図である。図8は、第1の実施形態にかかるルツボ測定装置の動作の一例を示す図である。図9は、クロスラインレーザーを用いて、シリカガラスルツボ1の厚み方向の散乱状況を測定した図の一例である。図10は、クロスラインレーザーを用いて、シリカガラスルツボ1の厚み方向の散乱状況を測定した図の一例である。
図6は、実際にシリカガラスルツボ1にレーザー光を入射した際の、レーザー光の散乱状況を、カメラ部3を用いて撮影した画像である。図6(A)を参照すると、シリカガラスルツボ1に入射されたレーザー光は、当該シリカガラスルツボ1の内側から所定位置まで透過した後、一部散乱している状況が観測される。そのため、図6(A)で示すシリカガラスルツボ1は、レーザー光が透過する領域である透明層と、透明層の外側に位置しレーザー光が散乱する領域である気泡含有層と、を有していると判別することが出来る。
続いて、本発明の第2の実施形態について、図11乃至図13を参照して説明する。図11は、本実施形態におけるルツボ測定装置の構成の一例を示している。図12は、第2の実施形態にかかるルツボ測定方法の流れの一例を示すフローチャートである。図13は、ルツボの内表面と照明部との距離が散乱状況の測定に与える影響を示す図である。
次に、本発明の第3の実施形態について、図14乃至図18を参照して説明する。図14は、本実施形態におけるルツボ測定装置の構成の一例である。図15は、本実施形態におけるルツボ測定装置がラマンスペクトルの測定を行う位置の一例を示す図である。図16及び図17は、実際に測定したラマンスペクトルの一例である。図18は、第3の実施形態にかかるルツボ測定方法の流れの一例を示すフローチャートである。
図16及び図17は、実際にシリカガラスルツボ1の厚み方向の各位置のラマンスペクトルを測定した結果である。図16は、図6(A)、図7(A)と同様のシリカガラスルツボ1の端面の、当該シリカガラスルツボ1の厚み方向の各位置のラマンスペクトルを測定した結果である。図17は、図6(B)、図7(B)と同様のシリカガラスルツボ1の端面の、当該シリカガラスルツボ1の厚み方向の各位置のラマンスペクトルを測定した結果である。
2 レーザーポインタ
3 カメラ部
4 照明部
21 レーザー部
31 ラマン分光測定部
311 レイリー光除去フィルタ
312 分光器
313 検出器
Claims (6)
- 回転モールド法により製造されるシリカガラスルツボの製造方法であって、
シリカガラスルツボ内に入射されたレーザー光の、当該シリカガラスルツボの厚み方向の各位置の散乱状況を測定する工程を有する
シリカガラスルツボの製造方法。 - 前記レーザー光の散乱状況を測定する工程は、シリカガラスルツボの内側から当該シリカガラスルツボの厚み方向に向かってレーザー光を出射し、シリカガラスルツボの端面方向から前記レーザー光の散乱状況を測定する
請求項1に記載のシリカガラスルツボの製造方法。 - 前記レーザー光の散乱状況を測定する工程は、出射するレーザー光の波長に応じた所定の波長の照明光をシリカガラスルツボに照射し、前記照明光の照射下で前記レーザー光の散乱状況を測定する
請求項2に記載のシリカガラスルツボの製造方法。 - 前記レーザー光の散乱状況を測定する工程は、
シリカガラスルツボにレーザー光を広角に出射し、
シリカガラスルツボ内に入射されたレーザー光の、シリカガラスルツボの厚み方向の各位置の散乱状況を測定する工程を有する
請求項1乃至3のいずれかに記載のシリカガラスルツボの製造方法。 - 前記レーザー光の散乱状況を測定する工程は、シリカガラスルツボの端面方向から当該シリカガラスルツボの厚み方向の各位置に単色のレーザー光を出射し、
前記出射した光に応じて生じるラマン散乱を前記レーザー光の散乱状況として前記各位置で測定する
請求項1に記載のシリカガラスルツボの製造方法。 - 前記レーザー光の散乱状況を測定する工程は、予め定められた所定の間隔でシリカガラスルツボの全周に亘ってレーザー光を出射し、
出射したレーザー光に応じた前記レーザー光の散乱状況をそれぞれ測定する
請求項1乃至5のいずれかに記載のシリカガラスルツボの製造方法。
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---|---|---|---|---|
JP2016064931A (ja) * | 2014-09-22 | 2016-04-28 | 株式会社Sumco | ルツボ測定装置 |
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2014
- 2014-09-22 JP JP2014193115A patent/JP6405827B2/ja active Active
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WO2017158655A1 (ja) * | 2016-03-18 | 2017-09-21 | 株式会社Sumco | ルツボ測定装置、ルツボ測定方法、ルツボの製造方法 |
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