JP2016050146A - ガラス基板の製造方法、及び、加工液 - Google Patents
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液晶ディスプレイ用のガラス基板の端面との接触位置に、水性又は水溶性ソリュブル系の薬液と水とからなる加工液を供給する供給工程と、
前記加工液が供給された前記ガラス基板の端面に対して加工ホイールを回転させることにより前記端面を加工する加工工程と、を備え、
前記薬液は、非イオン系界面活性剤、及び、スルホコハク酸塩から選ばれた一種、又は、それらの組合せからなり、
前記加工液を前記ガラス基板の端面に接触させた後、純水洗浄したときの前記ガラス基板の端面に残る芳香族化合物が1cm2当たり5ng以下である、
ことを特徴とする。
水性又は水溶性ソリュブル系の薬液と水とからなり、
前記薬液は、非イオン系界面活性剤、及び、スルホコハク酸塩から選ばれた一種、又は、それらの組合せからなり、
前記加工液を前記ガラス基板の端面に接触させた後、純水洗浄したときの前記ガラス基板の端面に残る芳香族化合物が1cm2当たり5ng以下である、
ことを特徴とする。
本実施形態で製造されるガラス板(ガラス基板)は、特に限定されないが、例えば、携帯電子機器等の電子機器の表示画面に用いるカバーガラスや、フラットディスプレイパネル等の表示装置の基板等に用いられる。
ガラス板の組成は特に限定されないが、例えば、以下の組成比率のガラス板に適用され得る。
(a)SiO2:50〜70質量%、
(b)B2O3:5〜18質量%、
(c)Al2O3:10〜25質量%、
(d)MgO:0〜10質量%、
(e)CaO:0〜20質量%、
(f)SrO:0〜20質量%、
(g)BaO:0〜10質量%、
(h)RO:5〜20質量%(ただしRはMg、Ca、SrおよびBaから選ばれる、ガラス板に含有される全ての成分であり、少なくとも1種である)、
(i)R’2O: 0.0質量%以上2.0質量%以下(ただしR’はLi、NaおよびKから選ばれる、ガラス板に含有される全ての成分であり、少なくとも1種である)、
(j)酸化スズ、酸化鉄および酸化セリウムから選ばれる少なくとも1種の金属酸化物を合計で0.05〜1.5質量%。
図1は、本実施形態のガラス板の製造方法の工程図である。本実施形態のガラス板の製造方法は、パネルディスプレイ用のガラス板の製造方法である。本実施形態のガラス板の製造方法は、熔解工程(ST1)と、清澄工程(ST2)と、均質化工程(ST3)と、成形工程(ST4)と、徐冷工程(ST5)と、採板・切断工程(ST6)と、端面加工工程(ST7)と、洗浄工程(ST8)と、検査・梱包・出荷工程(ST9)と、を有する。出荷工程では、梱包工程でコンテナ等への箱詰めされた複数のガラス板の束が、納入先の業者に搬送される。
清澄工程(ST2)は、清澄槽202において行われ、ガラス供給管204を通って供給され熔融ガラスMGを清澄槽202内で加熱する。清澄槽202では、加熱された熔融ガラスMG中に含まれる気泡が、加熱された熔融ガラスMG中の清澄剤の還元反応で生じた酸素を吸収することにより成長し液面に浮上して放出される。その後、熔融ガラスMGを冷却する過程で生じる清澄剤の還元反応により気泡中の酸素等のガス成分が熔融ガラスMG中に吸収されて気泡が消滅する。これにより清澄槽202は、熔融ガラスMGを清澄する。
均質化工程(ST3)では、ガラス供給管205を通って供給された熔融ガラスMGを、攪拌槽203がスターラを用いて攪拌することにより、ガラス成分の均質化を行う。この後、ガラス供給管206を通して熔融ガラスMGが成形装置300に供給される。
成形工程(ST4)では、熔融ガラスMGをシートガラスGに成形し、シートガラスGの流れを作る。本実施形態では、成形体310を用いたオーバーフローダウンドロー法を用いる。徐冷工程(ST5)では、成形装置300は、成形されて流れるシートガラスGを引き伸ばし、かつ、一定の厚さを有し、かつ反り及び歪みが生じないように温度調整をしてシートガラスGを冷却する。
採板・切断工程(ST6)では、切断装置400が、成形装置300から供給されたシートガラスGを所定の長さに切断することで、板状のガラス板に採板する。採板されたガラス板はさらに、図示されないダイヤモンドカッターあるいはレーザ等により所定のサイズに切断され、目標サイズのガラス板11が作製される。
なお、本実施形態の成形工程では、ダウンドロー法を用いるが、ダウンドロー法に限定されず、フロート法、ロールアウト法等を成形工程に用いることができる。
