JP2016062266A - 品質管理装置およびその管理方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の一実施形態にかかる品質管理装置は、予測部と、実施頻度算出器と、実施信号生成器を備える。前記予測部は、第1検査の検査結果値と、第2検査の合格または不合格の可能性に関する値である予測値とを関連づけた予測モデルに基づき、検査対象について前記第1検査で得られた検査結果値から、前記予測値を算出する。前記実施頻度算出器は、前記予測部が算出した予測値に応じて、前記検査対象について前記第2検査を実施する実施頻度を決定する。前記実施信号生成器は、前記実施頻度に応じて、前記検査対象について前記第2検査の実施有無を表す信号を生成する。
【選択図】図1
Description
行列式のjおよびkは、それぞれ検査1または検査2を構成する検査項目の数を表す。
なお、検査結果記憶装置の容量に限りがある場合は、一定期間もしくは一定の装置台数までのデータを保持し、過去のデータから消して製品IDとiとの対応付けを更新しても良い。
以上で、予測部102内部での予測処理は完了する。
以上で、実施制御部107内部での制御処理は完了する。
以上で、予測部102内部での予測パラメタ更新処理は完了する。
以上で、第二予測部201内部での予測処理は完了する。
以上で、第二予測部201内部での第二予測パラメタ更新処理は完了する。
102 予測部
103 予測モデル記憶装置
104 検査2結果予測器
105 予測値記憶装置
106 予測パラメタ更新器
107 実施制御部
108 検査2実施頻度算出器
109 検査2実施信号生成器
110 予測パラメタ更新信号生成器
111 入力装置
112 工程切替器
113 検査2実施器
114 検査3実施器
115 検査1実施器
201 第二予測部
202 更新情報フィルタ
203 第二予測モデル記憶装置
204 第二検査2結果予測器
205 第二予測値記憶装置
206 第二予測パラメタ更新器
301 品質管理装置
302 出力装置
303 主記憶装置
304 補助記憶装置
305 入力装置
306 プロセッサ
307 インターフェイス
308 バス
309 外部記憶媒体
Claims (12)
- 第1検査の検査結果値と、第2検査の合格または不合格の可能性に関する値である予測値とを関連づけた予測モデルに基づき、検査対象について前記第1検査で得られた検査結果値から、前記予測値を算出する予測部と、
前記予測部が算出した予測値に応じて、前記検査対象について前記第2検査を実施する実施頻度を算出する実施頻度算出器と、
前記実施頻度に応じて、前記検査対象について前記第2検査の実施有無を表す信号を生成する実施信号生成器と
を備えた品質管理装置。 - 前記実施頻度算出器は、前記予測値と前記実施頻度とを対応づけた関数に基づき、前記実施頻度を決定する
請求項1に記載の品質管理装置。 - 前記予測値は、前記検査対象が合格または不合格である確率を表し、
前記関数は、前記予測値が所定値のとき、最も大きな値の実施頻度を返し、前記所定値より大ききなるほど、また前記所定値より小さくなるほど、小さな値の実施頻度を返す、
請求項2に記載の品質管理装置。 - 前記関数は、前記予測値が下限値以上かつ上限値以下のとき0より大きい第1の確率値の実施頻度を返し、前記下限値未満および前記上限値より大きい範囲では、確率0または前記第1の確率値より小さい第2の確率値の実施頻度を返す
請求項2に記載の品質管理装置。 - 前記第2検査の検査結果値に基づき定まる合格か不合格かを示す評価値と、前記予測部により算出された予測値とを記憶する記憶装置を備え、
前記実施頻度算出器は、複数の前記検査対象に対して、前記第2検査を実施すると決定した回数に応じて、前記予測モデルの更新の有無を決定し、
前記予測部は、前記実施頻度算出器により前記予測モデルを更新すると決定されたとき、前記記憶装置に記憶されたデータに基づいて、前記予測モデルを更新する
請求項1ないし4のいずれか一項に記載の品質管理装置。 - 前記予測モデルは、前記第1検査の検査結果値に対する第1予測パラメタを含み、
前記予測部は、前記記憶装置に記憶されたデータに基づき、予測パラメタと、前記予測値と、前記評価値とを関連づける関数における前記予測パラメタの値を決定し、前記予測モデルにおける前記第1予測パラメタを、前記決定した予測パラメタの値に更新する
請求項5に記載の品質管理装置。 - 前記実施信号生成器は、前記第2検査の実施有無を表す信号として、前記検査対象について前記第2検査および前記第2検査よりもコストの低い第3検査のいずれかを実施するかを表す信号を生成する
請求項1ないし6のいずれか一項に記載の品質管理装置。 - 前記実施信号生成器により前記第2検査を実施することを表す信号が生成されたとき、前記第2検査を実施する実施器に対して前記第2検査の実施を指示する信号を出力し、前記実施信号生成器により前記第3検査を実施することを表す信号が生成されたとき、前記第3検査を実施する実施器に対して前記第3検査の実施を指示する信号を出力する工程切替器
を備える請求項7に記載の品質管理装置。 - 前記第1検査の検査結果値のうち予め定めた条件を満たす検査対象についての検査結果値と、前記第2検査の合格または不合格の可能性に関する値である予測値とを関連づけた第2予測モデルに基づき、前記検査対象のうち予め定めた条件を満たす検査対象について、前記第1検査で得られた検査結果値から、前記予測値を算出する第2予測部を備え、
前記実施頻度算出器は、前記予測部が算出した予測値と前記第2予測部が算出した予測値とに基づいて、前記予め定めた条件を満たす検査対象について前記実施頻度を決定する
請求項5または6に記載の品質管理装置。 - 前記記憶装置において、前記予め与えられた条件を満たす検査対象について、前記予測値と前記評価値とを抽出するフィルタを備え、
前記実施頻度算出器は、前記予め定めた条件を満たす複数の前記検査対象に対して、前記第2検査を実施すると決定した回数に応じて、前記第2予測モデルの更新の有無を決定し、
前記第2予測部は、前記実施制御部により前記第2予測モデルを更新すると決定されたとき、前記記憶装置に記憶された前記フィルタにより抽出されるデータに基づいて、前記第2予測モデルを更新する
請求項8に記載の品質管理装置。 - 前記第2予測モデル、前記第1検査の検査結果値のうち予め定めた条件を満たす検査対象についての検査結果値に対する第2予測パラメタを含み、
前記第2予測部は、前記記憶装置に記憶された前記更新情報フィルタにより抽出されるデータに基づいて、予測パラメタと、前記予測値と、前記評価値とを関連づけた関数における前記予測パラメタの値を決定し、前記第2予測モデルにおける前記第2予測パラメタを、前記決定した予測パラメタの値によって更新する
請求項9に記載の品質管理装置。 - 第1検査の検査結果値と、第2検査の合格または不合格の可能性に関する値である予測値とを関連づけた予測モデルに基づき、検査対象について前記第1検査で得られた検査結果値から、前記予測値を算出する予測ステップと、
前記予測ステップが算出した予測値に応じて、前記検査対象について前記第2検査を実施する実施頻度を算出する実施頻度算出ステップと、
前記実施頻度に応じて、前記検査対象について前記第2検査の実施有無を表す信号を生成する実施信号生成ステップと
をコンピュータが実行する品質管理方法。
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