JP2016064374A - 微粒子捕捉用ろ過膜及びその製造方法並びに多孔質膜及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
すなわち、本発明(1)は、アルミニウム材の陽極酸化により連通孔を形成させて得られる微粒子捕捉用ろ過膜であって、
ろ過膜の一方の面に開口する連通孔が形成されている小孔径部と、
該小孔径部の連通孔が繋がり且つ径が該小孔径部の連通孔の径より大きい連通孔が形成されている中間孔部と、
該中間孔部の連通孔が繋がり、径が該中間孔部の連通孔の径より大きく、且つ、ろ過膜の他方の面に開口する連通孔が形成されている大孔径部と、
を有し、
該小孔径部には、ろ過膜の一方の表面から少なくとも400nmの位置まで、孔径の平均が4〜20nmの連通孔が形成されており、
ろ過膜の総膜厚が50μm以下であること、
を特徴とする微粒子捕捉用ろ過膜を提供するものである。
該陽極酸化アルミニウム材(1)を陽極酸化することにより、該陽極酸化アルミニウム材(1)に、該大孔径部用の連通孔に繋がり且つ径が該大孔径部用の連通孔より小さい中間孔部用の連通孔を形成させて、陽極酸化アルミニウム材(2)を得る第二陽極酸化工程と、
該陽極酸化アルミニウム材(2)を陽極酸化することにより、該陽極酸化アルミニウム材(2)に、該中間孔部用の連通孔に繋がり且つ径が該中間孔部用の連通孔より小さい小孔径部用の連通孔を形成させて、陽極酸化アルミニウム材(3)を得る第三陽極酸化工程と、
該陽極酸化アルミニウム材(3)から陽極酸化された部分を剥離し、次いで、剥離した部分をエッチング処理して、陽極酸化部分を得る剥離及びエッチング工程と、
該陽極酸化部分を800〜1200℃で焼成することにより、微粒子捕捉用ろ過膜を得る焼成工程と、
を有し、
該第三陽極酸化工程で、孔径の平均が4〜20nmの連通孔を、厚さ方向に400nm以上形成させること、
及び該第一陽極酸化工程から該第三陽極酸化工程までで、陽極酸化により連通孔を形成させる部分の全厚みが50μm以下であること、
を特徴とする微粒子捕捉用ろ過膜の製造方法を提供するものである。
多孔質膜の一方の面に開口する連通孔が形成されている小孔径部と、
該小孔径部の連通孔が繋がり且つ径が該小孔径部の連通孔の径より大きい連通孔が形成されている中間孔部と、
該中間孔部の連通孔が繋がり、径が該中間孔部の連通孔の径より大きく、且つ、多孔質膜の他方の面に開口する連通孔が形成されている大孔径部と、
を有し、
該小孔径部には、多孔質膜の一方の表面から少なくとも400nmの位置まで、孔径の平均が4〜20nmの連通孔が形成されており、
多孔質膜の総膜厚が50μm以下であること、
を特徴とする多孔質膜を提供するものである。
該陽極酸化アルミニウム材(1)を陽極酸化することにより、該陽極酸化アルミニウム材(1)に、該大孔径部用の連通孔に繋がり且つ径が該大孔径部用の連通孔より小さい中間孔部用の連通孔を形成させて、陽極酸化アルミニウム材(2)を得る第二陽極酸化工程と、
該陽極酸化アルミニウム材(2)を陽極酸化することにより、該陽極酸化アルミニウム材(2)に、該中間孔部用の連通孔に繋がり且つ径が該中間孔部用の連通孔より小さい小孔径部用の連通孔を形成させて、陽極酸化アルミニウム材(3)を得る第三陽極酸化工程と、
該陽極酸化アルミニウム材(3)から陽極酸化された部分を剥離し、次いで、剥離した部分をエッチング処理して、陽極酸化部分を得る剥離及びエッチング工程と、
該陽極酸化部分を800〜1200℃で焼成することにより、多孔質膜を得る焼成工程と、
を有し、
該第三陽極酸化工程で、孔径の平均が4〜20nmの連通孔を、厚さ方向に400nm以上形成させること、
