JP2016058719A - Multilayer ceramic capacitor - Google Patents

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康弘 西坂
Yasuhiro Nishizaka
康弘 西坂
義人 齊藤
Yoshito Saito
義人 齊藤
小川 誠
Makoto Ogawa
誠 小川
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a multilayer ceramic capacitor capable of preventing degradation of insulation resistance by reducing an influence of hydrogen generated in a plating step.SOLUTION: A multilayer ceramic capacitor 1 includes at least one kind of an element forming hydrogen and a covalent bonded hydride (except for elements generating a hydride having a boiling point of less than 125°C) and an element forming hydrogen and a hydride at a boundary region between an outermost layer of a plating layer 13c constituting an external electrode 13 and a dielectric layer 10 constituting a ceramic element 11.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は積層セラミックコンデンサであって、特に、積層セラミックコンデンサの外部電極や内部電極の構造に関する。   The present invention relates to a multilayer ceramic capacitor, and more particularly to the structure of external electrodes and internal electrodes of the multilayer ceramic capacitor.

積層セラミックコンデンサは、積層した複数の誘電体層により構成されるセラミック素体と、誘電体層の間にそれぞれ配設された複数の内部電極と、内部電極と導通するようにセラミック素体に形成された一対の外部電極とを備えている。そして、外部電極の表面には、実装時のはんだ食われを防止するためのNiめっきが施されており、さらに、はんだ付け実装の際のはんだ付け性を向上させるために、Niめっき膜上にSnめっきが施されている。このNiやSnなどのめっきは、通常、電解めっきの方法により形成される。   A multilayer ceramic capacitor is formed in a ceramic body that is electrically connected to a ceramic body composed of a plurality of laminated dielectric layers, a plurality of internal electrodes disposed between the dielectric layers, and the internal electrodes. And a pair of external electrodes. The surface of the external electrode is Ni-plated to prevent solder erosion at the time of mounting. Further, in order to improve solderability at the time of soldering and mounting, on the Ni plating film Sn plating is given. The plating of Ni, Sn, etc. is usually formed by an electrolytic plating method.

特許文献1には、めっき工程での化学反応により水素イオンが発生し、この水素イオンが内部電極に吸蔵され、周囲の誘電体層を徐々に還元して、絶縁抵抗を劣化させるなどの問題を起こすことが記載されている。そして、その解決手段として、貴金属(例えば、Ag−Pd合金)を主成分とする内部電極を用いた場合には、その内部電極に水素の吸収を不活性化させる金属(例えば、Ni)を添加することが記載されている。   In Patent Document 1, hydrogen ions are generated by a chemical reaction in the plating process, and the hydrogen ions are occluded in the internal electrode, and the surrounding dielectric layer is gradually reduced to deteriorate the insulation resistance. It is described to wake up. As a solution, when an internal electrode mainly composed of a noble metal (for example, Ag—Pd alloy) is used, a metal (for example, Ni) that deactivates hydrogen absorption is added to the internal electrode. It is described to do.

特開平1−80011号公報Japanese Patent Laid-Open No. 1-80011

しかしながら、近年は材料コスト削減のために、内部電極の材料としてAgやPdなどの貴金属ではなく、Niなどの卑金属を用いる場合が多くなっている。また、特許文献1には、Niが「水素の吸収を不活性化させる金属」であると記載されているものの、発明者等の研究によれば、内部電極がNiの場合であっても水素の影響によって、絶縁抵抗の劣化につながることがわかっている。   However, in recent years, in order to reduce the material cost, a base metal such as Ni is often used instead of a noble metal such as Ag or Pd as a material for the internal electrode. Further, although Patent Document 1 describes that Ni is “a metal that inactivates absorption of hydrogen”, according to research by the inventors, even if the internal electrode is Ni, It has been found that the influence of this leads to deterioration of insulation resistance.

本発明は、上記課題を解決するものであり、めっき工程で発生する水素の影響を低減し、絶縁抵抗の劣化を防止することが可能な、積層セラミックコンデンサを提供することを目的とする。   The present invention solves the above-described problems, and an object of the present invention is to provide a multilayer ceramic capacitor capable of reducing the influence of hydrogen generated in a plating process and preventing deterioration of insulation resistance.

上述したとおり、従来は、めっき工程で発生した水素が絶縁抵抗の劣化に影響すると考えられていた。発明者等は上述の絶縁抵抗の劣化について研究を行い、めっき工程で発生した水素の多くはいったん外部電極や内部電極に吸蔵され、積層セラミックコンデンサに対して温度付加、電圧印加があったときに拡散し、誘電体層に到達するという知見を得た。発明者等はかかる知見に基づいてさらに実験、検討を重ね、本発明を完成するに至った。   As described above, conventionally, it has been considered that hydrogen generated in the plating process affects the deterioration of the insulation resistance. The inventors conducted research on the deterioration of the insulation resistance described above, and most of the hydrogen generated in the plating process was once stored in the external and internal electrodes, and when a temperature was applied to the multilayer ceramic capacitor and a voltage was applied. It was found that it diffused and reached the dielectric layer. The inventors have further experimented and studied based on this knowledge, and have completed the present invention.

すなわち、本発明の積層セラミックコンデンサは、
積層された複数の誘電体層を備え、互いに対向する両端面と前記両端面を連結する複数の側面とを有するセラミック素体と、
卑金属を主成分として含有し、積層された前記誘電体層の間に配設され、前記両端面に交互に引き出された複数の内部電極と、
前記セラミック素体の前記両端面に引き出された前記内部電極と導通するように前記セラミック素体に形成された外部電極本体と、前記外部電極本体の外側に形成された少なくとも一層のめっき層とを有する外部電極と
を備える積層セラミックコンデンサであって、
前記めっき層のうちの最外層のめっき層と前記誘電体層との間に、水素と共有結合型水素化物を形成する元素(ただし、沸点が125℃未満の水素化物を生成する元素は除く)、および、水素と境界領域の水素化物を形成する元素の少なくとも1種を含有していること
を特徴としている。
That is, the multilayer ceramic capacitor of the present invention is
A ceramic body having a plurality of laminated dielectric layers, and having both end faces facing each other and a plurality of side faces connecting the both end faces;
Containing a base metal as a main component, disposed between the laminated dielectric layers, and a plurality of internal electrodes alternately drawn to both end faces;
An external electrode body formed on the ceramic body so as to be electrically connected to the internal electrodes drawn to the both end faces of the ceramic body, and at least one plating layer formed outside the external electrode body. A multilayer ceramic capacitor comprising: an external electrode having:
An element that forms a covalent hydride with hydrogen between the outermost plating layer and the dielectric layer of the plating layer (excluding an element that forms a hydride having a boiling point of less than 125 ° C.) And at least one element forming a hydride in the boundary region with hydrogen.

上記において、水素と共有結合型水素化物(covalent hydride)を形成する元素(ただし、沸点が125℃未満の水素化物を生成する元素は除く)とは、長周期型周期律表のIn、Tlを除くほう素族、炭素族、窒素族、酸素族、ハロゲンと、水素とが化合物を形成することのできる元素をいう。また、水素と境界領域の水素化物を形成する元素とは、共有結合型水素化物と金属結合型水素化物(metal-like hydride)の境界にある元素であって、長周期型周期律表のAl、Gaを除くほう素族、第11族、第12族と、水素とが化合物を形成することのできる元素をいう。   In the above, an element that forms a covalent hydride with hydrogen (excluding an element that generates a hydride having a boiling point of less than 125 ° C.) refers to In and Tl in the long-period periodic table. Except boron group, carbon group, nitrogen group, oxygen group, halogen, and hydrogen are elements capable of forming a compound. The element forming the hydride in the boundary region with hydrogen is an element at the boundary between the covalent hydride and the metal-like hydride, and Al in the long-period periodic table. Boron group excluding Ga, Group 11 and Group 12, and hydrogen are elements capable of forming a compound.