図3は、端面加工工程を説明する図であり、ガラス板11の端面加工を行う端面加工処理ラインの装置配置を示す。ガラス板の端面加工処理ライン10には、第1面取り機12、第2面取り機14、コーナーカット機16、および反転機18と、が設けられ、第1面取り機12、反転機18、第2面取り機14、および、コーナーカット機16が、搬送経路の上流側から順に配置されている。
図4は、洗浄工程を説明する図である。図4に示されるように、端面が研削されたガラス板11の主表面が、洗浄液又は純水を用いて洗浄される。具体的には、複数の洗浄ブラシ30がガラスシート24の幅方向に沿って二列に並んだ洗浄装置が洗浄に用いられる。洗浄ブラシ30は例えば円形状をなしており、複数の繊維が円板状の基部に植毛されている。洗浄の際、洗浄ブラシ30は、隣接する洗浄ブラシ30と互いに反対方向に回転する。また、洗浄装置には、ガラス板11の幅方向に沿って、洗浄液又は純水をガラス板11上に供給する供給ノズル32が複数設けられている。洗浄液は界面活性剤を含んでいる。洗浄ブラシ30は、ガラス板11の両側の主表面の他にガラス板11の端面も洗浄する。
また、洗浄工程において、複数のガラス板11を図示されないカセットに収容し、洗浄液が収容された図示されない洗浄槽にガラス板11を浸漬して超音波による洗浄を行ってもよい。
水以外の液体を含む従来の加工液をディスプレイ用のガラス板の加工に用いると、ガラス板の表面の品質が変化し、洗浄工程によりガラス基板の表面を洗浄しても、パネル製造工程の歩留まり低下をもたらしていた。歩留まり低下の1つの要因として、水以外の液体を含む従来の加工液を用いた場合、ガラス板の表面へのブラックマトリックスの密着性が変化してしまい、例えば、ブラックマトリックスがガラス板の表面から剥離してしまうという問題が生じていた。特に、近年、ディスプレイの高精細化に伴い、ガラス板の表面に配置されるブラックマトリックスの線幅およびピッチが小さくなっているので、ガラス板の表面へのブラックマトリックス樹脂の密着性のコントロールは、重要な問題である。また、ガラス板の表面に付着している特定の有機物が、ガラス板の表面へのブラックマトリックス樹脂の密着性の低下の原因である可能性がある。一つには、界面活性剤に由来する有機物が、ブラックマトリックス樹脂の密着性の低下の原因である可能性がある。また、ブラックマトリックス樹脂の密着性の低下に起因する有機物には、例えば、ガラス板の積層体に含まれる合紙に由来する有機物、及び、ガラス板の積層体の保管および搬送環境下における雰囲気中の有機物も含まれる可能性がある。このため、本実施形態の加工液は、表面張力が50mN/m未満であり、加工液をガラス基板の表面に接触させた後、純水洗浄したときのガラス表面に残る芳香族化合物が1cm2当たり10ng以下になるよう調整されている。このように、本実施形態の加工液を用いることにより、ガラス基板の表面に半導体素子またはカラーフィルタを形成しても、密着性を維持できる。
本実施形態の効果を調べるために、図3に示す端面加工処理ライン10を用いて、本発明の加工液を用いてガラス板の端面を加工した。
SiO2: 60質量%、
B2O3: 10質量%、
Al2O3: 19.8質量%、
CaO: 5質量%、
SrO: 5質量%、
SnO2: 0.2質量%。
次に、加工されたガラス板の表面品質の確認を行うために、ガラス板上にブラックマトリックス樹脂のパターンを形成し、ブラックマトリックスの剥離および残渣の確認を行った。ガラス基板の表面に、膜厚1μm、かつ、線幅1μm〜15μmとなるようにブラックマトリックス樹脂を塗布してパターンを形成し、ガラス表面へのブラックマトリックス樹脂の密着性を判定した。その結果、本実施例で製造されたガラス基板の表面と、加工液に水を用いた場合におけるガラス基板の表面とでは、ブラックマトリックスの密着性に変化は見られないことを確認した。さらに加工されたガラス板を、上記の洗浄工程ST8に投入し、ガラス板の表面の洗浄を行い、その後、ガラス板上にブラックマトリックス樹脂のパターンを形成し、ブラックマトリックスの剥離および残渣の確認を行った。
12 第1面取り機
12a,14a ダイヤモンドホイール
12b,14b 研磨ホイール
14 第2面取り機
16 コーナーカット機
16a コーナーカット用ダイヤモンドホイール
18 反転機
30 洗浄ブラシ
32 供給ノズル
200 熔解装置
201 熔解槽
202 清澄槽
203 攪拌槽
204,205,206 ガラス供給管
300 成形装置
310 成形体
400 切断装置
Claims (5)
- 液晶ディスプレイ用のガラス基板の端面との接触位置に、水性又は水溶性ソリュブル系の薬液と水とからなる加工液を供給する供給工程と、