及び該第一陽極酸化工程から該第三陽極酸化工程までで、陽極酸化により連通孔を形成させる部分の全厚みが50μm以下であること、
を特徴とする多孔質膜の製造方法を提供するものである。
ろ過膜の一方の面に開口する連通孔が形成されている小孔径部と、
該小孔径部の連通孔が繋がり且つ径が該小孔径部の連通孔の径より大きい連通孔が形成されている中間孔部と、
該中間孔部の連通孔が繋がり、径が該中間孔部の連通孔の径より大きく、且つ、ろ過膜の他方の面に開口する連通孔が形成されている大孔径部と、
を有し、
該小孔径部には、ろ過膜の一方の表面から少なくとも400nmの位置まで、孔径の平均が4〜20nmの連通孔が形成されており、
ろ過膜の総膜厚が50μm以下であること、
を特徴とする微粒子捕捉用ろ過膜である。
該陽極酸化アルミニウム材(1)を陽極酸化することにより、該陽極酸化アルミニウム材(1)に、該大孔径部用の連通孔に繋がり且つ径が該大孔径部用の連通孔より小さい中間孔部用の連通孔を形成させて、陽極酸化アルミニウム材(2)を得る第二陽極酸化工程と、
該陽極酸化アルミニウム材(2)を陽極酸化することにより、該陽極酸化アルミニウム材(2)に、該中間孔部用の連通孔に繋がり且つ径が該中間孔部用の連通孔より小さい小孔径部用の連通孔を形成させて、陽極酸化アルミニウム材(3)を得る第三陽極酸化工程と、
該陽極酸化アルミニウム材(3)から陽極酸化された部分を剥離し、次いで、剥離した部分をエッチング処理して、陽極酸化部分を得る剥離及びエッチング工程工程と、
該陽極酸化部分を800〜1200℃で焼成することにより、微粒子捕捉用ろ過膜を得る焼成工程と、
を有し、
該第三陽極酸化工程で、孔径の平均が4〜20nmの連通孔を、厚さ方向に400nm以上形成させること、
及び該第一陽極酸化工程から該第三陽極酸化工程までで、陽極酸化により連通孔を形成させる部分の全厚みが50μm以下であること、
を特徴とする微粒子捕捉用ろ過膜の製造方法である。
多孔質膜の一方の面に開口する連通孔が形成されている小孔径部と、
該小孔径部の連通孔が繋がり且つ径が該小孔径部の連通孔の径より大きい連通孔が形成されている中間孔部と、
該中間孔部の連通孔が繋がり、径が該中間孔部の連通孔の径より大きく、且つ、多孔質膜の他方の面に開口する連通孔が形成されている大孔径部と、
を有し、
該小孔径部には、多孔質膜の一方の表面から少なくとも400nmの位置まで、孔径の平均が4〜20nmの連通孔が形成されており、
多孔質膜の総膜厚が50μm以下であること、
を特徴とする多孔質膜である。
該陽極酸化アルミニウム材(1)を陽極酸化することにより、該陽極酸化アルミニウム材(1)に、該大孔径部用の連通孔に繋がり且つ径が該大孔径部用の連通孔より小さい中間孔部用の連通孔を形成させて、陽極酸化アルミニウム材(2)を得る第二陽極酸化工程と、
該陽極酸化アルミニウム材(2)を陽極酸化することにより、該陽極酸化アルミニウム材(2)に、該中間孔部用の連通孔に繋がり且つ径が該中間孔部用の連通孔より小さい小孔径部用の連通孔を形成させて、陽極酸化アルミニウム材(3)を得る第三陽極酸化工程と、
該陽極酸化アルミニウム材(3)から陽極酸化された部分を剥離し、次いで、剥離した部分をエッチング処理して、陽極酸化部分を得る剥離及びエッチング工程と、
該陽極酸化部分を800〜1200℃で焼成することにより、多孔質膜を得る焼成工程と、
を有し、
該第三陽極酸化工程で、孔径の平均が4〜20nmの連通孔を、厚さ方向に400nm以上形成させること、
及び該第一陽極酸化工程から第三陽極酸化工程までで、陽極酸化により連通孔を形成させる部分の全厚みが50μm以下であること、