また、最外層のめっき層と誘電体層との間に存在するものとしては、内部電極や外部電極本体はもちろん含まれ、最外層のめっき層と外部電極本体の間、外部電極本体と内部電極との界面、または、内部電極と誘電体層との界面に導電体が形成されていればそれも含まれる。
また、前記元素は、その元素単体で最外層のめっき層と誘電体層との間に存在していてもよいし、最外層のめっき層と誘電体層との間にある他の元素と結合していてもよい。また、前記水素は、水素原子、水素イオン、水素分子、水素の同位体などいずれの状態のものも含む。ここでいう水素は、主にめっき工程での電気分解により発生した水素であるが、その他にも、めっき液や結露により生じた水や、大気中の水蒸気、として存在する水素も含まれる。
In addition, the internal electrode and the external electrode main body are included between the outermost plating layer and the dielectric layer, and of course, between the outermost plating layer and the external electrode main body, and between the external electrode main body and the internal electrode. Or a conductor is formed at the interface between the internal electrode and the dielectric layer.
The element may be present between the outermost plating layer and the dielectric layer as a single element, or may be bonded to another element between the outermost plating layer and the dielectric layer. You may do it. The hydrogen includes any state such as hydrogen atom, hydrogen ion, hydrogen molecule, and hydrogen isotope. The hydrogen referred to here is hydrogen generated mainly by electrolysis in the plating step, but also includes hydrogen present as plating solution or water generated by condensation or water vapor in the atmosphere.

外部電極本体に前記元素を含有させるようにした場合、外部電極本体に水素を保持させて外部電極本体からの水素の拡散を抑制することが可能となる。   When the external electrode main body contains the element, hydrogen can be held in the external electrode main body to suppress hydrogen diffusion from the external electrode main body.

また、内部電極に前記元素を含有させるようにした場合も、内部電極に水素を保持させて内部電極から誘電体層への水素の拡散を抑制することが可能になる。   Also, when the internal electrode contains the element, hydrogen can be held in the internal electrode to suppress the diffusion of hydrogen from the internal electrode to the dielectric layer.

また、本発明の他の積層セラミックコンデンサは、
積層された複数の誘電体層を備え、互いに対向する両端面と前記両端面を連結する複数の側面とを有するセラミック素体と、
卑金属を主成分として含有し、積層された前記誘電体層の間に配設され、前記両端面に交互に引き出された複数の内部電極と、
前記セラミック素体の前記両端面に引き出された前記内部電極と導通するように前記セラミック素体に形成された外部電極本体と、前記外部電極本体の外側に形成された少なくとも一層のめっき層とを有する外部電極と
を備える積層セラミックコンデンサであって、
前記内部電極と前記外部電極本体との界面、前記外部電極本体の外側の表面、前記外部電極本体の内部、前記内部電極と前記誘電体層との界面、および、前記めっき層が複数の層を備えている場合の最外層のめっき層とその内側のめっき層との界面に、水素と共有結合型水素化物を形成する元素(ただし、沸点が125℃未満の水素化物を生成する元素は除く)、および、水素と境界領域の水素化物を形成する元素の少なくとも1種を含有する水素保持膜を備えていること
を特徴としている。
In addition, another multilayer ceramic capacitor of the present invention is
A ceramic body having a plurality of laminated dielectric layers, and having both end faces facing each other and a plurality of side faces connecting the both end faces;
Containing a base metal as a main component, disposed between the laminated dielectric layers, and a plurality of internal electrodes alternately drawn to both end faces;
An external electrode body formed on the ceramic body so as to be electrically connected to the internal electrodes drawn to the both end faces of the ceramic body, and at least one plating layer formed outside the external electrode body. A multilayer ceramic capacitor comprising: an external electrode having:
The interface between the internal electrode and the external electrode body, the outer surface of the external electrode body, the inside of the external electrode body, the interface between the internal electrode and the dielectric layer, and the plating layer includes a plurality of layers. Elements that form a covalent bond hydride with hydrogen at the interface between the outermost plating layer and the inner plating layer (except for elements that generate hydrides with a boiling point of less than 125 ° C) And a hydrogen holding film containing at least one element forming a hydride in the boundary region with hydrogen.

上記における水素保持膜は、連続的に形成されていてもよく、また、部分的に存在していたり、網目状、線状などの態様で存在していたりしてもよい。   The hydrogen retaining film in the above may be formed continuously, or may be partially present, or may be present in the form of a mesh or a line.

また、前記元素は、Sn、Bi、Al、Ag、Zn、Au、In、Ga、Ge、Siからなる群より選ばれる少なくとも1種であるであることが好ましい。   The element is preferably at least one selected from the group consisting of Sn, Bi, Al, Ag, Zn, Au, In, Ga, Ge, and Si.

Sn、Bi、Al、Ag、Zn、Au、In、Ga、Ge、Siが水素と結合した後、その水素を保持するので、誘電体層への水素の拡散を抑制することができる。
なお、これらの元素の中でも、Sn、Bi、Alは、融点が低く、合金を形成しやすいため、特に好ましい元素である。
Since Sn, Bi, Al, Ag, Zn, Au, In, Ga, Ge, and Si are bonded to hydrogen and then hold the hydrogen, diffusion of hydrogen into the dielectric layer can be suppressed.
Among these elements, Sn, Bi, and Al are particularly preferable elements because they have a low melting point and easily form an alloy.

本発明の積層セラミックコンデンサは、最外層のめっき層と誘電体層との間に、水素と共有結合型水素化物を形成する元素(ただし、沸点が125℃未満の水素化物を生成する元素は除く)、および、水素と境界領域の水素化物を形成する元素の少なくとも1種を含有しているので、めっき工程で発生した水素を、最外層のめっき層と誘電体層との間で保持することができる。これにより、誘電体層への水素の拡散を抑制することができ、絶縁抵抗(IR)の劣化を防止することができる。   In the multilayer ceramic capacitor of the present invention, an element that forms a covalent bond hydride with hydrogen (except an element that generates a hydride having a boiling point of less than 125 ° C.) between the outermost plating layer and the dielectric layer. ) And at least one element forming a hydride in the boundary region with hydrogen, so that hydrogen generated in the plating process is held between the outermost plating layer and the dielectric layer. Can do. Thereby, diffusion of hydrogen into the dielectric layer can be suppressed, and deterioration of insulation resistance (IR) can be prevented.

または、本発明の他の積層セラミックコンデンサは、内部電極と外部電極本体との界面、外部電極本体の外側の表面、外部電極本体の内部、内部電極と誘電体層との界面、および、めっき層が複数の層を備えている場合の最外層のめっき層とその内側のめっき層との界面に、水素と共有結合型水素化物を形成する元素(ただし、沸点が125℃未満の水素化物を生成する元素は除く)、および、水素と境界領域の水素化物を形成する元素の少なくとも1種を含有する水素保持膜を備えているので、水素保持膜により水素を保持して、誘電体層への水素の拡散を抑制することができる。
なお、水素保持膜は、内部電極と誘電体層との界面、内部電極と外部電極本体との界面、外部電極本体の外側の表面、外部電極本体の内部、内部電極と誘電体層との界面、および、めっき層が複数の層で形成される場合の最外層のめっき層とその内側のめっき層との界面の一つに配設されていればよい。ただし、2つ以上に配設された構成とすることも可能である。
Alternatively, another multilayer ceramic capacitor of the present invention includes an interface between the internal electrode and the external electrode body, an outer surface of the external electrode body, an inside of the external electrode body, an interface between the internal electrode and the dielectric layer, and a plating layer. In the case where has a plurality of layers, an element which forms a covalent bond hydride with hydrogen at the interface between the outermost plating layer and the inner plating layer (however, a hydride having a boiling point of less than 125 ° C is generated. And a hydrogen holding film containing at least one element forming a hydride in the boundary region with hydrogen, so that hydrogen is held by the hydrogen holding film, Hydrogen diffusion can be suppressed.
In addition, the hydrogen retaining film includes the interface between the internal electrode and the dielectric layer, the interface between the internal electrode and the external electrode body, the outer surface of the external electrode body, the inside of the external electrode body, and the interface between the internal electrode and the dielectric layer. When the plating layer is formed of a plurality of layers, it may be disposed at one of the interfaces between the outermost plating layer and the inner plating layer. However, a configuration in which two or more are provided is also possible.

本発明の実施形態1にかかる積層セラミックコンデンサの断面図である。It is sectional drawing of the multilayer ceramic capacitor concerning Embodiment 1 of this invention. 本発明の実施形態1にかかる積層セラミックコンデンサの内部電極と外部電極本体の接合部を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the junction part of the internal electrode and external electrode main body of the multilayer ceramic capacitor concerning Embodiment 1 of this invention. 本発明の実施形態1にかかる積層セラミックコンデンサの断面をFE−WDX法(電解放射−波長分散型X線分析法)により分析して得たSnのマッピング図である。It is a Sn mapping figure obtained by analyzing the section of the multilayer ceramic capacitor concerning Embodiment 1 of the present invention by FE-WDX method (electrolytic radiation-wavelength dispersion type X-ray analysis method). 本発明の実施形態2にかかる積層セラミックコンデンサの断面図である。It is sectional drawing of the multilayer ceramic capacitor concerning Embodiment 2 of this invention. 本発明の実施形態3にかかる積層セラミックコンデンサの断面図である。It is sectional drawing of the multilayer ceramic capacitor concerning Embodiment 3 of this invention. 本発明の実施形態4にかかる積層セラミックコンデンサの断面図である。It is sectional drawing of the multilayer ceramic capacitor concerning Embodiment 4 of this invention. 本発明の実施形態5にかかる積層セラミックコンデンサの断面図である。It is sectional drawing of the multilayer ceramic capacitor concerning Embodiment 5 of this invention.

