JP2016056341A5 - - Google Patents
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Description
（実施例２〜６、比較例１〜８）
実施例１のＣ−１−１を表１に記載の各溶剤に変更し、また、添加量を表１に従って変更した以外は実施例１と同様にして、硬化性組成物を得た。
（実施例７）
実施例２のＢ−１及びＢ−２を、それぞれＢ−３に変更した以外は実施例２と同様にして、硬化性組成物を得た。
実施例１のＣ−１−１を表１に記載の各溶剤に変更し、また、添加量を表１に従って変更した以外は実施例１と同様にして、硬化性組成物を得た。
（実施例７）
実施例２のＢ−１及びＢ−２を、それぞれＢ−３に変更した以外は実施例２と同様にして、硬化性組成物を得た。
（比較例９）
実施例４において、テルソルブＴＨＡ−９０の添加量を１５部に変更し、更に、ハイソウプＥＤＥの添加量を６５部に変更した以外は実施例４と同様にして硬化性組成物を得た。
実施例４において、テルソルブＴＨＡ−９０の添加量を１５部に変更し、更に、ハイソウプＥＤＥの添加量を６５部に変更した以外は実施例４と同様にして硬化性組成物を得た。
（比較例１０）
実施例４において、テルソルブＴＨＡ−９０の添加量を９０部に変更し、更に、ハイソルブＥＤＥを添加しなかった以外は実施例４と同様にして硬化性組成物を得た。
実施例４において、テルソルブＴＨＡ−９０の添加量を９０部に変更し、更に、ハイソルブＥＤＥを添加しなかった以外は実施例４と同様にして硬化性組成物を得た。
＜耐薬品性評価＞
１０ｃｍ×１０ｃｍのガラス基板（商品名：ＸＧ、コーニング社製）上に、硬化性組成物を乾燥膜厚１００ｎｍとなるようにスピン塗布し、９０℃のオーブンで１００秒乾燥（プリベーク）した。その後、全面に超高圧水銀灯を用いて１５０ｍＪ／ｃｍ2の露光（照度は２４ｍＷ／ｃｍ2）をし、その後オーブンにて２００℃で３０分加熱した。
次いで、Ｎ−メチルピロリドン２５℃に２分浸漬させ、浸漬前後の膜厚を測定し、膜の残存率を測定した。評価基準を以下に示す。
５：残存率が８０％未満
４：残存率が８０％以上９０％未満
３：残存率が９０％以上９５％未満
２：残存率が９５％以上９８％未満
１：残存率が９８％以上１００％以下
１０ｃｍ×１０ｃｍのガラス基板（商品名：ＸＧ、コーニング社製）上に、硬化性組成物を乾燥膜厚１００ｎｍとなるようにスピン塗布し、９０℃のオーブンで１００秒乾燥（プリベーク）した。その後、全面に超高圧水銀灯を用いて１５０ｍＪ／ｃｍ2の露光（照度は２４ｍＷ／ｃｍ2）をし、その後オーブンにて２００℃で３０分加熱した。
次いで、Ｎ−メチルピロリドン２５℃に２分浸漬させ、浸漬前後の膜厚を測定し、膜の残存率を測定した。評価基準を以下に示す。
５：残存率が８０％未満
４：残存率が８０％以上９０％未満
３：残存率が９０％以上９５％未満
２：残存率が９５％以上９８％未満
１：残存率が９８％以上１００％以下
（実施例２２〜２６、２９、３０、比較例１１〜１３）
実施例２１のＣ−１、Ｃ−２を表３に記載の各溶剤に変更し、また、添加量を表３に従って変更した以外は実施例２１と同様にして、硬化性組成物を得た。
実施例２１のＣ−１、Ｃ−２を表３に記載の各溶剤に変更し、また、添加量を表３に従って変更した以外は実施例２１と同様にして、硬化性組成物を得た。
＜酸化ジルコニウム分散液の調製＞
実施例２１に記載の酸化チタン分散液２の、酸化チタンを下記の酸化ジルコニウム（ＵＰＥ−１００（第一稀元素（株））に変更した以外は、酸化チタン分散液２と同様に分散処理を行って酸化ジルコニウム分散液を得た。
実施例２１に記載の酸化チタン分散液２の、酸化チタンを下記の酸化ジルコニウム（ＵＰＥ−１００（第一稀元素（株））に変更した以外は、酸化チタン分散液２と同様に分散処理を行って酸化ジルコニウム分散液を得た。
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