を特徴とする多孔質膜の製造方法である。
・微粒子捕捉用ろ過膜の製造
<陽極酸化用のアルミニウム板材の準備>
純度98.5質量%のアルミニウム板材を5枚用意した。次いで、アルミニウム板材を、アセトン中で、30分間超音波照射し、10質量%過塩素酸含有エタノール溶液中、20V、15分間の条件で電解研磨し、陽極酸化用のアルミニウム板材を準備した。
なお、準備した陽極酸化用のアルミニウム板材のうち、1枚については剥離工程まで行い小孔径部の破損状況の観察に用い、残りの4枚については焼成工程まで行った。
<第一陽極酸化工程>
上記で得た陽極酸化用のアルミニウム板材を、1.8質量%シュウ酸水溶液を電解液とし、浴温5℃で100Vの一定電圧下で、陽極酸化を行った。
<第二陽極酸化工程>
次いで、1.8質量%シュウ酸水溶液を電解液とし、浴温5℃で電圧を徐々に低下させて、5分間陽極酸化を行った。
<第三陽極酸化工程>
次いで、20質量%硫酸水溶液中、浴温5℃で電圧9.5Vで、3分間陽極酸化を行った。
<剥離及びエッチング工程>
次いで、電解研磨にて、陽極酸化部分を剥離させた。次いで、得られた陽極酸化部分を超純水で洗浄後、20質量%硫酸水溶液に浸漬して、表面をエッチングし、貫通膜にした。次いで、超純水で洗浄した。
<焼成工程>
次いで、1000℃、大気雰囲気下で焼成を行い、微粒子捕捉用ろ過膜を得た。
得られた微粒子捕捉用ろ過膜の断面及び小孔径部側の表面を走査型電子顕微鏡にて観察し、得られるSEM画像より、構造を求めた。また、得られた断面のSEM画像を図10に、表面のSEM画像を図11に示す。
<小孔径部>
小孔径部の厚みは400nmであった。また、小孔径部の表面、200nm、400nm位置の孔径の平均は、それぞれ、10nm、10nm、10nmであった。また、小孔径部全体の連通孔の平均孔径は10nmであった。また、連通孔の孔径分布における相対標準偏差は30%であった。また、小孔径部の連通孔の開口の開口率は17%であった。また、小孔径部中の連通孔の存在割合は37%であった。
<中間孔部>
中間孔部の連通孔の孔径は23〜40nmであった。なお、中間孔部の連通孔の孔径は、中間孔部の厚み方向の中間位置近傍の孔径である。中間孔部の連通孔の孔径については、以下、同様である。
<大孔径部>
大孔径部の連通孔の孔径は27〜102nmであった。また、大孔径部全体の連通孔の平均孔径は58nmであった。
<ろ過膜の総膜厚>
ろ過膜の総膜厚は22μmであった。
剥離及びエッチング工程を行った後の陽極酸化部分の小孔径部側の表面を、走査型電子顕微鏡にて観察した。次いで、得られたSEM画像から、観察視野の面積に対する破損部分の面積の割合を求めた。その結果、観察視野の面積に対する破損部分の面積の割合は、1.5%であった。
焼成を行った4枚の陽極酸化部分について、それぞれ、焼成により破損しなければ焼成成功とし、焼成成功率を求めた。なお、破損とは、膜に亀裂が生じた場合、又は膜が割れた場合を指す。その結果、焼成成功率は100%であった。
第三陽極酸化工程の陽極酸化時間を5分間とすること以外は、実施例1と同様に行い微粒子捕捉用ろ過膜を得た。
<小孔径部>
小孔径部の厚みは600nmであった。また、小孔径部の表面、300nm、600nm位置の孔径の平均は、それぞれ、10nm、10nm、10nmであった。また、小孔径部全体の連通孔の平均孔径は10nmであった。また、連通孔の孔径分布における相対標準偏差は39%であった。また、小孔径部の連通孔の開口の開口率は19%であった。また、小孔径部中の連通孔の存在割合は23%であった。