[実施形態1]
図1を参照しつつ、本発明の実施形態1にかかる積層セラミックコンデンサ1について説明する。積層セラミックコンデンサ1は、積層された複数の誘電体層10を備え、互いに対向する両端面11aと、両端面11aを連結する複数の側面11bを有するセラミック素体11と、積層された誘電体層10の間に配設され、セラミック素体11の両端面11aに交互に引き出された複数の内部電極12と、内部電極12と導通するように形成された一対の外部電極13を備えている。
[Embodiment 1]
A multilayer ceramic capacitor 1 according to a first embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. The multilayer ceramic capacitor 1 includes a plurality of stacked dielectric layers 10, a ceramic body 11 having both end faces 11 a facing each other, and a plurality of side faces 11 b connecting the both end faces 11 a, and stacked dielectric layers 10, a plurality of internal electrodes 12 that are alternately drawn to both end faces 11 a of the ceramic body 11, and a pair of external electrodes 13 that are formed so as to be electrically connected to the internal electrodes 12.

セラミック素体11は、両端面11aおよび4つの側面11bからなる略直方体形状をしており、コーナー部および稜部が面取りされ、丸みを有している。誘電体層10を構成する材料としては、BaTiO3系の誘電体セラミックが用いられている。その他にも、CaTiO3、SrTiO3、CaZrO3などを主成分とする誘電体セラミックを用いることができる。 The ceramic body 11 has a substantially rectangular parallelepiped shape composed of both end faces 11a and four side faces 11b, and has corners and ridges chamfered and rounded. As a material constituting the dielectric layer 10, a BaTiO 3 dielectric ceramic is used. In addition, a dielectric ceramic whose main component is CaTiO 3 , SrTiO 3 , CaZrO 3 or the like can be used.

内部電極12は、セラミック素体11の両端面11aに交互に露出するように形成されている。内部電極12を構成する導電材料はとしては、Niを主成分とする材料が用いられている。その他にも、Cuなどを主成分とする卑金属を用いることができる。   The internal electrodes 12 are formed so as to be alternately exposed at both end faces 11 a of the ceramic body 11. As the conductive material constituting the internal electrode 12, a material mainly composed of Ni is used. In addition, a base metal mainly composed of Cu or the like can be used.

外部電極13は、セラミック素体11の両端面11aに形成され、内部電極12と導通するように形成された外部電極本体13aと、外部電極本体13aの外側に形成されためっき層13b、13cを有する。外部電極本体13aは、金属粉末とガラスを含む導電ペーストをセラミック素体11の端面11aに塗布して焼成することにより形成される。外部電極本体13aを構成する材料としては、Cuを主成分とする金属が用いられている。その他にも、Niなどを主成分とする導電材料を用いることができる。Niなど外部電極本体13aの厚みは、例えば、1〜100μmである。   The external electrode 13 is formed on both end surfaces 11a of the ceramic body 11, and includes an external electrode body 13a formed so as to be electrically connected to the internal electrode 12, and plating layers 13b and 13c formed outside the external electrode body 13a. Have. The external electrode main body 13a is formed by applying a conductive paste containing metal powder and glass to the end face 11a of the ceramic body 11 and baking it. As a material constituting the external electrode main body 13a, a metal mainly composed of Cu is used. In addition, a conductive material mainly containing Ni or the like can be used. The thickness of the external electrode body 13a such as Ni is 1 to 100 μm, for example.

めっき層13b、13cは、外部電極本体13aの外側の表面に形成されためっき層13bと、めっき層13bの外側の表面に形成された最外層のめっき層13cにより構成されている。めっき層13bを構成する材料としてはNiが用いられており、めっき層13cを構成する材料としてはSnが用いられている。最外層のめっき層13cとしては、その他にも、Pd、Cu、Auなどの金属を用いることができる。それぞれのめっき層13b、13cの厚みは、例えば、0.1〜20μmである。めっき層13b、13cは、電解めっきの方法で形成した。なお、めっき層は複数層に限られず、Cuなどの金属により一層で構成されていてもよい。   The plating layers 13b and 13c are composed of a plating layer 13b formed on the outer surface of the external electrode body 13a and an outermost plating layer 13c formed on the outer surface of the plating layer 13b. Ni is used as a material constituting the plating layer 13b, and Sn is used as a material constituting the plating layer 13c. In addition, a metal such as Pd, Cu, or Au can be used as the outermost plating layer 13c. The thickness of each plating layer 13b and 13c is 0.1-20 micrometers, for example. The plating layers 13b and 13c were formed by an electrolytic plating method. The plating layer is not limited to a plurality of layers, and may be composed of a single layer of metal such as Cu.

そして、この実施形態の積層セラミックコンデンサ1においては、外部電極本体13aの表面のめっき層13bと誘電体層10とを連結する導電経路体15に、水素と共有結合型水素化物を形成する元素(ただし、沸点が125℃未満の水素化物を生成する元素は除く)、および、水素と境界領域の水素化物を形成する元素の少なくとも1種(水素保持元素)を含有させるようにしている。
そして、この実施形態1では、上述の導電経路体15の一部を構成する外部電極本体13bに水素保持元素を含有させるようにしている。
In the multilayer ceramic capacitor 1 of this embodiment, an element that forms a covalent bond hydride with hydrogen in the conductive path body 15 that connects the plating layer 13b and the dielectric layer 10 on the surface of the external electrode body 13a ( However, except for an element that generates a hydride having a boiling point of less than 125 ° C.) and at least one element (hydrogen holding element) that forms a hydride in the boundary region with hydrogen.
In the first embodiment, the external electrode main body 13b constituting a part of the conductive path body 15 is made to contain a hydrogen holding element.

なお、ここで導電経路体15とは、外部電極本体13aの表面のめっき層13bと誘電体層10の間に形成されている導電経路であり、内部電極12や外部電極本体13aがこれに含まれる。さらに、めっき層13bと外部電極本体13aとの界面、外部電極本体13aと内部電極12との界面、または、内部電極12と誘電体層10との界面に別の導電体が形成されている場合には、それも含まれる。   Here, the conductive path body 15 is a conductive path formed between the plating layer 13b on the surface of the external electrode body 13a and the dielectric layer 10, and includes the internal electrode 12 and the external electrode body 13a. It is. Further, when another conductor is formed at the interface between the plating layer 13b and the external electrode body 13a, the interface between the external electrode body 13a and the internal electrode 12, or the interface between the internal electrode 12 and the dielectric layer 10. It also includes it.

また、水素と共有結合型水素化物(covalent hydride)を形成する元素(ただし、沸点が125℃未満の水素化物を生成する元素は除く)とは、長周期型周期律表のIn、Tlを除くほう素族(B、Al、Ga)、炭素族(C、Si、Ge、Sn、Pb)、窒素族(N、P、As、Sb、Bi)、酸素族(O、S、Se、Te、Po)、ハロゲン(F、Cl、Br、I、At)と、水素とが化合物を形成することのできる元素をいう。また、水素と境界領域の水素化物を形成する元素とは、共有結合型水素化物と金属結合型水素化物(metal-like hydride)の境界にある元素であって、長周期型周期律表のAl、Gaを除くほう素族(In、Tl)、第11族(Cu、Ag、Au)、第12族(Zn、Cd、Hg)と、水素とが化合物を形成することのできる元素をいう。これらの元素は、水素と安定した化合物を形成する。すなわち、いったん水素と結合すると、その水素を離脱させるためにエネルギーを要し、水素を放出しにくいという性質がある。この性質を利用して、めっき工程で発生した水素を、上述した導電経路体15中に保持することができる。   In addition, elements that form a covalent hydride with hydrogen (excluding elements that generate hydrides having a boiling point of less than 125 ° C.) exclude In and Tl in the long-period periodic table. Boron group (B, Al, Ga), carbon group (C, Si, Ge, Sn, Pb), nitrogen group (N, P, As, Sb, Bi), oxygen group (O, S, Se, Te, Po), halogen (F, Cl, Br, I, At) and hydrogen are elements capable of forming a compound. The element forming the hydride in the boundary region with hydrogen is an element at the boundary between the covalent hydride and the metal-like hydride, and Al in the long-period periodic table. Boron group (In, Tl) excluding Ga, Group 11 (Cu, Ag, Au), Group 12 (Zn, Cd, Hg) and hydrogen are elements capable of forming a compound. These elements form stable compounds with hydrogen. That is, once combined with hydrogen, energy is required to release the hydrogen, and it is difficult to release hydrogen. By utilizing this property, hydrogen generated in the plating process can be held in the conductive path body 15 described above.