前記加工液が供給された前記ガラス基板の端面に対して加工ホイールを回転させることにより前記端面を加工する加工工程と、を備え、
前記薬液は、非イオン系界面活性剤、及び、スルホコハク酸塩から選ばれた一種、又は、それらの組合せからなり、
前記加工液を前記ガラス基板の端面に接触させた後、純水洗浄したときの前記ガラス基板の端面に残る芳香族化合物が1cm2当たり5ng以下である、
ことを特徴とするガラス基板の製造方法。 - 前記加工液の表面張力は、50mN/m未満である、
ことを特徴とする請求項1に記載のガラス基板の製造方法。 - 前記ガラス基板の表面には、半導体素子またはカラーフィルタが形成される、
ことを特徴とする請求項1又は2に記載のガラス基板の製造方法。 - 前記加工ホイールは、メタル系ボンド材にダイヤモンド砥粒が分散された加工ホイールである、
ことを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載のガラス基板の製造方法。 - 液晶ディスプレイ用のガラス基板の端面に供給して、前記端面を加工する加工液であって、
水性又は水溶性ソリュブル系の薬液と水とからなり、
前記薬液は、非イオン系界面活性剤、及び、スルホコハク酸塩から選ばれた一種、又は、それらの組合せからなり、
前記加工液を前記ガラス基板の端面に接触させた後、純水洗浄したときの前記ガラス基板の端面に残る芳香族化合物が1cm2当たり5ng以下である、
ことを特徴とする加工液。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106002533A (zh) * | 2016-06-27 | 2016-10-12 | 浙江飞越洁具制造有限公司 | 一种玻璃的磨边转向清洗装置 |
CN107234527A (zh) * | 2017-07-18 | 2017-10-10 | 东旭(昆山)显示材料有限公司 | 玻璃研磨机 |
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Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013193892A (ja) * | 2012-03-16 | 2013-09-30 | Avanstrate Inc | ガラス板の製造方法 |
JP2014052622A (ja) * | 2012-08-06 | 2014-03-20 | Avanstrate Korea Inc | カラーフィルタ用ガラスシートの製造方法、カラーフィルタパネルの製造方法、および、ディスプレイ用ガラス基板 |
JP2014084258A (ja) * | 2012-10-25 | 2014-05-12 | Avanstrate Inc | ガラス基板の製造方法 |
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013193892A (ja) * | 2012-03-16 | 2013-09-30 | Avanstrate Inc | ガラス板の製造方法 |
JP2014052622A (ja) * | 2012-08-06 | 2014-03-20 | Avanstrate Korea Inc | カラーフィルタ用ガラスシートの製造方法、カラーフィルタパネルの製造方法、および、ディスプレイ用ガラス基板 |
JP2014084258A (ja) * | 2012-10-25 | 2014-05-12 | Avanstrate Inc | ガラス基板の製造方法 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106002533A (zh) * | 2016-06-27 | 2016-10-12 | 浙江飞越洁具制造有限公司 | 一种玻璃的磨边转向清洗装置 |
CN107234527A (zh) * | 2017-07-18 | 2017-10-10 | 东旭(昆山)显示材料有限公司 | 玻璃研磨机 |
CN107234527B (zh) * | 2017-07-18 | 2019-03-26 | 东旭(昆山)显示材料有限公司 | 玻璃研磨机 |
CN114473643A (zh) * | 2022-02-10 | 2022-05-13 | 国玻新创(北京)科技发展有限公司 | 在制造压延玻璃的生产线上热态玻璃的修边抛光工艺 |
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