<中間孔部>
中間孔部の連通孔の孔径は25〜50nmであった。
<大孔径部>
大孔径部の連通孔の孔径は40〜144nmであった。また、大孔径部全体の連通孔の平均孔径は77nmであった。
<ろ過膜の総膜厚>
ろ過膜の総膜厚は23μmであった。
剥離及びエッチング工程を行った後の陽極酸化部分の小孔径部側の表面における、観察視野の面積に対する破損部分の面積の割合は、1%未満であった。
第三陽極酸化工程の陽極酸化時間を10分間とすること以外は、実施例1と同様に行い微粒子捕捉用ろ過膜を得た。
<小孔径部>
小孔径部の厚みは1000nmであった。また、小孔径部の表面、500nm、1000nm位置の孔径の平均は、それぞれ、14nm、14nm、14nmであった。また、小孔径部全体の連通孔の平均孔径は14nmであった。また、連通孔の孔径分布における相対標準偏差は29%であった。また、小孔径部の連通孔の開口の開口率は30%であった。また、小孔径部中の連通孔の存在割合は37%であった。
<中間孔部>
中間孔部の連通孔の孔径は28〜52nmであった。
<大孔径部>
大孔径部の連通孔の孔径は48〜135nmであった。また、大孔径部全体の連通孔の平均孔径は75nmであった。
<ろ過膜の総膜厚>
ろ過膜の総膜厚は25μmであった。
剥離及びエッチング工程を行った後の陽極酸化部分の小孔径部側の表面における、観察視野の面積に対する破損部分の面積の割合は、1%未満であった。
第三陽極酸化工程の陽極酸化時間を2分間とすること以外は、実施例1と同様に行い微粒子捕捉用ろ過膜を得た。
<小孔径部>
小孔径部の厚みは200nmであった。また、小孔径部の表面、100nm、200nm位置の孔径の平均は、それぞれ、10nm、10nm、10nmであった。また、小孔径部全体の連通孔の平均孔径は10nmであった。また、連通孔の孔径分布における相対標準偏差は27%であった。また、小孔径部の連通孔の開口の開口率は17%であった。また、小孔径部中の連通孔の存在割合は30%であった。
<中間孔部>
中間孔部の連通孔の孔径は7〜31nmであった。
<大孔径部>
大孔径部の連通孔の孔径は21〜78nmであった。また、大孔径部全体の連通孔の平均孔径は50nmであった。
<ろ過膜の総膜厚>
ろ過膜の総膜厚は25μmであった。
剥離及びエッチング工程を行った後の陽極酸化部分の小孔径部側の表面における、観察視野の面積に対する破損部分の面積の割合は、30%であった。
第一陽極酸化工程の陽極酸化時間を実施例1よりも長くするとすること以外は、実施例1と同様に行い微粒子捕捉用ろ過膜を得た。
焼成工程での焼成成功率を求めたところ、焼成成功率は100%であった。
剥離工程後の陽極酸化部分の総膜厚は40μmであった。
・微粒子捕捉用ろ過膜の構造の分析
<小孔径部>
小孔径部の厚みは400nmであった。また、小孔径部の表面、200nm、400nm位置の孔径の平均は、それぞれ、10nm、10nm、10nmであった。また、小孔径部全体の連通孔の平均孔径は10nmであった。また、連通孔の孔径分布における相対標準偏差は30%であった。また、小孔径部の連通孔の開口の開口率は20%であった。また、小孔径部中の連通孔の存在割合は36%であった。
<中間孔部>
中間孔部の連通孔の孔径は15〜55nmであった。
<大孔径部>
大孔径部の連通孔の孔径は20〜81nmであった。また、大孔径部全体の連通孔の平均孔径は50nmであった。
<ろ過膜の総膜厚>
ろ過膜の総膜厚は40μmであった。
第一陽極酸化工程の陽極酸化時間を実施例4よりも長くするとすること以外は、実施例1と同様に行い微粒子捕捉用ろ過膜を得た。