導電経路体15の一部を構成する外部電極本体13aに水素保持元素を含有させるため、この実施形態では、外部電極本体13aを形成する際の導電ペースト中に、金属の状態にある上記水素保持元素の粉末(水素保持金属粉末)を配合した。導電ペーストに配合する水素保持金属粉末の割合は、固形分比率で、1〜40vol%とすることが好ましい。
なお、水素保持金属は、その金属単体で外部電極本体13aに存在していてもよく、また、場合によっては外部電極本体13aの他の金属と相互に分散していたり、合金化していたりしていてもよい。
In order to make the external electrode main body 13a constituting a part of the conductive path body 15 contain a hydrogen holding element, in this embodiment, in the conductive paste used to form the external electrode main body 13a, the above-described hydrogen holding in a metal state Elemental powder (hydrogen-retaining metal powder) was blended. The ratio of the hydrogen-retaining metal powder blended in the conductive paste is preferably a solid content ratio of 1 to 40 vol%.
The hydrogen holding metal may be present in the external electrode main body 13a as a single metal, and depending on the case, it may be dispersed or alloyed with other metals of the external electrode main body 13a. May be.

ここで、水素保持元素としてSnを添加した積層セラミックコンデンサ1の断面をFE−WDX法(電解放射−波長分散型X線分析法)により観察した。
図2は、水素保持金属としてSnを添加した、Cuを主成分とする導電ペーストを用いて外部電極本体13aを形成した積層セラミックコンデンサ1の断面をFE−WDX法(電解放射−波長分散型X線分析法)により分析して得たSn(水素保持金属)のマッピング図である。
分析用の試料は、積層セラミックコンデンサ1をセラミック素体11の端面11aおよび最上層の誘電体層10と直交する方向に沿って、その体積が約1/2になるまで研磨した後、内部電極の研磨ダレをミリング処理することにより作製した。そして、上述のようにして作製した試料をFE−WDX法により、以下の条件で分析した。
加速電圧:15.0kV
照射電流:5×10−8A
倍率:3000倍
DwellTime(1つの画素での取り込み時間):40ms
分析深さ:1〜2μm
Here, the cross section of the multilayer ceramic capacitor 1 to which Sn was added as a hydrogen holding element was observed by the FE-WDX method (electrolytic radiation-wavelength dispersive X-ray analysis method).
FIG. 2 shows a cross section of a multilayer ceramic capacitor 1 in which an external electrode body 13a is formed using a conductive paste containing Cu as a main component to which Sn is added as a hydrogen holding metal. It is a mapping figure of Sn (hydrogen holding | maintenance metal) obtained by analyzing by a line analysis method.
The sample for analysis was prepared by polishing the multilayer ceramic capacitor 1 along the direction orthogonal to the end face 11a of the ceramic body 11 and the uppermost dielectric layer 10 until the volume thereof was about ½, This was prepared by milling the polishing sag. And the sample produced as mentioned above was analyzed on condition of the following by FE-WDX method.
Acceleration voltage: 15.0kV
Irradiation current: 5 × 10 −8 A
Magnification: 3000 times
DwellTime (capture time for one pixel): 40 ms
Analysis depth: 1-2 μm

その結果、図2に示すように、Snが外部電極本体13a中に存在するとともに、セラミック素体11の端面11aに引き出された内部電極12の引き出し部12aにも一部存在することが確認された。   As a result, as shown in FIG. 2, it is confirmed that Sn is present in the external electrode main body 13a and partly in the lead portion 12a of the internal electrode 12 drawn to the end face 11a of the ceramic body 11. It was.

<評価試験>
この実施形態の積層セラミックコンデンサ1の有意性を確認するため、Cu粉末を導電成分とする導電ペーストに、表1に示すような異なる種類の金属粉末(Sn、Bi、Ag、Pd)を添加した導電ペースト、および、金属粉末を添加していない導電ペーストを用いて表1の試料番号1〜5の試料を作製した。
<Evaluation test>
In order to confirm the significance of the multilayer ceramic capacitor 1 of this embodiment, different types of metal powders (Sn, Bi, Ag, Pd) as shown in Table 1 were added to a conductive paste containing Cu powder as a conductive component. Samples of sample numbers 1 to 5 in Table 1 were prepared using the conductive paste and the conductive paste to which no metal powder was added.

なお、導電ペーストの詳細な仕様は、以下のとおりとした。
固形分量:25vol%
固形分中のCu粉末の比率:70vol%
固形分中のガラスの比率:25vol%
固形分中の添加金属粉末の比率:5vol%
Cu粉末の粒径:3μm
ガラスの粒径:2μm
ガラスの組成:BaO−SrO−B2O3−SiO2系ガラスフリット(ガラスフリットが酸化物換算で、BaO:10〜50重量%、B2O3:3〜30重量%、SiO2:3〜30重量%、系のガラスを使用した)
The detailed specifications of the conductive paste were as follows.
Solid content: 25 vol%
Ratio of Cu powder in solid content: 70 vol%
Ratio of glass in solid content: 25 vol%
Ratio of added metal powder in solid content: 5 vol%
Particle size of Cu powder: 3 μm
Glass particle size: 2 μm
Glass composition: BaO—SrO—B 2 O 3 —SiO 2 glass frit (glass frit in terms of oxide, BaO: 10 to 50 wt%, B 2 O 3: 3 to 30 wt%, SiO 2: 3 to 30 wt%, glass of the system It was used)

そして、試料番号1〜5の試料を作製するにあたっては、この導電ペーストをセラミック素体11の端面11aに塗布して焼成し、外部電極本体13aを形成した。   And when producing the sample of sample numbers 1-5, this electrically conductive paste was apply | coated to the end surface 11a of the ceramic element | base_body 11, and it baked, and formed the external electrode main body 13a.

その後、外部電極本体13aの外側に電解めっきによりNiからなるめっき層13bを形成し、さらにその外側に電解めっきによりSnからなるめっき層13cを形成した。
これにより、表1の試料番号1〜5の試料を得た。
Thereafter, a plating layer 13b made of Ni was formed on the outside of the external electrode body 13a by electrolytic plating, and a plating layer 13c made of Sn was formed on the outside by electrolytic plating.
As a result, samples Nos. 1 to 5 in Table 1 were obtained.

作製した積層セラミックコンデンサは、概ね、容量が10μF、定格電圧が6.3V、寸法が長さ1.0mm、幅0.5mm、高さ0.5mmであり、外部電極本体13aの厚みが25μm(端面の中央部)、めっき層13bの厚みが3μm、めっき層13cの厚みが3μmmのものである。   The produced multilayer ceramic capacitor generally has a capacity of 10 μF, a rated voltage of 6.3 V, dimensions of 1.0 mm in length, 0.5 mm in width, and 0.5 mm in height, and the thickness of the external electrode body 13 a is 25 μm ( The center of the end face), the thickness of the plating layer 13b is 3 μm, and the thickness of the plating layer 13c is 3 μm.

そして、このようにして作製した表1の試料番号1〜5の試料について、PCBT試験を行った。   And the PCBT test was done about the sample of sample numbers 1-5 of Table 1 produced in this way.

PCBT試験は、温度125℃、相対湿度95%、印加電圧3.2V、負荷時間72hrの条件にて行った。そして、それぞれの試料について絶縁抵抗(IR)を測定し、LogIRでみたときに、試験終了時のIR値が試験開始時のIR値から0.5低下した場合をIR劣化とみなした。なお、それぞれの試料数は20個である。
その結果を、表1に示す。
The PCBT test was performed under the conditions of a temperature of 125 ° C., a relative humidity of 95%, an applied voltage of 3.2 V, and a load time of 72 hours. And when insulation resistance (IR) was measured about each sample and it looked at LogIR, the case where IR value at the time of a test end fell 0.5 from IR value at the time of a test start was considered as IR degradation. Each sample is 20 pieces.
The results are shown in Table 1.

