JP2016053540A - テラヘルツ波計測装置及びテラヘルツ波計測装置の調整方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本実施形態に係るテラヘルツ波計測装置は、第1レーザ光が照射されることで、テラヘルツ波を発生する発生手段と、第2レーザ光が照射されることで、前記発生手段から計測対象物に対して照射された前記テラヘルツ波を検出する検出手段と、前記第2レーザ光を反射すると共に、反射した前記第2レーザ光を前記検出手段に導く複数の反射手段と、前記反射手段が配置された回転体を回転させることで、前記第2レーザ光の光路長差を調整する調整手段と、前記回転体の時間軸上での回転位相を検知する検知手段と、前記回転位相に基づいて、前記反射手段に対応する対応期間を判定する判定手段と、前記対応期間において前記テラヘルツ波の時間波形を取得する取得手段とを備える。
<2>
本実施形態に係るテラヘルツ波計測装置の一態様では、前記判定手段は、前記回転位相に基づいて定まる基準時刻から、前記反射手段に対応する所定の待ち時間が経過した時刻を、前記対応期間の開始時刻とする。
上述した所定の待ち時間を用いる態様では、前記所定の待ち時間は、前記複数の反射手段毎に設定されていてもよい。
本実施形態に係るテラヘルツ波計測装置は、第1レーザ光が照射されることで、テラヘルツ波を発生する発生手段と、第2レーザ光が照射されることで、前記発生手段から計測対象物に対して照射された前記テラヘルツ波を検出する検出手段と、前記第2レーザ光を反射すると共に、反射した前記第2レーザ光を前記検出手段に導く複数の反射手段と、前記反射手段が配置された回転体を回転させることで、前記第2レーザ光の光路長差を調整する調整手段と、前記回転体の時間軸上での回転位相を検知する検知手段と、前記回転位相に基づいて、前記反射手段に対応する対応期間を判定する判定手段と、前記対応期間において前記テラヘルツ波の時間波形を取得する取得手段とを備えるテラヘルツ波計測装置の調整方法であって、前記回転位相に基づいて定まる基準時刻から所定期間の前記テラヘルツ波の時間波形を観測する観測工程と、前記基準時刻から前記テラヘルツ波の時間波形が観測されるまでの時間に基づいて、所定の待ち時間を設定する設定工程とを備える。
本実施形態に係るテラヘルツ波計測装置の調整方法の一態様では、前記設定工程では、前記対応期間の開始から前記テラヘルツ波の時間波形が取得されるまでの時間が、前記複数の反射手段間で互いに揃うように、前記複数の反射手段毎に前記所定の待ち時間を設定する。
本実施形態に係るテラヘルツ波計測装置の調整方法の他の態様では、前記観測工程は、観測される前記テラヘルツ波の時間波形が最大となる状態で行われる。
先ず、図1を参照しながら、本実施例のテラヘルツ波計測装置の全体構成について説明する。ここに図1は、実施例に係るテラヘルツ波計測装置の構成を示すブロック図である。
次に、図2及び図3を参照しながら、本実施例に係る光学遅延部の構成について詳細に説明する。ここに図2は、実施例に係る光学遅延部の構成を示す上面図である。また図3は、実施例に係る光学遅延部の構成を示す側面図である。
次に、図4から図7を参照しながら、本実施例に係るテラヘルツ波計測装置の動作について詳細に説明する。ここに図4は、実施例に係る光学遅延部における各反射体の計測視野を示す概念図であり、図5は、実施例に係るテラヘルツ波計測装置の動作時に生成される信号を示すタイムチャートである。また図6は、実施例に係るテラヘルツ波計測装置における回転位相の検出動作を示すフローチャートであり、図7は、実施例に係るテラヘルツ波計測装置における計測時の動作を示すフローチャートである。
次に、図8から図10を参照しながら、本実施例に係るテラヘルツ波計測装置の計測時に用いられる待ち時間の設定方法(即ち、テラヘルツ波計測装置の調整方法)について詳細に説明する。ここに図8は、波形取込待ち信号非生成時における時間波形信号を示すタイムチャートであり、図9は、波形取込待ち信号生成時における時間波形信号を示すタイムチャートである。また図10は、波形取込待ち信号による取込タイミングの調整方法を示すタイムチャートである。
100 本体部
110 パルスレーザ装置
111 レーザ光源
112 コリメートレンズ
113 ビームスプリッタ
120 光学遅延部
130 制御・信号処理部
131 光学遅延駆動部
132 データ処理・表示部
133 バイアス生成部
134 ロックイン検出部
200 ヘッド部
210 テラヘルツ波発信部
211 集光レンズ
212 テラヘルツ波発生素子
213 半球レンズ
214 コリメートレンズ
220 シリコンビームスプリッタ
230 シリコン対物レンズ
240 テラヘルツ波受信部
241 集光レンズ
242 半球レンズ
243 テラヘルツ波検出素子
244 集光レンズ
310 回転台
320 反射体
330 モータ
335 モータ軸
340 フォトリフレクタ
345 マーカ
350 フォトインタラプタ
355 エンコーダ
500 計測対象物
Claims (6)
- 第1レーザ光が照射されることで、テラヘルツ波を発生する発生手段と、
第2レーザ光が照射されることで、前記発生手段から計測対象物に対して照射された前記テラヘルツ波を検出する検出手段と、