焼成工程での焼成成功率を求めたところ、焼成成功率は75%であった。
剥離工程後の陽極酸化部分の総膜厚は50μmであった。
・微粒子捕捉用ろ過膜の構造の分析
<小孔径部>
小孔径部の厚みは400nmであった。また、小孔径部の表面、200nm、400nm位置の孔径の平均は、それぞれ、10nm、10nm、10nmであった。また、小孔径部全体の連通孔の平均孔径は10nmであった。また、連通孔の孔径分布における相対標準偏差は37%であった。また、小孔径部の連通孔の開口の開口率は20%であった。また、小孔径部中の連通孔の存在割合は36%であった。
<中間孔部>
中間孔部の連通孔の孔径は22〜48nmであった。
<大孔径部>
大孔径部の連通孔の孔径は27〜66nmであった。また、大孔径部全体の連通孔の平均孔径は50nmであった。
<ろ過膜の総膜厚>
ろ過膜の総膜厚は50μmであった。
第一陽極酸化工程の陽極酸化時間を実施例5よりも長くすること以外は、実施例1と同様に行い微粒子捕捉用ろ過膜を得た。
焼成工程での焼成成功率を求めたところ、焼成成功率は0%であった。
剥離及びエッチング工程後の陽極酸化部分の総膜厚は60μmであった。
・微粒子捕捉用ろ過膜の構造の分析
焼成工程で全て破損したため、正常な微粒子捕捉用ろ過膜は得られなかったので、分析しなかった。
第二陽極酸化工程にて、電圧を2分間徐々に低下させて陽極酸化を行った後、次いで、1.8重量%シュウ酸溶液中に4時間浸漬させて、得られた陽極酸化アルミニウム材を用いて、第三陽極酸化工程を行ったこと以外は、実施例1と同様に行い微粒子捕捉用ろ過膜を得た。
<小孔径部>
小孔径部の厚みは400nmであった。また、小孔径部の表面、200nm、400nm位置の孔径の平均は、それぞれ、10nm、10nm、10nmであった。また、小孔径部全体の連通孔の平均孔径は10nmであった。また、連通孔の孔径分布における相対標準偏差は36%であった。また、小孔径部の連通孔の開口の開口率は25%であった。また、小孔径部中の連通孔の存在割合は38%であった。
<中間孔部>
中間孔部の連通孔の孔径は16〜72nmであった。
<大孔径部>
大孔径部の連通孔の孔径は31〜120nmであった。また、大孔径部全体の連通孔の平均孔径は80nmであった。
<ろ過膜の総膜厚>
ろ過膜の総膜厚は24μmであった。
剥離及びエッチング工程を行った後の陽極酸化部分の小孔径部側の表面を、走査型電子顕微鏡にて観察した。次いで、得られたSEM画像から、観察視野の面積に対する破損部分の面積の割合を求めた。その結果、観察視野の面積に対する破損部分の面積の割合は、0.1%であった。
焼成工程での焼成成功率を求めたところ、焼成成功率は100%であった。
・微粒子捕捉用ろ過膜の製造
第三陽極酸化工程において、電圧を9.5Vとすることに代えて、電圧を20Vとすること以外は、実施例6と同様に行い微粒子捕捉用ろ過膜を得た。
<小孔径部>
小孔径部の厚みは1000nmであった。また、小孔径部の表面、500nm、1000nm位置の孔径の平均は、それぞれ、20nm、20nm、20nmであった。また、小孔径部全体の連通孔の平均孔径は20nmであった。また、連通孔の孔径分布における相対標準偏差は21%であった。また、小孔径部の連通孔の開口の開口率は26%であった。また、小孔径部中の連通孔の存在割合は36%であった。
<中間孔部>
中間孔部の連通孔の孔径は40〜80nmであった。
<大孔径部>
大孔径部の連通孔の孔径は51〜139nmであった。また、大孔径部全体の連通孔の平均孔径は91nmであった。
<ろ過膜の総膜厚>
ろ過膜の総膜厚は24μmであった。
(実施例8)