表1において、試料番号1〜3の試料は本発明の要件を満たす試料であり、試料番号4、5の試料は、本発明の要件を満たさない試料である。   In Table 1, samples Nos. 1 to 3 are samples that satisfy the requirements of the present invention, and Samples Nos. 4 and 5 are samples that do not satisfy the requirements of the present invention.

表1に示すとおり、外部電極本体13aにSnを含有させた試料番号1の試料およびBiを含有させた試料番号2の試料にはIR劣化の発生は認められなかった。また、外部電極本体13aにAgを含有させた試料番号3の試料は、IR劣化の発生が少なかった。
これに対し、外部電極本体13aにPdを含有させた試料番号4の試料、特に金属を添加しなかった試料番号5の試料においては、IR劣化の発生が多数に認められた。
As shown in Table 1, no IR deterioration was observed in the sample No. 1 sample containing Sn and the sample No. 2 sample containing Bi in the external electrode body 13a. In addition, the sample of Sample No. 3 in which Ag was contained in the external electrode body 13a was less likely to cause IR deterioration.
On the other hand, in the sample No. 4 in which Pd was contained in the external electrode body 13a, particularly in the sample No. 5 in which no metal was added, generation of IR deterioration was recognized in large numbers.

上述したように、この実施形態の積層セラミックコンデンサ1は、外部電極本体13aに水素保持元素を含有させるようにしているので、めっき工程で発生した水素を、導電経路体15の一部を構成する外部電極本体13aにて吸収および保持することができる。その結果、誘電体層10への水素の拡散を抑制して、絶縁抵抗(IR)の劣化を防止することができる。   As described above, in the multilayer ceramic capacitor 1 of this embodiment, since the external electrode main body 13a contains the hydrogen holding element, the hydrogen generated in the plating process constitutes a part of the conductive path body 15. It can be absorbed and held by the external electrode body 13a. As a result, it is possible to suppress the diffusion of hydrogen into the dielectric layer 10 and prevent the insulation resistance (IR) from deteriorating.

なお、本発明においては、Snなどの水素保持元素が内部電極12の内部に存在するように構成した場合にも良好な結果が得られる。また、上述のSnの代わりに、Bi、Alが存在するようにした場合にも、良好な結果が得られる。   In the present invention, good results can be obtained even when a hydrogen holding element such as Sn is present inside the internal electrode 12. Also, good results can be obtained when Bi and Al are present in place of Sn.

また、本発明においては、通常、水素保持元素として、Sn、Bi、Alの少なくとも1種が、内部電極12と外部電極本体13aの接合部に多く偏析していることが望ましい。   In the present invention, it is usually desirable that at least one of Sn, Bi, and Al is segregated at the junction between the internal electrode 12 and the external electrode body 13a as a hydrogen holding element.

ここで、内部電極12と外部電極本体13aの接合部とは、図1Aを参照して説明すると、セラミック素体11の端面11aに露出した内部電極12の端面12aと、セラミック素体11の端面11aに形成された外部電極本体13aとが接する領域Rにおける一方側端部(図1Aでは上端部)R1と他方側端部(図1Aでは下端部)R2の中間点R0をいう。   Here, the joint between the internal electrode 12 and the external electrode main body 13a will be described with reference to FIG. 1A. The end surface 12a of the internal electrode 12 exposed to the end surface 11a of the ceramic body 11 and the end surface of the ceramic body 11 This is an intermediate point R0 between one end portion (upper end portion in FIG. 1A) R1 and the other end portion (lower end portion in FIG. 1A) R2 in a region R in contact with the external electrode body 13a formed in 11a.

すなわち、上述の「……、Sn、Bi、Alの少なくとも1種が、内部電極12と外部電極本体13aの接合部に多く偏析している……」とは、Sn、Bi、Alの少なくとも1種が、図1AのR0で示す位置(接合部)に多く偏析していることを意味する。   That is, “..., at least one of Sn, Bi, and Al is largely segregated at the joint between the internal electrode 12 and the external electrode body 13 a...” Means that at least one of Sn, Bi, and Al. It means that many seeds are segregated at the position (joint part) indicated by R0 in FIG. 1A.

なお、上記実施形態では、外部電極本体13aが一層構造のものである場合について説明したが、外部電極本体13aを複数層構造とし、そのうちの所定の一層、あるいは複数層に水素保持元素を含有させるように構成することも可能である。   In the above embodiment, the case where the external electrode main body 13a has a single layer structure has been described. However, the external electrode main body 13a has a multi-layer structure, and a predetermined layer or a plurality of layers of the external electrode main body 13a contains a hydrogen holding element. It is also possible to configure as described above.

[実施形態2]
図3を参照しつつ、本発明の実施形態2にかかる積層セラミックコンデンサ1Aについて説明する。この積層セラミックコンデンサ1Aは、図3に示すとおり、外部電極本体13aと内部電極12との界面に水素保持膜13eが形成されている。なお、実施形態1の積層セラミックコンデンサ1と共通する構成については、実施形態2の積層セラミックコンデンサ1Aを説明する図において同じ符号を記し、説明を省略する。
[Embodiment 2]
A multilayer ceramic capacitor 1A according to Embodiment 2 of the present invention will be described with reference to FIG. In this multilayer ceramic capacitor 1A, as shown in FIG. 3, a hydrogen holding film 13e is formed at the interface between the external electrode body 13a and the internal electrode 12. In addition, about the structure which is common in the multilayer ceramic capacitor 1 of Embodiment 1, the same code | symbol is described in the figure explaining 1 A of multilayer ceramic capacitors of Embodiment 2, and description is abbreviate | omitted.

積層セラミックコンデンサ1Aは、外部電極本体13aと内部電極12との界面に、水素と共有結合型水素化物を形成する元素(ただし、沸点が125℃未満の水素化物を生成する元素は除く)、および、水素と境界領域の水素化物を形成する元素の少なくとも1種を含有する水素保持膜13eを備えている。この水素保持膜13eは、端面11aに露出した内部電極の引き出し部12aを覆うように、セラミック素体11の端面11aに連続的に形成されている。ただし、水素保持膜13eは、連続していなくてもよく、部分的に存在していたり、網目状、線状などの態様で存在していたりしてもよい。   The multilayer ceramic capacitor 1A includes an element that forms a covalent bond hydride with hydrogen at the interface between the external electrode body 13a and the internal electrode 12 (except for an element that generates a hydride having a boiling point of less than 125 ° C.), and And a hydrogen holding film 13e containing at least one element forming a hydride in the boundary region with hydrogen. The hydrogen holding film 13e is continuously formed on the end surface 11a of the ceramic body 11 so as to cover the lead portion 12a of the internal electrode exposed on the end surface 11a. However, the hydrogen holding film 13e may not be continuous, and may exist partially, or may exist in a form such as a mesh shape or a linear shape.

なお、実施形態1の積層セラミックコンデンサ1と共通する構成については、実施形態2の積層セラミックコンデンサ1Aを説明する図において同じ符号を記し、説明を省略する。以下の他の実施形態の場合も同様である。   In addition, about the structure which is common in the multilayer ceramic capacitor 1 of Embodiment 1, the same code | symbol is described in the figure explaining 1 A of multilayer ceramic capacitors of Embodiment 2, and description is abbreviate | omitted. The same applies to the following other embodiments.

水素保持膜13eは、金属の状態にある水素保持元素(水素保持金属)をスパッタすることにより形成されており、セラミック素体11の端面11aに金属膜の状態で形成されている。なお、水素保持膜13eは蒸着、めっきなどによって形成することも可能である。   The hydrogen holding film 13e is formed by sputtering a hydrogen holding element (hydrogen holding metal) in a metal state, and is formed on the end face 11a of the ceramic body 11 in a metal film state. The hydrogen retaining film 13e can be formed by vapor deposition, plating, or the like.

<評価試験>
この実施形態の積層セラミックコンデンサ1Aの有意性を確認するため、異なる種類の金属(Sn、Bi、Al、Ag、Zn、Pd、Ti)をスパッタすることにより形成された膜を備えた試料、すなわち、表2の試料番号6〜12の試料を作製した。また、特にスパッタを行わず、水素保持膜を形成していない試料番号13の試料を作製した。水素保持膜13eの膜厚は1μmとした。
<Evaluation test>
In order to confirm the significance of the multilayer ceramic capacitor 1A of this embodiment, a sample including a film formed by sputtering different kinds of metals (Sn, Bi, Al, Ag, Zn, Pd, Ti), that is, Samples Nos. 6 to 12 in Table 2 were prepared. In addition, a sample of Sample No. 13 in which no sputtering was performed and a hydrogen holding film was not formed was produced. The film thickness of the hydrogen holding film 13e was 1 μm.

