JP2016042530A - 残渣層除去方法及び残渣層除去装置 - Google Patents
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Abstract
Description
10 トリミング処理装置
12 載置台
13 GCIB照射装置
14 電界レンズ
35 ピラー構造
36 残渣層
38 第1の電極板
39 第2の電極板
40 第3の電極板
45 ビーム偏向電極ユニット
46,47,48,49 電極板
Claims (14)
- 基板の表面に林立する複数の凸状物の側面に形成された残渣層を除去する残渣層除去方法であって、
前記基板へ荷電粒子のビームを直線状に照射する荷電粒子照射機構と前記基板との間に電界レンズを配置し、
前記電界レンズは前記荷電粒子のビームを発散させることを特徴とする残渣層除去方法。 - 前記発散された荷電粒子のビームで前記基板の表面を走査することを特徴とする請求項1記載の残渣層除去方法。
- 前記荷電粒子のビームが走査する範囲は、前記基板の表面よりも大きいことを特徴とする請求項2記載の残渣層除去方法。
- 前記電界レンズは、互いに正対するように前記荷電粒子照射機構から前記基板に向けて順に配置される第1の電極、第2の電極及び第3の電極からなり、前記荷電粒子のビームは前記第1の電極、前記第2の電極及び前記第3の電極のそれぞれに形成された穴を通過し、
前記第1の電極の電位は前記第2の電極の電位よりも低く設定され、
前記第3の電極の電位は前記第2の電極の電位よりも低く設定されることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の残渣層除去方法。 - 前記第1の電極及び前記第3の電極の電位は接地電位であり、前記第2の電極の電位は正電位であることを特徴とする請求項4記載の残渣層除去方法。
- 前記電界レンズ及び前記基板の間において複数の電極を前記荷電粒子のビームを囲むように配置し、前記複数の電極に電位を生じさせることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の残渣層除去方法。
- 前記複数の電極に周期的に変化する電位を生じさせることを特徴とする請求項6記載の残渣層除去方法。
- 前記荷電粒子はイオン化された酸素ガスクラスターであり、前記荷電粒子のビームは酢酸雰囲気中において前記基板の表面へ照射されることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載の残渣層除去方法。
- 前記残渣層はポリマー層及びダメージ層の少なくとも1つを含むことを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載の残渣層除去方法。
- 基板の表面に林立する複数の凸状物の側面に形成された残渣層を除去する残渣層除去装置であって、
前記基板へ荷電粒子のビームを直線状に照射する荷電粒子照射機構と、
該荷電粒子照射機構及び前記基板との間に配置される電界レンズとを備えることを特徴とする残渣層除去装置。 - 前記電界レンズは、互いに正対するように前記荷電粒子照射機構から前記基板に向けて順に配置される第1の電極、第2の電極及び第3の電極からなり、
前記第1の電極、前記第2の電極及び前記第3の電極はそれぞれ前記荷電粒子のビームを通過させる穴を有し、
前記第1の電極の電位は前記第2の電極の電位よりも低く設定され、
前記第3の電極の電位は前記第2の電極の電位よりも低く設定されることを特徴とする請求項10記載の残渣層除去装置。 - 前記第1の電極及び前記第3の電極の電位は接地電位であり、前記第2の電極の電位は正電位であることを特徴とする請求項11記載の残渣層除去装置。
- 前記基板を載置し、前記荷電粒子照射機構に対向しながら移動する載置台をさらに備えることを特徴とする11又は12記載の残渣層除去装置。
- 前記電界レンズ及び前記基板の間において前記荷電粒子のビームを囲むように配置される複数の電極をさらに備え、
前記複数の電極には電位が生じることを特徴とする請求項10乃至13のいずれか1項に記載の残渣層除去装置。
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