第一陽極酸化工程において、陽極酸化を行った後、次いで、1.8重量%シュウ酸溶液中に4時間浸漬させて、得られた陽極酸化アルミニウム材を用いて、第三陽極酸化工程を行ったこと以外は、実施例7と同様に行い微粒子捕捉用ろ過膜を得た。
<小孔径部>
小孔径部の厚みは1000nmであった。小孔径部の表面、500nm、1000nm位置の孔径の平均は、それぞれ、20nm、20nm、20nmであった。また、小孔径部全体の連通孔の平均孔径は20nmであった。また、連通孔の孔径分布における相対標準偏差は28%であった。また、小孔径部の連通孔の開口の開口率は20%であった。また、小孔径部中の連通孔の存在割合は56%であった。
<中間孔部>
中間孔部の連通孔の孔径は40〜80nmであった。
<大孔径部>
大孔径部の連通孔の孔径は62〜136nmであった。また、大孔径部全体の連通孔の平均孔径は90nmであった。
<ろ過膜の総膜厚>
ろ過膜の総膜厚は25μmであった。
剥離及びエッチング工程を行った後の陽極酸化部分の小孔径部側の表面を、走査型電子顕微鏡にて観察した。次いで、得られたSEM画像から、観察視野の面積に対する破損部分の面積の割合を求めた。その結果、観察視野の面積に対する破損部分の面積の割合は、0.1%であった。
焼成工程での焼成成功率を求めたところ、焼成成功率は100%であった。
2 小孔径部
3 中間孔部
4 大孔径部
5 ろ過膜の一方の表面
6 ろ過膜の他方の表面
7 小孔径部の連通孔の開口
8 小孔径部の連通孔
9 中間孔部の連通孔
10 大孔径部の連通孔
11 大孔径部の連通孔の開口
12 壁、骨格部
21 被処理水
22 処理水
23 アルミニウム材
24 対極材
25 電解液
26 直流電源
31 陽極酸化アルミニウム材(1)
32 陽極酸化アルミニウム材(2)
33 陽極酸化アルミニウム材(3)
34 陽極酸化部分
35 アルミニウム材部分
81 小孔径部用の連通孔
91 中間孔部用の連通孔
101 大孔径部用の連通孔
201 小孔径部に対応する部分
301 中間孔部に対応する部分
401 大孔径部に対応する部分
Claims (10)
- アルミニウム材の陽極酸化により連通孔を形成させて得られる微粒子捕捉用ろ過膜であって、
ろ過膜の一方の面に開口する連通孔が形成されている小孔径部と、
該小孔径部の連通孔が繋がり且つ径が該小孔径部の連通孔の径より大きい連通孔が形成されている中間孔部と、
該中間孔部の連通孔が繋がり、径が該中間孔部の連通孔の径より大きく、且つ、ろ過膜の他方の面に開口する連通孔が形成されている大孔径部と、
を有し、
該小孔径部には、ろ過膜の一方の表面から少なくとも400nmの位置まで、孔径の平均が4〜20nmの連通孔が形成されており、
ろ過膜の総膜厚が50μm以下であること、
を特徴とする微粒子捕捉用ろ過膜。 - 前記中間孔部の連通孔には前記小孔径部の複数の連通孔が繋がり、前記大孔径部の連通孔には前記中間孔部の複数の連通孔が繋がっていることを特徴とする請求項1記載の微粒子捕捉用ろ過膜。
- 前記小孔径部の連通孔の孔径分布における相対標準偏差が40%以下であることを特徴とする請求項1又は2いずれか1項記載の微粒子捕捉用ろ過膜。
- 前記ろ過膜の一方の表面の前記小孔径部の連通孔の開口率が10〜50%であることを特徴とする請求項1〜3いずれか1項記載の微粒子捕捉用ろ過膜。
- 走査型電子顕微鏡観察による断面のSEM画像において、前記小孔径部中の連通孔の存在割合が10〜60%であることを特徴とする請求項1〜4いずれか1項記載の微粒子捕捉用ろ過膜。
- 前記小孔径部の厚みが400〜1000nmであることを特徴とする請求項1〜5いずれか1項記載の微粒子捕捉用ろ過膜。