なお、外部電極本体13aの厚みは15μm(端面中央部)とした。外部電極本体13aを形成するための導電ペーストの仕様は、固形分量:25vol%、固形分中のガラスの比率:25vol%とした。   In addition, the thickness of the external electrode main body 13a was 15 micrometers (end surface center part). The specifications of the conductive paste for forming the external electrode main body 13a were solid content: 25 vol%, and the ratio of glass in the solid content: 25 vol%.

そして、このようにして作製した表2の試料番号6〜13の試料について、上述の実施形態1において行ったPCBT試験と同じ条件で試験を行った。
その結果を、表2に示す。
And about the sample of sample numbers 6-13 of Table 2 produced in this way, the test was done on the same conditions as the PCBT test performed in the above-mentioned Embodiment 1. FIG.
The results are shown in Table 2.

表2において、試料番号6〜10の試料は本発明の要件を満たす試料であり、試料番号11〜13の試料は、本発明の要件を満たさない試料である。   In Table 2, samples Nos. 6 to 10 are samples that satisfy the requirements of the present invention, and Samples Nos. 11 to 13 are samples that do not satisfy the requirements of the present invention.

表2に示すとおり、水素保持膜13eとして、Sn膜を設けた試料番号6の試料、Bi膜を設けた試料番号7の試料およびAl膜を設けた試料番号8の試料には、IR劣化の発生は認められなかった。また、Ag膜を設けた試料番号9の試料およびZn膜を設けた試料番号10の試料は、IR劣化の発生が少なかった。   As shown in Table 2, as the hydrogen retention film 13e, the sample No. 6 provided with the Sn film, the sample No. 7 provided with the Bi film, and the sample No. 8 provided with the Al film had an IR deterioration. Occurrence was not observed. In addition, the sample No. 9 provided with the Ag film and the sample No. 10 provided with the Zn film had little IR deterioration.

これに対し、スパッタによりPd膜を形成した試料番号11の試料、Ti膜を形成した試料番号12の試料は、IR劣化の発生が多く認められた。特にスパッタを行わなかった試料番号13の試料においては、多数にIR劣化が認められた。   On the other hand, the sample No. 11 in which the Pd film was formed by sputtering and the sample No. 12 in which the Ti film was formed frequently showed IR deterioration. In particular, in the sample of Sample No. 13 that was not sputtered, a large number of IR deteriorations were observed.

上述の結果より、外部電極本体13aと内部電極12との界面に、水素保持膜13eを設けるようにした場合にも、めっき工程で発生する水素が水素保持膜13eにより吸収されるため、水素が内部電極12を経て誘電体層10に拡散することを抑制、防止することが可能になる。   From the above results, even when the hydrogen holding film 13e is provided at the interface between the external electrode main body 13a and the internal electrode 12, hydrogen generated in the plating process is absorbed by the hydrogen holding film 13e. It is possible to suppress and prevent diffusion to the dielectric layer 10 through the internal electrode 12.

この実施形態2では、内部電極の引き出し部12aのすべてを覆うように、セラミック素体11の端面11aに水素保持膜13eが連続的に形成されている場合を例にとって説明したが、端面11aに部分的に存在していたり、網目状、線状などの態様で存在していたりする場合にも、有意性のある効果を得ることが可能である。   In the second embodiment, the case where the hydrogen holding film 13e is continuously formed on the end surface 11a of the ceramic body 11 so as to cover all the lead portions 12a of the internal electrodes has been described as an example. Significant effects can be obtained even when they are partially present, or in the form of a mesh or a line.

[実施形態3]
図4は、本発明のさらに他の実施形態(実施形態3)にかかる積層セラミックコンデンサ1Bを示す図である。この積層セラミックコンデンサ1Bにおいては、水素保持膜13fが外部電極本体13aの内部に形成されている。具体的には、外部電極本体13aが、Niを主成分とする外部電極本体13a1とCuを主成分とする外部電極本体13a2との2層で構成されており、この2層の界面に導電性を有するほぼ連続する膜である水素保持膜13fが形成されている。
[Embodiment 3]
FIG. 4 is a view showing a multilayer ceramic capacitor 1B according to still another embodiment (Embodiment 3) of the present invention. In this multilayer ceramic capacitor 1B, a hydrogen holding film 13f is formed inside the external electrode body 13a. Specifically, the external electrode body 13a is composed of two layers of an external electrode body 13a1 mainly composed of Ni and an external electrode body 13a2 mainly composed of Cu. A hydrogen holding film 13f, which is a substantially continuous film having, is formed.

水素保持膜13fは、2層目の外部電極本体13a2を形成するための導電ペーストに水素保持金属を配合し、1層目の外部電極本体13a1にその導電ペーストを塗布した後、2層の外部電極本体13a1、13a2を同時焼成することにより形成される。
導電ペーストに添加する水素保持金属の割合は、1〜40vol%の範囲とすることが好ましい。
The hydrogen holding film 13f is formed by adding a hydrogen holding metal to the conductive paste for forming the second-layer external electrode body 13a2, applying the conductive paste to the first-layer external electrode body 13a1, and It is formed by simultaneously firing the electrode bodies 13a1 and 13a2.
The ratio of the hydrogen retaining metal added to the conductive paste is preferably in the range of 1 to 40 vol%.

<評価試験>
この実施形態の積層セラミックコンデンサ1Bの有意性を確認するため、Cu粉末を導電成分とする導電ペーストに、表3に示すような異なる種類の金属粉末(Sn、Bi、Ag、Zn)を添加した導電ペースト、および、金属粉末を添加していない導電ペーストを用いて表1の試料番号14〜19の試料を作製した。
<Evaluation test>
In order to confirm the significance of the multilayer ceramic capacitor 1B of this embodiment, different types of metal powders (Sn, Bi, Ag, Zn) as shown in Table 3 were added to a conductive paste containing Cu powder as a conductive component. Samples Nos. 14 to 19 in Table 1 were prepared using the conductive paste and the conductive paste to which no metal powder was added.

なお、2層目の外部電極本体13a2を形成するための導電ペーストへの金属粉末の添加量は、導電ペースト中の固形分比5vol%の割合とした。その他の仕様は、実施形態1と同様にした。
一方、1層目の外部電極本体13a1を形成するための導電ペーストの仕様は以下のとおりとした。
固形分量:15vol%
固形分中の共材比率:40vol%
固形分中のガラスの比率:25vol%
Ni粉末の粒径:0.5μm
共材の粒径:100nm〜500nm
The amount of the metal powder added to the conductive paste for forming the second-layer external electrode body 13a2 was set to a ratio of 5 vol% of the solid content in the conductive paste. Other specifications were the same as in the first embodiment.
On the other hand, the specification of the conductive paste for forming the first-layer external electrode body 13a1 was as follows.
Solid content: 15 vol%
Co-material ratio in solid content: 40 vol%
Ratio of glass in solid content: 25 vol%
Particle size of Ni powder: 0.5 μm
Particle size of common material: 100 nm to 500 nm

そして、このようにして作製した表3の試料番号14〜19の試料について、上述の実施形態1において行ったPCBT試験と同じ条件で試験を行った。
その結果を、表3に示す。
And about the sample of sample numbers 14-19 of Table 3 produced in this way, the test was done on the same conditions as the PCBT test performed in the above-mentioned Embodiment 1. FIG.
The results are shown in Table 3.

表3において、試料番号14〜17の試料は本発明の要件を満たす試料であり、試料番号18、19の試料は、本発明の要件を満たさない試料である。   In Table 3, samples Nos. 14 to 17 are samples that satisfy the requirements of the present invention, and Samples Nos. 18 and 19 are samples that do not satisfy the requirements of the present invention.