前記第2レーザ光を反射すると共に、反射した前記第2レーザ光を前記検出手段に導く複数の反射手段と、
前記反射手段が配置された回転体を回転させることで、前記第2レーザ光の光路長差を調整する調整手段と、
前記回転体の時間軸上での回転位相を検知する検知手段と、
前記回転位相に基づいて、前記反射手段に対応する対応期間を判定する判定手段と、
前記対応期間において前記テラヘルツ波の時間波形を取得する取得手段と
を備えることを特徴とするテラヘルツ波計測装置。 - 前記判定手段は、前記回転位相に基づいて定まる基準時刻から、前記反射手段に対応する所定の待ち時間が経過した時刻を、前記対応期間の開始時刻とすることを特徴とする請求項1に記載のテラヘルツ波計測装置。
- 前記所定の待ち時間は、前記複数の反射手段毎に設定されていることを特徴とする請求項2に記載のテラヘルツ波計測装置。
- 第1レーザ光が照射されることで、テラヘルツ波を発生する発生手段と、
第2レーザ光が照射されることで、前記発生手段から計測対象物に対して照射された前記テラヘルツ波を検出する検出手段と、
前記第2レーザ光を反射すると共に、反射した前記第2レーザ光を前記検出手段に導く複数の反射手段と、
前記反射手段が配置された回転体を回転させることで、前記第2レーザ光の光路長差を調整する調整手段と、
前記回転体の時間軸上での回転位相を検知する検知手段と、
前記回転位相に基づいて、前記反射手段に対応する対応期間を判定する判定手段と、
前記対応期間において前記テラヘルツ波の時間波形を取得する取得手段と
を備えるテラヘルツ波計測装置の調整方法であって、
前記回転位相に基づいて定まる基準時刻から所定期間の前記テラヘルツ波の時間波形を観測する観測工程と、
前記基準時刻から前記テラヘルツ波の時間波形が観測されるまでの時間に基づいて、所定の待ち時間を設定する設定工程と
を備えることを特徴とするテラヘルツ波計測装置の調整方法。 - 前記設定工程では、前記対応期間の開始から前記テラヘルツ波の時間波形が取得されるまでの時間が、前記複数の反射手段間で互いに揃うように、前記複数の反射手段毎に前記所定の待ち時間を設定することを特徴とする請求項4に記載のテラヘルツ波計測装置の調整方法。
- 前記観測工程は、観測される前記テラヘルツ波の時間波形が最大となる状態で行われることを特徴とする請求項4又は5に記載のテラヘルツ波計測装置の調整方法。
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JP2014180117A JP2016053540A (ja) | 2014-09-04 | 2014-09-04 | テラヘルツ波計測装置及びテラヘルツ波計測装置の調整方法 |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN117437150A (zh) * | 2023-12-20 | 2024-01-23 | 齐鲁工业大学(山东省科学院) | 太赫兹时域成像的图像去模糊方法、系统、介质及设备 |
CN117969449A (zh) * | 2024-03-29 | 2024-05-03 | 三峡金沙江云川水电开发有限公司 | 一种太赫兹检测发电机定子线棒绝缘缺陷的方法及系统 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014048216A (ja) * | 2012-09-03 | 2014-03-17 | Pulstec Industrial Co Ltd | 透光性物体の厚さ測定装置及び厚さ測定方法 |
JP2014106127A (ja) * | 2012-11-28 | 2014-06-09 | Pioneer Electronic Corp | テラヘルツ波計測装置及び方法 |
-
2014
- 2014-09-04 JP JP2014180117A patent/JP2016053540A/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014048216A (ja) * | 2012-09-03 | 2014-03-17 | Pulstec Industrial Co Ltd | 透光性物体の厚さ測定装置及び厚さ測定方法 |
JP2014106127A (ja) * | 2012-11-28 | 2014-06-09 | Pioneer Electronic Corp | テラヘルツ波計測装置及び方法 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN117437150A (zh) * | 2023-12-20 | 2024-01-23 | 齐鲁工业大学(山东省科学院) | 太赫兹时域成像的图像去模糊方法、系统、介质及设备 |
CN117437150B (zh) * | 2023-12-20 | 2024-03-15 | 齐鲁工业大学(山东省科学院) | 太赫兹时域成像的图像去模糊方法、系统、介质及设备 |
CN117969449A (zh) * | 2024-03-29 | 2024-05-03 | 三峡金沙江云川水电开发有限公司 | 一种太赫兹检测发电机定子线棒绝缘缺陷的方法及系统 |
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