- 微粒子捕捉用ろ過膜全体の総膜厚が15〜50μmであることを特徴とする請求項1〜5いずれか1項記載の微粒子捕捉用ろ過膜。
- アルミニウム材を陽極酸化することにより、該アルミニウム材に大孔径部用の連通孔を形成させて、陽極酸化アルミニウム材(1)を得る第一陽極酸化工程と、
該陽極酸化アルミニウム材(1)を陽極酸化することにより、該陽極酸化アルミニウム材(1)に、該大孔径部用の連通孔に繋がり且つ径が該大孔径部用の連通孔より小さい中間孔部用の連通孔を形成させて、陽極酸化アルミニウム材(2)を得る第二陽極酸化工程と、
該陽極酸化アルミニウム材(2)を陽極酸化することにより、該陽極酸化アルミニウム材(2)に、該中間孔部用の連通孔に繋がり且つ径が該中間孔部用の連通孔より小さい小孔径部用の連通孔を形成させて、陽極酸化アルミニウム材(3)を得る第三陽極酸化工程と、
該陽極酸化アルミニウム材(3)から陽極酸化された部分を剥離し、次いで、剥離した部分をエッチング処理して、陽極酸化部分を得る剥離及びエッチング工程と、
該陽極酸化部分を800〜1200℃で焼成することにより、微粒子捕捉用ろ過膜を得る焼成工程と、
を有し、
該第三陽極酸化工程で、孔径の平均が4〜20nmの連通孔を、厚さ方向に400nm以上形成させること、
及び該第一陽極酸化工程から該第三陽極酸化工程までで、陽極酸化により連通孔を形成させる部分の全厚みが50μm以下であること、
を特徴とする微粒子捕捉用ろ過膜の製造方法。 - アルミニウム材の陽極酸化により連通孔を形成させて得られる多孔質膜であって、
多孔質膜の一方の面に開口する連通孔が形成されている小孔径部と、
該小孔径部の連通孔が繋がり且つ径が該小孔径部の連通孔の径より大きい連通孔が形成されている中間孔部と、
該中間孔部の連通孔が繋がり、径が該中間孔部の連通孔の径より大きく、且つ、多孔質膜の他方の面に開口する連通孔が形成されている大孔径部と、
を有し、
該小孔径部には、多孔質膜の一方の表面から少なくとも400nmの位置まで、孔径の平均が4〜20nmの連通孔が形成されており、
多孔質膜の総膜厚が50μm以下であること、
を特徴とする多孔質膜。 - アルミニウム材を陽極酸化することにより、該アルミニウム材に大孔径部用の連通孔を形成させて、陽極酸化アルミニウム材(1)を得る第一陽極酸化工程と、
該陽極酸化アルミニウム材(1)を陽極酸化することにより、該陽極酸化アルミニウム材(1)に、該大孔径部用の連通孔に繋がり且つ径が該大孔径部用の連通孔より小さい中間孔部用の連通孔を形成させて、陽極酸化アルミニウム材(2)を得る第二陽極酸化工程と、
該陽極酸化アルミニウム材(2)を陽極酸化することにより、該陽極酸化アルミニウム材(2)に、該中間孔部用の連通孔に繋がり且つ径が該中間孔部用の連通孔より小さい小孔径部用の連通孔を形成させて、陽極酸化アルミニウム材(3)を得る第三陽極酸化工程と、
該陽極酸化アルミニウム材(3)から陽極酸化された部分を剥離し、次いで、剥離した部分をエッチング処理して、陽極酸化部分を得る剥離及びエッチング工程と、
該陽極酸化部分を800〜1200℃で焼成することにより、多孔質膜を得る焼成工程と、
を有し、
該第三陽極酸化工程で、孔径の平均が4〜20nmの連通孔を、厚さ方向に400nm以上形成させること、
及び該第一陽極酸化工程から該第三陽極酸化工程までで、陽極酸化により連通孔を形成させる部分の全厚みが50μm以下であること、
を特徴とする多孔質膜の製造方法。
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