表3に示すとおり、2層目の外部電極本体13a2にSnを配合した試料番号14の試料およびBiを配合した試料番号15の試料には、IR劣化の発生は認められなかった。また、Agを配合した試料番号16の試料およびZnを配合した試料番号17の試料には、IR劣化の発生が少なかった。
これに対し、2層目の外部電極本体13a2にPdを配合した試料番号18の試料では、IR劣化が多く発生した。特に金属粉末を添加しなかった試料番号19の試料においては、IR劣化の発生が多かった。
As shown in Table 3, no IR deterioration was observed in the sample No. 14 in which Sn was blended into the second-layer external electrode body 13a2 and the sample No. 15 in which Bi was blended. In addition, the sample No. 16 containing Ag and the sample No. 17 containing Zn contained little IR deterioration.
In contrast, in the sample of sample number 18 in which Pd was blended in the second-layer external electrode body 13a2, much IR deterioration occurred. In particular, in the sample of Sample No. 19 to which no metal powder was added, IR deterioration occurred frequently.

上記の結果から、図4に示すような構成を備えた積層セラミックコンデンサ1Bにおいても、めっき工程で発生する水素が水素保持膜13fにより吸収されるため、水素が内部電極12を経て誘電体層10に拡散することが抑制、防止され、IRの劣化が抑制されることが確認された。   From the above results, even in the multilayer ceramic capacitor 1B having the configuration as shown in FIG. 4, hydrogen generated in the plating process is absorbed by the hydrogen holding film 13f, so that hydrogen passes through the internal electrode 12 and the dielectric layer 10. It was confirmed that the diffusion to the surface was suppressed and prevented, and the deterioration of IR was suppressed.

なお、この実施形態3の場合、水素保持膜13fは連続的な膜であることが望ましいが、必ずしも、連続的な膜として形成されている必要はなく、外部電極本体13a1の表面に沿って部分的に存在していたり、網目状、線状などの態様で存在していたりしてもよい。また、厚みの均一な膜である必要はなく、厚み方向における水素保持金属の分布に差があるように形成されていてもよい。   In the case of the third embodiment, the hydrogen holding film 13f is preferably a continuous film. However, the hydrogen holding film 13f is not necessarily formed as a continuous film, and is not necessarily formed along the surface of the external electrode body 13a1. Or may exist in a form such as a mesh or a line. Moreover, it is not necessary that the film has a uniform thickness, and the film may be formed so that there is a difference in the distribution of the hydrogen retaining metal in the thickness direction.

[実施形態4]
また、図5は、本発明のさらに他の実施形態(実施形態4)にかかる積層セラミックコンデンサ1Cを示す図である。この積層セラミックコンデンサ1Cにおいては、外部電極本体13aの表面とめっき層13bの間、すなわち、外部電極本体13aの外側の表面に水素保持元素を含む水素保持膜13gが形成されている。
[Embodiment 4]
FIG. 5 is a view showing a multilayer ceramic capacitor 1C according to still another embodiment (Embodiment 4) of the present invention. In this multilayer ceramic capacitor 1C, a hydrogen holding film 13g containing a hydrogen holding element is formed between the surface of the external electrode body 13a and the plating layer 13b, that is, on the outer surface of the external electrode body 13a.

水素保持膜13gは、金属の状態にある水素保持元素(水素保持金属)をスパッタすることにより形成されており、外部電極本体13aの表面に金属膜の状態で形成されている。また、水素保持膜13gは、外部電極本体13aの表面全体を覆うように連続的に形成されている。なお、水素保持膜13gは蒸着、めっきなどによって形成することも可能である。   The hydrogen holding film 13g is formed by sputtering a hydrogen holding element (hydrogen holding metal) in a metal state, and is formed in a metal film state on the surface of the external electrode body 13a. Further, the hydrogen holding film 13g is continuously formed so as to cover the entire surface of the external electrode body 13a. The hydrogen holding film 13g can be formed by vapor deposition, plating, or the like.

<評価試験>
この実施形態の積層セラミックコンデンサ1Cの有意性を確認するため、異なる種類の金属(Sn、Bi、Al、Ag、Pd、Ti)をスパッタすることにより形成された膜を備えた試料、すなわち、表4の試料番号20〜25の試料を作製した。また、特にスパッタを行わず、水素保持膜を形成していない試料番号26の試料を作製した。なお、外部電極本体13aを形成するための導電ペーストの仕様は、実施形態2と同様にした。
<Evaluation test>
In order to confirm the significance of the multilayer ceramic capacitor 1C of this embodiment, a sample having a film formed by sputtering different kinds of metals (Sn, Bi, Al, Ag, Pd, Ti), ie, a table Sample Nos. 4 to 25 of No. 4 were prepared. In addition, a sample of Sample No. 26 in which no sputtering was performed and a hydrogen holding film was not formed was produced. The specification of the conductive paste for forming the external electrode body 13a was the same as that in the second embodiment.

そして、このようにして作製した表4の試料番号20〜26の試料について、上述の実施形態1において行ったPCBT試験と同じ条件で試験を行った。
その結果を、表4に示す。
And about the sample of sample numbers 20-26 of Table 4 produced in this way, the test was done on the same conditions as the PCBT test performed in the above-mentioned Embodiment 1. FIG.
The results are shown in Table 4.

表4において、試料番号20〜23の試料は本発明の要件を満たす試料であり、試料番号24〜26の試料は、本発明の要件を満たさない試料である。   In Table 4, samples Nos. 20 to 23 are samples that satisfy the requirements of the present invention, and Samples Nos. 24 to 26 are samples that do not satisfy the requirements of the present invention.

表4に示すとおり、水素保持膜13gとして、Sn膜を設けた試料番号20の試料、Bi膜を設けた試料番号21の試料、およびAl膜を設けた試料番号22の試料には、IR劣化の発生は認められなかった。
また、Ag膜を設けた試料番号23の試料は、IR劣化の発生が少なかった。
一方、スパッタによりPd膜を形成した試料番号24の試料、Ti膜を形成した試料番号25の試料は、IR劣化の発生が多く認められた。また、スパッタを行わなかった試料番号26の試料においても、多数にIR劣化が認められた。
As shown in Table 4, as the hydrogen retention film 13g, the sample No. 20 provided with the Sn film, the sample No. 21 provided with the Bi film, and the sample No. 22 provided with the Al film had an IR deterioration. The occurrence of was not observed.
In addition, the sample of Sample No. 23 provided with the Ag film had little IR deterioration.
On the other hand, the sample No. 24 in which the Pd film was formed by sputtering and the sample No. 25 in which the Ti film was formed showed much IR deterioration. Further, in the sample of sample number 26 which was not sputtered, a large number of IR deteriorations were observed.

なお、この積層セラミックコンデンサ1Cの場合にも、水素保持膜13gが、外部電極本体13aの表面とめっき層13bの間に、部分的に存在していたり、網目状、線状などの態様で存在していたりしてもよい。その場合も有意性のある効果を得ることができる。   Also in the case of this monolithic ceramic capacitor 1C, the hydrogen holding film 13g is partially present between the surface of the external electrode body 13a and the plating layer 13b, or in a form such as a mesh or a line. You may do it. Even in that case, a significant effect can be obtained.

[実施形態5]
また、図6は、本発明のさらに他の実施形態(実施形態5)にかかる積層セラミックコンデンサ1Dを示す図である。この積層セラミックコンデンサ1Dにおいては、最外層のめっき層13cとその内側のめっき層13bとの間に水素保持元素を含む水素保持膜13hが形成されている。
[Embodiment 5]
FIG. 6 is a view showing a multilayer ceramic capacitor 1D according to still another embodiment (Embodiment 5) of the present invention. In this multilayer ceramic capacitor 1D, a hydrogen holding film 13h containing a hydrogen holding element is formed between the outermost plating layer 13c and the inner plating layer 13b.

水素保持膜13hは、金属の状態にある水素保持元素(水素保持金属)をスパッタすることにより形成されており、めっき層13bの外側の表面に金属膜の状態で形成されている。また、水素保持膜13hは、めっき層13bの表面全体を覆うように連続的に形成されている。なお、水素保持膜13hは蒸着、めっきなどによって形成することも可能である。   The hydrogen holding film 13h is formed by sputtering a hydrogen holding element (hydrogen holding metal) in a metal state, and is formed in a metal film state on the outer surface of the plating layer 13b. The hydrogen holding film 13h is continuously formed so as to cover the entire surface of the plating layer 13b. The hydrogen holding film 13h can also be formed by vapor deposition, plating, or the like.

<評価試験>
この実施形態の積層セラミックコンデンサ1Dの有意性を確認するため、異なる種類の金属(Sn、Bi、Ag、Pd)をスパッタすることにより形成された膜を備えた試料、すなわち、表5の試料番号27〜30の試料を作製した。また、特にスパッタを行わず、水素保持膜を形成していない試料番号31の試料を作製した。なお、外部電極本体13aを形成するための導電ペーストの仕様は、実施形態2と同様にした。
<Evaluation test>
In order to confirm the significance of the multilayer ceramic capacitor 1D of this embodiment, a sample provided with a film formed by sputtering different types of metals (Sn, Bi, Ag, Pd), that is, a sample number in Table 5 27-30 samples were prepared. In addition, a sample of Sample No. 31 was prepared without performing any particular sputtering and forming a hydrogen retaining film. The specification of the conductive paste for forming the external electrode body 13a was the same as that in the second embodiment.

そして、このようにして作製した表5の試料番号27〜31の試料について、上述の実施形態1において行ったPCBT試験と同じ条件で試験を行った。
その結果を、表5に示す。
And about the sample of sample numbers 27-31 of Table 5 produced in this way, the test was done on the same conditions as the PCBT test performed in the above-mentioned Embodiment 1. FIG.
The results are shown in Table 5.

表5において、試料番号27〜29の試料は本発明の要件を満たす試料であり、試料番号30〜31の試料は、本発明の要件を満たさない試料である。   In Table 5, samples Nos. 27 to 29 are samples that satisfy the requirements of the present invention, and Samples Nos. 30 to 31 are samples that do not satisfy the requirements of the present invention.

表5に示すとおり、水素保持膜13hとして、Sn膜を設けた試料番号27の試料、Bi膜を設けた試料番号28の試料、Ag膜を設けた試料番号29の試料は、IR劣化の発生が少なかった。
一方、スパッタによりPd膜を形成した試料番号30の試料は、IR劣化の発生が多く認められた。また、スパッタを行わなかった試料番号31の試料においても、多数にIR劣化が認められた。
As shown in Table 5, as the hydrogen retention film 13h, the sample No. 27 provided with the Sn film, the sample No. 28 provided with the Bi film, and the sample No. 29 provided with the Ag film had IR deterioration. There were few.
On the other hand, in the sample of sample number 30 in which the Pd film was formed by sputtering, much IR deterioration was observed. Further, in the sample of sample number 31 where sputtering was not performed, many IR deteriorations were observed.

なお、この積層セラミックコンデンサ1Dの場合にも、水素保持膜13hが、めっき層13bとめっき層13cの間に、部分的に存在していたり、網目状、線状などの態様で存在していたりしてもよい。その場合も有意性のある効果を得ることができる。   Also in the case of this multilayer ceramic capacitor 1D, the hydrogen retaining film 13h is partially present between the plated layer 13b and the plated layer 13c, or is present in a form such as a mesh or line. May be. Even in that case, a significant effect can be obtained.

本発明は上記の各実施形態に限定されるものではなく、発明の範囲内において種々の応用、変形を加えることが可能である。   The present invention is not limited to the above embodiments, and various applications and modifications can be made within the scope of the invention.

1、1A、1B、1C、1D 積層セラミックコンデンサ
10 誘電体層
11 セラミック素体
11a セラミック素体の端面
12 内部電極
12a 内部電極の引き出し部
13 外部電極
13a 外部電極本体
13b 外部電極本体の表面のめっき層
13c 最外層のめっき層
13e、13f、13g、13h 水素保持膜
15 導電経路体
R 内部電極の端面と、セラミック素体の端面に形成された外部電極本体とが接する領域
R1 領域Rにおける一方側端部(上端部)
R2 領域Rにおける他方側端部(下端部)
R0 一方側端部R1と他方側端部R2の中間点
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1, 1A, 1B, 1C, 1D Multilayer ceramic capacitor 10 Dielectric layer 11 Ceramic body 11a End surface of ceramic body 12 Internal electrode 12a Leading part of internal electrode 13 External electrode 13a External electrode body 13b Surface plating of external electrode body Layer 13c Outermost plating layer 13e, 13f, 13g, 13h Hydrogen holding film 15 Conductive path body R One of the areas R1 in the area R where the end face of the internal electrode and the external electrode body formed on the end face of the ceramic body are in contact with each other End (upper end)
R2 The other side end (lower end) in region R
R0 Midpoint between one end R1 and the other end R2

Claims (5)

積層された複数の誘電体層を備え、互いに対向する両端面と前記両端面を連結する複数の側面とを有するセラミック素体と、
卑金属を主成分として含有し、積層された前記誘電体層の間に配設され、前記両端面に交互に引き出された複数の内部電極と、
前記セラミック素体の前記両端面に引き出された前記内部電極と導通するように前記セラミック素体に形成された外部電極本体と、前記外部電極本体の外側に形成された少なくとも一層のめっき層とを有する外部電極と
を備える積層セラミックコンデンサであって、
前記めっき層のうちの最外層のめっき層と前記誘電体層との間に、水素と共有結合型水素化物を形成する元素(ただし、沸点が125℃未満の水素化物を生成する元素は除く)、および、水素と境界領域の水素化物を形成する元素の少なくとも1種を含有していること
を特徴とする積層セラミックコンデンサ。
A ceramic body having a plurality of laminated dielectric layers, and having both end faces facing each other and a plurality of side faces connecting the both end faces;
Containing a base metal as a main component, disposed between the laminated dielectric layers, and a plurality of internal electrodes alternately drawn to both end faces;
An external electrode body formed on the ceramic body so as to be electrically connected to the internal electrodes drawn to the both end faces of the ceramic body, and at least one plating layer formed outside the external electrode body. A multilayer ceramic capacitor comprising: an external electrode having:
An element that forms a covalent hydride with hydrogen between the outermost plating layer and the dielectric layer of the plating layer (excluding an element that forms a hydride having a boiling point of less than 125 ° C.) And a multilayer ceramic capacitor comprising at least one element forming a hydride in a boundary region with hydrogen.
前記外部電極本体が、前記元素を含有していることを特徴とする請求項1に記載の積層セラミックコンデンサ。   The multilayer ceramic capacitor according to claim 1, wherein the external electrode main body contains the element. 前記内部電極が、前記元素を含有していることを特徴とする請求項1または2記載の積層セラミックコンデンサ。   The multilayer ceramic capacitor according to claim 1, wherein the internal electrode contains the element. 積層された複数の誘電体層を備え、互いに対向する両端面と前記両端面を連結する複数の側面とを有するセラミック素体と、
卑金属を主成分として含有し、積層された前記誘電体層の間に配設され、前記両端面に交互に引き出された複数の内部電極と、
前記セラミック素体の前記両端面に引き出された前記内部電極と導通するように前記セラミック素体に形成された外部電極本体と、前記外部電極本体の外側に形成された少なくとも一層のめっき層とを有する外部電極と
を備える積層セラミックコンデンサであって、
前記内部電極と前記外部電極本体との界面、前記外部電極本体の外側の表面、前記外部電極本体の内部、前記内部電極と前記誘電体層との界面、および、前記めっき層が複数の層を備えている場合の最外層のめっき層とその内側のめっき層との界面に、水素と共有結合型水素化物を形成する元素(ただし、沸点が125℃未満の水素化物を生成する元素は除く)、および、水素と境界領域の水素化物を形成する元素の少なくとも1種を含有する水素保持膜を備えていること
を特徴とする積層セラミックコンデンサ。
A ceramic body having a plurality of laminated dielectric layers, and having both end faces facing each other and a plurality of side faces connecting the both end faces;
Containing a base metal as a main component, disposed between the laminated dielectric layers, and a plurality of internal electrodes alternately drawn to both end faces;
An external electrode body formed on the ceramic body so as to be electrically connected to the internal electrodes drawn to the both end faces of the ceramic body, and at least one plating layer formed outside the external electrode body. A multilayer ceramic capacitor comprising: an external electrode having:
The interface between the internal electrode and the external electrode body, the outer surface of the external electrode body, the inside of the external electrode body, the interface between the internal electrode and the dielectric layer, and the plating layer includes a plurality of layers. Elements that form a covalent bond hydride with hydrogen at the interface between the outermost plating layer and the inner plating layer (except for elements that generate hydrides with a boiling point of less than 125 ° C) And a hydrogen holding film containing at least one element forming an hydride in the boundary region with hydrogen.
前記元素が、Sn、Bi、Al、Ag、Zn、Au、In、Ga、Ge、Siからなる群より選ばれる少なくとも1種であることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の積層セラミックコンデンサ。   5. The element according to claim 1, wherein the element is at least one selected from the group consisting of Sn, Bi, Al, Ag, Zn, Au, In, Ga, Ge, and Si. Multilayer ceramic capacitor.
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